KR100644542B1 - 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치 및 그의 제조 방법 - Google Patents

고밀도 에스피엠 정보 저장 장치 및 그의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100644542B1
KR100644542B1 KR1020050126076A KR20050126076A KR100644542B1 KR 100644542 B1 KR100644542 B1 KR 100644542B1 KR 1020050126076 A KR1020050126076 A KR 1020050126076A KR 20050126076 A KR20050126076 A KR 20050126076A KR 100644542 B1 KR100644542 B1 KR 100644542B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
support plate
hole
support
axis driving
driving electrode
Prior art date
Application number
KR1020050126076A
Other languages
English (en)
Inventor
김영식
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to KR1020050126076A priority Critical patent/KR100644542B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100644542B1 publication Critical patent/KR100644542B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B9/00—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
    • G11B9/12—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor
    • G11B9/14—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor using microscopic probe means, i.e. recording or reproducing by means directly associated with the tip of a microscopic electrical probe as used in Scanning Tunneling Microscopy [STM] or Atomic Force Microscopy [AFM] for inducing physical or electrical perturbations in a recording medium; Record carriers or media specially adapted for such transducing of information
    • G11B9/1463—Record carriers for recording or reproduction involving the use of microscopic probe means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
    • G01Q10/04—Fine scanning or positioning
    • G01Q10/045—Self-actuating probes, i.e. wherein the actuating means for driving are part of the probe itself, e.g. piezoelectric means on a cantilever probe
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q70/00—General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
    • G01Q70/16—Probe manufacture
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B9/00—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
    • G11B9/12—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor
    • G11B9/14—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using near-field interactions; Record carriers therefor using microscopic probe means, i.e. recording or reproducing by means directly associated with the tip of a microscopic electrical probe as used in Scanning Tunneling Microscopy [STM] or Atomic Force Microscopy [AFM] for inducing physical or electrical perturbations in a recording medium; Record carriers or media specially adapted for such transducing of information
    • G11B9/1418—Disposition or mounting of heads or record carriers
    • G11B9/1427—Disposition or mounting of heads or record carriers with provision for moving the heads or record carriers relatively to each other or for access to indexed parts without effectively imparting a relative movement
    • G11B9/1436—Disposition or mounting of heads or record carriers with provision for moving the heads or record carriers relatively to each other or for access to indexed parts without effectively imparting a relative movement with provision for moving the heads or record carriers relatively to each other
    • G11B9/1454—Positioning the head or record carrier into or out of operative position or across information tracks; Alignment of the head relative to the surface of the record carrier

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

본 발명은 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 어레이된 캔틸레버들이 상부에 형성되어 있는 제 1 지지판과; 상기 제 1 지지판에 접합되어 있고, 어레이된 캔틸레버들이 하부에 형성되어 있는 제 2 지지판과; 상기 제 1 지지판 상부에 위치되고, 상기 제 1 지지판에 어레이된 캔틸레버들이 접촉되어 정보의 기록 및 재생할 수 있는 기록매체가 하부면에 형성되어 있는 제 3 지지판과; 상기 제 2 지지판 하부에 위치되고, 상기 제 2 지지판에 어레이된 캔틸레버들이 접촉되어 정보의 기록 및 재생할 수 있는 기록매체가 상부면에 형성되어 있는 제 4 지지판을 포함하여 구성된다.
따라서, 본 발명은 어레이된 캔틸레버들이 각각 형성된 2개의 지지판을 접착하여 장치를 구성하거나, 또는 기록매체가 상,하부에 형성된 지지판을 이용하여 장치를 구성하여 하나의 지지판 면적에서 정보의 기록 및 재생 효율을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 스캐닝부를 장치의 구조물에 적합하게 장착함으로써, 기록매체 및 어레이된 캔틸레버를 원활하게 이동시킬 수 있는 효과가 있다.
에스피엠, 정보, 접착, 고밀도, 영구자석, 코일

Description

고밀도 에스피엠 정보 저장 장치 및 그의 제조 방법 { High density scanning probe microscopy data storage device and method for manufacturing the same }
도 1은 일반적인 정보저장 장치의 기록 과정을 설명하기 위한 개략적인 사시도
도 2a와 2b는 일반적인 현미경 정보저장장치의 재생 과정을 개략적으로 설명하는 개념도
도 3a와 3b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 고밀도 SPM(Scanning Probe Microscopy) 정보 저장 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치에서 캔틸레버에 기록매체가 접촉된 상태의 단면도
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치에 스캐닝부가 형성되어 있는 상태의 단면도
도 6a와 6b는 도 5와는 다른 영역에 스캐닝부가 형성되어 있는 상태의 단면도
도 7은 도 5에 도시된 스캐닝부의 동작을 설명하기 위한 개략적인 단면도
도 8은 도 7에 도시된 스캐닝부의 동작을 상세히 설명하기 위한 개념도
도 9a와 9b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치에 다른 스캐닝부가 형성되어 있는 상태의 단면도
도 10은 도 9a와 9b에 도시된 스캐닝부의 동작을 설명하기 위한 단면도
도 11은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치의 개략적인 단면도
도 12는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치에 스캐닝부가 형성되어 있는 상태의 단면도
도 13a와 13b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치에 다른 스캐닝부가 형성되어 있는 상태의 단면도
도 14는 본 발명에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치에서 X축 방향으로 이동되기 위한 지지판의 개략적인 단면도
도 15는 본 발명에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치에서 X축 및 Y축 방향으로 이동되기 위한 지지판의 개략적인 단면도
도 16a와 16b는 본 발명에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치의 지지판에 구비된 스프링을 설명하기 위한 평면도
도 17은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치의 개략적인 단면도
도 18은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치의 개략적인 단면도
도 19a 내지 19c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치를 제조하기 위한 개략적인 단면도
도 20a 내지 20c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치를 제조하기 위한 개략적인 단면도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100,150,200,250,400,500,600,800,1100,1150,1200,1250,1300,1400 : 지지판
110,160,510,610,1110,1160,1310,1410 : 캔틸레버
130,441,501,601,801,910 : 관통홀
141,181,220,270,461,462,471,472 : 코일
145a,145b,185a,185b,245a,245b,275a,275b : 구동전극
190,191,192,590,690 : 영구자석
210,260,410,420,1210,1220,1260,1270 : 기록매체
240,280 : 홈 291,292,701,702 : 접착제
430,821,822,921,922 : 스프링 440,810 : 가이드판
900 : 고정판
본 발명은 고밀도 에스피엠(SPM) 정보 저장 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 어레이된 캔틸레버들이 각각 형성된 2개의 지지판을 접착하여 장치를 구성하거나, 또는 기록매체가 상,하부에 형성된 지지판을 이용하여 장치를 구성하여 하나의 지지판 면적에서 정보의 기록 및 재생 효율을 증가시킬 수 있는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 원자현미경(AFM, Atomic Force Microscopy)은 캔틸레버라 불리는 미소한 막대를 이용하여 표면형상 등을 측정하는 장치이다.
캔틸레버 끝에는 수 nm 크기의 팁이 형성되어 있으며, 이러한 팁과 시편사이의 원자력을 측정함으로써 시편의 표면형상이나, 시편의 전기적인 성질 또는 자기적인 성질 등을 알 수 있다.
최근, 이러한 원자현미경의 원리를 이용한 나노-감광(Nano-Lithography) 장치 또는 나노 정보 저장(Nano Data Storage) 장치에 대한 연구가 활발히 이루어지고 있다.
원자현미경의 원리를 이용하면 수 nm 크기의 탐침을 이용하여 정보를 저장할 수 있으므로, Tbit/in2 이상의 저장밀도를 갖는 데이터 저장장치를 개발할 수 있다.
SPM의 원리를 이용한 정보저장장치 중 대표적으로 IBM에서 개발하고 있는 "밀리피드(Millipede)"를 예를 들어 보면, 밀리피드는 SPM 종류 중의 하나인 원자현미경(AFM, Atomic Force Microscopy)의 원리를 응용하여 PMMA와 같은 폴리머 물질을 기록매체로 사용하였다.
IBM의 밀리피드는 속도를 향상시키기 위해, 단위 캔틸레버를 2차원적으로 연결하여 64 X 64개의 캔틸레버를 구성하였다.
이 캔틸레버는 실리콘 팁, 팁 부위에 형성된 저항성 히터(Resistive Heater)와 실리콘 캔틸레버로 구성되어 있다.
도 1은 일반적인 정보저장 장치의 기록 과정을 설명하기 위한 개략적인 사시도로서, 실리콘 팁(1)을 가열하여 실리콘 기판(21)의 상부에 형성된 폴리머 기록매체(22)의 점도를 감소시킨 상태를 만든 후, 실리콘 팁(1)으로 국부적인 힘을 가하면 기록매체(22)에 정보 저장홈(23)이 형성된다.
한편, 원자력 현미경 정보저장장치의 판독과정은 도 2a와 2b에 도시된 바와 같이, 히터 플랫폼과 기록매체 사이의 거리에 따라 히터의 냉각속도가 변화되는 원 리를 이용하였다.
더 상세히 설명하면, 도 2a와 2b에 도시된 바와 같이, 실리콘 팁(1)이 기록 매체(22)의 오목한 정보저장홈(23) 속으로 들어가서, 히터 플랫폼(5)과 기록 매체(22) 사이의 거리가 가까워지면, 히터 플랫폼(5)은 빨리 냉각되고, 실리콘 팁이 기록 매체의 평탄한 면을 지나갈 때에는 히터 플랫폼(5)과 기록매체(22) 사이의 거리가 멀어져 천천히 냉각되게 된다.
이러한 냉각속도의 차이로 인하여, 히터 플랫폼(5)의 온도가 달라지면, 이로 인하여 히터 플랫폼(5)의 전기저항의 차이가 야기되므로, 이러한 방법을 이용하여 정보를 판독한다.
이렇게 캔틸레버 탐침을 이용하여 미디어를 변화시켜 기록하는 장치를 "SPM 원리를 이용한 정보저장장치"라고 한다.
본 발명은 어레이된 캔틸레버들이 각각 형성된 2개의 지지판을 접착하여 하나의 지지판 면적에서 정보의 기록 및 재생 효율을 증가시킬 수 있는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치 및 그의 제조 방법을 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 기록매체가 상,하부에 형성된 지지판을 이용하여 하나의 지지판 면적에서 정보의 기록 및 재생 효율을 증가시킬 수 있는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치 및 그의 제조 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 하나의 지지판 면적에서 상, 하부로 정보의 기록 및 재생시킬 수 있도록 스캐닝부를 장치의 구조물에 적합하게 장착함으로써, 기록매체 및 어레이된 캔틸레버를 원활하게 이동시킬 수 있는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치 및 그의 제조 방법을 제공하는 데 있다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 1 양태(樣態)는,
어레이된 캔틸레버들이 상부에 형성되어 있는 제 1 지지판과;
상기 제 1 지지판에 접합되어 있고, 어레이된 캔틸레버들이 하부에 형성되어 있는 제 2 지지판과;
상기 제 1 지지판 상부에 위치되고, 상기 제 1 지지판에 어레이된 캔틸레버들이 접촉되어 정보의 기록 및 재생할 수 있는 기록매체가 하부면에 형성되어 있는 제 3 지지판과;
상기 제 2 지지판 하부에 위치되고, 상기 제 2 지지판에 어레이된 캔틸레버들이 접촉되어 정보의 기록 및 재생할 수 있는 기록매체가 상부면에 형성되어 있는 제 4 지지판을 포함하여 구성된 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치가 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 2 양태(樣態)는,
상부면 및 하부면에 제 1과 2 기록매체가 형성되어 있는 제 1 지지판과;
상기 제 1 지지판 하부에 위치되고, 상기 제 1 지지판의 제 2 기록매체에 접촉되어 정보의 기록 및 재생할 수 있는 어레이된 캔틸레버들이 상부면에 형성된 제 2 지지판과;
상기 제 1 지지판 상부에 위치되고, 상기 제 1 지지판의 제 1 기록매체에 접촉되어 정보의 기록 및 재생할 수 있는 어레이된 캔틸레버들이 하부면에 형성된 제 3 지지판을 포함하여 구성된 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치가 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 3 양태(樣態)는,
어레이된 캔틸레버들이 상부에 형성되어 있는 제 1 지지판과;
상기 제 1 지지판에 접합되어 있고, 어레이된 캔틸레버들이 하부에 형성되어 있는 제 2 지지판과;
상기 제 1 지지판 상부에 위치되고, 하부면 및 상부면 각각에 기록매체가 형성된 제 3 지지판과;
상기 제 3 지지판 상부에 위치되고, 어레이된 캔틸레버들이 하부에 형성되어 있는 제 4 지지판과;
상기 제 2 지지판 하부에 위치되고, 상부면 및 하부면 각각에 기록매체가 형성된 제 5 지지판과;
상기 제 5 지지판 하부에 위치되고, 어레이된 캔틸레버들이 상부에 형성되어 있는 제 6 지지판으로 구성된 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치가 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 4 양태(樣態)는,
어레이된 캔틸레버들이 상부에 형성되어 있는 제 1 지지판과 어레이된 캔틸레버들이 하부에 형성되어 있는 제 2 지지판을 접합하는 단계와;
상기 제 2 지지판 하부에, 기록매체가 상부면에 형성되어 있는 제 4 지지판을 위치시킨 후, 상기 제 2와 4 지지판을 접착제로 접합하는 단계와;
상기 제 1 지지판 상부에, 기록매체가 하부면에 형성되어 있는 제 3 지지판을 위치시킨 후, 상기 제 1과 3 지지판을 접착제로 접합하는 단계를 포함하여 구성된 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치의 제조 방법이 제공된다.
상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 제 5 양태(樣態)는,
제 1 지지판 상부면 및 하부면에 기록매체를 형성하는 단계와;
상기 제 1 지지판 하부에, 어레이된 캔틸레버들이 상부에 형성되어 있는 제 2 지지판을 위치시킨 후, 상기 제 1과 2 지지판을 접착제로 접합하는 단계와;
상기 제 1 지지판 상부에, 어레이된 캔틸레버들이 하부에 형성되어 있는 제 3 지지판을 위치시킨 후, 상기 제 1과 3 지지판을 접착제로 접합하는 단계를 포함하여 구성된 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치의 제조 방법이 제공된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 3a와 3b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 고밀도 SPM(Scanning Probe Microscopy) 정보 저장 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도로서, 본 발명의 제 1 실시예에서는 어레이된 캔틸레버들이 각각 형성된 2개의 지지판을 접착하여 하나의 지지판 면적에서 정보의 기록 및 재생 효율을 2배로 증가시킬 수 있는 정보 저장 장치를 제시한다.
즉, 도 3a에 도시된 바와 같이, 상부에 어레이된 캔틸레버들(110)이 형성된 제 1 지지판(100)과 하부에 어레이된 캔틸레버들(160)이 형성된 제 2 지지판(150)을 접합하면, 도 3b와 같이, 상부 및 하부에 캔틸레버들이 어레이되어 있는 제 1 지지판(100)과 제 2 지지판(150)이 접합된 구조물을 얻을 수 있다.
그러므로, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 정보 저장 장치는 상부 및 하부에 캔틸레버들이 어레이되어 있는 구조물을 포함함으로써, 상부 및 하부에서 정보의 기록 및 재생을 동시에 수행할 수 있는 장점이 있다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치에서 캔틸레버에 기록매체가 접촉된 상태의 단면도로서, 도 3b와 같이, 제 1 지지판(100) 상부에는 제 3 지지판(200)이 위치되어 있고, 이 제 3 지지판(200)의 하부에는 기록매체(210)가 형성되어 있고, 그 기록매체(210) 하부면에는 어레이된 캔틸레버들(110)이 접촉되어 있다.
그리고, 제 2 지지판(150) 하부에는 제 4 지지판(250)이 위치되어 있고, 상기 제 4 지지판(250)의 상부에는 기록매체(260)가 형성되어 있고, 상기 기록매체(260) 상부면에는 어레이된 캔틸레버들(160)이 접촉되어 있다.
이렇게, 제 1과 2 지지판(100,150)이 접착된 구조물 상부 및 하부에 어레이된 캔틸레버들(110,160)은 각각 기록매체(210,260)에 접촉되어 정보의 기록 및 재생을 수행할 수 있는 것이다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치에 스캐닝부가 형성되어 있는 상태의 단면도로서, 상부에 어레이된 캔틸레버들(110)이 형성되어 있는 제 1 지지판(100)과; 상기 제 1 지지판(100)에 접합되어 있고, 하부에 어레이된 캔틸레버들(160)이 형성되어 있는 제 2 지지판(150)과; 상기 제 1 지지판(100) 상부에 위치되고, 상기 제 1 지지판(100)에 어레이된 캔틸레버들(110)이 접촉되어 정보의 기록 및 재생할 수 있는 기록매체(210)가 하부면에 형성되어 있는 제 3 지지판(200)과; 상기 제 2 지지판(150) 하부에 위치되고, 상기 제 2 지지판(150)에 어레이된 캔틸레버들(160)이 접촉되어 정보의 기록 및 재생할 수 있는 기록매체(260)가 상부면에 형성되어 있는 제 4 지지판(260)을 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 제 1과 2 지지판(110,150) 또는 제 3과 4 지지판(200,260)을 X축으로 이동시킬 수 있는 스캐닝부를 포함하여 구성된다.
도 5에서는 상기 제 1과 2 지지판(110,150)을 X축으로 이동시킬 수 있는 스캐닝부를 도시한 것이다.
상기 스캐닝부는 정전기력에 의한 구동, 압전소자에 의한 구동과 전자기력에 의한 구동 중 어느 하나에 의해 구동되는 것을 적용하여도 된다.
다만, 도 5에서는 전자기력을 이용할 수 있도록, 본 발명의 정보 저장 장치 내에 최적화된 스캐닝부 중 하나를 설명하는 것이다.
그러므로, 상기 제 1과 2 지지판(100,150)의 일부 영역에 관통홀(130)이 형성되어 있으며, 상기 스캐닝부는 상기 관통홀(130) 내부에 삽입되어 장착되어 있는 영구자석(190)과; 상기 영구자석(190)과 대향하는 제 3 지지판(200) 또는 제 4 지지판(250) 영역에 형성된 코일(220,270)로 구성된다.
그리고, 도 5와 같이, 코일(220,270)을 제 3과 4 지지판(200,250) 모두에 형성하게 되면, X축 이동력을 증가시킬 수 있게 된다.
또는, 제 3 지지판(200)과 제 4 지지판(250)을 독립적으로 X축으로 이동시킬 수 있는 장점도 있다.
그리고, 상기 영구자석(190)은 상기 관통홀(130) 내측면에 접착제로 접착시켜 장착하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 제 1과 2 지지판(100,150)이 고정되고, 제 3과 4 지지판(200,250) 각각은 관통홀(231)이 형성된 가이드판(230)의 관통홀(231) 내측면에 스 프링(220)에 의해 연결되어 있는 것이 바람직하다.
이 경우, 제 3과 4 지지판(200,250) 각각은 X축으로 이동될 수 있다.
그러므로, 본 발명은 하나의 지지판 면적에서 상, 하부로 정보의 기록 및 재생시킬 수 있도록 스캐닝부를 장치의 구조물에 적합하게 장착함으로써, 기록매체 및 어레이된 캔틸레버를 원활하게 이동시킬 수 있는 것이다.
그리고, 상기 제 3과 4 지지판(200,250) 각각은 제 1과 2 지지판(100,150)에 접착제(291,292)로 본딩시켜 고정시키는 것이 바람직하다.
도 6a와 6b는 도 5와는 다른 영역에 스캐닝부가 형성되어 있는 상태의 단면도로서, 먼저, 도 6a에 도시된 바와 같이, 제 1 지지판(100)과 대향하는 제 3 지지판(200)의 일부 영역에 홈(240)이 형성되어 있으며, 스캐닝부는 상기 홈(240) 내부에 삽입되어 장착되어 있는 영구자석(191)과; 상기 영구자석(191)과 대향하는 제 1 지지판(100) 영역에 형성된 코일(141)로 구성된다.
그리고, 도 6b에 도시된 바와 같이, 제 2 지지판(150)과 대향하는 제 4 지지판(250)의 일부 영역에 홈(280)이 형성되어 있으며, 스캐닝부는 상기 홈(280) 내부에 삽입되어 장착되어 있는 영구자석(192)과; 상기 영구자석(192)과 대향하는 제 2 지지판(150) 영역에 형성된 코일(181)로 구성된다.
여기서, 상기 홈(240,280)이 형성된 영역에, 홈(240,280) 대신에 관통홀이 형성되어도 된다.
그리고, 제 1 지지판(100)과 대향하는 제 3 지지판(200)의 일부 영역과 상기 제 2 지지판(150)과 대향하는 제 4 지지판(250)의 일부 영역 모두에 홈 또는 관통 홀을 형성하고, 이 홈 또는 관통홀 내부에 삽입되어 장착되어 있는 영구자석과; 상기 영구자석과 대향하는 제 1과 2 지지판 영역에 형성된 코일을 더 구비하여 구성할 수 있다.
도 7은 도 5에 도시된 스캐닝부의 동작을 설명하기 위한 개략적인 단면도로서, 영구자석(190)과 대향하는 제 3 지지판(200) 영역에는 코일(220)이 형성되어 있다.
이렇게, 구성된 코일(220)에 전류를 흐르면, 플레밍의 왼손 법칙에 따라 코일(220)이 형성되어 있는 제 3 지지판(200)이 이동하게 된다.
즉, 도 8에 도시된 바와 같이, 코일(220)은 나선형 형상으로 형성되어 있고, 전류(i)가 나선형 내측의 화살표 방향으로 흐르게 하면, 플레밍의 왼손 법칙에 의해서 영구자석(190)의 N극(190a)과 S극(190b)의 자기장(B)에 의해 힘(F)의 방향이 결정된다.
그러므로, 코일(220)은 도 9의 화살표 방향으로 이동된다.
도 9a와 9b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치에 다른 스캐닝부가 형성되어 있는 상태의 단면도로서, 도 9a에 도시된 바와 같이, 제 3 지지판(200)을 X축으로 이동시키기 위한 스캐닝부로, 제 1 지지판(100) 상부면에 제 1 X축 구동전극(145a,145b)이 형성되어 있고, 제 3 지지판(200) 하부면에는 상기 제 1 X축 구동전극(145a,145b)과 대응되는 제 2 X축 구동전극(245a,245b)이 형성되어 있다.
그리고, 도 9b와 같이, 제 4 지지판(250)을 X축으로 이동시키기 위한 스캐닝 부로, 제 2 지지판(150) 하부면에 제 1 X축 구동전극(185a,185b)이 형성되어 있고, 제 4 지지판(250) 상부면에는 상기 제 1 X축 구동전극(185a,185b)과 대응되는 제 2 X축 구동전극(275a,275b)이 형성되어 있다.
도 10은 도 9a와 9b에 도시된 스캐닝부의 동작을 설명하기 위한 단면도로서, 이 스캐닝부는 두 전극 사이에서 전기장에 의한 인력을 이용하는 것이다.
여기서, 제 1 지지판(100) 상부면에 형성된 제 1 X축 구동전극(145a)의 중심축(P2)과 제 3 지지판(200) 하부면에 형성된 제 2 X축 구동전극(245a)의 중심축(P1)이 일치되지 않도록, 상기 제 1과 2 X축 구동전극(145a,245a)을 어긋나게 형성하는 것이다.
그리고, 상기 제 3 지지판(200)은 고정되어 있다.
이 때, 상기 제 1과 2 X축 구동전극(145a,245a)에 전압이 인가되면, 상기 제 1 X축 구동전극(145a)은 제 2 X축 구동전극(245a)과 전기장에 의한 평형상태에 도달하려고, 제 2 X축 구동전극(245a)으로 이동된다.
즉, 도 10에 도시된 바와 같이, 제 1 X축 구동전극(145a)의 중심점(P2)이 제 2 X축 구동전극(245a)의 중심점(P1)과 일치하려고 이동되어, 결국, 제 1 지지판(100)이 X방향으로 이동하는 것이다.
도 11은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치의 개략적인 단면도로서, 제 1 지지판(400) 상부면 및 하부면에 제 1과 2 기록매체(410,420)가 형성되어 있고, 제 1 지지판(400) 하부에는 제 2 지지판(500)이 위치되어 있고, 상기 제 2 지지판(500)의 상부에는 어레이된 캔틸레버들(510)이 형성되어 있고, 상 기 어레이된 캔틸레버들(510)은 상기 제 2 기록매체(420) 하부면에 접촉되어 있다.
또한, 상기 제 1 지지판(400) 상부에는 제 3 지지판(600)이 위치되어 있고, 상기 제 3 지지판(600)의 하부에는 어레이된 캔틸레버들(610)이 형성되어 있고, 상기 어레이된 캔틸레버들(610)은 상기 제 1 기록매체(410) 상부면에 접촉되어 있다.
이 때, 상기 캔틸레버들 각각은 선단에 탐침이 형성되어 있고, 이 탐침의 끝이 기록매체의 면에 접촉되는 것이다.
이와 같이, 상기 제 1 지지판(400) 상부면 및 하부면에 형성된 제 1과 2 기록매체(410,420) 각각에 어레이된 캔틸레버들이 접촉되어 정보의 기록 및 재생을 수행할 수 있는 것이다.
도 12는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치에 스캐닝부가 형성되어 있는 상태의 단면도로서, 상부면 및 하부면에 제 1과 2 기록매체(410,420)가 형성되어 있는 제 1 지지판(400)과; 상기 제 1 지지판(400) 하부에 위치되고, 상기 제 1 지지판(400)의 제 2 기록매체(420)에 접촉되어 정보의 기록 및 재생할 수 있는 어레이된 캔틸레버들(510)이 상부면에 형성된 제 2 지지판(500)과; 상기 제 1 지지판(400) 상부에 위치되고, 상기 제 1 지지판(400)의 제 1 기록매체(410)에 접촉되어 정보의 기록 및 재생할 수 있는 어레이된 캔틸레버들(610)이 하부면에 형성된 제 3 지지판(600)과; 상기 제 1 지지판(400)을 X축으로 이동시킬 수 있는 스캐닝부를 포함하여 구성된다.
상기 스캐닝부를 위하여, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치는 상기 제 2와 3 지지판(500,600)의 일부 영역에 관통홀(501,601)이 형성 되어 있으며, 상기 스캐닝부는 상기 관통홀(501,601) 내부 각각에 삽입되어 장착되어 있는 영구자석(590,690)과; 상기 영구자석(590,690)과 대향하는 제 1 지지판(400) 영역에 형성된 코일(461,462)로 구성된다.
여기서, 상기 관통홀(501,601) 대신에 홈을 형성하여도 된다.
더불어, 상기 제 1 지지판(400)은 X축으로 이동될 수 있으므로, 관통홀(441)이 형성된 가이드판(440)의 관통홀(441) 내측면에 스프링(430)에 의해 연결되어 있는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 제 2와 3 지지판(500,600) 각각은 제 1 지지판(400)에 접착제(701,702)로 본딩시켜 고정시키는 것이 바람직하다.
한편, 상기 제 2과 3 지지판(500,600)과 대향하는 제 1 지지판(400)의 일부 영역에 관통홀이 형성되어 있고, 상기 관통홀 내부에 삽입되어 장착되어 있는 영구자석과; 상기 영구자석과 대향하는 제 2과 3 지지판 영역(500,600)에 형성된 코일이 더 구비되어 있는 구성으로 정보 저장 장치를 구현할 수 있다.
이 경우, 상기 제 2과 3 지지판 영역(500,600)이 X축으로 이동될 수 있으므로, 상기 제 2과 3 지지판 영역(500,600) 각각은 관통홀(441)이 형성된 가이드판(440)의 관통홀(441) 내측면에 스프링(430)에 의해 연결되어 있는 것이 바람직하다.
도 13a와 13b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치에 다른 스캐닝부가 형성되어 있는 상태의 단면도로서, 먼저, 도 13a에 도시된 바와 같이, 제 1 지지판(400)을 X축으로 이동시키기 위한 스캐닝부로, 제 1 지지판(400) 상부면에 제 1 X축 구동전극(145a,145b)이 형성되어 있고, 제 2 지지판(500) 하부면에 상기 제 1 X축 구동전극(145a,145b)과 대응되는 제 2 X축 구동전극(545a,545b)이 형성되어 있다.
그리고, 도 13b와 같이, 제 1 지지판(400)을 X축으로 이동시키기 위한 스캐닝부로, 제 1 지지판(400) 상부면에 제 1 X축 구동전극(145a,145b)이 형성되어 있고, 제 3 지지판(600) 상부면에는 상기 제 1 X축 구동전극(145a,145b)과 대응되는 제 2 X축 구동전극(545a,545b)이 형성되어 있다.
도 14는 본 발명에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치에서 X축 방향으로 이동되기 위한 지지판의 개략적인 단면도로서, 지지판(800)은 관통홀(801)이 형성된 가이드판(810)의 관통홀(801) 내측면에 스프링(821,822)에 의해 연결되어 있다.
여기서, 상기 스프링(821,822)은 상기 지지판(800)이 X축으로 이동될 때, 수직 및 팽창할 수 있는 탄성력을 유지하고 있다.
그리고, 상기 지지판(800)은 도 14에서 A영역(830)에 어레이된 캔틸레버들 또는 기록매체가 형성되고, B영역(840)에 영구자석, 코일과 X축 구동전극 중 어느 하나가 형성된다.
이 때, 상기 지지판(800)이 X축으로 이동되기 위해서는 상기 가이드판(810)은 고정되어 있어야 한다.
도 15는 본 발명에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치에서 X축 및 Y축 방향으로 이동되기 위한 지지판의 개략적인 단면도로서, 도 14와 같이, 지지판(800)에는 어레이된 캔틸레버들 또는 기록매체가 형성되는 영역(830)이 있다.
그리고, X축으로 이동시키는 스캐닝부를 위한 영구자석, 코일과 X축 구동전극 중 어느 하나가 형성되는 영역(840)이 있고, 상기 지지판(800)은 관통홀(801)이 형성된 가이드판(810)의 관통홀(801) 내측면에 스프링(821,822)에 의해 연결되어 있다.
또한, Y축으로 이동시키는 스캐닝부를 위한 영구자석, 코일과 Y축 구동전극 중 어느 하나가 형성되는 영역(850)이 있고, 상기 가이드판(800)은 관통홀(801)이 형성된 고정판(900)의 관통홀(910) 내측면에 스프링(921,922)에 의해 연결되어 있다.
이렇게 구성하면, 상기 지지판(800)을 X축 및 Y축 방향으로 이동시킬 수 있게 된다.
도 16a와 16b는 본 발명에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치의 지지판에 구비된 스프링을 설명하기 위한 평면도로서, 도 16a에 도시된 바와 같이, 지지판(800)과 가이드판(810)에 연결되는 스프링은, 상기 가이드판(810)에 상호 이격되어 연결된 한 쌍의 1차 연결부들(841A1,821A2)와; 상기 1차 연결부들(821A1,821A2)에 연결된 2차 연결부(821B)와; 상기 2차 연결부(821B)와 지지판(800)을 연결하는 3차 연결부(821C)로 구성된다.
또한, 도 16b와 같이, 스프링은 상기 가이드판(810)의 관통홀(801) 내측면에 연결된 제 1 연결부(821A)와; 상기 제 1 연결부(821A)와 상기 지지판(800)에 연결된 제 2 연결부(821B)로 구성된다.
여기서, 상기 스프링은 상기 지지판(800)을 기준으로 상호 대칭적으로 상기 지지판(800)과 가이드판(810)에 각각 연결된 한 쌍의 스프링으로 구성하는 것이 바람직하다.
한편, 가이드판과 고정판에 연결되는 스프링도 도 16a와 16b와 같이 구성한다.
도 17은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치의 개략적인 단면도로서, 상부면 및 하부면에 제 1과 2 기록매체(410,420)가 형성되어 있는 제 1 지지판(400)과; 상기 제 1 지지판(400) 하부에 위치되고, 상기 제 1 지지판(400)의 제 2 기록매체(420)에 접촉되어 정보의 기록 및 재생할 수 있는 어레이된 캔틸레버들(510)이 상부면에 형성된 제 2 지지판(500)과; 상기 제 1 지지판(400) 상부에 위치되고, 상기 제 1 지지판(400)의 제 1 기록매체(410)에 접촉되어 정보의 기록 및 재생할 수 있는 어레이된 캔틸레버들(610)이 하부면에 형성된 제 3 지지판(600)과; 상기 제 1 지지판(400)을 X축으로 이동시킬 수 있는 스캐닝부를 포함하여 구성되며, 상기 스캐닝부를 위하여, 상기 제 2와 3 지지판(600)의 일부 영역에 관통홀(501,601)이 형성되어 있으며, 상기 제 2와 3 지지판(600)의 상기 관통홀(501,601) 각각의 내부에 삽입되어 장착되어 있는 영구자석(590,690)과; 상기 영구자석(590,690)과 대향하는 제 1 지지판(400) 상부면 및 하부면 영역에 형성된 코일(471,472)로 구성된다.
도 18은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치의 개략적인 단면도로서, 상부에 어레이된 캔틸레버들(1110)이 형성되어 있는 제 1 지지판(1100)과; 상기 제 1 지지판(1100)에 접합되어 있고, 하부에 어레이된 캔틸레버들 (1160)이 형성되어 있는 제 2 지지판(1150)과; 상기 제 1 지지판(1100) 상부에 위치되고, 하부면 및 상부면 각각에 기록매체(1210,1220)가 형성된 제 3 지지판(1200)과; 상기 제 3 지지판(1200) 상부에 위치되고, 하부에 어레이된 캔틸레버들(1310)이 형성되어 있는 제 4 지지판(1300)과; 상기 제 2 지지판(1150) 하부에 위치되고, 상부면 및 하부면 각각에 기록매체(1260,1270)가 형성된 제 5 지지판(1250)과; 상기 제 5 지지판(1250) 하부에 위치되고, 상부에 어레이된 캔틸레버들(1410)이 형성되어 있는 제 6 지지판(1400)으로 구성된다.
즉, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 장치는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 장치의 상부에 기록매체와 캔틸레버 어레이를 더 준비한 것으로, 보다 고밀도로 정보를 기록 및 재생할 수 있다.
또한, 상기 제 1 내지 6 지지판(1100,1150,1200,1300,1250,1400)이 도 18에 도시된 상태에서 더 연장된 영역을 구비하고 있고, 제 1과 2 지지판(1100,1150)의 연장된 일부 영역에 관통홀이 형성되어 있으며, 상기 관통홀 내부에 삽입되어 장착되어 있는 영구자석과; 상기 영구자석과 대향하는 제 3과 5 지지판(1200,1250) 영역에 형성된 코일이 더 구비되어 있으면, 제 3과 5 지지판(1200,1250)은 X방향으로 이동할 수 있게 된다.
물론, Y방향으로 이동할 수 있도록 구성할 수 있다.
그리고, 상기 제 1 지지판 상부면에 제 1 X축 구동전극이 더 형성되어 있고, 상기 제 3 지지판 하부면에 상기 제 1 X축 구동전극과 대응되는 제 2 X축 구동전극이 더 형성되어 있고, 상기 제 2 지지판 하부면에 제 1 X축 구동전극이 더 형성되 어 있고, 상기 제 5 지지판 상부면에 상기 제 1 X축 구동전극과 대응되는 제 2 X축 구동전극이 더 형성되어 있으면, 상기 제 3과 5 지지판(1200,1250)은 X방향으로 이동할 수 있게 된다.
그리고, 본 발명의 제 4 실시예에서도 전술된 스캐닝부과 스프링이 포함되는 것이고, 접착제로 패키징하는 것도 포함된다.
도 19a 내지 19c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치를 제조하기 위한 개략적인 단면도로서, 먼저, 상부에 어레이된 캔틸레버들(110)이 형성되어 있는 제 1 지지판(100)과 하부에 어레이된 캔틸레버들(160)이 형성되어 있는 제 2 지지판(150)을 접합한다.(도 19a)
그 후, 상기 제 2 지지판(150) 하부에, 기록매체(260)가 상부면에 형성되어 있는 제 4 지지판(260)을 위치시킨 후, 상기 제 2와 4 지지판(150,260)을 접착제(292)로 접합한다.(도 19b)
마지막으로, 상기 제 1 지지판(100) 상부에, 기록매체(210)가 하부면에 형성되어 있는 제 3 지지판(200)을 위치시킨 후, 상기 제 1과 3 지지판(100,200)을 접착제(291)로 접합한다.(도 19c)
여기서, 상기 제 1과 2 지지판(100,150)을 이동시키거나, 제 3과 4 지지판(200,260)을 이동시킬 수 있도록 하는 스캐너부 및 이를 위한 스프링과 같은 구조가 상기 제 1과 2 지지판(100,150) 또는, 제 3과 4 지지판(200,260)에 더 구비될 수 있다.
도 20a 내지 20c는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장 치를 제조하기 위한 개략적인 단면도로서, 도 20a에 도시된 바와 같이, 제 1 지지판(400) 상부면 및 하부면에 기록매체(410,420)를 형성한다.
그 다음, 상기 제 1 지지판(400) 하부에, 어레이된 캔틸레버들(510)이 상부에 형성되어 있는 제 2 지지판(500)을 위치시킨 후, 상기 제 1과 2 지지판(400,500)을 접착제(702)로 접합한다.(도 20b)
마지막으로, 상기 제 1 지지판(400) 상부에, 어레이된 캔틸레버들(610)이 하부에 형성되어 있는 제 3 지지판(600)을 위치시킨 후, 상기 제 1과 3 지지판(400,600)을 접착제(701)로 접합한다.(도 20c)
그러므로, 본 발명에 따른 고밀도 SPM 정보 저장 장치를 제조 방법은 하나의 지지판 면적에서 상, 하부로 정보의 기록 및 재생을 수행할 수 있으므로, 그 효율을 2배로 증가시킬 수 있는 것이다.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명은 어레이된 캔틸레버들이 각각 형성된 2개의 지지판을 접착하여 하나의 지지판 면적에서 정보의 기록 및 재생 효율을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 기록매체가 상,하부에 형성된 지지판을 이용하여 하나의 지지판 면적에서 정보의 기록 및 재생 효율을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.
더불어, 본 발명은 하나의 지지판 면적에서 상, 하부로 정보의 기록 및 재생 시킬 수 있도록 스캐닝부를 장치의 구조물에 적합하게 장착함으로써, 기록매체 및 어레이된 캔틸레버를 원활하게 이동시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (37)

  1. 어레이된 캔틸레버들이 상부에 형성되어 있는 제 1 지지판과;
    상기 제 1 지지판에 접합되어 있고, 어레이된 캔틸레버들이 하부에 형성되어 있는 제 2 지지판과;
    상기 제 1 지지판 상부에 위치되고, 상기 제 1 지지판에 어레이된 캔틸레버들이 접촉되어 정보의 기록 및 재생할 수 있는 기록매체가 하부면에 형성되어 있는 제 3 지지판과;
    상기 제 2 지지판 하부에 위치되고, 상기 제 2 지지판에 어레이된 캔틸레버들이 접촉되어 정보의 기록 및 재생할 수 있는 기록매체가 상부면에 형성되어 있는 제 4 지지판을 포함하여 구성된 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1과 2 지지판 또는 제 3과 4 지지판을 X축으로 이동시킬 수 있는 스캐닝부를 더 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1과 2 지지판 또는 제 3과 4 지지판을 Y축으로 이동시킬 수 있는 스 캐닝부를 더 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1과 2 지지판 또는 제 3과 4 지지판 각각은,
    관통홀이 형성된 가이드판의 관통홀 내측면에 스프링에 의해 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 가이드판은,
    관통홀이 형성된 고정판의 관통홀 내측면에 스프링에 의해 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  6. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 스캐닝부는,
    정전기력에 의한 구동, 압전소자에 의한 구동과 전자기력에 의한 구동 중 어느 하나에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1과 2 지지판의 일부 영역에 관통홀이 형성되어 있으며,
    상기 관통홀 내부에 삽입되어 장착되어 있는 영구자석과; 상기 영구자석과 대향하는 제 3 지지판 영역, 제 4 지지판 영역과 제 3 및 4 지지판 모두 영역 중 어느 하나에 형성된 코일이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 지지판과 대향하는 제 3 지지판의 일부 영역에 홈이 형성되어 있으며,
    상기 홈 내부에 삽입되어 장착되어 있는 영구자석과; 상기 영구자석과 대향하는 제 1 지지판 영역에 형성된 코일이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 지지판과 대향하는 제 4 지지판의 일부 영역에 홈 또는 관통홀이 형성되어 있으며,
    상기 홈 또는 관통홀 내부에 삽입되어 장착되어 있는 영구자석과; 상기 영구자석과 대향하는 제 2 지지판 영역에 형성된 코일이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 지지판과 대향하는 제 3 지지판의 일부 영역에 홈 또는 관통홀이 형성되어 있고,
    상기 제 2 지지판과 대향하는 제 4 지지판의 일부 영역에 홈 또는 관통홀이 형성되어 있으며,
    상기 홈 또는 관통홀 내부에 삽입되어 장착되어 있는 영구자석과; 상기 영구자석과 대향하는 제 1과 2 지지판 영역에 형성된 코일이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 지지판 상부면에 제 1 X축 구동전극이 더 형성되어 있고,
    상기 제 3 지지판 하부면에 상기 제 1 X축 구동전극과 대응되는 제 2 X축 구동전극이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 지지판 하부면에 제 1 X축 구동전극이 더 형성되어 있고,
    상기 제 4 지지판 상부면에 상기 제 1 X축 구동전극과 대응되는 제 2 X축 구동전극이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  13. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    상기 제 1 X축 구동전극의 중심점과 상기 제 2 X축 구동전극의 중심점은 어긋나 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  14. 제 7 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 3과 4 지지판 각각은,
    관통홀이 형성된 가이드판의 관통홀 내측면에 스프링에 의해 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 스프링은,
    상기 가이드판에 상호 이격되어 연결된 한 쌍의 1차 연결부들와;
    상기 1차 연결부들에 연결된 2차 연결부와;
    상기 2차 연결부와 지지판을 연결하는 3차 연결부로 구성된 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 스프링은,
    상기 가이드판의 관통홀 내측면에 연결된 제 1 연결부와;
    상기 제 1 연결부와 상기 지지판에 연결된 제 2 연결부로 구성된 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  17. 제 14 항에 있어서,
    상기 스프링은,
    상기 지지판을 기준으로 상호 대칭적으로 상기 지지판과 가이드판에 각각 연결된 한 쌍의 스프링인 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  18. 상부면 및 하부면에 제 1과 2 기록매체가 형성되어 있는 제 1 지지판과;
    상기 제 1 지지판 하부에 위치되고, 상기 제 1 지지판의 제 2 기록매체에 접촉되어 정보의 기록 및 재생할 수 있는 어레이된 캔틸레버들이 상부면에 형성된 제 2 지지판과;
    상기 제 1 지지판 상부에 위치되고, 상기 제 1 지지판의 제 1 기록매체에 접촉되어 정보의 기록 및 재생할 수 있는 어레이된 캔틸레버들이 하부면에 형성된 제 3 지지판을 포함하여 구성된 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 1 지지판 또는 제 2와 3 지지판을 X축으로 이동시킬 수 있는 스캐닝부를 더 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 제 1 지지판 또는 제 2과 3 지지판을 Y축으로 이동시킬 수 있는 스캐닝부를 더 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  21. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 1 지지판 또는 제 2와 3 지지판 각각은,
    관통홀이 형성된 가이드판의 관통홀 내측면에 스프링에 의해 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 가이드판은,
    관통홀이 형성된 고정판의 관통홀 내측면에 스프링에 의해 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 스프링은,
    상기 가이드판에 상호 이격되어 연결된 한 쌍의 1차 연결부들와;
    상기 1차 연결부들에 연결된 2차 연결부와;
    상기 2차 연결부와 지지판을 연결하는 3차 연결부로 구성된 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  24. 제 22 항에 있어서,
    상기 스프링은,
    상기 가이드판의 관통홀 내측면에 연결된 제 1 연결부와;
    상기 제 1 연결부와 상기 지지판에 연결된 제 2 연결부로 구성된 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  25. 제 23 항 또는 제 24 항에 있어서,
    상기 스프링은,
    상기 지지판을 기준으로 상호 대칭적으로 상기 지지판과 가이드판에 각각 연결된 한 쌍의 스프링인 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  26. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 1 지지판의 일부 영역에 관통홀이 형성되어 있으며,
    상기 관통홀 내부에 삽입되어 장착되어 있는 영구자석과; 상기 영구자석과 대향하는 제 2 지지판 영역과 제 3 지지판 영역에 형성된 코일이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  27. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 1 지지판과 대향하는 제 2와 3 지지판의 일부 영역 각각에 홈 또는 관통홀이 형성되어 있고,
    상기 홈 또는 관통홀 내부에 삽입되어 장착되어 있는 영구자석과; 상기 영구자석과 대향하는 제 1 지지판 영역에 형성된 코일이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  28. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 1 지지판 하부면에 제 1 X축 구동전극이 더 형성되어 있고,
    상기 제 2 지지판 상부면에 상기 제 1 X축 구동전극과 대응되는 제 2 X축 구동전극이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  29. 제 18 항에 있어서,
    상기 제 1 지지판 상부면에 제 1 X축 구동전극이 더 형성되어 있고,
    상기 제 3 지지판 하부면에 상기 제 1 X축 구동전극과 대응되는 제 2 X축 구동전극이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  30. 제 28 항 또는 제 29 항에 있어서,
    상기 제 1 X축 구동전극의 중심점과 상기 제 2 X축 구동전극의 중심점은 어 긋나 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  31. 어레이된 캔틸레버들이 상부에 형성되어 있는 제 1 지지판과;
    상기 제 1 지지판에 접합되어 있고, 어레이된 캔틸레버들이 하부에 형성되어 있는 제 2 지지판과;
    상기 제 1 지지판 상부에 위치되고, 하부면 및 상부면 각각에 기록매체가 형성된 제 3 지지판과;
    상기 제 3 지지판 상부에 위치되고, 어레이된 캔틸레버들이 하부에 형성되어 있는 제 4 지지판과;
    상기 제 2 지지판 하부에 위치되고, 상부면 및 하부면 각각에 기록매체가 형성된 제 5 지지판과;
    상기 제 5 지지판 하부에 위치되고, 어레이된 캔틸레버들이 상부에 형성되어 있는 제 6 지지판으로 구성된 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  32. 제 31 항에 있어서,
    상기 제 1과 2 지지판의 일부 영역에 관통홀이 형성되어 있으며,
    상기 관통홀 내부에 삽입되어 장착되어 있는 영구자석과; 상기 영구자석과 대향하는 제 3과 5 지지판 영역에 형성된 코일이 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  33. 제 31 항에 있어서,
    상기 제 1 지지판 상부면에 제 1 X축 구동전극이 더 형성되어 있고,
    상기 제 3 지지판 하부면에 상기 제 1 X축 구동전극과 대응되는 제 2 X축 구동전극이 더 형성되어 있고,
    상기 제 2 지지판 하부면에 제 1 X축 구동전극이 더 형성되어 있고,
    상기 제 5 지지판 상부면에 상기 제 1 X축 구동전극과 대응되는 제 2 X축 구동전극이 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치.
  34. 어레이된 캔틸레버들이 상부에 형성되어 있는 제 1 지지판과 어레이된 캔틸레버들이 하부에 형성되어 있는 제 2 지지판을 접합하는 단계와;
    상기 제 2 지지판 하부에, 기록매체가 상부면에 형성되어 있는 제 4 지지판을 위치시킨 후, 상기 제 2와 4 지지판을 접착제로 접합하는 단계와;
    상기 제 1 지지판 상부에, 기록매체가 하부면에 형성되어 있는 제 3 지지판을 위치시킨 후, 상기 제 1과 3 지지판을 접착제로 접합하는 단계를 포함하여 구성된 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치의 제조 방법.
  35. 제 34 항에 있어서,
    상기 제 1과 2 지지판 또는 제 3과 4 지지판 각각은,
    관통홀이 형성된 가이드판의 관통홀 내측면에 스프링에 의해 연결되어 있고,
    상기 가이드판은,
    관통홀이 형성된 고정판의 관통홀 내측면에 스프링에 의해 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치의 제조 방법.
  36. 제 1 지지판 상부면 및 하부면에 기록매체를 형성하는 단계와;
    상기 제 1 지지판 하부에, 어레이된 캔틸레버들이 상부에 형성되어 있는 제 2 지지판을 위치시킨 후, 상기 제 1과 2 지지판을 접착제로 접합하는 단계와;
    상기 제 1 지지판 상부에, 어레이된 캔틸레버들이 하부에 형성되어 있는 제 3 지지판을 위치시킨 후, 상기 제 1과 3 지지판을 접착제로 접합하는 단계를 포함하여 구성된 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치의 제조 방법.
  37. 제 36 항에 있어서,
    상기 제 1 지지판 또는 제 2와 3 지지판 각각은,
    관통홀이 형성된 가이드판의 관통홀 내측면에 스프링에 의해 연결되어 있고,
    상기 가이드판은,
    관통홀이 형성된 고정판의 관통홀 내측면에 스프링에 의해 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치의 제조 방법.
KR1020050126076A 2005-12-20 2005-12-20 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치 및 그의 제조 방법 KR100644542B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050126076A KR100644542B1 (ko) 2005-12-20 2005-12-20 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치 및 그의 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050126076A KR100644542B1 (ko) 2005-12-20 2005-12-20 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치 및 그의 제조 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100644542B1 true KR100644542B1 (ko) 2006-11-10

Family

ID=37654276

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050126076A KR100644542B1 (ko) 2005-12-20 2005-12-20 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치 및 그의 제조 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100644542B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020000708A (ko) * 2000-06-26 2002-01-05 윤종용 초소형 정보저장기기용 ｘ-ｙ 스테이지 전자 구동 장치 및그 코일 제작 방법
JP2002208192A (ja) 2001-01-05 2002-07-26 Canon Inc 記録再生装置及び記録再生方法
KR20040024332A (ko) * 2002-09-13 2004-03-20 엘지전자 주식회사 나노 정보 저장 장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020000708A (ko) * 2000-06-26 2002-01-05 윤종용 초소형 정보저장기기용 ｘ-ｙ 스테이지 전자 구동 장치 및그 코일 제작 방법
JP2002208192A (ja) 2001-01-05 2002-07-26 Canon Inc 記録再生装置及び記録再生方法
KR20040024332A (ko) * 2002-09-13 2004-03-20 엘지전자 주식회사 나노 정보 저장 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6459088B1 (en) Drive stage and scanning probe microscope and information recording/reproducing apparatus using the same
EP0783662B1 (en) Fine positioning apparatus with atomic resolution
JP2007184074A (ja) マイクロアクチュエータ及びそれを採用した情報記録装置
US20080001075A1 (en) Memory stage for a probe storage device
US6001519A (en) High molecular weight information recording medium and related data writing method
US7924692B2 (en) Actuator assembly providing two-dimensional movement of a moveable element in a data storage device
CN100562674C (zh) 用于降低制品对机械振动的敏感性的设备
JP4194151B2 (ja) 駆動ステージ、走査型プローブ顕微鏡、加工装置
JP4435188B2 (ja) ロッキング装置を具備したｘ−ｙステージ駆動装置及び該装置を採用した情報保存機器
KR100644542B1 (ko) 고밀도 에스피엠 정보 저장 장치 및 그의 제조 방법
KR100623028B1 (ko) 정전기력 ｚ－축 구동장치가 집적된 압전 센서 스캐닝프루브 마이크로스코프나노정보저장장치의 헤더
US20070165512A1 (en) Information Processing Apparatus
JPWO2007114355A1 (ja) プローブを用いた情報記憶装置
CN1329897C (zh) 用于移动光学记录/再现设备的致动器
JP4988858B2 (ja) 光ピックアップ・アクチュエータ
Yang et al. Probe recording technology using novel MEMS devices
KR100331444B1 (ko) 강유전체 박막을 이용한 초고밀도 정보 저장 장치
JP2006018880A (ja) マルチプローブストレージ装置
KR100387243B1 (ko) 초소형 정보저장기기용 ｘ-ｙ 스테이지 전자 구동 장치 및그 코일 제작 방법
JP3023728B2 (ja) プローブ構造体、記録装置、情報検出装置、再生装置及び記録再生装置
Yang MEMS-based probe recording technology
KR20080017766A (ko) 마이크로 스캐너
KR100644798B1 (ko) 저전력 탐침형 정보저장장치용 구동기
KR100695165B1 (ko) 마이크로 기어를 구비한 정보저장장치
KR20020038845A (ko) 틸팅 구동이 가능한 액츄에이터의 지지구조

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee