KR100638827B1 - Led용 굴절률 매칭층의 형성 방법 및 이를 이용하여제조된 발광장치 - Google Patents

Led용 굴절률 매칭층의 형성 방법 및 이를 이용하여제조된 발광장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 나노 기공이 형성된 LED용 굴절률 매칭층의 형성 방법 및 이를 이용하여 제조된 발광소자에 관한 것이다. 본 발명은, 유기금속 화합물을 이용하여 제조된 솔(sol)에 포로겐(porogen)을 혼합하는 단계; 상기 포로겐이 혼합된 솔을 LED의 광출사면에 코팅하여 겔(gel)화시키는 단계; 상기 코팅된 겔을 건조하는 단계; 및 상기 건조된 겔을 열처리하여 유리화 시키고, 상기 겔에 포함된 포로겐을 제거함으로써 상기 포로겐이 위치한 영역에 나노 기공을 형성하는 단계를 포함하는 LED용 굴절률 매칭층의 형성 방법을 제공한다.
LED, 굴절률, 매칭, 포로겐, 솔-겔, 나노 기공, 내부 전반사

Description

LED용 굴절률 매칭층의 형성 방법 및 이를 이용하여 제조된 발광장치{METHOD OF FORMING REFRACTION INDEX MATCHING LAYER FOR LED AND LIGHT EMITTING DEVICE MENUFACTURED BY THE METHOD}
도 1은 본 발명의 일실시형태에 따른 LED용 굴절률 매칭층의 형성 방법을 도시한 플로우 차트이다.
도 2는 본 발명의 일실시형태에 따른 나노 기공을 갖는 다층 구조의 LED용 굴절률 매칭층의 단면도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
11 : 광출사면 12 : 굴절률 매칭층
13 : 나노 기공
본 발명은 발광 다이오드(Light Emitting Diode: LED, 이하 LED라 함)용 굴절률 매칭층의 형성 방법 및 이를 이용하여 제조된 발광장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 솔-겔(sol-gel) 공정을 이용하여, 포로겐(porogen)을 포함하는 솔을 마련하고 이 포로겐 함유 솔을 LED의 광출사면에 코팅하여 열처리 함으로써 LED의 광출사면에 나노기공을 갖는 굴절률 매칭막을 형성하는 LED용 굴절률 매칭층의 형성 방법 및 이를 이용하여 제조된 굴절률 매칭층을 갖는 발광장치에 관한 것이다.
최근에, 공해를 유발시키는 물질을 포함하지 않는 친환경성 광원으로 LED(Light Emitting Diode)가 주목받고 있다. 이와 같은 LED는 액정 표시장치의 후면 광원, 총천연색 전광판, 일반 조명 분야 등 산업 전반의 다양한 분야에 적용범위를 넓혀가고 있다.
상기 LED는 내부 양자 효율에 비해 LED 소자의 외부로 방출되는 빛이 적어 외부 양자 효율이 떨어지는 단점이 있다. 다시 말하면, LED 소자의 내부의 다중 양자 우물 구조에서 발생되는 빛이, 서로 다른 굴절률을 갖는 다층 구조의 경계면을 지나면서 내부 전반사가 발생함으로써 내부에서 소멸되는 단점을 갖는다. 특히, LED 소자를 이루는 소재와 대기는 굴절률 차이가 매우 크므로, LED 칩과 대기의 경계면에서 실제로 빛이 추출될 수 있는 입사각이 매우 한정적이된다. 예를 들어, 청색 등의 빛을 발광하는 질화물계 LED에서, LED를 구성하는 질화물인 GaN의 경우 그 굴절률이 약 2.4이므로 대기의 굴절률(대기의 굴절률은 1)에 비해 매우 크기 때문에, 내부 전반사가 매우 많이 발생하게 된다. 이와 같은 문제를 해결하기 위해, 높은 굴절률을 갖는 LED와 대기 사이에 굴절률 차이를 어느 정도 감소시킬 수 있는 굴절률 매칭이 필요하다.
종래에 LED와 대기 사이의 굴절률을 매칭하기 위한 방법으로는, LED를 몰딩하는데 사용되는 폴리머 등에 굴절률이 비교적 높은 산화물 분말을 균일하게 분산시키는 시도가 있었다. 즉, 종래 기술은, LED를 몰딩하는 폴리머의 굴절률을 적절하게 조절하여 LED로부터 방출되는 빛의 외부 추출효율을 증가시키는 기술이다.
이와 같은 종래의 굴절률 매칭 기술은, 굴절률 매칭을 위해 사용할 수 있는 산화물 분말의 종류와 크기에 많은 제약을 받으며 균일한 굴절률 값을 얻기 위해서 산화물과 폴리머의 비 변화가 넓지 못하여 굴절률의 변화폭이 크지 않다는 문제점이 있다. 특히, LED와 대기의 굴절률의 차이가 큰 경우 연속적인 굴절률 변화를 이룰 수 없으므로 굴절률 매칭을 통한 빛의 외부 추출효율이 크지 않은 문제점이 있다.
본 발명은 상기 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은, 비교적 높은 굴절률을 갖는 세라믹 박막의 형성을 위해 유기금속 화합물을 이용하여 솔을 형성하고 상기 졸에 포로겐을 혼합한 후, LED의 광출사면에 상기 포로겐을 혼합한 솔을 코팅하고 고온에서 열처리하여 상기 포로겐을 제거하여 나노 기공을 형성함으로써 굴절률 제어가 용이하고 연속적으로 변경되는 굴절률을 갖는 LED용 굴절률 매칭층의 제조방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 상기 LED용 굴절률 매칭층의 제조방법에 의해 제조된 발광장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 기술적 구성으로서 본 발명은,
유기금속 화합물을 이용하여 제조된 솔(sol)에 포로겐(porogen)을 혼합하는 단계;
상기 포로겐이 혼합된 솔을 LED의 광출사면에 코팅하여 겔(gel)화시키는 단계;
상기 코팅된 겔을 건조하는 단계; 및
상기 건조된 겔을 열처리하여 유리화 시키고, 상기 겔에 포함된 포로겐을 제거함으로써 상기 포로겐이 위치한 영역에 나노 기공을 형성하는 단계를 포함하는 LED용 굴절률 매칭층의 형성 방법을 제공한다.
바람직하게, 상기 유기금속 화합물은, Ti계 산화물 또는 Si계 산화물로 이루어질 수 있다.
바람직하게, 상기 포로겐은, 폴리 카프로락톤(poly caprolactone), 폴리 노보닌(poly norbornene), 세틸트리메틸라모늄 브로마이드(cetyltrimethylammonium bromide), 폴리 에틸렌 옥사이드-비-프로필렌 옥사이드-비-에틸렌 옥사이드(poly ethylene oxide-b-propylene oxide-b-ethylene oxide) 및 사이클로덱스트린 (cyclodextrin)계 화합물으로 구성된 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함할 수 있다.
바람직하게, 상기 포로겐이 혼합된 솔을 LED의 광출사면에 코팅하여 겔화시키는 단계는, 스핀 코팅법을 이용하여 상기 포로겐이 혼합된 솔을 LED의 광출사면에 코팅하여 겔화시키는 단계이다.
본 발명의 바람직한 실시형태에서, 상기 코팅된 겔을 건조하는 단계 이후에, 상기 건조된 겔 상에 포로겐이 혼합된 솔을 추가적으로 코팅하여 겔화시킨 후 상기 추가적으로 코팅된 겔을 건조하는 단계를 적어도 1회 이상 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 포로겐은, 보다 이 후에 코팅되는 솔에 더 다량으로 혼합되는 것이 바람직하다.
본 발명의 일실시형태에서, 상기 나노 기공을 형성하는 단계는, 상기 건조된 겔으로부터 불순물을 제거하기 위해 저온 열처리하는 단계; 및 상기 저온 열처리하는 단계보다 높은 온도로 저온 열처리된 겔을 고온 열처리함으로써 겔을 유리화하고 나노 기공을 형성하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
이 실시형태에서, 상기 코팅된 겔을 건조하는 단계 이후에, 상기 저온 열처리된 겔 상에 포로겐이 혼합된 솔을 추가적으로 코팅하여 겔화시키고 상기 추가적으로 코팅된 겔을 건조한 후 저온 열처리하는 단계를 적어도 1회 이상 더 포함하는 것이 바람직하다. 이 때 상기 포로겐은, 보다 이 후에 코팅되는 솔에 더 다량으로 포함되는 것이 바람직하다.
본 발명은, 전술한 본 발명에 따른 LED용 굴절률 매칭층의 제조방법을 이용하여 제조된 발광 장치도 제공한다.
본 발명에 따른 발광장치는, LED; 및 상기 LED의 광출사면에 다층구조로 형성되며, 내부에 다량의 나노 기공을 함유한 복수의 굴절률 매칭층을 포함한다. 상기 복수의 굴절률 매칭층은 상기 LED의 광출사면에서 멀리 위치할수록 더 많은 나노기공을 함유하는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 보다 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명되는 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시형태는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에 도시된 구성요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면 상에서 실질적으로 동일한 구성과 기능을 가진 구성요소들은 동일한 참조부호를 사용할 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시형태에 따른 굴절률 매칭층의 형성 방법을 도시한 플로우 차트이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시형태에 따른 굴절률 매칭층의 형성 방법은, 유기금속 화합물을 이용하여 제조된 솔(sol)에 포로겐(porogen)을 혼합하는 단계(S1); 상기 포로겐이 혼합된 솔을 LED의 광출사면에 코팅하여 겔(gel)화시키는 단계(S2); 상기 코팅된 겔을 건조하는 단계(S3); 및 상기 건조된 겔을 열처리하여 유리화 시키고, 상기 겔에 포함된 포로겐을 제거함으로써 상기 포로겐이 위치한 영역에 나노 기공을 형성하는 단계(S4)를 포함하는 LED용 굴절률 매칭층의 형성 방법을 제공한다.
먼저, 단계(S1)에서 유기금속 화합물을 이용하여 제조된 솔(sol)에 포로겐(porogen)을 혼합한다. 상기 솔은 유기금속 화합물 분말, 탈이온수 및 기타 첨가제를 이용하여 제조될 수 있다. 상기 유기금속 화합물은, Ti계 산화물 또는 Si계 산화물을 포함할 수 있다. 본 발명에서는 비교적 높은 굴절률(약 2.4)을 갖는 굴절률 매칭막을 제작할 수 있는 Ti계 산화물을 이용하는 것이 바람직하다. 상기 포로겐을 함유한 솔은 이후 유리화되면서 그 내부에 나노 기공을 함유하게되며, 이 나노 기공에 의해 굴절률이 감소하게 되므로, 이는 약 2.4의 굴절률을 갖는 GaN계 반도체 물질을 이용하여 제작된 다이오드의 굴절률 매칭을 위해서는 높은 굴절률을 갖는 것이 적합하기 때문이다.
또한, 상기 포로겐(porogen)은 나노 크기의 입자로서 이후 열처리 공정을 통해 제거되면서 해당 영역에 나노 기공을 형성하게 된다. 이와 같이 나노 기공을 형성 하기에 적합한 포로겐으로, 폴리 카프로락톤(poly caprolactone), 폴리 노보닌 (poly norbornene), 세틸트리메틸라모늄 브로마이드(cetyltrimethylammonium bromide), 폴리 에틸렌 옥사이드-비-프로필렌 옥사이드-비-에틸렌 옥사이드(poly ethylene oxide-b-propylene oxide-b-ethylene oxide) 및 사이클로덱스트린(cyclodextrin)계 화합물으로 구성된 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하는 포로겐이 이용될 수 있다.
예를 들어, Ti계 산화물을 이용하여 제조된 솔과 사이클로덱스트린계 화합물 중 하나인 헵타키스(2,3,6-트리-오-메틸)-베타-사이클로덱스트린(heptakis(2,3,6-tri-O-methyl)-β-cyclodextrin)을 프로필린 그리콜 메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol methyl ether acetate)에 녹여서 상기 솔과 혼합함으로써, 포로겐이 혼합된 솔을 제조할 수 있다.
다음으로, 단계(S2)에서, 상기 포로겐이 혼합된 솔을 LED의 광출사면에 코팅하여 겔(gel)화시킨다. 상기 포로겐이 혼합된 솔은 스핀 코팅법으로 상기 LED의 광출사면에 코팅되는 것이 바람직하다. 상기 솔은 LED의 광출사면에 코팅된 후 겔화된다.
다음으로, 단계(S3)에서, 상기 코팅된 겔을 건조시킨다. 이 건조 단계는 소정의 온도를 일정하게 유지하는 건조기 등을 이용하여 이루어질 수 있다.
다음으로, 단계(S4)에서, 상기 건조된 겔을 열처리하여 유리화 시키고, 상기 겔에 포함된 포로겐을 제거함으로써 상기 포로겐이 위치한 영역에 나노 기공을 형성한다. 상기 열처리는 두 개의 단계로 이루어질 수 있다. 상기 열처리 단계는, 상기 건조된 겔으로부터 불순물을 제거하기 위해 저온 열처리하는 단계 및 상기 저온 열처리하는 단계보다 높은 온도로 저온 열처리된 겔을 고온 열처리함으로써 겔을 유리화하고 나노 기공을 형성하는 단계로 이루어질 수 있다.
상기 저온 열처리 단계는, 상기 건조 단계를 거친 겔을 열처리 장치 등에 넣고 400 내지 500℃의 온도로 열처리 함으로써 상기 젤 내의 잔류 수분 및 결합제 등의 유기물을 분해하며 금속성 불순물과 수산화기(OH) 등을 제거하는 단계이다.
다음으로 고온 열처리 단계는, 상기 저온 열처리하는 단계보다 높은 온도로 저온 열처리된 겔을 열처리 하여 겔을 유리화시킴과 동시에, 겔 내에 함유된 포로겐을 제거함으로써 상기 포로겐이 함유된 영역에 나노 기공을 형성하는 단계이다. 즉, 나노 기공을 내부에 형성하는 유리화된 층이 LED용 굴절률 매칭층이 되는 것이다.
상기 나노 기공은 겔의 유리화를 통해 형성된 층 내에 미세한 비어있는 영역(굴절률은 약 1)으로 존재함으로써, 유리화된 층 자체의 굴절률(Ti 산화물을 이용한 경우 약 2.4)을 저하시켜 굴절률을 조절하게 된다. 즉, 포로겐의 함유량을 적절하게 조정함으로써 형성되는 굴절률 매칭층의 굴절률을 원하는 값으로 조절할 수 있다. 따라서, 적절한 굴절률의 조정을 통해 굴절률 매칭층이 형성된 LED로부터 생성되는 빛의 추출 효율을 최대화 할 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시형태에서, 상기 굴절률 매칭층을 다중층 구조로 형성할 수 있다. 도 2는 본 발명의 일실시형태에 따른 나노 기공을 갖는 다층 구조의 LED용 굴절률 매칭층의 단면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 단계(S3)의 상기 코팅된 겔을 건조하는 단계(S3) 이후, 상기 코팅된 겔의 상부에 다시 포로겐이 혼합된 솔을 추가적으로 코팅하여 겔화시킨 후 상기 추가적으로 코팅된 겔을 건조하는 단계를 1회 이상 추가함으로써 다중층 구조의 매칭층을 형성할 수 있다. 이후의 공정에서 다중층으로 형성된 겔을 동시에 열처리함으로써 다중층 구조의 매칭층을 형성할 수 있다. 도 2는 3중층 구조(12a, 12b, 12c)의 매칭층(12)이 도시된다. 이 때 보다 상부에 코팅된 겔은 하부에 코팅된 겔보다 더 많은 포로겐을 함유하는 것이 바람직하다. 포로겐을 많이 함유할수록 이후 열처리 공정에서 많은 나노 기공(13)이 형성되고 이를 통해 상부에 형성된 굴절률 매칭층이 더 낮은 굴절률을 갖도록 하기 위해서이다. 즉, 가장 높은 굴절률을 갖는 LED로부터 대기 방향으로 갈수록 더욱 점진적으로 낮은 굴절률을 갖는 매칭층을 형성함으로써 굴절률 차를 최소화 하여 내부 전반사를 더욱 감소시킬 수 있다.
또한, 동시에 다중층 구조를 열처리하는 경우 각 층 간의 결합을 통해 각 층 간의 경계면을 제거할 수 있다. 따라서, 연속적으로 굴절률이 변화하는(LED와의 계면(11)에서 멀어질수록 굴절률이 연속적으로 감소하는) 매칭층을 형성할 수 있게된다. 특히, LED와 대기의 굴절률의 차이가 큰 경우 이와 같은 연속적인 굴절률 변화를 갖는 굴절률 매칭층은 빛의 외부 추출효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
이와 같은 다층 구조의 굴절률 매칭층은 전술한 열처리 단계 중 저온 열처리 하는 단계를 거친 후, 다시 포로겐을 함유하는 솔을 저온 열처리된 겔 상에 형성함으로써 이루어질 수도 있다. 즉, 상기 저온 열처리된 겔 상에 포로겐이 혼합된 솔을 추가적으로 코팅하여 겔화시키고 상기 추가적으로 코팅된 겔을 건조한 후 저온 열처리하는 단계를 1회 이상 반복함으로써 다층 구조의 굴절률 매칭층을 형성할 수 있다. 이 경우, 고온 열처리 공정을 동시에 수행하게 된다.
본 발명자는 본 발명에 따른 굴절률 매칭층의 형성방법을 이용하여 GaN 반도체 LED의 광출사면에 포로겐의 함유량을 변화시키면서 굴절률 매칭층을 형성한 후 굴절률 매칭층의 다공성(porosity)과 굴절률 및 LED로부터 방출되는 빛의 휘도 개선율을 측정하였다. 이 측정의 결과가 하기 표 1에 나타난다.
포로겐 함유랑(wt%) 다공성(%) 매칭층의 굴절률 휘도 개선율(%)
0 8 2.4 0
1 15 2.2 5
2 20 2.1 10
3 24 2.0 17
4 28 1.9 20
5 33 1.8 22
이 측정에서, 솔은 Ti계 산화물을 이용하여 제조된 솔을 이용하였으며, 포로겐은 사이클로덱스트린계 화합물 중 하나인 헵타키스(2,3,6-트리-오-메틸)-베타-사이클로덱스트린(heptakis(2,3,6-tri-O-methyl)-β-cyclodextrin)을 이용하였다. 또한 상기 포로겐은 프로필린 그리콜 메틸 에테르 아세테이트(propylene glycol methyl ether acetate)에 녹여서 상기 솔과 혼합시켰다.
상기 표 1에 나타난 바와 같이, 포로겐의 함유량을 증가 시킬수록 굴절률 매칭층의 다공성은 증가하였고, 그 굴절률은 감소하였다. 상기 굴절률 매칭층의 굴절률이 감소할수록 LED와 대기 사이의 굴절률의 차이를 감소됨으로써, LED에서 생성된 빛이 보다 많이 외부로 추출되어 그 휘도가 향상되었음을 알 수 있다.
이와 같이, 본 발명은 포로겐을 이용하여 나노기공을 형성함으로써, 상기 포로겐의 함량 제어를 통해 굴절률 매칭층의 굴절률을 임의로 결정할 수 있다. 즉, 사용자에 의해 굴절률 매칭층의 굴절률을 필요에 따라 미세하게 조절할 수 있다. 또한, 굴절률이 연속적으로 변화하는 굴절률 매칭층을 제조할 수 있으므로, LED와 대기 사이에서 연속적으로 굴절률을 변화시켜 광 추출 효율을 더욱 개선할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 포로겐의 함량 제어를 통해 굴절률 매칭층의 굴절률을 임의로 결정함으로써, 사용자에 의해 굴절률 매칭층의 굴절률을 필요에 따라 미세하게 조절할 수 있는 장점이 있다. 또한, 굴절률이 연속적으로 변화하는 굴절률 매칭층을 제조할 수 있으므로, LED와 대기 사이에서 연속적으로 굴절률을 변화시켜 광 추출 효율을 더욱 개선할 수 있는 장점이 있다.

Claims (11)

  1. 유기금속 화합물을 이용하여 제조된 솔(sol)에, 폴리 카프로락톤(poly caprolactone), 폴리 노보닌(poly norbornene), 세틸트리메틸라모늄 브로마이드(cetyltrimethylammonium bromide), 폴리 에틸렌 옥사이드-비-프로필렌 옥사이드-비-에틸렌 옥사이드(poly ethylene oxide-b-propylene oxide-b-ethylene oxide) 및 사이클로덱스트린(cyclodextrin)계 화합물으로 구성된 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 물질로 이루어진 포로겐(porogen)을 혼합하는 단계;
    상기 포로겐이 혼합된 솔을 LED의 광출사면에 코팅하여 겔(gel)화시키는 단계;
    상기 코팅된 겔을 건조하는 단계; 및
    상기 건조된 겔을 열처리하여 유리화 시키고, 상기 겔에 포함된 포로겐을 제거함으로써 상기 포로겐이 위치한 영역에 나노 기공을 형성하는 단계를 포함하는 LED용 굴절률 매칭층의 형성 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 유기금속 화합물은,
    Ti계 산화물 또는 Si계 산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 LED용 굴절률 매칭층의 형성 방법.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 포로겐이 혼합된 솔을 LED의 광출사면에 코팅하여 겔화시키는 단계는, 스핀 코팅법을 이용하여 상기 포로겐이 혼합된 솔을 LED의 광출사면에 코팅하여 겔화시키는 단계인 것을 특징으로 하는 LED용 굴절률 매칭층의 형성 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 코팅된 겔을 건조하는 단계 이후,
    상기 건조된 겔 상에 포로겐이 혼합된 솔을 추가적으로 코팅하여 겔화시킨 후 상기 추가적으로 코팅된 겔을 건조하는 단계를 적어도 1회 이상 더 포함하는 것을 특징으로 하는 LED용 굴절률 매칭층의 형성 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 포로겐은, 보다 이 후에 코팅되는 솔에 더 다량으로 혼합되는 것을 특징으로 하는 LED용 굴절률 매칭층의 형성 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 나노 기공을 형성하는 단계는,
    상기 건조된 겔으로부터 불순물을 제거하기 위해 저온 열처리하는 단계; 및
    상기 저온 열처리하는 단계보다 높은 온도로 저온 열처리된 겔을 고온 열처 리함으로써 겔을 유리화하고 나노 기공을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 LED용 굴절률 매칭층의 형성 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 저온 열처리하는 단계 이후,
    상기 저온 열처리된 겔 상에 포로겐이 혼합된 솔을 추가적으로 코팅하여 겔화시키고 상기 추가적으로 코팅된 겔을 건조한 후 저온 열처리하는 단계를 적어도 1회 이상 더 포함하는 것을 특징으로 하는 LED용 굴절률 매칭층의 형성 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 포로겐은, 보다 이 후에 코팅되는 솔에 더 다량으로 포함되는 것을 특징으로 하는 LED용 굴절률 매칭층의 형성 방법.
  10. LED; 및
    상기 LED의 광출사면에 다층구조로 형성되며, 내부에 다량의 나노 기공을 함유한 복수의 굴절률 매칭층을 포함하며,
    상기 복수의 굴절률 매칭층은, 상기 LED의 광출사면에서 멀리 위치한 굴절률 매칭층일수록 더 많은 나노기공을 함유하는 것을 특징으로 하는 발광장치.
  11. 삭제
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