KR100677844B1

KR100677844B1 - 유리 정반의 뒤틀림 제거 방법 및 장치

Info

Publication number: KR100677844B1
Application number: KR1020050041500A
Authority: KR
Inventors: 겐고 하야세; 기쿠오 사토; 후미타카 아사미
Original assignee: 후지츠 히다찌 플라즈마 디스플레이 리미티드
Priority date: 2004-07-02
Filing date: 2005-05-18
Publication date: 2007-02-02
Also published as: JP2006016265A; TWI288123B; TW200606116A; KR20060047991A

Abstract

본 발명은 유리 정반(定盤)의 뒤틀림을 효율적으로 확실히 제거하는 것을 과제로 한다.

유리 정반을 복수매 겹쳐서 그 양측을 유리 정반보다도 크면서 평탄도가 높은 내열성 평판으로 끼우고, 그 때 상기 복수매 겹친 유리 정반 사이에 상기 내열성 평판과 동일한 평판을 유리 정반의 소정 매수마다 삽입해 두고, 가장 외측의 내열성 평판끼리를 가압하면서 유리 정반을 가열하여 서냉함으로써 유리 정반의 뒤틀림을 제거한다.

유리 정반, 플랫 표시 패널

Description

유리 정반의 뒤틀림 제거 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR REMOVING WARPING OF GLASS SURFACE-PLATE}

도 1은 본 발명의 일 실시예를 나타내는 설명도.

도 2는 유리 정반을 가열할 때의 온도 프로파일을 나타내는 그래프.

도 3은 다른 실시예를 나타내는 설명도.

도 4는 실제 유리 정반의 뒤틀림을 제거한 예를 나타내는 설명도.

도 5는 유리 정반의 가열 온도 프로파일을 나타내는 그래프.

도 6은 유리 정반의 뒤틀림 양의 측정 결과를 나타내는 설명도.

도 7은 유리 정반의 뒤틀림 양을 나타낸 그래프.

도 8은 유리 정반의 뒤틀림을 제거하기 위한 처리 장치를 나타내는 설명도.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

1 : 유리 정반

2 : 카본(carbon) 플레이트

3 : 누름돌(重石)

11 : 유리 정반 차대(車臺) 세트부

12 : 가열로

13 : 제어부

14 : 유리 정반 반송부

15 : 유리 정반 수취부

16 : 카본 플레이트 수납부

17 : 유리 정반 단(段) 적층부

18 : 누름돌 수납부

본 발명은 유리 정반의 뒤틀림 제거 방법에 관한 것으로서, 또한 상세하게는, 예를 들면 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)이나 액정 표시 장치(LCD)와 같은 플랫 표시 패널을 제조할 때의 열처리 공정에 사용되는 유리 정반의 뒤틀림 제거 방법에 관한 것이다.

PDP와 같은 플랫 표시 패널을 제조하는 라인에서는, 특히 AC형 PDP를 제조하는 경우, 전면측 기판과 배면측 기판에 유전체층을 형성한다.

이 유전체층의 형성에 관해서 보통은 기판에 페이스트 형상의 유전체 재료를 도포하고, 이 기판을 유리 정반 위에 탑재하여 소성로 내에 반입하며, 페이스트 형상의 유전체 재료를 소성함으로써 유전체층을 형성하도록 하고 있다.

이 유전체층의 소성 공정에서 사용하는 유리 정반은 내열성 유리로 제작한 것을 사용하는 것이지만, 몇번 사용하는 중에 열에 의한 뒤틀림이 발생한다.

그러나, 유리 정반에 뒤틀림이 발생한 경우에는 수정하는 수단이 없기 때문에, 이 정반을 폐기하고, 신품의 유리 정반으로 교환할 필요가 있었다.

또한, 판유리의 평탄화 방법에 대해서는 각종 방법이 알려져 있지만(예를 들면, 일본국 특개평8-231233호 공보 및 일본국 특개평11-11973호 공보 참조), 플랫 표시 패널의 열처리 공정에서 사용되는 유리 정반은 한 장 한 장 다른 뒤틀림을 갖고 있으며, 이러한 뒤틀림을 효율적으로 확실하게 제거하는 방법의 출현이 요구되었다.

본 발명은 이러한 사정을 고려해서 이루어진 것으로, 유리 정반의 뒤틀림을 효율적으로 확실하게 제거하는 방법을 제공하는 것이다.

본 발명은 플랫 표시 패널을 제조할 때의 열처리 공정에서 플랫 표시 패널용 유리 기판을 탑재하는 유리 정반의 뒤틀림 제거 방법으로서, 유리 정반을 복수매 겹쳐서, 그 양측을 유리 정반보다도 크면서 평탄도가 높은 내열성 평판으로 끼우고, 그 때, 상기 복수매 겹친 유리 정반 사이에, 상기 내열성 평판과 동일한 평판을 유리 정반의 소정 매수마다 삽입해 두고, 가장 외측의 내열성 평판끼리를 가압하면서 유리 정반을 가열하여, 서냉함으로써 유리 정반의 뒤틀림을 제거하는 유리 정반의 뒤틀림 제거 방법이다.

본 발명에서는 유리 정반을 복수매 겹쳐서, 그 양측을 유리 정반보다도 크면서 평탄도가 높은 내열성 평판으로 끼운다. 유리 정반보다도 크면서 평탄도가 높은 내열성 평판으로서는 열팽창 계수가 작은 재료를 선정하는 것이 바람직하다. 이 관점으로부터는, 예를 들면 이 내열성 평판으로서는 유리 정반보다도 작은 열팽창 계수를 갖는 등방성 흑연으로 이루어지는 카본 정반 등을 적용할 수 있다. 구체적으로는 이 내열성 평판으로서는 등방성 흑연으로 제작된 공차: JIS B0405 중급, 면 마무리: ▽▽의 카본 플레이트 등을 적용할 수 있다.

본 발명에서는 복수매 겹친 유리 정반 사이에, 내열성 평판과 동일한 평판을 유리 정반의 소정 매수마다 삽입해 둔다. 소정 매수로서는 1매에서 5매 정도를 적용할 수 있다. 유리 정반의 뒤틀림을 가장 잘 제거할 수 있는 것은 1매이며, 단위 시간당 처리량이 가장 많은 것은 5매이므로, 뒤틀림을 어느 정도 제거할지의 정도에 따라, 적당한 매수를 선택한다. 내열성 평판과 동일한 평판으로서는 실질적으로 내열성 평판과 동일한 재질, 동일한 평탄도의 것이며, 내열성 평판보다도 두께가 다른 것을 의미한다. 이 평판은 보통, 유리 정반의 가장 외측에 배치하는 내열성 평판보다도 두께가 얇은 것을 사용한다.

본 발명에서는 그 후에 가장 외측의 내열성 평판끼리를 가압하면서 유리 정반을 가열하여, 서냉함으로써 유리 정반의 뒤틀림을 제거한다. 이 가압은 특별히 한정되지 않지만, 단(段)으로 쌓인 최상단의 내열성 평판 위에 누름돌을 올림으로써 가압을 행하는 방법을 채용하는 것이 비용적으로 유리하다. 이 경우, 누름돌은 내열성 평판보다도 내열성이 높은 것이면 어떤 것이라도 좋고, 예를 들면, 금속 덩어리 등을 적용할 수 있다.

유리 정반의 가열은 특별히 한정되지 않지만, 적층된 내열성 평판과 유리 정반을 가열로 내에 반입하여 가열하는 방법을 적용할 수 있다. 가열로로서는 종래 공지의 각종 전기로를 적용할 수 있다. 이 유리 정반을 가열하는 공정은 내열성 평판으로서 카본 플레이트 등을 사용하는 경우에는 노(爐) 내를 무산소 분위기, 구체적으로는 질소 분위기 또는 수소 분위기로 하는 것이 바람직하다.

유리 정반의 가열은 소정의 온도 프로파일에서 가열함으로써 행하는 것이 바람직하다. 이 가열 공정에서의 가열 온도는 유리 정반의 뒤틀림이 보증되는 온도보다도 높은 온도에서 행하는 것이 필요하다.

본 발명에서는 유리 정반의 뒤틀림을 제거한 후, 유리 정반에 표면 조도의 마무리를 행하기 위한 블라스트 가공을 실시하는 공정을 더욱 실시해도 좋다.

또한, 유리 정반의 뒤틀림을 제거하기 전에, 유리 정반에 뒤틀림을 제거할 때에 흠집이 발생하는 것을 방지하기 위한 블라스트 가공을 실시하는 공정을 또한 실시해도 좋다.

이하, 도면에 나타내는 실시예에 의거하여 본 발명을 상세하게 설명한다. 또한, 본 발명은 이것에 의해서 한정되는 것이 아니며, 각종 변형이 가능하다.

도 1은 본 발명의 유리 정반의 뒤틀림 제거 방법의 일 실시예를 나타내는 설명도이다. 이 도면에서, 1은 유리 정반, 2는 카본 플레이트, 3은 누름돌이다.

유리 정반(1)은 플랫 표시 패널을 제조할 때의 열처리 공정에서 유리 기판을 탑재하기 위한 것인다. 이 열처리 공정은 전면측이나 배면측의 유리 기판에 유전체층을 형성할 때의 소성 공정이나, 배면측의 유리 기판에 격벽을 형성할 때의 소성 공정 등이다.

본 실시예에서는 11매의 카본 플레이트(2)를 적층하고, 그 각 카본 플레이트 (2) 사이에 유리 정반(1)을 배치하고 있다. 따라서, 카본 플레이트(2)와 유리 정반(1)이 서로 다르게 적층된 상태가 되어 있다. 그리고, 최상단의 카본 플레이트(2) 위에 누름돌(3)을 배치하고 있다. 카본 플레이트(2)의 적층 매수는 이것에 한정되지 않고, 11매 이하라도 좋고, 11매 이상이라도 좋다.

이 상태에서 적층한 채로 카본 플레이트(2)와 유리 정반(1) 및 누름돌(3)을 가열로 내에 반입하고, 소정의 온도 프로파일로 가열하며, 그 후 서냉함으로써 유리 정반(1)의 뒤틀림을 제거한다.

본 실시예의 유리 정반(1)은 플랫 표시 패널의 제조 공정에서의 사용에 의해, 뒤틀림, 휨(구부러짐), 요철 등이 발생한 것이다. 적용하는 유리 정반(1)은 크기: 1200mm×1600mm, 두께: 5mm, 표면 연마 처리: Rmax×3-6㎛를 실시한 것이다. 뒤틀림 보장 온도는 850℃이다. 이 유리 정반으로서는, 예를 들면 니혼 덴키 가라스사제의 네오세람(등록상표)N-0 또는 N-11과 같은 유리를 사용하여 제작한 것을 적용할 수 있다. 또한, 유리 정반 대신에, 일반적인 판유리를 적용하는 것도 가능하다.

카본 플레이트(2)는 유리 정반(1)보다도 크면서 평탄도가 높은 내열성 정반이다. 내열 온도는 유리 정반(1)보다도 높고, 1000℃ 이상이다. 이 카본 플레이트(2)로서는 열팽창 계수가 작은 재료를 선정하는 것이 중요하다. 카본 플레이트(2)는 크기: 1300mm×1700mm, 재질: 등방성 흑연, 공차: JIS B0405 중급, 면 마무리: ▽▽인 것이다. 이 카본 플레이트로서는, 예를 들면 토카이 카본사제의 것을 적용할 수 있다.

카본 플레이트(2)는 최하단의 것은 두께: 35~45mm 정도, 최상단의 것은 두께: 25~35mm 정도, 중단의 것은 두께: 10~25mm 정도의 것을 사용한다.

누름돌(3)은 유리 정반 10매에 대하여 300kg 정도의 것을 사용한다. 본 실시예에서는 300kg으로 하고 있다. 재질은 1000℃ 정도의 내열성의 것이라면 어떤 것이라도 좋고, 예를 들면 연철과 같은 금속 덩어리를 사용한다.

도 2는 유리 정반을 가열할 때의 가열로의 온도 프로파일을 나타내는 그래프이다.

유리 정반(1)을 가열할 때에는 유리 정반(1)을 가열로 내에 반입하고, 카본 플레이트의 연소를 방지하기 위해서 노 내를 질소 분위기로 한다. 즉, 질소를 도입해서 공기를 퍼지(purge)하면서 노 내를 질소 분위기로 하여 가열을 행한다. 가열로로서는 스탠드 어론(stand-alone)형식의 엘리베이터로(爐)라고 불리는 전기로 등을 적용할 수 있다. 또한, 노 내는 수소 분위기로 할 수도 있다. 이 경우에는 먼저 노 내를 진공 상태로 해서 수소를 유입한다.

가열 프로파일은 상온으로부터 850℃까지 서서히 가열하여, 850℃를 8시간 정도 유지하고, 그 후에 가열을 정지해서 350℃까지 노 내에서 서냉하고, 350℃ 정도가 되면, 냉각실로 옮겨서 20℃ 정도가 될 때까지 또한 서냉한다. 가열 온도를 850℃로 하는 것은 유리 정반(1)의 보장 온도(최고 안전 사용 온도)가 850℃ 정도이기 때문이다. 이 보장 온도보다 높은 온도까지 가열함으로써 유리 정반(1)의 뒤틀림, 휨, 요철 등을 강제적으로 제거한다.

이와 같이, 카본 플레이트를 복수매 적층하여, 그 카본 플레이트 사이에 유 리 정반을 1매씩은 끼우고, 최상단의 카본 플레이트 위에 누름돌을 올려서, 유리 정반의 휨(뒤틀림)이 보증되는 온도보다 높은 온도까지 가열하고, 그 후 서냉함으로써, 요철의 크기가 다른 복수매의 유리 정반을 균일하게, 또한 한번에 평탄화하는 것이 가능해 진다.

도 3은 다른 실시예를 나타내는 설명도이다.

본 실시예에서는 카본 플레이트(2) 사이에 유리 정반(1)을 복수매 겹쳐서 끼우고 있다. 구체적으로는 4매씩 겹쳐서 끼우고 있다. 그리고, 최상단의 카본 플레이트(2) 위에 누름돌(3)을 올리고 있다. 누름돌(3)은 유리 정반 10매에 대하여 300kg 정도의 것을 사용하므로, 450kg으로 한다.

이에 따라, 유리 정반의 재생 처리 능력(단위 시간당 처리 매수)을 향상시킬 수 있다. 카본 플레이트(2)와 카본 플레이트(2) 사이에 끼우는 유리 정반(1)의 매수는 유리 정반(1)의 뒤틀림을 확실히 제거한다는 관점으로부터는 5매 정도로 하는 것이 바람직하다. 그 이상으로 하면, 단위 시간당 처리 매수는 향상되지만, 유리 정반(1)의 뒤틀림을 충분히 제거할 수 없을 확률이 높아진다.

도 4는 실제로 유리 정반의 뒤틀림을 제거한 예를 나타내는 설명도이다.

본 예에서는 카본 플레이트(2)를 4매 적층했다. 카본 플레이트는 크기: 1300mm×1700mm, 재질: 등방성 흑연, 공차: JIS B0405 중급, 면 마무리: ▽▽의 것을 사용했다.

카본 플레이트(2)는 최하단의 것은 두께: 40mm, 최상단의 것은 두께: 30mm, 중단의 것은 두께: 25mm인 것인다.

카본 플레이트(2) 사이에는 20매의 유리 정반(1)을 끼웠다. 구체적으로는 최하단과 아래에서부터 2번째의 카본 플레이트(2) 사이에는 7매의 유리 정반(1)을 끼우고, 아래에서부터 2번째와 아래에서부터 3번째의 카본 플레이트(2) 사이에는 7매의 유리 정반(1)을 끼우며, 아래에서부터 3번째와 최상단의 카본 플레이트(2) 사이에는 6매의 유리 정반(1)을 끼웠다.

이 유리 정반(1)은 크기: 1200mm×1600mm, 두께: 5mm로, 표면 연마 처리: Rmax×3-6㎛를 실시한 것이다.

누름돌(3)은 350kg의 철 덩어리를 사용했다.

상술한 바와 같이 적층한 카본 플레이트와 유리 정반을 진공 가열로 내에 반입하고, 노 내를 질소 분위기로 하며, 도 5에 나타낸 바와 같은 온도 프로파일로 가열했다. 즉, 가열은 40℃ 이하의 온도로부터 처리를 개시하고, 5시간 정도에 걸쳐서 온도를 850℃까지 상승시켰다. 그리고, 온도 850℃에서 10~11시간 유지한 후, 가열을 정지하여 노 내에서 서냉하고, 350℃가 된 시점에서, 진공 가열로 내에서 냉각실에 반송하고, 냉각실 내에서 3시간 정도 냉각했다.

도 6에 유리 정반의 뒤틀림을 제거하기 전후의 뒤틀림 양의 측정 결과를 나타낸다. 도 6의 (a)는 수정 전(뒤틀림 제거 전)이며, 도 6의 (b)는 수정 후(뒤틀림 제거 후)이다. 이 측정 결과에 나타낸 바와 같이, 뒤틀림의 수정 후에는 명확하게 뒤틀림이 제거되어 있다.

도 7은 유리 정반의 뒤틀림을 제거하기 전후의 뒤틀림 양을 나타낸 그래프이다. 도 7의 (a)는 뒤틀림 제거 전이며, 도 7의 (b)는 뒤틀림 제거 후이다. 그래 프에서는 뒤틀림 제거 전과 제거 후의 차이가 명료해져 있다.

이어서, 상술한 바와 같이 하여 뒤틀림을 제거한 유리 정반에 대하여, 유리비드나 알루미나비드 등의 연마재를 불어 넣어서 블라스트 가공을 실시하고, 유리 정반의 표면 조도의 마무리를 행한다.

이 처리에서는 뒤틀림을 제거한 유리 정반을 소정의 표면 조도(Ry3~6㎛)로 마무리하기 위해서, 하기의 공정을 실시한다.

[제 1 공정] 블라스트 처리

[제 2 공정] 고압 세정

[제 3 공정] 순수(純水)에 의한 초음파 세정

[제 4 공정] 순수 린스

[제 5 공정] 에어(air) 블로

[제 6 공정] 건조(120℃×1시간)

상기에서는 뒤틀림을 제거한 유리 정반에 대하여 블라스트 가공을 실시했지만, 유리 정반은 열처리 공정에서 사용하기 때문에, 이물질이 부착하여 돌기가 되어 있는 경우가 많다. 이 때문에, 유리 정반끼리를 겹쳤을 때나, 유리 정반과 카본 플레이트를 겹쳤을 때에 유리 정반에 흠집이 발생하기 쉽다. 따라서, 유리 정반의 뒤틀림을 제거하기 전에, 유리 정반에 붙은 이물질을 상기와 같은 블라스트 가공에 의해 제거하도록 하여도 좋다.

도 8은 유리 정반의 뒤틀림을 제거하기 위한 처리 장치를 나타내는 설명도이다.

본 처리 장치는 유리 정반 차대(車臺) 세트부(11), 가열로(12), 제어부(13), 유리 정반 반송부(14)로 구성되어 있다. 유리 정반 반송부(14)는 유리 정반 수취부(15), 카본 플레이트 수납부(16), 유리 정반 단(段) 적층부(17), 누름돌 수납부(18)로 구성되어 있다.

뒤틀림이 발생한 유리 정반은 유리 정반 차대 세트부(11)까지 운반되고, 유리 정반 수취부(15)에 넘겨진다. 그 후에 유리 정반 단 적층부(17)에서, 카본 플레이트 수납부(16)에 수납된 카본 플레이트와, 유리 정반 수취부(15)로 수취된 유리 정반이 교대로 단 적층된다. 그리고, 누름돌 수납부(18)에 수용된 복수의 누름돌로부터 적절한 중량의 누름돌이 선택되고, 그 누름돌이 최상단의 카본 플레이트 위에 올려지고, 그 상태에서 가열로(12) 내에 반입된다.

가열과 서냉이 종료되면, 유리 정반 단 적층부(17)로 반출되고, 여기에서 누름돌이 제거되어서 누름돌 수납부(18)에 수용되며, 카본 플레이트가 제거되어서 카본 플레이트 수용부(16)에 수용된다. 유리 정반은 유리 정반 수취부(15)에 보내지고, 유리 정반 차대 세트부(11)에 되돌아 간다. 이들의 제어는 제어부(13)에서 행해진다.

이렇게 하여, 적층된 카본 플레이트 사이에, 1매 또는 복수매의 유리 정반을 끼우고, 최상단의 카본 플레이트 위에 누름돌을 올려서 가열로 내에 반입하고, 가열 후, 서냉해서 유리 정반의 뒤틀림을 제거함으로써, 복수매의 유리 정반의 뒤틀림을 한번의 처리로 제거할 수 있다. 또한, 유리 정반 사이에 카본 플레이트를 삽입하고 있으므로, 복수매의 유리 정반이 각각 뒤틀림이 다른 유리 정반이라도, 모 든 유리 정반의 뒤틀림을 균등하게 제거할 수 있다.

또한, 유리 정반의 뒤틀림 제거는 플랫 패널의 제조 라인에 일체로 구성되어서 자동적으로 실행되도록 할 수도 있다. 구체적으로는 소성 공정 후의 유리 정반을 상술한 처리 장치에 반송해서 뒤틀림 제거를 자동적으로 처리한다.

본 발명에 의하면, 복수매의 유리 정반의 뒤틀림을 한번의 처리로 제거할 수 있다. 또한 유리 정반 사이에 유리 정반보다도 평탄도가 높은 내열성 평판을 삽입하고 있으므로, 복수매의 유리 정반이 각각 뒤틀림이 다른 유리 정반이라도, 모든 유리 정반의 뒤틀림을 균등하게 제거할 수 있다.

Claims

플랫(flat) 표시 패널을 제조할 때의 열처리 공정에서 플랫 표시 패널용 유리 기판을 탑재하는 유리 정반(定盤)의 뒤틀림 제거 방법으로서,

유리 정반을 복수매 겹쳐서, 그 양측을 유리 정반보다도 크면서 평탄도가 높은 내열성 평판으로 끼우고,

그 때, 상기 복수매 겹친 유리 정반 사이에, 상기 내열성 평판과 동일한 평판을 유리 정반의 소정 매수마다 삽입해 두고,

가장 외측의 내열성 평판끼리를 가압하면서 유리 정반을 가열하여, 서냉(徐冷)함으로써 유리 정반의 뒤틀림을 제거하는 것을 특징으로 하는 유리 정반의 뒤틀림 제거 방법.
플랫 표시 패널을 제조할 때의 열처리 공정에서 플랫 표시 패널용 유리 기판을 탑재하는 유리 정반의 뒤틀림 제거 방법으로서,

유리 정반을 복수매 겹쳐서, 그 양측을 유리 정반보다도 크면서 평탄도가 높은 내열성 평판으로 끼우고,

그 때, 상기 복수매 겹친 유리 정반 사이에, 상기 내열성 평판과 동일한 평판을 유리 정반의 소정 매수마다 삽입해 두고,

질소 분위기 중에서 가장 외측의 내열성 평판끼리를 가압하면서 유리 정반을 가열하여, 서냉함으로써 유리 정반의 뒤틀림을 제거하는 것을 특징으로 하는 유리 정반의 뒤틀림 제거 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 내열성 평판과 동일한 평판을 유리 정반의 소정 매수마다 삽입하는 공정이 상기 내열성 평판과 동일한 평판을 유리 정반의 1매마다 삽입함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리 정반의 뒤틀림 제거 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 내열성 평판이 유리 정반보다도 작은 열팽창 계수를 갖는 등방성 흑연으로 이루어지는 카본 정반인 것을 특징으로 하는 유리 정반의 뒤틀림 제거 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 유리 정반의 가열 공정에서의 가열 온도가 유리 정반의 뒤틀림이 보증(保證)되는 온도보다도 높은 온도인 것을 특징으로 하는 유리 정반의 뒤틀림 제거 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

유리 정반의 뒤틀림을 제거한 후, 유리 정반에 표면 조도의 마무리를 행하기 위한 블라스트 가공을 실시하는 공정을 더 구비해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리 정반의 뒤틀림 제거 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

유리 정반의 뒤틀림을 제거하기 전에, 유리 정반에 뒤틀림을 제거할 때에 흠집이 발생하는 것을 방지하기 위한 블라스트 가공을 실시하는 공정을 더 구비해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리 정반의 뒤틀림 제거 방법.
플랫 표시 패널을 제조할 때의 열처리 공정에서 플랫 표시 패널용의 유리 기판을 탑재하는 유리 정반의 뒤틀림 제거 장치로서,

유리 정반 수취부와, 유리 정반 단 적층부와, 그 사이에 배치된 카본 플레이트 수납부와, 상기 유리 정반 단 적층부의 뒤에 배치된 가열로와, 이들의 각 부에 유리 정반을 반송하는 유리 정반 반송 기구와, 제어부를 구비해서 이루어지며,

상기 제어부는, 상기 유리 정반 단 적층부에서, 상기 카본 플레이트 수납부에 수납된 평탄한 카본 플레이트와 상기 유리 정반 수취부로 수취된 1매 또는 복수매마다의 유리 정반을 교대로 적층하여, 그 적층체를 그 최상면의 카본 플레이트를 가압한 상태로 상기 가열로에 반입하여, 소정의 열처리를 가하도록 상기 유리 정반 반송 기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 유리 정반의 뒤틀림 제거 장치.