KR100627499B1 - 현상처리장치 및 현상처리방법 - Google Patents
현상처리장치 및 현상처리방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100627499B1 KR100627499B1 KR1020010024784A KR20010024784A KR100627499B1 KR 100627499 B1 KR100627499 B1 KR 100627499B1 KR 1020010024784 A KR1020010024784 A KR 1020010024784A KR 20010024784 A KR20010024784 A KR 20010024784A KR 100627499 B1 KR100627499 B1 KR 100627499B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate
- developer
- supply nozzle
- wafer
- developing
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03D—APPARATUS FOR PROCESSING EXPOSED PHOTOGRAPHIC MATERIALS; ACCESSORIES THEREFOR
- G03D5/00—Liquid processing apparatus in which no immersion is effected; Washing apparatus in which no immersion is effected
- G03D5/04—Liquid processing apparatus in which no immersion is effected; Washing apparatus in which no immersion is effected using liquid sprays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
Description
Claims (14)
- 기판에 대해서 현상처리하는 현상처리장치에 있어서,상기 기판을 보지한 상태로 회전시키는 회전수단과,상기 기판상을 수평방향 또는 기판중심을 포함하는 소정방향으로 이동이 가능하고 또한 기판에 현상액을 공급하는 현상액공급노즐을 구비하고,상기 현상액공급노즐은 상기 소정방향과 소정각도를 이루는 방향으로 배열하여 설치된 복수의 공급구를 구비하고,상기의 공급구에는 공급구의 지름크기가 다른 것이 포함되어 있는 것을 특징으로 하는 현상처리장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 공급구는 상기 현상액공급노즐이 기판중심상에 위치할 때 상기 기판중심을 향하여 지름이 작아지도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 현상처리장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 현상액공급노즐은 그 일단부근이 상기 기판중심위를 통과하도록 위치되어 있고,또한 상기 현상액공급노즐은 복수개의 상기 공급구의 지름이 상기 현상액공급노즐의 상기 일단측으로부터 타단측을 향하여 그 다음으로 커지도록 형성되어 있 는 것을 특징으로 하는 현상처리장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 현상액공급노즐은 그 일단부근이 상기 기판중심위를 통과하도록 위치되어 있고,또한 상기 현상액공급노즐은 복수개의 상기 공급구의 지름이 상기 현상액공급노즐의 상기 일단측으로부터 타단측을 향하여 그 다음으로 커지고 또한 중도에서 동일한 지름이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 현상처리장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 현상액공급노즐은 적어도 상기 기판의 반지름정도의 길이를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 현상처리장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 현상액공급노즐은 적어도 상기 기판의 일단에서 타단까지 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 현상처리장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 회전수단은 상기 기판의 회전속도를 변경하는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 현상처리장치.
- 기판에 대해서 현상처리하는 현상처리방법에 있어서,회전하는 기판상의 수평방향 또는 소정방향을 따라서 상기 기판의 일단에서 타단까지 현상액공급노즐을 이동시키는 공정과,상기 이동시에 상기 현상액공급노즐에서 현상액을 기판에 공급하는 공정을 구비하고 상기 기판의 일단에서 상기 타단까지 이동할 때 상기 기판의 회전속도가 변경되는 것을 특징으로 하는 현상처리방법.
- 청구항 8에 있어서,상기 현상액공급노즐이 상기 기판의 중심부에서 일단정지하는 것을 특징으로 하는 현상처리방법.
- 청구항 9에 있어서,상기 기판의 회전속도는 적어도 상기 현상 액공급노즐이 상기 기판의 일단에서 중심부에 도달하기 까지는 소정의 속도가 유지되는 것을 특징으로 하는 현상처리방법.
- 청구항 9에 있어서,상기 기판의 회전속도는 현상액공급노즐이 상기 기판의 일단에서 중심부에 도달하는 동안 감속되는 것을 특징으로 하는 현상처리방법.
- 청구항 9에 있어서,상기 기판의 회전속도는 상기 현상액공급노즐이 상기 기판의 중심부에서 정지하고 있을 때 상기 소정의 속도보다도 느린 다른 소정의 속도로 감속되는 것을 특징으로 하는 현상처리방법.
- 청구항 12에 있어서,상기 기판의 회전속도는 상기 현상액공급노즐이 상기 기판중심부에서 타단으로 이동할 때 상기 다른 소정의 속도에서 소정의 감속률로 감속되는 것을 특징으로 하는 현상처리방법.
- 청구항 13에 있어서,상기 기판의 중심부에 있어서 회전속도의 감속률은 상기 중심부에서 상기 타단으로 이동하기 까지의 상기 회전속도의 감속률보다 큰 것을 특징으로 하는 현상처리방법.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000-137073 | 2000-05-10 | ||
JP2000137073A JP3545676B2 (ja) | 2000-05-10 | 2000-05-10 | 現像処理装置及び現像処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20010103657A KR20010103657A (ko) | 2001-11-23 |
KR100627499B1 true KR100627499B1 (ko) | 2006-09-22 |
Family
ID=18644913
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020010024784A KR100627499B1 (ko) | 2000-05-10 | 2001-05-08 | 현상처리장치 및 현상처리방법 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6471421B2 (ko) |
JP (1) | JP3545676B2 (ko) |
KR (1) | KR100627499B1 (ko) |
TW (1) | TW554383B (ko) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6559072B2 (en) * | 2001-08-30 | 2003-05-06 | Micron Technology, Inc. | Develop processing method of a resist surface of a substrate for reduced processing time and reduced defect density |
US7387455B2 (en) * | 2002-06-07 | 2008-06-17 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing device, substrate processing method, and developing device |
FR2853162A1 (fr) * | 2003-03-28 | 2004-10-01 | France Telecom | Oscillateur commande en tension |
TWI278416B (en) * | 2004-12-09 | 2007-04-11 | Au Optronics Corp | Cassette stocker |
US7819079B2 (en) | 2004-12-22 | 2010-10-26 | Applied Materials, Inc. | Cartesian cluster tool configuration for lithography type processes |
US7371022B2 (en) | 2004-12-22 | 2008-05-13 | Sokudo Co., Ltd. | Developer endpoint detection in a track lithography system |
US7651306B2 (en) | 2004-12-22 | 2010-01-26 | Applied Materials, Inc. | Cartesian robot cluster tool architecture |
US7798764B2 (en) | 2005-12-22 | 2010-09-21 | Applied Materials, Inc. | Substrate processing sequence in a cartesian robot cluster tool |
US7699021B2 (en) | 2004-12-22 | 2010-04-20 | Sokudo Co., Ltd. | Cluster tool substrate throughput optimization |
JP4900116B2 (ja) | 2007-07-30 | 2012-03-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像方法、現像装置及び記憶媒体 |
JP4900117B2 (ja) * | 2007-07-30 | 2012-03-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像装置、現像方法及び記憶媒体 |
JP4978392B2 (ja) * | 2007-09-19 | 2012-07-18 | 住友ベークライト株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物の硬化膜の形成方法 |
JP5449239B2 (ja) * | 2010-05-12 | 2014-03-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及びプログラムを記録した記憶媒体 |
CN102368140B (zh) * | 2010-09-30 | 2013-03-20 | 四川虹欧显示器件有限公司 | 显影方法及显影设备 |
JP5212538B2 (ja) * | 2011-12-21 | 2013-06-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像方法、現像装置及び記憶媒体 |
JP5104994B2 (ja) * | 2011-12-21 | 2012-12-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像装置、現像方法及び記憶媒体 |
US10459340B2 (en) | 2014-12-01 | 2019-10-29 | Tokyo Electron Limited | Developing method, computer-readable storage medium and developing apparatus |
JP6370282B2 (ja) * | 2015-09-25 | 2018-08-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像処理方法及び現像処理装置 |
US10203606B1 (en) * | 2017-11-22 | 2019-02-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus and method for dispensing developer onto semiconductor substrate |
US11747729B2 (en) * | 2021-03-19 | 2023-09-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor developer tool and methods of operation |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5571560A (en) * | 1994-01-12 | 1996-11-05 | Lin; Burn J. | Proximity-dispensing high-throughput low-consumption resist coating device |
US5935331A (en) * | 1994-09-09 | 1999-08-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus and method for forming films |
US5625433A (en) | 1994-09-29 | 1997-04-29 | Tokyo Electron Limited | Apparatus and method for developing resist coated on a substrate |
JP3280883B2 (ja) | 1996-05-08 | 2002-05-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像処理方法及び現像処理装置 |
JP3227595B2 (ja) | 1996-08-20 | 2001-11-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 現像処理方法及び現像処理装置 |
KR100271759B1 (ko) * | 1997-07-25 | 2000-12-01 | 윤종용 | 포토레지스트코팅장치및방법 |
KR100537040B1 (ko) * | 1998-08-19 | 2005-12-16 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 현상장치 |
-
2000
- 2000-05-10 JP JP2000137073A patent/JP3545676B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-05-07 US US09/849,303 patent/US6471421B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-05-08 KR KR1020010024784A patent/KR100627499B1/ko active IP Right Grant
- 2001-05-09 TW TW090111049A patent/TW554383B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20010043813A1 (en) | 2001-11-22 |
TW554383B (en) | 2003-09-21 |
US6471421B2 (en) | 2002-10-29 |
JP3545676B2 (ja) | 2004-07-21 |
KR20010103657A (ko) | 2001-11-23 |
JP2001319861A (ja) | 2001-11-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100627499B1 (ko) | 현상처리장치 및 현상처리방법 | |
US6432199B1 (en) | Apparatus and method for processing a substrate | |
TWI390363B (zh) | 顯像裝置、顯像方法及記憶媒體 | |
KR101160704B1 (ko) | 현상 장치 및 현상 방법 | |
US8865396B2 (en) | Developing method and developing apparatus | |
KR101069954B1 (ko) | 현상 장치 | |
KR100430461B1 (ko) | 액막형성장치및액막형성방법 | |
KR0158211B1 (ko) | 도포장치 및 도포방법 | |
US7742146B2 (en) | Coating and developing method, coating and developing system and storage medium | |
TWI418955B (zh) | 基板處理裝置、基板處理方法、塗佈顯影裝置、塗佈顯影方法及記憶媒體 | |
KR20010091978A (ko) | 기판처리방법 및 기판처리장치 | |
KR19980018735A (ko) | 현상처리방법(developing method) | |
US6736556B2 (en) | Substrate processing apparatus | |
KR20090065475A (ko) | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 | |
KR19980063755A (ko) | 기판처리장치 | |
US20180314158A1 (en) | Unit for supplying liquid, apparatus for treating a substrate, and method for treating a substrate | |
KR100567523B1 (ko) | 현상처리방법 및 현상처리장치 | |
KR20010112595A (ko) | 현상처리방법 및 현상처리장치 | |
JP2011187490A (ja) | 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 | |
KR101198496B1 (ko) | 현상 처리 방법 및 현상 처리 장치 | |
KR20200017027A (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
JP3990885B2 (ja) | 現像装置及び現像方法 | |
JP2001196300A (ja) | 液処理装置 | |
US7498124B2 (en) | Sacrificial surfactanated pre-wet for defect reduction in a semiconductor photolithography developing process | |
JP2000114152A (ja) | 基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120821 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130822 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140825 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150819 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160818 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170822 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180903 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190903 Year of fee payment: 14 |