KR100656200B1 - 잉크젯 헤드 시스템 및 배선형성방법 - Google Patents

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Abstract

미세 배선을 형성할 수 있는 잉크젯 헤드 시스템 및 배선 형성방법이 제시되어 있다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 잉크를 토출시키는 잉크젯 헤드와, 이 잉크젯 헤드의 움직임에 상응하여 움직이며, 토출된 상기 잉크에 광선을 조사하는 발광부와, 상기 잉크젯 헤드의 움직임에 상응하여 움직이며, 상기 발광부에 대응하여 상기 발광부로부터 조사된 광선을 수광하는 수광부를 포함하되, 상기 잉크젯 헤드의 헤드 플레이트는 광선보호막을 포함하는 잉크젯 헤드 시스템시스템이 제공된다.
잉크젯 헤드 시스템, 배선 형성방법, 광원, 발광부, 수광부

Description

잉크젯 헤드 시스템 및 배선형성방법{APPARATUS OF INK-JET HEAD SYSTEM AND METHOD FOR PRODUCING WIRING}
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드 시스템의 단면도.
도 2은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드 시스템의 평면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드 시스템의 단면도.
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드 시스템의 평면도.
도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드 시스템의 잉크젯 헤드의 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 잉크젯 헤드 11 : 잉크 유로
13 : 노즐 15 : 광선보호막
17 : 잉크의 액적 19 : 노즐 플레이트
3 : 발광장치 5 : 수광장치
31 : 발광부 51 : 수광부
33, 53 : 케이스 35, 55 : 슬라이더
37, 57 : 레일 7 : 기판
71 : 배선 9 : 제어부
본 발명은 잉크젯 헤드 시스템 및 배선의 형성방법에 관한 것이다.
최근 전자기기 및 정보 단말기기 등의 소형화, 경량화 됨에 따라 기기 내부에 사용되는 전자 부품도 점차 소형화 되고 있는 추세이다. 이에 따라 전자부품 내 실장을 위한 배선 패턴의 사이즈도 점차 작아지고, 배선 패턴의 폭이나 배선 간의 페이스도 좁아지고 있다. 즉 기판 내 미세 배선의 형성이 요구되고 있다. 이러한 미세 배선을 형성하기 위하여 나노 사이즈의 금속 입자를 포함하는 잉크를 잉크젯 방식으로 토출시키는 방법을 사용하고 있다.
이 잉크젯 방식을 이용하더라도 선 폭이 수십㎛에 지나지 않는 미세회로 배선을 형성하기 위해서 다양한 노력이 기울여지고 있다. 한 예로 기판을 가열하여 잉크가 기판 내에서 건조되는 시간을 줄임으로써 잉크가 퍼지지 않도록 하여 미세회로 배선을 형성하는 방법이 제시되고 있다. 그러나 이 방법에 의하면 기판의 열이 몇mm 밖에 안 떨어진 잉크젯 헤드에 전달되어 노즐에서 잉크가 토출되기 전에 잉크를 경화시키거나 건조시켜 잉크가 토출되지 않는 문제점이 있다. 다른 방법으로 잉크 액적의 크기를 10-15사이즈로 줄여서 기판에서의 퍼짐을 감소시키는 방법이 제시되고 있다. 그러나 이 방법에 의하면 잉크 내에 포함되는 금속 나노 입자의 크기 제어가 어려우며, 이 금속 나노 입자의 안정적 분산에 문제가 있으며, 현실적으 로 이러한 잉크 액적의 크기를 직접적으로 줄여 토출하는 것은 한계가 있다.
본 발명은 토출되고 착탈하기 전의 잉크 액적의 크기를 광선으로 줄여 미세 배선을 형성할 수 있는 잉크젯 헤드 시스템 및 배선의 형성방법을 제공한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 잉크를 토출시키는 잉크젯 헤드와, 이 잉크젯 헤드의 움직임에 상응하여 움직이며, 토출된 상기 잉크에 광선을 조사하는 발광부를 포함하되, 이 잉크젯 헤드의 헤드 플레이트는 광선보호막을 구비하는 잉크젯 헤드 시스템을 제시할 수 있다.
여기서 이 잉크젯 헤드의 이동궤적에 대응하여 설치되는 레일을 더 포함하고, 발광부는 이 레일에 권취되어 있는 슬라이더에 결합되며, 상기 슬라이더는 상기 레일을 따라 이동할 수 있다.
또 여기서 잉크젯 헤드의 움직임에 상응하여 움직이며, 발광부에 대응하여 이 발광부로부터 조사된 광선을 수광하는 수광부를 더 포함할 수 있다.
또한 여기서 광선은 파장이 200 내지 500nm의 자외선일 수 있고, 파장이 780 내지 2500nm의 적외선일 수 있으며, 200 내지 500nm의 단파장을 가지는 레이저광일 수 있다.
바람직한 실시예에 따르면 잉크젯 헤드의 노즐과 기판 간의 거리는 1 내지 4mm이다.
또한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 잉크를 기판에 도출시키는 단계, 발광부에서 나온 광선을 토출된 상기 잉크에 조사하는 단계를 포함하되, 이 잉크가 기판에 인쇄되기 전에 상기 광선을 조사하는 배선의 형성방법을 제시할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 발광부에서 광선을 조사하는 단계, 잉크를 기판에 토출시키는 단계를 포함하되, 이 잉크가 기판에 인쇄되기 전에 상기 광선을 조사하는 배선의 형성방법을 제시할 수 있다.
여기서 발광부에서 광선을 조사하는 단계에서는 상기 광선을 수광부에서 수광하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또 여기서 광선은 파장이 200 내지 500nm의 자외선일 수 있고, 파장이 780 내지 2500nm의 적외선일 수 있으며, 200 내지 500nm의 단파장을 가지는 레이저광일 수 있다.
바람직한 실시예에 따르면, 잉크젯 헤드의 노즐과 기판 간의 거리는 1 내지 4mm이다.
이하, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드 시스템 및 배선 형성방법의 바람직한 실시예들을 첨부도면 1을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
여기서 '인쇄'는 잉크 액적이 토출되어 기판에 옮겨 찍히는 전 과정을 의미하는 것이 아니라 잉크 액적이 기판에 옮겨 찍혀있는 상태를 말한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드 시스템의 단면도이다. 도 1을 참조하여 설명하면, 잉크젯 헤드 시스템시스템은 크게 잉크젯 헤드(1), 발광장치(3), 수광장치(5)로 나뉘며, 이 발광장치(3)와 수광장치(5)는 발광된 광선을 수광 할 수 있도록 서로 대응하여 위치한다. 잉크젯 헤드(1)에서 잉크는 잉크 유로(11)를 따라 공급되고, 노즐(13)을 지나 토출되어 잉크 액적(17) 즉 방울 형태로 기판에 인쇄된다. 이때 잉크의 퍼짐 현상에 의해 잉크 액적(17)의 크기보다 1.2 내지 2배가량 넓은 배선을 형성하게 된다.
본 발명에서는 이 토출된 잉크 액적(17)이 기판에 인쇄되기 전에 발광장치(3)의 발광부(31)에서 나온 광선으로 잉크 액적(17)을 노출시킨다. 그 결과 광선의 종류에 따라 잉크 액적(17)은 경화하거나 건조되어 작아진 잉크 액적(17)이 기판(7)에 인쇄되어 미세한 배선을 형성하게 되는 것이다.
이러한 잉크의 액적(17)의 크기를 작게 할 수 있는 광선의 예로 자외선, 적외선, 레이저를 들 수 있다. 자외선은 특정 파장 영역 예를 들면 250nm의 자외선을 안정되는 조사 에너지로 발광한다. 적외선 광원으로는 LED, 형광등, 고압수은 램프, 메탈 할리드 램프, 고압수은 스팟 램프, 크세논 램프 등이 적용 가능하다. 본 발명에 사용되는 자외선은 파장이 200 내지 500nm인 것이 바람직하고, 250nm가 더 바람직하다. 이러한 자외선에 의해 노출된 잉크는 반경화가 일어나게 되는데, 여기서 반경화란 젤 상태를 형성하는 것으로 점도가 30 내지 70cps 정도인 것을 말한다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면 자외선으로 잉크 액적을 조사하였을 때 50cps정도가 바람직하다.
또 광원으로 적외선을 사용할 수 있는데, 적외선은 자외선에 비해 파장이 길어 에너지가 높지 않다. 750nm이상을 일반적으로 적외선이라 부르는데, 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면 780 내지 2500nm의 근적외선을 사용하는 것이 바람직하고, 1000nm의 근적외선을 사용하는 것이 더 바람직하다. 이러한 적외선에 의해 잉크가 노출되면, 물 또는 유기용매로 이루어진 잉크 내의 분산액이 건조되면서, 잉크의 점도가 높아지고 잉크 액적의 크기는 작아진다. 상술한 파장의 적외선으로 처리하여 잉크의 액적의 점도를 30 내지 70cps로 처리하는 것이 바람직하고, 50cps로 처리하는 것이 더 바람직하다.
또한 광선으로 레이저를 사용할 수 있는데, 레이저가 발생하려면 그 원인이 되는 물질인 레이저 매질이 필요하고, 외부에서 여기하기 위한 여기매체와 공진기가 필요하다. 이 레이저 매질로는 액체인 색소, 기체인 He-Ne, Ar, Kr, N2, CO2, XeF, 금속 증기 등이 있으며, 고체인 Nd:YAG, 루비, 유리, KCl, RbCl, 반도체인 GaAs, InP, GaAs-P, InAs 등을 예로 들 수 있다. 여기매체로 방전에 의한 경우가 He-Ne 레이저, Ar 레이저, Kr 레이저, He-Cd 레이저 등이 있고, 전류에 의한 경우가 반도체 레이저, 플래쉬 램프를 사용한 경우가 Nd:YAG 레이저, 루비 레이저, 유리레이저, 색소레이저가 있다. 또 여기매체로 레이저를 사용하는 경우로 색소레이저, F 센터 레이저가 있고, 화학반응에 의한 경우가 화학레이저, 예를 들면, HF 레이저, DF 레이저 등을 들 수 있다. 일반적으로 공진기는 2개의 반사형으로 구성된 파브리-페롯(Fabry-Perot) 간섭계가 사용된다.
상술한 레이저 매질이나 여기매체의 종류에 제한 없이 본 발명에서는 200 내지 500nm의 단파장을 가지는 레이저광이 바람직하고, 300nm의 파장을 가지는 자외 선 레이저광이 더 바람직하다. 이러한 레이저 광에 잉크가 노출되면 반경화가 일어나거나 잉크에 포함되어 있는 물 또는 유기용매인 분산액이 건조되어 잉크 액적의 크기가 작아져 미세배선을 형성할 수 있다. 상술한 바와 같은 파장을 가지는 레이저를 사용하여 반경화 또는 건조에 의해 잉크의 액적의 점도가 30 내지 70cps로 처리하는 것이 바람직하고, 50cps로 처리하는 것이 더 바람직하다.
미세회로 배선을 형성하기 위한 잉크 액적의 크기는 10㎛ 이하이다. 일반적으로 사용되고 있는 노즐의 크기가 50 내지 100㎛임을 고려할 때, 토출되는 액적의 크기를 노즐 사이즈의 40 내지 80%, 바람직하게는 50%로 만들면 이러한 미세회로 배선을 형성할 수 있는 잉크 액적의 크기가 될 것이다. 상술한 바와 같은 파장의 범위 내에서 자외선, 적외선, 레이저를 선택하면 이러한 미세회로 배선을 형성할 수 있는 잉크 액적의 크기를 얻을 수 있다. 이 외에도 광선의 조사 파장 및 조사 강도는 사용되는 잉크의 성질에 따라 적절히 선택할 수 있다.
여기서 광선의 처리시간은 1/5000 내지 1/1000sec로 하는 것이 바람직하며, 1/2000sec로 하는 것이 더 바람직하다. 일반적인 액적의 토출속도가 1 내지 20m/s인 것을 고려하였을 광선의 액적 처리시간을 나타낸 것이다. 이러한 광원의 처리시간은 액적의 토출속도 이외에도 광선의 세기, 노즐과 인쇄 매체인 기판 간의 거리와도 관계가 있다.
이러한 잉크젯 헤드에 사용될 수 있는 잉크로 금속 나노 입자를 포함하는 수계 또는 비수계 잉크를 사용할 수 있다. 특히 광선으로 자외선을 사용하는 경우 자외선에 조사시키면 경화하는 자외선 경화잉크가 적합하다. 이러한 자외선 경화잉크 로는 중합성 화합물로 라이칼 중화성 화합물을 포함하는 라디칼 중합계 잉크와 양이온 중합성 화합물을 포함하는 양이온 중합계 잉크로 구별된다. 본 발명에서는 어느 형이든 무관하고 라디칼 중합계 잉크와 양이온 중합계 잉크를 혼합한 하이브리드형 잉크를 사용할 수 도 있다.
이때 노즐에서 잉크가 광선에 노출되는 경우 잉크가 노즐에서 경화 또는 건조되어 노즐을 막아버리면 이후 잉크가 토출되기 어렵다. 따라서 노즐을 둘러싸고 있는 노즐 플레이트(19)에 광선보호막(15)을 부착하면 이러한 문제점을 해결할 수 있다.
잉크젯 헤드 시스템을 이용하여 배선을 형성하기 위해서는 잉크 액적이 토출되어 인쇄하기 전에 상술한 광선을 조사시키면 된다. 예를 들면, 잉크를 기판(7)에 토출시키고 발광부(31)에서 나온 광선을 잉크에 조사시키거나, 먼저 발광부(31)에서 광선을 조사한 후에 잉크를 기판(7)에 토출시키는 방법이 있다.
또 잉크젯의 노즐(13)과 기판(7)과의 거리는 1 내지 4mm인 것이 바람직하다. 여기서 노즐(13)과 기판(7)과의 간격이 짧으면 잉크 액적(17)의 비상거리가 짧아지고, 액적의 구부러짐 등을 방지할 수 있다. 그러나 그 거리가 1mm이하이면 잉크 액적이 광원에 노출될 수 있는 시간이 너무 짧아 원하는 효과를 얻을 수 없다. 또 그 거리가 4mm이상이면 액적이 구부러짐이 심해져 잉크 액적의 위치 제어가 어렵고, 경화나 건조가 심하게 일어나 기판에 인쇄되었을 때, 기판과의 접착력이 떨어지므로 부적합하다.
이상에서 잉크젯 헤드 시스템 및 배선 형성방법을 일반적으로 도시한 잉크젯 헤드 시스템의 단면도를 설명하였으며, 이하에서는 첨부 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드 시스템 및 배선 형성방법을 구체적인 실시예를 기준으로 설명하기로 한다. 본 발명에 따른 잉크젯 헤드 시스템의 실시예는 크게 2가지로 구분되는데, 첫째, 레일과 같은 가이드 장치를 구비하는 경우와, 둘째, 가이드 장치를 구비하지 않는 경우로 나뉜다. 이하에서 차례대로 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드 시스템의 단면도이고, 도 2은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 도 1에 도시한 잉크젯 헤드 시스템의 평면도이다. 도 1과 2를 참조하면, 잉크젯 헤드 시스템은 크게 잉크젯 헤드(1), 발광장치(3), 수광장치(5)로 나뉘며, 이 발광장치(3)와 수광장치(5)는 광선을 발광하고 수광 할 수 있도록 대응하여 위치한다. 여기서 발광장치(3)는 광원이 있는 발광부(31)와 이를 둘러싸고 있는 케이스(33), 이 케이스(33)가 레일(37)을 따라 움직일 수 있도록 레일에 권취되어 있는 슬라이더(35), 슬라이더를 전ㆍ후 운동 할 수 있게 하는 레일(37)을 포함한다. 또 수광장치(5)는 광선을 수광할 수 있는 수광부(51)와 이를 둘러싸고 있는 케이스(53), 이 케이스(53)가 레일(57)을 따라 움직일 수 있도록 레일에 권취되어 있는 슬라이더(55), 슬라이더를 전ㆍ후 운동 할 수 있게 하는 레일(57)을 포함한다. 발광장치(3)와 수광장치(5)가 레일에 의해 일정하게 인도되어 광선의 발광과 수광이 안정적으로 이루어 질 수 있다.
또한 잉크젯 헤드(1)는 노즐(13)이 광선에 노출되지 않도록 보호하는 광선보호막(15)을 노즐 플레이트(19)의 외측에 배치한다.
이러한 잉크젯 헤드(1)와 발광장치(3), 수광장치(5)는 도시되지 않는 제어부 에 의해 제어되어, 발광부(31)와 수광부(51) 간의 거리를 조절하고 잉크 액적에 조사하는 각도와 조사하는 위치를 조절할 수 있다. 발광부(31)와 수광부(51)가 대응되어 발광부에서 나온 광선을 수광부에서 수광할 수 있으며, 광선이 발광되고 수광되는 사이에 노즐을 통해 토출된 잉크를 지나간다면, 광선의 조사 각도와 위치는 제한이 없다. 다만, 발광부로부터 방사된 처리 광선이 잉크 액적(17)이 토출되는 각도와 직각이 되도록, 또는기판(7)과 수평이 되도록 발광하는 것이 처리 광선이 다른 부분에 간섭되지 않고 잉크 액적에 효율적으로 조사되도록 하는 데에 있어서 보다 바람직하다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드 시스템의 단면도이고, 도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 도 3에 도시한 잉크젯 헤드 시스템의 평면도이다. 도 3과 4를 참조하면, 잉크젯 헤드 시스템은 크게 잉크젯 헤드(1), 발광장치(3), 수광장치(5)로 나뉘며, 이 발광장치(3)와 수광장치(5)는 광선을 발광하고 수광 할 수 있도록 대응하여 위치한다. 다만 광선 발광장치(3)와 수광장치(5)를 일정한 방향으로 이끄는 가이드 없고, 도시되지 않은 이동장치에 의해 상ㆍ하, 좌ㆍ우로 제한 없이 움직일 수 있다. 또한 이 잉크젯 헤드(1),발광장치(3)와 수광장치(5)는 제어부(9)에 의해 제어되어 발광, 조사, 수광이 조화롭게 이루어 지도록 제어된다. 상술한 도 1과 2에 비하여 이동이 자유로운 대신 잉크 액적에 대한 조사 거리와 조사 각도는 더 정밀한 제어가 필요하다.
또한 잉크젯 헤드(1)는 노즐(13)이 광선에 노출되지 않도록 보호하는 광선보호막(15)을 노즐 플레이트(19)의 외측에 배치한다. 도시한 바와 같이 노즐 플레이 트(19)의 외측 중 노즐(13)과 반대쪽 끝 단에 광선보호막(15)을 형성하였다. 도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 잉크젯 헤드 시스템의 잉크젯 헤드의 단면도이다. 도 5를 참조하면, 광선보호막(15)은 노즐 플레이트(19)의 외측 중 노즐(13) 쪽 끝 단에 광선보호막(15)을 형성할 수도 있다.
본 발명 잉크젯 헤드는 발광부에서 방출된 처리광선이 토출된 잉크액적에 조사되어 잉크액적을 줄이는 데에 그 핵심이 있다. 따라서, 본 발명이 반드시 광선의 처리를 위해 발광부와 수광부를 구비하는 것에 한정되는 것은 아니며, 발광부만으로 구성될 수 있음은 물론이다.
다만, 수광부가 없을 경우 발광부로부터 방출된 빛이 다른 부분에 조사되어 원하지 않는 부작용 등의 효과가 발생될 우려가 있으며, 이 경우 발광부로부터 방출된 광선의 흡수, 확산 등을 위해 수광부가 필요한 것이다.
이상 본 발명에 따른 잉크젯 헤드 시스템에 대하여 상세히 설명하였고, 이하 본 발명에 따른 배선 형성방법에 대하여 상세히 설명하기로 한다. 본 발명에 따른 배선 형성방법의 실시예는 크게 2가지로 구분되는데, 첫째는 잉크를 먼저 토출시키는 방법이고, 둘째는 광선을 먼저 조사하는 방법으로 구분된다.
바람직한 실시예에 따르면 잉크를 기판에 도출시키고, 잉크가 기판에 인쇄되기 전에 발광부에서 나온 광선을 토출된 상기 잉크에 조사하는 하는 방법이다. 이에 따라 잉크는 경화 또는 건조되어 기판에 인쇄되면서 미세 배선을 형성하게 되고, 광선은 다시 수광부에 수광된다.
다른 바람직한 실시예에 따르면 발광부에서 광선을 먼저 조사하여 광선을 계 속적으로 발광부에서 발광되어 수광부로 수광되고 있는 동안, 잉크를 기판에 토출시키는 방법이다. 이에 따라 잉크는 경화 또는 건조되어 기판에 인쇄되면서 미세 배선을 형성하게 되는 것이다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 가능함은 물론이다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 잉크젯 헤드 시스템 및 배선 형성방법은 잉크의 토출 후 광선의 처리에 의해 액적의 크기를 줄일 수 있어 기판에 인쇄된 후 수㎛의 미세배선을 형성할 수 있다. 이 미세배선을 이용하여 제품의 소형화, 경량화를 이룰 수 있다.

Claims (14)

  1. 잉크를 토출시키는 잉크젯 헤드와;
    상기 잉크젯 헤드의 움직임에 상응하여 움직이며, 토출된 상기 잉크에 광선을 조사하는 발광부와;
    상기 잉크젯 헤드의 움직임에 상응하여 움직이며, 상기 발광부에 대응하여 상기 발광부로부터 조사된 광선을 수광하는 수광부를 포함하되,
    상기 잉크젯 헤드의 헤드 플레이트는 광선보호막을 구비하는 잉크젯 헤드 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드의 이동궤적에 대응하여 설치되는 레일을 더 포함하고, 상기 발광부는 상기 레일에 권취되어 있는 슬라이더에 결합되며, 상기 슬라이더는 상기 레일을 따라 이동하는 잉크젯 헤드 시스템.
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 광선은 파장이 200 내지 500nm의 자외선인 잉크젯 헤드 시스템.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 광선은 파장이 780 내지 2500nm의 적외선인 잉크젯 헤드 시스템.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 광선은 200 내지 500nm의 단파장을 가지는 레이저광인 잉크젯 헤드 시스템.
  7. 청구항 1 또는 2중 어느 한 항에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드의 노즐과 기판 간의 거리는 1 내지 4mm인 잉크젯 헤드 시스템.
  8. 잉크를 기판에 도출시키는 단계와;
    발광부에서 나온 광선을 토출된 상기 잉크에 조사하는 단계를 포함하되,
    상기 잉크가 기판에 인쇄되기 전에 상기 광선을 조사하는 배선의 형성방법.
  9. 발광부에서 광선을 조사하는 단계와
    잉크를 기판에 토출시키는 단계를 포함하되,
    상기 잉크가 기판에 인쇄되기 전에 상기 광선을 조사하는 배선의 형성방법.
  10. 청구항 8 또는 9에 있어서,
    상기 발광부에서 광선을 조사하는 단계에서는 상기 광선을 수광부에서 수광하는 단계를 더 포함하는 배선의 형성방법.
  11. 청구항 8 또는 9에 있어서,
    상기 광선은 파장이 200 내지 500nm의 자외선인 배선의 형성방법.
  12. 청구항 8 또는 9에 있어서,
    상기 광선은 파장이 780 내지 2500nm의 적외선인 배선의 형성방법.
  13. 청구항 8 또는 9에 있어서,
    상기 광선은 200 내지 500nm의 단파장을 가지는 레이저광인 배선의 형성방법.
  14. 청구항 8 또는 9에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드의 노즐과 기판 간의 거리는 1 내지 4mm인 배선의 형성방법.
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