KR100614646B1 - Built-in current sensor and current testing method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전류 테스팅을 위한 내장형 전류 감지 회로에 관한 것으로, 결함 전류와 기준 전류를 비교하여 결함 전류 발생 여부를 테스트한다.The present invention relates to a built-in current sensing circuit for current testing, and compares the fault current and the reference current to test whether a fault current is generated.

본 발명에 의하면, 제 1 정전류, 제 2 정전류, 그리고 제 3 정전류를 발생하는 전류 발생기와 검사 대상 장치의 결함 전류를 노드로 전달하는 스위치와 상기 노드에는 상기 제 1 정전류가 공급되며 상기 노드에 공급된 상기 정전류 및 상기 결함 전류를 합산하는 전류 합산기와 상기 제 2 정전류와 기준 전류의 합으로부터 상기 합산된 전류를 감산하는 전류 감산기와 그리고 상기 제 3 정전류와 상기 감산된 전류의 차에 의해서 결정된 전압이 검출 전압보다 낮은 지의 여부를 검출하는 검출기를 포함한다. According to the present invention, a switch for delivering a fault current of a current generator and a test target device generating a first constant current, a second constant current, and a third constant current to a node and the node is supplied with the first constant current and supplied to the node. A current adder for summing the constant current and the fault current, a current subtractor for subtracting the summed current from the sum of the second constant current and the reference current, and a voltage determined by the difference between the third constant current and the subtracted current And a detector for detecting whether the detection voltage is lower than the detection voltage.

본 발명에 의하면, 집적회로 내부에 전류 감지기가 내장되며, 전류-전압 변환없이 전류 비교를 통해 결함 전류를 검출함으로써 고속의 테스팅이 가능해진다.According to the present invention, a current detector is built in an integrated circuit, and high-speed testing is possible by detecting a fault current through current comparison without current-voltage conversion.

Description

내장형 전류 감지 회로 및 그것의 전류 테스팅 방법{BUILT-IN CURRENT SENSOR AND CURRENT TESTING METHOD THEREOF}Built-in current sensing circuit and its current testing method {BUILT-IN CURRENT SENSOR AND CURRENT TESTING METHOD THEREOF}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 내장형 전류 감지 회로의 회로도이다.1 is a circuit diagram of a built-in current sensing circuit according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 따른 회로내의 신호들의 타이밍도이다.2 is a timing diagram of signals in the circuit according to FIG. 1.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100 : 검사 대상 장치 10 : 스위치100: inspection target device 10: switch

20 : 정전류 발생기 30 : 검출기20: constant current generator 30: detector

40 : 제 1 전류 미러 50 : 제 2 전류 미러40: first current mirror 50: second current mirror

본 발명은 반도체 집적회로의 테스트에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 집적회로의 정지상태 전류값 테스트를 위한 내장형 전류 감지 회로에 관한 것이다.The present invention relates to a test of a semiconductor integrated circuit, and more particularly, to a built-in current sensing circuit for testing a stationary current value of a semiconductor integrated circuit.

최근 회로설계에 있어서 적은 전력소모와 높은 집적률 등의 장점을 지닌 CMOS가 중요한 회로구성 소자로써 집적회로 구현에 널리 이용되고 있다. 그러나 CMOS 기술을 사용한 집적회로의 집적도와 크기가 매우 크게 증가함에 따라, 칩의 제조 과정에서 여러 가지 요인에 의한 많은 물리적 결함들의 발생과 이로 인한 고장들이 생겨나고 있다. 집적도의 증가로 인해 발생하는 고장들은 기존의 모델로 사용되어지던 고착고장(stuck-at) 보다는 내부 노드(node)간의 저항성 합선(short)에 의한 브리징 고장(bridging fault)과 트랜지스터 단자들 사이의 합선에 의한 고장(short fault)이 더 많은 발생 빈도를 나타내고 있다. 이처럼 CMOS 집적회로에서 고장 발생 가능성이 증가하면서 회로가 정상적으로 동작하는지 여부를 검증하는 테스팅이 매우 어렵게 되었고, 이로 인하여 많은 시간과 인력 그리고 비용을 필요로 하게 되었다. Recently, CMOS, which has advantages such as low power consumption and high integration ratio, has been widely used for implementing integrated circuits as an important circuit component. However, as the degree of integration and size of integrated circuits using CMOS technology increases greatly, many physical defects are caused by various factors in the manufacturing process of the chip, and failures are generated. The faults caused by the increased density are short-circuited between transistor terminals and bridging faults due to resistive shorts between internal nodes, rather than the stuck-at used in previous models. Short faults indicate more frequent occurrences. The increased likelihood of failure in CMOS integrated circuits has made testing very difficult to verify that the circuit is operating normally, which requires a lot of time, manpower and cost.

특히 이러한 고장들은 기존의 칩 테스팅 방식인 논리 테스트, 즉 전압 테스트로는 검출되지 않는다. 따라서 이의 해결책으로서 최근에 활발한 연구가 진행되는 것이 정지상태의 전류값을 비교하여 회로 내에 존재하는 다양한 형태의 고장을 검출할 수 있는 방식이다. 전류 테스트는 전압 테스트보다 적은 수의 테스트 패턴을 사용하여 브리징과 같은 물리적인 결함 뿐만아니라 게이트 누설전류와 같이 신뢰도에 관계되는 고장도 검출할 수 있다. 전류 테스트 방법에는 전류를 칩의 외부에서 측정하는 방법과 칩의 내부에서 측정하는 방법이 있다. 외부 전류 테스팅 방법은 외부에 테스팅 장비가 테스트 대상회로에 비해 상당히 큰 충전부하를 가지고 있어 정교하게 작은 양의 고장 전류를 감지하는 데에 어려움이 있고, 테스팅 장비의 임피던스에 의한 지연 때문에 고속 테스팅이 불가능하다. 또한 종래의 테스팅 장비들은 전압을 측정하도록 되어있어 별도의 전류 테스팅 장비가 필요하다는 문제점도 있다. 반면 내부 전류 테스팅 방법은 기존의 테스트 장비를 사용할 수 있고, 고속 테스팅이 가능하며, 전류 감지 해상도를 높일 수 있다는 점에서 유리하다. In particular, these failures are not detected by the conventional chip testing logic test, that is, voltage test. Therefore, the recent active research as a solution to this is a way to detect the various types of failures present in the circuit by comparing the current value of the stationary state. Current tests use fewer test patterns than voltage tests to detect physical defects such as bridging, as well as reliability-related failures such as gate leakage currents. Current test methods include measuring the current outside the chip and measuring the inside of the chip. In the external current testing method, it is difficult to detect a small amount of fault current precisely because the testing equipment has a significantly larger charging load than the circuit under test, and high-speed testing is impossible due to the delay caused by the impedance of the testing equipment. Do. In addition, the conventional testing equipment is to measure the voltage, there is a problem that requires a separate current testing equipment. On the other hand, the internal current testing method is advantageous in that it can use existing test equipment, enable high speed testing, and increase current sensing resolution.

기존의 대부분의 내장형 전류 감지기는 고장전류를 입력으로 하여 내부에서 전압으로 변환시키고 그 변환된 전압을 기준 전압과 비교하여 결과를 외부 출력 단자로 내보내는 방식을 사용했다. 그러나 이러한 방식에서 사용되는 전류-전압 변환기에서 발생하는 전압 강하는 점점 낮아지고 있는 동작 전압에 중요한 방해 요인이 되고 있다. Most of the existing built-in current detectors use a fault current as an input, convert the voltage internally, compare the converted voltage with a reference voltage, and output the result to an external output terminal. However, the voltage drop generated by the current-to-voltage converter used in this manner is an important obstacle to the ever-lower operating voltages.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 전류-전압 변환기를 사용하지 않고 전류를 바로 입력으로 하여 기준 전류와 비교하는 방식으로 결함 전류를 테스트하는 내장형 전류 감지회로 및 그것의 전류 테스팅 방법을 제공하는데 있다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been proposed to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a built-in current sensing circuit for testing a fault current in such a manner as to directly compare the current with a reference current without using a current-to-voltage converter. To provide its current testing method.

상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 전류 테스팅을 위한 내장형 전류 감지 회로는 제 1 정전류, 제 2 정전류, 그리고 제 3 정전류를 발생하는 전류 발생기와 검사 대상 장치의 결함 전류를 노드로 전달하는 스위치와 상기 노드에는 상기 제 1 정전류가 공급되며 상기 노드에 공급된 상기 정전류 및 상기 결함 전류를 합산하는 전류 합산기와 상기 제 2 정전류와 기준 전류의 합으로부터 상기 합산된 전류를 감산하는 전류 감산기와 그리고 상기 제 3 정전류와 상기 감산된 전류의 차에 의해서 결정된 전압이 검출 전압보다 낮은 지의 여부를 검출하는 검출기를 포함한다.The built-in current sensing circuit for current testing according to the present invention for achieving the above-described technical problem is to transmit a fault current of the current generator and the inspection target device generating a first constant current, a second constant current, and a third constant current to the node. A switch and the node supplied with the first constant current, a current adder for summing the constant current and the fault current supplied to the node, and a current subtractor for subtracting the summed current from the sum of the second constant current and the reference current; and And a detector for detecting whether a voltage determined by the difference between the third constant current and the subtracted current is lower than a detection voltage.

이 실시예에 있어서, 상기 스위치는 테스트 신호에 의해서 주기적으로 활성화된다.In this embodiment, the switch is activated periodically by a test signal.

이 실시예에 있어서, 상기 제 1 정전류와 상기 제 3 정전류는 양적으로 동일하고, 상기 제 2 정전류는 양적으로 상기 제 1 정전류의 2배이다.In this embodiment, the first constant current and the third constant current are quantitatively equal, and the second constant current is quantitatively twice the first constant current.

이 실시예에 있어서, 상기 전류 합산기 및 상기 전류 감산기는 각각 전류 미러를 포함한다.In this embodiment, the current adder and the current subtractor each include a current mirror.

이 실시예에 있어서, 상기 정전류 발생기는 기준 전압에 응답하여 상기 제 1 내지 제 3 정전류들을 발생한다.In this embodiment, the constant current generator generates the first to third constant currents in response to a reference voltage.

이 실시예에 있어서, 상기 검출기는 인버터를 포함한다.In this embodiment, the detector comprises an inverter.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 제 1 정전류, 제 2 정전류, 그리고 제 3 정전류를 발생하는 단계와 검사 대상 장치의 결함 전류를 노드로 전달하는 단계와 상기 노드에는 상기 제 1 정전류가 공급되며 상기 노드에 공급된 상기 정전류 및 상기 결함 전류를 합산하는 단계와 상기 제 2 정전류와 기준 전류의 합으로부터 상기 합산된 전류를 감산하는 단계와 그리고 상기 제 3 정전류와 상기 감산된 전류의 차에 의해서 결정된 전압이 검출 전압보다 낮은 지의 여부를 검출하는 단계를 포함한다.According to another feature of the invention, generating a first constant current, a second constant current, and a third constant current, transferring a fault current of the device under test to the node, and the node is supplied with the first constant current and the node Summing the constant current and the fault current supplied to the subtractor; subtracting the summed current from the sum of the second constant current and the reference current; and the voltage determined by the difference between the third constant current and the subtracted current. Detecting whether the detection voltage is lower than the detection voltage.

이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the technical idea of the present invention. do.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 내장형 전류 감지 회로의 회로도이다. 본 실시예를 도 2에 도시된 도 1에 따른 회로내의 신호들의 타이밍도를 함께 참조하며 설명하기로 한다.1 is a circuit diagram of a built-in current sensing circuit according to an embodiment of the present invention. This embodiment will be described with reference to a timing diagram of signals in the circuit according to FIG. 1 shown in FIG.

본 발명의 내장형 전류 감지 회로는 스위치(10), 정전류 발생기(20), 검출기(30), 제 1 전류 미러(40), 그리고 제 2 전류 미러(50)로 구성되어 있다. The built-in current sensing circuit of the present invention includes a switch 10, a constant current generator 20, a detector 30, a first current mirror 40, and a second current mirror 50.

스위치(10)는 테스트 신호(Test_in)가 게이트로 인가되는 제 1 트랜지스터(Q0)와 반전된 테스트 신호가 게이트로 인가되는 제 2 트랜지스터(Q1)로 구성되어 있다. 제 1 트랜지스터의 드레인은 검사 대상 장치(100)와 연결되고, 소스는 정전류 발생기(20)와 제 1 전류 미러(40)가 만나는 노드에 연결되어 있다. 제 2 트랜지스터(Q1)의 드레인은 검사 대상 장치(100)와 연결되어 있고, 소스는 그라운드와 연결되어 있다. 내장형 전류 감지 회로는 정상 동작 모드와 Iddq 테스트 모드의 두 가지 동작 모드를 갖는다. 즉 테스트 신호에 따라서 감지회로는 동작 내지 비동작의 기능을 수행하게 된다. 도 1을 참조하면 테스트 신호가 하이 레벨일때 트랜지스터(Q0)가 전도 상태가 되어 전류 통로로 결함 전류(Idef)가 흐르고 이 전류는 정전류 발생기(20)와 제 1 전류 미러(40)가 만나는 노드로 전달된다. 반대로 테스트 신호가 로우 레벨일때 트랜지스터(Q0)는 차단 상태, 트랜지스터(Q1)는 전도 상태가 되어 시험 대상 회로는 그라운드 단자로 연결되게 된다. 따라서 이때는 결함 전류(Idef)의 테스트가 이루어지지 않는다.The switch 10 includes a first transistor Q0 to which the test signal Test_in is applied to the gate and a second transistor Q1 to which the inverted test signal is applied to the gate. The drain of the first transistor is connected to the inspection target device 100, and the source is connected to a node where the constant current generator 20 and the first current mirror 40 meet. The drain of the second transistor Q1 is connected to the inspection target device 100 and the source is connected to the ground. The built-in current sense circuit has two modes of operation: normal operation mode and Iddq test mode. That is, the sensing circuit performs a function of operation or non-operation according to the test signal. Referring to FIG. 1, when the test signal is at a high level, the transistor Q0 is in a conductive state so that a fault current Idef flows through a current path, and this current is a node where the constant current generator 20 and the first current mirror 40 meet. Delivered. On the contrary, when the test signal is at the low level, the transistor Q0 is in the cutoff state and the transistor Q1 is in the conductive state, and the circuit under test is connected to the ground terminal. Therefore, the defect current Idef is not tested at this time.

본 회로에서는 시험 대상 회로내 클럭 신호의 천이에 따라 과도 전류가 발생되게 되는데, 이러한 과도 전류는 결함 전류와는 다르므로 최종 출력단에서 페일로 나타나서는 안된다. 따라서 도 2에 도시된 것처럼 과도 전류가 발생하는 타이밍, 즉 검사 대상 회로의 클럭 신호가 변화되는 구간에서는 테스트 신호가 항상 로우 레벨을 유지하여 전류 감지 회로가 동작하는 것을 차단시켜 주고 있다. In this circuit, the transient current is generated by the transition of the clock signal in the circuit under test. Since the transient current is different from the fault current, it should not be failed at the final output stage. Therefore, as shown in FIG. 2, the test signal is always kept at a low level to block the operation of the current sensing circuit in the timing at which the transient current occurs, that is, in a section in which the clock signal of the circuit to be inspected changes.

정전류 발생기(20)를 살펴보면, 전압 발생부로부터 발생된 전압(Vref)은 트랜지스터(Q6~Q9)의 게이트로 각각 인가되어 각 트랜지스터의 전류 통로에 전류 I가 흐르도록 작용한다. 이것은 차동 전류 증폭기에서 고속의 비교를 위하여 사용되는 많은 양의 커런트 소스(current source)이다. Referring to the constant current generator 20, the voltage Vref generated from the voltage generator is applied to the gates of the transistors Q6 to Q9, respectively, so that the current I flows in the current path of each transistor. This is a large amount of current source used for high speed comparison in differential current amplifiers.

테스트 신호가 하이 레벨일때 결함 전류(Idef)와 전류 I의 합 만큼이 트랜지스터(Q2)의 전류 통로로 흐르게된다. 트랜지스터(Q2)와 트랜지스터(Q3)는 제 1 전류 미러(40)를 구성한다. 트랜지스터(Q2)의 게이트와 드레인은 연결되어 있으며, 또한 게이트는 트랜지스터(Q3)의 게이트와도 연결되어 있다. 이로 인하여 트랜지스터(Q3)에도 같은 양의 전류 I+Idef가 흐르게된다. 트랜지스터(Q7)과 트랜지스터(Q8)에 흐는 정전류는 한 노드에서 합쳐져 두배의 정전류가 정전류 발생기(20), 제 1 전류 미러(40), 그리고 제 2 전류 미러(50)가 만나는 지점의 노드로 유입된다. 또한 이 노드로 기준 전류 발생기에서 발생된 전류(Iref)가 유입된다. 여기서 트랜지스터(Q3)에는 전류 I+Idef의 전류가 흐르므로, 트랜지스터(Q4)에는 I+(Iref-Idef)의 전류가 흐르게 된다. 트랜지스터(Q4)와 트랜지스터(Q5)는 제 2 전류 미러(50)를 구성한다. 트랜지스터(Q4)의 게이트와 드레인은 연결되어 있으며, 또한 게이트는 트랜지스터(Q5)의 게이트와도 연결되어 있다. 이로 인하여 트랜지스터(Q5)에도 같은 양의 전류 I+(Iref-Idef)가 흐른다. When the test signal is at the high level, the sum of the defect current Idef and the current I flows in the current path of the transistor Q2. Transistor Q2 and transistor Q3 form a first current mirror 40. The gate and the drain of the transistor Q2 are connected, and the gate is also connected to the gate of the transistor Q3. As a result, the same amount of current I + Idef flows through the transistor Q3. The constant current flowing through the transistors Q7 and Q8 is combined at one node so that twice the constant current is at the node where the constant current generator 20, the first current mirror 40, and the second current mirror 50 meet. Inflow. This node also introduces a current Iref generated from the reference current generator. Since the current of the current I + Idef flows through the transistor Q3, the current of I + (Iref-Idef) flows through the transistor Q4. Transistors Q4 and Q5 form a second current mirror 50. The gate and the drain of the transistor Q4 are connected, and the gate is also connected to the gate of the transistor Q5. As a result, the same amount of current I + (Iref-Idef) flows through the transistor Q5.

검출기(30)는 PMOS 전류미러 쌍에서 전류를 복제하는 기능을 하는 트랜지스 터 Q9의 드레인과 NMOS 전류 미러 쌍에서 전류를 복제하는 기능을 하는 트랜지스터(Q5)의 드레인이 함께 연결되어 패스/페일 신호를 발생하는 인버터의 입력에 연결된 구조로 되어있다. 기준 전류 Iref의 상수 값은 시험 대상 회로가 결함이 없을 때의 정상상태 전류의 값과 같다. 결과적으로 전류 I는 일정하게 흐르는 전류이므로 전류 I+(Iref-Idef) 중 (Iref-Idef) 부분의 +또는 -의 크기에 따라 전압의 변동으로 인해 본 노드에 연결된 인버터의 동작에 따라 결함전류 발생이 판단되는 것이다. Detector 30 is connected to the drain of transistor Q9, which duplicates the current in the PMOS current mirror pair, and the drain of transistor Q5, which duplicates the current in the NMOS current mirror pair. It has a structure connected to the input of the inverter to generate a. The constant value of the reference current Iref is equal to the value of the steady state current when the circuit under test is free of defects. As a result, the current I is a constant flowing current, so that the fault current is generated by the operation of the inverter connected to this node due to the voltage change depending on the magnitude of + or-of the (Iref-Idef) part of the current I + (Iref-Idef). It is judged.

따라서 결함전류 Idef가 존재한다면 기준전류 Iref 보다 큰 값을 가지게 되어 출력신호 패스/페일은 '1'이 되고, 결함전류가 기준전류 보다 작은 값을 가질때에는 '0'이 된다. 따라서 출력신호 패스/페일이 '1'이 될때 결함 전류가 존재한다는 것을 알 수 있다. Therefore, if there is a fault current Idef, it has a value larger than the reference current Iref, and the output signal path / fail becomes '1', and when the fault current has a value smaller than the reference current, it becomes '0'. Therefore, it can be seen that a fault current exists when the output signal path / fail becomes '1'.

한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 상술한 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만아니라 이 발명의 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다. On the other hand, in the detailed description of the present invention has been described with respect to specific embodiments, various modifications are of course possible without departing from the scope of the invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the above-described embodiments, but should be defined by the equivalents of the claims of the present invention as well as the following claims.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 집적회로 내부에 전류 감지기가 내장되며, 전류-전압 변환없이 전류 비교를 통해 결함 전류를 검출함으로써 고속의 테스팅이 가능해진다.As described above, according to the present invention, a current detector is built in an integrated circuit, and high-speed testing is possible by detecting a fault current through current comparison without current-voltage conversion.

Claims (8)

제 1 정전류, 제 2 정전류, 그리고 제 3 정전류를 발생하는 전류 발생기와;A current generator for generating a first constant current, a second constant current, and a third constant current; 검사 대상 장치의 결함 전류를 노드로 전달하는 스위치와;A switch for transferring a fault current of the inspection target device to the node; 상기 노드에는 상기 제 1 정전류가 공급되며; The node is supplied with the first constant current; 상기 노드에 공급된 상기 정전류 및 상기 결함 전류를 합산하는 전류 합산기와;A current adder for summing the constant current and the fault current supplied to the node; 상기 제 2 정전류와 기준 전류의 합으로부터 상기 합산된 전류를 감산하는 전류 감산기와;그리고A current subtractor for subtracting the summed current from the sum of the second constant current and the reference current; and 상기 제 3 정전류와 상기 감산된 전류의 차에 의해서 결정된 전압이 검출 전압보다 낮은 지의 여부를 검출하는 검출기를 포함하는 내장형 전류 감지 회로. And a detector for detecting whether a voltage determined by the difference between the third constant current and the subtracted current is lower than a detection voltage. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스위치는 테스트 신호에 의해서 주기적으로 활성화되는 내장형 전류 감지 회로.The switch is periodically activated by a test signal. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제 1 정전류와 상기 제 3 정전류는 양적으로 동일하고, 상기 제 2 정전류는 양적으로 상기 제 1 정전류의 2배인 내장형 전류 감지 회로.And the first constant current and the third constant current are quantitatively equal, and the second constant current is quantitatively twice the first constant current. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전류 합산기 및 상기 전류 감산기는 각각 전류 미러를 포함하는 내장형 전류 감지 회로.And the current adder and the current subtractor each include a current mirror. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 정전류 발생기는 기준 전압에 응답하여 상기 제 1 내지 제 3 정전류들을 발생하는 내장형 전류 감지 회로.And the constant current generator generates the first to third constant currents in response to a reference voltage. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 검출기는 인버터를 포함하는 내장형 전류 감지 회로.And said detector comprises an inverter. 제 1 정전류, 제 2 정전류, 그리고 제 3 정전류를 발생하는 단계와;Generating a first constant current, a second constant current, and a third constant current; 검사 대상 장치의 결함 전류를 노드로 전달하는 단계와;Delivering a fault current of the device under inspection to the node; 상기 노드에는 상기 제 1 정전류가 공급되며; The node is supplied with the first constant current; 상기 노드에 공급된 상기 정전류 및 상기 결함 전류를 합산하는 단계와;Summing the constant current and the fault current supplied to the node; 상기 제 2 정전류와 기준 전류의 합으로부터 상기 합산된 전류를 감산하는 단계와;그리고Subtracting the summed current from the sum of the second constant current and the reference current; and 상기 제 3 정전류와 상기 감산된 전류의 차에 의해서 결정된 전압이 검출 전압보다 낮은 지의 여부를 검출하는 단계를 포함하는 내장형 전류 감지 회로의 전류 테스팅 방법. Detecting whether the voltage determined by the difference between the third constant current and the subtracted current is lower than a detection voltage. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제 1 정전류와 상기 제 3 정전류는 양적으로 동일하고, 상기 제 2 정전류는 양적으로 상기 제 1 정전류의 2배인 내장형 전류 감지 회로의 전류 테스팅 방법.And the first constant current and the third constant current are quantitatively equal, and the second constant current is quantitatively twice the first constant current.
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