KR100662463B1 - 고속 정보 저장장치의 스캐너 및 그 제조방법 - Google Patents

고속 정보 저장장치의 스캐너 및 그 제조방법 Download PDF

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KR100662463B1
KR100662463B1 KR1020050090078A KR20050090078A KR100662463B1 KR 100662463 B1 KR100662463 B1 KR 100662463B1 KR 1020050090078 A KR1020050090078 A KR 1020050090078A KR 20050090078 A KR20050090078 A KR 20050090078A KR 100662463 B1 KR100662463 B1 KR 100662463B1
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조일주
남효진
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엘지전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 고속 정보 저장장치의 스캐너 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 내부에 공간이 형성되고, 일면에 데이터를 기록할 수 있는 스캔테이블; 상기 스캔테이블에 접합되고, 정전기력으로 연장 및 수축되어 상기 스캔테이블을 구동시킬 수 있는 제 1 탄성체; 상기 제 1 탄성체에 연결되고, 상기 스캔테이블을 둘러싼 프레임; 및 상기 프레임에 접합되고, 정전기력으로 연장 및 수축되어 상기 프레임을 구동시킬 수 있는 제 2 탄성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 정보 저장장치의 스캐너를 제공한다. 본 발명에 따르면 스캐너의 무게를 줄여서 연직 방향으로 스캔테이블이 처지거나 외부의 진동에 대한 영향받는 문제점을 줄일 수 있고, 또한 스캐너의 공진 주파수를 높여 상기 스캐너가 빠른 속도로 동작할 수 있다
마이크로스캐너, AFM, 나노, 스토리지, 저장장치

Description

고속 정보 저장장치의 스캐너 및 그 제조방법{A apparatus for scanning high-speed data storage and method for manufacturing the apparatus}
도 1은 본 발명에 따른 고속 정보 저장장치 스캐너의 일 실시예를 나타낸 도면
도 2는 본 발명에 따른 고속 정보 저장장치 스캐너의 일 실시예에서 상판과 하판이 마주보는 면의 구조를 나타낸 도면
도 3은 본 발명에 따른 고속 정보 저장장치 스캐너의 일 실시예에서 상판의 구조를 나타낸 도면
도 4a는 본 발명에 따른 고속 정보 저장장치 스캐너의 스캔테이블 구조체의 일 예에 대한 반 투명도
도 4b는 도 4a의 I-I'에 대한 단면도
도 5a 내지 도 5g는 본 발명에 따른 고속 정보 저장장치 스캐너의 제조방법을 순서대로 나타낸 도면
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 상판 110 : X축방향 상부전극
120 : Y축방향 상부전극
200 : 하판 210 : X축방향 하부전극
220 : Y축방향 하부전극
300 : 프레임 400 : 스캔테이블
410 : 지지대
500 : 제 1탄성체(X축구동스프링)
600 : 제 2탄성체(Y축구동스프링)
본 발명은 고속 정보 저장장치의 스캐너 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 외부 충격에 강하고, 구동속도가 높은 고속 정보 저장장치의 스캐너 및 그 제조방법에 관한 것이다.
AFM(Atomic Force Microscope; 이하 AFM)은 원자간에 발생하는 힘을 이용하여 물체의 표면을 관찰할 수 있는 장치로서, 원자단위의 해상도를 가지고 물체를 관찰할 수 있는 측정장비이다.
현재 높은 해상도를 이용하여 정보를 저장하고 읽을 수 있는 AFM 나노(nano) 정보 저장장치에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. AFM 나노 정보 저장장치는 데이터(data)의 단위인 비트(bit)를 나노미터 단위로 저장하는 장치로서, AFM 나노 정보 저장장치에 데이터를 저장하는 경우에 매우 높은 저장밀도로 데이터를 저장할 수 있다.
나노 정보 저장장치를 구현하기 위한 하나의 방안으로서 여러 개의 켄틸레버 (cantilever)를 집적하여 켄틸레버 어레이(array)를 구성하고, 그 켄틸레버 어레이를 이용해서 웨이퍼(wafer)에 고속으로 정보를 쓰고 읽을 수 있는 장치가 연구되고 있다.
고정된 켄틸레버(cantilever) 어레이를 이용해서 데이터를 미디어(media)의 원하는 위치에 저장하고 그 저장된 데이터를 읽기 위해서는 상기 켄틸레버(cantilever) 어레이에 마주보고 위치하는 미디어를 원하는 위치로 구동시킬 수 있어야 한다. 즉, 고속의 나노 정보 저장장치는 나노 크기의 데이터를 읽고 쓰기 위해서 정교한 스캔(scan)기능을 구비하여야 한다.
이를 위해서 평면상에 서로 수직인 X축과 Y축(이하, 평면상에 서로 수직한 방향을 X축, Y축으로 표현한다)으로 구동이 가능한 마이크로스캐너(microscanner)가 개발되었다. 상기한 것처럼 마이크로스캐너는 데이터의 사이즈인 나노미터의 해상도(resolution)로 구동될 수 있다. 즉, 마이크로스캐너는 평면상에서 X축과 Y축으로 데이터 영역의 너비만큼 구동될 수 있다.
종래에 개발된 마이크로스캐너는 아이비엠(IBM)과 휴랫 패커드(HP) 등에서 개발되었는데, 상기 마이크로스캐너는 그 구조체로서 식각(etch)된 벌크 실리콘(bulk silicon)을 사용한다. 그리고, 상기 스캐너는 평면상의 X축과 Y축으로만 구동을 하여야 하기 때문에 X, Y축으로는 쉽게 움직일 수 있으면서, 연직 방향(이하 Z축)으로는 움직이 최소화되어야 한다. 따라서, 스캐너가 Z축 방향으로 강성이 높아질 수 있도록 스캐너의 구조체로서 두꺼운 벌크 실리콘을 사용하였다.
두꺼운 벌크 실리콘을 사용하여 구조체를 형성하는 경우에 스프링의 두께를 두껍게 만들면 Z축 강성을 높일 수 있다는 장점이 있다.
그러나, 그러한 경우 스캐너 테이블(table)의 질량이 커지기 때문에, 스캐너가 중력과 외부 충격에 민감하게 반응한다. 왜냐하면 중력으로 인해 스캐너 테이블이 중력방향으로 처지는 정도는 그 스캐너 테이블의 질량에 비례하고, 상기 스캐너가 외부 충격을 받았을 때의 충격량 역시 질량에 비례하기 때문이다.
결국 종래의 AFM방식의 고속 정보 저장장치 스캐너는 나노미터 단위의 분해능을 가져야 하는데, 중력이나 외부 충격에 대해서 민감하게 반응한다면 동작시에 오차가 발생할 가능성이 커지는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 고속 정보 저장장치의 스캐너의 수평방향인 X축 및 Y축 방향으로는 쉽게 구동될 수 있으면서도 연직방향인 Z축 방향으로 변형이 적은 고속 정보 저장장치의 스캐너 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 중력이나 외부 충격에 대해서 민감하게 반응하지 않고, 동작시 오차 발생의 가능성을 줄일 수 있는 고속 정보 저장장치의 스캐너 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 내부에 공간이 형성되고, 일면에 데이터를 기록할 수 있는 스캔테이블; 상기 스캔테이블에 접합되고, 정전기력으로 연장 및 수축되어 상기 스캔테이블을 구동시킬 수 있는 제 1 탄성체; 상기 제 1 탄성체에 연결되고, 상기 스캔테이블을 둘러싼 프레임; 및 상기 프레임에 접합되고, 정전기력으로 연장 및 수축되어 상기 프레임을 구동시킬 수 있는 제 2 탄성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 정보 저장장치의 스캐너를 제공한다.
상기 스캔테이블의 내부공간에 상기 공간이 유지되도록 스캔테이블의 외형체를 지지하는 하나 이상의 지지대를 포함하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 프레임의 내부에도 공간이 형성된 것이 바람직하다.
본 발명은 데이터를 기록하는 스캔테이블과 상기 스캔테이블과 탄성체로 연결된 프레임이 상기 기록된 데이터 하나의 크기만큼 수평방향으로 이동할 수 있는 고속 정보 저장장치 스캐너의 제조방법에 있어서, (a) 상기 스캔테이블과 상기 프레임의 구조체가 되는 제 1기판을 준비하는 단계; (b) 상기 제 1 기판의 일 면을 식각하여 상기 제 1 기판의 내부에 공간을 형성하는 단계; (c) 상기 제 1 기판의 상기 공간이 생성된 방향에 상기 공간이 유지되도록 제 2 기판을 접합하여 상기 제 1기판과 상기 제 2 기판이 일체된 제 3기판을 구성하는 단계; (d) 데이터 기록을 위한 면을 형성하기 위해 상기 제 3기판의 일 면을 폴리싱(polishing)하는 단계; (e) 상기 제 3기판의 폴리싱된 면의 반대면에 전극과 격벽을 형성하는 단계; (f) 상기 제 3기판을 식각하여 상기 스캔테이블, 상기 탄성체 및 상기 프레임의 형상을 형성하는 단계; 및 (g) 상기 격벽의 일단에 상기 (e) 단계에 형성된 전극과 마주보는 전극이 형성된 제 4 기판을 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 정보 저장장치 스캐너의 제조방법을 제공한다.
상기 (b) 단계에서 내부에 공간을 형성할 경우, 상기 제 2기판을 지지할 수 있는 지지대에 해당하는 위치를 제외하고 상기 제 1기판의 일 면을 식각하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 (b) 단계의 상기 제 1 기판 중 프레임이 위치할 부분도 식각하는 것이 바람직하다.
상기 (f) 단계의 탄성체는 수평방향의 두께보다 연직방향이 두꺼운 것이 바람직하다.
이하 상기 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 동일한 구성요소는 설명의 편의상 동일 명칭 및 동일 부호를 부여하며 이에 대한 상세한 설명은 중복하지 않고 생략한다.
도 1은 본 발명에 따른 고속 정보 저장장치의 스캐너의 일 예를 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하여 고속 정보 저장장치 스캐너의 개략적인 외형의 일 예를 설명하면 다음과 같다. 고속 정보 저장장치의 스캐너는 상판(100), 하판(200), 프레임(frame)(300), 스캔테이블(scantable)(400)을 포함한다.
도 1의 고속 정보 저장장치의 스캐너의 외형은 넓은 사각형 형상의 상판(100)과 상기 상판(100)의 아래측에 동 형상의 하판(200)이 수 마이크로 미터의 간격으로 위치하는 형태를 한다. 상기 상판(100)의 내부 방향으로 프레임(300)과 상기 프레임(300)에 둘러싸인 스캔테이블(400)이 위치한다.
도 2을 참조하여, 도 1의 고속 정보 저장장치의 스캐너의 상판과 하판이 마주보는 면 사이에서 상기 스캐너의 구조를 설명하면 다음과 같다. 상판(100)이 하 판(200)과 마주보는 면에는 X방향 상부전극(110)과 Y방향 상부전극(120)이 형성될 수 있다. X방향의 상부전극(110)은 스캔테이블(400)의 아래면에 형성될 수 있고, Y축방향으로 구동하는 상부 전극(120)은 프레임의 아래면에 Y축 방향으로 형성될 수 있다.
하판(200) 중 상판과 마주보는 면에는 X축방향 하부전극(210)과 Y축방향 하부전극(220)이 형성될 수 있다. 상기 X축방향 하부전극(210)과 Y축방향 하부전극(220)은 각각 상판의 X축방향 상부전극(110)과 Y축방향 상부전극(120)에 대응하는 위치에 형성된다.
본 발명에 따른 고속 정보 저장장치 스캐너의 스캔테이블(400)은 상판(100)과 하판(200)에 각각 형성된 전극(110,120,210,220)에 의한 정전기력으로 구동될 수 있다. 넓은 사각판의 형상을 가진 스캔테이블(400)의 일면에 X축 방향으로 구동하기 위한 전극(110)과 프레임(300)의 일면에 Y축 방향으로 구동하기 위한 전극(120)이 각각 위치한다.
하판(200)에도 상기 전극(110,120)과 마주보는 위치에 각각 전극(210,220)이 형성된다. 상기 X축방향 구동전극(110, 210) 사이에 전하를 인가하면 상기 X축 방향의 전극(110,210)들 사이에 서로 정전기력을 발생하고, 상기 정전기력에 의해 스캔테이블(400)이 X축 방향으로 이동할 수 있다.
또한, Y축 방향의 전극(120, 220) 사이에 전하를 인가하면, 상기 Y축 방향의 전극(120, 220) 사이에 서로 정전기력이 발생되고, 상기 정전기력에 의해 스캔테이블(400)은 Y축 방향으로 이동할 수 있다.
상기 스캔테이블(400)을 구동시키기 위해서 상기 스캔테이블(400)과 프레임(300)에 탄성체를 연결시킬 수 있다. 상기 스캔테이블(400)의 구동을 용이하게 설명하기 위해 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
상기 스캔테이블(400)의 옆면 중 마주보는 두 면에는 제 1 탄성체(500)가 형성되고, 상기 제 1 탄성체(500)는 상기 프레임(300)에 연결된다. 그리고, 프레임(300)의 옆면 중 상기 탄성체(500)가 설치된 방향과 수직이며, 서로 마주보는 두 면에 제 2 탄성체(600)가 형성되고, 상기 제 2 탄성체(600)는 상판(100)에 연결된다.
상기 제 1 탄성체(500)는 스캔테이블(400)이 그 스캔테이블(400)상에 기록을 행하는 캔틸레버 어레이(도시하지 않음)에 대해 상기 스캔테이블(400)과 상기 캔틸레버 어레이의 간격을 유지시키면서 수평방향으로만 상대적으로 움직이도록 할 수 있다.
상기 제 2 탄성체(600)도 프레임(300)이 상기 캔틸레버 어레이에 대해 수평방향으로만 상대적으로 움직이도록 하는데, 상기 프레임(300)이 수평방향으로 움직이면 상기 스캔테이블(400)이 상기 캔틸레버 어레이에 상대적으로 움직인다. 따라서, 상기 스캔테이블(400) 상에 기록된 나노단위의 데이터들을 스캔할 수 있다.
이하에서, 설명을 용이하게 하기 위해 상기 스캔테이블(400)에 연결된 제 1탄성체(500)이 설치된 방향을 X방향이라고 하고, 상기 X방향에 수평상에서 수직인 방향을 Y방향이라고 한다. 따라서, 제 2 탄성체(600)가 설치된 방향은 Y방향이 된다.
상기 제 1, 2 탄성체(500, 600)는 스캔테이블(400)과 동질의 실리콘으로 형성될 수 있는데, 이하에서 상기 제 1, 2 탄성체(500,600)를 각각 X축구동스프링과 Y축구동스프링이라고 명명한다.
도 2에서 설명한 X방향의 전극(110,210)은 상기 전극에 인가된 정전기력에 따라 X축구동스프링(500)을 수축 또는 연장시킬 수 있고, 이에 따라서 스캔테이블(400)의 X축방향의 구동이 가능하다.
또한, Y방향의 전극(120,220)에 인가된 정전기력에 의해 Y축구동스프링(600)이 수축 또는 연장될 수 있고, 상기 Y축구동스프링(600)에 연결된 프레임(300)이 Y축방향으로 구동된다. 상기 프레임의 Y축방향의 구동은 상대적으로 스캔테이블(400)이 구동이 될 수 있고, 이에 따라서 상기 스캔테이블(400)상에 데이터를 기록하거나 기록된 데이터의 위치를 스캔할 수 있다.
상기에서 설명한 바와 같이 상기 X축구동스프링(500)과 상기 Y축구동스프링(600)은 구동시 간섭을 줄이기 위해서 서로 분리되는 것이 바람직하다.
스프링을 원하는 방향으로 구동할 수 있고, 연직방향(Z축)으로의 스프링이 처지는 것을 줄이기 위해서 X축구동스프링(500)의 경우, X축 방향으로의 스프링 상수가 작도록 하고, Z축방향의 스프링 상수는 크게 설계하는 것이 좋다. 이는 Y축구동스프링(600)도 마찬가지이다. 즉, X축 또는 Y축 방향의 스프링의 두께는 얇게 하고 Z축 방향의 스프링은 두껍게 한다.
그러나, 상판을 단일 웨이퍼로 제작해야 하기 위해서는 스프링(500,600)의 연직방향의 두께가 두꺼워지면 스캔테이블 (400) 및 프레임(300)의 두께도 두꺼워 져야 한다.
스캔테이블(400) 및 프레임(500)의 두께는 식각(etching) 과정을 통하여 줄일 수 있으나, 상기 과정을 거치게 되면 나노미터(nanometer) 크기의 데이터를 기록해야 할 스캔테이블(400) 표면의 거칠기가 거칠어지기 때문에 고속 저장장치의 스캐너로서는 부적합하게 된다.
따라서, 스캔테이블(400) 및 프레임(500)의 두께를 두껍게 구성하는 것이 바람직하고, 이렇게 형성될 경우 Z축 방향으로 스프링의 두께도 두껍게 구성된다. 그러나, 스캔테이블(400)을 두껍게 형성할 경우 중력이나 외부 충격에 대해서 민감하게 반응하여 고속 정보 저장장치가 동작시 오차가 발생할 가능성이 커지는 문제점이 있음은 종래기술에서 설명한 바와 같다. 따라서, 본 발명에 따른 고속 정보 저장장치는 스캔테이블(400)을 두껍게 형성하면서도 그 무게를 줄여 동작의 오차발생을 줄일 수 있는데, 아래에서 이를 설명한다.
도 4를 참조하여 본 발명에 따른 고속 정보 저장장치 스캐너의 내부 구조의 예를 설명하면 다음과 같다.
도 4a에서 본 발명에 따른 고속 저장장치 스캐너의 스캔테이블 구조체의 일 예에 대한 반 투명도를 나타냈다.
도 4a에서 나타낸 것처럼 본 발명에 따른 고속 정보 저장장치의 스캔테이블(400)은 그 구조체의 내부면에 공간을 생성하도록 할 수 있다. 공간을 형성하여 스캔테이블(400) 구조체의 무게를 줄이고, 바람직하게는 스캔테이블(400)이 중력에 의해 Z축 방향으로 처지지 않도록 내부에 지지대(410)를 설치할 수 있다.
도 4b는 도 4a에서 보인 본 발명에 따른 고속 정보 저장장치의 스캐너에 대한 I-I'의 단면도를 나타낸다. 도 4b에서 본 발명에 따른 고속 정보 저장장치의 스캐너는 스캔테이블(400)의 내부에 공간이 있어 상기 스캔테이블(400)의 무게를 줄일 수 있다. 상기 스캔테이블(400)의 공간을 유지하고, 상기 스캔테이블(400)이 중력에 의해 스캔테이블이 휘는 결과를 방지하기 위해 스캔테이블(400)의 내부 공간에 하나 이상의 지지대(410)를 설치할 수 있다. 바람직하게는 프레임(300)의 내부에도 공간을 형성하게 할 수 있다.
상기의 구조를 사용할 경우 X축방향 및 Y축방향의 스프링(500,600)의 연직방향의 두께를 두껍게 하여 Z축 스프링 상수를 크게 할 수 있고, 스캔테이블(400)과 프레임의 무게를 줄여서 Z축 방향으로 스캔테이블(400)이 처지거나 외부의 진동에 대한 영향을 줄일 수 있다. 또한 고속 정보 저장장치의 스캐너의 공진 주파수를 높여 상기 스캐넌의 동작 속도를 빠르게 할 수 있다.
도 5를 참조하여 본 발명에 따른 고속 정보 저장장치의 스캐너를 제조하는 방법을 설명하면 다음과 같다. 본 발명에 따른 고속 정보 저장장치의 스캐너의 내부에 공간을 형성하기 위해 다음과 같은 공정을 사용할 수 있다.
먼저 상판, 프레임, 스캔테이블을 형성하기 위해 벌크 실리콘의 제 1기판을 준비한다(도 5a). 스캔테이블 또는 프레임 중 어느 하나 이상에 공간을 형성하기 위해 상기 제 1 기판의 일면을 식각한다(도 5b). 식각할 경우 스캔테이블에 지지대를 형성할 것을 고려하여 지지대가 형성될 부분은 식각하지 않는다. 또한, 프레임이 위치할 부분도 식각하여 상기 프레임 내부에 공간이 형성되도록 하는 것이 바람 직하다.
그리고, 상기 제 1 기판의 빈 공간이 생성된 면에 제 2 기판을 덮어 빈 공간이 유지되는 하나의 기판(이하, 제 3기판)을 구성한다. 상기 제 2 기판은 제 1 기판에 접합하여 하나의 기판을 형성하는 것이 바람직하다(도 5c). 제 2 기판도 벌크 실리콘을 그 재료로 하는 것이 바람직하다.
상기 접합된 제 3기판의 일 면에 폴리싱(polishing)하여 데이터 기록을 위한 면을 형성한다. 상기 폴리싱된 면에 나노 단위의 데이터가 캔틸레버 어레이에 의해 기록될 수 있다(도 5d).
상기 제 3기판의 일 면의 반대면에 스캔테이블과 프레임을 구동시키는 전극을 형성한다(도 5e). 다수의 전극은 스캔테이블상에 기록되는 데이터의 기억장소를 찾는 역할을 할 수 있다. 프레임의 일 면에도 전극이 형성되고(도 5e에 미도시), 또한, 하판을 접합하기 위한 격벽을 증착하여 형성시킨다.
스캔테이블과 프레임을 잇는 사이의 제 3기판을 깊게 식각하여 상기 스캔테이블의 옆면에 탄성체, 즉 연직방향으로 두꺼운 스프링을 형성한다. 상기 스프링은 식각을 하여 형성되기 때문에 상기 스캔테이블과 동일한 재료로 형성될 수 있다(도 5f).
고속 정보 저장장치의 스캐너의 하판이 되는 제 4기판을 준비하고, 상기 제 3기판에 형성된 격벽의 일단에 일면에 전극이 형성된 상기 제 4기판을 접합한다(도 5g).
상기의 공정에 의하면 내부에 공간을 가지는 고속 정보 저장장치의 스캐너를 형성할 수 있다.
상기에서 설명한 본 발명에 따른 고속 저장장치의 스캐너 및 그 제조방법의 효과를 설명하면 다음과 같다.
첫째, 본 발명에 따른 고속 저장장치의 스캐너 및 그 제조방법에 의하면 수평방향인 X축 및 Y축 방향으로는 쉽게 구동될 수 있으면서도 연직방향인 Z축 방향으로 변형이 적은 고속 정보 저장장치의 스캐너를 얻을 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 고속 저장장치의 스캐너 및 그 제조방법에 의하면 스캐너의 무게를 줄여서 연직 방향으로 스캔테이블이 처지거나 외부의 진동에 대한 영향받는 문제점을 줄일 수 있고, 또한 스캐너의 공진 주파수를 높여 상기 스캐너가 빠른 속도로 동작할 수 있다.

Claims (9)

  1. 내부에 공간이 형성되고, 일면에 데이터를 기록할 수 있는 스캔테이블;
    상기 스캔테이블에 접합되고, 정전기력으로 연장 및 수축되어 상기 스캔테이블을 구동시킬 수 있는 제 1 탄성체;
    상기 제 1 탄성체에 연결되고, 상기 스캔테이블을 둘러싼 프레임; 및
    상기 프레임에 접합되고, 정전기력으로 연장 및 수축되어 상기 프레임을 구동시킬 수 있는 제 2 탄성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 정보 저장장치의 스캐너.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 스캔테이블의 내부공간에 상기 공간이 유지되도록 스캔테이블의 외형체를 지지하는 하나 이상의 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 정보 저장장치의 스캐너.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 프레임은 그 내부에 공간이 형성된 것을 특징으로 하는 고속 정보 저장장치의 스캐너.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 스캔테이블, 상기 프레임, 상기 제 1 탄성체 및 상기 제 2 탄성체는 실리콘(silicon)을 그 재료로 하는 것을 특징으로 하는 고속 정보 저장장치의 스캐너.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 탄성체 및 제 2 탄성체는 수평방향의 두께보다 연직방향의 두께가 두꺼운 것을 특징으로 하는 고속 정보 저장장치의 스캐너.
  6. 데이터를 기록하는 스캔테이블과 상기 스캔테이블과 탄성체로 연결된 프레임이 상기 기록된 데이터 하나의 크기만큼 수평방향으로 이동할 수 있는 고속 정보 저장장치 스캐너의 제조방법에 있어서,
    (a) 상기 스캔테이블과 상기 프레임의 구조체가 되는 제 1기판을 준비하는 단계;
    (b) 상기 제 1 기판의 일 면을 식각하여 상기 제 1 기판의 내부에 공간을 형성하는 단계;
    (c) 상기 제 1 기판의 상기 공간이 생성된 방향에 상기 공간이 유지되도록 제 2 기판을 접합하여 상기 제 1기판과 상기 제 2 기판이 일체된 제 3기판을 구성하는 단계;
    (d) 데이터 기록을 위한 면을 형성하기 위해 상기 제 3기판의 일 면을 폴리싱(polishing)하는 단계;
    (e) 상기 제 3기판의 폴리싱된 면의 반대면에 전극과 격벽을 형성하는 단계;
    (f) 상기 제 3기판을 식각하여 상기 스캔테이블, 상기 탄성체 및 상기 프레임의 형상을 형성하는 단계; 및
    (g) 상기 격벽의 일단에 상기 (e) 단계에 형성된 전극과 마주보는 전극이 형성된 제 4 기판을 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 정보 저장장치 스캐너의 제조방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 (b) 단계에서 제 1기판의 내부에 공간을 형성할 경우, 상기 제 2 기판을 지지할 수 있는 지지대에 해당하는 위치를 제외하고 상기 제 1 기판의 일 면을 식각하는 것을 특징으로 하는 고속 정보 저장장치 스캐너의 제조방법.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 (b) 단계의 상기 제 1 기판의 프레임이 위치할 부분의 내부 공간도 식각하는 것을 특징으로 하는 고속 정보 저장장치 스캐너의 제조방법.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 (f) 단계의 탄성체는 수평방향의 두께보다 연직방향이 두꺼운 것을 특징으로 하는 고속 정보 저장장치 스캐너의 제조방법.
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