KR100681043B1 - 플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법 - Google Patents

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KR100681043B1
KR100681043B1 KR1020000047030A KR20000047030A KR100681043B1 KR 100681043 B1 KR100681043 B1 KR 100681043B1 KR 1020000047030 A KR1020000047030 A KR 1020000047030A KR 20000047030 A KR20000047030 A KR 20000047030A KR 100681043 B1 KR100681043 B1 KR 100681043B1
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Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조시, 추가적인 공정과 마스크 수를 줄이기 위한 PDP 패널 및 그의 제조방법을 제공함에 있다.
본 발명은 기판과; 상기 기판 상에 나란하게 형성된 복수의 유지전극쌍과; 상기 유지전극쌍 상에 다층 구조를 갖도록 형성된 버스전극과; 상기 유지전극쌍 사이에 상기 버스전극과 동일한 다층 구조로 형성된 블랙 스트라이프를 구비한다.
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조시, 추가적인 공정과 마스크 수를 줄일 수 있다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법{Plasma Display Panel and Method of Fabricating the Same}
도 1은 통상적인 3 전극 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 사시도.
도 2는 통상적인 5 전극 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 사시도.
도 3은 종래 기술에 따른 5 전극 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 단면도.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 5 전극 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 단면도.
도 5a 내지 도 5h는 도 4에 도시된 5 전극 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 단계적으로 도시한 단면도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1, 15 : 상판 2, 14, 42 : 상부기판
3, 6, 26, 32, 48, 56, 62, 69 : 금속버스전극
4, 7, 28, 34, 44, 52, 58, 65 : 투명전극
5, 70 : 주사/서스테인전극 30, 36, 57, 63 : 트리거전극
8, 50 : 공통서스테인전극 12, 79 : 보호층
10, 77 : 상부 유전층 13, 17 : 하판
14 : 하부기판 16 : 어드레스전극
18 : 하부 유전체층 20 : 격벽
22 : 형광체 24 : 방전공간
45, 53, 59, 65, 71 : 티탄층
46, 54, 60, 66, 72 : 구리층
47, 55, 61, 68, 73 : 은층
100,100a : 포토레지스트 101,102,103 : 포토마스크
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법에 관한 것으로서, 특히, PDP 패널의 제조시, 추가적인 공정과 마스크 수를 줄이기 위한 PDP 패널 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
플라즈마 디스플레이(Plasma Display Panel : 이하 "PDP"라 함)와 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device : 이하 "LCD"라 함)는 평판형 표시장치 중에서 가장 실용성이 높은 차세대 표시장치로 각광받고 있다. 특히 PDP는 LCD에 비해 휘도가 높고 시약각이 넓어 옥외 광고탑 또는 벽걸이 티브이, 극장용 디스플레이와 같이 박형의 대형 디스플레이로서 응용성이 광범위하다.
플라즈마 디스플레이 패널은 He+Xe 또는 Ne+Xe 가스의 방전 시, 발생하는 147am의 자외선에 의해 형광체를 발광시킴으로써 문자 또는 그래픽을 포함한 화상을 표시하게 된다. 이러한 PDP는 박막 화와 대형화가 용이할 뿐만 아니라 최근의 기술 개발에 힘입어 크게 향상된 화질을 제공한다. 이러한 PDP는 크게 직류구동 방식과 교류구동 방식으로 대별된다. 교류구동 방식의 PDP는 직류구동 방식과는 달리 유전 체를 이용함으로써 저전압 구동과 장수명의 장점을 가지므로 더욱 표시소자로 각광받고 있다. PDP는 매트릭스 형태로 배열된 다수의 방전셀들로 구동되며, 하나의 방전셀은 화면의 한 화소를 이루게 된다.
도 1은 종래의 3 전극 교류 면방전형 PDP를 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 3 전극 PDP의 방전셀은 상부기판(2) 상에 형성되어진 주사/서스테인전극(5) 및 공통서스테인전극(8)과, 하부기판(4) 상에 형성되어진 어드레스전극(16)을 구비한다. 주사/서스테인전극(5) 및 공통서스테인전극(8)은 투명전극(4,7)과 버스전극(3,6)으로 구성된다. 주사/서스테인전극(5)과 공통서스테인전극(8)이 나란하게 형성된 상부기판(2)에는 상부기판(2)에는 상부 유전층(10)과 보호층(12)이 적층된다. 상부 유전층(10)에는 플라즈마 방전 시, 발생된 벽전하가 축적된다. 보호층(12)은 플라즈마 방전 시, 발생된 스퍼터링에 의한 상부 유전층(10)의 손상을 방지함과 아울러 2차 전자의 방출 효율을 높이게 된다. 보호층(12)으로는 통상 산화마그네슘(MgO)이 이용된다. 어드레스전극(16)이 형성된 하부기판(14) 상에는 하부 유전층(18), 격벽(20)이 형성되며, 하부 유전층(18)과 격벽(20) 표면에는 형광체층(적색, 녹색, 청색)(22)이 도포된다. 어드레스전극(16) 은 주사/서스테인전극(5) 및 공통서스테인전극(8)과 교차되는 방향으로 형성된다. 격벽(20)은 어드레스전극(16)과 나란하게 형성되어 방전에 의해 생성된 자외선 및 가시광이 인접한 방전셀에 누설되는 것을 방지한다. 형광체층(22)은 플라즈마 방전 시, 발생된 자외선에 의해 여기되어 적색, 녹색 또는 청색중 어느 하나의 가시광선을 발생하게 된다. 상/하판(15,17)과 격벽 사이에 마련된 방전공간(24)에는 가스방전을 위한 불활성 가스가 주입된다.
빛이 방출되는 과정을 간략히 설명하면, 먼저 패널의 모든 방전셀들을 초기화하기 위하여 모든 방전셀들의 주사/서스테인전극(5)에 리셋 펄스가 공급되어 리셋 방전이 일어난다. 리셋 방전 시에는 방전셀 별로 벽전하들이 생성되어 뒤이어지는 어드레스 방전에 필요한 방전전압을 낮추게 된다. 그 다음 주사/서스테인전극(5)에 주사펄스가 공급되고, 이에 동기 되어 어드레스전극(16)에 데이터 펄스가 인가됨으로써 두 전극간에 어드레스 방전이 일어나 상/하부 유전층(10,18)에 벽전하가 형성된다. 어드레스 방전에 의해 선택된 셀들에서는 주사/서스테인전극(5)과 공통서스테인전극(8)에 교번적으로 공급되는 교류 신호에 의해 두 전극간에 서스테인 방전이 일어난다. 이 때 방전공간(24)에서는 방전가스가 여기된 후 천이 되는 과정에서 진공 자외선이 발생한다. 발생된 진공 자외선은 형광체(22)를 여기 시켜 가시광선을 발생시키게 하고, 이로써 PDP의 화상이 구현되어진다.
그런데, 종래의 3 전극 PDP에서는 서스테인방전을 일으키는 주사/서스테인전극(5)과 공통서스테인전극(8) 간의 서스테인방전이 방전셀의 중앙부에서만 일어나기 때문에 방전셀의 공간을 충분히 활용하지 못했다. 이에 따라, 방전셀의 휘도는 낮아지고 발광효율을 저하되는 문제점이 있었다. 이러한 문제점을 해결하는 방안으로 서스테인방전을 일으키는 주사/서스테인전극(5)과 공통서스테인전극(8)을 방전셀의 양쪽 경계부에 설치하거나 방전전극의 폭을 넓게 하고 있다. 하지만 주사/서스테인전극(5)과 공통서스테인전극(8)의 간격이 멀어지면 방전전압이 높아지고 방전전극의 폭을 넓게 하면 방전전류도 함께 증가하여 전력 소모량이 많아지는 단점이 있다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위해 도 2와 같이 5 전극 교류 면방전형 PDP가 개발되어 상용화되고 있다.
도 2는 5 전극 교류 면방전형 PDP를 나타내는 사시도이다.
도 2를 참조하면, 5 전극 PDP의 방전셀은 상부기판(2) 상에 주사/서스테인전극(5)과, 공통서스테인전극(8)과, 트리거전극쌍(30,36)들을 구비하고 하부기판(14) 상에는 어드레스전극을 구비한다. 트리거전극쌍(30,36)은 투명전극(28,34)과 버스전극(26,32)으로 구성된다. 주사/서스테인전극(5)과 공통서스테인전극(8) 사이에 트리거전극쌍(30,36)이 좁은 간격으로 평행하게 배치되고, 이 전극들(5,8,30,36)이 형성된 상부기판(2)에는 상부 유전층(10)과 보호층(12)이 적층된다. 상부 유전층(10)에는 플라즈마 방전 시, 발생된 벽전하가 축적된다. 보호층(12)은 플라즈마 방전 시, 발생된 스퍼터링에 의한 상부 유전층(10)의 손상을 방지함과 아울러 2차 전자의 방출 효율을 높이게 된다. 보호층(12)으로는 통상 산화마그네슘(MgO)이 이용된다. 어드레스전극(16)이 형성된 하부기판(14) 상에는 하부 유전층(18), 격벽(20)이 형성되며, 하부 유전층(18)과 격벽(20) 표면에는 형광체층(22)이 도포 된다. 어드레스전극(16)은 주사/서스테인전극(5)과, 공통서스테인전극(8) 및 트리거전극쌍(30,36)들과 교차되는 방향으로 형성된다. 격벽(20)은 어드레스전극(16)과 나란하게 형성되어 방전에 의해 생성된 자외선 및 가시광이 인접한 방전셀에 누설되는 것을 방지한다. 형광체층(22)은 플라즈마 방전 시, 발생된 자외선에 의해 여기 되어 적색, 녹색 또는 청색 중 어느 하나의 가시광선을 발생하게 된다. 상/하판(1,13)과 격벽(20) 사이에 마련된 방전공간(24)에는 가스방전을 위한 불활성 가스가 주입된다.
빛이 방출되는 과정을 간략히 설명하면, 먼저 패널의 모든 방전셀들을 초기화하기 위해서 모든 방전셀들의 내부에 배치된 주사/서스테인전극(5)이나 트리거전극쌍(30,36)중의 하나에 리셋펄스가 공급되어 리셋방전이 일어난다. 리셋방전시에는 방전셀 별로 벽전하들이 생성되어 뒤이어지는 어드레스방전에 필요한 방전전압을 낮추게 된다. 그 다음 주사/서스테인전극(5)에 주사펄스가 공급되고, 이에 동기 되어 어드레스전극(16)에 데이터 펄스가 인가됨으로써 두 전극간에 어드레스 방전이 일어나 상/하부 유전층(10,18)에 벽전하가 형성된다. 어드레스방전에 의해 선택된 방전셀들에서는 주사/서스테인전극(5)과 공통서스테인전극(8) 사이에 설치된 트리거전극쌍(30,36)이 서스테인 기간 중에 교류 펄스전압인 트리거 펄스전압에 응답하여 보조방전을 일으킨다. 보조방전이 일어난 직후, 주사/서스테인전극(5)과 공통서스테인전극(8)에는 서스테인펄스가 공급된다. 그러면 주사/서스테인전극(5)과 공통서스테인전극(8)은 보조방전에 의해 방전셀 내에 축적된 벽전하와 서스테인 펄스에 의한 전압차에 의해 셀 내의 중앙부에서 방전을 일으킬 수 있게 된다. 이 러한 서스테인방전은 서스테인펄스와 트리거펄스에 의해 연속적으로 발생된다.
이와 같이 5 전극 교류 면방전형 PDP는 3 전극 교류 면방전형 PDP보다 높은 방전효율을 얻을 수 있다.
그러나, 다른 표시장치에 비해 콘트라스트비(Contrast ratio)는 매우 낮은 수준에 있다. 이를 해결하기 위해 트리거 전극쌍(30,36) 사이에 블랙 스트라이프(Black Stripe)가 추가된다. 트리거 전극쌍(30,36) 사이에 블랙 스트라이프를 추가함으로써, 콘트라스트비를 높일 수 있다. 이는 블랙 스트라이프가 발광하지 않는 부분을 덮고 있어 그 곳으로 나오는 빛을 차단하며, 자체적으로 검은색을 띄고 있기 때문이다.
이를 도 3과 함께 상세히 설명하면, 다음과 같다.
도 3은 블랙 스트라이프를 포함한 5 전극 교류 면방전형 PDP의 단면도이다. 단지, 상부기판과 하부기판이 90。회전한 상태로 도시된 단면도이다.
도 3을 참조하면, 먼저 블랙 스트라이프를 포함한 5 전극 교류 면방전형 PDP의 방전셀은 상부기판(2) 상에 주사/서스테인전극(5)과, 공통서스테인전극(8)과, 트리거전극쌍(30,36)들을 구비하고 하부기판(14) 상에는 어드레스전극(16)을 구비한다. 트리거전극쌍(30,36) 사이에는 블랙 스트라이프(40)가 형성된다. 또한, 주사/서스테인전극(5), 공통서스테인전극(8) 및 트리거전극쌍(30,36)은 투명전극(4,7,28,34)과 버스전극(3,6,26,32)으로 구성된다. 버스전극(3,6,26,32)은 크롬(Cr),구리(Cu) 및 크롬(Cr)이 투명전극(4,7,28,34) 상에 순차적으로 형성된다. 블랙 스트라이프(40)는 버스전극(3,6,26,32)이 형성된 후, 인쇄기법을 이용하 여 트리거전극쌍(30,36) 사이에 형성된다. 이때, 블랙 스트라이프(40)는 빛을 차단하기 위해 불투명 절연막으로 구성된다. 여기서는 유기, 무기물 절연막이 될 수 있다. 이 전극들(5,8,30,36)과 블랙 스트라이프(40)가 형성된 상부기판(2)에는 상부 유전층(10)과 보호층(12)이 적층된다. 이와 아울러 어드레스전극(16)이 형성된 하부기판(14) 상에는 하부 유전층(18), 격벽(20)이 형성되며, 하부 유전층(18)과 격벽(20) 표면에는 도시되지 않은 형광체층이 도포된다.
도 3과 같은 구조를 가진 5 전극 교류 면방전형 PDP 상판의 제조방법은 앞에서도 서술한 거와 같이 버스전극이 형성된 후, 블랙 스트라이프를 형성하였다. 이로 인해, 블랙 스트라이프를 형성하기 위한 추가적인 공정과 마스크가 필요하며, 그 과정에서 상기 전극들의 오염이 발생한다. 또한, 블랙 스트라이프가 유기 또는 무기절연막으로 구성되어 있기 때문에 패널내에 생성된 하전입자들이 블랙 스트라이프를 가로질러 패널내로 확산된다. 이로 인해, 셀간의 광학적 간섭이 발생한다.
따라서, 본 발명의 목적은 PDP 패널의 제조시, 추가적인 공정과 마스크수를 줄이기 위한 PDP 패널 및 그의 제조방법을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 인접해 있는 셀간의 전기적, 광학적 간섭을 방지하여 셀의 오방전을 방지하기 위한 PDP 패널 및 그의 제조방법을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널은 기판과; 상기 기판 상에 나란하게 형성된 복수의 유지전극쌍과; 상기 유지전극쌍 상에 다층 구조를 갖도록 형성된 버스전극과; 상기 유지전극쌍 사이에 상기 버스전극과 동일한 다층 구조로 형성된 블랙 스트라이프를 구비한다.
본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 기판 상에 나란하게 복수의 유지전극쌍을 형성하는 단계와; 상기 유지전극쌍 상에 다층 구조를 갖도록 버스전극을 형성하는 단계와; 상기 유지전극쌍 사이에 상기 버스전극과 동시에 형성됨과 아울러 상기 버스전극과 동일한 다층 구조로 블랙 스트라이프를 형성하는 단계를 포함한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 4 내지 도를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 5 전극 교류 면방전형 PDP의 상판을 도시한 단면도이다.
도 4를 참조하면, 먼저 본 발명의 실시 예에 따른 5 전극 교류 면방전형 PDP의 상판은 상부기판(42) 상에 주사/서스테인전극(70)과, 공통서스테인전극(50)과, 트리거전극쌍(57,63)을 구비한다. 트리거전극쌍(57,63) 사이에는 블랙 스트라이프(75)가 형성된다. 또한, 주사/서스테인전극(70), 공통서스테인전극(50) 및 트리거전극쌍(57,63)은 투명전극(44,52,58,65)과 버스전극(48,56,62,69)으로 구성된다. 버스전극(48,56,62,69)은 티탄(Ti)층(45,53,59,66), 구리(Cu)층(46,54,60,67) 및 은(Ag)층(47,55,61,68)이 투명전극(44,52,62,69) 상에 순차적으로 형성된다. 여기서, 티탄(Ti)층(45,53,59,66)은 구리(Cu)층(46,54,60,67)과 투명전극(44,52,58,65)의 접촉력을 향상시키기 위해 이용된다.
블랙 스트라이프(75)는 버스전극(48,56,62,69)과 동시에 트리거전극쌍(57,63) 사이에 형성된다. 또한, 블랙 스트라이프(75)는 버스전극(48,56,62,69)과 동일한 물질로 형성된다. 이와 아울러, 상기 전극들(50,57,63,70)과 블랙 스트라이프(75)가 형성된 상부기판(42) 상에는 상부 유전층(77)과 보호층(79)이 적층된다.
이와 같은 5 전극 교류 면방전형 PDP의 상판의 제조방법을 단계적으로 상세히 설명하면 도 5a 내지 도 5 와 같다.
도 5a를 참조하면, 먼저, 본 발명의 실시 예에 따른 5 전극 교류 면방전형 PDP의 상판의 제조방법은 상부기판(42) 상에 전극(43)과 포토레지스트(100)를 전면 도포한다. 그런 다음, 도 5b와 같이 전극(43)과 포토레지스트(100)가 전면 도포된 상부기판(42) 상에는 투명기판(101)과 투명기판(101) 상의 소정 부분에 마련된 불투명전극(102)을 포함한 포토마스크(103)가 위치한다. 이와 아울러, 상부기판(42) 상에 위치한 포토마스크(103) 상에 자외선(UV)을 이용한 노광법에 의해 도 5c와 같이 포토레지스트 패턴(100a)이 형성된다. 그런 다음, 도 5d와 같이 포토레지스트 패턴(100a)을 마스크로 하여 건식 또는 습식에칭에 의해 전극(43)이 패터닝되어 투명전극(44,52,58,65)이 형성된다. 이어서, 도 5e와 같이 투명전극(44,52,58,65)들이 형성된 상부기판(42) 상에 티탄(Ti)(64), 구리(Cu)(76) 및 포토레지스트(100)가 순차적으로 증착된다. 이때, 티탄(Ti)(64) 및 구리(Cu)(76)는 스퍼터링 방법에 의해 증착되고, 포토레지스트(100)는 인쇄법에 의해 증착된다. 티탄(Ti)(64), 구리(Cu)(76) 및 포토레지스트(100)가 순차적으로 증착된 상부기판(42) 상에 포토마스크(103)가 위치하도록 한다. 투명기판(101)과 투명기판(101) 상의 소정 부분에 마련된 불투명전극(102)을 포함한 포토마스크(103)가 위치한다. 이와 아울러, 상부기판(42) 상에 위치한 포토마스크(103) 상에 자외선(UV)을 이용한 노광법에 의해 도 5f와 같이 포토레지스트 패턴(100a)이 형성된다. 그런 다음, 포토레지스트 패턴(100a)이 형성된 상부기판(42)을 은(Ag) 도금액 속에 담근다. 이때, 은(Ag)은 정(양)극성의 전하가 되며, 상부기판(42)은 티탄(Ti)(64) 및 구리(Cu)(76)에 부(음)극성의 전하가 된다. 이로 인해, 은(Ag)을 상부기판(42) 상에 도금 시, 상부기판(42) 상에 증착된 부(음)극성의 성질을 가지는 구리(Cu)(76)층에 의해 은(Ag)이 구리(Cu)(76) 상에 증착된다. 그러나, 구리(Cu)(76) 상에 형성된 포토레지스트 패턴(100a)에 의해 은(Ag)(78)은 소정 부분에만 증착된다. 즉, 포토레지스트 패턴이 형성되지 않고 구리(Cu)(76)가 외부로 노출된 부분에만 은(Ag)층(78)이 형성된다. 이때, 은(Ag)층(78)은 이후, 티탄(Ti)(64) 및 구리(Cu)(76)를 패터닝할 시 마스크로 이용되기 때문에 충분한 두께를 가지도록 형성된다. 이어서, 도 5g와 같이 포토레지스트 패턴(100a)을 스트립 공정을 의해 제거한다. 이로 인해, 구리(Cu)(76) 상에는 은(Ag)층(47,55,61,68,73)이 형성된다. 그런 다음, 도 5h와 같이 은(Ag)층(47,55,61,68,73)을 마스크로 하여 건식 또는 습식에칭을 이용하여 구리(Cu)(76) 및 티탄(Ti)(64)을 순차적으로 에칭함으로써, 구리(Cu)층(46,54,60,67,72) 및 티탄(Ti)층(45,54,59,66,71)이 형성된다. 이때, 건식 또는 습식에칭을 이용하여 구리(Cu)(76) 및 티탄(Ti)(64)을 순차적으로 에칭할 시, 은(Ag)층(47,55,61,68,73)이 마스크로 이용되기 위해 앞에서도 서술한 바와 같이 은(Ag)층(47,55,61,68,73)이 충분한 두께를 가지도록 형성되게 한다. 그런 다음, 상부기판(42) 상에는 상부 유전층(77)과 보호층(79)이 적층된다.
이와 같이 본 발명은 상부기판 상에 블랙 스트라이프를 버스라인과 동일한 물질로 버스라인과 동시에 형성한다. 이때, 버스라인 및 블랙 스트라이프는 티탄(Ti), 구리(Cu) 및 은(Ag)과 같은 금속물질로 구성된다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널 및 그의 제조방법은 PDP 패널의 제조시, 추가적인 공정과 마스크수를 줄일 수 있다. 또한, 블랙 스트라이프를 금속물질로 형성함으로써, 하전입자의 확산을 방지할 수 있다. 이로 인해, 인접해 있는 셀간의 전기적, 광학적 간섭을 방지할 수 있다. 따라서, 셀의 오방전을 방지할 수 있다. 더 나아가 PDP 패널의 제조시, 시간과 비용을 줄일 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니 라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (4)

  1. 기판과;
    상기 기판 상에 나란하게 형성된 복수의 유지전극쌍과;
    상기 유지전극쌍 상에 다층 구조를 갖도록 형성된 버스전극과;
    상기 유지전극쌍 사이에 상기 버스전극과 동일한 다층 구조로 형성된 블랙 스트라이프를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 버스전극 및 블랙 스트라이프는 상기 기판에 대향하는 방향으로부터 티탄층, 구리층 및 은층이 순차적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.
  3. 기판 상에 나란하게 복수의 유지전극쌍을 형성하는 단계와;
    상기 유지전극쌍 상에 다층 구조를 갖도록 버스전극을 형성하는 단계와;
    상기 유지전극쌍 사이에 상기 버스전극과 동시에 형성됨과 아울러 상기 버스전극과 동일한 다층 구조로 블랙 스트라이프를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법..
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 버스전극 및 블랙 스트라이프는 상기 기판에 대향하는 방향으로부터 티탄층, 구리층 및 은층이 순차적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
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