KR100672253B1 - Stage of dispenser - Google Patents

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KR100672253B1
KR100672253B1 KR1020050072457A KR20050072457A KR100672253B1 KR 100672253 B1 KR100672253 B1 KR 100672253B1 KR 1020050072457 A KR1020050072457 A KR 1020050072457A KR 20050072457 A KR20050072457 A KR 20050072457A KR 100672253 B1 KR100672253 B1 KR 100672253B1
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KR
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stage
base member
dispenser
support block
honeycomb
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KR1020050072457A
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Inventor
김준영
이재욱
윤성호
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주식회사 탑 엔지니어링
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Abstract

A stage of a dispenser is provided to reduce the weight per unit area while the structural strength is enhanced, by forming a plurality of spaces in a base member and coupling the base member with support blocks. A stage of a dispenser includes a base member(710) having predetermined thickness and area, wherein the base member has a plurality of spaces formed therein. Support blocks(720) having predetermined thickness and area has a plurality of spaces formed therein. The support blocks are fixedly coupled with one surface of the base member at a predetermined distance. The base member includes upper and lower plates having the same area, and a honeycomb member coupled between the upper and lower plates.

Description

디스펜서의 스테이지{STAGE OF DISPENSER}Stage of dispenser {STAGE OF DISPENSER}

도 1은 본 출원인이 선출원한 디스펜서를 도시한 사시도,1 is a perspective view showing a dispenser filed by the applicant of the present application;

도 2는 상기 디스펜서를 구성하는 스테이지의 종래 구조를 도시한 사시도,2 is a perspective view showing a conventional structure of a stage constituting the dispenser;

도 3은 본 발명의 디스펜서 스테이지의 일실시예를 도시한 사시도,3 is a perspective view showing one embodiment of the dispenser stage of the present invention;

도 4는 본 발명의 디스펜서 스테이지를 분해하여 도시한 사시도,4 is an exploded perspective view showing the dispenser stage of the present invention;

도 5는 본 발명의 디스펜서 스테이지를 구성하는 지지 블럭을 분해하여 도시한 사시도,5 is an exploded perspective view showing a supporting block constituting the dispenser stage of the present invention;

도 6은 본 발명의 디스펜서 스테이지의 다른 실시예를 도시한 사시도,6 is a perspective view showing another embodiment of the dispenser stage of the present invention;

도 7은 본 발명의 디스펜서 스테이지의 다른 실시예를 구성하는 분할형 지지 블럭을 분해하여 도시한 사시도.Figure 7 is an exploded perspective view showing the divided support block constituting another embodiment of the dispenser stage of the present invention.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **** Description of symbols for the main parts of the drawing **

710; 베이스 부재 711,721,731; 상부 플레이트710; Base members 711,721,731; Upper plate

712,722,732; 하부 플레이트 713,723,733; 허니 컴 부재712,722,732; Bottom plate 713,723,733; Honeycomb absence

720; 지지 블럭 730; 분할형 지지 블럭720; Support block 730; Split Support Block

E; 선형 지지돌기E; Linear support protrusion

본 발명은 디스펜서에 관한 것으로, 특히, 단위 면적당 무게를 감소시킬 뿐만 아니라 구조적 강도를 높일 수 있도록 한 디스펜서의 스테이지에 관한 것이다.The present invention relates to a dispenser, and more particularly, to a stage of a dispenser that not only reduces the weight per unit area but also increases the structural strength.

일반적으로 엘시디는 판형 글라스에 트랜지스터와 같은 구동 소자들 등이 구비된 하부 기판과, 판형 글라스에 컬러 필터층 등이 구비된 상부 기판과, 그 하부 기판과 상부 기판을 접합시키는 실링재와, 그 하부 기판과 상부 기판사이에 충진된 액정층을 포함하여 구성된다.In general, an LCD includes a lower substrate including driving elements such as a transistor in a plate glass, an upper substrate provided with a color filter layer, etc. in a plate glass, a sealing material for bonding the lower substrate and the upper substrate, and a lower substrate. It comprises a liquid crystal layer filled between the upper substrate.

이와 같은 엘시디는 하부 기판에 형성된 구동 소자들에 의해 액정층의 액정 분자들을 구동하게 되며 그 액정 분자들의 구동에 의해 그 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다. The LCD drives the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer by driving elements formed on the lower substrate, and displays information by controlling the amount of light passing through the liquid crystal layer by driving the liquid crystal molecules.

상기 엘시디의 제작방법 중의 하나는 다음과 같다.One of the manufacturing methods of the LCD is as follows.

먼저, 소정의 크기를 갖는 글라스에 구동 소자들 등을 형성한 기판을 제작하고, 다른 글라스에 컬러 필터층 등을 형성한 기판을 제작하게 된다. 그리고 그 두개의 기판들 중 하나의 기판에 실링재를 소정 패턴으로 도포하고 그 실링재 패턴의 내측 영역에 액정을 적하한 다음 그 두 개의 기판을 합착하게 된다. 그 두 개의 기판을 합착한 것을 일명 마더 글라스 또는 마더 기판이라고 하며, 이하에서부터 마더 글라스라고 한다. 그리고 상기 마더 글라스를 절단하여 엘시디를 구성하는 단위 액정 패널들을 제작하게 된다.First, a substrate on which driving elements and the like are formed on a glass having a predetermined size is manufactured, and a substrate on which a color filter layer or the like is formed on another glass is manufactured. Then, the sealing material is applied to one of the two substrates in a predetermined pattern, the liquid crystal is dropped on the inner region of the sealing material pattern, and then the two substrates are bonded. The two substrates bonded together are called a mother glass or a mother substrate, hereinafter referred to as a mother glass. The mother glass is cut to manufacture unit liquid crystal panels constituting the LCD.

이와 같은 엘시디 제작 방법은 각각의 기능을 갖는 제조 장비들이 배열된 제조 라인을 따라 진행되며, 특히 액정을 적하하는 공정과 실링재를 도포하는 공정은 디스펜서에 의해 진행된다.Such a method of manufacturing an LCD is performed along a manufacturing line in which manufacturing equipment having respective functions is arranged. In particular, a process of dropping liquid crystal and applying a sealing material is performed by a dispenser.

도 1은 본 출원인이 개발하여 선출원한 디스펜서의 일예를 도시한 사시도이다. 이에 도시한 바와 같이, 상기 디스펜서는 소정 형상을 갖는 프레임(100)의 상면에 구비된 고정 테이블(200)과, 상기 고정 테이블(200)의 상부에 프레임(100)의 전,후 방향(도면상 P의 위치를 기준으로 하며, 이하에서 방향은 도면상 P의 위치를 기준으로 함)으로 움직임 가능하게 설치되며 그 위에 기판이 놓여지는 스테이지(300)와, 상기 스테이지(300)를 프레임(100)의 전후 방향으로 구동시키는 제1 리니어 모터(미도시)와, 상기 고정 테이블(200)의 양측에 각각 위치하도록 프레임(100)의 전후 방향으로 평행하게 장착되는 Y축 가이드(400)들과, 상기 스테이지(300)를 가로지르도록 그 양단이 각각 상기 Y축 가이드(400)들에 움직임 가능하게 결합되는 헤드 지지대(500)와, 상기 헤드 지지대(500)를 Y축 가이드(400)들을 따라 구동시키는 제2 리니어 모터(미도시)와, 상기 헤드 지지대(500) 에 움직임 가능하게 장착되며 액정이 적하되는 헤드 유니트(600)들과, 상기 헤드 유니트(600)들을 구동시키는 제3 리니어 모터(미도시)를 포함하여 구성된다.1 is a perspective view showing an example of a dispenser developed and filed by the applicant. As shown in the drawing, the dispenser has a fixed table 200 provided on the upper surface of the frame 100 having a predetermined shape, and the front and rear directions of the frame 100 on the upper portion of the fixed table 200 (in the drawings). Based on the position of P, hereinafter, the direction is based on the position of P in the drawing) is installed so as to move the substrate 300 thereon and the stage 300, the frame 300 A first linear motor (not shown) for driving in the front-rear direction of the Y-axis guides 400 mounted in parallel in the front-rear direction of the frame 100 so as to be located at both sides of the fixed table 200, and Both ends of the head support 500 are movably coupled to the Y-axis guides 400 so as to cross the stage 300, and the head support 500 is driven along the Y-axis guides 400. A second linear motor (not shown) and the head It mounted movably in the belt 500 and is configured to include a third linear motor (not shown) which with the head unit 600, the liquid crystal is dropped, driving the head unit 600.

상기한 바와 같은 디스펜서의 작동은 다음과 같다.Operation of the dispenser as described above is as follows.

먼저, 이송 로봇에 의해 기판이 이송되어 스테이지(300) 위에 놓여진다. First, the substrate is transferred by the transfer robot and placed on the stage 300.

그리고 미리 입력된 패턴 데이터에 따라 상기 헤드 유니트(600)가 이동하면서 상기 스테이지(300)위에 놓여진 글라스위에 액정을 적하하게 된다. 상기 액정이 적하되는 위치는 제1 리니어 모터에 의해 구동되는 스테이지(300)의 위치와 제2 리니어 모터에 의해 구동되는 헤드 지지대(500)의 위치와 제3 리니어 모터에 의해 구 동되는 헤드 유니트(600)의 위치에 의해 결정된다. 상기 기판위에 액정을 적하는 적하 공정이 끝나고 나면 이송 로봇에 의해 그 기판이 다른 공정이 진행되는 장비로 이동된다.The head unit 600 moves in accordance with the previously input pattern data, thereby dropping the liquid crystal onto the glass placed on the stage 300. The position at which the liquid crystal is dropped is a position of the stage 300 driven by the first linear motor, a position of the head support 500 driven by the second linear motor, and a head unit driven by the third linear motor ( 600). After the dropping process of dropping the liquid crystal on the substrate is finished, the substrate is moved to the equipment that the other process proceeds by the transfer robot.

상기 헤드 유니트(600)는 공급되는 유체의 재료에 따라 액정 이외에 실링재 등이 헤드 유니트을 통해 기판위에 도포될 수 있다. 이때, 실링재를 기판위에 도포할 경우 별도의 헤드 유니트로 실링재를 공급하게 된다. The head unit 600 may be coated on the substrate through the head unit in addition to the liquid crystal, depending on the material of the fluid to be supplied. At this time, when the sealing material is applied on the substrate it is supplied to the sealing material in a separate head unit.

한편, 엘시디 제조 라인에서 생산되는 엘시디의 크기를 크게 할 뿐만 아니라 생산성을 높이기 위하여 마더 글라스의 크기가 점점 대형화되어 가는 추세이다. 상기 마더 글라스가 대형화됨에 따라 그 마더 글라스를 구성하는 기판을 지지하는 스테이지(300)의 크기가 커지게 된다. 상기 스테이지(300)가 커짐에 따라 그 스테이지(300)의 무게가 증가하게 되어 그 스테이지(300)를 구동하는 모터의 용량이 증가하게 되고 그 스테이지(300)의 구동이 불안정하게 될 뿐만 아니라 구동 속도가 떨어지게 된다. 즉, 무거운 스테이지를 가벼운 스테이지와 같은 속도로 움직이게 될 경우 그 무거운 스테이지의 정지시 관성에 의해 충격이 발생하게 되며 그 충격으로 인하여 스테이지 및 그 스테이지 위에 놓여진 기판에 진동이 발생하게 되며 그 기판에 진동이 발생하게 되면 그 기판위에 적하되는 액정 또는 그 기판위에 도포되는 실링재가 설정된 패턴으로 정확하게 적하 또는 도포되지 못하게 된다. 따라서 스테이지의 무게가 무거워질수록 구동이 불안정하게 될 뿐만 아니라 구동 속도가 떨어지게 되어 공정의 신뢰성이 저하될 뿐만 아니라 생산성이 저하된다. On the other hand, in order to increase the size of the LCD produced in the LCD manufacturing line as well as to increase the productivity of the size of the mother glass is gradually increasing in size. As the mother glass becomes larger, the size of the stage 300 supporting the substrate constituting the mother glass becomes larger. As the stage 300 increases, the weight of the stage 300 increases, so that the capacity of the motor driving the stage 300 increases and the driving of the stage 300 becomes unstable as well as the driving speed. Will fall. That is, when the heavy stage is moved at the same speed as the light stage, an impact is generated by the inertia when the heavy stage is stopped, and the shock causes vibration on the stage and the substrate placed on the stage. When generated, the liquid crystal dropped on the substrate or the sealing material applied on the substrate cannot be accurately dropped or applied in the set pattern. Therefore, the heavier the stage is, the more unstable the driving is, the lower the driving speed is, which lowers the reliability of the process and reduces productivity.

상기 스테이지(300)의 크기의 증가에 따른 무게를 감소시키기 위하여 스테이 지(300)의 두께를 감소키게 될 경우 그 스테이지(300)의 강성이 저하되어 스테이지(300)가 휘어지게 되는 문제가 발생하게 된다. When the thickness of the stage 300 is reduced in order to reduce the weight due to the increase in the size of the stage 300, the rigidity of the stage 300 is lowered, causing the stage 300 to bend. do.

상기 디스펜서의 스테이지는, 도 2에 도시된 바와 같이, 일정 두께와 사각 형태의 면적을 갖는 베이스 플레이트(310)의 상면에 일정 간격을 두고 삽입홈(320)들이 형성되고 그 삽입홈(320)들의 사이에 위치하는 영역들의 상면에 소정 형상과 일정 깊이를 갖는 지지핀(330)들이 각각 구비되어 이루어진다. 기판은 그 지지핀(330)들 위에 놓여지게 되며 그 기판을 이송 로봇이 스테이지 위에 올려놓거나 그 스테이지에 놓여진 기판을 들어올릴 경우 이송 로봇의 팔이 상기 삽입홈(320)들에 삽입된다.As shown in FIG. 2, the stage of the dispenser has insertion grooves 320 formed at regular intervals on an upper surface of the base plate 310 having a predetermined thickness and an area of a square shape, Support pins 330 having a predetermined shape and a predetermined depth are respectively provided on the upper surfaces of the regions located therebetween. The substrate is placed on the support pins 330 and the arm of the robot is inserted into the insertion grooves 320 when the substrate is placed on the stage or lifted by the substrate.

상기 삽입홈(320)은 일정 폭과 깊이를 가지며 한 방향으로 형성된다.The insertion groove 320 has a predetermined width and depth and is formed in one direction.

상기 스테이지(300)의 재료는 알루미늄이며, 그 스테이지(300)는 주물에 의해 제작된 후 정밀 가공이 필요한 부분을 정밀 가공하게 된다. The stage 300 is made of aluminum, and the stage 300 is manufactured by casting and then precisely processed a portion requiring precision machining.

그러나 상기한 바와 같은 종래 디스펜서의 스테이지는 베이스 플레이트(310)의 내부가 채워진 판 형상으로 형성되므로 그 스테이지(300)의 면적을 증가시킬수록 그 증가된 단위 면적당 무게가 매우 큰 비율로 증가하게 되어 그 스테이지(300)의 무게가 매우 무겁게 된다. 따라서 스테이지 크기의 증가에 따라 그 스테이지를 구동시키는 모터의 용량이 증가하게 되고 또한 그 스테이지의 구동이 불안정하게 되어 진동이 발생하게 될 뿐만 아니라 구동 속도가 떨어지게 되는 문제점이 있다.However, since the stage of the conventional dispenser as described above is formed in the shape of a plate filled with the inside of the base plate 310, as the area of the stage 300 is increased, the increased weight per unit area increases at a very large rate. The weight of the stage 300 becomes very heavy. Therefore, as the stage size increases, the capacity of the motor driving the stage increases, and the driving of the stage becomes unstable, which causes vibration as well as a drop in driving speed.

상기한 바와 같은 문제점을 감안하여 고안한 본 발명의 목적은 단위 면적당 무게를 감소시킬 뿐만 아니라 구조적 강도를 높일 수 있도록 한 디스펜서의 스테이지를 제공함에 있다.An object of the present invention devised in view of the above problems is to provide a stage of a dispenser that not only reduces the weight per unit area but also increases the structural strength.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 일정 두께와 면적을 가지며 내부에 다수개의 공간들이 형성된 베이스 부재와, 일정 두께와 면적을 가지며 내부에 다수개의 공간들이 형성되어 상기 베이스 부재의 일면에 일정 간격을 두고 결합되는 지지 블럭들을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스펜서의 스테이지가 제공된다.In order to achieve the object of the present invention as described above, a base member having a predetermined thickness and area and having a plurality of spaces therein, and a plurality of spaces having a predetermined thickness and area therein are formed on one surface of the base member. A stage of a dispenser is provided, characterized in that it comprises support blocks which are joined at intervals.

이하, 본 발명의 디스펜서 스테이지를 첨부도면에 도시한 실시예에 따라 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the dispenser stage of the present invention will be described according to the embodiment shown in the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 디스펜서 스테이지의 일실시예를 도시한 사시도이다.Figure 3 is a perspective view showing one embodiment of the dispenser stage of the present invention.

이에 도시한 바와 같이, 상기 디스펜서의 스테이지는 베이스 부재(710)의 상면에 일정 간격을 두고 다수개의 지지 블럭(720)들이 고정 결합되어 이루어진다. 상기 지지 블럭(720)들사이의 간격(G)을 통해 이송 로봇의 팔이 삽입되거나 빠지게 된다.As shown in the drawing, the stage of the dispenser is fixedly coupled to the plurality of support blocks 720 at regular intervals on the upper surface of the base member 710. The arm of the transfer robot is inserted or removed through the gap G between the support blocks 720.

상기 베이스 부재(710)는 일정 두께와 면적을 가지며 그 내부에 다수개의 공간들이 구비된 육면체 형태로 형성되며, 그 육면체는 두께가 얇고 면적이 넓은 형태이다.The base member 710 has a predetermined thickness and area and is formed in a hexahedron shape having a plurality of spaces therein, and the hexahedron has a thin thickness and a wide area.

상기 베이스 부재(710)를 보다 상세하게 설명하면, 상기 베이스 부재(710)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 사각 형태로 형성된 상부 플레이트(711)와, 그 상부 플레이트(711)와 같은 형태로 형성되는 하부 플레이트(712)와, 벌집 형상으로 형성되며 그 상부 플레이트(711)와 하부 플레이트(712)사이에 위치되어 그 상,하부 플레이트들(711)(712)과 결합되는 허니 컴(Honeycomb) 부재(713)를 포함하여 이루어진다.Referring to the base member 710 in more detail, as shown in Figure 4, the base member 710, the upper plate 711 formed in a square shape and the same shape as the upper plate 711 The honeycomb is formed in the lower plate 712 and the honeycomb formed in a honeycomb shape and positioned between the upper plate 711 and the lower plate 712 and coupled to the upper and lower plates 711 and 712. And a member 713.

상기 허니 컴 부재(713)는 상기 상,하부 플레이트(711)(712)의 면적과 같은 면적과 일정 두께로 형성되며 그 벌집 모양을 형성하는 육각 형태의 관통구멍들은 상,하부 플레이트(711)(712)에 대하여 수직 방향으로 형성된다.The honeycomb member 713 has the same area and a predetermined thickness as that of the upper and lower plates 711 and 712, and the hexagonal through holes forming the honeycomb shape have upper and lower plates 711 ( 712 is formed in a direction perpendicular to the.

한편, 상기 베이스 부재(710)의 네 측면에 상기 허니 컴 부재(713)의 측면을 복개하도록 별도의 플레이트(미도시)들이 부착될 수 있다.Meanwhile, separate plates (not shown) may be attached to four side surfaces of the base member 710 to cover the side surfaces of the honeycomb member 713.

상기 지지 블럭(720)은 일정 두께와 면적을 가지며 그 내부에 다수개의 공간들이 구비된 육면체 형태로 형성되며, 그 육면체는 두께가 얇고 면적이 넓은 형태이다.The support block 720 is formed in a hexahedron shape having a predetermined thickness and area and having a plurality of spaces therein, and the hexahedron is thin in shape and wide in area.

상기 지지 블럭(720)을 보다 상세하게 설명하면, 상기 지지 블럭(720)은, 도 5에 도시한 바와 같이, 사각 형태로 형성된 상부 플레이트(721)와, 그 상부 플레이트(721)와 같은 형태로 형성되는 하부 플레이트(722)와, 벌집 형상으로 형성되며 그 상부 플레이트(721)와 하부 플레이트(722)사이에 위치되어 그 상,하부 플레이트들(721)(722)과 결합되는 허니 컴 부재(723)를 포함하여 이루어진다.The support block 720 will be described in more detail. As shown in FIG. 5, the support block 720 has a top plate 721 formed in a square shape and the same shape as the top plate 721. A honeycomb member 723 formed in a honeycomb shape and positioned between the upper plate 721 and the lower plate 722 and coupled to the upper and lower plates 721 and 722. )

상기 지지 블럭(720)의 상부 플레이트(721)와 하부 플레이트(722)는 직사각형이다. 즉, 상기 지지 블럭(720)은 평면상 직사각형이다.The upper plate 721 and the lower plate 722 of the support block 720 are rectangular. That is, the support block 720 is a planar rectangle.

상기 지지 블럭(720)의 허니 컴 부재(723)는 상기 상,하부 플레이트 (721)(722)의 면적과 같은 면적으로 형성됨이 바람직하다. 그 허니 컴 부재(723)는 일정 두께로 형성되며 그 벌집 모양을 형성하는 육각 형태의 관통구멍들은 상,하부 플레이트(721)(722)에 대하여 수직 방향으로 형성된다.The honeycomb member 723 of the support block 720 is preferably formed in the same area as the area of the upper and lower plates 721 and 722. The honeycomb member 723 has a predetermined thickness and hexagonal through holes forming the honeycomb shape are formed in a vertical direction with respect to the upper and lower plates 721 and 722.

상기 지지 블럭(720)의 상면에 기판이 놓여지는 선형 지지 돌기들(E)이 구비됨이 바람직하다. 상기 선형 지지 돌기들(E)은 지지 블럭(720)의 상면 가장자리에 소정의 폭과 높이를 갖는 직선 형태로 형성된 가장자리 돌기(714)와 그 가장자리 돌기(714)의 내측에 소정의 폭과 높이를 갖는 직선 형태로 형성된 내측 돌기(715)로 이루어진다. 상기 선형 지지 돌기들(E)의 높이는 일정하다.It is preferable that linear support protrusions E are placed on the upper surface of the support block 720. The linear support protrusions E have a predetermined width and height inside the edge protrusion 714 formed in a straight shape having a predetermined width and height at the top edge of the support block 720 and the edge protrusion 714. The inner protrusion 715 is formed in a straight line shape. The height of the linear support protrusions E is constant.

상기 지지 블럭(720)의 네 측면에 상기 허니 컴 부재(723)의 측면을 복개하도록 별도의 플레이트들(미도시)이 부착될 수 있다.Separate plates (not shown) may be attached to four side surfaces of the support block 720 to cover the side surfaces of the honeycomb member 723.

상기 베이스 부재(710)는 평면상 사각형이며, 그 위에 결합되는 지지 블럭(720)들의 각 장변의 길이가 상기 베이스 부재(710)의 한 변의 길이와 같다. The base member 710 has a planar quadrangle, and the length of each long side of the support blocks 720 coupled thereon is equal to the length of one side of the base member 710.

상기 베이스 부재(710)의 상면에 결합된 지지 블럭(720)들 중 그 베이스 부재(710)의 양측에 각각 위치하는 지지 블럭의 단변의 길이(폭)(W1)가 다른 지지 블럭들의 단변의 길이(폭)(W2)보다 작게 형성됨이 바람직하다. 한편, 상기 베이스 부재(710)의 양측에 위치하는 지지 블럭의 단변의 길이(폭)(W1)와 다른 지지 블럭들의 단변의 길이(폭)(W2)가 서로 같을 수 있다.Lengths of the short sides of the supporting blocks having different lengths (widths) W1 of the short sides of the supporting blocks positioned on both sides of the base member 710 among the supporting blocks 720 coupled to the upper surface of the base member 710. It is preferable to form smaller than (width) W2. On the other hand, the length (width) W1 of the short sides of the support blocks positioned on both sides of the base member 710 and the length (width) W2 of the short sides of the other support blocks may be the same.

상기 베이스 부재(710)와 지지 블럭(720)은 볼트와 너트 등 다양한 체결 수단에 의해 결합된다.The base member 710 and the support block 720 are coupled by various fastening means such as bolts and nuts.

상기 베이스 부재(710)의 하부 플레이트(712)에 디스펜서를 구성하는 고정 테이블(200)위에서 스테이지가 움직일 수 있도록 가이드 수단(S)이 구비된다.Guide means (S) are provided on the lower plate 712 of the base member 710 to move the stage on the fixed table 200 constituting the dispenser.

본 발명의 디스펜서 스테이지의 다른 실시예는, 도 6에 도시한 바와 같이, 베이스 부재(710)의 상면에 일정 간격(G)을 두고 복 수개의 분할형 지지 블럭(730)들이 결합되어 이루어진다.Another embodiment of the dispenser stage of the present invention, as shown in Figure 6, is a plurality of divided support block 730 is coupled to the upper surface of the base member 710 at a predetermined interval (G).

상기 베이스 부재(710)는 위에서 설명한 구조와 같은 형태로 이루어진다.The base member 710 has the same shape as the structure described above.

상기 분할형 지지 블럭(730)은 사각 형태로 형성된 상부 플레이트(731)와, 그 상부 플레이트(731)와 같은 형태로 형성되는 하부 플레이트(732)와, 벌집 형상으로 형성되며 그 상부 플레이트(731)와 하부 플레이트(732)사이에 위치되어 그 상,하부 플레이트들(731)(732)과 결합되는 허니 컴 부재(733)를 포함하여 이루어진다.The split support block 730 has a top plate 731 formed in a rectangular shape, a bottom plate 732 formed in the same shape as the top plate 731, and a top plate 731 formed in a honeycomb shape. And a honeycomb member 733 positioned between the lower plate 732 and coupled to the upper and lower plates 731 and 732.

상기 상부 플레이트(731)와 하부 플레이트(732)는 직사각형이다.The upper plate 731 and the lower plate 732 are rectangular.

상기 허니 컴 부재(733)는 상기 상,하부 플레이트(731)(732)의 면적과 같은 면적과 일정 두께로 형성되며 그 벌집 모양을 형성하는 육각형의 관통구멍들은 상,하부 플레이트(731)(732)에 대하여 수직 방향으로 형성된다.The honeycomb member 733 is formed to have the same area and a predetermined thickness as that of the upper and lower plates 731 and 732, and the hexagonal through holes forming the honeycomb shape are upper and lower plates 731 and 732. It is formed in the vertical direction with respect to.

상기 분할형 지지 블럭(730)의 장변의 길이는 상기 베이스 부재(710)의 한 쪽 변 길이의 1/2과 같다. 또한 상기 분할형 지지 블럭(730)의 장변의 길이는 상기 베이스 부재(710)의 한 쪽 변 길이의 1/3 또는 1/4가 될 수 있다.The length of the long side of the split support block 730 is equal to 1/2 of the length of one side of the base member 710. In addition, the length of the long side of the split support block 730 may be 1/3 or 1/4 of the length of one side of the base member 710.

상기 분할형 지지 블럭(730)은 상기 베이스 부재(710)의 한 방향으로 두 개가 연이어 배열되도록 결합된다. 그 두 개의 분할형 지지 블럭(730)들은 위에서 설명한 지지 블럭(720)의 크기와 같게 된다.The split support block 730 is coupled so that two are arranged successively in one direction of the base member 710. The two split support blocks 730 are equal in size to the support block 720 described above.

상기 분할형 지지 블럭(730)의 상면에 소정 형상으로 형성된 선형 지지 돌기(E)가 구비된다. 상기 선형 지지 돌기(E)는 위에서 설명한 바와 같다.On the upper surface of the split support block 730 is provided a linear support protrusion (E) formed in a predetermined shape. The linear support protrusion E is as described above.

상기 베이스 부재(710)와 분할형 지지 블럭(730)들은 볼트와 너트 등 다양한 체결 수단에 의해 결합된다.The base member 710 and the split support block 730 are coupled by various fastening means such as bolts and nuts.

상기 베이스 부재(710)의 하부 플레이트(712)에 디스펜서를 구성하는 고정 테이블(200)위에서 스테이지가 움직일 수 있도록 가이드 수단(S)이 구비된다.Guide means (S) are provided on the lower plate 712 of the base member 710 to move the stage on the fixed table 200 constituting the dispenser.

이하, 본 발명의 디스펜서 스테이지의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operation and effect of the dispenser stage of the present invention will be described.

본 발명의 디스펜서 스테이지는 그 디스펜서를 구성하는 고정 테이블(200)위에 한 방향으로 움직임 가능하게 장착되며, 그 스테이지는 그 디스펜서를 구성하는 구동수단에 의해 구동된다. 상기 구동수단은 모터를 포함하여 구성된다.The dispenser stage of the present invention is mounted to be movable in one direction on a fixed table 200 constituting the dispenser, and the stage is driven by driving means constituting the dispenser. The drive means comprises a motor.

별도의 이송 로봇이 기판을 이송하여 상기 스테이지위에 올려놓게 될 뿐만 아니라 그 디스펜서에서 적하 공정이 끝나게 되면 그 기판을 들어올려 다음 공정이 이루어지는 장비로 이송하게 된다.A separate transfer robot not only transfers the substrate and puts it on the stage, but also when the dropping process is completed in the dispenser, the substrate is lifted and transferred to the equipment in which the next process is performed.

상기 기판은 스테이지를 구성하는 지지 블럭(720)들의 상면에 접촉되도록 놓이게 된다.The substrate is placed in contact with the top surfaces of the supporting blocks 720 constituting the stage.

상기 이송 로봇이 기판을 스테이지 위에 올려놓거나 그 스테이지 위에 놓여진 기판을 들어올릴 때 그 이송 로봇의 팔이 스테이지의 지지 블럭(720)들사이의 간격(G)에 삽입되어 그 기판을 스테이지 위에 올려놓거나 그 기판을 들어올리게 된다.When the transfer robot places the substrate on the stage or lifts the substrate placed on the stage, the arm of the transfer robot is inserted into the gap G between the supporting blocks 720 of the stage to place the substrate on the stage or The substrate is lifted.

상기 스테이지가 베이스 부재(710)와 분할형 지지 블럭(730)들으로 구성된 경우, 기판은 분할형 지지 블럭(730)들 위에 놓여지게 된다. 그리고 상기 이송 로봇이 기판을 스테이지 위에 올려놓거나 그 스테이지 위에 놓여진 기판을 들어올릴 때 그 이송 로봇의 팔이 스테이지의 분할형 지지 블럭(730)들사이의 간격(G)에 삽입된다.When the stage consists of the base member 710 and the split support blocks 730, the substrate is placed on the split support blocks 730. And when the transfer robot places the substrate on the stage or lifts the substrate placed on the stage, the arm of the transfer robot is inserted into the gap G between the divided support blocks 730 of the stage.

본 발명의 디스펜서 스테이지는 베이스 부재(710)와 그 베이스 부재(710)에 결합되는 지지 블럭(720)들 또는 분할형 지지 블럭(730)들의 내부에 벌집 모양의 공간들이 형성되므로 그 스테이지의 크기가 커지더라도 그 증가되는 단위 면적당 무게의 증가율이 작게 된다.In the dispenser stage of the present invention, since the honeycomb-shaped spaces are formed inside the base member 710 and the support blocks 720 or the split support blocks 730 coupled to the base member 710, the size of the stage is increased. Even if it increases, the increase rate of the weight per unit area increases.

아울러, 베이스 부재(710)와 지지 블럭(720)들의 내부 구조가 육각 구멍 형태인 벌집 모양으로 형성되므로 구조적 강도가 높게 된다.In addition, since the internal structures of the base member 710 and the support blocks 720 are formed in a honeycomb shape in the form of a hexagonal hole, the structural strength is high.

종래의 스테이지는 베이스 플레이트(310)의 내부에 공간들이 없게 되므로 스테이지의 크기가 증가시 그 증가되는 단위 면적당 무게의 증가율이 크게 되나, 본 발명은 스테이지의 내부에 벌집 모양의 공간들이 형성되므로 증가되는 단위 면적당 무게의 증가율이 종래의 구조에 비해 상대적으로 작게 된다.In the conventional stage, since there are no spaces in the base plate 310, the increase rate of the weight per unit area is increased when the size of the stage is increased, but the present invention is increased because honeycomb-shaped spaces are formed in the stage. The rate of increase in weight per unit area is relatively small compared to the conventional structure.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 디스펜서 스테이지는 그 크기를 크게 하면서 무게가 종래의 구조에 비하여 상대적으로 가볍게 되고 아울러 구조적 강도가 높게 되므로 스테이지의 구동이 안정되어 진동 발생이 최소화되고 그 스테이지의 구동이 안정됨에 따라 액정의 적하 또는 실링재의 도포가 정확하게 이루어지게 되어 적하 공정의 신뢰성을 높일 수 있게 된다. 아울러, 무게가 상대적으로 가볍게 되므로 그 스테이지의 구동 속도가 빠르게 되어 생산성을 높일 수 있는 효가 있다.As described above, the dispenser stage of the present invention has a larger size and a lighter weight than the conventional structure, and structural strength is high. As it is stabilized, the dropping of the liquid crystal or the application of the sealing material is performed accurately, thereby increasing the reliability of the dropping process. In addition, since the weight is relatively light, the driving speed of the stage is increased to increase the productivity.

또한, 스테이지의 무게가 상대적으로 가볍게 되므로 그 스테이지를 구동하는 구동수단의 용량, 즉 모터의 용량을 크게 할 필요가 없게 된다. 이로 인하여 스테이지 크기의 증가에 따른 모터의 용량 증가를 배제하게 되어 모터의 단가를 감소시키게 된다.In addition, since the weight of the stage is relatively light, it is not necessary to increase the capacity of the driving means for driving the stage, that is, the capacity of the motor. As a result, the increase in the capacity of the motor due to the increase in the stage size is excluded, thereby reducing the unit cost of the motor.

Claims (7)

일정 두께와 면적을 가지며 내부에 다수개의 공간들이 형성된 베이스 부재와, 일정 두께와 면적을 가지며 내부에 다수개의 공간들이 형성되어 상기 베이스 부재의 일면에 일정 간격을 두고 고정 결합되는 지지 블럭들을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 디스펜서의 스테이지.A base member having a predetermined thickness and area and formed with a plurality of spaces therein, and a plurality of spaces having a predetermined thickness and area formed therein and supporting blocks fixedly coupled to one surface of the base member at predetermined intervals. Stage of the dispenser characterized in that. 제 1 항에 있어서, 상기 베이스 부재는 서로 같은 면적을 갖는 상,하부 플레이트와, 벌집 형상으로 형성되어 상기 상,하부 플레이트의 사이에 결합되는 허니 컴 부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 디스펜서의 스테이지.The dispenser stage of claim 1, wherein the base member comprises upper and lower plates having the same area as each other, and a honeycomb member formed in a honeycomb shape and coupled between the upper and lower plates. . 제 1 항에 있어서, 상기 지지 블럭은 서로 같은 면적을 갖는 상,하부 플레이트와, 벌집 형상으로 형성되어 상기 상,하부 플레이트의 사이에 결합되는 허니 컴 부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 디스펜서의 스테이지.The dispenser stage of claim 1, wherein the support block comprises upper and lower plates having the same area as each other, and a honeycomb member formed in a honeycomb shape and coupled between the upper and lower plates. . 제 1 항에 있어서, 상기 베이스 부재의 양쪽 가장자리에 위치하는 지지 블럭들의 폭이 그 양쪽 가장자리의 안쪽에 위치하는 지지 블럭들의 폭보다 작은 것을 특징으로 하는 디스펜서의 스테이지.2. The stage of the dispenser of claim 1, wherein the width of the support blocks located at both edges of the base member is smaller than the width of the support blocks located at both edges of the base member. 제 1 항에 있어서, 상기 베이스 부재는 평면 형태가 사각형으로 형성되고, 상기 지지 블럭의 한 쪽 길이는 그 베이스 부재의 한 쪽 길이와 같은 길이를 갖는 장변과 그 지지 블럭의 다른 쪽 길이는 그 베이스 부재의 다른 쪽 길이보다 작은 길이를 갖는 단변으로 이루어진 직사각형 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 디스펜서의 스테이지.2. The base member according to claim 1, wherein the base member is formed in a quadrangular shape, and one side of the support block has a length equal to the length of one side of the base member, and the other side of the support block has a base length. A stage of the dispenser, characterized in that formed in a rectangular shape consisting of short sides having a length smaller than the other length of the member. 제 1 항에 있어서, 상기 지지 블럭은 장변의 길이가 1/2로 분리된 두 개의 분할형 지지 블럭들로 이루어진 것을 특징으로 하는 디스펜서의 스테이지.2. The stage of the dispenser of claim 1, wherein the support block is composed of two split support blocks having a long side separated by half. 제 1 항에 있어서, 상기 지지 블럭의 상면에 기판을 지지하는 선형 지지 돌기가 구비된 것을 특징으로 하는 디스펜서의 스테이지.The stage of the dispenser according to claim 1, wherein a linear support protrusion for supporting a substrate is provided on an upper surface of the support block.
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