KR100667250B1 - Bake unit for heat treatment of glass substrates - Google Patents

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KR100667250B1
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함승원
김상길
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세메스 주식회사
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Abstract

A bake unit for annealing a substrate is provided to airtightly seal the whole gate of a main frame and to reduce opening and shutting time by elevating a shutter with a link. A main frame has a gate(G) for annealing a substrate in a sealed inner space thereof. A shutter opens and shuts the gate of the main frame as it elevates. A hinge shaft(50) is fixed on the main frame to be rotatable. A cylinder(62) is formed on the main frame to be separated from the sealed inner space of the main frame. The cylinder rotates a cam(64) fixed on the hinge shaft in a body to provide a driving force to the hinge shaft and rotate it. A side of a link(72) is fixed on the hinge shaft fixed on the main frame. The other side of the link is hinge-fixed to the shutter.

Description

기판 열처리용 베이크 유니트 {BAKE UNIT FOR HEAT TREATMENT OF GLASS SUBSTRATES}BAKE UNIT FOR HEAT TREATMENT OF GLASS SUBSTRATES

도 1은 일반적인 베이크 유니트를 개략적으로 도시한 측단면도.1 is a side cross-sectional view schematically showing a typical baking unit.

도 2는 본 발명의 실시예에 의한 베이크 유니트를 개략적으로 도시한 측단면도,Figure 2 is a side cross-sectional view schematically showing a baking unit according to an embodiment of the present invention,

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 베이크 유니트를 개략적으로 도시한 측단면도.Figure 3 is a side cross-sectional view schematically showing a baking unit according to another embodiment of the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

50 : 힌지샤프트 62 : 실린더50: hinge shaft 62: cylinder

64 : 캠 72 : 링크64: Cam 72: Link

74 : 보조링크 B : 본체74: auxiliary link B: main body

G : 출입구 S : 셔터G: Doorway S: Shutter

본 발명은 기판을 열처리하는 베이크에 관한 것으로서, 기판 출입구가 셔터에 의해 개폐되는 베이크에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bake for heat treating a substrate, and to a bake in which a substrate entrance and exit is opened and closed by a shutter.

일반적으로 반도체 메모리 소자의 기판으로 사용되는 웨이퍼(wafer), 액정디스플레이 또는 플라즈마 디스플레이 패널로 사용되는 평판 기판 등의 위에는 소정의 박막과 금속막 등 여러 공정을 거쳐 메모리 소자나 디스플레이 소자로 제조된다. 이러한 각 공정은 외부와는 격리된 환경을 제공하는 베이크 유니트(BAKE UNIT)에 의해 진행된다. 이때, 베이크 유니트는 기판에 고열을 제공하여 기판을 열처리한다.In general, a wafer, a liquid crystal display, or a flat panel substrate, which is used as a plasma display panel, is manufactured as a memory device or a display device through various processes such as a predetermined thin film and a metal film. Each of these processes is carried out by a BAKE UNIT, which provides an environment that is isolated from the outside. At this time, the baking unit provides high heat to the substrate to heat-treat the substrate.

이와 같은 베이크 유니트는, 도 1의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이 셔터(2)가 일단부의 힌지샤프트(10)에 의해 편축회전하면서 본체(1)의 출입구(G)를 개폐한다. 따라서, 본체(1)는 셔터(2)에 의해 출입구(G)가 개방됨에 따라 기판을 수용하고, 셔터(2)에 의해 출입구(G)가 폐쇄됨에 따라 밀폐된 상태로 기판을 열처리한다.In this baking unit, as illustrated in FIGS. 1A and 1B, the shutter 2 opens and closes the entrance and exit G of the main body 1 while the shutter 2 is uniaxially rotated by the hinge shaft 10 at one end. . Accordingly, the main body 1 receives the substrate as the entrance G is opened by the shutter 2 and heat-treats the substrate in a sealed state as the entrance G is closed by the shutter 2.

그러나, 이러한 일반적인 베이크 유니트는 셔터(2)가 일단부를 중심으로 편축회전하면서 본체(1)의 출입구(G)를 밀폐하므로, 힌지샤프트(10)와 인접한 셔터(2)의 일단부의 밀폐성은 우수하지만 셔터(2)의 타단부로 갈수록 현저하게 밀폐성이 저하되는 문제가 있다.However, such a general baking unit seals the entrance G of the main body 1 while the shutter 2 is uniaxially rotated about one end, so that the sealing property of one end of the shutter 2 adjacent to the hinge shaft 10 is excellent. There is a problem that the sealing property is remarkably lowered toward the other end of the shutter 2.

이렇게, 셔터(2)의 타단부로 갈수록 밀폐성이 저하되는 이유는, 개폐력을 제공하는 힌지샤프트(10)의 회전력이 셔터(2)의 길이에 의해 셔터(2)의 타단부로 갈수록 감쇠되기 때문이다. 즉, 셔터(2)의 타단부는 자유단이므로, 셔터(2)의 편축회전시 하중에 의한 반력이 발생한다. 따라서, 힌지샤프트(10)의 회전력은 셔터(2)의 하중반력에 의해 감쇄된다.The reason why the sealing property is lowered toward the other end of the shutter 2 is that the rotational force of the hinge shaft 10 providing the opening and closing force is attenuated toward the other end of the shutter 2 by the length of the shutter 2. Because. That is, since the other end of the shutter 2 is a free end, a reaction force due to a load occurs during the uniaxial rotation of the shutter 2. Therefore, the rotational force of the hinge shaft 10 is attenuated by the load reaction force of the shutter 2.

이에 더하여, 이러한 일반적인 베이크 유니트는 밀폐성이 낮은 셔터(2)의 타 단부가 본체(1)의 내기를 완전하게 단속하지 못하므로, 본체(1)의 내부를 가열시키기 위한 승온시간이 과도하게 소요될 뿐만 아니라, 내부의 열기가 누출되는 문제도 있다.In addition, in this general baking unit, since the other end of the low-sealing shutter 2 does not completely control the bet of the main body 1, the heating time for heating the inside of the main body 1 is excessively taken. In addition, there is a problem that the heat inside the leak.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제를 해결하기 위해 창출된 것으로서, 셔터의 운동형태를 변경하여 셔터의 개폐력이 셔터의 일부분에 집중되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 셔터의 개폐력을 셔터에 전체적으로 골고루 분산시킬 수 있는 새로운 개념의 베이크 유니트를 제공하기 위함이 그 목적이다.The present invention was created to solve the above-described conventional problems, and it is possible not only to prevent the opening and closing force of the shutter from being concentrated on a part of the shutter by changing the movement type of the shutter, but also to open and close the opening and closing force of the shutter to the shutter. The aim is to provide a new concept of baking unit that can be distributed evenly throughout.

또한, 셔터가 일단부를 중심으로 편축회전하여도 개폐력이 일단부에 집중되지 않고 전체적으로 골고루 분산되는 베이크 유니트를 제공하기 위함이 다른 목적이다.Another object of the present invention is to provide a baking unit in which the opening / closing force is not evenly concentrated at one end but evenly distributed evenly even when the shutter is uniaxially rotated about one end.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판 열처리용 베이크 유니트는, 밀폐된 내부에서 기판을 열처리하는 출입구를 갖는 본체; 상기 본체의 출입구를 승강하면서 개폐하는 셔터; 상기 본체에 회전가능하게 고정되는 힌지샤프트; 상기 힌지샤프트에 구동력을 제공하여 회전시키는 구동부재; 및 상기 힌지샤프트의 회전력을 상기 셔터에 전달하여, 셔터를 직선운동시키면서 승강시키는 전동부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다. The substrate heat treatment bake unit of the present invention for achieving the above object, the main body having a doorway for heat treating the substrate in a sealed interior; A shutter that opens and closes while lifting an entrance and exit of the main body; A hinge shaft rotatably fixed to the main body; A driving member which rotates by providing a driving force to the hinge shaft; And a transmission member which transmits the rotational force of the hinge shaft to the shutter and moves up and down while linearly moving the shutter.

이러한, 본 발명은, 셔터가 직선운동방식으로 승강하면서 본체의 출입구를 개폐하므로, 본체의 출입구를 전체적으로 기밀시킬 수 있을 뿐만 아니라, 개폐시간 을 단축시킬 수 있다.The present invention opens and closes the entrance and exit of the main body while the shutter is moved up and down in a linear motion manner, thereby not only sealing the entrance and exit of the main body as a whole, but also shortening the opening and closing time.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 참고하여 설명하면 다음과 같으며, 첨부된 도 2는 본 발명의 실시예에 의한 베이크를 도시한 측단면도로서, 종래와 다른 새로운 기술적 사상을 갖는 구성요소만을 알기 쉽게 도시한 개략도이다. 이때, 도 2의 (a)는 본 실시예의 작동전 상태를 도시한 것이고, (b)는 전동된 상태를 도시한 것이다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings as follows, the accompanying Figure 2 is a side cross-sectional view showing a bake according to an embodiment of the present invention, a component having a new technical spirit different from the conventional It is a schematic diagram showing the bay clearly. At this time, Figure 2 (a) shows the state before the operation of the present embodiment, (b) shows the motorized state.

도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 의한 베이크 유니트는, 출입구(G)를 갖는 본체(B)와; 이 본체(B)의 출입구(G)를 개폐하는 셔터(S)와; 전술한 본체(B)에 회전가능하게 고정되는 힌지샤프트(50)와; 이 힌지샤프트(50)에 구동력을 제공하는 구동부재 및; 이 구동부재의 구동력을 전술한 힌지샤프트(50)에 전달하는 전동부재;를 포함한다. 즉, 본 발명의 실시예는 본체(B)와; 셔터(S)와; 힌지샤프트(50)와; 구동부재(60) 및; 전동부재;를 포함한다. 이러한 구성요소에 대하여 좀더 자세히 설명하면 다음과 같다.As shown, the baking unit according to the embodiment of the present invention, the main body (B) having an entrance (G); A shutter S for opening and closing the doorway G of the main body B; A hinge shaft 50 rotatably fixed to the aforementioned main body B; A driving member for providing a driving force to the hinge shaft 50; And a transmission member for transmitting the driving force of the drive member to the above-described hinge shaft 50. That is, the embodiment of the present invention and the main body (B); A shutter S; A hinge shaft 50; A drive member 60; It includes a transmission member. This component is described in more detail as follows.

먼저, 본체(B)는 도시된 바와 같이 내부의 공간이 외부와 격리되도록 출입구(G)를 제외한 사방이 밀폐된다. 따라서, 본체(B)는 출입구(G)를 통해 기판을 공급받거나 배출한다.First, the main body B is sealed on all sides except the entrance G so that the inner space is isolated from the outside as shown. Therefore, the main body B receives or discharges the substrate through the doorway G.

다음, 셔터(S)는 도시된 바와 같이 판상으로 형성되고, 본체(B)의 출입구(G)에 상응하는 면적을 갖는다. 따라서, 셔터(S)는 폐쇄시 본체(B)의 출입구(G)를 밀폐시킬 수 있다. Next, the shutter S is formed in a plate shape as shown, and has an area corresponding to the doorway G of the main body B. As shown in FIG. Therefore, the shutter S may seal the entrance / exit G of the main body B when it is closed.

그 다음, 힌지샤프트(50)는 본체(B)의 폭을 따라 길게 설치된다. 하지만 이 와 달리 분할되어 본체(B)의 양측에 제각각으로 설치될 수 있다. 이러한, 힌지샤프트(50)는 통상적인 원형 베어링을 이용하여 본체(B)에 설치하는 것이 바람직하다. 즉, 본체(B)에 미도시된 베어링을 설치하고, 힌지샤프트(50)가 이 베어링을 관통하도록 설치하는 것이 바람직하다. 이와 같은 힌지샤프트(50)의 설치는 통상적으로 알 수 있는 부분이므로 도면 및 그 자세한 설명은 생략한다.Then, the hinge shaft 50 is installed long along the width of the body (B). However, unlike this, it may be divided and installed on both sides of the body (B). Such a hinge shaft 50 is preferably installed in the body B using a conventional circular bearing. That is, it is preferable to install the bearing which is not shown in the main body B, and to install so that the hinge shaft 50 may penetrate this bearing. Since the installation of the hinge shaft 50 is generally known, the drawings and detailed description thereof will be omitted.

이어서, 구동부재(60)는 힌지샤프트(50)를 회전시킬 수 있는 장치로 구성한다. 이러한, 구동부재(60)는 예컨대, 도시된 바와 같이 힌지샤프트(50)에 일체로 고정되는 캠(64) 및; 이 캠(64)에 연결되는 실린더(62);를 포함하여 구성할 수 있다. 이때, 캠(64)은 도시된 바와 같이 힌지샤프트(50)에 볼팅으로 고정되는 판상의 절곡편 일 수 있다. 그리고, 실린더(62)는 공압실린더 또는 유압실린더 일 수 있다.Subsequently, the drive member 60 is configured as a device capable of rotating the hinge shaft 50. Such a drive member 60 includes, for example, a cam 64 fixedly fixed to the hinge shaft 50 as shown; And a cylinder 62 connected to the cam 64. At this time, the cam 64 may be a plate-like bending piece that is fixed to the hinge shaft 50 by bolting. In addition, the cylinder 62 may be a pneumatic cylinder or a hydraulic cylinder.

마지막으로, 전동부재는 전술한 힌지샤프트(50)의 회전력으로 셔터(S)를 직선운동시키면서 승강시키는 장치로 구성한다. 이러한, 전동부재는 예컨대, 도시된 바와 같이 힌지샤프트(50)에 일측이 고정되고, 셔터(S)에 타측이 힌지고정되는 링크(72)로 구성할 수 있다. 이때, 링크(72)의 일측은 용접으로 힌지샤프트(50)에 고정하는 것이 바람직하다. 그리고, 타측은 핀으로 셔터(S)에 힌지고정하는 것이 바람직하다. Finally, the transmission member is composed of a device for elevating while moving the shutter (S) in a linear motion by the rotational force of the hinge shaft 50 described above. Such a transmission member may be configured, for example, with a link 72 fixed at one side to the hinge shaft 50 and hinged at the other side to the shutter S. At this time, one side of the link 72 is preferably fixed to the hinge shaft 50 by welding. The other side is preferably fixed to the shutter S with a pin.

여기서, 링크(72)의 타측은 도시된 바와 같이 셔터(S)의 중간부분에 힌지고정되도록 구성하는 것이 바람직하다. 이렇게, 링크(72)의 타측을 셔터(S)의 중간부분에 힌지고정하는 이유는, 셔터(S)의 중간부분에 힌지샤프트(50)의 회전력이 전달 되는 것이 가장 효과적이기 때문이다. 왜냐하면, 셔터(S)의 중간부분이 셔터(S)의 하단 보다 하중을 덜 받으므로, 힌지샤프트(50)의 회전력을 절감할 수 있기 때문이다. 물론, 셔터(S)의 하중은 셔터(S)의 길이에 비례하므로, 셔터(S)의 중간부분이 하단 보다 하중을 덜받는다. 즉, 중력방향을 향하는 셔터(S)의 길이가 길수록 하중은 증가한다. 따라서, 셔터(S)의 중간부분은 하단 보다 중력방향의 길이가 짧으므로 하중을 덜 받는다.Here, the other side of the link 72 is preferably configured to be hinged to the middle portion of the shutter (S) as shown. Thus, the reason why the other side of the link 72 is hinged to the middle portion of the shutter S is because the rotational force of the hinge shaft 50 is most effectively transmitted to the middle portion of the shutter S. This is because the middle portion of the shutter S receives less load than the lower end of the shutter S, so that the rotational force of the hinge shaft 50 can be reduced. Of course, since the load of the shutter (S) is proportional to the length of the shutter (S), the middle portion of the shutter (S) receives less load than the bottom. That is, the longer the length of the shutter S in the direction of gravity increases the load. Therefore, the middle portion of the shutter (S) is less load because the length of the gravity direction than the lower end.

한편, 본 발명의 실시예는 전술한 링크(72)를 통해 전달되는 힌지샤프트(50)의 회전력을 셔터(S)에 분산시키는 디스트리뷰터;를 더 포함하여 구성할 필요가 있다. 이렇게, 디스트리뷰터를 포함하여 구성할 경우, 힌지샤프트(50)의 회전력이 셔터(S)에 전체적으로 골고루 분산되므로, 셔터(S)의 개폐력을 향상시킬 수 있다.On the other hand, the embodiment of the present invention needs to further include; a distributor for distributing the rotational force of the hinge shaft 50 transmitted through the above-described link 72 to the shutter (S). Thus, in the case of including the distributor, since the rotational force of the hinge shaft 50 is evenly distributed throughout the shutter (S), the opening and closing force of the shutter (S) can be improved.

이러한, 디스트리뷰터는 예컨대, 도시된 바와 같이 본체(B) 및 셔터(S)에 양단부가 회전가능하게 고정되는 보조링크(74);로 구성할 수 있다. 이때, 보조링크(74)는 도시된 바와 같이 링크(72)와 이격시켜서 구성하는 것이 바람직하다. 특히, 보조링크(74)는 일단부가 셔터(S)의 상단부에 고정되도록 구성하는 것이 바람직하다.Such a distributor may be configured as, for example, an auxiliary link 74 having both ends rotatably fixed to the main body B and the shutter S, as shown. At this time, the auxiliary link 74 is preferably configured to be spaced apart from the link 72 as shown. In particular, the auxiliary link 74 is preferably configured such that one end is fixed to the upper end of the shutter (S).

이와 같이 구성된 본 발명의 실시예는, 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이 실린더가 수축하면서 캠(64)을 편축회전시킨다. 이때, 캠(64)에 일체로 고정된 힌지샤프트(50)는 함께 회전한다. 따라서, 힌지샤프트(50)에 일측이 고정된 링크(72)는 일측을 중심으로 편축회전하면서 셔터(S)를 하강시켜서 본체(B)의 출입구(G)를 개방시킨다. 물론, 셔터(S)의 하강시, 셔터(S)에 힌지고정된 링크(72)의 타측은 일측 의 편축회전에 의해 피벗회전한다. 이렇게 개방되는 셔터(S)는, 링크(72)에 의해 도시된 바와 같이 본체(B)와 이격된다.In the embodiment of the present invention configured as described above, the cam 64 is uniaxially rotated while the cylinder contracts as shown in FIG. At this time, the hinge shaft 50 fixed integrally to the cam 64 rotates together. Therefore, the link 72 having one side fixed to the hinge shaft 50 opens the entrance and exit G of the main body B by lowering the shutter S while rotating uniaxially about one side. Of course, when the shutter (S) is lowered, the other side of the link 72 hinged to the shutter (S) is pivotally rotated by one side rotation. The shutter S thus opened is spaced apart from the body B as shown by the link 72.

이러한, 셔터(S)는 링크(72)에 의해 중간부분을 중심으로 하강하므로, 개방시간이 단축된다. 즉, 셔터(S)는 링크(72)가 중간부분부터 하강시키므로, 개방시간이 단축된다.Since the shutter S is lowered about the middle part by the link 72, the opening time is shortened. That is, since the shutter S lowers the link 72 from the middle part, the opening time is shortened.

이와 반대로, 본 발명의 실시예는 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이 실린더가 신장하면서 캠(64)을 편축회전시킨다. 이에 따라, 힌지샤프트(50) 및 링크(72)는 회전하면서 셔터(S)를 상승시켜서 본체(B)의 출입구(G)를 폐쇄시킨다. 이때, 셔터(S)는 힌지샤프트(50)의 회전력이 중간부분에서 전달됨에 따라 본체(B)의 출입구(G)를 강직하게 폐쇄한다. 즉, 힌지샤프트(50)의 회전력이 셔터(S)의 중간부분에서 상·하단으로 분산되므로, 셔터(S)는 출입구(G)를 전체적으로 강직하게 폐쇄한다. 따라서, 셔터(S)는 본체(B)의 출입구(G)를 기밀시켜서 내기를 누출을 단속한다. 물론, 이러한 셔터(S)는 링크(72)가 중간부분부터 상승시키므로, 폐쇄시간이 단축된다.On the contrary, in the embodiment of the present invention, the cam 64 is uniaxially rotated while the cylinder is extended as shown in FIG. Accordingly, the hinge shaft 50 and the link 72 raise the shutter S while rotating, thereby closing the entrance and exit G of the main body B. At this time, the shutter (S) rigidly closes the entrance (G) of the body (B) as the rotational force of the hinge shaft (50) is transmitted from the middle portion. That is, since the rotational force of the hinge shaft 50 is distributed from the middle part of the shutter S to the upper and lower ends, the shutter S closes the entrance G firmly and rigidly as a whole. Therefore, the shutter S keeps the entrance / exit G of the main body B air tight, and interrupts a bet. Of course, this shutter (S) is the link 72 is raised from the middle portion, the closing time is shortened.

한편, 보조링크(74)는 셔터(S)의 개방시, 힌지고정된 양단이 피벗회전하면서 힌지샤프트(50)의 회전력을 분산시키는 동시에 셔터(S)의 상단을 지지한다. 따라서, 셔터(S)는 급격하게 하강하지 못한다. 그리고, 보조링크(74)는 셔터(S)의 상승시, 힌지샤프트(50)의 회전력을 분산시켜서 셔터(S)의 상단부에 전달한다. 따라서, 셔터(S)는 본체(B)의 출입구(G)를 보다 강직하게 밀폐한다. 이에 따라, 셔터(S)는 보조링크(74)에 의한 폐쇄력 향상에 의해 본체(B)의 출입구(G)에 대한 기밀성이 극 대화된다.On the other hand, the auxiliary link 74 supports the upper end of the shutter (S) while dispersing the rotational force of the hinge shaft (50) while pivoting both ends of the hinged fixed when opening the shutter (S). Therefore, the shutter S does not fall rapidly. In addition, the auxiliary link 74 distributes the rotational force of the hinge shaft 50 when the shutter S is raised and transmits the upper end of the shutter S. FIG. Therefore, the shutter S seals the entrance G of the main body B more rigidly. Accordingly, the shutter S has the maximum airtightness with respect to the entrance and exit G of the main body B by improving the closing force by the auxiliary link 74.

다른 한편, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 베이크 유니트를 개략적으로 도시한 측단면도로서, 도시된 (a)는 작동전 상태를 도시한 것이고, (b)는 작동된 상태를 도시한 것이다.On the other hand, Figure 3 is a side cross-sectional view schematically showing a baking unit according to another embodiment of the present invention, wherein (a) shows a pre-operation state, (b) shows an activated state .

이러한 다른 실시예는 도시된 바와 같이 본체(B)와; 셔터(S)와: 힌지샤프트(50)와; 캠(64) 및 실린더(64)를 포함하는 구동부재 및; 디스트리뷰터;를 포함한다. 이때, 전술한 본체(B), 힌지샤프트(50) 및; 구동부재는 전술한 실시예와 동일하다. 다만, 셔터(S)가 힌지샤프트(50)에 일체로 연결된 것과, 디스트리뷰터가 절첩링크(80)로 구성된 것이 차이점이다. 따라서, 전술한 실시예와 다른 부분에 대해서만 자세히 설명한다.This alternative embodiment includes a body B as shown; With shutter S: hinge shaft 50; A drive member comprising a cam 64 and a cylinder 64; Distributor; At this time, the above-described main body (B), hinge shaft 50 and; The drive member is the same as in the above embodiment. However, the difference between the shutter (S) is integrally connected to the hinge shaft (50), and the distributor is composed of a folding link (80). Therefore, only parts different from the above-described embodiment will be described in detail.

도 3에 도시된 바와 같이 다른 실시예의 셔터(S)는 일단부가 힌지샤프트(50)에 고정되어, 실린더(62) 및 캠(64)에 의한 힌지샤프트(50)의 회전시, 일단부를 중심으로 편축회전하면서 본체(B)의 출입구(G)를 개폐한다. 이때, 절첩링크(80)는 셔터(S)가 출입구(G)를 개방할 경우, 힌지샤프트(50)의 회전력을 분산시켜서 셔터(S)의 급속한 하강을 방지할 뿐만 아니라 셔터(S)를 지지한다. 그리고, 셔터(S)가 출입구(G)를 폐쇄할 경우, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이 절첩되면서 셔터(S)의 편축회전시 하중에 의한 반력을 감쇄하게 된다. 따라서, 셔터(S)는 절첩링크(80)에 의해 폐쇄력(셔터에 의해 베이크 유니트가 밀폐되는 힘을 의미)이 향상되므로, 본체(B)의 출입구(G)를 전체적으로 강직하게 밀폐한다.As shown in FIG. 3, one end of the shutter S is fixed to the hinge shaft 50 so that the cylinder shaft 62 and the cam 64 rotate about the hinge shaft 50. The entrance / exit G of the main body B is opened and closed while the uniaxial rotation is performed. In this case, when the shutter S opens the doorway G, the folding link 80 not only prevents the rapid fall of the shutter S by dispersing the rotational force of the hinge shaft 50 but also supports the shutter S. do. And, when the shutter (S) closes the entrance (G), it is folded as shown in Figure 3 (b) to reduce the reaction force due to the load during the uniaxial rotation of the shutter (S). Therefore, since the closing force (meaning the force in which the baking unit is sealed by the shutter) is improved by the folding link 80, the shutter S tightly seals the entrance and exit G of the main body B as a whole.

여기서, 전술한 디스트리뷰터는 예컨대, 전술한 바와 같은 절첩링크(80)로 구성할 수 있으며, 이와 달리 도 2에 도시된 절첩이 불가능한 링크(72)로 구성할 수 도 있다. 또한, 전술한 절첩링크(80)는 도시된 바와 같이 2절 링크 일 수 있으며, 이와 달리 3절 또는 4절 링크 일 수도 있다. 아울러, 전술한 디스트리뷰터는 전술한 절첩링크(80)나 도 2의 링크(72)를 복수개로 구비하여 구성할 수도 있다.Here, the aforementioned distributor may be configured as, for example, the folded link 80 as described above, or alternatively, may be configured as the non-foldable link 72 shown in FIG. 2. In addition, the above-described folded link 80 may be a two-section link, as shown, alternatively may be a three- or four-section link. In addition, the above-described distributor may be provided with a plurality of the above-described folded link 80 or the link 72 of FIG.

상기한 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하므로, 본 발명의 적용 범위는 이와 같은 것에 한정되지 않으며, 동일 사상의 범주내에서 적절한 변경이 가능하다. 따라서, 본 발명의 실시예에 나타난 각 구성 요소의 형상 및 구조는 변형하여 실시할 수 있으므로, 이러한 형상 및 구조의 변형은 첨부된 본 발명의 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Since the above embodiments are merely illustrative of preferred embodiments of the present invention, the scope of application of the present invention is not limited to the above, and appropriate modifications are possible within the scope of the same idea. Therefore, since the shape and structure of each component shown in the embodiment of the present invention can be carried out by deformation, it is natural that the modification of the shape and structure belong to the appended claims of the present invention.

상술한 바와 같은 본 발명에 의한 기판 열처리용 베이크는, 셔터가 중간부분에 설치된 링크에 의해 승강하면서 본체의 출입구를 개폐하므로, 링크의 회전력 분산작용에 의해 본체의 출입구를 전체적으로 기밀시킬 수 있을 뿐만 아니라, 개폐시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.The substrate heat treatment bake according to the present invention, as described above, opens and closes the entrance and exit of the main body while the shutter is lifted and lowered by the link provided in the middle portion, and thus the entrance and exit of the main body can be entirely sealed by the rotational force dispersion action of the link. , Has the effect of shortening the opening and closing time.

또한, 보조링크가 힌지샤프트의 회전력을 셔터에 분산시키므로, 셔터가 본체의 출입구를 보다 강직하게 기밀시킬 수 있으며, 보조링크가 셔터의 상단부에 연결될 경우, 힌지샤프트의 회전력이 셔터의 상단부에 보다 많이 전달되므로, 셔터가 힌지샤프트와 멀리 떨어진 본체의 출입구 상단부를 긴밀하게 밀폐시킬 수 있는 효과도 있다.In addition, since the auxiliary link distributes the rotational force of the hinge shaft to the shutter, the shutter can more tightly seal the entrance and exit of the main body, and when the auxiliary link is connected to the upper end of the shutter, the rotational force of the hinge shaft is greater at the upper end of the shutter. Since it is transmitted, there is also an effect that the shutter can tightly seal the upper end of the doorway of the main body away from the hinge shaft.

이와 달리, 링크에 연결된 셔터가 힌지샤프트에 의해 편축회전하면서 본체의 출입구를 개폐하도록 구성할 경우, 링크가 힌지샤프트의 회전력을 셔터에 분산시키 므로 셔터의 밀폐력을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.On the contrary, when the shutter connected to the link is configured to open and close the doorway of the main body while the shaft is rotated by the hinge shaft, the link distributes the rotational force of the hinge shaft to the shutter, thereby improving the sealing force of the shutter.

아울러, 링크를 절첩가능한 절첩링크로 구성할 경우, 셔터의 폐쇄시 절첩링크가 절첩되므로 본체의 내부공간이 링크에 의해 감소되는 것을 방지할 수 있는 효과도 있다.In addition, when the link is configured as a foldable foldable link, since the foldable link is folded when the shutter is closed, the internal space of the main body can be prevented from being reduced by the link.

Claims (8)

삭제delete 기판을 열처리하는 베이크 유니트에 있어서,In the baking unit for heat-treating the substrate, 밀폐된 내부에서 기판을 열처리하는 출입구를 갖는 본체;A main body having an entrance to heat-treat the substrate in a sealed interior; 상기 본체의 출입구를 승강하면서 개폐하는 셔터;A shutter that opens and closes while lifting an entrance and exit of the main body; 상기 본체에 회전가능하게 고정되는 힌지샤프트;A hinge shaft rotatably fixed to the main body; 상기 본체의 밀폐된 내부와 격리되어 상기 본체에 형성되며, 상기 힌지샤프트에 일체로 고정되는 캠을 편축회전시켜, 상기 힌지샤프트에 구동력을 제공하여 회전시키는 실린더; 및A cylinder which is formed on the main body and is isolated from the sealed interior of the main body, and rotates the cam fixedly fixed to the hinge shaft to provide a driving force to the hinge shaft to rotate the cam; And 상기 본체에 고정된 상기 힌지샤프트에 일측이 고정되고, 상기 셔터에 타측이 힌지고정되는 링크를 포함하는 기판 열처리용 베이크 유니트.One side is fixed to the hinge shaft fixed to the main body, the baking unit for a substrate heat treatment comprising a link that is hinged to the other side to the shutter. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 링크를 통해 전달되는 상기 힌지샤프트의 회전력을 상기 셔터에 분산시키는 디스트리뷰터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 열처리용 베이크 유니트.And a distributor for distributing the rotational force of the hinge shaft transmitted through the link to the shutter. 제 3 항에 있어서, 상기 디스트리뷰터는,The method of claim 3, wherein the distributor, 상기 링크와 이격상태로 상기 본체 및 셔터에 양단부가 회전가능하게 고정되는 보조링크;인 것을 특징으로 하는 기판 열처리용 베이크 유니트.And an auxiliary link rotatably fixed to both the main body and the shutter so as to be spaced apart from the link. 기판을 열처리하는 베이크 유니트에 있어서,In the baking unit for heat-treating the substrate, 밀폐된 내부에서 기판을 열처리하는 출입구를 갖는 본체;A main body having an entrance to heat-treat the substrate in a sealed interior; 상기 본체의 출입구를 편축회전하면서 개폐하는 셔터;Shutter to open and close while rotating the entrance and exit of the main body; 상기 셔터의 일단부에 일체로 연결되어 회전하는 힌지샤프트;A hinge shaft which is integrally connected to one end of the shutter and rotates; 상기 힌지샤프트에 구동력을 제공하여 회전시키는 구동부재; 및A driving member which rotates by providing a driving force to the hinge shaft; And 상기 힌지샤프트의 회전력을 상기 셔터에 분산시키는 디스트리뷰터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 열처리용 베이크 유니트.And a distributor for distributing the rotational force of the hinge shaft to the shutter. 제 5 항에 있어서, 상기 구동부재는,The method of claim 5, wherein the drive member, 상기 힌지샤프트에 일체로 고정되는 캠; 및A cam integrally fixed to the hinge shaft; And 상기 캠을 편축회전시키는 실린더;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 열처리용 베이크 유니트.And a cylinder for uniaxially rotating the cam. 제 5 항에 있어서, 상기 디스트리뷰터는,The method of claim 5, wherein the distributor, 상기 본체 및 셔터에 양단부가 회전가능하게 고정되는 링크;인 것을 특징으로 하는 기판 열처리용 베이크 유니트.And a link to which both ends are rotatably fixed to the main body and the shutter. 제 7 항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 링크는, 절첩가능하게 힌지연결되는 절첩링크;인 것을 특징으로 하는 기판 열처리용 베이크 유니트.The link is a baking unit for a substrate heat treatment, characterized in that; foldable hinge hinged link.
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