KR100622931B1 - 기판과 마스크 정렬장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 정렬장치에 관한 것으로서 특히, 반도체 소자나 평판 디스플레이 소자 등의 제작에 필요한 기판과 마스크를 챔버 내에서 원격으로 원하는 방향과 위치로 정렬하기 위한 것으로, 사각형의 기판 또는 마스크(10)를 원하는 방향으로 정렬하는 장치에 있어서, 일측변의 양측과, 그 맞은편에 위치하여, 기판 또는 마스크(10)를 미세하게 선형 이동시키도록 하는 제 1이송부(20)와; 타측변의 모서리 부위와 그 맞은편에 위치하여, 기판 또는 마스크(10)를 미세하게 선형 이동시키도록 하는 제 2이송부(30)로 구성되어, 상기 제 1이송부(20) 및 제 2이송부(30)를 이용하여 기판 또는 마스크(10)의 병진 및 회전 이송이 가능하도록 하여, 적은 운동 요소를 이용하여 보다 신속하고 정밀하게 정렬할 수 있는 것이다.
기판, 마스크, 이송부, 자석.

Description

기판과 마스크 정렬장치 {Apparatus for an alignment of substrates and shadow masks}
도 1은 종래의 기판과 마스크의 기계적 정렬을 나타내는 개념도,
도 2는 종래의 기판과 마스크의 기계적 정렬의 일실시예를 나타내는 개략도,
도 3은 본 발명의 기판 정렬장치의 제 1실시예를 나타내는 개략도,
도 4는 본 발명의 기판 정렬장치의 제 2실시예를 나타내는 개략도,
도 5는 본 발명의 기판 정렬장치의 제 3실시예를 나타내는 개략도,
도 6은 본 발명의 기판 정렬장치의 제 3실시예를 나타내는 사시도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 기판 또는 마스크 11 : 홈
12 : 기판홀더 20 : 제 1이송부
30 : 제 2이송부 40 : 제 1자석
50 : 제 2자석 60 : 기준편
70 : 롤러
본 발명은 기판 정렬장치에 관한 것으로서 특히, 반도체 소자나 평판 디스플레이 소자 등의 제작에 필요한 기판과 마스크를 챔버 내에서 원격으로 원하는 방향과 위치로 정렬함에 있어서, 적은 운동 요소를 이용하여 보다 신속하고 정밀하게 정렬할 수 있도록 하기 위한 기판 정렬장치에 관한 것이다.
일반적으로 발광소자나 기타 반도체 소자를 제작하는 경우에는 많은 단계의 제작 공정이 필요하다. 이러한 여러 단계의 제작공정을 수행하기 위해서는 보통, 별도의 공정을 위한 챔버들을 구성하고, 상기 챔버들 간에 기판을 이송하여 다양한 공정들을 수행하게 된다.
종래의 경우에는, 상기 챔버들이 원형을 이루도록 배치되고, 중앙측에 마그네틱 바(Magnetic Bar)를 챔버에 설치하거나, 로봇 암(Robot Arm)을 사용하여 기판의 이송이 이루어진다. 즉, 하나의 챔버에서 공정을 수행한 후에 이를 꺼내어, 다시 다른 챔버로 이송하여 그 공정을 수행하며, 이 과정을 반복함으로써 소자의 제작이 이루어진다.
상기와 같이, 여러 개의 챔버에서 기판을 증착하는 과정에서는 기판을 기판 홀더와 함께 이송시키거나, 챔버에 넣었다가 꺼내는 과정에서 기판 또는 기판 홀더를 증착을 위한 위치에 반드시 정확하게 정렬시켜야 한다. 또한 기판과 마스크 사 이에도 정확한 위치에 정렬하는 것이 필요하다.
이와 같은 정렬방법은 키 정렬(key align)과 마이크로 정렬(micro align)로 크게 나눌 수 있는데, 상기 키 정렬은 대략 100 마이크로미터(㎛) 정도의 차원에서 정렬을 행하게 되고, 마이크로 정렬은 10 ㎛ 이하의 정밀도를 요하는 정렬로서, CCD 형상인식 방법을 사용한 비젼정렬(Vision align) 등의 방법을 통하여 이루어진다.
상기 기계적 정렬은, 도 1에서 도시하는 바와 같이, 기판이나 마스크(1)와, 이 기판이나 마스크(1)를 부착시키는 홀더(2)의 일측 모서리와 그 대향측에 십자(+)형상(1a, 2a) 등을 새겨 넣은 후에, x-y 직선운동장치(linear motion stage: 도시되지 않음) 등을 이용하여 이 형상이 일치하도록 함으로써 정렬을 수행하여왔다.
또한, 도 2는 종래의 기판과 마스크의 기계적 정렬의 일실시예를 나타내는 개략도로서, 수직으로 이송 가능한 이송체(3)에 기판(1)을 올려놓은 후에, 상기 이송체(3)를 수직으로 이송시키면 상기 이송체(3)에 설치된 핀(3a)이 홀더(2)에 형성된 핀홀(2a)에 결합되면서 기판(1)과 홀더(2)의 위치가 정렬되게 된다.
그러나 상기와 같은 정렬방법은 직선방향의 이송에 의한 정렬뿐만 아니라, 각도가 틀어짐을 함께 고려해주어야 하고, 직선운동장치 등의 별도의 장치가 필요하며, 무엇보다 정렬시 소요되는 시간과 복잡한 방법 등으로 인해 그 정렬이 용이하지 않은 문제점이 있었다.
본 발명은 상기의 결점을 해소하기 위한 것으로, 반도체 소자나 평판 디스플레이 소자 등의 제작에 필요한 기판과 마스크를 챔버 내에서 원격으로 원하는 방향과 위치로 정렬함에 있어서, 적은 운동 요소를 이용하여 보다 신속하고 정밀하게 정렬할 수 있도록 하기 위한 기판 정렬장치를 제공하고자 한다.
이러한 본 발명은, 사각형의 기판 또는 마스크를 원하는 방향으로 정렬하는 장치에 있어서, 일측변의 양측과, 그 맞은편에 위치하여, 기판 또는 마스크를 미세하게 선형 이동시키도록 하는 제 1이송부와; 타측변의 모서리 부위와 그 맞은편에 위치하여, 기판 또는 마스크를 미세하게 선형 이동시키도록 하는 제 2이송부로 구성되어, 상기 제 1이송부 및 제 2이송부를 이용하여 기판 또는 마스크의 병진 및 회전 이송이 가능하도록 함으로써 달성된다.
본 발명의 다른 관점으로서, 본 발명은, 사각형의 기판 또는 마스크를 원하는 방향으로 정렬하는 장치에 있어서, 일측변의 양측에 위치하여, 기판 또는 마스크를 미세하게 선형 이동시키도록 하는 제 1이송부와; 상기 기판 또는 마스크가 상기 제 1이송부에 부착 또는 탈거되도록 하는 제 1자석과; 타측변의 모서리 부위에 위치하여, 기판 또는 마스크를 미세하게 선형 이동시키도록 하는 제 2이송부와; 상기 기판 또는 마스크가 상기 제 2이송부에 부착 또는 탈거되도록 하는 제 2자석으로 구성되어, 상기 제 1자석 및 제 2자석을 이용하여, 상기 기판 또는 마스크를 제 1이송부 및 제 2이송부에 부착시킨 후에, 기판 또는 마스크의 병진 및 회전 이송이 가능하도록 함으로써 달성된다.
본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참고하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명의 기판 정렬장치의 제 1실시예를 나타내는 개략도로서, 사각형의 기판 또는 마스크(10)를 원하는 방향으로 정렬하는 장치에 있어서, 일측변의 양측과, 그 맞은편에 위치하여, 기판 또는 마스크(10)를 미세하게 선형 이동시키도록 하는 제 1이송부(20)와; 타측변의 모서리 부위와 그 맞은편에 위치하여, 기판 또는 마스크(10)를 미세하게 선형 이동시키도록 하는 제 2이송부(30)로 구성되어, 상기 제 1이송부(20) 및 제 2이송부(30)를 이용하여 기판 또는 마스크(10)의 병진 및 회전 이송이 가능하도록 하는 것을 그 기술상의 특징으로 한다.
한편, 기판에 부착되는 마스크(10)는 보통 두께가 매우 얇아서, 상기와 같이, 양측에서 밀고 당기는 경우에, 마스크(10)가 제대로 밀리지 않고, 중간에 휘거나 말리는 현상이 발생할 수 있다. 이런 경우에는 자석을 이용하여 기판 또는 마스크(10)가 상기 제 1이송부(20) 및 제 2이송부(30)에 구속되도록 할 수 있다.
즉, 도 4는 본 발명의 기판 정렬장치의 제 2실시예를 나타내는 개략도로서, 사각형의 기판 또는 마스크(10)를 원하는 방향으로 정렬하는 장치에 있어서, 일측변의 양측에 위치하여, 기판 또는 마스크(10)를 미세하게 선형 이동시키도록 하는 제 1이송부(20)와; 상기 기판 또는 마스크(10)가 상기 제 1이송부(20)에 부착 또는 탈거되도록 하는 제 1자석(40)과; 타측변의 모서리 부위에 위치하여, 기판 또는 마 스크(10)를 미세하게 선형 이동시키도록 하는 제 2이송부(30)와; 상기 기판 또는 마스크(10)가 상기 제 2이송부(30)에 부착 또는 탈거되도록 하는 제 2자석(50)으로 구성되어, 상기 제 1자석(40) 및 제 2자석(50)을 이용하여, 상기 기판 또는 마스크(10)를 제 1이송부(20) 및 제 2이송부(30)에 부착시킨 후에, 기판 또는 마스크(10)의 병진 및 회전 이송이 가능하도록 하는 것을 특징으로 한다.
즉, 상기 도 4에서 도시하는 실시예는 상기 제 1이송부(20) 및 제 2이송부(30)를 기판과 마스크(10)의 양측에 위치시키는 것이 아니라, 제 1자석(40) 및 제 2자석(50)을 이용하여 기판 또는 마스크(10)를 상기 제 1이송부(20) 및 제 2이송부(30)에 부착 또는 탈거시키도록 함으로써, 상기 제 1이송부(20) 및 제 2이송부(30)를 일측에만 위치시켜도 동일한 효과를 이룰 수 있다.
한편, 상기 제 1이송부(20) 및 제 2이송부(30)는, 제 3실시예를 도시하는 도 5에서와 같이, 별도의 기준편(60)에 부착되어, 이 기준편(60)을 이송시키거나 상기 제 1이송부(20) 및 제 2송부(30)를 각각 선형 이송시키도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 기준편(60)과 기판(10: 또는 기판홀더)은 홈(11)과 돌기(61)가 각각 형성되어, 상기 홈(11)과 돌기(61)에 의하여 기판(10: 또는 기판홀더)과 기준편(60)의 위치가 고정된 후에 기판 또는 마스크(10)의 선형 이동이 가능하도록 할 수도 있다.
도 6은 본 발명의 기판 정렬장치의 제 3실시예를 나타내는 사시도로서, 상기 도 3 내지 도 6을 참고하여 본 발명의 작용 및 효과를 설명하면 다음과 같다.
상기 도 6에서는 상기 제 1이송부(20) 및 제 2이송부(30)의 단부에 기판 또는 마스크(10)와의 접촉성을 향상시키기 위하여 롤러(70)를 구성하고 있다.
상기와 같은 구성에 의한 작동 단계는 다음과 같다.
우선, 기판홀더(12)에 기판과 마스크(10)가 부착된 상태에서 챔버내에서 적당한 위치에 위치하게 되면, 먼저 기준편(60)이 상기 기판홀더(12)에 접근하게 되고, 홈(11)과 돌기(61)의 결합에 의하여 1차적으로 정렬된다.
그런 후에, 제 1자석(40) 및 제 2자석(50)이 상기 제 1이송부(20) 및 제 2이송부(30) 근처로 접근하게 되고, 그러면 상기 제 1자석(40) 및 제 2자석(50)의 자력에 의하여 상기 기판 또는 마스크(10)가 상기 제 1이송부(20) 및 제 2이송부(30)의 롤러(70)에 접촉하여 구속되게 된다.
상기와 같은 상태에 상기 제 1이송부(20) 및 제 2이송부(30)를 이용하여 미세하게 정렬이 가능한 것이다.
즉, 상기 제 1이송부(20)가 전진하거나 후퇴하여도 상기 기판 또는 마스크(10)는 그에 따라 전진하거나 후퇴하게 되고, 상기 2개의 제 1이송부(20)와 1개의 제 2이송부(30)의 운동의 조합에 의하여 기판 또는 마스크(10)의 회전운동 및 병진운동이 가능하다.
상기 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구체적으로 설명하기 위한 일례로서, 본 발명의 범위는 상기의 도면이나 실시예에 한정되지 않는다.
이상과 같은 본 발명은 반도체 소자나 평판 디스플레이 소자 등의 제작에 필요한 기판과 마스크를 챔버 내에서 원격으로 원하는 방향과 위치로 정렬함에 있어서, 적은 운동 요소를 이용하여 보다 신속하고 정밀하게 정렬할 수 있도록 하는 효과가 있는 발명인 것이다.

Claims (5)

  1. 사각형의 기판 또는 마스크를 원하는 방향으로 정렬하는 장치에 있어서,
    일측변의 양측과, 그 맞은편에 위치하여, 기판 또는 마스크를 미세하게 선형 이동시키도록 하는 제 1이송부와;
    타측변의 모서리 부위와 그 맞은편에 위치하여, 기판 또는 마스크를 미세하게 선형 이동시키도록 하는 제 2이송부로 구성되어,
    상기 제 1이송부 및 제 2이송부를 이용하여 기판 또는 마스크의 병진 및 회전 이송이 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬장치.
  2. 사각형의 기판 또는 마스크를 원하는 방향으로 정렬하는 장치에 있어서,
    일측변의 양측에 위치하여, 기판 또는 마스크를 미세하게 선형 이동시키도록 하는 제 1이송부와;
    상기 기판 또는 마스크가 상기 제 1이송부에 부착 또는 탈거되도록 하는 제 1자석과;
    타측변의 모서리 부위에 위치하여, 기판 또는 마스크를 미세하게 선형 이동시키도록 하는 제 2이송부와;
    상기 기판 또는 마스크가 상기 제 2이송부에 부착 또는 탈거되도록 하는 제 2자석으로 구성되어,
    상기 제 1자석 및 제 2자석을 이용하여, 상기 기판 또는 마스크를 제 1이송부 및 제 2이송부에 부착시킨 후에, 기판 또는 마스크의 병진 및 회전 이송이 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 제 1이송부 및 제 2이송부는 별도의 기준편에 부착되는 것을 특징으로 하는 기판 정렬장치.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 기준편과 기판은 홈과 돌기가 각각 형성되어, 상기 홈과 돌기에 의하여 기판 또는 기판홀더와 기준편의 위치가 고정된 후에 기판 또는 마스크의 선형 이동이 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬장치.
  5. 제 1항 또는 2항에 있어서, 상기 제 1이송부 및 제 2이송부의 단부에는 롤러를 추가 구성하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬장치.
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