KR100667359B1 - Mother Glass and Fabricating Method of Organic Electro Luminescence Device Using The Same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 절연물질의 접착성을 향상시켜 소자불량을 방지할 수 있는 모기판 및 이를 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a mother substrate capable of preventing device defects by improving adhesion of an insulating material and a method of manufacturing an organic light emitting display device using the same.

본 발명에 따른 다수의 유기전계발광어레이가 형성된 모기판에 있어서, 상기 모기판의 외곽영역에 위치하며 상기 다수의 유기전계발광어레이를 감싸도록 띠 형태로 형성된 투명물질패턴을 포함하는 것을 특징으로 한다. A mother substrate having a plurality of organic light emitting arrays according to the present invention, characterized in that it comprises a transparent material pattern located in the outer region of the mother substrate and formed in a band shape to surround the plurality of organic electroluminescent arrays. .

Description

모기판 및 이를 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법{Mother Glass and Fabricating Method of Organic Electro Luminescence Device Using The Same} Mother Glass and Fabricating Method of Organic Electro Luminescence Device Using The Same}             

도 1은 종래의 유기 전계발광표시소자를 개략적으로 나타내는 도면이다. 1 is a view schematically showing a conventional organic electroluminescent display device.

도 2는 종래의 유기 전계발광소자의 발광원리를 설명하기 위한 다이어 그램이다. 2 is a diagram for explaining the light emission principle of a conventional organic electroluminescent device.

도 3은 다수의 유기전계발광어레이가 형성된 모기판을 나타내는 도면이다. 3 is a diagram illustrating a mother substrate on which a plurality of organic light emitting arrays are formed.

도 4a 및 도 4b는 종래의 절연물질의 접착불량을 설명하기 위한 도면이다. 4A and 4B are diagrams for explaining adhesion failure of conventional insulating materials.

도 5는 본 발명에 따른 유기전계발광표시소자용 모기판을 나타내는 도면이다. 5 is a view showing a mother substrate for an organic light emitting display device according to the present invention.

도 6은 도 5 도시된 A영역을 구체적으로 나타내는 도면이고, 도 7은 선 Ⅰ-Ⅰ'을 절단하여 도시한 단면도이다.FIG. 6 is a view illustrating region A shown in FIG. 5 in detail, and FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line II ′.

도 8a 내지 도 8f는 도 7에 도시된 모기판을 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법을 나타내는 도면이다. 8A to 8F are views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device using the mother substrate shown in FIG. 7.

도 9는 절연물질의 형성을 나타내는 도면이다.9 is a view showing the formation of an insulating material.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>       <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

2,102 : 기판 4,104 : 애노드전극 2,102: substrate 4,104: anode electrode

8,108 : 격벽 10,110 : 유기발광층8,108: partition 10,110: organic light emitting layer

12,112 : 캐소드 전극 28,128 : 캡 12,112: cathode electrode 28,128: cap

25,125 : 실런트 150 : 투명물질패턴 25,125 Sealant 150 Transparent material pattern

6a,106a : 감광성 절연물질6a, 106a: photosensitive insulating material

본 발명은 유기 전계발광표시소자에 관한 것으로, 특히, 절연물질의 접착성을 향상시킬 수 있는 모기판 및 이를 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to an organic light emitting display device, and more particularly, to a mother substrate capable of improving adhesion of an insulating material and a method of manufacturing the organic light emitting display device using the same.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel) 및 전계발광표시소자(Electro Luminescence Display Device : 이하 "EL표시소자"라 함) 등이 있다. 특히 EL표시소자는 기본적으로 정공수송층, 발광층, 전자수송층으로 이루어진 유기 발광층의 양면에 전극을 붙인 형태의 것으로서, 넓은 시야각, 고개구율, 고색도 등의 특징 때문에 차세대 평판표시장치로서 주목받고 있다. Recently, various flat panel displays have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. Such a flat panel display includes a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, and an electroluminescence display device. And the like). In particular, the EL display device is basically formed by attaching electrodes to both sides of an organic light emitting layer including a hole transporting layer, a light emitting layer, and an electron transporting layer, and has attracted attention as a next-generation flat panel display because of its wide viewing angle, high opening ratio, and high color.

이러한 EL표시소자는 사용하는 재료에 따라 크게 무기 EL표시소자와 유기 EL표시소자로 나뉘어진다. 이 중 유기 EL표시소자는 정공 주입 전극과 전자 주입 전극 사이에 형성된 유기 EL 층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내기 때문에 무기 EL표시소자에 비해 낮은 전압으로 구동 가능하다는 장점이 있다. 또한, 유기 EL표시소자는 플라스틱같이 휠 수 있는(Flexible) 투명기판 위에도 소자를 형성할 수 있을 뿐 아니라, PDP나 무기 EL표시소자에 비해 10V 이하의 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 전력 소모가 비교적 작으며, 색감이 뛰어나다. Such EL display elements are largely divided into inorganic EL display elements and organic EL display elements depending on the materials used. Among them, the organic EL display device can be driven at a lower voltage than the inorganic EL display device because when the charge is injected into the organic EL layer formed between the hole injection electrode and the electron injection electrode, electrons and holes are paired and extinguished to emit light. Has the advantage. In addition, the organic EL display device can be formed on a flexible transparent substrate, such as plastic, and can be driven at a voltage lower than 10V compared to a PDP or an inorganic EL display device, and the power consumption is relatively low. Small, excellent color

도 1은 종래의 유기 EL표시소자를 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 유기 EL표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 도면이다. 1 is a cross-sectional view schematically showing a conventional organic EL display element, and FIG. 2 is a view for explaining the light emission principle of the organic EL display element shown in FIG.

도 1에 도시된 유기 EL표시소자는 기판(2) 상에 유기발광층(10)을 사이에 두고 서로 교차되게 형성된 제1 전극(또는 애노드전극)(4)과 제2 전극(또는 캐소드전극)(12) 등을 포함하는 유기EL어레이(15)와, 유기EL어레이(15)를 패키징하기 위한 캡(28)을 구비한다. The organic EL display device illustrated in FIG. 1 includes a first electrode (or anode electrode) 4 and a second electrode (or cathode electrode) formed on the substrate 2 so as to cross each other with an organic light emitting layer 10 interposed therebetween. 12) and an organic EL array 15 including a cap and a cap 28 for packaging the organic EL array 15.

유기EL어레이(15)의 애노드전극(4)은 기판(2) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 애노드전극(4)이 형성된 기판(2) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(6)이 형성된다. 절연막(6) 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(10) 및 캐소드전극(12)의 분리를 위한 격벽(8)이 위치한다. 격벽(8)은 애노드전극(4)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(8)이 형성된 절연막(6) 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(10)과 캐소드전극(12)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기발광층(10)은 전자 주입층, 전자 수송층, 발광층, 정공 수송층, 정공 주입층을 포함한다. A plurality of anode electrodes 4 of the organic EL array 15 are spaced apart at predetermined intervals on the substrate 2. On the substrate 2 on which the anode electrode 4 is formed, an insulating film 6 having an opening for each EL cell EL region is formed. On the insulating film 6, a partition 8 for separating the organic light emitting layer 10 and the cathode electrode 12 to be formed thereon is positioned. The partition wall 8 is formed in a direction crossing the anode electrode 4 and has a reverse taper structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion. On the insulating film 6 on which the partition 8 is formed, the organic light emitting layer 10 and the cathode electrode 12 made of an organic compound are sequentially deposited on the entire surface. The organic light emitting layer 10 includes an electron injection layer, an electron transport layer, a light emitting layer, a hole transport layer, a hole injection layer.

이러한 유기EL어레이(15)는 수분 및 산소에 쉽게 열화되는 특성을 가지고 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 유기EL어레이(15)가 형성된 기판(2)과 캡이(28)이 에폭시 수지와 같은 실런트(25)를 통해 합착되는 봉지(Encapsulation) 공정이 실시됨으로써 유기EL어레이(15)가 산소 및 수분 등으로 부터 보호된다. The organic EL array 15 has a property of being easily degraded by moisture and oxygen. To solve this problem, an organic EL array 15 is formed by encapsulation process in which the substrate 2 and the cap 28 on which the organic EL array 15 is formed are bonded through a sealant 25 such as an epoxy resin. ) Is protected from oxygen and moisture.

캡(28)에는 유기EL어레이(15)와의 대향되는 면상에 위치하여 수분 및 산소를 흡수하는 게터(getter)(22)가 구비된다.여기서, 게터(22)는 무기산화물 즉, 수분과 반응하여 수산기(OH)를 형성하는 산화칼슘(Cao) 및 산화바륨(BaO)등이 이용된다. The cap 28 is provided with a getter 22 which is located on a surface facing the organic EL array 15 and absorbs moisture and oxygen. Here, the getter 22 reacts with an inorganic oxide, that is, moisture Calcium oxide (Cao), barium oxide (BaO), and the like forming hydroxyl group (OH) are used.

이러한, 유기EL표시소자는 도 2에 도시된 바와 같이 애노드 전극(4)과 캐소드 전극(12) 사이에 전압이 인가되면, 캐소드 전극(12)으로부터 발생된 전자는 전자 주입층(10a) 및 전자 수송층(10b)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동된다. 또한, 애노드 전극(4)으로 부터 발생된 정공은 정공 주입층(10e) 및 정공 수송층(10d)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(10c)에서는 전자수송층(10b)과 정공수송층(10d)으로부터 공급되어진 전자와 전공의 재결합으로 엑시톤(EXITON)이 형성되고, 이러한 엑시톤은 다시 기저상태로 여기되면서 일정한 에너지의 빛을 애노드 전극(4)을 통하여 외부로 방출됨으로써 화상이 표시되게 된다. In the organic EL display device, as shown in FIG. 2, when a voltage is applied between the anode electrode 4 and the cathode electrode 12, electrons generated from the cathode electrode 12 are transferred to the electron injection layer 10a and the electron. It moves toward the light emitting layer 10c through the transport layer 10b. In addition, holes generated from the anode electrode 4 move toward the light emitting layer 10c through the hole injection layer 10e and the hole transport layer 10d. Accordingly, in the light emitting layer 10c, excitons are formed by recombination of electrons and electrons supplied from the electron transport layer 10b and the hole transport layer 10d, and the excitons are excited to the ground state and emit light of constant energy. The image is displayed by being discharged to the outside through the anode electrode 4.

이러한, 유기EL표시소자는 도 3에 도시된 바와 같이 다수의 유기EL어레이(15)가 형성된 모기판(3)이 인캡슐레이션 공정에 의해 캡(28)과 합착된 후 스크라 이빙 공정에 의해 절단됨으로써 형성된다. In the organic EL display device, as shown in FIG. 3, the mother substrate 3 having the plurality of organic EL arrays 15 formed thereon is bonded to the cap 28 by an encapsulation process, and then, by a scribing process. It is formed by cutting.

한편, 이러한 종래의 모기판(3) 상에 유기EL어레이(15)를 형성하는 과정에서 모기판(3)의 외곽영역에서 절연막(6) 형성시 이용되는 절연물질이 기판(2)에서 부분적으로 분리되는 등의 필링(Peeling) 현상이 나타나게 된다. Meanwhile, in the process of forming the organic EL array 15 on the conventional mother substrate 3, an insulating material used to form the insulating film 6 in the outer region of the mother substrate 3 is partially formed in the substrate 2. Peeling phenomenon such as separation occurs.

이를 도 4a 및 도 4b를 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다. This will be described in detail with reference to FIGS. 4A and 4B.

먼저, 모기판(3) 상에 투명도전물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정과 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 4a 에 도시된 바와 같이 애노드전극(4)이 형성된다. First, the transparent conductive material is deposited on the mother substrate 3 and then patterned by a photolithography process and an etching process to form the anode electrode 4 as shown in FIG. 4A.

이후, 애노드전극(4)이 형성된 기판(2) 상에 감광성절연물질(6a)이 스핀코팅(Spin-Coating)법에 의해 코팅된다. 이 때, 모기판(3)의 외곽영역에 위치하는 감광성절연물질(6a)의 하부에는 투명도전물질이 형성되지 않게 됨으로써 감광성절연물질(6a)과 모기판(3)과의 계면에너지, 물질 특성 등의 차이로 인하여 접착성이 떨어지게 된다. 이에 따라, 도 4b에 도시된 바와 같이 감광성절연물질(6a)이 모기판(3) 상에서 부분적으로 분리되는 등의 필링(Peeling) 현상이 나타나게 된다. 이러한 필링현상이 발생되면 이후 진행되는 패터닝공정에서 상당한 오차 및 편차가 발생됨으로써 유기EL어레이(15)의 형성불량 등의 문제가 발생된다. Thereafter, the photosensitive insulating material 6a is coated on the substrate 2 on which the anode electrode 4 is formed by a spin-coating method. At this time, since the transparent conductive material is not formed below the photosensitive insulating material 6a positioned in the outer region of the mother substrate 3, the interfacial energy between the photosensitive insulating material 6a and the mother substrate 3 and the material characteristics. Due to the difference, etc., the adhesion is inferior. Accordingly, as shown in FIG. 4B, a peeling phenomenon occurs such that the photosensitive insulating material 6a is partially separated from the mother substrate 3. When such a peeling phenomenon occurs, a considerable error and a deviation occur in a patterning process that is performed later, thereby causing problems such as poor formation of the organic EL array 15.

따라서, 본 발명의 목적은 절연물질의 접착성을 향상시켜 소자불량을 방지할 수 있는 모기판을 제공하는 것이다. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a mother substrate capable of preventing device defects by improving adhesion of an insulating material.                         

본 발명의 다른 목적은 절연물질의 접착성이 향상된 모기판을 이용한 유기전계발광표시소자의 제조방법을 제공하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing an organic light emitting display device using a mother substrate having improved adhesion of an insulating material.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 다수의 유기전계발광어레이가 형성된 모기판에 있어서, 상기 모기판의 외곽영역에 위치하며 상기 다수의 유기전계발광어레이를 감싸도록 띠 형태로 형성된 투명물질패턴을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, in the mother substrate formed with a plurality of organic electroluminescent array according to the present invention, the transparent material pattern formed in a band so as to surround the plurality of organic electroluminescent array is located in the outer region of the mother substrate. Characterized in that it comprises a.

상기 유기전계발광어레이는 유기발광층을 사이에 두고 서로 교차되게 형성되는 제1 및 제2 전극을 포함하며, 상기 투명물질패턴은 상기 제1 및 제2 전극 중 어느 하나와 동일물질인 것을 특징으로 한다. The organic light emitting array includes first and second electrodes formed to cross each other with an organic light emitting layer interposed therebetween, and the transparent material pattern is made of the same material as any one of the first and second electrodes. .

본 발명에 따른 유기전계발광표시소자의 제조방법은 모기판 상에 다수의 제1 전극을 형성함과 아울러 띠 형태로 상기 모기판의 외곽영역에 위치하며 상기 다수의 제1 전극들을 감싸도록 형성된 투명물질패턴을 형성하는 단계와; 상기 제1 전극 및 상기 투명물질패턴 상에 절연물질을 형성하는 단계와; 상기 절연물질을 패터닝하여 상기 제1 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 형성하는 단계와; 상기 절연막 상에 격벽을 형성하는 단계와; 상기 노출된 발광영역 상에 유기발광층을 형성하는 단계와; 상기 제1 전극과 교차되는 제2 전극을 형성하는 단계와; 인캡슐레이션 공정에 의해 상기 제2 전극이 형성된 모기판을 패키징하는 단계와; 스크라이빙 공정에 의해 상기 패키징된 모기판을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention, a plurality of first electrodes are formed on a mother substrate, and a transparent strip is formed to surround the plurality of first electrodes and is positioned in an outer region of the mother substrate in a band shape. Forming a material pattern; Forming an insulating material on the first electrode and the transparent material pattern; Patterning the insulating material to partially expose the first electrode to form an insulating film defining a light emitting area; Forming a partition on the insulating film; Forming an organic light emitting layer on the exposed light emitting region; Forming a second electrode intersecting the first electrode; Packaging a mother substrate on which the second electrode is formed by an encapsulation process; And cutting the packaged mother substrate by a scribing process.

상기 절연물질의 적어도 일부는 상기 투명물질패턴에 걸치도록 형성되는 것을 특징으로 한다. At least a portion of the insulating material is formed to span the transparent material pattern.

상기 절연물질의 끝단은 상기 투명물질패턴 위에 형성되는 것을 특징으로 한다.An end of the insulating material is formed on the transparent material pattern.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 5 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 9.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 모기판을 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 6은 도 5에 도시된 A영역을 구체적으로 나타내는 도면이고, 도 7은 도 6의 선 Ⅰ-Ⅰ'을 절단하여 도시한 단면도이다. FIG. 5 is a view schematically showing a mother substrate according to an embodiment of the present invention, FIG. 6 is a view showing region A shown in FIG. 5 in detail, and FIG. 7 is cut along line I-I 'of FIG. It is sectional drawing.

도 5 내지 도 7에 도시된 모기판(103)에는 다수의 유기EL어레이(115)가 형성되며, 모기판(103)의 외곽영역에는 투명물질패턴(150)이 형성된다. 5 to 7, a plurality of organic EL arrays 115 are formed in the mother substrate 103, and a transparent material pattern 150 is formed in the outer region of the mother substrate 103.

유기EL어레이(115)의 제1 전극(또는 애노드전극(104))은 기판(103) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 애노드전극(104)이 형성된 기판(103) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(106)이 형성된다. 절연막(106) 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(110) 및 제2 전극(또는 캐소드전극(112))의 분리를 위한 격벽(108)이 위치한다. 격벽(108)은 애노드전극(104)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테이퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(108)이 형성된 절연막(106) 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(110)과 캐소드전극(112)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기발광층(110)에는 전자 주입층, 전자 수송층, 발광층, 정공 수송층, 정공 주입층이 포함된다. A plurality of first electrodes (or anode electrodes 104) of the organic EL array 115 are formed on the substrate 103 at a predetermined interval. On the substrate 103 on which the anode electrode 104 is formed, an insulating film 106 having an opening for each EL cell EL region is formed. The partition 108 is disposed on the insulating layer 106 to separate the organic light emitting layer 110 and the second electrode (or the cathode electrode 112) to be formed thereon. The partition 108 is formed in a direction crossing the anode electrode 104 and has a reverse taper structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion. On the insulating layer 106 on which the partition 108 is formed, the organic light emitting layer 110 and the cathode electrode 112 made of an organic compound are sequentially deposited on the entire surface. The organic light emitting layer 110 includes an electron injection layer, an electron transport layer, a light emitting layer, a hole transport layer, a hole injection layer.

투명도전패턴(150)은 유기EL어레이(115)의 애노드 전극(104)과 동일물질로 동시에 형성되어 절연막(106) 형성시 모기판(103) 상에 코팅되는 절연물질이 모기판(103) 상에서 부분적으로 분리되는 등의 필링(Peeling) 현상을 방지하는 역할을 하게 된다. The transparent conductive pattern 150 is formed of the same material as the anode electrode 104 of the organic EL array 115 so that an insulating material coated on the mother substrate 103 when the insulating layer 106 is formed is formed on the mother substrate 103. It is to prevent the peeling (Peeling) phenomenon such as partly separated.

다시 말해서, 투명물질패턴(150)이 모기판(103)과 감광성절연물질 사이에 위치함으로써 감광성절연물질과 모기판(103과)의 계면에너지, 물질 특성 등의 차이로 인한 필링 현상이 방지 된다. 이에 따라, 이후 진행되는 패터닝공정에서 상당한 오차 및 편차 등이 감소됨으로써 유기EL어레이의 형성불량 등의 문제가 일어나지 않게 된다. In other words, since the transparent material pattern 150 is positioned between the mother substrate 103 and the photosensitive insulating material, a peeling phenomenon due to a difference in interfacial energy, material properties, etc. of the photosensitive insulating material and the mother substrate 103 is prevented. As a result, a significant error and deviation are reduced in the subsequent patterning process, so that problems such as formation of an organic EL array may not occur.

이하, 도 8a 내지 도 8f를 참조하여 본 발명에 따른 유기전계발광표시소자의 제조방법을 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, a method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention will be described with reference to FIGS. 8A to 8F.

먼저, 소다라임(Sodalime) 또는 경화유리를 이용하여 형성된 모기판(103) 상에 투명도전성물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정과 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 8a에 도시된 바와 같이 애노드전극(104) 및 모기판(103)의 외곽영역에 투명물질패턴(150)이 형성된다. 여기서, 투명도전물질로는 인듐-틴-옥사이드(Indium-Tin-Oxide) 또는 SnO2 등이 이용된다. First, a transparent conductive material is deposited on a mother substrate 103 formed using soda lime or hardened glass, and then patterned by a photolithography process and an etching process to form an anode electrode 104 as shown in FIG. 8A. ) And a transparent material pattern 150 is formed in the outer region of the mother substrate 103. Herein, indium tin oxide or SnO 2 may be used as the transparent conductive material.

애노드전극(104) 및 투명물질패턴(150)이 형성된 모기판(103) 상에 도 8b 및 도 9(사시도)에 도시된 바와 같이 감광성절연물질(106a)이 스핀코팅(Spin-Coating)법에 의해 전면 형성된다. 좀더 구체적으로 감광성절연물질(106a)의 끝단이 투명물질패턴(150) 상에 걸치도록 형성된다. On the mother substrate 103 on which the anode electrode 104 and the transparent material pattern 150 are formed, as shown in FIGS. 8B and 9 (perspective view), the photosensitive insulating material 106a is subjected to spin-coating. By the front is formed. More specifically, the end of the photosensitive insulating material 106a is formed to extend on the transparent material pattern 150.

여기서, 모기판(103)의 외곽영역에 모기판(103)과 감광성절연물질(106a) 사이에 투명물질패턴(150)이 위치하게 됨으로써 감광성절연물질(106a)의 필링현상이 일어나지 않게 된다. 즉, 모기판(103) 및 감광성절연물질(106a) 각각과 접착력이 좋은 투명물질패턴(150)이 모기판(103)과 감광성절연물질(106a) 사이에 위치하게 됨으로써 모기판(103)과 감광성절연물질(106a) 간의 계면에너지, 물질 특성의 차이로 인한 반발력이 완화된다. 이에 따라, 감광성절연물질(106a)이 모기판(103) 상에서 부분적으로 분리되는 등의 필링(Peeling) 현상이 일어나지 않게 된다. Here, since the transparent material pattern 150 is positioned between the mother substrate 103 and the photosensitive insulating material 106a in the outer region of the mother substrate 103, the peeling phenomenon of the photosensitive insulating material 106a does not occur. That is, a transparent material pattern 150 having good adhesion to each of the mother substrate 103 and the photosensitive insulating material 106a is positioned between the mother substrate 103 and the photosensitive insulating material 106a, so that the mother substrate 103 and the photosensitive material are exposed to each other. Repulsive forces due to differences in interfacial energy and material properties between the insulating materials 106a are alleviated. Accordingly, the peeling phenomenon such as the photosensitive insulating material 106a is partially separated on the mother substrate 103 does not occur.

이후, 포토리쏘그래피공정 의해 감광성절연물질(106a)이 패터닝됨으로써 도 8c(단면도)에 도시된 바와 같이 발광영역(165)이 노출되도록 절연막(106)이 형성된다. Thereafter, the photosensitive insulating material 106a is patterned by a photolithography process, so that the insulating layer 106 is formed to expose the light emitting region 165 as shown in FIG. 8C (cross-sectional view).

절연막(106) 상에 감광성유기물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정에 의해 패터닝됨으로써 도 8d에 도시된 바와 같이 격벽(108)이 형성된다. 격벽(108)은 화소를 구분해주기 위해 다수개의 애노드전극(104)과 교차되도록 비발광영역에 형성된다. After the photosensitive organic material is deposited on the insulating layer 106 and patterned by a photolithography process, the partition 108 is formed as shown in FIG. 8D. The partition 108 is formed in the non-light emitting area so as to intersect the plurality of anode electrodes 104 to distinguish the pixels.

격벽(108)이 형성된 모기판(103) 상에 공통 마크스 및 섀도우(shadow) 마스크(미도시)를 이용하여 열증착, 진공증착 등의 방식에 의해 도 8e에 도시된 바와 같이 유기발광층(110)이 형성된다. As shown in FIG. 8E, the organic light emitting layer 110 is formed on the mother substrate 103 on which the partition 108 is formed by thermal deposition, vacuum deposition, or the like using a common mark and a shadow mask (not shown). Is formed.

유기발광층(110)이 형성된 기판(103) 상에 금속물질이 증착됨으로써 도 8f에 도시된 바와 같이 캐소드전극(112)이 형성된다. As the metal material is deposited on the substrate 103 on which the organic light emitting layer 110 is formed, the cathode electrode 112 is formed as shown in FIG. 8F.

이후, 봉지(Encapsulation) 공정이 실시됨으로써 캐소드전극(112) 등을 포함하는 유기EL어레이(115)가 형성된 모기판(103)과 캡(128)이 에폭시 수지와 같은 실런트를 통해 합착된 후 스크라이빙 공정이 실시된다. 이에 따라, 다수의 유기EL표시소자가 완성된다. Subsequently, an encapsulation process is performed to bond the mother substrate 103 and the cap 128 on which the organic EL array 115 including the cathode electrode 112 and the like are bonded through a sealant such as an epoxy resin. Ice process is carried out. As a result, a plurality of organic EL display elements are completed.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 모기판 및 이를 이용한 유기 전계발광표시소자의 제조방법은 모기판 상에 애노드 전극을 형성됨과 아울러 상기 모기판의 외곽영역에 투명물질패턴이 형성된다. 이 투명물질패턴이 절연물질과 모기판사이에 위치함으로써 절연물질과 모기판과의 계면에너지, 물질 특성 등의 차이로 인한 필링(Peeling) 현상이 방지된다. 이에 따라, 패터닝공정에서 상당한 오차 및 편차 등이 감소됨으로써 유기EL어레이의 형성불량 등의 문제가 발생된다. As described above, in the mother substrate and the method of manufacturing the organic light emitting display device using the same according to the present invention, an anode electrode is formed on the mother substrate and a transparent material pattern is formed in the outer region of the mother substrate. Since the transparent material pattern is positioned between the insulating material and the mother substrate, peeling due to differences in interfacial energy and material properties between the insulating material and the mother substrate is prevented. As a result, significant errors, deviations, and the like are reduced in the patterning process, thereby causing problems such as poor formation of the organic EL array.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다. Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (5)

유기전계발광어레이가 형성된 모기판에 있어서, In a mother substrate on which an organic electroluminescent array is formed, 상기 모기판의 외곽영역에 위치하며 상기 유기전계발광어레이를 감싸도록 띠 형태로 형성된 투명물질패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 모기판. And a transparent material pattern positioned in an outer region of the mother substrate and formed in a band shape to surround the organic light emitting array. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기전계발광어레이는 유기발광층을 사이에 두고 서로 교차되게 형성되는 제1 및 제2 전극을 포함하며, The organic light emitting array includes first and second electrodes formed to cross each other with an organic light emitting layer interposed therebetween, 상기 투명물질패턴은 상기 제1 및 제2 전극 중 어느 하나와 동일물질인 것을 특징으로 하는 모기판. The transparent substrate is a mother substrate, characterized in that the same material as any one of the first and second electrodes. 모기판 상에 제1 전극을 형성함과 아울러 띠 형태로 상기 모기판의 외곽영역에 위치하며 상기 제1 전극들을 감싸도록 형성된 투명물질패턴을 형성하는 단계와; Forming a first electrode on the mother substrate and forming a transparent material pattern positioned in an outer region of the mother substrate in a band shape and surrounding the first electrodes; 상기 제1 전극 및 상기 투명물질패턴 상에 절연물질을 형성하는 단계와; Forming an insulating material on the first electrode and the transparent material pattern; 상기 절연물질을 패터닝하여 상기 제1 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 형성하는 단계와; Patterning the insulating material to partially expose the first electrode to form an insulating film defining a light emitting area; 상기 절연막 상에 격벽을 형성하는 단계와; Forming a partition on the insulating film; 상기 노출된 발광영역 상에 유기발광층을 형성하는 단계와; Forming an organic light emitting layer on the exposed light emitting region; 상기 제1 전극과 교차되는 제2 전극을 형성하는 단계와; Forming a second electrode intersecting the first electrode; 인캡슐레이션 공정에 의해 상기 제2 전극이 형성된 모기판을 패키징하는 단계와;Packaging a mother substrate on which the second electrode is formed by an encapsulation process; 스크라이빙 공정에 의해 상기 패키징된 모기판을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조방법. A method of manufacturing an organic light emitting display device, the method comprising: cutting the packaged mother substrate by a scribing process. 제 3 항에 있어서, The method of claim 3, wherein 상기 절연물질의 일부가 상기 투명물질패턴에 걸치도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조방법. And a portion of the insulating material is formed to cover the transparent material pattern. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 절연물질의 끝단은 상기 투명물질패턴 위에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조방법.An end of the insulating material is formed on the transparent material pattern manufacturing method of an organic light emitting display device.
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