KR100667088B1 - Tape-like donor film, tape-like donor film roll and laser induced thermal imaging apparatus having the tape-like donor film roll - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열 전사장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view schematically showing a laser thermal transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2는 도 1의 A부분을 확대하여 나타낸 사시도이다.FIG. 2 is an enlarged perspective view of portion A of FIG. 1.
도 3은 도 1에 나타난 레이저 열 전사장치의 상면도(top view)이다.3 is a top view of the laser thermal imager shown in FIG. 1.
도 4는 도 1의 절단선 Ⅲ-Ⅲ'를 따라 취해진 본 발명의 일 실시예에 따른 테잎형 도너 필름의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of the tape-type donor film according to the embodiment of the present invention taken along the cut line III-III ′ of FIG. 1.
도 5는 도 1의 억셉터 기판의 일 실시예인 유기전계발광소자 기판의 일부영역을 확대하여 나타낸 단면도이다.FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a portion of an organic light emitting diode substrate which is an example of the acceptor substrate of FIG. 1.
도 6은 도 1의 절단선 I-I'를 따라 취해진 단면도이다.6 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.
도 7은 도 1의 절단선 Ⅱ-Ⅱ'를 따라 취해진 단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line II-II ′ of FIG. 1.
도 8은 패터닝된 전사층을 구비하는 유기전계발광소자 기판의 일부영역을 확대하여 나타낸 단면도이다.8 is an enlarged cross-sectional view of a portion of an organic light emitting diode substrate having a patterned transfer layer.
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 도너 필름들의 단면도이다.9A and 9B are cross-sectional views of donor films according to other embodiments of the present invention.
도 10a 및 도 10b는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 도너 필름들의 평면도이다.10A and 10B are plan views of donor films according to other embodiments of the present invention.
도 11a 및 도 11b는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 도너 필름들의 평면도이다.11A and 11B are plan views of donor films according to other embodiments of the present invention.
도 12a는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 도너 필름들의 평면도이고, 도 12b는 도 12a에 나타난 도너 필름을 구비하는 도너 필름 롤의 단면도이다.12A is a plan view of donor films according to other embodiments of the present invention, and FIG. 12B is a cross-sectional view of a donor film roll with the donor film shown in FIG. 12A.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 열 전사장치를 나타낸 단면도이다.13 is a cross-sectional view showing a laser thermal transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 열 전사장치를 나타낸 단면도이다.14 is a cross-sectional view showing a laser thermal transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.
도 15a 및 도 15b는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 레이저 열 전사장치들을 나타낸 단면도들이다.15A and 15B are cross-sectional views illustrating laser thermal transfer apparatuses according to other exemplary embodiments.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 열 전사장치를 나타낸 단면도이다.16 is a cross-sectional view showing a laser thermal transfer apparatus according to another embodiment of the present invention.
(도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for main parts of drawing)
115 : 척 50 : 억셉터 기판115: chuck 50: acceptor substrate
70 : 도너 기판 150 : 라미네이션 유닛70
155 : 투명창 143 : 필름 공급롤155: transparent window 143: film feed roll
144 : 필름 수급롤 130 : 레이저 조사장치144: film supply roll 130: laser irradiation apparatus
120 : 광학 스테이지120: optical stage
본 발명은 도너 필름, 도너 필름 롤 및 레이저 열 전사장치에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 테잎형 도너 필름, 테잎형 도너 필름 롤 및 상기 테잎형 도너 필름 롤을 구비하는 레이저 열 전사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a donor film, a donor film roll, and a laser thermal transfer apparatus, and more particularly, to a laser thermal transfer apparatus including a tape-type donor film, a tape-type donor film roll, and the tape-type donor film roll.
일반적으로 레이저 열 전사방법은 적어도 레이저, 억셉터 기판 및 도너 필름을 필요로 하며, 상기 도너 필름은 기재 필름, 광-열 변환층 및 전사층을 구비한다. 레이저 열전사 공정에 있어서는 상기 전사층을 상기 억셉터 기판에 대향하도록 하여 상기 도너 필름을 상기 억셉터 기판의 전체면 상에 라미네이션한 후, 상기 기재 필름 상에 레이저 빔을 조사한다. 상기 기재 필름 상에 조사된 빔은 상기 광-열 변환층에 흡수되어 열에너지로 변환되고, 상기 열에너지에 의해 상기 전사층은 상기 억셉터 기판 상으로 전사된다. 그 결과, 상기 억셉터 기판 상에 전사층 패턴이 형성되게 된다. 이는 미국특허 제 5,998,085호, 6,214,520호 및 6,114,088호에 게시되어 있다.Generally a laser thermal transfer method requires at least a laser, an acceptor substrate and a donor film, said donor film comprising a base film, a light-to-heat conversion layer and a transfer layer. In the laser thermal transfer step, the donor film is laminated on the entire surface of the acceptor substrate with the transfer layer facing the acceptor substrate, and then the laser beam is irradiated onto the base film. The beam irradiated onto the base film is absorbed by the light-to-heat conversion layer and converted into thermal energy, and the transfer layer is transferred onto the acceptor substrate by the thermal energy. As a result, a transfer layer pattern is formed on the acceptor substrate. It is published in US Pat. Nos. 5,998,085, 6,214,520 and 6,114,088.
그러나, 상술한 바와 같이 억셉터 기판의 전체면 상에 도너 필름을 라미네이션하는 경우, 상기 억셉터 기판의 크기가 커질수록 상기 도너 필름의 크기도 커져야한다. 이 경우, 상기 도너 필름 제조시 전사층을 균일하게 증착하기 어렵고, 균일한 라미네이션이 어려워질 수 있다.However, when laminating the donor film on the entire surface of the acceptor substrate as described above, the size of the donor film should also increase as the acceptor substrate becomes larger. In this case, it is difficult to uniformly deposit the transfer layer when manufacturing the donor film, and uniform lamination may be difficult.
이를 해결하기 위해, 미국특허 제 6,226,020호는 레이저 열전사법에 의하여 프린트를 생성하는 방법 및 장치(method and apparatus for producing a print by means of laser-induced thermal transfer)를 제공한다. 상기 미국특허에 따르면, 프린트 생성 장치는 기판이 위치하는 기판 실린더, 전사테잎을 공급하는 공급롤, 상기 전사테잎을 수급하는 수급롤, 두 개의 콘택롤들 및 두 개의 가이드롤들을 구비하여, 상기 공급롤로부터 전사테잎이 공급되고, 상기 공급된 전사테잎은 상기 가이드롤을 거쳐 상기 콘택롤에 의해 상기 기판 상에 콘택된다. 또한, 상기 전사테잎의 일면 상에는 안료층이 형성되어 있다. 따라서, 상기 전사테잎이 상기 공급롤에 감겨있는 동안 상기 안료층은 다른 층의 전사테잎과 접촉할 수 있고, 이로 인해 손상될 수 있으다. 또한, 상기 안료층은 상기 공급롤에서 상기 전사테잎이 풀릴 때의 마찰로 인해서도 손상될 수 있다. 상기 안료층이 유기막과 같은 손상되기 쉬운 막인 경우 더욱 그러할 수 있다.To solve this problem, US Pat. No. 6,226,020 provides a method and apparatus for producing a print by means of laser-induced thermal transfer. According to the U.S. patent, the print generating apparatus includes a substrate cylinder on which a substrate is located, a supply roll for supplying a transfer tape, a supply roll for supplying the transfer tape, two contact rolls, and two guide rolls. The transfer tape is supplied from a roll, and the transferred transfer tape is contacted on the substrate by the contact roll via the guide roll. In addition, a pigment layer is formed on one surface of the transfer tape. Thus, while the transfer tape is wound on the feed roll, the pigment layer may come into contact with the transfer tape of another layer, thereby causing damage. In addition, the pigment layer may be damaged due to the friction when the transfer tape is released from the feed roll. This may be even more the case when the pigment layer is a fragile film such as an organic film.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 롤에 감겨있는 경우에도 전사층의 손상을 최소화할 수 있는 테잎형 도너 필름, 테잎형 도너 필름 롤 및 그를 구비하는 레이저 열 전사장치를 제공함에 있다.The technical problem to be achieved by the present invention is to solve the problems of the prior art, a tape-type donor film, a tape-type donor film roll and a laser having the same that can minimize the damage of the transfer layer even when the roll is wound The present invention provides a heat transfer device.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 일 측면은 테잎형 도너 필름을 제공한다. 상기 도너 필름은 상면 및 하면을 구비하는 베이스 기판을 포함한다. 상기 상면 상에 광열변환층이 위치한다. 상기 광열변환층 상에 전사층이 위치한다. 상기 상면 및 상기 하면 중 적어도 하나의 면의 양측 가장자리 상에 돌기부들이 위치한다.One aspect of the present invention to achieve the above technical problem provides a tape-type donor film. The donor film includes a base substrate having an upper surface and a lower surface. The photothermal conversion layer is located on the upper surface. The transfer layer is positioned on the photothermal conversion layer. Projections are located on both edges of at least one of the upper surface and the lower surface.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 다른 일 측면은 테잎형 도너 필름 롤을 제공한다. 상기 도너 필름 롤은 축 및 상기 축에 감겨진 도너 필름을 포함한다. 상기 도너 필름은 상면 및 하면을 구비하는 베이스 기판, 상기 상면 상에 위치하는 광열변환층, 상기 광열변환층 상에 위치하는 전사층 및 상기 상면과 상기 하면 중 적어도 하나의 면의 양측 가장자리 상에 위치하는 돌기부들을 구비한다.Another aspect of the present invention to achieve the above technical problem provides a tape-type donor film roll. The donor film roll includes a shaft and a donor film wound around the shaft. The donor film has a base substrate having an upper surface and a lower surface, a photothermal conversion layer positioned on the upper surface, a transfer layer positioned on the photothermal conversion layer, and located on both edges of at least one of the upper surface and the lower surface. The protrusions are provided.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 다른 일 측면은 레이저 열 전사장치를 제공한다. 상기 레이저 열 전사장치는 억셉터 기판을 고정시키는 척을 구비한다. 상기 척의 일측 상부에 축 및 상기 축에 감겨진 도너 필름을 구비하는 도너 필름 공급롤이 위치한다. 상기 도너 필름은 상면 및 하면을 구비하는 베이스 기판, 상기 상면 상에 위치하는 광열변환층, 상기 광열변환층 상에 위치하는 전사층 및 상기 상면과 상기 하면 중 적어도 하나의 면의 양측 가장자리 상에 위치하는 돌기부들을 구비한다. 상기 척의 타측 상부에 도너 필름 수급롤이 위치한다. 상기 도너 필름 공급롤과 상기 도너 필름 수급롤 사이에 공압을 사용하여 도너 필름을 상기 억셉터 기판 상에 라미네이션 하기 위한 라미네이션 유닛이 위치한다. 상기 라미네이션 유닛을 관통하여 상기 라미네이션된 도너 필름 상에 레이저 빔을 조사하는 레이저 조사 장치가 배치된다.Another aspect of the present invention to achieve the above technical problem provides a laser thermal transfer apparatus. The laser thermal transfer apparatus includes a chuck for fixing an acceptor substrate. A donor film supplying roll having a shaft and a donor film wound around the shaft is positioned above one side of the chuck. The donor film has a base substrate having an upper surface and a lower surface, a photothermal conversion layer positioned on the upper surface, a transfer layer positioned on the photothermal conversion layer, and located on both edges of at least one of the upper surface and the lower surface. The protrusions are provided. The donor film receiving roll is positioned on the other side of the chuck. A lamination unit is located between the donor film supply roll and the donor film supply roll to laminate the donor film on the acceptor substrate using pneumatic pressure. A laser irradiation device for irradiating a laser beam on the laminated donor film passing through the lamination unit is disposed.
이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명은 여 기서 설명되어지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 도면들에 있어서, 층이 다른 층 또는 기판 "상"에 있다고 언급되어지는 경우에 그것은 다른 층 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 층이 개재될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings in order to describe the present invention in more detail. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. In the figures, where a layer is said to be "on" another layer or substrate, it may be formed directly on the other layer or substrate, or a third layer may be interposed therebetween. Like numbers refer to like elements throughout the specification.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열 전사장치를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 A부분을 확대하여 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 1에 나타난 레이저 열 전사장치의 상면도(top view)이다.1 is a perspective view schematically showing a laser thermal transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing an enlarged portion A of FIG. 1, and FIG. 3 is a top view of the laser thermal transfer apparatus shown in FIG. 1. Top view.
도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 레이저 열 전사장치(100)는 기판 스테이지(110)를 구비한다. 상기 기판 스테이지(110) 상에 척(115)이 위치한다. 상기 기판 스테이지(110)는 상기 척(115)을 X방향으로 이동시키기 위한 척 가이드 바(chuck guide bar; 113)를 구비한다. 따라서, 상기 척(115)은 상기 척 가이드 바(113)를 따라 X방향으로 이동할 수 있다. 상기 척(115)은 억셉터 기판(50)을 상기 척(115) 상에 위치하도록 고정시킨다.1, 2, and 3, the laser
상기 척(115) 상에 상기 척(115)을 가로지르는 방향으로 배치된 광학 스테이지(120)가 위치한다. 상기 광학 스테이지(120) 상에 레이저 조사 장치(130)가 설치된다. 상기 레이저 조사 장치(130)는 레이저 소오스(light source; 131), 빔 모양 변형장치(beam shaping element; 132), 마스크(135) 및 투영렌즈(projection lens; 137)를 구비할 수 있다. 상기 레이저 소오스(131)는 레이저 빔(L)을 발생시키는 장치이다. 상기 레이저 소오스(131)로부터 발생된 빔(L)은 상기 빔 모양 변형장치 (132)를 통과한다. 상기 빔 모양 변형장치(132)는 상기 레이저 소오스(131)에서 발생된 가우시안 프로파일을 갖는 빔을 균질화된 플랫-탑 프로파일을 갖는 빔(L_i)로 변형시킬 수 있다. 상기 균질화된 빔(L_i)은 상기 마스크(135)를 통과할 수 있다. 상기 마스크(135)는 적어도 하나의 광투과 패턴 또는 적어도 하나의 광반사 패턴을 구비한다. 도면에는 예시적으로 광투과 패턴들(135a)만을 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 마스크(135)를 통과한 빔은 상기 패턴들(135a)에 의해서 패터닝된 이미지(L_m)을 가질 수 있다. 상기 패터닝된 이미지(L_m)를 갖는 빔은 상기 투영렌즈(projection lens; 137)를 통과한다.The
상기 광학 스테이지(120)는 상기 레이저 조사 장치(130)를 Y 방향으로 이동시키기 위한 레이저 가이드 바(laser guide bar; 123)를 구비한다. 나아가, 상기 광학 스테이지(120)는 레이저 조사장치 베이스(125)를 통해 상기 광학 스테이지(120) 상면, 자세하게는 상기 레이저 가이드 바(123)에 장착된다.The
상기 광학 스테이지(120)의 일측면 상에 테잎형 도너 필름 공급롤(tape-like film supply roll; 143)과 테잎형 도너 필름 수급롤(tape-like film winding roll; 144)이 설치된다. 즉, 상기 필름 공급롤(143)과 상기 필름 수급롤(144)은 상기 척(115)의 일측 상부와 상기 척(115)의 타측 상부에 각각 위치한다. 테잎형 도너 필름(70)은 상기 억셉터 기판(50)의 폭에 비해 작은 폭을 가지므로 상기 기판(50)의 폭과 비슷하거나 그보다 큰 도너 필름을 제작하는 경우에 비해 필름 제조시의 균일성을 확보하는 것이 용이해 진다. 한편, 상기 필름 공급롤(143)과 상기 필름 수급롤(144)은 상기 도너 필름(70)에 일정한 장력을 가할 수 있다.A tape-like
상기 필름 공급롤(143)과 상기 필름 수급롤(144) 사이에 라미네이션 유닛(150)이 설치된다. 상기 라미네이션 유닛(150)은 공압(air pressure)을 사용하여 상기 도너 필름(70)을 상기 억셉터 기판(50) 상에 국부적으로 라미네이션한다. 상기 라미네이션 유닛(150) 상에는 상기 레이저 조사장치(130)가 위치한다. 상기 레이저 조사장치(130)는 상기 라미네이션 유닛(150)을 관통하여 상기 라미네이션된 도너 필름(70) 상에 레이저 빔을 조사한다. 즉, 상기 라미네이션 유닛(150)은 상기 레이저 빔이 지나가는 통로에 광투과부를 갖는다. 따라서, 상기 레이저 열 전사장치(100)는 라미네이션과 동시에 레이저 열 전사공정을 진행할 수 있으며, 상기 레이저 빔을 상기 라미네이션 유닛(150)을 관통하여 조사함으로써 라미네이션이 충분히 된 부위에 레이저 빔을 조사할 수 있다. 또한, 국부적인 라미네이션을 수행하므로 상기 라미네이션 된 부분의 억셉터 기판(50)과 도너 필름(70) 사이에 기포가 발생하더라도, 그 기포는 주변부에 위치하는 라미네이션 되지 않은 부분의 상기 도너 필름(70)과 상기 억셉터 기판(50) 사이로 빠져나갈 수 있다. 결과적으로, 기포로 인한 전사불량을 막을 수 있으며, 우수한 전사 패턴 프로파일을 얻을 수 있다.A
상기 라미네이션 유닛(150)은 공동(cavity; 151a), 상기 공동(151a)에 압축가스(Ca)를 주입하기 위한 가스 주입구(151b) 및 상기 공동(151a)에 주입된 가스를 상기 척 상으로 배출하는 가스 배출구(151c)를 갖는 몸체(151)를 구비할 수 있다. 상기 압축가스(Ca)의 압력에 의해 도너 필름(70)은 상기 억셉터 기판(50) 상으로 라미네이션 될 수 있으며, 상기 가스 배출구(151c)를 통해 배출된 가스는 상기 라미네이션 유닛(150)의 외부로 배기되면서, 상기 몸체(151)와 도너 필름(70) 사이에 소정의 간격을 형성한다. The
이러한 라미네이션 유닛(150)은 상기 몸체(151)의 상부 일부분에 설치되고, 상기 공동(151a)에 접하는 광투과창(155)을 더 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 레이저 조사장치(130)로부터 조사된 레이저는 상기 광투과창(155), 상기 공동(151a) 및 상기 가스 배출구(151c)를 통과하여 상기 도너 필름(70) 상에 조사될 수 있다. 따라서, 상기 광투과창(155), 상기 공동(151a) 및 상기 가스 배출구(151c)는 광투과부를 구성할 수 있다. 이 때, 상기 가스 주입구(151b)는 상기 몸체(151)의 측벽을 관통하도록 설치될 수 있다. 이러한 라미네이션 유닛(150)의 몸체(151)는 도면에 도시된 바와 같이 직육면체일 수 있으나, 이에 한정되지 않고 원기둥형일 수도 있다.The
상기 라미네이션 유닛(150)과 상기 레이저 조사장치(130)는 상기 레이저 조사장치(130)의 이송방향인 Y 방향으로 동시에 이송 가능하다. 이를 구현하는 일 예로서, 상기 라미네이션 유닛(150)은 라미네이션 유닛 베이스(141)에 설치되고, 상기 라미네이션 유닛 베이스(141)는 상기 레이저 조사장치 베이스(125)에 연결될 수 있다. 이로써, 상기 레이저 조사장치 베이스(125)를 상기 Y 방향으로 이송시키면, 상기 레이저 조사장치 베이스(125) 상에 설치된 레이저 조사장치(130)와 상기 라미네이션 유닛 베이스(141) 또한 Y 방향으로 이송될 수 있다. 결과적으로, 상기 라미네이션 유닛 베이스(141)에 설치된 상기 라미네이션 유닛(150)도 Y 방향으로 이송될 수 있다.The
나아가, 상기 필름 공급롤(143)과 상기 필름 수급롤(144)은 상기 라미네이션 유닛(150)과 함께 상기 Y 방향으로 동시에 이송 가능한 것이 바람직하다. 이를 구현하는 일 예로서, 상기 필름 공급롤(143) 및 상기 필름 수급롤(144)은 상기 라미네이션 유닛(150)에 소정간격 이격하면서 상기 라미네이션 유닛 베이스(141)에 각각 설치될 수 있다. 따라서, 상기 레이저 조사장치(130), 상기 라미네이션 유닛(150), 상기 필름 공급롤(143) 및 필름 수급롤(144) 모두가 함께 Y 방향으로 이송 가능할 수 있다.Furthermore, the
이에 더하여, 상기 라미네이션 유닛 베이스(141)는 상기 라미네이션 유닛(150)을 상하 방향으로 이동시키기 위한 라미네이션 유닛 가이드 바(lamination unit guide bar; 142)를 구비할 수 있다.In addition, the
상기 광학 스테이지(120), 상기 레이저 조사 장치(130), 상기 라미네이션 유닛(150), 상기 필름 공급롤(143) 및 상기 필름 수급롤(144)은 레이저 열 전사 프린트 헤드(H)에 포함된다.The
도 4는 도 1의 절단선 Ⅲ-Ⅲ'를 따라 취해진 본 발명의 일 실시예에 따른 테잎형 도너 필름의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of the tape-type donor film according to the embodiment of the present invention taken along the cut line III-III ′ of FIG. 1.
도면을 참조하면, 테잎형 도너 필름(70)은 상면 및 하면을 구비하는 베이스 기판(base substrate; 71) 및 상기 베이스 기판(71)의 상면 상에 차례로 위치하는 광열변환층(73)과 전사층(77)을 구비한다. 또한, 상기 베이스 기판(71)의 하면의 양측 가장자리 상에 돌기부들(72)이 위치할 수 있다. 상기 베이스 기판(71)은 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate, PET) 등의 투명성 고분자 유기재료로 형성된 기판일 수 있다. 상기 광열변환층(73)은 입사되는 광을 열로 변환시 키는 막으로, 광흡수성 물질인 알루미늄 산화물, 알루미늄 황화물, 카본 블랙, 흑연 또는 적외선 염료를 포함할 수 있다. 상기 전사층(77)은 억셉터 기판(도 1의 50)이 유기전계발광소자 기판인 경우, 유기전사층일 수 있다. 상기 유기전사층(77)은 정공주입성 유기막, 정공수송성 유기막, 전계발광성 유기막, 정공억제성 유기막, 전자수송성 유기막 및 전자주입성 유기막으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나의 막일 수 있다.Referring to the drawings, the tape-shaped
이러한 테잎형 도너 필름(70)은 축(도 1의 143s 또는 144s)에 여러 겹으로 감겨져 도너 필름 공급롤(143) 또는 도너 필름 수급롤(144)을 형성한다. 이 경우, 상기 돌기부들(72)은 상기 도너 필름(70)이 상기 축(도 1의 143s 또는 144s)에 여러겹으로 감길 때, 상기 전사층(77)이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 돌기부(72)의 높이는 상기 베이스 기판(71) 상에 적층된 여러 막들 예를 들어, 상기 광열변환층(73)과 상기 전사층(77)의 두께의 합보다 더 큰 것이 바람직하다.The tape-
도 5는 도 1의 억셉터 기판의 일 실시예인 유기전계발광소자 기판의 일부영역을 확대하여 나타낸 단면도이다.FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a portion of an organic light emitting diode substrate which is an example of the acceptor substrate of FIG. 1.
도면을 참조하면, 기판(51) 상의 소정영역에 반도체층(52)이 위치한다. 상기 반도체층(52)은 비정질 실리콘막 또는 비정질 실리콘막을 결정화한 다결정 실리콘막일 수 있다. 상기 반도체층(52) 상에 게이트 절연막(53)이 위치한다. 상기 게이트 절연막(53) 상에 상기 반도체층(52)과 중첩하는 게이트 전극(54)이 위치한다. 상기 게이트 전극(54) 상에 상기 반도체층(52) 및 상기 게이트 전극(54)을 덮는 제 1 층간절연막(55)이 위치한다. 상기 제 1 층간절연막(55) 상에 상기 제 1 층간절연 막(55) 및 상기 게이트 절연막(53)을 관통하여 상기 반도체층(52)의 양 단부와 각각 접속하는 소오스 전극(56) 및 드레인 전극(57)이 위치한다. 상기 반도체층(52), 상기 게이트 전극(54) 및 상기 소오스/드레인 전극들(56, 57)은 박막트랜지스터(T)를 형성한다. 상기 소오스/드레인 전극들(56, 57) 상에 상기 소오스/드레인 전극들(56, 57)을 덮는 제 2 층간절연막(58)이 위치한다. 상기 제 2 층간절연막(58)은 상기 박막트랜지스터(T)를 보호하기 위한 패시베이션막 및/또는 상기 박막트랜지스터로 인한 단차를 완화하기 위한 평탄화막을 구비할 수 있다. 상기 제 2 층간절연막(58) 상에 상기 제 2 층간절연막(58)을 관통하여 상기 드레인 전극(57)과 접속하는 화소전극(59)이 위치한다. 상기 화소전극(59)은 예를 들어, ITO(Indium Tin Oxide)막 또는 IZO(Indium Zinc Oxide)막일 수 있다. 상기 화소전극(59) 상에 상기 화소전극의 일부를 노출시키는 개구부(60a)를 갖는 화소정의막(pixel defining layer, 60)이 위치할 수 있다.Referring to the drawing, the
이하, 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 레이저 열 전사장치를 사용한 레이저 열 전사법 및 유기전계발광표시장치 제조방법을 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, a laser thermal transfer method and a method of manufacturing an organic light emitting display device using the laser thermal transfer apparatus described with reference to FIGS. 1 and 2 will be described in detail.
도 6은 도 1의 절단선 I-I'를 따라 취해진 단면도이고, 도 7은 도 1의 절단선 Ⅱ-Ⅱ'를 따라 취해진 단면도이다.FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1, and FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line II-II ′ of FIG. 1.
도 1, 도 6 및 도 7을 참조하면, 척(115) 상에 억셉터 기판(50)을 위치시킨다. 상기 억셉터 기판(50)은 도 5를 참조하여 설명한 유기전계발광소자 기판일 수 있다.1, 6, and 7, the
광학 스테이지(도 1의 120)의 일측면 상에 필름 공급롤(143)과 필름 수급롤 (144)을 설치함으로써, 상기 억셉터 기판(50) 상에 테잎형 도너 필름(70)을 위치시킨다. 상기 도너 필름(70)은 적어도 광열변환층(도 4의 73) 및 전사층(77)을 구비하고, 상기 전사층(77)이 상기 억셉터 기판(50)을 대향하도록 위치된다.The
이어서, 라미네이션 유닛(150)이 라미네이션 유닛 가이드 바(142)를 따라 하부로 이동한다. 이로써, 상기 라미네이션 유닛(150) 하부의 도너 필름(70) 역시 상기 억셉터 기판(50) 상으로 이동할 수 있다. Subsequently, the
이어서, 상기 라미네이션 유닛(150)의 가스 주입구(151b)를 통해 압축가스(Ca)가 공동(151a) 내로 주입된다. 본 명세서에서, "압축가스"라 함은 그의 기체압이 상기 라미네이션 유닛(150) 외부의 기압보다 더 높은 것을 말한다. 상기 공동(151a) 내로 주입된 압축가스는 가스 배출구(151c)를 통해 배출된다. 이 때, 상기 압축가스의 압력(P)에 의해 도너 필름(70)의 일부분은 상기 억셉터 기판(50) 상으로 국부적으로 라미네이션될 수 있으며, 상기 가스 배출구(151c)를 통해 배출된 가스는 상기 라미네이션 유닛(150)의 외부로 배기되면서, 상기 몸체(151)와 상기 도너 필름(70) 사이에 소정의 간격을 형성할 수 있다.Subsequently, the compressed gas Ca is injected into the
이어서, 레이저 조사장치(130)의 레이저 소오스(도 2의 131)로부터 레이저 빔이 방출되고, 상기 레이저 빔은 투영렌즈(137)를 통과한다. 상기 투영렌즈(137)를 통과한 레이저 빔은 상기 라미네이션 유닛(150)의 광투과부 즉, 광투과창(155) , 상기 공동(151a) 및 상기 가스 배출구(151c)를 통과하여 상기 도너 필름(70) 상에 조사된다. 이 때, 상기 라미네이션 유닛(150)이 상기 도너 필름에 가하는 압력 즉, 압축가스의 압력(P)은 상기 레이저 빔이 조사되는 방향과 평행할 수 있다. 따 라서, 상기 도너 필름(70)이 상기 억셉터 기판(50) 상에 충분하게 라미네이션된 부위에 레이저 빔을 조사함으로써 전사불량을 줄일 수 있다. 이로써, 우수한 전사 패턴 프로파일을 얻을 수 있다.Subsequently, a laser beam is emitted from the laser source (131 of FIG. 2) of the
상기 도너 필름(70)의 상기 레이저 빔이 조사된 영역에서는 상기 광열변환층(도 4의 73)이 상기 레이저 빔을 흡수하여 열을 발생시키고, 상기 열이 발생된 광열변환층(도 4의 73) 하부의 상기 전사층(77)은 상기 열에 의해 상기 광열변환층(도 4의 73)과의 접착력에 변화가 생겨 상기 억셉터 기판(50) 상으로 전사된다. 결과적으로 상기 억셉터 기판(50) 상에는 패터닝된 전사층(77a)이 형성된다.In the region irradiated with the laser beam of the
이어서, 레이저 조사장치 베이스(125)는 레이저 가이드 바(123)를 따라 Y축으로 연속적으로 이동한다. 따라서, 상기 레이저 조사장치 베이스(125)에 설치된 상기 레이저 조사장치(130), 상기 레이저 조사장치 베이스(125)에 연결된 라미네이션 유닛 베이스(141), 상기 라미네이션 유닛 베이스(141)에 설치된 상기 라미네이션 유닛(150) 및 필름 공급롤(143)/필름 수급롤(144) 또한 동시에 Y축으로 연속적으로 이동할 수 있다. 그 결과, 상기 라미네이션은 Y 방향으로 연속적으로 진행되고, 상기 레이저 빔은 상기 Y 방향으로 스캔될 수 있다.Subsequently, the
이 때, 상기 필름 수급롤(144)은 상기 레이저 조사장치 베이스(125) 즉, 상기 레이저 조사장치(130)가 이동한 속도에 동기화된 속도로 상기 도너 필름(70)을 감는다. 그 결과, 도너 필름(70)의 패터닝되지 않은 전사층(77)을 갖는 부분이 상기 라미네이션 유닛(150) 하부에 연속적으로 위치할 수 있게 된다. 이 때, 상기 몸체(151)와 상기 도너 필름(70) 사이의 간격으로 인해 상기 라미네이션 유닛(150)은 상기 도너 필름(70)과의 직접적인 접촉에 의한 마찰없이 상기 도너 필름(70) 상에서 이동할 수 있다. 이로써, 상기 도너 필름(70)의 전사층이 유기막인 경우, 상기 유기막의 손상을 최소화할 수 있다.At this time, the
상기 레이저 조사장치(130)가 상기 억셉터 기판(50)의 가장자리에 다다르면, 상기 라미네이션 유닛(150)으로 압축가스는 공급되지 않고 또한, 상기 라미네이션 유닛(150)은 상기 라미네이션 유닛 가이드 바(142)를 따라 상부로 이동한다. 그 결과, 상기 라미네이션 유닛(150) 하부의 도너 필름(70)은 상기 억셉터 기판으로부터 탈착된다.When the
이어서, 상기 척(115)은 상기 척 가이드 바(113)를 따라 한 스텝 이동하고, 상술한 라미네이션 및 레이저 조사를 반복한다.Subsequently, the
도 8은 패터닝된 전사층을 구비하는 유기전계발광소자 기판의 일부영역을 확대하여 나타낸 단면도이다.8 is an enlarged cross-sectional view of a portion of an organic light emitting diode substrate having a patterned transfer layer.
도면을 참조하면, 도 5를 참조하여 설명한 유기전계발광소자 기판의 개구부(60a) 내에 노출된 화소전극(55) 상에 전사층 패턴(77a)이 위치한다. 상기 전사층 패턴(77a)은 발광층일 수 있다. 나아가, 상기 전사층 패턴(77a)은 정공주입층, 정공수송층, 정공억제층, 전자수송층 및 전자주입층으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 한층을 더욱 포함할 수 있다.Referring to the drawings, the
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 도너 필름들의 단면도이다. 본 실시예들에 따른 도너 필름들은 후술하는 것을 제외하고는 도 4를 참조하여 설명한 도너 필름과 같다.9A and 9B are cross-sectional views of donor films according to other embodiments of the present invention. The donor films according to the present embodiments are the same as the donor film described with reference to FIG. 4 except for the following description.
도 9a 및 도 9b를 참조하면, 베이스 기판(71)의 상면 상에 돌기부들(72_1)이 위치할 수도 있고(도 9a), 상기 베이스 기판(71)의 상면 및 하면 상에 돌기부들(72_2a, 72_2b)이 위치할 수도 있다.(도 9b)9A and 9B, the protrusions 72_1 may be positioned on the top surface of the base substrate 71 (FIG. 9A), and the protrusions 72_2a on the top and bottom surfaces of the
도 10a 및 도 10b는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 도너 필름들의 평면도이다. 본 실시예들에 따른 도너 필름들은 후술하는 것을 제외하고는 도 2 및 도 4를 참조하여 설명한 도너 필름과 같다.10A and 10B are plan views of donor films according to other embodiments of the present invention. The donor films according to the present embodiments are the same as the donor films described with reference to FIGS. 2 and 4 except for the following description.
도 10a 및 도 10b를 참조하면, 돌기부들 중 적어도 일측 가장자리에 위치한 돌기부는 서로 이격하는 돌기 패턴들(72_3, 72_4)을 구비할 수 있다. 상기 돌기 패턴들(72_3, 72_4)의 형태는 사각형(72_3) 또는 원형(72_4)일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기 소정간격 이격하는 돌기 패턴들(72_3, 72_4)로 인해 상기 돌기부를 구비하는 테잎형 도너 필름은 축(도 1의 143s, 144s)에 더욱 유연하게 감길 수 있다.10A and 10B, the protrusions disposed on at least one edge of the protrusions may include protrusion patterns 72_3 and 72_4 spaced apart from each other. The protrusion patterns 72_3 and 72_4 may be in the form of a rectangle 72_3 or a circle 72_4, but are not limited thereto. The tapered donor films including the protrusions may be more flexibly wound around the shafts (143s and 144s of FIG. 1) due to the protrusion patterns 72_3 and 72_4 spaced apart from each other.
도 11a 및 도 11b는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 도너 필름들의 평면도이다. 본 실시예들에 따른 도너 필름들은 후술하는 것을 제외하고는 도 2 및 도 4를 참조하여 설명한 도너 필름과 같다.11A and 11B are plan views of donor films according to other embodiments of the present invention. The donor films according to the present embodiments are the same as the donor films described with reference to FIGS. 2 and 4 except for the following description.
도 11a 및 도 11b를 참조하면, 베이스 기판(71)의 상면 및/또는 하면의 양측 가장자리 상에 위치하는 돌기부들(72_5a, 72_6a) 사이에 적어도 하나의 돌기부 (72_5b, 72_6b)가 더 배치될 수 있다. 11A and 11B, at least one protrusion 72_5b and 72_6b may be further disposed between the protrusions 72_5a and 72_6a positioned on both edges of the top and / or bottom surfaces of the
한편, 전사층은 상기 테잎형 도너 필름의 연장방향으로 연장하는 다수 개의 전사 패턴들(77_5, 77_6a, 77_6b, 77_6c)을 구비할 수 있다. 이 때, 상기 추가적인 돌기부(72_5b, 72_6b)는 상기 전사 패턴들(77_5, 77_6a, 77_6b, 77_6c) 사이에 위치할 수 있다. 상기 전사 패턴들(77_5, 77_6a, 77_6b, 77_6c)은 서로 같은 색 전사 패턴(77_5)일 수도 있고, 서로 다른 색 전사 패턴들(77_6a, 77_6b, 77_6c)일 수도 있다. 상기 서로 다른 색 전사 패턴들(77_6a, 77_6b, 77_6c)은 각각 적색, 녹색 및 청색 전사 패턴들일 수 있다. 이로써, 한 셋트의 필름 롤들을 사용하여 다색 프린팅을 수행할 수 있다.Meanwhile, the transfer layer may include a plurality of transfer patterns 77_5, 77_6a, 77_6b, and 77_6c extending in the extension direction of the tape donor film. In this case, the additional protrusions 72_5b and 72_6b may be located between the transfer patterns 77_5, 77_6a, 77_6b, and 77_6c. The transfer patterns 77_5, 77_6a, 77_6b, and 77_6c may be the same color transfer patterns 77_5, or may be different color transfer patterns 77_6a, 77_6b, 77_6c. The different color transfer patterns 77_6a, 77_6b, and 77_6c may be red, green, and blue transfer patterns, respectively. Thus, multicolor printing can be performed using a set of film rolls.
도 12a는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 도너 필름들의 평면도이고, 도 12b는 도 12a에 나타난 도너 필름을 구비하는 도너 필름 롤의 단면도이다. 본 실시예들에 따른 도너 필름들은 후술하는 것을 제외하고는 도 1, 도 2 및 도 4를 참조하여 설명한 도너 필름과 같다.12A is a plan view of donor films according to other embodiments of the present invention, and FIG. 12B is a cross-sectional view of a donor film roll with the donor film shown in FIG. 12A. The donor films according to the present embodiments are the same as the donor film described with reference to FIGS. 1, 2 and 4 except for the following description.
도 12a 및 도 12b를 참조하면, 돌기부(72_7)는 상기 돌기부(72_7)를 관통하는 홈(72_7a)을 구비하고, 베이스 기판(71)은 상기 홈(72_7a)에 대응하는 홀(71a)을 구비한다. 이 경우, 축(S)은 상기 홀(71a) 및 상기 홈(72_7a)을 관통하는 핀(Sa)을 구비한다. 상기 핀(Sa)은 도너 필름에 적정한 장력을 가할 수 있으며, 상기 도너 필름을 감는 속도를 정확하게 제어할 수 있도록 한다.12A and 12B, the protrusion 72_7 includes a groove 72_7a penetrating through the protrusion 72_7, and the
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 열 전사장치를 나타낸 단면도이다. 본 실시예에 따른 레이저 열 전사장치는 후술하는 것을 제외하고는 도 1 내지 도 8을 참조하여 설명한 레이저 열 전사장치와 같다.13 is a cross-sectional view showing a laser thermal transfer apparatus according to another embodiment of the present invention. The laser thermal transfer apparatus according to the present embodiment is the same as the laser thermal transfer apparatus described with reference to FIGS. 1 to 8 except as described below.
도 13을 참조하면, 필름 공급롤(143_1)과 필름 수급롤(144_1)은 라미네이션 유닛 베이스(도 1의 141)에 설치되지 않고, 광학 스테이지(120)의 양측 지지부 에 설치된다. 이 경우, 상기 필름 공급롤(143_1)과 상기 필름 수급롤(144_1)은 상기 레이저 조사장치(130) 및 상기 라미네이션 유닛(150)을 사용하여 레이저 빔을 스캔할 때에는 동작하지 않고, 상기 광학 스테이지(120) 또는 척(115)이 한 스텝 이동한 후, 스캔을 시작하기 전에 동작하여 억셉터 기판(50) 상에 새로운 도너 필름(70)을 펼쳐놓을 수 있다.Referring to FIG. 13, the film supply roll 143_1 and the film supply roll 144_1 are not installed on the
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 열 전사장치를 나타낸 단면도이다. 본 실시예에 따른 레이저 열 전사장치는 후술하는 것을 제외하고는 도 1 내지 도 8을 참조하여 설명한 레이저 열 전사장치와 같다.14 is a cross-sectional view showing a laser thermal transfer apparatus according to another embodiment of the present invention. The laser thermal transfer apparatus according to the present embodiment is the same as the laser thermal transfer apparatus described with reference to FIGS. 1 to 8 except as described below.
도 14를 참조하면, 적색 프린트 헤드(HR), 녹색 프린트 헤드(HG), 청색 프린트 헤드(HB)가 위치한다. 상기 적색, 녹색 및 청색 프린트 헤드들(HR, HG, HB)은 척 상에 위치하여 상기 척을 가로지르는 적색, 녹색 및 청색 광학 스테이지들(120R, 120G, 120B)에 각각 설치된다. 상기 각 프린트 헤드는 도 1 내지 도 8을 참조하여 설명한 프린트 헤드와 동일한 구조를 갖는다. 즉, 상기 각 광학 스테이지(120R, 120G, 120B)의 일측면 상에 필름 공급롤(143), 필름 수급롤(144), 레이저 조사장치(130) 및 라미네이션 유닛(150)이 설치된다. 또한, 상기 적색, 녹색 및 청색 프린트 헤드들(HR, HG, HB)은 적색 전사층(77R)이 형성된 적색 도너 필름(70R), 녹색 전사층(77G)이 형성된 녹색 도너 필름(70G) 및 청색 전사층(77B)이 형성된 청색 도너 필름(70B)을 각각 구비한다. Referring to FIG. 14, a red print head H R , a green print head H G , and a blue print head H B are positioned. The red, green and blue print heads H R , H G , H B are located on the chuck and are installed in the red, green and blue
이와 같은 레이저 열 전사장치를 사용하여 보다 단시간 내에 억셉터 기판 상에 다색의 전사층 패턴(PR, PG, PB)을 형성할 수 있다. 결과적으로 생산성을 향상시킬 수 있다.By using such a laser thermal transfer apparatus, multicolor transfer layer patterns P R , P G , and P B can be formed on the acceptor substrate in a shorter time. As a result, productivity can be improved.
도 15a 및 도 15b는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 레이저 열 전사장치들을 나타낸 단면도들이다. 본 실시예에 따른 레이저 열 전사장치는 후술하는 것을 제외하고는 도 1 내지 도 8을 참조하여 설명한 레이저 열 전사장치와 같다.15A and 15B are cross-sectional views illustrating laser thermal transfer apparatuses according to other exemplary embodiments. The laser thermal transfer apparatus according to the present embodiment is the same as the laser thermal transfer apparatus described with reference to FIGS. 1 to 8 except as described below.
도 15a 및 도 15b를 참조하면, 도너 필름(70)은 상기 도너 필름(70)의 연장방향으로 연장하는 다수 개의 전사 패턴들 즉, 적색 전사 패턴(77R), 녹색 전사 패턴(77G) 및 청색 전사 패턴(77B)을 구비한다. 이 경우, 상기 도너 필름은 도 11b를 참조하여 설명한 도너 필름일 수 있다. 상기 전사 패턴들(77R, 77G, 77B)은 라미네이션 유닛을 공유할 수 있다. 나아가, 상기 전사 패턴들(77R, 77G, 77B)은 레이저 조사장치를 공유할 수 있다(도 15a). 이와는 달리, 레이저 열 전사장치는 상기 적색, 녹색 및 청색 전사 패턴들(77R, 77G, 77B)에 각각 레이저 빔을 조사하는 적색 레이저 조사장치(130R), 녹색 레이저 조사장치(130G) 및 청색 레이저 조사장치(130B)를 구비할 수 있다(도 15b).15A and 15B, the
이와 같은 레이저 열 전사장치를 사용하여 보다 단시간 내에 억셉터 기판 상에 다색의 전사층 패턴을 형성할 수 있다. 결과적으로 생산성을 향상시킬 수 있다.By using such a laser thermal transfer apparatus, a multicolor transfer layer pattern can be formed on an acceptor substrate in a shorter time. As a result, productivity can be improved.
도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 열 전사장치를 나타낸 단면도이다. 본 실시예에 따른 레이저 열 전사장치는 후술하는 것을 제외하고는 도 15b를 참조하여 설명한 레이저 열 전사장치와 같다.16 is a cross-sectional view showing a laser thermal transfer apparatus according to another embodiment of the present invention. The laser thermal transfer apparatus according to the present embodiment is the same as the laser thermal transfer apparatus described with reference to FIG. 15B except as described below.
도 16을 참조하면, 광학 스테이지(120)의 일측면 상에 레이저 조사장치들(130R, 130G, 130B) 및 라미네이션 유닛(150)이 설치된다. 그러나, 필름 공급롤(143)과 필름 수급롤(144)은 광학 스테이지(120)의 일측면과 타측면 상에 각각 위치한다. 상기 레이저 조사 장치들(130R, 130G, 130B), 상기 라미네이션 유닛(150), 상기 필름 공급롤(143) 및 상기 필름 수급롤(144)은 프린트 헤드에 포함된다.Referring to FIG. 16,
한편, 도너 필름(70)은 상기 도너 필름(70)의 연장방향으로 연장하는 다수 개의 전사 패턴들 즉, 적색 전사 패턴(77R), 녹색 전사 패턴(77G) 및 청색 전사 패턴(77B)을 구비한다. 이 경우, 상기 도너 필름은 도 11b를 참조하여 설명한 도너 필름일 수 있다. 상기 전사 패턴들(77R, 77G, 77B)은 상기 라미네이션 유닛(150)을 공유할 수 있다. 나아가, 상기 전사 패턴들(77R, 77G, 77B)은 상기 적색, 녹색 및 청색 전사 패턴들(77R, 77G, 77B)에 각각 레이저 빔을 조사하는 적색 레이저 조사장치(130R), 녹색 레이저 조사장치(130G) 및 청색 레이저 조사장치(130B)를 구비한 다. 이와는 달리, 나아가, 상기 전사 패턴들(77R, 77G, 77B)은 레이저 조사장치를 공유할 수 있다. Meanwhile, the
이러한 레이저 열 전사장치는 상기 광학 스테이지(120)가 고정된 상태에서 억셉터 기판(50) 즉, 척(115)의 이송과 동시에 레이저 빔의 스캔 공정이 수행된다. 상기 스캔 공정이 완료된 후, 상기 프린트 헤드는 상기 광학 스테이지(120)를 따라 한 스텝 이송하고, 이후, 척(115)의 이송과 동시에 레이저 빔의 스캔 공정을 수행한다.In the laser thermal transfer apparatus, a laser beam scanning process is performed simultaneously with the transfer of the
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 돌기부를 구비하는 테잎형 도너 필름을 구비함으로써, 도너 필름이 롤에 감겨있는 경우에도 전사층의 손상을 최소화할 수 있다.According to the present invention as described above, by providing a tape-shaped donor film having a projection, damage to the transfer layer can be minimized even when the donor film is wound on a roll.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020050108205A KR100667088B1 (en) | 2005-11-11 | 2005-11-11 | Tape-like donor film, tape-like donor film roll and laser induced thermal imaging apparatus having the tape-like donor film roll |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020050108205A KR100667088B1 (en) | 2005-11-11 | 2005-11-11 | Tape-like donor film, tape-like donor film roll and laser induced thermal imaging apparatus having the tape-like donor film roll |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR100667088B1 true KR100667088B1 (en) | 2007-01-11 |
Family
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1020050108205A KR100667088B1 (en) | 2005-11-11 | 2005-11-11 | Tape-like donor film, tape-like donor film roll and laser induced thermal imaging apparatus having the tape-like donor film roll |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR100667088B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100841364B1 (en) | 2006-11-27 | 2008-06-26 | 삼성에스디아이 주식회사 | Organic Light Emitting Display And Method For Manufacturing The Same |
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