JP2007184074A - マイクロアクチュエータ及びそれを採用した情報記録装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持部と、支持部により弾力的に支持されるものであって、被駆動体が搭載される搭載面を有し、相互隣接して配置される複数のステージと、複数のステージの間に設けられるものであって、隣接するステージのそれぞれにその両端が連結されて、一つのステージが移動するとき、それに隣接する他のステージが一つのステージの移動方向と逆方向に移動するように力を加える複数のレバーと、ステージのそれぞれに駆動力を提供する駆動部と、を備えることを特徴とするマイクロアクチュエータである。
【選択図】図2
Description
50 レバー
52 作動部
54 ヒンジ部
56 固定部
320 フレーム
330 スチフナ
330a 第1領域
330b 第2領域
332 第1連結部
334 第2連結部
336 第3連結部
338 第4連結部
340、350 弾性ビーム
Claims (14)
- 支持部と、
前記支持部により弾力的に支持されるものであって、被駆動体が搭載される搭載面を有し、相互隣接して配置される複数のステージと、
前記複数のステージの間に設けられるものであって、隣接するステージのそれぞれにその両端が連結されて、一つのステージが移動するとき、それに隣接する他のステージが、前記一つのステージの移動方向と逆方向に移動するように力を加える複数のレバーと、
前記ステージのそれぞれに駆動力を提供する駆動部と、を備えることを特徴とするマイクロアクチュエータ。 - 前記レバーのそれぞれは、
前記支持部に設置された固定部と、
前記隣接するステージと対向する側面のそれぞれに両端が連結された作動部と、
前記固定部と前記作動部との間に介在されて前記作動部を回動支持するヒンジ部と、を備えることを特徴とする請求項1に記載のマイクロアクチュエータ。 - 前記固定部は、前記支持部に離隔設置された二の部分つからなり、
前記ヒンジ部は、その屈曲点が前記作動部の中心部に連結され、前記二つの固定部に連結された‘V’字状の構造を有することを特徴とする請求項2に記載のマイクロアクチュエータ。 - 前記作動部の両端のそれぞれと前記ステージとの間に配置されて、前記作動部と前記ステージとを弾性的に連結する連結ビームをさらに備えることを特徴とする請求項2に記載のマイクロアクチュエータ。
- 前記支持部は、
ベースと、
前記ベース上に配置されたものであって、前記複数のステージ全体の外側部を取り囲むフレームと、
前記フレームと前記各ステージとの間に設けられて、前記ステージを弾性支持する弾性ビームと、を備えることを特徴とする請求項1に記載のマイクロアクチュエータ。 - 前記駆動部は、
前記ステージのそれぞれに形成されるコイルと、
前記コイルのそれぞれに対向する位置に配置された複数の永久磁石と、を備えることを特徴とする請求項1ないし請求項5のうちいずれか1項に記載のマイクロアクチュエータ。 - 前記コイルは、前記ステージの搭載面の裏面に位置することを特徴とする請求項6に記載のマイクロアクチュエータ。
- 前記複数のステージは、第1方向及びそれと直交する第2方向に2×2の形態に配置される四つのステージであることを特徴とする請求項1ないし請求項4のうちいずれか1項に記載のマイクロアクチュエータ。
- 前記支持部は、
ベースと、
前記ベース上に配置されたものであって、前記複数のステージ全体の外側部を取り囲むフレームと、
前記フレームと前記それぞれのステージとの間に位置し、前記第1方向と平行な第1領域及び前記第2方向と平行な第2領域からなるスチフナと、
前記第2領域とそれに対向する前記ステージの一側面との間に連結され、前記第1方向に弾性変形される第1弾性ビームと、
前記第1領域とそれに対向する前記フレームの内側面との間に連結され、前記第2方向に弾性変形される第2弾性ビームと、を備えることを特徴とする請求項8に記載のマイクロアクチュエータ。 - 前記駆動部は、
前記ステージのそれぞれに形成されるコイルと、
前記コイルのそれぞれと対向する位置に配置された複数の永久磁石と、を備えることを特徴とする請求項8に記載のマイクロアクチュエータ。 - 前記コイルは、
前記ステージのそれぞれに前記第1方向に運動力を提供できるように配置された第1コイルと、
前記第2方向に運動力を提供できるように配置された第2コイルとからなることを特徴とする請求項10に記載のマイクロアクチュエータ。 - 前記コイルは、前記ステージの搭載面の裏面に位置することを特徴とする請求項10に記載のマイクロアクチュエータ。
- 情報が保存されるメディアと、
前記メディアが搭載される請求項8に記載のマイクロアクチュエータと、
前記メディアに/から情報を記録/再生するために前記メディアの上部に配置されたカンチレバーチップアレイと、を備えることを特徴とする情報記録装置。 - 前記駆動部は、
前記ステージのそれぞれの搭載面の裏面に形成されるコイルと、
前記コイルのそれぞれと対向する位置に配置された複数の永久磁石と、を備えることを特徴とする請求項13に記載の情報記録装置。
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