KR100674317B1 - Electroless plating basket - Google Patents

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Abstract

본 발명은 무전해 도금용 바스켓에 관한 것이다. The present invention relates to an electroless plating basket.

특히 바스켓에 테프론(Teflon) 코팅을 하여 바스켓에 도금이 되지않도록 하고 측면 기판 가이드와 하면 기판 가이드를 테프론 재질로 형성하여 기판 삽입시 기판을 고정하고 도금시 기판 가이드가 도금되는 현상을 방지할 수 있도록 하는 무전해 도금용 바스켓에 관한 것이다.In particular, Teflon coating is applied to the basket to prevent plating on the basket, and the side board guide and the bottom substrate guide are formed of Teflon material to fix the substrate when inserting the substrate and to prevent the phenomenon of the plate guide being plated during plating. It relates to an electroless plating basket.

또한, 본 발명은, 전면이 개방되어 있고, 다층이 형성되어 있으며 테프론 코팅이 되어 있는 육방체의 프레임; 상기 프레임의 각층의 양측에 각각 고정되어 있고 쌍을 이루고 있으며 테프론 재질로 되어 있는 복수의 측면 기판 가이드; 각 층에 있는 한 쌍의 측면 기판 가이드에 각각의 양끝 단부가 고정되어 있고 서로 이격되게 나란히 배열되어 있어 삽입되는 기판이 서로 이격되도록 하며 테프론 코팅이 되어 있는 복수의 활대; 상기 프레임을 행거에 매달기 위하여 상기 프레임의 상측에 형성되어 있는 한 쌍의 걸이부; 및 삽입되는 기판이 외부로 이탈되는 것을 방지하기 위하여 최하층에 상기 활대를 가로지르는 방향으로 형성되어 있으며, 테프론 코팅이 되어 있는 복수의 하부 기판 가이드를 포함하고 있는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention, the front surface is open, the multilayer frame is formed of a hexagonal frame having a Teflon coating; A plurality of side substrate guides fixed to both sides of each layer of the frame and formed of a pair of Teflon materials; A plurality of slides having respective ends of each end fixed to the pair of side substrate guides in each layer and arranged side by side to be spaced apart from each other so that the substrates to be inserted are spaced from each other and having a Teflon coating; A pair of hook portions formed on an upper side of the frame to suspend the frame on a hanger; And a plurality of lower substrate guides having a Teflon coating formed on the lowermost layer in a direction crossing the rods in order to prevent the inserted substrate from being separated from the outside.

무전해, 도금, 바스켓, 바구니, 도금조 Electroless, Plating, Basket, Basket, Plating Tank

Description

무전해 도금용 바스켓 {Electroless plating basket} Electroless Plating Basket {Electroless plating basket}

도 1은 종래 기술에 따른 무전해 도금용 바스켓의 사시도.1 is a perspective view of an electroless plating basket according to the prior art.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 무전해 도금용 바스켓의 사시도.Figure 2 is a perspective view of an electroless plating basket according to an embodiment of the present invention.

도 3a는 도 2의 측면 기판 가이드의 사시도이고, 도 3b는 도 2의 측면 기판 가이드의 정면도이고, 도 3c는 도 2의 측면 기판 가이드의 배면도이고, 도 3d는 측면 기판 가이드의 평면도이고, 도 3e는 측면 기판 가이드의 저면도. 3A is a perspective view of the side substrate guide of FIG. 2, FIG. 3B is a front view of the side substrate guide of FIG. 2, FIG. 3C is a rear view of the side substrate guide of FIG. 2, FIG. 3D is a plan view of the side substrate guide, 3E is a bottom view of the side substrate guide.

도 4a는 도 2의 하면 기판 가이드의 사시도, 도 4b는 도 2의 하면 기판 가이드의 정면도, 도 4c는 도 2의 하면 기판 가이드의 평면도.4A is a perspective view of the bottom substrate guide of FIG. 2, FIG. 4B is a front view of the bottom substrate guide of FIG. 2, and FIG. 4C is a plan view of the bottom substrate guide of FIG. 2.

도 5a는 도 2의 상면 기판 가이드의 사시도, 도 5b는 도 2의 상면 기판 가이드 고정부의 사시도, 도 5c는 도 2의 상면 기판 가이드의 활대의 사시도.5A is a perspective view of the upper substrate guide of FIG. 2, FIG. 5B is a perspective view of the upper substrate guide fixing part of FIG. 2, and FIG. 5C is a perspective view of a slider of the upper substrate guide of FIG. 2.

도 6은 도 2의 걸이부의 부분 확대도.6 is a partially enlarged view of the hook of FIG. 2;

도 7은 도 2의 버팀대와 측면 기판 가이드의 결합 분해 사시도.7 is an exploded perspective view of the brace and the side substrate guide of FIG. 2.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 프레임 12 : 측면 기판 가이드10 frame 12 side board guide

13 : 활대 14 : 걸이부13: rod 14: hanger

15 : 상부 기판 가이드 16 : 하부 기판 가이드15: upper substrate guide 16: lower substrate guide

본 발명은 무전해 도금용 바스켓에 관한 것이다.The present invention relates to an electroless plating basket.

특히 바스켓에 테프론(Teflon) 코팅을 하여 바스켓에 도금이 되지않도록 하고 측면 기판 가이드와 하면 기판 가이드를 테프론 재질로 형성하여 기판 삽입시 기판을 고정하고 도금시 기판 가이드가 도금되는 현상을 방지할 수 있도록 하는 무전해 도금용 바스켓에 관한 것이다.In particular, Teflon coating is applied to the basket to prevent plating on the basket, and the side board guide and the bottom substrate guide are formed of Teflon material to fix the substrate when inserting the substrate and to prevent the phenomenon of the plate guide being plated during plating. It relates to an electroless plating basket.

인쇄회로기판은 기판 상에 회로 패턴 및 패드부를 포함하고 있으며, 일반적으로 회로패턴 및 패드부는 구리 재질로 이루어진다. The printed circuit board includes a circuit pattern and a pad portion on a substrate, and in general, the circuit pattern and the pad portion are made of copper.

그러나, 외부로 노출된 구리층은 시간의 경과에 따라 산화되어 반도체 및 인쇄회로기판의 실장시 신뢰성을 저하시키므로 이를 방지하기 위한 표면처리로서 패드부를 금 도금하는 공정이 필수적으로 수행되고 있다. However, since the copper layer exposed to the outside is oxidized with time, the reliability of the semiconductor and the printed circuit board is degraded, and thus a gold plating process of the pad part is essentially performed as a surface treatment for preventing the copper layer.

한편, 무전해 금 도금공정에 있어서, 피도금되는 금속 패드가 납땜특성이 요구되는 경우에는 환원형 금 도금을 통해서 0.05∼0.1㎛의 얇은 두께의 금 도금을 적용하고, 본딩 등의 특성이 요구되는 경우에는 치환형 금 도금을 통해서 0.5㎛ 이상의 두꺼운 형태의 금 도금을 적용한다. On the other hand, in the electroless gold plating process, when the metal pad to be plated is required to have soldering characteristics, a thin gold plating having a thickness of 0.05 to 0.1 μm is applied through reduction gold plating, and bonding or the like is required. In this case, a thick gold plating of 0.5 μm or more is applied through substitutional gold plating.

예를 들어, 미국 특허 제6,383,269호는 솔더 마스크를 사용하여 금 도금하고자 하는 회로 패턴 부위에 무전해 니켈층을 형성한 다음, 칼륨 시안화 금, 하나 이상의 유기 전도성 염, 및 하나 이상의 환원제를 포함하는 금 침지 도금액을 접촉시켜 인쇄회로기판을 제조하는 방법을 개시하고 있다. For example, US Pat. No. 6,383,269 uses a solder mask to form an electroless nickel layer on a portion of a circuit pattern to be gold plated, and then includes gold containing potassium cyanide, one or more organic conductive salts, and one or more reducing agents. A method of manufacturing a printed circuit board by contacting an immersion plating liquid is disclosed.

또한, 미국 특허 제5,178,918호는 기판 상에 칼륨 시안화 금, 수산화 칼륨, 시안화 칼륨, 유기산 및 안정제를 포함하는 금 침지 도금액을 접촉시켜 무전해 도금하는 방법을 개시하고 있다. U. S. Patent No. 5,178, 918 also discloses a method of electroless plating by contacting a gold immersion plating solution containing potassium cyanide, potassium hydroxide, potassium cyanide, an organic acid and a stabilizer on a substrate.

한편, 일본 특개평 제7-7243호는 금 도금을 하고자 하는 구리 부위 상에 비결정질의 제1무전해 니켈 피막을 형성시키고, 결정질의 제2무전해 니켈 피막을 형성시킨 후에 치환반응을 주반응으로 하는 무전해 금 도금 방법을 개시하고 있다. 이외에도, 구리층 상에 니켈-금 도금층을 형성하는 개량된 기술은 미국 특허 제5,173,130호 및 제5,235,139호에 개시되어 있다.On the other hand, Japanese Patent Laid-Open No. 7-7243 forms an amorphous first electroless nickel film on a copper portion to be plated with gold, and forms a crystalline second electroless nickel film. An electroless gold plating method is disclosed. In addition, improved techniques for forming nickel-gold plated layers on copper layers are disclosed in US Pat. Nos. 5,173,130 and 5,235,139.

이와 관련하여 종래기술에 따른 인쇄회로기판의 개략적인 금 도금 공정을 설명하면, 당업계에서 널리 알려진 방법에 따라 기판 상에 패턴화된 회로, 및 패드부를 형성시킨 후에 패드부를 제외한 나머지 부분에 포토 솔더 마스크층을 형성시킨다. In this regard, a schematic gold plating process of a printed circuit board according to the related art will be described. After forming a patterned circuit and a pad portion on a substrate according to a method well known in the art, photo solder is formed on the remaining portions except the pad portion. A mask layer is formed.

그 다음, 패드부 상에 구연산을 주성분으로 하는 무전해 니켈 도금액을 약 85℃에서 약 20분 동안 처리하여 약 3∼6㎛의 두께를 갖는, 인 함량이 약 5∼8%인 니켈 도금층을 형성시킨다. 그 다음, 니켈 도금층 상에 치환형 침지 금 도금액을 접촉시켜 0.5㎛ 이상의 무전해 금 도금층을 형성시킨다.Next, an electroless nickel plating solution mainly containing citric acid was treated on the pad portion for about 20 minutes at about 85 ° C. to form a nickel plating layer having a phosphorus content of about 5 to 8% having a thickness of about 3 to 6 μm. Let's do it. Then, the substitution type immersion gold plating solution is contacted on the nickel plating layer to form an electroless gold plating layer of 0.5 µm or more.

한편, 무전해 도금 장치는 도금조를 이용하여 수동으로 작업하는 간단한 장치로부터 자동화된 양산용의 장치까지 다양하다. 일본 특허출원공개번호 평5-98455호에는 인쇄회로기판에 균일한 도금막을 형성할 수 있는 도금장치가 개시되어 있다.Electroless plating apparatuses, on the other hand, vary from simple devices that work manually using plating baths to automated mass production devices. Japanese Patent Application Laid-open No. Hei 5-98455 discloses a plating apparatus capable of forming a uniform plating film on a printed circuit board.

개시된 도금장치는 수지 또는 불활성 금속제의 도금조, 이 도금조에 저류되는 도금액, 피도금물, 여러개의 피도금물이 매달려 있는 행거, 행거를 좌우 상하로 이동시켜 행거에 매달려 있는 피도금물이 좌우, 상하 또는 지그재그로 이동하도록 하는 요동장치, 도금조의 도금액을 순환시키고 에어를 제공하는 도금액 교반 수단 등을 구비하고 있다.The disclosed plating apparatus includes a plating bath made of resin or an inert metal, a plating solution stored in the plating bath, a plated object, a hanger on which a plurality of plated objects are suspended, and a plated material hanging on a hanger by moving the hanger from side to side up and down, right and left, It is provided with the rocking apparatus which moves to up-and-down or zigzag, the plating liquid stirring means which circulates the plating liquid of a plating tank, and provides air.

여기에서, 일본 특허출원공개번호 평5-98455호에는 상세히 개시되어 있지 않지만 종래 기술에 따른 무전해 도금 장치는 피도금물을 행거에 매달기 위하여 도금용 바스켓을 사용하는데 그 일예가 도 1에 도시되어 있는 바와 같이 전면이 개방되어 있고 다층을 이루는 프레임(1)과, 상기 프레임(1)의 각층의 양측에 고정되어 있는 한쌍의 측면 기판 가이드(2a, 2a', 2b, 2b',2c, 2c'), 한쌍의 측면 기판 가이드( 2a, 2a', 2b, 2b',2c, 2c')에 양끝단이 각각 고정되어 있으며, 일정 간격으로 이격되어 서로 나란히 배열되어 있는 다수의 활대(3), 프레임(1)을 행거에 걸기 위한 한쌍의 걸이부(4, 4')를 구비하고 있다.Here, although not disclosed in detail in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-98455, the electroless plating apparatus according to the prior art uses a plating basket to suspend a plated object to a hanger, an example of which is shown in FIG. As described above, the front surface is opened and a multi-layer frame 1 and a pair of side substrate guides 2a, 2a ', 2b, 2b', 2c 'and 2c fixed to both sides of each layer of the frame 1 are fixed. '), A plurality of slides (3), each end of which is fixed to a pair of side substrate guides (2a, 2a', 2b, 2b ', 2c, 2c'), spaced at regular intervals and arranged side by side; A pair of hook parts 4 and 4 'for hanging the frame 1 on a hanger are provided.

이와 같은 종래 기술에 따른 무전해 도금용 바스켓은 무전해 금도금시 프레임(1)과 활대(3)에 너무 많은 금이 석출되어 금도금의 두께 조절이 어렵다는 문제점이 있었다.The electroless plating basket according to the prior art has a problem that it is difficult to control the thickness of the gold plating because too much gold is deposited on the frame (1) and the shaft (3) during electroless gold plating.

또한, 프레임(1)의 양측에 형성된 측면 기판 가이드( 2a, 2a', 2b, 2b',2c, 2c')가 도금액이 교반할 때 측면으로 이탈되는 문제점이 있었다.In addition, the side substrate guides 2a, 2a ', 2b, 2b', 2c, and 2c 'formed on both sides of the frame 1 have a problem in that they are separated from the side when the plating liquid is stirred.

더욱이 걸이부(4, 4')는 행거에 아무런 고정수단이 없이 걸어져 있기 때문에 도금액이 순환할때 프레임(1)이 요동치는 문제점이 있었다.Furthermore, since the hook portions 4 and 4 'are hanged without any fixing means on the hangers, there is a problem that the frame 1 swings when the plating liquid is circulated.

또한, 무전해 금도금시 도금액의 교반과 프레임(1)의 요동장치에 의한 상하 좌우의 이동에 의해 기판이 상측 또는 하측으로 이탈하는 문제점이 있었다.In addition, when electroless gold plating, there is a problem that the substrate is separated to the upper side or the lower side by the stirring of the plating liquid and the vertical and horizontal movement by the rocking device of the frame (1).

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은, 프레임과 활대를 테프론 재질을 사용하여 코팅하고 측면 기판 가이드를 테프론 재질을 사용하여 도금시 금 석출이 적도록 하고 무전해 도금용 바스켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention for solving the above problems, the frame and the guide using a Teflon material and the side substrate guide using a Teflon material to reduce the amount of gold during plating and to provide an electroless plating basket It is done.

또한, 본 발명은, 최하부 층에 하부 기판 가이드를 더 구비하도록 하고, 상부 층에 상부 기판 가이드를 더 구비하도록 하여 기판이 도금액의 교반과 프레임의 요동시에 이탈되지 않도록 하는 무전해 도금용 바스켓을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.In addition, the present invention provides an electroless plating basket which further includes a lower substrate guide in the lowermost layer and an upper substrate guide in the upper layer so that the substrate does not escape during stirring of the plating liquid and swinging of the frame. It is for that purpose.

또한, 본 발명은, 프레임을 행거에 부착하는 걸이부를 행거에 단단히 고정할 수 있는 고정수단을 제공하여 프레임의 요동시에 프레임이 흔들리지 않도록 하는 무전해 도금용 바스켓을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.In addition, an object of the present invention is to provide a non-electrolytic plating basket which provides a fixing means capable of fixing the hanger for attaching the frame to the hanger to the hanger so that the frame does not shake when the frame swings.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 전면이 개방되어 있고, 다층이 형성되어 있으며 테프론 코팅이 되어 있는 육방체의 프레임; 상기 프레임의 각층의 양측에 각각 고정되어 있고 쌍을 이루고 있으며 테프론 재질로 되어 있는 복수의 측면 기판 가이드; 각 층에 있는 한 쌍의 측면 기판 가이드에 각각의 양끝 단부가 고정되어 있고 서로 이격되게 나란히 배열되어 있어 삽입되는 기판이 서로 이격되도록 하며 테프론 코팅이 되어 있는 복수의 활대; 상기 프레임을 행거에 매달기 위하여 상기 프레임의 상측에 형성되어 있는 한 쌍의 걸이부; 및 삽입되는 기판이 외부로 이탈되는 것을 방지하기 위하여 최하층에 상기 활대를 가로지르는 방향으로 형성되어 있으며, 테프론 코팅이 되어 있는 복수의 하부 기판 가이드를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object, the front surface is open, the multilayer is formed of a hexagonal frame having a Teflon coating; A plurality of side substrate guides fixed to both sides of each layer of the frame and formed of a pair of Teflon materials; A plurality of slides having respective ends of each end fixed to the pair of side substrate guides in each layer and arranged side by side to be spaced apart from each other so that the substrates to be inserted are spaced from each other and having a Teflon coating; A pair of hook portions formed on an upper side of the frame to suspend the frame on a hanger; And a plurality of lower substrate guides formed on a lowermost layer in a direction crossing the rods in order to prevent the inserted substrate from being separated from the outside, and having a Teflon coating.

이제, 도 2 이하의 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 무전해 도금용 바스켓을 상세히 설명한다.Now, with reference to the drawings of Figure 2 will be described in detail the electroless plating basket according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 무전해 도금용 바스켓의 사시도이다.2 is a perspective view of an electroless plating basket according to an embodiment of the present invention.

도면을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 무전해 도금용 바스켓은 전면이 개방되어 있고, 다층이 형성되어 있는 육방체의 프레임(10), 프레임의 각층의 측면에 고정되어 있는 한쌍의 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c'), 한 쌍의 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')에 각각의 양끝 단부가 고정되어 있는 복수의 활대(13), 프레임(10)을 행거에 매달기 위한 걸이부(14, 14'), 기판이 외부로 이탈되는 것을 방지하기 위하여 최하층과 최상측에 활대(13)를 가로지르는 방향으로 형성되어 있는 상부 또는 하부 기판 가이드(15, 15', 16, 16')를 구비하고 있다.Referring to the drawings, the electroless plating basket according to an embodiment of the present invention is the front surface is open, a pair of side surfaces fixed to the side of each layer of the frame 10, the frame is formed of a multi-layer Each end of each end is fixed to the substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, 12c 'and the pair of side substrate guides 12a, 12a', 12b, 12b ', 12c, 12c'. A plurality of guides 13, hangers 14 and 14 'for hanging the frame 10 on a hanger, and in a direction crossing the guides 13 on the lowermost layer and the uppermost side to prevent the substrate from being separated outwardly. The upper or lower substrate guides 15, 15 ', 16 and 16' are formed.

여기에서, 프레임(10)은 육방체로서 피도금물인 기판이 세로보다 가로의 길이가 길기 때문에 직육방체의 형상을 하고 있으며, 다층을 형성하여 기판을 적절히 고정하여 기판이 도금시 심하게 요동하는 것을 방지할 수 있도록 한다.Here, the frame 10 has a rectangular parallelepiped shape because the length of the substrate to be plated as a hexagon is longer than the length of the plate, and forms a multilayer to properly fix the substrate so that the substrate vibrates severely during plating. To prevent it.

프레임(10)은 도면에서 3층을 형성하고 있으나 필요에 따라 층수를 늘릴수 있다. 하지만 층수를 많이 늘리게 되면 기판이 프레임(10)에 단단하게 고정은 되겠지만 그 만큼 도금 면적이 넓어져 도금의 도금 두께 조절이 어렵게 되는 문제가 생길 수 있다.The frame 10 forms three layers in the figure, but the number of layers can be increased as necessary. However, if the number of layers is increased a lot, but the substrate is firmly fixed to the frame 10, the plating area is increased by that much, so that it may be difficult to control the plating thickness of the plating.

프레임(10)의 각층의 측면에는 측면 기판 가이드( 12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')가 설치되어 있으며, 도면에서 도 3a는 이러한 측면 기판 가이드( 12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')의 사시도이고, 도 3b는 측면 기판 가이드( 12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')의 정면도이고, 도 3c는 측면 기판 가이드( 12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')의 배면도이고, 도 3d는 측면 기판 가이드( 12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')의 평면도이고, 도 3e는 측면 기판 가이드( 12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')의 저면도이다.Side substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, and 12c 'are provided on the side of each layer of the frame 10, and FIG. 3a in the drawing shows these side substrate guides 12a, 12a', 12b, 12b ', 12c, 12c', FIG. 3b is a front view of the side substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, 12c ', and FIG. 3c is a side substrate guide 12a, 12a', 12b, 12b ', 12c, 12c'), FIG. 3d is a top view of the side substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, 12c ', and FIG. 3e is a side substrate guide 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, 12c ').

도 3a의 사시도와 도 3b의 정면도에 도시되어 있는 바와 같이 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')는 세로방향으로 기판이 관통하여 수용될 수 있는 수용홈(20)이 다수 형성되어 있어 기판이 수용홈(20)에 수용되어 고정될 수 있다.As shown in the perspective view of FIG. 3A and the front view of FIG. 3B, the side substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, and 12c 'have accommodation grooves 20 through which the substrate can be accommodated in the longitudinal direction. ) Is formed in the plurality can be accommodated in the receiving groove 20 can be fixed.

이때, 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')에 형성된 수용홈 (20)의 폭은 기판의 두께보다 약간 넓게 할 수 있는데, 그 이유는 바스켓이 설치되는 도금조의 온도가 높기 때문에 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')가 부피 팽창을 할 수 있고 그에 따라 도금시 폭이 줄어드는데 그러한 폭의 협소화가 기판의 휨을 일으키기 않도록 하기 위해서이다.At this time, the width of the receiving groove 20 formed in the side substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, and 12c 'may be slightly wider than the thickness of the substrate, because of the plating bath in which the basket is installed. Due to the high temperature, the side substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, 12c 'are able to expand in volume and thus reduce their width during plating so that such narrowing does not cause the substrate to warp. to be.

그리고, 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')의 양측에는 도 3a의 사시도에서 알 수 있는 바와 같이 고정홈(22, 22')이 형성되어 프레임(10)의 세로 버팀대에 삽입될 때 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')가 프레임(10)에 단단하게 고정될 수 있도록 한다.In addition, fixing grooves 22 and 22 'are formed at both sides of the side substrate guides 12a, 12a', 12b, 12b ', 12c, and 12c', as shown in the perspective view of FIG. The side substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, 12c 'can be firmly fixed to the frame 10 when inserted into the longitudinal braces.

또한, 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')의 바닥면에는 도 3e의 저면도에 도시된 바와 같이 안쪽으로 다수의 고정홈(23a, 23b, 23c)이 형성되어 도 7의 프레임의 부분 확대 사시도에 도시된 바와 같이 프레임(10)에 있는 고정봉(30a, 30b, 30c)이 고정홈(23a, 23b, 23c)에 끼워짐으로 도금공정시에 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')가 바깥쪽으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.In addition, a plurality of fixing grooves 23a, 23b, and 23c are formed in the bottom surface of the side substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, and 12c ', as shown in the bottom view of FIG. 3e. As shown in a partially enlarged perspective view of the frame of FIG. 7, the fixing rods 30a, 30b, and 30c of the frame 10 are fitted into the fixing grooves 23a, 23b, and 23c to guide the side substrate during the plating process. (12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, 12c ') can be prevented from escaping outward.

또한, 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')의 바닥면에 있는 고정홈(23a, 23b, 23c )의 직경이 고정봉(30a, 30b, 30c)의 직경에 근사해지게 되면 고정봉(30a, 30b, 30c)의 고정홈(23a, 23b, 23c)에 대한 밀착도가 높아 도금 공정시에 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')가 위로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the diameters of the fixing grooves 23a, 23b, 23c at the bottom of the side substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, and 12c 'are determined by the diameters of the fixing rods 30a, 30b, and 30c. When approximated, the adhesion of the fixing rods 23a, 23b, and 23c of the fixing rods 30a, 30b, and 30c is high, so that the side substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c 'and 12c' are applied during the plating process. It can be prevented from falling off.

물론, 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')의 앞면에는 횡방 향으로 삽입홈(32)이 다수 형성되어 있어 활대(13)의 양단부가 삽입되어 고정 될 수 있도록 한다. 이때, 삽입홈(32)의 위치는 크게 중요하지 않으나 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')의 고정홈(23a, 23b, 23c)이 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')의 아래면에서 위쪽으로 형성되어 있고 그 깊이가 일정 정도인 점을 감안하면 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')의 아래쪽에 형성되는 것이 바람직하다.Of course, the front surface of the side substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, 12c 'has a plurality of insertion grooves 32 are formed in the transverse direction so that both ends of the guide 13 can be inserted and fixed. do. At this time, the position of the insertion groove 32 is not important, but the fixing grooves 23a, 23b, and 23c of the side substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, and 12c 'are provided with the side substrate guides 12a, 12a ', 12b', 12b ', 12c' and 12c ', which are formed upward from the bottom surface and have a certain depth, the side substrate guides 12a, 12a', 12b, 12b ', 12c and 12c'. It is preferable that it is formed below.

다음으로, 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')에 고정되는 활대(13)는 일예로 스테인레스 스틸로 되어 있으며, 테프론 코팅이 되어 있다.Next, the slide 13 fixed to the side substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, and 12c 'is made of stainless steel, for example, and is coated with Teflon.

그리고, 활대(13)는 일정한 간격으로 나란히 배열되어 삽입되는 다수의 기판이 서로간에 일정한 공간을 확보할 수 있도록 한다.And, the base 13 is arranged side by side at a constant interval so that a plurality of substrates to be inserted to ensure a constant space between each other.

여기에서, 프레임(10)과 활대(13)는 테프론코팅이 되어 있어 무전해 금도금시 금이 거의 석출되지 않도록 하며, 그 결과 바스켓의 세척시에 비용을 절감할 수 있도록 하고 세척시간을 빠르게 할 수 있도록 한다.Here, the frame 10 and the base 13 is made of Teflon coating so that almost no gold is deposited during electroless gold plating, and as a result, it is possible to reduce the cost when cleaning the basket and to speed up the cleaning time. Make sure

또한, 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')나 하면 기판 가이드(16, 16')는 재질이 테프론으로서 무전해 금도금시 금이 거의 석출되지 않도록 하며, 그 결과 바스켓의 세척시에 비용을 절감할 수 있도록 하고 세척시간을 단축할 수 있도록 한다.In addition, the side substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, and 12c 'and the lower surface substrate guides 16 and 16' are made of teflon, so that gold is hardly deposited during electroless gold plating. This will save money when cleaning the basket and reduce the cleaning time.

한편, 프레임(10)의 하층에 있는 하면 기판 가이드(16, 16')는 사각 기둥으로, 도 4a의 사시도와 도 4b의 정면도에 도시된 바와 같이 기판이 삽입되어 아래로 빠져나가지 않도록 요철부(40)가 길이방향과 수직하게 다수 형성되어 있어 삽입되 는 기판을 고정한다. 물론, 하면 기판 가이드(16, 16')는 사각 기둥 형상 뿐만 아니라 원통형 그외 유사하게 형성할 수 있다.Meanwhile, the lower substrate guides 16 and 16 ′ in the lower layer of the frame 10 are rectangular pillars, and the uneven portions (not shown) are inserted into the substrate as shown in the perspective view of FIG. 4A and the front view of FIG. 4B. 40 is formed perpendicular to the longitudinal direction to fix the inserted substrate. Of course, the lower substrate guides 16 and 16 ′ may be formed in a cylindrical columnar shape as well as in a cylinder or the like.

물론, 도 4a 및 도 4b의 사시도와, 정면도에 도시된 바와 같이 하면 기판 가이드(16, 16')의 양측면에는 고정홈(42, 42')이 형성되어 프레임의 구조물이 삽입되어 하면 기판 가이드(16, 16')가 프레임(10)에 단단히 고정되도록 한다.4A and 4B, as shown in the front view, fixing grooves 42 and 42 ′ are formed at both side surfaces of the substrate guides 16 and 16 ′, so that the structure of the frame is inserted into the substrate guides ( 16, 16 'are securely fixed to the frame 10.

이러한 하면 기판 가이드(16, 16')가 도면에서는 두개를 구비하도록 하였으나 필요에 따라 더 많은 수를 구비하도록 할 수 있으며, 다만 하면 기판 가이드(16, 16')의 증가에 따라 도금 두께 조절에 있어서 어려움이 발생될 수 있다.Although the lower surface substrate guides 16 and 16 'are provided with two in the drawing, the number of substrate guides 16 and 16' may be increased as necessary. Difficulties can arise.

다음으로, 프레임(10)의 최상층은 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')의 지지 구조물 이외에도 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')를 단단히 고정할 수 있는 고정 구조물(18, 18')이 더 구비되어 있으며, 측면 기판 가이드(12a, 12a', 12b, 12b',12c, 12c')를 고정 구조물(18a, 18')에 고정끈(19, 19')으로 단단히 밀착시켜 고정한다.Next, the top layer of the frame 10 has side substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, 12c in addition to the supporting structures of the side substrate guides 12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, 12c '. ') Is further provided with fixing structures (18, 18') for firmly fixing the side substrate guides (12a, 12a ', 12b, 12b', 12c, 12c ') to the fixing structures (18a, 18'). Fix it tightly with fixing straps (19, 19 ').

그리고, 최상층의 상면에는 상면 기판 가이드(15, 15')가 형성되어 있는데, 도 5a에 도시된 바와 같이 상면 기판 가이드(15, 15')는 하면 기판 가이드(16, 16')와 달리 활대(50)로 되어 있으며, 횔대(50)는 도 5c의 분해 사시도에서 알 수 있는 바와 같이 말단부위가 절곡되어 있다.In addition, upper substrate guides 15 and 15 'are formed on the upper surface of the uppermost layer. As shown in FIG. 5A, the upper substrate guides 15 and 15' are different from the lower substrate guides 16 and 16 '. 50), and the end portion 50 is bent as shown in the exploded perspective view of FIG. 5C.

이러한, 상면 기판 가이드(15, 15')는 프레임(10)의 전면 구조물(11)과 후면 구조물(11, 11')에 설치되어 있는 도 5a 및도 5b의 사시도에 도시되어 있는 ㄷ자형의 고정부(51, 51')에 형성되어 있는 고정홈(53)에 삽입되며 고정리벳(52, 52')에 의해 단단히 고정되어 있다.The top substrate guides 15, 15 ′ are c-shaped high shown in the perspective view of FIGS. 5a and 5b installed on the front structure 11 and the back structure 11, 11 ′ of the frame 10. It is inserted into the fixing groove 53 formed in the government parts 51 and 51 'and is firmly fixed by the fixing rivets 52 and 52'.

한편, 최상층의 양측에는 걸이부(14, 14')가 형성되어 있어 도금장치의 행거에 바스켓을 걸어서 도금조안에 바스켓이 위치하도록 할 수 있다.On the other hand, hangers 14 and 14 'are formed on both sides of the uppermost layer, so that the basket can be placed in the plating bath by hanging the basket on the hanger of the plating apparatus.

이러한 걸이부(14, 14')의 부분 확대도가 도 6에 도시되어 있는데, 걸이부(14, 14)는 ㄷ자형의 걸림부(60)와 걸림부(60)의 일면에 돌출되어 있는 돌기부(62), 돌기부(62)에 형성된 관통구에 삽입되는 고정나사(64), 고정나사(64)를 감기 위한 작동레버(66)를 포함하고 있다.A partial enlarged view of the hook portions 14 and 14 'is shown in FIG. 6, wherein the hook portions 14 and 14 are protrusions protruding from the C-shaped locking portion 60 and one surface of the locking portion 60. (62), a fixing screw (64) inserted into the through hole formed in the projection (62), and an operating lever (66) for winding the fixing screw (64).

걸이부(14, 14')는 ㄷ자형의 걸림부(60)를 행거에 걸어 바스켓이 행거에 매달리도록 하며, 그리고 작동 레버(66)를 돌려 고정나사(64)의 일측이 행거를 행해 전진하도록하여 행거에 단단히 밀착 고정되도록 한다.The hook portions 14 and 14 'hang the C-shaped hook portion 60 on the hanger so that the basket is suspended on the hanger, and the operating lever 66 is rotated so that one side of the fixing screw 64 hangs forward. To make sure that it is tightly fixed to the hanger.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 종래 기술의 고정장치 없어 탈 포위한 에어 쇼킹시 바스켓이 요동유발시의 이물질발생 가능성을 근본적으로 해결하여 품질의 안정성을 확보할 수 있도록 하는 효과가 있다.According to the present invention as described above, there is an effect to ensure the stability of the quality by fundamentally solving the possibility of foreign matters generated when the basket during the air shock for defoaming without the fixing device of the prior art.

또한, 본 발명에 따르면, 측면 폭의 감소로 조 내벽과 간섭되어 생길 수 있었던 고금장비 파손 및 기판 파손의 가능성을 근본적으로 제거하는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, there is an effect to fundamentally eliminate the possibility of damage to the equipment and substrate damage that could be caused by interference with the inner wall of the tank by reducing the side width.

또한, 본 발명에 따르면, 중간부의 측면 기판 가이드의 높이를 확대하여 기판 삽입이 수월하게 하였고 제품빠짐으로 인한 기판파손의 가능성을 근본적으로 제거하는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, by increasing the height of the side substrate guide of the intermediate portion to facilitate the insertion of the substrate and there is an effect that essentially eliminates the possibility of substrate damage due to the product missing.

또한, 본 발명에 따르면, 바스켓 상부 기판 이탈 방지용 상면 기판 가이드를 설치하여 탈포를 위한 에어 쇼킹시에도 기판의 안착으로 안정적으로 유지되어 기판 파손 및 도금액 고임에 의한 기판 가이드 홈에 도금되는 현상을 방지해 품질이나 생산성의 향상을 가져올 수 있도록 하는 효과가 있다.In addition, according to the present invention, by installing the upper substrate guide for preventing the separation of the upper substrate of the basket, even during air shock for defoaming, it is stably maintained by the mounting of the substrate to prevent the phenomenon of plating on the substrate guide grooves due to substrate damage and plating solution pooling There is an effect that can lead to an improvement in quality or productivity.

또한, 본 발명에 따르면, 하면 기판 가이드를 추가로 설치하여 기판이 하면으로 이탈되는 것을 방지하여 기판 파손 및 기판간 접촉에 의해 미도금되는 문제점을 해결하였다.In addition, according to the present invention, the lower substrate guide is further provided to prevent the substrate from leaving the lower surface, thereby solving the problem of unplating due to substrate breakage and inter-substrate contact.

Claims (4)

삭제delete 전면이 개방되어 있고, 양측에 층을 형성하기 위한 측면 버팀대를 복수 포함하여 다층을 형성하고 있으며 테프론 코팅이 되어 있는 육방체의 프레임;A hexagonal frame having an open front surface, including a plurality of side braces for forming layers on both sides thereof, and having a multi-layered structure and having a Teflon coating; 상기 프레임의 각층의 양측에 각각 고정되어 있고 쌍을 이루고 있으며 테프론 재질로 되어 있는 복수의 측면 기판 가이드;A plurality of side substrate guides fixed to both sides of each layer of the frame and formed of a pair of Teflon materials; 각 층에 있는 한 쌍의 측면 기판 가이드에 각각의 양끝 단부가 고정되어 있고 서로 이격되게 나란히 배열되어 있어 삽입되는 기판이 서로 이격되도록 하며 테프론 코팅이 되어 있는 복수의 활대;A plurality of slides having respective ends of each end fixed to the pair of side substrate guides in each layer and arranged side by side to be spaced apart from each other so that the substrates to be inserted are spaced from each other and having a Teflon coating; 상기 프레임을 행거에 매달기 위하여 상기 프레임의 상측에 형성되어 있는 한 쌍의 걸이부; A pair of hook portions formed on an upper side of the frame to suspend the frame on a hanger; 삽입되는 기판이 외부로 이탈되는 것을 방지하기 위하여 최하층에 상기 활대를 가로지르는 방향으로 형성되어 있으며, 테프론 코팅이 되어 있는 복수의 하부 기판 가이드를 포함하며, In order to prevent the substrate to be inserted is separated from the outside is formed in the direction crossing the rod on the lowermost layer, and includes a plurality of lower substrate guides having a Teflon coating, 상기 측면 기판 가이드의 하면에는 상측을 향하여 다수의 고정홈이 형성되어 있으며, 상기 프레임의 각층 측면 버팀대에는 봉형상으로 상측을 향하여 돌기되어 있고, 상기 측면 기판 가이드의 고정홈에 삽입되어 고정되는 복수의 고정봉이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 무전해 도금용 바스켓.A plurality of fixing grooves are formed on the lower surface of the side substrate guide toward the upper side, and each side side brace of the frame is protruded upward in a rod shape and inserted into and fixed to the fixing groove of the side substrate guide. An electroless plating basket, characterized in that a fixed rod is formed. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 프레임의 최상층 버팀대에 양측이 각각 고정되고, 상기 활대를 가로지르는 방향으로 형성되어 있으며, 삽입되는 기판의 이탈을 방지하는 복수의 상면 기판 가이드를 더 포함하고 있는 무전해 도금용 바스켓.Both sides are fixed to the uppermost brace of the frame, the electroless plating basket further comprises a plurality of top substrate guides formed in a direction crossing the rod, to prevent the separation of the inserted substrate. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 걸이부는,The hook portion, 상기 프레임을 행거에 매달기 위하여 상기 프레임의 상측에 형성되어 있는 ㄷ자형의 걸림부; A U-shaped locking portion formed above the frame to suspend the frame on a hanger; 상기 걸림부의 일면에 돌출되어 있으며, 관통구가 형성되어 있는 돌기부;A protruding portion protruding from one surface of the locking portion and having a through hole formed therein; 상기 돌기부에 형성된 관통구에 삽입되는 고정나사; 및A fixing screw inserted into the through hole formed in the protrusion part; And 상기 고정나사를 감기 위한 작동레버를 포함하고 있는 무전해 도금용 바스켓.An electroless plating basket comprising an actuating lever for winding the fixing screw.
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