KR100668103B1

KR100668103B1 - 반도체 세정 장비의 모니터링 방법

Info

Publication number: KR100668103B1
Application number: KR1020060004933A
Authority: KR
Inventors: 서영준
Original assignee: (주)스마트에이시스템
Priority date: 2006-01-17
Filing date: 2006-01-17
Publication date: 2007-01-11

Abstract

본 발명에서 반도체 세정 장비에 대한 데이터 관리 및 운용이 용이한 모니터링 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 방법은, a) 세정장비의 이상 유무를 판단하기 위해, 상기 피엘씨에서 읽어온 알람 데이터(Alarm Data)를 체크하고, 이를 알람 히스토리(Alarm History)에 기록하는 단계; b) 로더(LOADER) 및 언로더(UNLOADER)에 대한 로컬 이벤트 데이터를 수신하고, 신규 데이터를 식별하여 세정장비 관리장치 및 피엘씨의 각 메모리로 저장하는 단계; c) 세정장비의 암(ARM) 구동에 따른 이벤트 데이터를 수신하는 단계; d) 배스(BATH)에 대한 배스 이벤트 데이터를 수신하고, 신규 데이터를 식별하여 상기 세정장비 및 피엘씨의 각 메모리로 저장하는 단계; e) 세정장비의 케미컬(Chemical) 온도와 농도 데이터를 검출하고, 드라이어(Dryer)의 데이터를 검출하며, 오존(Ozone) 생성기의 데이터를 검출하는 단계; 및 f) 전 과정을 토대로 세정장비의 진행 상황을 실시간으로 디스플레이하기 위한 메인 화면을 제공하는 단계로 구성된다.

따라서, 본 발명은 관리자 인증을 토대로 데이터 수정 및 편집이 용이하여 시스템 운용의 편의성과 업무의 효율성을 증대시키는 효과가 있다.

세정장비, 관리, 피엘씨, 웨이퍼, 운용, 디스플레이

Description

반도체 세정 장비의 모니터링 방법{METHOD FOR MONITORING SCRUBBER}

도 1은 종래 세정 장비에 대한 운용 방법을 설명하기 위한 플로우챠트이다.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 세정장비 관리 시스템을 나타낸 구성도이다.

도 3은 본 발명의 전체 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.

도 4는 본 발명의 메인 화면을 나타낸 화면이다.

도 5는 본 발명의 알람 체크 처리를 설명하기 위한 플로우챠트이다.

도 6은 본 발명의 로컬 처리를 설명하기 위한 플로우챠트이다.

도 7은 본 발명의 암(ARM) 처리를 설명하기 위한 플로우챠트이다.

도 8은 본 발명의 배스(BATH) 처리를 설명하기 위한 플로우챠트이다.

도 9는 본 발명의 데이터 처리를 설명하기 위한 플로우챠트이다.

도 10a, 10b는 본 발명의 메인화면 중 MAINTENANCE 화면을 나타낸 도면이다.

도 11은 MAINTENANCE 화면의 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.

도 12a, 12b는 본 발명의 메인화면 중 RECIPE 화면을 나타낸 도면이다.

도 13은 RECIPE 화면의 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.

도 14는 본 발명의 메인화면 중 STATUS 화면을 나타낸 도면이다.

도 15는 STATUS 화면의 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.

도 16은 본 발명의 메인화면 중 SET VALUE 화면을 나타낸 도면이다.

도 17은 SET VALUE 화면의 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.

도 18은 본 발명의 메인화면 중 EQUIPMENT 화면을 나타낸 도면이다.

도 19는 EQUIPMENT 화면의 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.

도 20a, 20b, 20c는 본 발명의 메인화면 중 LOT HISTORY 화면을 나타낸 도면이다.

도 21은 LOT HISTORY 화면의 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.

도 22a, 22b는 본 발명의 메인화면 중 ALARM HISTORY 화면을 나타낸 도면이다.

도 23은 ALARM HISTORY 화면의 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.

도 24는 본 발명의 메인화면 중 GRAPH 화면을 나타낸 도면이다.

도 25는 GRAPH 화면의 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.

도 26은 본 발명의 메인화면 중 PASSWORD 화면을 나타낸 도면이다.

도 27은 PASSWORD 화면의 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다.

<주요 도면에 대한 부호의 설명>

201 : 세정장비 203 : 피엘씨(PLC)

205 : 세정장비 관리장치 207 : 디스플레이장치

본 발명은 반도체 세정 장비 관리에 관한 것으로, 상세하게는 반도체 세정장비 관리에 대한 컴퓨터 사양의 업그레이드 및 모든 데이터의 이동, 관리를 효율적으로 제공할 수 있는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조공정에서는 식각공정, 증착공정등 다양한 공정을 진행하면서 웨이퍼에 다수의 파티클(particle)이 발생하게 된다. 따라서, 이러한 파티클을 제거하기 위한 장비가 공정에서 사용되고 있다. 특히, 세정장비(scrubber)는 순수(順水 : De-ionized water)를 사용하여 파티클(paticle)을 제거하는 장비이다. 물리 기상 증착공정(PVD : Physical Vapor Deposition)을 통하여 산화막을 웨이퍼에 증착시킨 후 10분내에 세정공정을 진행해야 하며, 상기 세정공정이 끝나면 다시 산화막을 입히는 공정을 실시하고, 20분내에 세정공정을 진행해야 한다.

다음으로, 실리사이드(silicide)공정을 진행한 후 30분내에 세정공정을 진행해야하며, 이때에는, 세정장비가 사용되는 다수의 공정에 적용할 다양한 공정조건을 구비해야 한다.

상기한 바와 같이, 세정공정을 진행하기 위한 정확한 공정시간을 제공하기 위하여 세정장비에서의 운용방법이 개발되어 사용되고 있다. 첨부된 도 1을 참조하여, 종래의 반도체 제조를 위한 세정장비 운용방법을 수행하기 위한 SECS(Semi Equipment Communications Standard) 메세지 흐름을 간략히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 세정장비(100)와 장비서버(110) 상호 간에 카세트 제공 요청 메세지(S4F65)와 카세트 제공 요청 응답 메세지(S4F66)를 수수하면, 작업자는 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 세정공정을 진행할 카세트를 전산 등록한다(112). 다음으로, 작업자는 직접 세정장비에 카세트를 제공하고(114), 이를 확인한다(116). 이어서, 상기 세정장비(100)와 장비서버(110)가 카세트 제공 요청 메세지(S4F65)와 카세트 제공 요청 응답 메세지(S4F66)를 수수하면, 상기 장비서버(110)는 공정조건을 상기 세정장비(100)에 제공한다(118).

이후, 상기 세정장비(100)와 장비서버(110)가 공정 진행 요청 메세지(S2F27)와 공정 진행 요청 응답 메세지(S2F28)를 수수하면, 상기 세정장비(100)에 제공된 카세트가 공정을 진행한다(120). 상기 세정공정이 끝난 후, 상기 세정장비(100)와 장비서버(110)는 카세트 회수 요청 메세지(S4F65)와 카세트 회수 요청 응답 메세지(S4F66)를 수신한다.

그러나, 상기한 바와 같이 일련의 과정을 수행하는 종래의 반도체 제조를 위한 세정장비 운용 방법은, 작업자가 전산 작업으로 세정공정을 진행할 카세트를 등록하고, 다시 생산라인으로 투입되어 세정장비에 카세트를 직접 제공하며, 다시 전산 작업으로 공정진행을 요청하게 되나, 이러한 일련의 과정은 일부분만 전산화되어 있어 세정공정의 정확한 공정시간을 제공하거나, 오류에 의한 문제점 해결이 어렵게 된다. 즉, 사용자의 요구사항이 늘어나고 장비의 사양이 업그레이트 되면서 기존의 모니터 프로그램의 형식으로는 사용자의 요구를 충족하지 못할 뿐만 아니라, 장비 사양에 따른 기능을 발휘할 수 없는 문제가 있다.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로, 본 발명의 목 적은 제품의 생산량을 조절하고 생산관리 시스템과 연동하여 생산 정보 등을 취합 관리할 수 있는 반도체 세정장비의 모니터링 방법을 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 데이터의 변화 및 운용 관리를 그래픽화된 정보로 제공함으로써, 데이터 변화를 시각적으로 제공하여 시스템의 관리 효율을 증대시킬 수 있는 반도체 세정장비의 모니터링 방법을 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 변경 데이터에 대한 관리를 통해 제품의 이력사항을 제공하고, 제품 데이터의 효율적 관리를 수행할 수 있는 반도체 세정장비의 모니터링 방법을 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 관점에 따른 반도체 세정장비의 모니터링 방법은, 소정의 식각 공정이 완료된 웨이퍼 상의 이물질을 세정하기 위한 세정장비와, 상기 세정장비의 운용 상황을 검출하고, 외부의 제어신호에 응답하여 상기 세정장비를 운용하는 피엘씨(PLC)와, 상기 피엘씨와 연동하여 상기 세정장비의 운용 상황을 접수하고, 이에 대응하는 기능 제어를 수행하는 세정장비 관리장치와, 상기 세정장비 관리장치와 접속되어 상기 운용 상황 및 기능 제어에 대응하는 그래픽화된 정보를 디스플레이하기 위한 디스플레이 장치로 구성되는 반도체 세정장비의 모니터링 방법에 있어서, a) 상기 세정장비 관리장치에 대한 프로그램의 구동을 위한 변수들의 초기화 및 프로그램 운용에 필요한 기초 데이터들을 읽어 들이는 단계; b) 상기 피엘씨(PLC)와의 통신을 수행하고, 상기 피엘씨로부터 데이터를 읽은 후, 해당 데이터를 변환하여 미리 선언해 놓은 변수에 저장하는 단계; c) 시스템 운용에 필요한 중요 데이터와 자료들에 대한 파일의 존재 유무를 검출하며 검출 결과에 따라, 파일의 생성 또는 데이터 저장을 실행하는 단계; d) 상기 피엘씨에 저장되어 있는 작업 조건(Recipe) 값을 읽어 들인 후, 상기 세정장비 관리장치의 데이터베이스로 저장하는 단계; e) 상기 세정장비 관리 제어를 위해, 상기 세정장비를 구성하는 다수 장치의 위치와 현재의 진행 상황을 실시간으로 디스플레이하기 위한 메인 화면을 상기 디스플레이 장치로 제공하는 단계; f) 상기 세정장비의 이상 유무를 판단하기 위해, 상기 피엘씨에서 읽어온 알람 데이터(Alarm Data)를 체크하고, 이를 알람 히스토리(Alarm History)에 기록하는 단계; g) 로더(LOADER) 및 언로더(UNLOADER)에 대한 로컬 이벤트 데이터를 수신하고, 신규 데이터를 식별하여 상기 세정장비 관리장치 및 피엘씨의 각 메모리로 저장하는 단계; h) 상기 세정장비의 암(ARM) 구동에 따른 이벤트 데이터를 수신하는 단계; i) 배스(BATH)에 대한 배스 이벤트 데이터를 수신하고, 신규 데이터를 식별하여 상기 세정장비 및 피엘씨의 각 메모리로 저장하는 단계; j) 상기 세정장비의 케미컬(Chemical) 온도와 농도 데이터를 검출하고, 드라이어(Dryer)의 데이터를 검출하며, 오존(Ozone) 생성기의 데이터를 검출하는 단계; 및 k) 상기 세정장비의 상태를 체크하고, 데이터 백업을 수행한 후, 상기 e) 단계로 피드백하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 한다.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따르면 상기 e) 단계의 메인 화면은, 시스템의 관리 기능을 선택할 수 있도록 일 측면으로 각 기능별 버튼을 구비하는 기능 선택부; 상기 세정장비의 암(ARM), 로더(LOADER/UNLOADER), 배스(BATH) 등의 운용상 태를 그래픽화된 정보로 제공하는 시스템 운용부; 및 장비의 상태를 포함하여 알람(Alarm) 현황 및 오존, 드라이어 상태를 수치화된 정보 또는 그래픽화된 정보로 제공하는 상태 표시부로 구성되는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 예시도면에 의거 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 세정장비의 모니터링 시스템을 나타낸 구성도이다. 도시된 바와 같이, 소정의 식각 공정이 완료된 웨이퍼 상의 이물질을 세정하기 위한 세정장비(201)와, 상기 세정장비(201)의 운용 상황을 검출하고, 외부의 제어신호에 응답하여 상기 세정장비(201)를 운용하는 피엘씨(203:PLC)와, 상기 피엘씨(203)와 연동하여 상기 세정장비(201)의 운용 상황을 접수하고, 이에 대응하는 기능 제어를 수행하는 세정장비 관리장치(205)와, 상기 세정장비 관리장치(205)와 접속되어 상기 운용 상황 및 기능 제어에 대응하는 그래픽화된 정보를 디스플레이하기 위한 디스플레이 장치(207)로 구성된다.

상기 세정장비(201)는 소정위치에 내,외조로 구분되는 세정조(a)가 설치되고, 그 중에서 외조의 하부에 순환라인(b)이 연통되며, 그 순환라인(b)의 중간에는 순환펌프(c)가 장착되어 드레인 라인(d)과 세정액 공급라인(e)으로 분사되고, 그 중에서 세정액 공급라인(e)의 중간에는 필터(f)가 장착되어 상기 세정조(a)의 내조 하부와 연통되며, 그 세정조의 바닥면에는 상기 세정액 공급라인(e)과 각각 연통되는 세정액 분사용 스프레이(g)가 다수 개 장착된다.

상기 피엘씨(203)와 세정장비 관리장치(205)는 소정의 통신라인을 통해 데이터 교류가 이루어지며, 상기 통신라인은 UTP Cable을 이용하여 최대 통신 거리인 100m 이내에서 두 장치 간 접속이 이루어진다. 또한, 통신 네트워크는 100×10⁹ bps 이상의 EtherNet을 사용함이 바람직하다. 상기 피엘씨(203) 및 세정장비 관리장치 간 통신은 통신 속도를 증대시키고, 데이터 오류율을 격감시킨다. 한편, 상기 세정장비 관리장치(205)는 상기 피엘씨(203)를 통해 수집되는 데이터에 대한 관리를 수행하고, 수집 데이터에 대한 그래픽화된 정보 변환을 통해 사용자 인터페이스를 구현한다.

도 3은 본 발명에 따른 세정장비 관리장치(205)의 전체 동작을 설명하기 위한 플로우챠트이다. 도시된 바와 같이, S301 단계에서 상기 세정장비 관리장치(205)는 시스템을 초기화한다. 시스템 초기화는 프로그램 구동을 위한 변수들을 초기화하며, 프로그램 운영에 필요한 기초 데이터를 데이터베이스(미도시 함)로부터 페치한다. 예컨대, 상기 세정장비 관리장치(205)는 세정장비(201)의 초기 상태를 입력해 놓은 파일과, 장비의 초기 위치 값을 입력해 놓은 파일과, 장비의 특정 부위의 명칭을 입력해 놓은 파일과, 알람 리스트 파일, 장비 리스트 파일, 에러 리스트 파일, 상태 리스트 파일, Setvalue 리스트 파일 등을 상기 데이터베이스에서 읽어 들인다. 필요에 따라 전술된 파일이 존재하지 않을 경우, 다음 리스트 파일을 페치하거나, 다음 리스트 파일이 존재하지 않을 경우 시스템 초기화를 종료한다.

S303 단계에서, 상기 세정장비 관리장치(205)는 상기 피엘씨(203)와의 통신을 수행한다. 상기 세정장비 관리장치(205)는 UTP Cable을 통해 상기 피엘씨(203)의 데이터를 읽어 들인다. 이때, 상기 피엘씨(203)로 저장된 데이터와 세정장비 관리장치(205)의 운용 데이터는 상호 호환되지 않기 때문에, 세정장비 관리장치(205)는 피엘씨(203) 데이터에 대한 데이터 변환을 수행한다.

상기 피엘씨(203)에서 제공되는 데이터는 알람 데이터(Alarm data), 상태 데이터(Status data) 및 위치 데이터(Position data)를 포함하며, 상기 세정장비 관리장치(205)는 이러한 데이터를 처리 데이터(Process data) 및 이벤트 데이터(Event data)로 분류한다.

S305 단계로 진입하여, 상기 세정장비 관리장치(205)는 프로그램 구동에 필요한 정보를 상기 데이터베이스로 생성한다. 이는 시스템 운용에 필요한 중요 데이터와 자료들을 보존하기 위해 저장성 및 접근성이 용이한 데이터베이스와 연동시키는 것으로, 파일의 존재 유무를 검출하며 검출 결과에 따라, 파일의 생성 또는 데이터 저장을 실행한다. 즉, 데이터베이스 파일이 없으면 생성하고, 파일이 존재하면 해당 프로그램과 연결하여 항시 데이터를 사용 관리할 수 있도록 한다.

전술되는 데이터베이스 파일은 상기 피엘씨(203)에서 해당 정보를 페치한 후, 상기 세정장비 관리장치(205)의 데이터베이스로 저장한다. 이러한 데이터베이스 파일은 알람 내역을 저장 관리하는 알람 내역(Alarm History) 파일, 생산별 내역을 저장 관리하는 로트 내역(LOT History) 파일, 그래픽 파일, 작업 조건을 설정하기 위한 레시피(Recipe) 파일 등을 포함한다.

S307 단계에서, 상기 세정장비 관리장치(205)는 상기 피엘씨(203)에 저장되어 있는 작업 조건(Recipe) 값을 읽어 들인 후, 상기 세정장비 관리장치(205)의 데이터베이스로 저장한다. S309 단계로 진입하여, 상기 세정장비 관리장치(205)는 세정장비 관리 제어를 위한 메인 화면을 상기 디스플레이 장치(207)로 제공한다. 상기 메인 화면(MAIN FORM)은 도 4에 도시된 바와 같이, 메인 화면은 세정장비(201)를 구성하는 다수 장치의 위치와 현재의 진행 상황을 실시간으로 디스플레이한다.

도시된 바와 같이, 메인 화면은 시스템의 관리 기능을 선택할 수 있도록 일 측면으로 각 기능별 버튼을 구비하는 기능 선택부(450)와, 상기 세정장비(201)의 암(ARM), 로더(LOADER/UNLOADER), 배스(BATH) 등의 운용상태를 그래픽화된 정보로 제공하는 시스템 운용부(470)와, 장비의 상태를 포함하여 알람(Alarm) 현황 및 오존, 드라이어 상태를 수치화된 정보 또는 그래픽화된 정보로 제공하는 상태 표시부(490)로 이루어진다.

상기 기능 선택부(450)는 현재 진행되는 WAFER 의 정보를 옮기거나 편집, 삭제 기능 수행하는 MAINTENANCE 버튼(401), 카세트 투입 순서와 BATH의 처리시간(PROCESS TIME)을 설정 또는 디스플레이하기 위한 RECIPE 버튼(403), 장비의 상태를 ON, OFF로 디스플레이하도록 지시하는 STATUS 버튼(405), 장비의 구동 시간을 설정하기 위한 SET VALUE 버튼(407), 각 장비에 대한 파라메터(Parameter) 값을 표시하도록 지시하는 EQUIPMENT 버튼(409), 현재까지 진행된 카세트 데이터를 표시하도록 지시하는 LOT HISTORY 버튼(411), 현재까지 발생한 알람 내역을 디스플레이하도록 지시하는 ALARM HISTORY 버튼(413), BATH의 온도와 오존(OZONE)의 CHEMICAL 농도를 그래프로 표시하고, DRYER의 상태를 그래프로 표시하도록 지시하는 GRAPH 1,2 버튼(415), 주요 기능설정 시 사용자의 인증을 위해 암호의 설정 및 변경을 수행하기 위한 PASSWORD 버튼(417), 세정장비 관리장치(205) 및 피엘씨(203) 간의 통신 상태를 확인하기 위한 통신상태 표시 버튼(419)로 구성된다.

한편, 상기 시스템 운용부(470)는 ARM의 위치를 그래픽화된 정보로 제공하고, ARM의 위치 데이터 유/무를 표시하기 위한 ARM 표시란(421), LOADER / UNLOADER 안의 현재 데이터를 표시하도록 지시하는 LOADER/UNLOADER 표시란(423), 각 BATH의 현재 데이터를 표시하는 BATH 표시란(425), BATH의 현재온도와 시간을 표시하는 BATH 온도/시간 표시란(427)으로 구성된다.

또한, 상기 상태 표시부(490)는 메인화면의 일 측면을 할애하여 오존 상태를 디스플레이하기 위한 오존상태 표시란(429), 상기 오존 상태 표시와 더불어 드라이어의 온도 및 시간을 표시하는 드라이어 상태 표시란(431), 장비에 대한 현재 상태를 일괄적으로 표시하는 장비상태 표시란(433), 현재 발생한 알람을 누적하여 디스플레이하는 알람 리스트 표시란(435)으로 구성된다.

이와 같이 구성된 메인 화면은 관리자에게 시스템 현황을 실시간 제공하며, 이를 위해 S311 단계로 진입하여 알람 체킹을 수행한다. 즉 세정장비 관리장치(205)는 도 5와 같이, 알람 체킹 프로그램을 기동한다. 이는 S501 단계에서 도시한 바와 같이, 알람이 발생했는지를 판단하며 알람이 발생했을 경우, S503 단계로 진입하여 신규 알람을 알람 내역에 포함시킨다. 그리고, S507 단계에서 전술한 신규 알람 내역을 포함하여 모든 알람을 화면에 표시한다.

또한, 상기 S501 단계에서 신규 알람이 발생하지 않았을 경우, S505 단계로 진입하여 종료된 알람이 존재하는지 판단한다. 종료된 알람이 존재하지 않을 경우 상기 S507 단계로 피드백하며, 종료된 알람이 존재할 경우 즉, 세정장비 관리장치(205)의 데이터베이스로부터 알람 데이터를 읽어와 비교한 결과, 이미 종료된 알람 내역이 존재하는지를 판단한다. 판단결과, 종료된 알람 내역이 존재할 경우, S509 단계에서 상기 알람 내역으로 종료된 알람의 시각 정보를 저장하고, S511 단계에서 종료된 알람의 내용을 화면상에서 삭제한다. 그리고, S507 단계로 피드백한다.

한편 상기 피엘씨(203)는 S313 단계에서 로컬 구동부를 체킹하는데, 이와 같이 로컬의 상태는 로더(LOADER)와 언로더(UNLOADER)가 한곳에 붙어 있는 타입일 경우 Local 영역으로 한번에 데이터를 처리할 수 있다. 데이터 처리는 로더와 언로더에 대한 이벤트 처리에 기반한다. 즉, 도 6에 도시된 바와 같이 S601 단계에서 상기 세정장비 관리장치(205)는 피엘씨(203)로부터 이벤트 데이터를 읽어 들인다. 그리고, S603 단계에서 세정장비 관리장치(205)는 상기 데이터베이스로부터 백업된 이벤트 데이터를 읽어 들인다.

S605 단계에서 세정장비 관리장치(205)는 이벤트 데이터와 백업 데이터가 동일한지를 판단한다. 판단결과, 이벤트 데이터와 백업 데이터가 동일하지 않을 경우, 상기 세정장비 관리장치(205)는 S607 단계로 진입하여 상기 피엘씨(203) 메모리에서 해당 데이터를 읽고 세정장비 관리장치(205)의 임시저장소와 피엘씨 메모리에 데이터를 저장한 후 S609 단계에서 해당 데이터를 디스플레이한다. 한편, S605 단계에서 판단한 결과, 로컬 이벤트 데이터와 백업 데이터가 동일할 경우, 이는 웨 이퍼(Wafer)가 이동하지 않는 것으로 판단한다. 따라서, 상기 S601 단계로 피드백한다.

반면, 이벤트 데이터와 백업 데이터를 비교하여 종료로 판단되면, S615 단계로 진행하여 상기 피엘씨(203)의 구동 정보를 페치한다. 그리고, S617 단계에서 상기 세정장비 관리장치(205)는 상기 피엘씨의 구동 정보 즉, 로더 또는 언로더가 다음 이동할 위치 정보가 존재하는지 판단한다. 판단결과, 다음 이동할 위치 정보가 존재할 경우 S619 단계에서와 같이, 다음 위치로 데이터를 전송하고 이를 디스플레이한다. 또한 S617 단계에서 판단된 결과, 다음 이동할 위치 정보가 존재하지 않을 경우, S623 단계에서 로트 히스토리(LOT History)로 종료 시간과 데이터를 저장한 후, 화면상의 데이터를 삭제한다.

한편 상기 세정장비 관리장치(205)는 S315 단계에서 암 구동부 체킹을 수행한다. 이는 관리자가 메인 화면을 이용하여 암(ARM) 구동 상태를 파악할 수 있도록 하는 것으로, 상기 세정장비 관리장치(205)는 도 7에 도시된 바와 같이, S701 단계에서 암(ARM)의 이벤트 데이터를 읽어 들인다. 암의 이벤트 데이터는 암의 현재 상태를 파악하고, 현재 암(ARM)에 웨이퍼(Wafer)가 존재하는지를 판단한다. 판단결과, 암(ARM)에 웨이퍼가 존재할 경우, 암(ARM)이 웨이퍼를 권취하고 있는 그래픽인 암 픽쳐 1(ARM Picture 1)을 데이터 베이스로부터 추출하고, 상기 암(ARM)이 웨이퍼를 권취하지 않을 경우, 상기 암(ARM)이 웨이퍼를 권취하지 않는 그래픽인 암 픽쳐 2(ARM Picture 2)를 추출한다. 그리고, 상기 세정장비 관리장치(205)는 암의 현재 위치를 파악한다.

이는 S703 단계에서와 같이 암의 위치를 검출하고, 해당 위치로 설정된 픽쳐(ARM Picture 1 또는 ARM Picture 2)를 도시한다. S705 단계에서, 세정장비 관리장치(205)는 백업 이벤트 데이터를 페치하며, S707 단계에서 상기 이벤트 데이터와 백업 이벤트 데이터를 비교한다. 이벤트 데이터와 백업 이벤트 데이터가 동일할 경우, 이는 암(ARM)의 동작 상태가 종료된 것이며, 이벤트 데이터와 백업 이벤트 데이터가 동일하지 않을 경우, 암(ARM)이 동작 개시함으로 인지될 수 있다. 따라서, S707 단계에서 이벤트 데이터와 백업 이벤트 데이터가 동일한지를 판단하며, 판단결과 동일하지 않을 경우 S709 단계로 진입한다. 상기 세정장비 관리장치(205)는 이벤트 데이터를 임시 저장장소에 저장한다. 반면, S707 단계에서 판단한 결과 이벤트 데이터와 백업 이벤트 데이터가 동일할 경우, S711 단계로 진입하여 상기 피엘씨(203)의 데이터를 읽어 들인다. 피엘씨 데이터는 암의 이동상태에 대한 데이터로서, S713 단계를 통해 암(ARM)의 다음 이동위치를 판단하고, 해당 위치로 데이터를 전송한다.

한편 상기 세정장비 관리장치(205)는 S317 단계에서 배스(BATH) 구동부를 체크하며, 이는 도 8에 도시된 바와 같이 먼저, 상기 세정장비 관리장치(205)가 S801 단계에서 BATH의 이벤트 데이터를 읽은 후, S803 단계에서 백업 이벤트 데이터를 읽어 들인다. 그리고, 상기 세정장비 관리장치(205)는 Bath 이벤트 데이터를 읽고 기존의 백업 이벤트 데이터와 비교하여 신규로 데이터가 들어온 경우 피엘씨(203) 메모리에서 해당 데이터를 읽고 세정장비 관리장치(205)의 임시저장소와 피엘씨(203) 메모리에 데이터를 저장한 후 화면에 데이터를 출력하고, 로트 히스토리(Lot History)에 Bath 영역에 데이터를 저장한다.

즉, S805 단계에서 이벤트 데이터와 백업 이벤트 데이터를 비교하며, 비교결과 이벤트 데이터와 백업 이벤트 데이터가 동일하지 않음으로 판단할 경우, 이는 웨이퍼가 이동하는 것으로서, S807 단계로 진입한다. 상기 세정장비 관리장치(205)는 피엘씨(203)로부터 데이터를 읽어 들인 후, S809 단계에서 세정장비 관리장치(205)의 임시 저장 메모리로 저장한다. 그리고, S811 단계와 같이 피엘씨(203) 메모리에 해당 데이터를 저장한다. 세정장비 관리장치(205)는 S813 단계에서 신규 데이터를 디스플레이 장치(207)로 화면 출력하고 로트 히스토리(LOT History)에 데이터를 저장한다. 또한, S815 단계에서 오존 배스(OZONE BATH) 여부를 확인한 후, S817 단계에서 오존 배스일 경우, 오존 데이터를 저장한다.

한편, S805 단계에서 판단한 결과, 이벤트 데이터와 백업 이벤트 데이터가 동일할 경우 즉, 웨이퍼가 이동하지 않은 것으로 판단될 경우 S819 단계로 진입한다. 이는 데이터가 종료되었는지 또는 현재 상태를 유지하는지를 판단하는 것으로, S819 단계에서 판단된 결과, 데이터가 종료됨으로 판단될 경우, S821 단계로 진입한다. 세정장비 관리장치(205)는 로트 히스토리(LOT History)로 데이터 종료 상태를 저장한다. 그리고, S823 단계에서 피엘씨(203) 데이터를 읽어 들인 후, S825 단계에서 다음 이동위치를 판단한 후, 해당 위치로 데이터를 전송한다.

이후, S827 단계에서 화면상의 데이터를 삭제하고 상기 S815 단계로 피드백한다. 또한 상기 S819 단계에서 판단한 결과, 현재 접수되는 이벤트 데이터가 백업 이벤트 데이터와 동일하게 현재 상태를 유지함으로 인지될 경우, S829 단계에서 배 드 알람(BATH Alarm) 데이터를 수신한다. 그리고, S831 단계에서 배드 알람 데이터를 토대로 알람이 발생했는지를 판단한다. 판단결과, 알람이 발생했을 경우 S833 단계에서 알람 발생 정보를 로트 히스토리(LOT History)로 저장한 후, S801 단계로 피드백한다. 그러나, S831 단계에서 알람이 발생하지 않았을 경우, 상기 S801 단계로 피드백한다.

한편, 상기 세정장비 관리장치(205)는 S319 단계에서 세정장비(201)에 대한 Chemical의 온도와 농도 데이터를 체크한다. 이는 세정장비 관리장치(205)가 프로세스 데이터(Process Data)를 읽고 배드(Bath)가 약액 변경(Chemical Change) 상태인지를 검사해서 약액 교환중이면, 화면에 C-Chg를 표시하고 그렇지 않으면 배스(Bath) 에 웨이퍼가 있는가를 검사해 웨이퍼가 있으면 배스(Bath)의 정보를 읽고 Time, Chemical Life Time, Chemical Life Count Temp 사용 여부를 검사해 데이터를 화면에 표시한다.

이를 구체적으로 설명하면 도 9에 도시된 바와 같이, S901 단계에서 세정장비 관리장치(205)는 프로세스 데이터를 읽어 들인다. 그리고, S903 단계에서 세정장비 관리장치(205)는 약액 변경(Chemical Change)인지를 판단하며, 판단결과 약액 변경일 경우 S925 단계에서 약액 변경에 따른 'C-Chg'를 표시한다. 그리고, 상기 S901 단계로 피드백한다. 반면, S909 단계에서 판단한 결과, 약액 변경이 이루어지지 않았을 경우, S905 단계에서 배스(BATH) 데이터가 존재하는지를 판단한다. 판단결과, 배스 데이터가 존재하지 않을 경우 상기 S901 단계로 피드백하며, 상기 배스 데이터가 존재할 경우, S907 단계에서 배스 정보를 읽어 들인다.

S909 단계 내지 S915 단계에서와 같이, 배드(BATH) 구동시간에 대한 사용 유무를 판단하고, 약약 수명 시간에 대한 사용 유무, 약액 수명에 대한 카운트 유무 및 온도 사용 유무를 판단한다. 판단결과, 전술된 단계 중 적어도 어느 하나의 단계에서 해당 항목에 대한 사용이 있을 경우 S917 단계로 진입하고, 그러하지 않을 경우 상기 S901 단계로 피드백한다. 상기 S917 단계에서 세정장비 관리장치(205)는 현재의 데이터(Real Data)가 설정된 데이터(Set Data) 보다 큰 지 또는 작은 지를 판단한다. 판단결과, 현재의 데이터가 설정된 데이터 보다 클 경우, S919 단계에서 이를 디스플레이 한다. 예컨대, 현재의 데이터가 설정된 데이터 보다 크다는 것에 대한 오류 표시로서 기 설정된 프로그램 바(Program Bar-그래픽)를 소정의 컬러(바람직하게는 적색)로 디스플레이한다. 그리고, S923 단계에서 현재의 데이터와 설정 데이터를 수치화된 정보로 디스플레이한다. 반면, S917 단계에서 판단한 결과, 현재의 데이터가 설정된 데이터 보다 작을 경우, S921 단계에서 전술된 프로그램 바에 % 별로 표시한다. 이는 현재 값이 설정 값에 얼마만큼 미치지 못하는지를 퍼센트로 표시하는 것으로 이후, S923 단계로 진행한다.

한편, S321 단계에서 피엘씨(203)는 드라이어의 데이터를 체크하고, S323 단계에서 오존 생성기의 데이터 체크 및 S325 단계에서 장비의 상태 체크 및 데이터 백업을 수행한다. 따라서, 세정장비 관리장치(205)는 전술된 S311 단계 내지 S325 단계를 지속적으로 반복함으로써, 해당 검출 결과를 세정장비 관리장치(205)의 데이터베이스로 업데이트 한다. 관리자는 세정장비(201)에 대한 운용 관리를 위해 상기 메인 화면을 이용한다. 이와 같이 세정장비 관리장치(205)는 전술된 과정을 지 속적으로 반복하여 새로운 데이터를 업데이트 하며, 관리자는 상기 메인 화면을 통해 세정장비(201)에 대한 실시간 감시 및 운용이 가능하다.

이하, 전술된 메인 화면에 대한 기능을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 관리자는 도 4의 메인 화면상으로 도시되는 MAINTENANCE 버튼(401)을 클릭한다. 이는 현재 장비 안에서 진행하고 있는 웨이퍼의 데이터를 이동, 편집, 삭제하기 위해서 사용되는 것으로, 데이터를 원하는 위치로 마우스로 끌어 놓는 방법으로 데이터를 이동할 수 있는 이동기능과, 데이터의 정보를 변경할 때 사용할 수 있는 편집기능 및 데이터를 완전히 삭제하기 위한 삭제기능을 갖는다. 따라서, MAINTENANCE 버튼(401)이 클릭되면, 도 10a에 도시된 바와 같이, 'MAINTENANCE' 화면이 팝업된다.

'MAINTENANCE' 화면에는 'EDIT', 'Delete', 'Cancel', 'Exit' 버튼이 각각으로 구비되고, 로더(Loader), 언로더(UNLoader), 드라이어, 오존상태, 암(ARM) 등에 대한 각 위치별로 데이터에 대한 존재 여부를 표시한다. 이때, 관리자는 마우스를 원하는 위치에 놓고 더블 클릭을 하면 클릭한 위치의 색이 변하면서 선택되었다는 표시를 할 수 있다. 또한, 데이터 이동시에는 메인 화면에서와 같이 해당 데이터를 원하는 곳으로 드래그하여 데이터 이동이 가능하다. 한편, 상기 'EDIT' 버튼은 데이터를 편집할 때 사용하며, 해당 버튼을 클릭할 경우, 도 10b와 같이 팝업 화면이 제공된다. 여기서, 데이터 편집은 소정의 암호 인증 절차를 가미할 수 있으며, 소정의 암호 인증 창을 제공할 수 있다. 그리고, 관리자는 수정하고자 하는 위치를 더블클릭하여 데이터를 수정한다.

한편, 관리자에 의해 데이터 수정이 완료되면 'OK 버튼'을 클릭하여, 수정 완료 상태를 통지하며, 수정을 취소하고 싶을 경우 'CANCEL 버튼'을, 창을 닫고 싶으면 'EXIT 버튼'을 클릭한다. 그리고, 상기 'MAINTENANCE' 화면에서 상기 'DELETE' 버튼은 데이터를 삭제할 때 사용하며, 삭제할 데이터의 위치를 더블클릭하여 선택한 후 상기 'DELETE' 버튼을 누르면 소정의 암호 입력창이 제공되고, 해당 절차에 대한 인증결과가 만족될 경우 해당 데이터 삭제가 완료된다.

이와 같이 상기 MAINTENANCE 버튼(401)에 대응하는 세정장비 관리장치(205)의 기동 알고리즘에 의해 웨이퍼 데이터의 이동, 삭제, 편집이 가능하며, 도 11에 도시된 바와 같이, S1101 단계에서 세정장비 관리장치(205)는 웨이퍼에 대한 위치 데이터 값을 읽어 들인다. 그리고, S1103 단계에서 상기 위치 데이터가 존재하는지를 판단하며, 위치 데이터가 존재하지 않을 경우 상기 S1101 단계로 피드백한다. 반면, 상기 위치 데이터가 존재할 경우, S1105 단계로 진입하여 패널의 컬러를 변경한다. 상기 패널은 'MAINTENANCE' 화면상으로 도시되는 각각의 시스템 상태 즉, 로더(LOADER), 언로더(UNLOADER), 드라이어(DRYER), 암(ARM), 오존(OZONE) 등의 상태를 나타내는 그래픽 패널이다. 따라서, 각 패널에 대한 위치 데이터가 존재할 경우, 이를 관리자에게 통지하도록 컬러를 변경한다. 그리고, S1107 단계에서 관리자는 변경할 데이터를 선택한다.

즉, S1109, S1115 및 S1121 단계에서와 같이 관리자는 데이터를 이동할 것인지, 편집할 것인지 또는 삭제할 것인지를 판단한다. S1109 단계에서 판단한 결과, 관리자가 데이터를 이동할 경우, 이는 전술된 바와 같이 마우스를 이용하여 드래그 함으로써 데이터 이동이 가능하다. 그러나, S1111 단계에서와 같이 데이터 이동시에는 암호 인증 절차를 수행하며, 관리자는 기 설정된 암호를 입력한다. 암호에 대한 오류시에는 상기 S1101 단계로 피드백하며, 암호 절차가 완료되면 S1113 단계로 진입하여 데이터 이동을 완료한다. 그리고, S1115 단계로 진입하여 데이터 이동 시간을 로그 파일로 저장한다.

한편, S1109 단계에서 판단된 결과, 데이터 이동 기능이 선택되지 않았을 경우, S1117 단계에서 관리자는 데이터 편집 기능이 선택되었는지 즉, 전술된 'EDIT' 버튼이 동작되었는지를 판단한다. 판단결과 편집 기능이 선택되었을 경우, S1119 단계로 진입한다. 'MAINTENANCE' 화면은 전술된 바와 같이 관리자 인증을 위한 화면을 제공하고, 관리자는 해당 화면의 안내에 따라 인증 절차를 수행한다. 여기서, 인증 실패시 S1101 단계로 피드백하며, 인증이 완료되면, S1121 단계에서 관리자는 데이터 변경을 수행한다. 그리고, 데이터 변경 즉, 편집이 완료되면 S1115 단계로 피드백하여 데이터 편집 시간을 로그 파일로 저장한다.

또한, 상기 S1117 단계에서 판단된 결과, 편집 기능이 선택되지 않았을 경우 S1123 단계로 진입하여 데이터 삭제 기능이 선택되었는지를 판단한다. 데이터 삭제 기능이 선택되지 않았을 경우에는 S1101 단계로 피드백하고, 상기 데이터 삭제 기능이 선택되었을 경우에는 S1125 단계로 진입한다. 이는 데이터 삭제를 위한 관리자 인증절차로서, 패스워드 입력을 요구한다. 관리자로부터 입력된 패스워드가 오류일 경우 S1101 단계로 피드백하고, 패스워드가 정상 처리되었을 경우, S1127 단계로 진입하여 데이터 삭제를 승인한다. 그리고, 데이터 삭제가 완료되면 상기 S1115 단계로 피드백하여 데이터 삭제 시간을 로그 파일로 저장한다.

한편, 관리자는 카세트 투입순과 BATH의 진행 시간을 알고자 할 경우, 상기 메인 화면의 RECIPE 버튼(403)을 클릭한다. 이때, 메인 화면은 도 12a와 같이 BATH의 진행 시간을 설정할 수 있는 RECIPE 화면을 디스플레이한다. 관리자는 상기 RECIPE 화면상에서 데이터 변경 시 해당 위치를 더블 클릭함으로써 데이터 변경이 가능하다. 데이터 변경은 암호 입력을 원칙으로 한다. 암호 인증이 완료되면, 관리자는 도 12b와 같이 EDIT 창을 제공받으며, 이를 통해 데이터를 수정하고 저장(SAVE) 버튼을 클릭하여 RECIPE를 생성하거나 수정한다. 여기서, 상기 RECIPE 화면의 'EXCEL' 버튼은 RECIPE DATA를 EXCEL FILE로 저장하기 위한 키 버튼이다.

상기 EDIT 창이 제공될 경우, 관리자는 데이터 변경이 요구되는 위치를 클릭(더블 클릭..)하여 변경할 데이터를 입력한다. 상기 EDIT 창은 RECIPE 번호를 나타내는 'NO'란, RECIPE ID를 나타내는 'PPID'란, OZONE BATH의 구동시간을 입력할 수 있는 'O3'란, HQDR의 구동시간을 입력하기 위한 'HQDR'란, BOE BATH의 구동시간을 입력하기 위한 'BOE'란, QDR BATH의 구동시간을 입력하기 위한 'QDR'란, DRYER의 구동을 제어하기 위한 'DRYER'란, UNLOADER 구동시간을 입력하기 위한 'ULD'란 등이 구비되며, 데이터 입력이나 수정이 완료되면 SAVE 버튼을 클릭하면 저장을 완료한다. 본 발명의 실시 예에서 상기 RECIPE는 최대 200개까지 사용이 가능하다.

이와 같이 상기 RECIPE 버튼(403)이 클릭되면, 도 13과 같이 세정장비(201)에서 진행할 공정 데이터에 대한 디스플레이 및 편집이 가능하도록 운용된다. 도시된 바와 같이, S1301 단계에서 세정장비 관리장치(205)는 데이터베이스로부터 리시 피 데이터를 읽어 들인다. 그리고, S1303 단계에서 상기 리시피 데이터를 화면에 출력한 후, 관리자로부터 기능 선택을 유도한다. S1305 단계에서 관리자가 리시피 데이터에 대한 편집을 원할 경우 즉, 전술된 바와 같이, 관리자는 데이터 입력 또는 편집할 때 원하는 위치를 더블 클릭하여 EDIT 창을 제공받은 후, 해당 EDIT 창을 통해 데이터 변경(생성 및 수정)을 하고자 할 경우, S1307 단계에서 소정의 편집 기능을 제공받는다.

S1309 단계에서, 상기 리시피(RECIPE) 화면은 관리자에 대한 인증을 수행할 수 있도록 인증 화면을 제공하며, 관리자는 기 설정된 암호 정보를 입력한다. 암호 입력 시 오류가 발생되면 S1301 단계로 피드백하며, 암호 입력에 대한 정상 동작 시에는 S1311 단계로 진입한다. 상기 S1311 단계에서, 각 항목별 편집이 가능한 EDIT 창이 제공된다. 상기 EDIT 창은 전술된 바와 같이 'NO'란, 'PPID'란, 'O3'란, 'HQDR'란, 'BOE'란, 'QDR'란, 'DRYER'란, 'ULD'란 등으로 구성되며, 관리자는 해당 란으로 입력된 데이터를 변경하고, 상기 SAVE 버튼을 클릭하여 변경된 정보를 저장한다. S1315 단계에서 변경된 정보는 로그 파일로 저장 관리된다.

한편, 상기 S1305 단계에서 관리자가 엑셀(Excel) 기능을 사용하여 데이터 값을 엑셀 파일로 변환하고자 할 경우, 상기 RECIPE 화면의 EXCEL 버튼을 클릭한다. S1317 단계에서 엑셀 파일을 생성한 후, S1319 단계에서 현재 RECIPE 화면상으로 제공되는 데이터를 읽어 들인다. 그리고, S1321 단계에서와 같이, 현재 읽어 들인 데이터를 상기 엑셀 파일로 저장하며, S1323 단계에서 내용 확인을 위해 해당 엑셀 파일을 열어 현재의 데이터를 디스플레이한다.

또한, 관리자가 상기 메인 화면을 이용하여 세정장비(201)에 대한 현재 상태를 제공받고자 할 경우, 상기 STATUS 버튼(405)을 클릭한다. 메인 화면은 각 장비의 상태를 ON 또는 OFF 상태로 표시할 수 있는 STATUS 화면을 팝업시킨다. 상기 STATUS 화면은 도 14에서와 같이, 각 장비를 나열하고 해당 장비별 동작상태를 온/오프로 디스플레이한다. 이를 위해 도 15에서는 STATUS 화면을 제공하며, 도시된 바와 같이, S1501 단계에서 세정장비 관리장치(205)는 데이터베이스로부터 각 장비 항목에 대한 STATUS 리스트를 읽어 들인다. 그리고, S1503 단계에서 읽어 들인 STATUS 리스트 정보를 화면에 표시하며, S1505 단계에서 상기 피엘씨(203)로부터 세정장비(201)에 대한 현재의 데이터를 제공받는다.

그리고, S1507 단계에서 상기 피엘씨로부터 제공받은 데이터를 조건에 따라 비교한다. 이는 각 장비별로 대응하는 각각의 상태를 비교하여 해당 장비에 대한 상태를 판단한다. 따라서, S1509 단계에서 각 장비의 상태에 따라 ON 또는 OFF로 설정하여 관리자가 해당 장비의 상태를 인지할 수 있도록 한다. 한편, 본 알고리즘에서는 상기 STATUS 정보를 엑셀(EXCEL) 파일로 제공받도록 하며, 전술된 Excel 기능을 사용하여 데이터 값을 엑셀 파일로 변환토록 하고 있다.

한편, 장비에 대한 구동 설정을 살펴 보면 먼저, 관리자는 장비의 구동설정을 위해 상기 메인 화면의 SET VALUE 버튼(407)을 클릭한다. 이는 장비에 대한 구동시간을 설정하기 위한 것으로, 도 16과 같이 SET VALUE 화면이 팝업된다. 상기 SET VALUE 화면은 SET VALUE를 실행하면 SETVALUE TEXT 와 단위 설정 값 실시간 값이 표현되며, 상단의 콤보박스로 원하는 BATH를 선택하여 정보를 보거나 편집한다. 또한, SET 값을 편집하기 위해서는 편집을 원하는 위치에 마우스 커서를 올려놓고 더블 클릭하여, 소정의 암호 창을 토대로 사용자 인증을 수행한다. 더불어, 본 알고리즘에서도 전술된 바와 같이, 엑셀 파일로 변환 가능함에 따라, 현재 데이터를 엑셀 파일로 변환할 수 있다.

그러면, 이러한 SET VALUE 화면에 대한 데이터 또는 파라미터(Parameter) 값 입력 과정을 도 17을 참조하여 살펴보면 먼저, S1701 단계에서 상기 SETVALUE 화면상으로 제공되는 콤보박스의 타이틀을 선택한다. 그리고, S1703 단계에서 해당 타이틀에 대응하는 리스트를 입력받으며, S1705 단계에서 해당 리스트를 화면에 표시한다. 상기 리스트는 장비별 각 항목을 나타내는 텍스트화된 리스트이며, S1707 단계로 진입하여 상기 피엘씨 데이터를 리드한다. 피엘씨 데이터는 해당 리스트에 맞도록 데이터를 추출하여 디스플레이한다. 또한, 관리자가 장비 구동을 위한 파라미터 값을 편집하고자 할 경우, S1709 단계로 진입한다.

전술된 파라미터 편집은 관리자가 편집하고자 하는 항목으로 마우스 커서를 올려놓고 더블클릭함으로써 편집 절차를 제공한다. 즉, S1709 단계에서 임의의 항목에서 더블클릭이 이루어졌을 경우, S1711 단계에서 편집하고자 하는 값이 현재 값인지 또는 기 설정된 값인지를 질의한다. 관리자는 질의에 따라 현재 값 또는 설정 값을 선택하며, 이에 따라 현재 값 편집이 요구될 경우 S1713 단계에서 사용자 인증을 요구받는다. 반면, S1711 단계에서 편집하고자 하는 값이 설정 값일 경우 S1715 단계에서 설정 값 변경을 위한 사용자 인증을 수행한다. 이와 같이 현재 값 변경 또는 설정 값 변경을 위한 각각의 인증이 완료되면, S1717 단계로 진입하여 현재 값 또는 설정 값 변경을 위한 데이터 입력이 승인된다. 그리고, 입력된 데이터는 저장 관리되며, S1719 단계에서 해당 로그 파일에 저장된다.

한편, 장비의 각 센서 등을 온/오프 제어하여 암(ARM)을 직접 조정할 수 있는데, 이를 위해 관리자는 메인 화면의 EQUIPMENT 버튼(409)를 클릭한다. 상기 EQUIPMENT 버튼(409)이 클릭되면, 도 18과 같이 EQUIPMENT 화면을 제공하여 장비 구동을 위한 각 파라미터를 ON/OFF 값으로 디스플레이한다. 이를 구체적으로 설명하기 위해 도 19를 참조하면 다음과 같다.

먼저, S1901 단계에서 세정장비 관리장치(205)는 데이터베이스로 기 저장된 장비의 각 파라메터(센서, 암(ARM)의 구동 조정을 위한 항목 등)에 대한 리스트를 제공받는다. S1903 단계에서, 상기 리스트를 디스플레이한 후, S1905 단계에서 상기 피엘씨(203)로부터 리스트의 항목별 데이터를 입력받는다. 여기서, 상기 피엘 씨 데이터는 다수 센서의 구동 조정을 위해 ON, OFF로 설정할 수 있으나, 필요에 따라 암(ARM)의 이동속도 등과 같이 ON, OFF로 설정할 수 없는 항목에 대해서는 수치화된 데이터로 표시한다. 이러한 데이터 설정 항목은 이미 정해져 있으며, 본 알고리즘에서는 EQUIPMENT 화면의 1,2,3,4 GRID를 ON, OFF 표시하고, 5, 6 GRID를 수치화된 데이터로 표시토록 한다.

따라서, S1907 단계에서 상기 피엘씨 데이터의 GRID를 판단하고, 판단결과에 따라 S1911 또는 S1913 단계와 같이 해당 데이터를 ON 또는 OFF로 표시한다. 반면, S1915 단계에서와 같이 해당 데이터를 수치화된 정보로 표시할 수 있다. 그리고, 이와 같이 데이터의 표시가 완료되면, 관리자가 해당 데이터에 대한 편집이 가능한 데, 이는 편집하고자 하는 리스트의 항목을 더블 클릭함으로써 가능하다. 즉, S1917 단계에서 임의의 항목에 대한 더블 클릭이 이루어졌는지를 판단하고, 판단결과 더블 클릭이 이루어졌을 경우 즉, 임의의 항목을 편집하고자 할 경우, S1919 단계로 진입한다. 상기 EQUIPMENT 화면은 관리자의 편집을 승인하기 위한 소정의 인증화면을 팝업시킨다.

따라서, 관리자는 인증절차에 따라 사용자 인증을 수행하며, 인증 오류 발생시 S1905 단계로 피드백하고, 인증 확인이 이루어지면 데이터 변경을 승인한다. 데이터 변경 승인은 S1921 단계에서, 변경할 데이터에 대한 해당 항목을 판단하며, 판단결과에 따라 변경할 데이터가 ON, OFF 변경을 요할 경우 S1923 단계에서 해당 항목의 데이터를 반전 즉, ON으로 설정된 데이터일 경우 OFF로 반전하고, OFF로 설정된 데이터는 ON으로 반전한다. 그리고, S1927 단계에서 변경된 데이터를 화면상으로 디스플레이하고, 로그 파일에 저장한다.

또한, 상기 S1921 단계에서 변경할 데이터에 대한 해당 항목이 수치화된 정보로 표현해야 할 GRID일 경우, S1925 단계에서 변경할 데이터를 입력하고 상기 S1927 단계로 피드백한다. 한편, 본 알고리즘에서는 장비의 각 파라메터를 편집할 수 있는 기능과 더불어, 엑셀 기능을 사용하여 데이터 값을 엑셀 파일로 변환할 수 있다. 즉, S1917 단계에서 편집 기능이 아닌 엑셀 변환 기능이 선택될 경우, S1929 단계를 통해 엑셀 파일을 활성화시킨 후, 화면상의 데이터를 읽어 들여 엑셀 파일로 전송함으로써, 현재의 데이터를 엑셀 파일로 변환한다.

한편, 관리자는 현재까지 진행된 카세트 데이터를 디스플레이하고자 할 경 우, 관리자는 상기 메인 화면상의 LOT HISTORY 버튼(411)을 클릭한다. 상기 메인 화면은 도 20a와 같이 LOT HISTORY 화면을 팝업시킨다. 상기 LOT HISTORY 화면은 도시된 바와 같이 현재까지 진행된 카세트 데이터를 표시하며, LOT의 갯 수별로 표현된다. 또한, 도 20b와 같이 원하는 데이터를 검색할 수 있으며, LOT HISTORY 화면의 Search 버튼을 클릭함으로써, 도 20b의 검색 창을 제공받는다. 검색 창은 원하는 데이터를 START TIME, END TIME, RECIPE ID, LOT ID로 검색 가능하다. 또한 데이터를 간략하게 검색하거나, 데이터를 자세히 디스플레이할 수 있다. 즉, LOT HISTORY 화면의 Briefs 버튼이 클릭될 경우, 도 20a와 같이 간략 정보가 제공되며, 상기 LOT HISTORY 화면의 Detail 버튼이 클릭될 경우, 도 20c와 같이 자세한 정보가 제공된다. 상세한 정보는 LOT HISTORY 화면에서 어느 하나의 항목이 선택되면, 해당 항목에 대한 정보를 자세히 제공한다.

이를 첨부된 도 21을 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

먼저, S2101 단계에서 장비에서 생산한 웨이퍼들의 정보를 LOT 단위로 제공받기 위해, LOT HISTORY 데이터베이스로부터 LOT 단위의 생산 정보를 리드한다. 그리고, S2103 단계에서 관리자는 해당 정보를 간략하게 제공받을 것인지 또는 상세히 제공받을 것인지를 판단한다. 이는 LOT HISTORY 화면상의 Briefs 버튼 또는 Detail 버튼이 클릭되었는지를 판단하는 것으로, 판단결과 관리자가 간략 정보를 요청함으로 판단되면 S2127 단계로 진입한다. 여기서, 상기 LOT HISTORY 화면은 LOT ID별 RECIPE ID, OPERATOR, START TIME, END TIME 등의 정보만을 디스플레이한다.

반면, S2103 단계에서 관리자가 상세 정보를 요청할 경우, S2105 단계로 진입하여 관리자로부터 임의의 LOT를 선택하도록 유도한다. 이는 관리자가 상세한 정보를 요청한 LOT로서, S2107 단계를 통해 해당 LOT에 대한 상세 정보를 디스플레이한다. 상세 정보는 WAFER가 진행되는 동안의 BATH, ALARM, DRYER, OZONE 공정의 진행에 소요된 시간 등의 정보가 제공된다. 한편, 전술된 간략 정보 또는 상세 정보가 제공되고 관리자가 임의의 검색을 요청하고자할 경우, 상기 Search 버튼을 클릭한다. 따라서, LOT HISTORY 화면은 도 20b와 같은 검색 창을 팝업시킨다.

판단결과, Search 버튼이 동작되었을 경우 즉, 관리자가 검색을 요청할 경우, S2119 단계로 진입하여 검색어 입력을 위한 검색 창을 제공한다. 관리자는 상기 검색 창을 통해 START TIME, END TIME, PRCIPE ID, LOT ID 등의 정보를 검색한다. 이후, S2121 단계에서 상기 데이터베이스 입력된 검색어를 접수하며, S2123 단계에서 상기 검색어에 대한 검색 결과를 상기 데이터베이스로부터 제공받는다. 또한, S2125 단계에서 상기 검색 결과를 LOT HISTORY 화면상으로 디스플레이한다.

이어서, 관리자가 현재까지 발생한 알람 상황을 통지받고자 할 경우, 관리자는 메인 화면상의 ALARM HISTORY 버튼(413)을 클릭한다. 상기 세정장비 관리장치(205)는 상기 버튼의 동작을 인지한다. 이와 같이 알람 체킹의 결과는 도 22a에 도시된다. 도 22a는 현재까지 발생한 알람을 나타내고 있으며, 도시된 'ALARM COUNT'는 ALARM의 수를 표시하고, 'SEARCH'는 도 22b의 대화상자를 팝업시키기 위한 버튼이며, 'EXCEL' 버튼은 ALARM을 EXCEL FILE로 변환시킨다. 그리고, 'EXIT' 버튼은 ALARM HISTORY에 대한 종료 지시를 위한 버튼이다. 따라서, 관리자는 해당 알람 히 스토리를 토대로 알람 상태를 인지할 수 있으며, 필요에 따라 START DATE, END DATE, ALARM TEXT로 ALARM 상태를 검색할 수 있다.

이를 도 23을 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다. 먼저, S2301 단계에서 데이터베이스로부터 알람 내역(ALARM HISTORY)을 읽어 들인다. S2303 단계에서 상기 알람 내역을 화면에 표시한다. 이는 도 22a에 도시된 바와 같이, 현재까지 발생한 알람 내역을 제공한다. 본 발명에서는 소정 기간이 경과한 알람은 삭제토록 한다. 또한, 상기 ALARM HISTORY 화면은 알람의 수를 나타내는 ALARM COUNT를 포함하여 알람 내역에 대한 검색이 가능한 SEARCH 버튼을 구비한다. 따라서, 전술된 ALARM HISTORY 화면과 더불어 관리자로부터 알람 내역을 검색할 수 있는 검색 창을 제공한다. 즉, S2305 단계에서 관리자가 ALARM HISTORY 화면으로 구비된 SEARCH 버튼을 클릭하면, 도 22b와 같이 검색 창을 제공한다. 상기 검색 창은 START DATE, END DATE, ALARM TEXT로 ALARM을 검색할 수 있다.

관리자로부터 검색 요청이 접수되면, S2315 단계로 진입하여 검색에 필요한 검색 항목을 입력하도록 유도한다. 관리자가 검색어 입력을 완료 즉, 엔터 키가 입력되면 관리자로부터 입력된 검색어는 S2317 단계를 거쳐 상기 데이터베이스로 접수된다. 그리고, S2319 단계에서, 데이터베이스는 검색어를 토대로 해당 알람 내역을 검색하며, S2321 단계에서 검색 결과를 디스플레이한다. 반면, S2305 단계에서 상기 ALARM HISTORY를 검색하지 않고 엑셀 파일로 변환하고자 할 경우, 상기 ALARM HISTORY 화면의 Excel 버튼을 클릭한다. 그러면, S2309 단계로 진입하여 엑셀 파일을 생성하고, S2311 단계로 진입하여 화면상으로 제공되는 데이터를 읽어 들인다. 그리고, S2313 단계에서 엑셀 파일의 형식에 따라 입력된 데이터를 디스플레이한다.

한편, 상기 세정장비(201)의 상태를 그래프로 제공받고자 할 경우, 관리자는 상기 메인 화면상으로 구비된 GRAPH 버튼(415)를 클릭한다. 메인 화면은 GRAPH 버튼(415)의 클릭 상태를 인지한 후, 도 24와 같이 GRAPH 화면을 팝업시킨다. 상기 GRAPH 화면은 표현값의 최소값과 최대값을 설정하는 버튼을 포함하여, 선형 그래프를 출력을 위한 GRAPH WINDOW와, 온도, DRYER, OZONE의 변화 값을 그래픽화하여 제공하는 GRAPH MONITOR, 스크롤을 사용하여 값을 자세히 볼 때 사용하는 CHART SCROLL, GRAPH WINDOW에 값을 디스플레이하는 DATA VIEW, GRAPH 출력 간격을 조정(현재 시간부터 설정시간 전만큼 출력)하는 TIME, 원하는 날짜의 그래프를 검색하는 SEARCH 버튼, 현재 상태 출력을 위한 현재 값, 그래프의 값을 EXCEL로 변환하는 EXCEL 버튼으로 구성된다.

도 25는 전술된 GRAPH 화면을 제공하기 위한 전체 흐름도이다. 도시된 바와 같이, S2501 단계에서 그래프에 사용되는 변수를 초기화한다. 그리고, S2503 단계에서 관리자는 상기 GRAPH 화면상으로 제공되는 GRAPH MONITOR의 항목을 선택한다. 이후, S2505 단계에서 GRAPH 화면은 TIME의 시간 간격을 체크하며, S2507 단계로 진입하여 GRAPH 화면상의 CHART SCROLL이 체크되어 있는지 검출하고, S2309 단계에서 상기 GRAPH 화면상으로 구비된 DATA VIEW가 체크되어 있는지 검출한다. S2511 단계에서 전술된 각 항목에 따라 체크된 정보를 토대로 그래프 데이터를 읽어 들인다. 그리고, S2513 단계에서 상기 그래프 데이터를 화면상으로 디스플레이한다.

이후, 관리자는 상기 GRAPH 화면상의 SEARCH 버튼을 이용하여 원하는 날짜의 그래프를 제공받을 수 있다. 즉, S2521 단계에서 관리자가 SEARCH 버튼을 클릭하였는지를 판단하고, 판단 결과에 따라 S2515 단계로 진입한다. 관리자는 검색하고자 하는 날짜 정보를 입력하며, S2517 단계에서 해당 날짜에 대응하는 그래프를 데이터베이스로부터 추출한다. S2519 단계에서 상기 그래프 데이터를 디스플레이한다.

반면, S2521 단계에서 관리자는 SEARCH 버튼을 클릭하지 않고, EXCEL 버튼을 클릭할 경우, S2523 단계로 진입하여 현재의 그래프 값을 읽어 들인다. 그리고, S2525 단계에서 엑셀 파일을 생성하고, S2527 단계에서 화면상으로 나타낸 데이터를 상기 엑셀 파일로 저장한다. 그리고, 해당 엑셀 파일을 디스플레이함으로써 관리자로부터 내용 확인을 유도한다.

한편, 관리자는 상기 메인 화면상의 PASSWORD 버튼(417)을 이용하여 암호 설정이 가능하다. 관리자가 상기 PASSWORD 버튼(417)을 클릭할 경우, 메인 화면은 도 26과 같은 PASSWORD 화면을 팝업시킨다. 상기 PASSWORD 화면은 암호를 단계별로 설정 및 관리하는 것으로, 다수의 암호 입력 단계를 구현하여 시스템의 안정성을 확보한다. 도시된 바와 같이, LEVEL-1 내지 LEVEL-10까지의 LEVEL이 구비되며, 이를 도표로 나타내면 다음과 같다.

LEVEL-1	SUPER KEY PROGRAM END PASSWORD EDIT	모든 기능에 암호 적용 프로그램 종료 할때 적용 암호 변경할때 적용
LEVEL-2	MAINTE EDIT	MAINTENANCE 편집할때 적용
LEVEL-3	MAINTE MOVE MAINTE DELETE	MAINTENANCE 이동할때 적용 MAINTENANCE 삭제할때 적용
LEVEL-4	RECIPE EDIT	RECIPE를 편집할 때 적용
LEVEL-5	SETVALUE SET	SETVALUE의 SET값을 편집시 적용
LEVEL-6	SETVALUE REAL	SETVALUE의 REAL값을 편집시 적용
LEVEL-7	EQUIPMENT	EQUIPMENT 변경시 적용
LEVEL-8	미 사 용	미 사 용
LEVEL-9	미 사 용	미 사 용
LEVEL-10	미 사 용	미 사 용

이와 같이 PASSWORD 화면의 동작을 도 27을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 먼저, S2701 단계에서 패스워드 파일의 암호를 읽어 들인 후, S2703 단계에서 패스워드 레벨 리스트를 읽어 들인다. S2705 단계에서 암호 창에 소정의 기호 예컨대, '*'를 디스플레이하여 초기 창에 대한 암호 표시를 실행한다. 또한, S2707 단계에서 PASSWORD 화면은 암호 입력 창을 제공하며, S2709 단계에서 관리자는 상기 암호 입력 창으로 암호를 입력한다. S2711 단계에서 입력된 암호에 대한 오류 여부를 판단하며, 암호 오류가 발생될 경우 S2707 단계로 피드백한다. 반면, 입력된 암호에 대한 오류가 없을 경우, S2713 단계로 진입하여 입력된 암호를 소정의 기호 예컨대, '*'로 디스플레이한다.

S2715 단계로 진입하여 입력된 암호에 대한 저장 여부를 판단한다. 이는 관리자가 암호 입력 후 이를 저장하기 위한 버튼 예컨대, 엔터 키 등이 입력되는지를 판단하는 것으로, 해당 버튼이 입력되었을 경우 S2717 단계에서 입력된 암호를 패스워드 파일에 저장한다. 그리고, S2721 단계로 진입하여 상기 PASSWORD 화면상으로 구비되는 EXIT 버튼이 동작되었는지를 판단하고, EXIT 버튼이 동작되었을 경우 본 알고리즘을 종료한다. 한편, S2715 단계에서 입력된 암호를 저장하지 않고 편집하고자 할 경우, S2719 단계로 진입하여 새로운 암호를 입력한 후, 상기 S2719 단계로 피드백한다.

이상 설명된 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 세정 장비의 모니터링 방법은, 반도체 세정 장비의 전반적인 운용을 세정장비 관리장치를 통해 디스플레이하고, 관리자 인증을 토대로 데이터 수정 및 편집이 용이하여 시스템 운용의 편의성과 업무의 효율성을 증대시키는 효과가 있다.

구체적으로, 상위 HOST와 연계하여 제품의 생산량을 조절하고 생산관리 시스템과 연결해 생산 정보 등을 취합하여 데이터 관리의 편의성을 증대시키고, 모든 데이터를 Excel File화 시켜 데이터의 이동 관리의 효율성을 높이며, 자체 자료를 데이터베이스화하여 체계적으로 데이터를 관리가 가능한 효과가 있다. 또한, Graph 전용 프로그램을 사용하여 데이터의 변화를 시각적으로 제공할 수 있으며, 각 Level 별로 암호를 만들어 사용자의 등급을 매겨 관리자의 데이터를 사용자가 임의로 변경하는 것을 방지함으로써, 시스템의 안정성을 높이는 효과가 있다. 그리고, 중요 데이터를 변환하면 로그 파일을 자동으로 생성토록 함에 따라, 파일의 생성, 소멸, 삭제에 대한 변경 사항을 확인하며, 제품의 이력을 자세하게 인지할 수 있어 제품 데이터의 효율적 관리가 가능한 효과가 있다.

이상에서 설명한 것은 본 발명의 실시 예에 불과한 것으로, 본 발명의 실시 예에 한정되지 않고 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims

소정의 식각 공정이 완료된 웨이퍼 상의 이물질을 세정하기 위한 세정장비와, 상기 세정장비의 운용 상황을 검출하고, 외부의 제어신호에 응답하여 상기 세정장비를 운용하는 피엘씨(PLC)와, 상기 피엘씨와 연동하여 상기 세정장비의 운용 상황을 접수하고, 이에 대응하는 기능 제어를 수행하는 세정장비 관리장치와, 상기 세정장비 관리장치와 접속되어 상기 운용 상황 및 기능 제어에 대응하는 그래픽화된 정보를 디스플레이하기 위한 디스플레이 장치로 구성되는 반도체 세정장비의 모니터링 방법에 있어서,

a) 상기 세정장비 관리장치에 대한 프로그램의 구동을 위한 변수들의 초기화 및 프로그램 운용에 필요한 기초 데이터들을 읽어 들이는 단계;

b) 상기 피엘씨(PLC)와의 통신을 수행하고, 상기 피엘씨로부터 데이터를 읽은 후, 해당 데이터를 변환하여 미리 선언해 놓은 변수에 저장하는 단계;

c) 시스템 운용에 필요한 중요 데이터와 자료들에 대한 파일의 존재 유무를 검출하며 검출 결과에 따라, 파일의 생성 또는 데이터 저장을 실행하는 단계;

d) 상기 피엘씨에 저장되어 있는 작업 조건(Recipe) 값을 읽어 들인 후, 상기 세정장비 관리장치의 데이터베이스로 저장하는 단계;

e) 상기 세정장비 관리 제어를 위해, 상기 세정장비를 구성하는 다수 장치의 위치와 현재의 진행 상황을 실시간으로 디스플레이하기 위한 메인 화면을 상기 디스플레이 장치로 제공하는 단계;

f) 상기 세정장비의 이상 유무를 판단하기 위해, 상기 피엘씨에서 읽어온 알람 데이터(Alarm Data)를 체크하고, 이를 알람 히스토리(Alarm History)에 기록하는 단계;

g) 로더(LOADER) 및 언로더(UNLOADER)에 대한 로컬 이벤트 데이터를 수신하고, 신규 데이터를 식별하여 상기 세정장비 관리장치 및 피엘씨의 각 메모리로 저장하는 단계;

h) 상기 세정장비의 암(ARM) 구동에 따른 이벤트 데이터를 수신하는 단계;

i) 배스(BATH)에 대한 배스 이벤트 데이터를 수신하고, 신규 데이터를 식별하여 상기 세정장비 및 피엘씨의 각 메모리로 저장하는 단계;

j) 상기 세정장비의 케미컬(Chemical) 온도와 농도 데이터를 검출하고, 드라이어(Dryer)의 데이터를 검출하며, 오존(Ozone) 생성기의 데이터를 검출하는 단계; 및

k) 상기 세정장비의 상태를 체크하고, 데이터 백업을 수행한 후, 상기 e) 단계로 피드백하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.
제 1 항에 있어서 상기 e) 단계의 메인 화면은,

시스템의 관리 기능을 선택할 수 있도록 일 측면으로 각 기능별 버튼을 구비하는 기능 선택부;

상기 세정장비의 암(ARM), 로더(LOADER/UNLOADER), 배스(BATH) 등의 운용상 태를 그래픽화된 정보로 제공하는 시스템 운용부; 및

장비의 상태를 포함하여 알람(Alarm) 현황 및 오존, 드라이어 상태를 수치화된 정보 또는 그래픽화된 정보로 제공하는 상태 표시부로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.
제 2 항에 있어서 상기 기능 선택부는,

현재 진행되는 웨이퍼(WAFER)의 정보를 옮기거나 편집, 삭제 기능 수행하는 MAINTENANCE 버튼;

카세트 투입 순서와 BATH의 처리시간(PROCESS TIME)을 설정 또는 디스플레이하기 위한 RECIPE 버튼;

장비의 상태를 ON, OFF로 디스플레이하도록 지시하는 STATUS 버튼;

장비의 구동 시간을 설정하기 위한 SET VALUE 버튼;

각 장비에 대한 파라메터(Parameter) 값을 표시하도록 지시하는 EQUIPMENT 버튼;

현재까지 진행된 카세트 데이터를 표시하도록 지시하는 LOT HISTORY 버튼;

현재까지 발생한 알람 내역을 디스플레이하도록 지시하는 ALARM HISTORY 버튼;

상기 BATH의 온도와 오존(OZONE)의 CHEMICAL 농도를 그래프로 표시하고, DRYER의 상태를 그래프로 표시하도록 지시하는 GRAPH 버튼;

주요 기능설정 시 사용자의 인증을 위해 암호의 설정 및 변경을 수행하기 위 한 PASSWORD 버튼; 및

상기 세정장비 관리장치 및 피엘씨 간의 통신 상태를 확인하기 위한 통신상태 표시 버튼으로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.
제 3 항에 있어서 상기 MAINTENANCE 버튼 클릭 시 MAINTENANCE 화면을 팝업시키고, 상기 MAINTENANCE 화면은;

a) 상기 웨이퍼에 대한 위치 데이터 값을 읽어 들이는 단계;

b) 상기 위치 데이터가 존재하는지를 판단하며, 위치 데이터가 존재하지 않을 경우 상기 a) 단계로 피드백하며, 상기 위치 데이터가 존재할 경우, 상기 MAINTENANCE 화면상으로 도시되는 각각의 시스템 상태(로더(LOADER), 언로더(UNLOADER), 드라이어(DRYER), 암(ARM), 오존(OZONE)) 등의 상태를 나타내는 그래픽 패널의 컬러를 변경하는 단계;

c) 관리자로부터 변경할 데이터를 선택받는 단계;

d) 관리자로부터 상기 변경할 데이터에 대한 데이터 이동이 요구될 경우, 관리자에 대한 암호 인증을 수행하는 단계;

e) 상기 암호 인증을 토대로 데이터 이동을 수행하고, 해당 데이터를 로그 파일(Log File)로 저장하는 단계;

f) 관리자로부터 상기 변경할 데이터에 대한 데이터 편집이 요구될 경우, 관리자에 대한 암호 인증을 수행하는 단계;

g) 상기 암호 인증을 토대로 데이터 편집을 수행하고, 편집된 데이터를 로그 파일(Log File)로 저장하는 단계;

h) 관리자로부터 상기 변경할 데이터에 대한 데이터 삭제가 요구될 경우, 관리자에 대한 암호 인증을 수행하는 단계; 및

i) 상기 암호 인증을 토대로 데이터 삭제를 수행하고, 삭제된 데이터를 로그 파일(Log File)로 저장하는 단계로 이루어진 절차에 따라 해당 데이터를 디스플레이하는 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.
제 3 항에 있어서 상기 RECIPE 버튼 클릭 시, 상기 메인 화면은 RECIPE 화면을 팝업시키고, 상기 RECIPE 화면은;

a) 상기 데이터베이스로부터 리시피 데이터를 읽어 들이는 단계;

b) 상기 리시피 데이터를 화면에 출력한 후, 관리자로부터 편집 기능 또는 엑셀 변환 기능 선택을 접수하는 단계;

c) 상기 b) 단계의 접수 결과, 관리자가 리시피 데이터에 대한 편집을 요청할 경우, 데이터 입력 또는 편집할 항목이 선택된 후 데이터 편집이 가능한 EDIT 창을 제공하는 단계;

d) 상기 리시피(RECIPE) 화면상으로 관리자에 대한 인증을 수행할 수 있도록 인증 화면을 제공하고, 관리자에 대한 인증을 수행하는 단계;

e) 인증 오류시 상기 a) 단계로 피드백하고, 정상적인 인증 절차가 종료되면, 편집을 위한 데이터 입력을 접수하는 단계;

f) 편집된 데이터를 상기 데이터베이스로 저장하고, 로그 파일로 생성하는 단계;

g) 상기 b) 단계의 접수 결과, 관리자가 상기 리시피 데이터에 대한 엑셀 변환을 요청할 경우, 엑셀 파일(EXCEL FILE)을 생성한 후, 상기 RECIPE 화면상으로 제공되는 데이터를 읽어 들이는 단계; 및

h) 현재 읽어 들인 데이터를 상기 엑셀 파일로 저장하고, 엑셀 파일을 열어 현재의 데이터를 디스플레이하는 단계로 구성된 절차에 따라 리시피 화면 출력이 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.
제 3 항에 있어서 상기 STATUS 버튼 클릭 시, 상기 메인 화면은 STATUS 화면을 팝업시키고, 상기 STATUS 화면은;

a) 상기 데이터베이스로부터 각 장비 항목에 대한 STATUS 리스트를 읽어 들이는 단계;

b) 상기 STATUS 리스트를 화면에 표시하며, 상기 피엘씨로부터 상기 세정장비에 대한 현재의 데이터를 접수하는 단계;

c) 상기 피엘씨로부터 제공받은 데이터를 토대로 해당 장비에 대한 상태를 판단하는 단계;

d) 상기 각 장비의 상태에 따라 ON 또는 OFF로 설정하고 이를 디스플레이하는 단계; 및

e) 관리자의 선택 기능에 따라 상기 STATUS 리스트 및 각 장비의 상태를 엑 셀(EXCEL) 파일로 변환하고 이를 디스플레이하는 단계로 구성된 절차에 따라 STATUS 화면 출력이 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.
제 3 항에 있어서 상기 SET VALUE 버튼 클릭 시, 상기 메인 화면은 SET VALUE 화면을 팝업시키고, 상기 SET VALUE 화면은;

a) 관리자가 상기 SETVALUE 화면상으로 제공되는 콤보박스의 타이틀을 선택하는 단계;

b) 해당 타이틀에 대응하는 리스트를 입력받으며, 해당 리스트를 화면에 표시하는 단계;

c) 상기 피엘씨 데이터를 리드하고, 상기 피엘씨 데이터를 상기 해당 리스트에 맞도록 추출 및 디스플레이하는 단계;

d) 관리자로부터 장비 구동을 위한 파라미터 값 편집을 요청하고, 편집 요청에 응답하여 현재 값 변경 또는 설정 값 변경을 위한 각각의 인증을 수행하는 단계; 및

e) 인증 결과에 따라 데이터 편집을 수용하고, 편집된 데이터를 로그 파일로 저장하는 단계로 구성된 절차에 따라 SET VALUE 화면 출력이 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.
제 3 항에 있어서 상기 EQUIPMENT 버튼 클릭 시, 상기 메인 화면은 EQUIPMENT 화면을 팝업시키고, 상기 EQUIPMENT 화면은;

a) 상기 데이터베이스로 기 저장된 장비의 각 파라메터(센서, 암(ARM)의 구동 조정을 위한 항목 등)에 대한 리스트를 제공받는 단계;

b) 상기 리스트를 디스플레이한 후, 상기 피엘씨로부터 리스트의 항목별 데이터를 입력받는 단계;

c) 상기 피엘씨 데이터의 GRID를 판단하고, 판단결과에 따라 해당 데이터를 ON 또는 OFF로 표시하건, 해당 데이터를 수치화된 정보로 표시하는 단계;

d) 관리자로부터 해당 데이터에 대한 편집 요청이 접수되는지를 판단하고, 판단결과, 임의의 항목을 편집하고자 할 경우, 편집을 승인하기 위한 소정의 인증화면을 팝업시키는 단계;

e) 관리자에 대한 사용자 인증을 수행하며, 인증 오류 발생시 초기 단계로 피드백하고, 인증 확인이 이루어지면 데이터 변경을 승인하는 단계; 및

f) 변경된 데이터를 화면상으로 디스플레이하고, 로그 파일에 저장하는 단계로 구성된 절차에 따라 EQUIPMENT 화면 출력이 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.
제 8 항에 있어서,

g) 상기 장비의 각 파라메터를 편집할 수 있도록 엑셀 파일을 활성화시키는 단계; 및

h) 화면상의 데이터를 읽어 들여 엑셀 파일로 전송하는 단계를 통해 현재의 데이터를 엑셀 파일로 변환하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.
제 3 항에 있어서 상기 LOT HISTORY 버튼 클릭 시, 메인 화면은 LOT HISTORY 화면을 팝업시키고, 상기 LOT HISTORY 화면은;

a) 상기 세정장비에서 생산한 웨이퍼들의 정보를 LOT 단위로 제공받기 위해, LOT HISTORY 데이터베이스로부터 LOT 단위의 생산 정보를 읽어 들이는 단계;

b) 상기 생산 정보 중 임의의 LOT가 선택되고, 선택된 임의의 LOT에 대응하는 상세 정보를 디스플레이하는 단계;

d) 상기 생산 정보에 대한 검색 요청이 존재하는지 판단하고, 검색 요청이 없을 경우 상기 a) 단계로 피드백하는 단계;

e) 상기 d) 단계에서 검색 요청이 존재할 경우, 검색어 입력을 위한 검색 창을 제공하는 단계; 및

f) 상기 검색어에 대한 검색 결과를 상기 데이터베이스로부터 제공받으며, 상기 검색 결과를 상기 LOT HISTORY 화면상으로 디스플레이하는 단계로 구성된 절차에 따라 LOT HISTORY 화면 출력이 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.
제 3 항에 있어서 상기 ALARM HISTORY 버튼 클릭시, 상기 메인 화면은 ALARM HISTORY 화면을 팝업 시키고, 상기 ALARM HISTORY 화면은;

a) 상기 데이터베이스로부터 알람 내역(ALARM HISTORY)을 읽어 들이는 단계;

b) 상기 알람 내역을 화면에 표시하고, 관리자로부터 상기 알람 내역에 대한 검색 요청 또는 엑셀 파일 변환을 접수하는 단계;

c) 상기 b) 단계에서 알람 내역에 대한 검색 요청이 접수될 경우, 상기 알람 내역을 검색할 수 있는 검색 창을 제공하고, 검색에 필요한 검색 항목을 입력받는 단계;

d) 입력된 검색어를 토대로 해당 알람 내역을 검색하며, 검색 결과를 디스플레이하는 단계;

e) 상기 b) 단계에서 엑셀 파일 변환을 지시받을 경우, 엑셀 파일을 생성하는 단계; 및

f) 화면상으로 제공되는 데이터를 읽어 들인 후, 상기 엑셀 파일의 형식에 따라 입력된 데이터를 디스플레이하는 단계로 구성된 절차에 따라 ALARM HISTORY 화면 출력이 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.
제 3 항에 있어서 상기 GRAPH 버튼 클릭시, 상기 메인 화면은 GRAPH 화면을 팝업시키고, 상기 GRAPH 화면은;

표현값의 최소값과 최대값을 설정하는 버튼을 포함하여, 선형 그래프를 출력을 위한 GRAPH WINDOW와, 온도, DRYER, OZONE의 변화 값을 그래픽화하여 제공하는 GRAPH MONITOR, 스크롤을 사용하여 값을 자세히 볼 때 사용하는 CHART SCROLL, GRAPH WINDOW에 값을 디스플레이하는 DATA VIEW, GRAPH 출력 간격을 조정(현재 시 간부터 설정시간 전만큼 출력)하는 TIME, 원하는 날짜의 그래프를 검색하는 SEARCH 버튼, 현재 상태 출력을 위한 현재 값, 그래프의 값을 EXCEL로 변환하는 EXCEL 버튼으로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.
제 12 항에 있어서 상기 GRAPH 화면은;

a) 그래프에 사용되는 변수를 초기화하는 단계;

b) 상기 GRAPH 화면에서 TIME 항목의 시간 간격을 체크하는 단계;

c) 상기 GRAPH 화면상의 CHART SCROLL이 체크되어 있는지 검출하는 단계;

d) 상기 GRAPH 화면상으로 구비된 DATA VIEW가 체크되어 있는지 검출하는 단계;

e) 각 항목에 따라 체크된 정보를 토대로 그래프 데이터를 읽어 들이고, 이를 디스플레이하는 단계;

f) 원하는 날짜의 그래프를 제공받기 위한 검색 요청을 접수하는 단계;

g) 검색하고자 하는 날짜 정보를 입력받고, 해당 날짜에 대응하는 그래프를 데이터베이스로부터 추출하는 단계; 및

h) 상기 그래프 데이터를 디스플레이하는 단계로 구성된 절차에 따라 GRAPH 화면 출력이 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.
제 13 항에 있어서,

i) 상기 그래프 데이터에 대한 엑셀 파일 변환을 요청받는 단계;

j) 현재의 그래프 값을 읽어 들인 후, 엑셀 파일을 생성하는 단계; 및

k) 화면상으로 나타낸 데이터를 상기 엑셀 파일로 저장하고, 이를 디스플레이하는 단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.
제 3 항에 있어서 상기 PASSWORD 버튼 클릭시, 상기 메인 화면은 PASSWORD 화면을 팝업시키고, 상기 PASSWORD 화면은;

a) 패스워드 파일의 암호를 읽어 들인 후, 패스워드 레벨 리스트를 읽어 들이는 단계;

b) 암호 창에 소정의 기호를 디스플레이하여 초기 창에 대한 암호 표시를 실행하는 단계;

c) 암호 입력 창을 제공하며, 상기 암호 입력 창으로 관리자의 암호를 입력받는 단계;

d) 입력된 암호에 대한 오류 여부를 판단하며, 암호 오류가 발생될 경우 초기 단계로 피드백하고, 입력된 암호에 대한 오류가 없을 경우, 입력된 암호를 소정의 기호로 디스플레이하는 단계; 및

e) 입력된 암호를 패스워드 파일에 저장하는 단계로 구성된 절차에 따라 PASSWORD 화면 출력이 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.
제 2 항에 있어서 상기 시스템 운용부는,

상기 암(ARM)의 위치를 그래픽화된 정보로 제공하고, ARM의 위치 데이터 유/무를 표시하기 위한 ARM 표시란; 상기 로더/언로더(LOADER / UNLOADER) 안의 현재 데이터를 표시하도록 지시하는 LOADER/UNLOADER 표시란; 각 BATH의 현재 데이터를 표시하는 BATH 표시란; 및 상기 BATH의 현재온도와 시간을 표시하는 BATH 온도/시간 표시란으로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.
제 2 항에 있어서 상기 상태 표시부는,

메인화면의 일 측면을 할애하여 오존 상태를 디스플레이하기 위한 오존상태 표시란; 상기 오존 상태 표시와 더불어 드라이어의 온도 및 시간을 표시하는 드라이어 상태 표시란; 장비에 대한 현재 상태를 일괄적으로 표시하는 장비상태 표시란; 및 현재 발생한 알람을 누적하여 디스플레이하는 알람 리스트 표시란으로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장비의 모니터링 방법.