KR100662060B1 - 헤드 서스펜션 및 디스크 장치 - Google Patents

헤드 서스펜션 및 디스크 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100662060B1
KR100662060B1 KR1019990064265A KR19990064265A KR100662060B1 KR 100662060 B1 KR100662060 B1 KR 100662060B1 KR 1019990064265 A KR1019990064265 A KR 1019990064265A KR 19990064265 A KR19990064265 A KR 19990064265A KR 100662060 B1 KR100662060 B1 KR 100662060B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
head
head suspension
dustproof member
electrically conductive
suspension
Prior art date
Application number
KR1019990064265A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20000067842A (ko
Inventor
히라오까신지
Original Assignee
후지쯔 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP12520499A external-priority patent/JP3909167B2/ja
Application filed by 후지쯔 가부시끼가이샤 filed Critical 후지쯔 가부시끼가이샤
Publication of KR20000067842A publication Critical patent/KR20000067842A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100662060B1 publication Critical patent/KR100662060B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/4833—Structure of the arm assembly, e.g. load beams, flexures, parts of the arm adapted for controlling vertical force on the head
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/22—Apparatus or processes for the manufacture of optical heads, e.g. assembly
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/54—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
    • G11B5/55—Track change, selection or acquisition by displacement of the head
    • G11B5/5521—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks
    • G11B5/5582—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks system adaptation for working during or after external perturbation, e.g. in the presence of a mechanical oscillation caused by a shock

Abstract

본 발명의 목적은 헤드 소자를 손상시키지 않고 조립할 수 있는 헤드 서스펜션을 제공하는 데 있다. 헤드 서스펜션에 있어서, 강체부는 디스크에 데이터를 기입하고, 그로부터 데이터를 판독하는 헤드 슬라이더를 지지한다. 강체부는 디스크의 기록면에 수직한 방향의 외력을 지탱할 수 있다. 스프링부는 디스크의 기록면에 수직한 방향의 탄성도를 갖는다. 스프링부에는 방진 부재가 설치된다. 방진 부재는 부분적으로 빈 공간을 갖는다. 이러한 구조에 의하면, 헤드 서스펜션의 탄성압의 변화가 적정한 범위 내에 유지될 수 있고, 헤드 슬라이더로 전달되는 진동을 억제할 수 있어, 헤드 슬라이더가 안정하게 부상할 수 있다.
헤드 서스펜션, 헤드 소자, 방진

Description

헤드 서스펜션 및 디스크 장치{HEAD SUSPENSION AND DISK DRIVE UNIT}
도1a는 종래의 헤드 서스펜션의 평면도.
도1b는 종래의 헤드 서스펜션의 측면도.
도2는 방진 부재를 갖는 종래의 헤드 서스펜션의 평면도.
도3은 본 발명의 일 실시예에 의한 디스크 장치의 사시도.
도4는 액츄에이터의 평면도.
도5는 본 발명의 제1실시예에 의한 헤드 서스펜션의 평면도.
도6a는 제1실시예의 방진 부재의 평면도.
도6b는 방진 부재의 측단면도.
도7a는 방진 부재의 다른 예의 평면도.
도7b는 방진 부재의 또 다른 예의 평면도.
도7c는 방진 부재의 또 다른 예의 평면도.
도8은 제2실시예의 헤드 서스펜션의 평면도.
도9는 제3실시예의 헤드 서스펜션의 평면도.
도10은 헤드 서스펜션의 방진 특성을 나타내는 그래프.
도11a∼11c는 헤드 서스펜션의 진동 감쇠 특성을 나타내는 그래프.
도12a는 다른 방진 부재의 평면도.
도12b는 도12a에 나타낸 방진 부재의 측면도.
도13a는 또 다른 방진 부재의 평면도.
도13b는 도13a에 나타낸 방진 부재의 측면도.
도14a는 또 다른 방진 부재의 평면도.
도14b는 도14a에 나타낸 방진 부재의 측면도.
본 발명은 헤드 슬라이더(head slider)를 지지하는 헤드 서스펜션(head suspension) 및 디스크 장치(disk drive unit)에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는, 헤드 슬라이더로 전달되는 진동을 억제하기 위한 방진 구조와 제조 공정에서의 정전기에 대한 대책을 포함하는 헤드 서스펜션 및 상기 헤드 서스펜션을 포함하는 디스크 장치에 관한 것이다.
디스크 장치, 예컨대 하드 디스크 장치나 광자기 디스크 장치에 있어서, 헤드 슬라이더는 회전하고 있는 디스크 위에 부상(浮上)하고 있다. 헤드 슬라이더 상에 탑재되는 헤드 소자가 디스크에 데이터를 기입하거나 디스크로부터 데이터를 판독한다. 최근에는, 디스크의 기록 밀도를 향상시키기 위해 헤드 슬라이더의 부상량을 더 낮추고 헤드 소자를 보다 소형화시키고 있다. 디스크 장치에 있어서, 헤드 소자를 정확하게 위치시키기 위해서는 헤드 서스펜션에 의해 지지되는 헤드 슬라이더의 진동을 억제하는 것이 중요하다. 헤드 슬라이더가 진동하면 헤드 소자의 위치 맞춤 제어가 아주 어렵고 헤드 슬라이더의 고속 동작에 방해가 되어, 기입 에러나 판독 에러가 발생하기 쉬워져서 디스크 장치의 신뢰성이 저하되게 된다.
종래의 헤드 서스펜션이 도1a 및 1b에 나타나 있다. 도1a는 헤드 서스펜션의 평면도이고, 도1b는 그 측면도이다.
헤드 서스펜션(13)은 전단부에 헤드 슬라이더(3)를 탑재하기 위해 설치된 짐발(gimbal)(2)을 갖는다. 헤드 서스펜션(13)의 기부는 스페이서(spacer)(7)를 통해 암(arm)(도시 안됨)에 부착된다. 암은 샤프트 주위를 회전하여 디스크 상의 소정 위치로 헤드 슬라이더(3)를 이동시킨다.
헤드 서스펜션(13)의 길이방향 연부는 부분적으로 만곡되어 리브(rib)(8)를 형성한다. 리브(8) 근처의 부분(4)은 강체부(rigid section)로서 강성이 비교적 높다. 한편, 강체부(4)와 스페이서(7)가 부착되는 부분 간에 위치하는 부분(5)은 스프링부로서 강성이 비교적 낮다.
도1에 나타낸 헤드 서스펜션(13)에서는, 암을 구동하는 보이스 코일 모터(voice coil motor)(도시 안됨)와 디스크를 회전시키는 스핀들 모터(spindle motor) (도시 안됨)에서 발생되는 진동이 헤드 슬라이더에 전달되기 쉽다. 진동의 전달 억제를 위해 도2에 나타낸 바와 같이, 헤드 서스펜션(14) 상에 방진 부재(6)를 부착한다. 방진 부재(6)는 헤드 슬라이더(3)가 탑재되는 면의 반대면 상에 부착된다. 방진 부재(6)를 부착함으로써, 방진 부재(6)가 헤드 서스펜션(14)의 진동에 의해 진동하므로 진동 에너지가 열 에너지로 변환될 수 있다. 진동 에너지를 변환함으로써, 헤드 슬라이더(3)로 전달되는 진동이 억제될 수 있다.
그러나, 오늘날 디스크 장치의 액세스 속도는 더욱 고속화가 요구되고 있다. 액세스 동작시, 헤드 슬라이더는 고속으로 이동하고 헤드 서스펜션에는 큰 가속이 걸린다. 그 결과 헤드 서스펜션(14)은 보다 더 진동하게 된다. 즉, 방진 부재에도 불구하고 헤드 슬라이더의 진동은 무시할 수 없게 된다.
강체부(4) 뿐만 아니라 스프링부(5)도 방진 부재(6)로 덮어줌으로써 헤드 슬라이더의 진동을 억제할 수 있다. 그러나, 스프링부(5)를 방진 부재(6)로 덮어줌으로써 헤드 서스펜션의 소정의 탄성압이 변화한다. 헤드 서스펜션(14)의 탄성압은 헤드 슬라이더(3)의 부상량에 영향을 준다. 만일 탄성압이 소정치보다 훨씬 크면, 헤드 슬라이더의 부상량이 아주 낮아서 헤드 슬라이더(3)가 압착(crush)하기 쉽다. 한편, 탄성압이 소정치보다 훨씬 작으면, 헤드 슬라이더(3)의 부상량이 아주 높아서 기록된 데이터를 정확하게 판독할 수 없어 판독 에러가 자주 생긴다. 그러므로, 헤드 서스펜션은 소정의 탄성압을 유지해야 하고, 또한 헤드 서스펜션은 고속 동작을 실행하도록 개선된 방진 부재를 가져야 한다. 종래의 헤드 서스펜션의 단점을 개선함으로써, 신뢰성 있는 디스크 장치를 실현할 수 있다.
방진 부재(6)는 정전기에 의해 헤드 슬라이더(3)의 헤드 소자를 손상시키지 않도록 헤드 서스펜션(14) 상에 조심스럽게 접착되어야 한다. 헤드 소자는 예컨대 MR 소자나 GMR 소자 등의 정밀 소자이므로 내전압이 예컨대 5-20[V]로서 아주 낮다.
방진 부재(6)는 통상적으로 박리지(剝離紙,released paper)에 접착되어 있다. 방진 부재(6)를 접착할 때, 방진 부재(6)를 박리지로부터 벗겨낸다. 방진 부재(6)를 벗겨낼 때, 200[V] 이상의 정전기가 발생한다. 종래에는 정전기를 이온화제(ionizer)로 중화시킨 다음 방진 부재(6)를 헤드 서스펜션(14) 상에 접착한다. 그러나, 정전기를 완전히 중화시킬 수 없으므로 헤드 소자가 종종 손상되어 디스크 장치의 신뢰성이 저하된다.
본 발명의 목적은 헤드 소자를 손상시키지 않고 조립할 수 있는 헤드 서스펜션을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 헤드 서스펜션을 포함하는 신뢰성 있는 디스크 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 헤드 서스펜션은, 디스크에 데이터를 기입하고 그로부터 데이터를 판독하는 헤드 슬라이더를 지지하고 또한 디스크의 기록면에 수직한 방향의 외력을 지탱할 수 있는 강체부와, 디스크의 기록면에 수직한 방향으로 탄성을 갖는 스프링부와, 상기 스프링부에 구비되며 부분적으로 빈 공간을 갖는 방진 부재를 구비한다. 이러한 구성에 의하면, 스프링부를 덮는 방진 부재의 면적을 정확하게 유지할 수 있으므로 방진 부재를 접착함으로써 발생하는 헤드 서스펜션의 탄성압의 변화를 억제할 수 있다. 결과적으로, 헤드 서스펜션의 탄성압의 변화가 적정 범위내로 유지될 수 있어 헤드 슬라이더의 진동전달이 억제되어 헤드 슬라이더가 안정하게 부상할 수 있다.
헤드 서스펜션에 있어서, 방진 부재가 강체부와 스프링부를 덮어도 좋으며, 스프링부를 덮는 부분에 개구나 슬릿(slit)을 가질 수도 있다. 이러한 구성에 의하면, 스프링부를 덮는 방진 부재의 면적이 감소되므로, 헤드 서스펜션은 과잉 탄성압을 전혀 갖지 않으며, 헤드 슬라이더는 헤드 서스펜션의 진동을 억제하는 방진 부재의 효과를 저해하지 않고 안정하게 부상할 수 있다.
헤드 서스펜션에 있어서, 방진 부재는 별도로 강체부를 덮는 제1방진 부재와 스프링부를 덮는 제2방진 부재로 분리할 수도 있다. 방진 부재를 분리함으로써 제1 및 제2방진 부재로 덮인 영역이 분리된다. 그 결과 방진 부재가 강체부와 스프링부를 덮는 헤드 서스펜션의 경우에 비해 탄성압이 적은 헤드 서스펜션이 실현 될 수 있어, 헤드 서스펜션의 진동을 억제하는 방진 부재의 효과를 저해하지 않고 헤드 슬라이더가 안정하게 부상할 수 있다.
헤드 서스펜션에 있어서, 제2방진 부재는 스프링부와 헤드 서스펜션의 기부 단부의 스페이서 간의 경계 상에 위치되어도 좋다. 이러한 구성에 의하면, 방진 부재와 스페이서 모두가 진동을 억제한다. 또한, 방진 부재로 덮인 스프링부의 영역이 작기 때문에, 헤드 서스펜션의 탄성압의 변화가 최소로 억제될 수 있다.
본 발명의 디스크 장치는 본 발명에 의한 헤드 서스펜션을 구비한다. 상기 헤드 서스펜션을 채택함으로써, 헤드 서스펜션이 적정한 탄성압을 유지하고 또한 헤드 슬라이더의 진동이 효과적으로 억제될 수 있기 때문에 디스크 장치는 고속으로 신뢰성 있게 동작할 수 있다.
본 발명의 또 다른 헤드 서스펜션은 기부 부재와, 상기 기부 부재 상에 설치되고 헤드 슬라이더의 진동을 억제하는 방진 부재와, 상기 방진 부재 상에 형성되 는 전기 도전층을 구비한다. 방진 부재 상의 전기 도전층에 의해 방진 부재에서 대전하는 정전기가 방지될 수 있으므로 헤드 서스펜션의 헤드 슬라이더의 헤드 소자가 정전기에 의해 전혀 손상되지 않는다.
이러한 헤드 서스펜션을 구비하는 디스크 장치는 고도의 신뢰성을 갖는다.
[실시예]
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 양호한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
도3은 본 발명의 복수의 헤드 서스펜션을 구비하는 하드 디스크 장치의 사시도이다. 하드 디스크 장치는, 데이터가 기록되는 복수의 하드 디스크(21), 하드 디스크(21)를 회전시키는 스핀들 모터(22), 하드 디스크(21)의 허가된 트랙으로 헤드 슬라이더를 이동시키는 복수의 액츄에이터(23), 액츄에이터(23)를 왕복이동(swing)시키는 보이스 코일 모터(24), 커버(31) 및 기부(32)를 포함하는 본체(30)를 구비한다. 부분(21,22,23,24) 등은 본체(30) 내에 수용된다.
하드 디스크(21)는 스핀들 모터(22)의 로터부(rotor section)에 고정되어 스핀들 축 주위를 회전한다. 하드 디스크(21)의 각 표면은, 서보 데이터를 포함하는 데이터가 기록되는 복수의 트랙이 동축으로 형성되는 데이터 영역과 하드 디스크 장치가 구동하지 않을 때 헤드 슬라이더(3)가 이동되는 CSS 영역을 포함한다. 본 실시예에서는 디스크 장치가 복수의 하드 디스크(21)를 갖지만, 하드 디스크의 수는 하나이어도 좋다.
도4는 액츄에이터(23)의 평면도이다. 도4에 나타낸 표면은 하드 디스크(21) 를 향하지 않는다. 액츄에이터(23)는 헤드 암(25)과 코일 암(26)을 갖는다. 액츄에이터(23)는 왕복 이동 샤프트(27) 주위에 지지되어 회전할 수 있다. 헤드 암(25)과 코일 암(26)은 왕복 이동 샤프트(27)에 대해 반대쪽에 위치된다. 헤드 암(25)과 코일 암(26)은 알루미늄으로 제조되며 일체로 형성된다.
보이스 코일(51)은 코일 암(26)에 구비된다. 액츄에이터(23)를 구동하는 보이스 코일 모터(24)는 요크(52)와 영구 자석(53)을 구비한다(도3 참조).
헤드 암(25)은 헤드 서스펜션(1)을 지지한다. 헤드 슬라이더(3)는 헤드 서스펜션(1)의 전단부 상에 탑재된다. 복수의 헤드 서스펜션(1)은 하드 디스크(21)의 기록면에 각각 대응한다. 각 헤드 서스펜션(1)은 전단부에 짐발(2)을 가지며, 헤드 슬라이더(3)는 하드 디스크(21)의 기록면에 대면하는 짐발(2)의 일면 상에 탑재된다.
헤드 슬라이더(3)는 하드 디스크(21)의 기록면에 대면하고, 헤드 와이어(41) 등으로 제어부(도시 안됨)에 전기적으로 접속된다. 헤드 슬라이더(3)는 제어부에서 보내온 데이터를 하드 디스크(21)의 트랙 내에 기입한다. 또한 헤드 슬라이더(3)는 하드 디스크(21) 상에 기록된 데이터를 판독하여 제어부에 보내는 헤드 소자, 예컨대 MR 소자를 갖는다. 하드 디스크 장치가 구동하지 않는 동안, 헤드 슬라이더(3)는 하드 디스크(21)의 내부 영역의 CCS 영역을 접촉한다. 하드 디스크 장치가 구동하는 동안, 헤드 슬라이더(3)는 회전하는 하드 디스크(21)의 기록면 위에 부상한다. 헤드 슬라이더의 부상량은 20-30nm이다.
본 발명의 헤드 서스펜션의 제1 실시예를 도5에 나타낸다. 도5에 나타낸 표 면은 하드 디스크(21)에 대면하지 않는다. 헤드 서스펜션(1)의 하드 디스크(21)에 대면하는 하부면의 형상과 구조는 도1a에 나타낸 것과 유사하며, 헤드 서스펜션(1)의 측면도는 도1b에 나타낸 것과 유사하다.
헤드 서스펜션(1)의 기부는 두께가 26㎛, 길이가 15-20nm인 얇은 스테인레스강이다. 슬릿(9)은 헤드 서스펜션(1)의 전단부에 형성된다. 슬릿(9)에 의해 둘러싸인 영역은 헤드 슬라이더(3)가 탑재되는 짐발(2)이다. 헤드 서스펜션(1)의 세로 연부는 부분적으로 만곡되어 리브(8)와 도1b에 나타낸 종래의 헤드 서스펜션을 형성한다. 리브(8)가 형성되는 부분은 더 큰 강성을 갖는 강체부(4)이다.
헤드 서스펜션(1)의 기단부는 스폿 용접(spot welding) 등에 의해 스페이서(7)에 고정된다. 헤드 서스펜션(1)은 코킹(caulking)에 의해 스페이서(7)와 함께 헤드 암(25)에 고정된다. 스페이서(7)는 스테인레스강 등으로 제조되며, 0.2-0.25mm의 두께를 갖는다.
강성이 비교적 낮은 스프링부(5)는 헤드 서스펜션(1)의 기부 단부와 강체부(4) 간에 형성된다. 강체부(4)의 길이는 3mm이고, 스프링부(5)의 길이는 2mm이고, 스페이서(7)와 중첩하는 부분의 길이는 3-5mm이다. 강체부(4)와 스프링부(5)의 폭은 2mm이다.
헤드 소자에 판독 및 기입 데이터를 전송하는 케이블(41)은 하드 디스크에 대면하는 헤드 서스펜션(1) 뿐만 아니라 도1a에 나타낸 헤드 서스펜션의 표면 상에 설치된다. 케이블(41)은 4개의 신호 배선(43)(데이터 기입용 2개와 데이터 판독용 2개)과 신호 배선(43)을 덮는 덮개막(44)을 포함한다(도1a 참조). 덮개막(44)의 두 께는 20-30㎛이다. 덮개막(44)은 통상적으로 폴리아미드로 제조된다. 케이블(41)은 그 기부 단부에서 만곡된다. 각 신호 배선(43)에 각각 접속되는 패드 단자(45)는 케이블(41)의 만곡부 부근에 구비된다(도1b 참조).
하드 디스크에 대면하지 않는 헤드 서스펜션(1)의 반대면 상에는 헤드 서스펜션(1)의 진동을 억제하는 방진 부재(6)가 접착된다. 본 실시예에서는, 방진 부재(6)가 헤드 서스펜션(1)의 강체부(4)와 스프링부(5) 위를 덮는다. 방진 부재(6)는 사각형으로 형성되며, 그 외연부의 모서리는 둥글다. 본 실시예에서는 방진 부재(6)의 길이가 4.1mm이고, 폭이 1.6mm이다. 정확하게 위치 맞춤하기 위한 관통공(10)이 헤드 서스펜션(1)의 강체부(4)에 뚫려 있고, 정확하게 위치 맞춤하기 위한 유사 구멍(65)은 방진 부재(6)에 뚫려있다. 방진 부재(6)의 구멍(65)은 헤드 서스펜션(1)의 관통공(10)에 상응하며, 방진 부재(6)는 헤드 서스펜션(1) 상에 접착된다.
방진 부재(6)의 구조는 도6a 및 6b에 나타낸다. 도6b는 선A-A를 따라 취한 단면도이다. 방진 부재(6)는 다층 구조를 갖는다. 본 실시예에서는 방진 부재(6)가 2층, 즉 점탄성층(viscous-elastic layer)(61)과 구속층(restraint layer)(62)으로 된다. 점탄성층(61)은 점성과 탄성을 가지고 있어, 헤드 서스펜션(1) 상에 방진 부재(6)가 밀착되게 하며, 헤드 서스펜션(1)에 가해지는 진동 에너지를 열 에너지로 변환한다. 점탄성층(61)의 두께는 50㎛이다. 점탄성층(61)은 예컨대 아크릴 수지로 제조된다. 구속층(62)은 점탄성층(61) 상에 형성된다. 구속층(62)은 진동하는 점탄성층(61)의 신장을 억제하여 헤드 슬라이더(3)에 진동을 전달하는 것을 억제한다. 구속층(62)은 예컨대 폴리아미드 등의 수지 또는 스테인레스강 등의 금속으로 제조된다.
구멍(63)은 스프링부(5)를 덮는 방진 부재(6)의 일부에 형성된다. 구멍(63)은 점탄성층(61)과 구속층(62)을 관통하는 관통공이다. 구멍(63)의 크기는 헤드 서스펜션(1)의 세로 방향에서 20-40㎛이고, 헤드 서스펜션(1)의 가로 방향에서 80-100㎛이고, 구멍(63)의 면적은 0.0016-0.004㎟이다. 구멍(63)을 형성함으로써, 스프링부(5)는 방진 부재(6)에 의해 너무 많이 덮이지 않게 되므로, 방진 부재(6)로 스프링부(5)를 덮어서 생기는 헤드 서스펜션(1)의 탄성압의 변화가 억제될 수 있다. 방진 부재(6)가 접착되는 도5에 나타낸 헤드 서스펜션(1)에서 탄성압은 0.5gf이다. 방진 부재(6)가 구멍(63)을 갖지 않으면 탄성압은 5-10% 변화한다.
방진 부재(6)에는 타원형 구멍(63)이 형성되지만, 구멍(63)의 형상은 이에 제한되지 않는다. 방진 부재(6)의 면적은 구멍(63) 뿐만 아니라 다른 수단에 의해 감소되어도 좋다. 방진 부재(6)의 다른 평면 형상을 도7a-7c에 나타낸다. 도7a에서는 복수의 구멍(63)이 스프링부(5)를 덮는 부분에 형성된다. 도7b에서는 슬릿(64)이 방진 부재(6)의 세로 방향 연부 상에 각각 형성된다. 슬릿(64)은 방진 부재(6)의 중심선에 대해 대칭으로 형성된다. 복수의 슬릿(64)이 한 연부 상에 형성되어도 좋고, 하나의 슬릿(64)이 다른 연부 상에 형성되어도 좋다. 도7c에서는 슬릿(64)이 세로 방향 연부 상에 지그재그 형으로 형성된다.
스프링부(5)를 덮는 방진 부재(6)의 면적이 더 넓게 되면 충격 흡수성은 향상되지만 헤드 서스펜션(1)의 탄성압이 변화하여 헤드 슬라이더(3)의 부상량이 나쁜 영향을 받는다. 방진 부재(6)에 구멍(63) 또는 슬릿(64)을 형성함으로써, 스프링부(5)를 덮는 방진 부재(6)의 면적을 작게 할 수 있어서 헤드 서스펜션(1)의 탄성압의 변화가 억제될 수 있다. 이러한 구성에 의하여, 내충격성이 향상될 수 있으며, 헤드 서스펜션(1)의 탄성압이 적절하게 유지될 수 있고, 또한 헤드 슬라이더(3)가 하드 디스크 위로 안정하게 부상할 수 있다.
본 발명의 헤드 서스펜션(11)의 제2실시예를 도8에 나타낸다. 도8은 하드 디스크(21)와 대면하지 않는 헤드 서스펜션(11)의 표면의 평면도이다. 헤드 서스펜션(11)의 구조는 방진 부재(6)를 제외하고는 제1실시예의 헤드 서스펜션(1)의 구조와 동일하다.
제1실시예에서는, 방진 부재(6)가 강체부(4)와 스프링부(5)를 덮는다. 본 실시예에서는 방진 부재가 2개의 부재, 강체부(4)를 덮는 제1방진 부재(66)와 스프링부(5)를 덮는 제2방진 부재(67)로 분할된다. 제1 및 제2방진 부재(66,67)는 사각형으로 형성되며, 그 외연부의 모서리는 둥글다. 제1 및 제2방진 부재(66,67)의 폭, 두께, 재료, 층구조는 제1실시예의 방진 부재(6)와 동일하다. 그러나 헤드 서스펜션(11)의 세로 방향의 방진 부재(66,67)의 크기는 제1실시예와 다르다. 제1방진 부재(66)의 길이는 3.5mm이고, 제2방진 부재(67)의 길이는 0.4mm이다.
제2실시예에서 방진 부재는 2개의 부재(66,67)로 나뉜다. 그러므로 스프링부(5)를 덮는 제2방진 부재(67)의 면적이 더 작아질 수 있으므로 헤드 서스펜션(11)의 탄성압의 변화가 억제될 수 있다. 이러한 구조에 의하여, 내충격성이 향상될 수 있고, 헤드 서스펜션(11)의 탄성압이 적당히 유지될 수 있고, 또한 헤드 슬라이더(3)가 하드 디스크 위에서 안정하게 부상할 수 있다.
본 발명의 헤드 서스펜션(12)의 제3실시예를 도9에 나타낸다. 도9는 하드 디스크(21)에 대면하지 않는 헤드 서스펜션(12)의 표면의 평면도이다. 헤드 서스펜션(12)의 구조는 방진 부재(6)를 제외하고는 제1 및 제2실시예의 헤드 서스펜션의 구조와 동일하다.
제1 및 제2 실시예에서는 강체부(4)와 스프링부(5)를 덮는 방진 부재가 2층 구조를 갖는다. 제3실시예에서는 2층 방진 부재(68)가 강체부(4)를 덮도록 제공된다. 점탄성 수지부(69)는 스페이서(7)와 스프링부(5) 간의 경계에 형성된다. 강체부(4)의 방진 부재(68)는 사각형으로 형성되며, 그 외연부의 모서리는 둥글다. 방진 부재(68)의 길이는 3.0-3.5mm이고, 두께, 폭, 층구조 및 재료는 제1실시예의 방진 부재(6)와 동일하다. 한편, 스프링부(5) 위에 설치되는 점탄성 수지부(69)는 예컨대 아크릴계 수지로 제조된다.
제3실시예에서는 구속재 및 점탄성 부재를 포함하는 방진 부재가 스프링부(5)에 설치되지 않는다. 그러나 스페이서(7)가 구속재로서 작용한다. 즉, 점탄성 수지부(69)는 진동을 흡수하고, 스페이서(7)는 점탄성 수지부(69)의 신축을 억제하므로 헤드 슬라이더(3)로 전달되는 진동이 억제될 수 있다. 스프링부(5)에는 구속재가 설치되지 않으므로 스프링부(5)의 강성이 지나치게 커지지 않으므로 헤드 슬라이더(3)가 하드 디스크 위에 안정하게 부상할 수 있다.
이어서, 본 발명의 헤드 서스펜션을 도1a,1b 및 2에 나타낸 종래의 헤드 서스펜션과 비교한다. 진동 특성과 방진 효과에 대해 비교한다.
진동 특성을 관측하기 위해 헤드 서스펜션을 하드 디스크 장치에 조립하고, 헤드 서스펜션의 스페이서(7)를 진동시키고, 헤드 슬라이더(3)의 진동의 진폭을 관측하였다. 종래의 헤드 서스펜션의 결과는 도10에 나타낸다. 도10에서 수평축은 주파수(Hz), 수직축은 진폭(dB)을 나타낸다. 도10에 의하면, 종래의 헤드 서스펜션에서는 진동이 발생하였으며, 헤드 슬라이더(3)가 탑재된 부위에서 큰 피크가 관측되었다. 도10에 나타낸 피크(2)는 도2에 나타낸 헤드 서스펜션(14)의 피크치를 나타내며, 피크3은 도1a 및 1b에 나타낸 헤드 서스펜션(13)의 피크치를 나타낸다. 한편 본 발명의 헤드 서스펜션(1)에서는 진동이 증폭되지 않았다. 헤드 슬라이더로의 진동의 전달은 억제되었다(도10의 피크1 참조).
다음으로, 헤드 서스펜션의 방진 효과를 관측하기 위해 헤드 서스펜션을 진동시키고, 헤드 서스펜션의 진동의 감쇠 시간을 관측하였다. 도11a∼c에서는 수평축은 시간을 나타내고, 수직축은 진폭을 나타낸다. 도11a는 본 발명의 헤드 서스펜션(1)의 결과를 나타내며, 도11b 및 11c는 각각 종래의 헤드 서스펜션(14,13)의 결과를 나타낸다.
도11a∼11c에 의하면, 방진 부재를 갖지 않는 도1a 및 1b에 나타낸 헤드 서스펜션(13)의 경우에는, 진동을 수렴하는데 아주 긴 시간이 걸렸다. 방진 부재를 갖지 않은 도2에 나타낸 헤드 서스펜션(14)의 경우에는, 진동이 효과적으로 억제되지 않았다. 한편 본 발명의 헤드 서스펜션(1)의 경우에는, 스프링부(5)는 부분적으로 방진 부재(6)로 덮여 있으므로 진동의 감쇠 시간이 더 짧아졌다. 도2에 나타낸 종래의 헤드 서스펜션(14)과 비교하여, 헤드 서스펜션(1)의 진동은 절반의 시간에 수렴될 수 있었다.
본 발명에서는 방진 부재가 헤드 서스펜션의 스프링부를 덮으므로 헤드 슬라이더의 진동이 효과적으로 억제될 수 있다.
스프링부를 방진 부재로 부분적으로 덮음으로써, 헤드 서스펜션의 탄성압의 변화가 적절하게 억제될 수 있고, 헤드 슬라이더가 하드 디스크 위로 안정하게 부상할 수 있다. 그리고 디스크 장치에 헤드 서스펜션을 적용함으로써, 디스크 장치의 신뢰성을 크게 향상할 수 있다.
상술한 각 실시예에서는 점탄성층(61)과 구속층(62)을 포함하는 방진 부재(6)가 헤드 서스펜션의 기부 부재 상에 접착된다. 정전기에 대한 효과적인 조치를 취한 방진 부재(6)를 도12a∼14b에 나타낸다.
도12a 및 12b에 나타낸 방진 부재(6)는 점탄성층(61)과 구속층(62) 사이에 중간층으로서 전기 도전층(70)을 갖는다. 이 전기 도전층(70)은 특징 부분이다. 점탄성층(61)은 50㎛의 두께를 갖는 접착 수지층이고, 구속층(62)은 50㎛의 두께를 갖는 폴리아미드층 이고, 전기 도전층(70)은 증착에 의해 형성된 약 600옹스트롬의 두께를 갖는 알루미늄층이다. 전기 도전층(70)은 알루미늄 뿐만 아니라 다른 금속으로 만들 수 있다. 전기 도전층(70)은 증착 뿐만 아니라 스패터링(spattering), 카본 잉크에 의한 프린팅 등으로 형성될 수 있다. 전기 도전층(70)의 두께는 임의로 설계할 수 있다. 전기 도전층(70)의 바람직한 표면 저항은 10-6[Ω] 이하이다. 점탄성층(61)과 구속층(62) 간에 전기 도전층(70)을 샌드위칭시킴으로써, 전기 도전층(70)은 방진 부재로부터 결코 박리되지 않는다.
도13a 및 13b에 나타낸 방진 부재(6)는 구속층(62)의 외측에 형성된 전기 도전층(71)을 갖는다. 이 전기 도전층(71)은 특징 부분이다. 전기 도전층(71)은 증착, 스패터링 등으로 구속층(62)의 외면에도 형성된다. 점탄성층(61)과 구속층(62)의 두께는 도12a 및 12b에 나타낸 실시예와 동일하다. 방진 부재(6)의 외면에 전기 도전층을 형성함으로써, 정전기의 대전이 효과적으로 방지될 수 있다. 또한 방진 부재(6)가 점탄성층(61)과 구속층(62) 간에 샌드위치되는 전기 도전층(70)을 갖고 또 구속층(62)의 외면에 형성되는 전기 도전층(71)을 가질 경우, 정전기의 대전이 더 효과적으로 방지될 수 있다. 구속층(62)은 상술한 바와 같이 금속으로 제조하여도 좋다.
도14a 및 14b에 나타낸 방진 부재(6)는 2층, 즉 전기 도전층인 점탄성층(72)과 구속층(62)을 갖는다. 종래의 점탄성층은 절연재로 만들어지지만, 상기 점탄성층(72)은 전기 도전재, 예컨대 카본 등의 전기 도전재를 포함하는 수지로 만들어진다. 방진 부재(6)는 도전성 점탄성층(72)을 가지므로, 정전기의 대전이 효과적으로 방지될 수 있다. 이러한 예에서 도전성 점탄성층(72)이 도전층으로서 작용한다.
상술한 바와 같이, 헤드 서스펜션의 기부 부재 상에 방진 부재(6)를 접착시키는 단계에서, 방진 부재(6)를 박리지로부터 벗겨낼 때 정전기가 대전되기 쉽다. 종래의 방진 부재에서는 점탄성층과 구속층 양자가 전기적으로 절연재로 만들어지므로 전하가 이동하기 어려워서 정전기가 대전되기 쉽다. 그리고 헤드 슬라이더 상 의 헤드 소자는 대전된 정전기에 의해 손상되기 쉽다. 한편, 전기 도전층을 갖는 방진 부재에서는 전하가 전기 도전층을 통하여 쉽게 이동할 수 있다. 즉 정전기가 접지될 수 있으므로 헤드 소자의 손상을 효과적으로 방지할 수 있다. 방진 부재에 전기 도전층을 하나 또는 그 이상 형성함으로써, 중화제, 예컨대 이온화제로 정전기를 중화시키지 않고 헤드 서스펜션을 조립할 수 있어서 헤드 서스펜션을 효율적으로 조립할 수 있다. 정전기를 접지시키는 기능은 방진 부재를 박리지로부터 벗겨낼 때 발생하는 정전기에 효과적이므로 헤드 서스펜션이 조립 이송되어, 디스크 장치가 구동된다. 즉 고도로 정밀하여 정전기로 손상되기 쉬운 헤드 소자를 정전기로부터 효과적으로 보호할 수 있다. 또한 본 발명의 헤드 서스펜션을 갖는 디스크 장치의 신뢰성을 크게 향상할 수 있다. 본 발명은 본 발명의 본질과 요지로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 다른 구체 형태로 실시할 수 있다. 그러므로 상술한 실시예들은 설명을 위한 것으로 본 발명을 제한하는 것이 아니며, 본 발명의 청구 범위 내에서 여러 가지로 수정 변경 실시하는 것이 가능하다.

Claims (12)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 디스크 상에 데이터를 기입하고 또한 디스크로부터 데이터를 판독하는 헤드 슬라이더를 지지하는 헤드 서스펜션에 있어서,
    기부 부재와,
    상기 기부 부재 상에 설치되고, 헤드 슬라이더의 진동을 억제하는 방진 부재와,
    상기 방진 부재 상에 형성되는 전기 도전층을 구비하고,
    상기 전기 도전층은 전기 도전재를 포함하는 점탄성층인 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제6항에 있어서,
    상기 방진 부재는 상기 기부 부재 상에 형성되는 점탄성층과 상기 점탄성층 상에 형성되는 상기 전기 도전층을 갖는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 방진 부재는 상기 전기 도전층이 형성되는 점탄성층과 상기 전기 도전층 상에 형성되는 구속층을 더 갖는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션.
  11. 제6항에 있어서,
    상기 방진 부재는 상기 전기 도전층 하부에 형성되는 구속층과, 상기 구속층 하부에 형성되는 점탄성층을 더 갖는 것을 특징으로 하는 헤드 서스펜션.
  12. 데이터가 기록되는 디스크와,
    상기 디스크를 회전시키는 스핀들 모터와,
    상기 디스크에 데이터를 기입하고 또한 상기 디스크로부터 데이터를 판독하는 헤드와,
    기부 부재와, 상기 기부 부재 상에 설치되고 상기 헤드의 진동을 억제하는 방진 부재와, 상기 방진 부재 상에 형성되는 전기 도전층을 포함하는 헤드 서스펜션을 구비하고,
    상기 전기 도전층은 전기 도전재를 포함하는 점탄성층인 것을 특징으로 하는 디스크 장치.
KR1019990064265A 1999-04-30 1999-12-29 헤드 서스펜션 및 디스크 장치 KR100662060B1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP99-125204 1999-04-30
JP12520499A JP3909167B2 (ja) 1999-04-30 1999-04-30 磁気ヘッドアセンブリおよび磁気ディスク装置
JP99-187230 1999-07-01
JP18723099 1999-07-01

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060087819A Division KR100753074B1 (ko) 1999-04-30 2006-09-12 헤드용 서스펜션 및 디스크 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20000067842A KR20000067842A (ko) 2000-11-25
KR100662060B1 true KR100662060B1 (ko) 2006-12-27

Family

ID=26461703

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990064265A KR100662060B1 (ko) 1999-04-30 1999-12-29 헤드 서스펜션 및 디스크 장치
KR1020060087819A KR100753074B1 (ko) 1999-04-30 2006-09-12 헤드용 서스펜션 및 디스크 장치

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060087819A KR100753074B1 (ko) 1999-04-30 2006-09-12 헤드용 서스펜션 및 디스크 장치

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6704164B1 (ko)
EP (2) EP1049075B1 (ko)
KR (2) KR100662060B1 (ko)
CN (1) CN1129117C (ko)
DE (1) DE69939308D1 (ko)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6879467B2 (en) * 2001-10-30 2005-04-12 Hitachi Global Storage Technologies Japan, Ltd. Carriage arm assembly for locating magnetic head, and magnetic disk apparatus using the same
US7164629B2 (en) * 2002-01-22 2007-01-16 Ricoh Company, Ltd. Method of controlling an optical disk apparatus
US7209325B2 (en) * 2002-09-27 2007-04-24 Seagate Technology Llc Suspension damping method with minimum impact on preload stiffness
WO2004040572A1 (ja) * 2002-10-30 2004-05-13 Fujitsu Limited 磁気ヘッド用アクチュエータ及び磁気ディスク装置
US7064931B2 (en) * 2003-06-27 2006-06-20 Seagate Technology Llc Disc drive suspension optimized for preload bend damper
US7660074B1 (en) * 2003-09-11 2010-02-09 Hutchinson Technology Incorporated Webbed ground plane structure for integrated lead suspensions
US8416535B2 (en) * 2004-01-15 2013-04-09 Seagate Technology Llc Endcap for reducing airflow excitation of head gimbal assembly
KR100688056B1 (ko) 2005-01-31 2007-03-02 주식회사 하이닉스반도체 오메가 게이트를 갖는 반도체소자 및 그의 제조 방법
US7477487B1 (en) 2005-04-28 2009-01-13 Hutchinson Technology Incorporated Multi-layered and shaped load beam for disk drive suspensions
US7352537B2 (en) * 2005-06-24 2008-04-01 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Tuned damper for disk drive actuator arm
US7929245B2 (en) * 2007-03-13 2011-04-19 IntriPlex Technologies Damper for use in disk drive data storage applications
US7933097B1 (en) * 2007-08-10 2011-04-26 Hutchinson Technology Incorporated Disk drive head suspension with damper hinge
US8345387B1 (en) * 2010-06-29 2013-01-01 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive with transverse plane damper
JP6159506B2 (ja) * 2011-08-17 2017-07-05 大日本印刷株式会社 サスペンション、ヘッド付サスペンションおよびハードディスクドライブ
US11854583B2 (en) * 2020-04-03 2023-12-26 Regents Of The University Of Minnesota Head gimbal assembly with damping material

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01162212A (ja) * 1987-12-08 1989-06-26 Hutchinson Technol Inc 減衰型磁気ヘッドサスペンションアッセンブリとその電気的接続及び振動減衰方法
JPH08287634A (ja) * 1995-04-18 1996-11-01 Fujitsu Ltd 磁気ヘッド支持機構
JPH10162532A (ja) * 1996-12-03 1998-06-19 Nitto Denko Corp 制振材及びそれを用いたヘッドサスペンション
KR0144856B1 (ko) * 1989-06-01 1998-07-15 조셉 리. 로저스 헤드장착 구조체

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59180855A (ja) * 1983-03-30 1984-10-15 インタ−ナシヨナル　ビジネス　マシ−ンズ　コ−ポレ−シヨン ヘッドサスペンション装置付きディスク・ファイル
JPH01248372A (ja) 1988-03-29 1989-10-03 Toshiba Corp 磁気ヘッド支持装置
JPH01277380A (ja) * 1988-04-22 1989-11-07 Internatl Business Mach Corp <Ibm> ヘツド・サスペンシヨン・ロードビーム
JPH0734547Y2 (ja) * 1989-12-07 1995-08-02 アルプス電気株式会社 磁気ヘッドの支持機構
US5461525A (en) * 1990-09-14 1995-10-24 Hutchinson Technology Incorporated Load beam having areas of varying thickness in the spring region formed by varying numbers of lamina
US5187625A (en) * 1991-01-22 1993-02-16 Hutchinson Technology Incorporated Laminated load beam
JPH05334826A (ja) * 1992-05-29 1993-12-17 Sony Corp 磁気ヘッド
US5299081A (en) * 1992-08-05 1994-03-29 Read-Rite Corporation Magnetic head suspension assembly
TW307863B (ko) * 1994-03-15 1997-06-11 Ibm
US5598307A (en) * 1994-04-15 1997-01-28 Hutchinson Technology Inc. Integrated gimbal suspension assembly
US5771135A (en) * 1994-06-13 1998-06-23 International Business Machines Corporation Vibration damping system for head suspension assemblies
JPH08249849A (ja) 1995-03-15 1996-09-27 Sony Corp 浮上型磁気ヘッド装置
JPH09288874A (ja) * 1995-11-16 1997-11-04 Hutchinson Technol Inc 磁気ヘッドサスペンション及び磁気ヘッドの浮動高さを調整するためのサスペンション負荷調整方法
US6215622B1 (en) * 1996-01-02 2001-04-10 International Business Machines Corporation Laminated hard disk head suspension and etching process
US5793569A (en) * 1996-04-10 1998-08-11 Hutchinson Technology, Inc. Three piece suspension
JP2888205B2 (ja) 1996-08-22 1999-05-10 日本電気株式会社 磁気ディスク装置
WO1998013827A1 (fr) * 1996-09-26 1998-04-02 International Business Machines Corporation Ensemble de suspension
US5801905A (en) * 1996-11-15 1998-09-01 International Business Machines Corporation Actuator arm with cutouts and means for filling or blocking the cutouts
JPH10162518A (ja) * 1996-11-28 1998-06-19 Hitachi Ltd 磁気ヘッド用サスペンションおよびそれを用いた磁気記憶装置
US5850319A (en) * 1997-03-28 1998-12-15 Hutchinson Technology Incorporated Head suspension for use with a dynamic storage drive having an optimized top profile defined by curved side edges
US5796553A (en) * 1997-03-31 1998-08-18 Hutchinson Technology Incorporated Disk drive head suspension having gaps in the load beam which are at least partially filled with or covered by damping material
JP3612172B2 (ja) * 1997-06-05 2005-01-19 アルプス電気株式会社 磁気ヘッド装置の支持構造
US6005750A (en) * 1997-11-12 1999-12-21 Hutchinson Technology Incorporated Head suspension including coupled flexure and damper constraint layer
US5943191A (en) * 1997-11-26 1999-08-24 Hutchinson Technology, Inc. Head suspension with resonance damping extension
US5949617A (en) * 1997-12-29 1999-09-07 Headway Technologies, Inc. Dynamic-absorber for the suppression of suspension vibrations
US6141187A (en) * 1998-02-25 2000-10-31 Manecomp Corp. Suspension with reticulated spring portion and pattern etched beam portion
US6201664B1 (en) * 1998-11-16 2001-03-13 International Business Machines Corporation Polymer bumps for trace and shock protection
US6388842B1 (en) * 1999-05-12 2002-05-14 Seagate Technology Llc Disc drive suspension bend section and method
US6307719B1 (en) * 1999-11-17 2001-10-23 Maxtor Corporation Suspension assembly with adjustable gramload
US6504684B1 (en) * 1999-12-27 2003-01-07 Hutchinson Technology Incorporated Head suspension with integral shock limiter

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01162212A (ja) * 1987-12-08 1989-06-26 Hutchinson Technol Inc 減衰型磁気ヘッドサスペンションアッセンブリとその電気的接続及び振動減衰方法
KR0144856B1 (ko) * 1989-06-01 1998-07-15 조셉 리. 로저스 헤드장착 구조체
JPH08287634A (ja) * 1995-04-18 1996-11-01 Fujitsu Ltd 磁気ヘッド支持機構
JPH10162532A (ja) * 1996-12-03 1998-06-19 Nitto Denko Corp 制振材及びそれを用いたヘッドサスペンション

Also Published As

Publication number Publication date
DE69939308D1 (de) 2008-09-25
EP1818916A3 (en) 2009-05-27
US6704164B1 (en) 2004-03-09
EP1049075B1 (en) 2008-08-13
CN1129117C (zh) 2003-11-26
EP1049075A2 (en) 2000-11-02
EP1049075A3 (en) 2002-01-09
KR20060104969A (ko) 2006-10-09
KR20000067842A (ko) 2000-11-25
EP1818916A2 (en) 2007-08-15
CN1272668A (zh) 2000-11-08
KR100753074B1 (ko) 2007-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100753074B1 (ko) 헤드용 서스펜션 및 디스크 장치
US5680274A (en) Integrated suspension for an information storage system having electrostatic discharge protection
US6262868B1 (en) Method and structures used for connecting recording head signal wires in a microactuator
US5959808A (en) Shielded electrostatic microactuators for magnetic-head positioning such devices
US6967800B1 (en) Disk drive suspension assembly including a base plate with mass reduction openings at distal corners
US6493192B2 (en) Disc drive with improved head pitch adjustment
US5907452A (en) Apparatus and method to dampen flex cable vibration to disk drive actuator
US6195227B1 (en) Integrated 3D limiters for microactuators
US7414813B2 (en) Vibration damped flexible circuit for use in a hard disk drive
US5995334A (en) Rotary electrostatic microactuator with area-efficient comb electrode arrangement
WO2000030080A1 (fr) Mecanisme support pour tete d&#39;enregistrement/de reproduction, et dispositif d&#39;enregistrement/de reproduction
KR20090103710A (ko) 플렉셔 통합형 마이크로액추에이터용 시스템, 방법 및 장치
US5982585A (en) Rotary electrostatic microactuator with optimum flexure arrangement
US8976491B1 (en) Disk drive head suspension distal non-op shock limiter with branched arms
EP1308933A2 (en) Hard disk drive comprising flexible printed circuit with damping material
KR0163618B1 (ko) 자기디스크 구동장치
KR100241220B1 (ko) 헤드 짐벌 어셈블리와 이를 포함하는 정보 저장 시스템
JP2023512245A (ja) サスペンションダンピング
US7433156B2 (en) Flexure for minimizing fly height modulation of near-contact recording sliders in a disk drive
US5790344A (en) Base casting/cover for separating pack bounce and spindle tilt modes in a magnetic storage system
US20010001587A1 (en) Interconnect module for use in a suspension assembly
US6549372B1 (en) Device for limiting head movement within a hard disk drive
JP2004005911A (ja) サスペンション及びヘッド組立体
US8023229B2 (en) Flexible mounting slider with anti-static structure, head gimbal assembly and magnetic disk drive with the same
US8169748B2 (en) Damping member for a moveable flex circuit

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
A107 Divisional application of patent
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee