KR100618441B1 - 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합시스템 - Google Patents

리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 선형 운동을 얻기 위한 리니어 모션 가이드와 선형 전동기의 복잡한 연결 구조를 제거하면서 리럭턴스형 선형 전동기의 고정자를 리니어 모션 가이드의 고정부와 공통으로 이용할 수 있도록 하기 위한 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템을 제공한다. 이를 위해 본 발명은 리니어 모션 가이드의 고정부재와 리럭턴스형 선형 전동기의 고정부재를 상호 결합한 고정부와, 상기 리니어 모션 가이드의 이동부재와 상기 리럭턴스형 선형 전동기의 이동부재를 상호 연결한 이동부로 구성된 것을 특징으로 함에 의해, 선형 전동기와 리니어 모션 가이드가 동시에 필요한 선형 이송장치의 구조를 간략화하고, 비용을 절감할 수 있다는 효과를 갖게 된다.
리럭턴스형 선형 전동기, 리니어 모션 가이드, 선형 이송장치, 결합

Description

리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템{The Integrated System of Linear Motion Guide and Reluctance-type Linear Motor}
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 리럭턴스(reluctance)형 선형 전동기의 결합 시스템의 사시도,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기 결합의 시스템의 측면도,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에서 리럭턴스형 선형 전동기의 이동자 철심과 이동자 권선의 결합 관계를 나타낸 도면,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에서 추진력의 발생 원리를 설명하기 위한 도면,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에 대한 전원공급 회로 구성을 나타낸 도면,
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에서 각상(A상, B상)에 대한 여자전류(IA,IB)와, 추진력(FA ,FB), 합성추진력(FT)의 시간(t) 혹은 위치(x)에 따른 결과값을 예시적으로 나타낸 파형도,
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에서 릴럭턴스형 선형 전동기가 N상으로 구현된 상태를 나타낸 측면도
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 N상 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에 대한 전원공급 회로 구성을 나타낸 도면,
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 N상 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에서 각 상(1상, 2상....N상)에 대한 각각의 여자전류(I1 ,I2 .....IN)와 추진력(F1, F2 ....FN)과 합성추진력(FT)의 시간(t) 혹은 위치(x)에 따른 결과값을 예시적으로 나타낸 파형도,
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따라 도 1의 리럭턴스형 선형 전동기 이동자 철심과 리럭턴스형 선형 전동기 고정자 철심의 분할형 치에 대한 배치 상태를 나타낸 도면,
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이동자 철심과 고정자 철심의 분할형 치를 가진 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에서 리럭턴스형 선형 전동기의 이동자 철심과 이동자 권선의 결합 관계를 나타낸 도면,
도 12는 이동자 철심과 고정자 철심의 분할형 치를 가진 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에서 추진력의 발생 원리를 설명하기 위한 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : A상 리럭턴스형 선형 전동기 이동자,
2 : B상 리럭턴스형 선형 전동기 이동자,
3 : 리럭턴스형 선형 전동기 이동자 코일,
4 : 리럭턴스형 선형 전동기 이동자 철심,
5 : 리럭턴스형 선형 전동기 고정자,
6 : 비자성체,
7 : 리럭턴스형 선형 전동기 고정자 철심,
8 : 리니어 모션 가이드 지지대,
9 : 리니어 모션 가이드 이동자,
10 : 이동자 지지대, 11 : 자속,
12 : 전원, 13 : 제어용 반도체,
14 : 리럭턴스형 선형 전동기 등가회로,
15 : 인덕턴스, 16 : 저항,
17 : 이동자 철심의 분할형 치,
18 : 고정자 철심의 분할형 치,
19 : 고정자 철심의 분할형 비자성체.
본 발명은 리니어 모션 가이드에 리럭턴스(reluctance)형 선형 전동기를 결합하여 선형운동 발생 장치를 간략화 시킨 결합 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 리니어 모션 가이드의 고정부가 고정자를 갖춘 리럭턴스형 선형 전동기에서 공통으로 사용하도록 하고, 이동부는 리럭턴스형 선형 전동기의 이동자 철심과 이동자 권선이 리니어 모션 가이드의 이동부와 공통으로 사용되도록 하여 간단하고 경제적인 선형 이송시스템을 구현 할 수 있도록 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에 관한 것이다.
주지된 바와 같이, 선형 이송장치의 직선 동력을 얻기 위한 수단으로서 일반적으로는 유압 또는 공압을 사용하거나 회전형 전동기 등과 같은 동력전달 장치를 사용하고 있었는 바, 이러한 시스템은 구조가 복잡하고 제조 단가가 높으며 유지 보수 비용도 높아진다는 단점이 있다.
이러한 단점을 타파하기 위하여, 최근에는 직선운동을 직접 발생시킬 수 있게 되어 동력전달 장치가 필요없으면서 구조가 간단한 선형 전동기를 채용한 선형 이송장치가 개발되어 적용되고 있는 바, 이 선형 이송장치에 적용된 선형 전동기는 선형 이송을 가이드하는 리니어 모션 가이드와 각각 독립적으로 배치된다.
그러나, 이러한 선형 전동기가 채용된 종래의 선형 이송장치에서는 선형 이송을 위하여 선형 전동기와 리니어 모션 가이드가 반드시 독립적으로 배치되도록 되어 있어서, 이송장치의 구성이 복잡해지고 제조 단가 및 유지보수 비용도 많이 소요된다는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 선형 운동을 얻기 위한 리니어 모션 가이드와 선형 전동기의 복잡한 연결 구조를 제거하면서 리럭턴스형 선형 전동기의 고정자를 리니어 모션 가이드의 고정부와 공통으로 이용할 수 있도록 하기 위한 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템을 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일예에 따르면, 리니어 모션 가이드의 고정부재와 리럭턴스형 선형 전동기의 고정부재를 상호 결합한 고정부와, 상기 리니어 모션 가이드의 이동부재와 상기 리럭턴스형 선형 전동기의 이동부재를 상호 연결한 이동부로 구성된 것을 특징으로 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템을 제공한다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 다른 예에 따르면, 리니어 모션 가이드의 고정부와 N상의 리럭턴스형 선형 전동기의 고정자가 상호 결합되고, 상기 N상의 리럭턴스형 선형 전동기의 N개의 이동자가 고정자를 따라 일렬로 배치되어 상기 리니어 모션 가이드의 이동자와 상호 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템을 제공한다.
이하, 상기한 바와 같이 구성된 본 발명의 일실시예에 대해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.
즉, 도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에 대한 전체 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기 결합 시스템의 측면도이다.
도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 시스템에서 선형 전동기는 2상 리럭턴스(reluctance)형 선형 전동기로 이루어지고, 그 전동기의 이동부는 A상 리럭턴스형 선형 전동기 이동자(1)와 B상 리럭턴스형 선형 전동기 이동자(2)로 이루어지는 바, 각 이동자(1,2)는 철심(4)에 코일(3)이 권취되어 있는 구조로 이루어진다.
상기 A상 리럭턴스형 선형 전동기 이동자(1)와 B상 리럭턴스형 선형 전동기 이동자(2)는 리니어 모션 가이드 이동자(9)와 리럭턴스형 선형 전동기 이동자 지지대(10)의 결합구조에 의해 지지되어 있고, 추력의 리플을 줄이기 위하여 극 간격(τp)만큼 간격을 두고 배치되어 있다.
상기 리럭턴스형 선형 전동기의 고정자(5)는 리럭턴스형 선형 전동기 이동자 코일(3)에 전류를 흘리면 이동자 철심(4)과 고정자 철심(7) 사이에서 자기저항을 줄이려고 하는 원리에서 추력을 발생시켜야 하므로, 각 고정자 철심(7)의 사이에 비자성체(6)를 각각 삽입하여 구성된다.
상기 리니어 모션 가이드는 리니어 모션 가이드 지지대(8)와 리니어 모션 가이드 이동자(9)로 구성되어 있고, 리니어 모션 가이드 지지대(8)의 상부에 리럭턴스형 선형 전동기 고정자(5)가 배치될 수 있도록 하여, 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기가 상호 결합될 수 있도록 구성되어 있다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에서 리럭턴스형 선형 전동기의 이동자 철심과 이동자 권선의 결합 관계를 나타낸 도면이다.
본 발명에서 상기 이동자(1,2)는 리럭턴스형 선형 전동기 이동자 철심(4)과 이동자 코일(3)로 구성되어 있는 바, 이동자 코일(3)에 전류를 흘리면 이동자 철심(4)에 자속이 발생하는데, 이때 전류의 크기에 따라 자속의 크기가 변화하므로 이동자 철심(4)에 철손이 발생하므로, 철손을 줄이기 위해 해당 이동자 철심(4)을 성층할 수 있도록 한다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템의 추진력 발생 원리를 설명하기 위한 도면이다.
동 도면들에 도시한 바와 같이, 리럭턴스형 선형 전동기 이동자(1,2)는 이동자 위치에 따라 각 상을 여자시켜서 그에 따른 추진력(FA ,FB)을 발생시키도록 되어 있어서 각각 일측 방향으로만 함께 이동할 수 있도록 하고, 추력의 리플을 줄이기 위하여 극 간격(τp)만큼 간격을 두고 배치되어 있다.
상기 이동자 코일(3)에 전류를 흘리면 이동자 철심(4)에 도면의 점선에 나타낸 바와 같은 자속(11)이 발생하는데, 이때 이동자 철심(4)과 고정자 철심(7) 사이에서 자기저항을 줄이려고 하는 원리 즉, 자속이 직선으로 되기 위해 A상 리럭턴스형 선형 전동기 이동자(1)를 우측으로 이동시키게 되고, 고정자 철심(7) 사이에 삽입되어 있는 비자성체(6)에 의해서 이동자의 위치에 따라 리럭턴스가 변하게 된다.
상기와 마찬가지로, 일정한 방향으로 추진력을 발생하기 위하여 이동자가 극 간격(τp)만큼 이동하였을때 상기 B상 리럭턴스형 선형 전동기 이동자(2)에 전류를 인가하여 우측방향의 추력을 발생시키도록 한다.
다음에, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에서 2상 리럭턴스형 선형 전동기의 전원공급 회로도를 나타낸 것이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 리럭턴스형 선형 전동기 등가회로(14)는 인덕턴스(15)와 저항(16)으로 구성되어 있고, 전원(12)은 직류 전원을 사용한다. 상기 전원공급 회로는 A상(phase)에서 추진력(FA)를 발생시키기 위해 그 A상에 있는 스위치(13)를 도통시켜 전류가 A상에 흘러 여자시키도록 하고, B상(phase)에서 추진력(FB)를 발생시키기 위해 그 B상에 있는 스위치(13)를 도통시켜 전류가 B상에 흘러 여자시키도록 한다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에서 2상에 대한 여자전류(IA ,IB), 추진력(FA ,FB), 합성추진력(FT)의 시간(t)혹은 위치(x)에 따른 결과값을 예시적으로 나타낸 도면으로서, 동 도면에서는 이동자(1,2)를 각각 한 방향으로만 추진시키기 위해서 0 ~ τp 구간에서는 A상에 여자전류(IA)를 인가하여 추진력(FA)을 발생시키고, τp ~ 2τp 구간에서는 B상에 여자전류(IB)를 인가하여 추진력(FB)을 발생시킨다. 합성추진력(FT)은 A상과 B상의 여자전류에 의해 발생된 추진력(FA, FB)의 합성이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 N상 리럭턴스형 선형 전동기 결합 시스템의 측면도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에서는 보다 큰 추력이 발생될 수 있도록 함과 동시에 추력의 리플을 줄이기 위하여, 2상 이상의 다상(N상)으로 리럭턴스형 선형 전동기를 구성할 수 있도록 하고, 이를 위해서 리럭턴스형 선형 전동기의 각 이동자를
Figure 112006024969291-pat00013
만큼의 간격을 두고 리럭턴스형 선형 전동기 고정자(5)를 따라 일렬로 배치하고, 마지막 N상의 위치는
Figure 112006024969291-pat00014
의 위치에 서로 배치한다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 N상 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에 대한 전원공급 회로도로서, 동 도면에 도시된 N상 리럭턴스형 선형 전동기의 전원공급 회로는 도 5에 도시된 2상 리럭턴스형 선형 전동기의 전원공급 회로도에서 인덕턴스와 저항으로 이루어진 등가회로를 N상의 회로로 N개만큼 병렬 연결한 형태로 이루어진다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 리니어 모션 가이드와 N상 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에서 여자전류(I1 ,I2 .....IN)와, 추진력(F1 ,F2 ....FN), 합성추진력(FT)의 시간(t) 혹은 위치(x)에 따른 파형도이다.
동 도면에서, 각 리럭턴스형 선형 전동기의 이동자를 한 방향으로만 추진시키기 위해서, 0 ~ τp 구간에서는 제 1상의 여자전류(I1)를 인가하여 추진력(F1)을 발생시키고,
Figure 112006024969291-pat00015
∼
Figure 112006024969291-pat00016
구간에서는 제 2상의 여자전류(I2)를 인가하여 추진력(F2)을 발생시킨다. 또한, 마지막의 N상에서는
Figure 112006024969291-pat00017
∼
Figure 112006024969291-pat00018
구간에 양의 여자전류(IN)를 인가하여 추진력(FN)을 발생시키도록 한다.
상기 합성추진력(FT)은 각 상의 극 간격에서의 구간위치에 따라 순차적으로 인가되는 여자전류에 의해 발생된 추진력 F1 , F2 ....FN 의 합성이다.
이상 설명한 본 발명에 따른 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기 결합 시스템은 반도체 제조공정의 이송장비, 공간이 적게 필요한 이송장치 및 기타 선형 이송시스템에 적용할 수 있는 것이다.
다음에, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 대해 상세히 설명한다.
즉, 도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따라 도 1의 리럭턴스형 선형 전동기 이동자 철심과 리럭턴스형 선형 전동기 고정자 철심의 분할형 치에 대한 배치 상태를 나타낸 도면으로서, 동 도면에서는 리럭턴스형 선형 전동기 이동자 철심(5)에 분할형 치(17)를 배치하고, 리럭턴스형 선형 전동기 고정자 철심(16)에서 상기 이동자 철심(4)에 배치된 분할형 치(17)와 대응하는 부분에 다수의 분할형 치(18)를 반복적으로 배치할 수 있도록 함에 따라, 보다 정밀하고 적은 간격의 이동에 적합하도록 한다. 고정자 철심의 분할형 비자성체(19)는 고정자 철심의 분할형 치(18) 사이에 삽입하여 자기저항을 차이 나게 하였으며, 먼지와 같은 오물이 쌓이는 것을 방지한다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이동자 철심과 고정자 철심의 분할형 치를 가진 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에서 리럭 턴스형 선형 전동기의 이동자 철심과 이동자 권선의 결합 관계를 나타낸 도면으로서, 동 도면에서 상기 이동자(1,2)는 리럭턴스형 선형 전동기 이동자 철심(4)과 이동자 권선(3)으로 구성되고, 상기 리럭턴스형 선형 전동기 이동자 철심(4)에는 다수의 분할형 치(17)를 배치할 수 있도록 한다.
도 12는 이동자 철심과 고정자 철심의 분할형 치를 가진 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템에서 추진력의 발생 원리를 설명하기 위한 도면으로서, 동 도면에서 상기 리럭턴스형 선형 전동기 이동자 철심(4)과 리럭턴스형 선형 전동기 고정자 철심(16)에 각각 분할형 치(17,18)를 배치한 상태에서, 상기 이동자 코일(3)에 전류를 흘리면 이동자 철심(4)에 도면의 점선과 같은 자속(11)이 적은 치(17,18) 사이로 발생하게 되고, 자속이 직선으로 되기 위해 A상 리럭턴스형 선형 전동기 이동자(1)를 우측으로 미소거리인 극 간격(τp)만큼 이동시키게 된다.
마찬가지로, 상기 A상 리럭턴스형 선형 전동기 이동자(1)가 미소거리인 극 간격(τp)만큼 이동하였을 때, 상기 B상 리럭턴스형 선형 전동기 이동자(2)에 대해서도 전류를 인가하여 이동자 철심(4)에 도면의 점선과 같은 자속(11)이 각 분할형 치(17,18) 사이로 발생되도록 하여 우측 방향으로 극 간격(τp)만큼 이동시키도록 하게 된다.
한편, 본 발명은 전술한 전형적인 바람직한 실시예들에만 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 개량, 변경, 대체 또는 부가하여 실시할 수 있는 것임은 당해 기술분야에 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 이해할 수 있을 것이다. 이러한 개량, 변경, 대체 또는 부가에 의한 실시가 이하의 첨부된 특허청구범위의 범주에 속하는 것이라면 그 기술사상 역시 본 발명에 속하는 것으로 보아야 한다.
이상과 같이 본 발명에 따르면, 리니어 모션 가이드에 리럭턴스형 선형 전동기를 결합하여 선형 전동기와 리니어 모션 가이드가 동시에 필요한 기존의 선형 이송장치의 구조를 간략화시킴에 의해, 설치 공간을 적게 차지하면서 제조 및 유지보수 비용이 절감되고, 청정 이송을 구현할 수 있다는 효과를 갖게 된다. 게다가, 본 발명은 길이가 짧은 1차측인 이동자에 철심과 권선이 설치되고, 길이가 긴 2차측은 이미 존재하는 리니어 모션 가이드의 고정부를 사용할 수 있도록 되어 있기 때문에, 재료비가 절감될 수 있다는 부수적인 효과를 갖게 된다.

Claims (17)

  1. 리니어 모션 가이드의 이동자와 결합된 지지대가, 고정자 철심의 사이에 자기 저항의 차이를 위해 비자성체가 삽입되어 있는 리럭턴스형 선형 전동기의 고정자와 리니어 모션 가이드의 이동자를 매개로 결합되어 있고,
    이동자 철심에 이동자 코일이 권취되어 있는 리럭턴스형 선형 전동기의 이동자가 리럭턴스형 선형 전동기의 고정자를 매개로 상기 리니어 모션 가이드의 이동자와 지지 가능하게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 리럭턴스형 선형 전동기의 이동자 철심은 성층 철심으로 이루어진 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 리럭턴스형 선형 전동기의 이동자는 2상으로 이루어진 A상 리럭턴스형 선형 전동기의 이동자와 B상 리럭턴스형 선형 전동기 이동자가 극 간격만큼 간격을 두고 고정자 상에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 A상 리럭턴스형 선형 전동기 이동자와 B상 리럭턴스형 선형 전동기 이동자는 이동자 철심과 고정자 철심 사이의 자기 저항 감소를 위해 각 상이 여자되 어 동일 방향으로 이동하는 추진력이 발생되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 2상의 리럭턴스형 선형 전동기의 A상과 B상은 각각 저항과 인덕턴스로 구성되어 개별적인 스위치와 접속되고, 전원에 대해 상호 병렬 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 리럭턴스형 선형 전동기의 이동자는 이동자 철심에 분할형 치가 배치되고,
    상기 리럭턴스형 선형 전동기의 고정자는 상기 이동자 철심에 배치되는 분할형 치와 대응하는 고정자 철심의 사이에 다수의 분할형 치를 반복 배치한 것을 특징으로 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템.
  10. 리니어 모션 가이드의 고정부와 N상의 리럭턴스형 선형 전동기의 고정자가 상호 결합되고,
    상기 N상의 리럭턴스형 선형 전동기의 N개의 이동자가 고정자를 따라 일렬로 배치되어 상기 리니어 모션 가이드의 이동자와 상호 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 리니어 모션 가이드의 고정부는 리니어 모션 가이드의 이동자와 결합되어 있는 지지대로 이루어지고,
    상기 지지대는 리니어 모션 가이드의 이동자를 매개로 리럭턴스형 선형 전동기의 고정자와 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 N상 리럭턴스형 선형 전동기의 N개의 이동자는 리럭턴스형 선형 전동기의 고정자를 매개로 상기 리니어 모션 가이드의 이동자와 지지 가능하게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템.
  13. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
    상기 N상 리럭턴스형 선형 전동기의 N개의 이동자는 각각 이동자 철심에 이동자 코일을 권취하여 구성되고,
    상기 리럭턴스형 선형 전동기의 고정자는 고정자 철심의 사이에 자기 저항의 차이를 위해 비자성체가 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 N상 리럭턴스형 선형 전동기의 각 이동자는 상호
    Figure 112006024969291-pat00019
    만큼의 극 간격을 두고 리럭턴스형 선형 전동기 고정자를 따라 일렬로 배치하고, 마지막 N상의 위치는
    Figure 112006024969291-pat00020
    의 극 간격 위치에 서로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 N상 리럭턴스형 선형 전동기의 N개의 이동자는 이동자 철심과 고정자 철심 사이의 자기 저항 감소를 위해 극 간격의 구간위치에 따라 각 상이 순차적으로 여자되어 동일 방향으로 이동하는 추진력이 발생되도록 이루어진 것을 특징으로 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 N상의 리럭턴스형 선형 전동기의 N개의 상은 각각 저항과 인덕턴스로 구성되어 개별적인 스위치와 접속되고, 전원에 대해 상호 병렬 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템.
  17. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    상기 N상 리럭턴스형 선형 전동기의 N개의 이동자는 각각 이동자 철심에 분할형 치가 배치되고,
    상기 리럭턴스형 선형 전동기의 고정자는 상기 이동자 철심에 배치되는 분할형 치와 대응하는 고정자 철심의 사이에 다수의 분할형 치를 반복 배치한 것을 특징으로 하는 리니어 모션 가이드와 리럭턴스형 선형 전동기의 결합 시스템.
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