KR100625322B1 - 스피너 시스템 및 그의 인터락 제어 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 스피너 시스템에 있어서:포토레지스트 코팅 공정 또는 상기 코팅 공정 후의 현상 공정을 처리한 웨이퍼를 냉각시키는 쿨 플래이트와;상기 쿨 플래이트 상부에 구비되어 상기 웨이퍼가 로딩되는 스핀 척과;상기 스핀 척을 회전 및 상하로 이동시키는 구동부와;상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 이미지 데이터를 획득하는 이미지 센서 및;상기 스핀 척을 이동 및 회전되도록 상기 구동부를 제어하고, 상기 이미지 센서로부터 상기 이미지 데이터를 받아서 상기 코팅 공정 또는 상기 현상 공정에서 상기 에지 영역에 불량이 발생되었는지를 검사하여, 상기 에지 영역에 불량이 발생되면 설비 인터락을 발생하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스피너 시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 스핀 척은 상기 구동부에 의해 업/미들/다운 위치로 이동되는 것을 특징으로 하는 스피너 시스템.
- 제 2 항에 있어서,상기 구동부는 상기 스핀 척을 상기 업/미들/다운 위치로 상하 이동시키고, 상기 제어부의 제어를 받아서 상기 이미지 데이터를 획득하도록 상기 미들 위치로 이동 및 회전시키는 것을 특징으로 하는 스피너 시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 제어부는 코팅 공정 또는 현상 공정에서의 상기 에지 영역에 대한 에지 린스 크기 또는 에지 노광폭 크기에 불량이 발생되었는지를 검사하는 것을 특징으로 하는 스피너 시스템.
- 스피너 시스템의 설비 인터락 제어 방법에 있어서:포토레지스트 코팅 공정 또는 상기 코팅 공정 후의 현상 공정을 처리하는 단계와;상기 코팅 공정 또는 상기 현상 공정이 처리된 웨이퍼를 쿨 플래이트로 이송하는 단계와;상기 웨이퍼를 냉각시키는 단계와;상기 쿨 플래이트의 스핀 척을 구동하는 단계와;상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 이미지 데이터를 획득하는 단계와;상기 이미지 데이터로부터 상기 에지 영역에 불량이 발생되었는지를 판별하는 단계 및;상기 에지 영역에 불량이 발생되었으면, 상기 스피너 시스템의 설비 인터락을 발생하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 설비 인터락 제어 방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 구동하는 단계는 상기 스핀 척을 업/미들/다운 위치 중 상기 미들 위치로 이동시키고, 상기 스핀 척을 회전시키는 것을 특징으로 하는 설비 인터락 제어 방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 판별하는 단계는 상기 에지 영역에 대한 상기 코팅 공정 후의 에지 린스 크기 또는 상기 현상 공정 후의 노광폭 크기가 불량인지를 판별하는 것을 특징으로 하는 설비 인터락 제어 방법.
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2005
- 2005-08-18 KR KR1020050075854A patent/KR100625322B1/ko active IP Right Grant
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