KR100612992B1 - Thin film transistor for liquid crystal display and repairing methods the same - Google Patents
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Abstract
가로 방향으로 다수의 게이트선이 형성되어 있고, 게이트선과 교차하여 매트릭스 형태의 화소 영역을 정의하는 데이터선이 형성되어 있다. 각각의 화소 영역에는 데이터선을 통하여 화상 신호가 전달되는 화소 전극이 형성되어 있으며, 게이트선과 데이터선이 교차하는 부분에는 게이트선에 연결되어 있는 게이트 전극, 데이터선에 연결되어 있는 소스 전극 및 접촉 구멍을 통하여 화소 전극에 연결되어 있는 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터가 형성되어 있다. 또한, 게이트선과 동일한 층에는 가로 방향으로 뻗은 유지 전극선, 유지 전극선의 분지인 세로 방향의 유지 전극 및 서로 이웃하는 화소의 유지 전극을 연결하는 하나 이상의 유지 전극 연결부를 포함하는 유지 배선이 형성되어 있다. 또한, 세로 방향으로는 데이터선과 동일한 층으로 형성되어 있으며, 일단의 유지 전극선과 중첩되어 있으며 타단은 이웃하는 화소 행의 유지 배선 또는 게이트선과 중첩되어 있는 수리용 보조선이 형성되어 있다. 또한, 화소 전극과 동일한 층에서는 서로 이웃하는 화소 행의 유지 배선을 연결하는 유지 배선 연결부가 형성되어 있다. 이러한 본 발명의 구조에서는, 게이트선 또는 데이터선이 단선되는 경우에 단선된 배선과 유지 배선 및 수리용 보조선을 단락시켜 배선의 단선을 용이하게 수리할 수 있다.A plurality of gate lines are formed in the horizontal direction, and data lines defining pixel regions in a matrix form are formed to cross the gate lines. In each pixel area, pixel electrodes through which data signals are transmitted are formed through data lines, and gate electrodes connected to gate lines, source electrodes connected to data lines, and contact holes are formed at the intersections of the gate lines and the data lines. A thin film transistor including a drain electrode connected to the pixel electrode is formed. In addition, a storage wiring including a storage electrode line extending in the horizontal direction, a storage electrode in a vertical direction that is a branch of the storage electrode line, and one or more storage electrode connection portions connecting the storage electrodes of neighboring pixels to each other are formed on the same layer as the gate line. Further, in the vertical direction, a repair auxiliary line is formed that is formed of the same layer as the data line, overlaps one end of the sustain electrode line, and the other end overlaps the sustain wiring or the gate line of the neighboring pixel row. In the same layer as the pixel electrode, a storage wiring connection portion for connecting the storage wirings of adjacent pixel rows to each other is formed. In the structure of the present invention, when the gate line or data line is disconnected, the disconnected wiring, the maintenance wiring and the repair auxiliary line can be shorted to easily repair the disconnection of the wiring.
게이트선, 화소전극, 유지 전극성 Gate line, pixel electrode, sustain electrode
Description
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조를 개략적으로 도시한 구성도이고,1 is a configuration diagram schematically illustrating a structure of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조를 구체적으로 도시한 배치도이고, 2 is a layout view illustrating in detail a structure of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention.
도 3은 도 2에서 Ⅲ-Ⅲ' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이고,3 is a cross-sectional view taken along the line III-III 'of FIG. 2,
도 4a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에서 게이트선이 단선되는 경우에 그 수리 방법을 도시한 도면이고,4A is a diagram illustrating a repair method when a gate line is disconnected in a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention.
도 4b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에서 데이터선이 단선되는 경우에 그 수리 방법을 도시한 도면이고,4B is a diagram illustrating a repair method when a data line is disconnected in the thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to the first embodiment of the present invention.
도 4c는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에서 데이터 배선 중 소스 전극이 단선되는 경우에 그 수리 방법을 도시한 도면이고,4C is a diagram illustrating a repair method when a source electrode of a data line is disconnected in a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a first embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조를 구체적으로 도시한 배치도이고, FIG. 5 is a layout view specifically illustrating a structure of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.
도 6은 도 5에서 VI-VI' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이고,FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI 'of FIG. 5;
도 7a는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에서 게이트선이 단선되는 경우에 그 수리 방법을 도시한 도면이고,FIG. 7A is a diagram illustrating a repair method when a gate line is disconnected in a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.
도 7b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에서 데이터선이 단선되는 경우에 그 수리 방법을 도시한 도면이고,FIG. 7B is a diagram illustrating a repair method when a data line is disconnected in a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.
도 7c는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에서 데이터 배선 중 소스 전극이 단선되는 경우에 그 수리 방법을 도시한 도면이다.FIG. 7C is a diagram illustrating a repair method when a source electrode is disconnected among data lines in a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.
이 발명은 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 수리 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 유지 용량을 형성하기 위해 별도의 독립 배선을 가지는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 수리 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin film transistor substrate for a liquid crystal display device and a repair method thereof, and more particularly, to a thin film transistor substrate for a liquid crystal display device having a separate independent wiring for forming a storage capacitor and a repair method thereof.
액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 전극이 형성되어 있는 두 장의 기판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어져, 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 투과되는 빛의 양을 조절하는 표시 장치이다.The liquid crystal display is one of the most widely used flat panel display devices. The liquid crystal display includes two substrates on which electrodes are formed and a liquid crystal layer interposed therebetween, and rearranges the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer by applying a voltage to the electrode. By controlling the amount of light transmitted.
액정 표시 장치 중에서도 현재 주로 사용되는 것은 두 기판에 전극이 각각 형성되어 있고 전극에 인가되는 전압을 스위칭하는 박막 트랜지스터를 가지고 있는 액정 표시 장치이며, 박막 트랜지스터는 두 기판 중 하나에 형성되는 것이 일반적 이며, 박막 트랜지스터가 형성된 기판을 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판이라 한다.Among the liquid crystal display devices, a liquid crystal display device having a thin film transistor for forming an electrode on each of two substrates and switching a voltage applied to the electrode is generally used. The thin film transistor is generally formed on one of two substrates. The substrate on which the thin film transistor is formed is called a thin film transistor substrate for a liquid crystal display device.
이러한 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에는 서로 교차하여 매트릭스 형태의 화소 영역을 정의하는 게이트선과 데이터선이 형성되어 있으며, 게이트선과 데이터선이 교차하는 부분에는 박막 트랜지스터가 형성되어 있으며, 각각의 화소 영역에는 박막 트랜지스터의 스위칭 동작에 따라 데이터선을 통하여 화상 신호가 전달되는 화소 전극이 형성되어 있다. A gate line and a data line are formed on the thin film transistor substrate for a liquid crystal display device to cross each other, and a thin film transistor is formed at an intersection portion of the gate line and the data line. According to the switching operation of the thin film transistor, a pixel electrode to which an image signal is transmitted through a data line is formed.
한편, 이러한 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에는 액정 축전기의 전하 유지 능력을 보조하기 위한 유지 전극선이 형성되어 있으며, 이러한 유지 전극선은 화소 전극과 절연막을 매개로 중첩되어 유지 용량을 형성한다.On the other hand, the thin film transistor substrate for a liquid crystal display device is formed with a sustain electrode line for assisting the charge holding ability of the liquid crystal capacitor, and the sustain electrode line overlaps the pixel electrode and the insulating film to form a storage capacitor.
이러한 박막 트랜지스터 액정 표시 장치를 제조하는 공정에서 공정 수율을 감소시키는 원인으로 여러 가지를 들 수 있겠지만 구동 집적회로의 출력 단자로부터 각각의 박막 트랜지스터의 소스 단자 및 게이트 단자로 연결되는 데이터선 및 게이트선의 단선/단락 결함(open/short defect)은 수율을 감소시키는 주된 원인이 될뿐아니라 수리를 하기 위해서는 많은 비용이 투입된다. 이러한, 배선의 단선 결함은 화상이 표시될 때 화소의 점 또는 선 불량으로 나타난다. In the process of manufacturing the thin film transistor liquid crystal display device, there may be various reasons for reducing the process yield, but disconnection of the data line and the gate line connected from the output terminal of the driving integrated circuit to the source terminal and the gate terminal of each thin film transistor. Open / short defects are not only a major cause of yield loss, but are also expensive to repair. Such disconnection defects in the wiring appear as point defects or line defects of the pixels when the image is displayed.
본 발명의 과제는 배선의 단선/단락 결함을 용이하게 수리할 수 있는 배선 구조를 가지는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a thin film transistor substrate for a liquid crystal display device having a wiring structure capable of easily repairing disconnection / short circuit defects of wiring.
또한, 본 발명의 다른 과제는 게이트선 및 데이터선의 단선/단락 결함을 용 이하게 수리할 수 있는 배선의 수리 방법을 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to provide a repairing method of wiring that can easily repair disconnection / short circuit defects of the gate line and the data line.
이와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에는 서로 이웃하는 화소 열의 유지 배선은 적어도 두 부분이 서로 연결되어 형성되어 있다. 또한, 일단은 유지 배선과 중첩되어 있고 타단은 이웃하는 화소 행의 유지 배선 또는 게이트 배선에 중첩되어 있으며, 플로팅(floating)되어 있는 수리용 보조선이 형성되어 있다.In order to solve the above problems, at least two portions of the storage wirings of adjacent pixel columns are formed on the thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to the present invention. In addition, one end overlaps with the sustain wiring, the other end overlaps with the sustain wiring or the gate wiring of the neighboring pixel row, and a floating auxiliary line is formed.
더욱 상세하게 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에는, 행 방향으로 형성되어 있는 다수의 게이트선을 포함하는 게이트 배선이 형성되어 있고, 게이트선과 동일한 방향으로 형성되어 있으며 유지 전극선과 유지 전극선의 분지인 유지 전극, 서로 이웃하는 화소의 유지 전극을 연결하는 적어도 하나의 유지 전극 연결부를 포함하는 유지 배선이 형성되어 있다. 또한, 게이트 배선 및 유지 배선과 절연되어 교차하며, 열 방향으로 형성되어 있는 데이터선을 포함하는 데이터 배선이 형성되어 있으며, 데이터 배선과 동일한 층에는 일단은 유지 전극선과 중첩되어 있으며, 타단은 열 방향으로 이웃하는 화소의 게이트 배선 또는 유지 배선과 중첩되어 있는 수리용 보조선이 형성되어 있다. 게이트선 및 데이터선의 교차로 정의되는 행렬 형태의 화소에 유지 배선과 중첩되어 유지 용량을 형성하며, 데이터선으로부터 화상 신호를 전달받는 화소 전극이 형성되어 있다. More specifically, in the thin film transistor substrate for a liquid crystal display device according to the present invention, a gate wiring including a plurality of gate lines formed in the row direction is formed, is formed in the same direction as the gate line, and is formed of the storage electrode line and the storage electrode line. A sustain wiring including a sustain electrode that is a branch and at least one sustain electrode connection portion connecting the sustain electrodes of neighboring pixels to each other is formed. In addition, a data wiring including a data line which is insulated from and intersects with the gate wiring and the sustain wiring and is formed in a column direction is formed, one end of which overlaps the storage electrode line in the same layer as the data wiring, and the other end is in the column direction. As a result, a repair auxiliary line overlapping the gate wiring or the sustain wiring of the neighboring pixel is formed. A pixel electrode is formed in a matrix pixel defined by the intersection of a gate line and a data line to form a storage capacitor by overlapping with a storage line, and to receive an image signal from the data line.
여기서, 서로 이웃하는 화소 행의 인접한 유지 배선을 연결하는 유지 배선 연결부를 더 포함할 수 있다.Here, the semiconductor device may further include a storage line connection unit connecting adjacent storage lines of adjacent pixel rows.
이때, 수리용 보조선은 데이터 배선과 동일한 층으로 형성될 수 있으며, 유지 배선용 연결부는 화소 전극과 동일한 층으로 형성될 수 있으며, 유지 배선과 게이트 배선은 동일한 층으로 형성되는 것이 바람직하다.In this case, the repair auxiliary line may be formed of the same layer as the data line, the connection line for the storage line may be formed of the same layer as the pixel electrode, and the storage line and the gate line may be formed of the same layer.
이러한 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에 있어서, 게이트 배선 또는 데이터 배선이 단선되는 경우에 게이트 배선 또는 데이터 배선과 이와 중첩하는 수리용 보조선을 단락시켜 단선된 배선을 수리한다.In such a liquid crystal display thin film transistor substrate, when the gate wiring or data wiring is disconnected, the broken wiring is repaired by shorting the repair wiring which overlaps with the gate wiring or data wiring.
그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치 및 그 수리 방법에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.Next, a liquid crystal display and a repair method thereof according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that a person skilled in the art may easily implement the present invention.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조를 개략적으로 도시한 구성도이다.1 is a configuration diagram schematically illustrating a structure of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에는, 다수의 게이트선(22)과 다수의 데이터선(62)이 서로 교차하면서 행렬 형태의 다수의 화소(P)를 정의하고 있다. 각각의 단위 화소(P)에는 스위칭 소자이며, 제1 단자는 게이트선(22)과, 제2 단자는 데이터선(62)과 그리고 제3 단자는 액정 축전기(CLC)와 연결되어 있는 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되어 있다. 그리고 각각의 화소(P)에는 일측 단자가 박막 트랜지스터(TFT)의 제3 단자와 연결되어 있고 타측 단자는 유지 전극선(26)과 연결되어 있는 유지 용량용 축전기(CST)가 형성되어 있다. 여기서, 도면 부호 D는 화상이 표시되는 활성 영역을 나타낸 것이며, 행렬 형태의 화소 집합으로 이루어져 있다. 활성 영역(D) 밖의 둘레에는 게이트선(22) 및 데이터선(62)과 중첩하는 다수의 외곽 수리선(91)이 형성되어 있다. In the thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention, the plurality of
그러면, 도 2 및 3을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 화소 구조를 더욱 상세하게 설명하기로 한다.Next, the pixel structure of the thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 2 and 3.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조를 구체적으로 도시한 배치도이고, 도 3은 도 1에서 Ⅱ-Ⅱ' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.FIG. 2 is a layout view illustrating a structure of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention in detail. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line II-II ′ of FIG. 1.
먼저, 절연 기판(10) 위에 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금(Al alloy), 몰리브덴(Mo) 또는 몰리브덴-텅스텐(MoW) 합금, 크롬(Cr), 탄탈륨(Ta) 등의 금속 또는 도전체로 만들어진 게이트 배선 및 유지용 배선이 형성되어 있다. 게이트 배선은 가로 방향으로 뻗어 있으며 주사 신호를 전달하는 주사 신호선 또는 게이트선(22) 및 게이트선(22)의 일부인 박막 트랜지스터의 게이트 전극(24)을 포함하며, 게이트 배선은 게이트선(22)의 끝에 연결되어 있어 외부로부터의 주사 신호를 인가 받아 게이트선(22)으로 전달하는 게이트 패드를 더 포함할 수 있다. 유지 배선은 그리고 게이트선(22)과 동일한 방향으로 뻗어 있으며 상판의 공통 전극에 입력되는 공통 전극 전압 따위의 전압을 외부로부터 인가 받는 유지 전극선(26)과 세로 방향으로 유지 전극선(26)의 분지로 뻗어 있는 유지 전극(28)과 서로 이웃하는 화소 열의 유지 배선을 연결하는 유지 전극 연결부(27)와 유지 전극(28)의 끝 부분에 연결되어 있는 배선 수리부(29)를 포함한다. 여기서, 서로 이웃하는 화소 열의 유지 배선(26, 27, 28, 29)은 두 개의 유지 전극 연결부(27)와 유지 전극선(26) 일부의 세 부분을 통하여 연결되어 있지만, 하나의 유지 전극 연결부(27)와 유지 전극선(26) 일부를 통하여 연결될 수도 있다. 유지 배선(26, 27, 28, 29)은 후술할 화소 전극(82)과 중첩되어 화소의 전하 보존 능력을 향상시키기 위한 유지 용량을 형성하는 유지 용량용 축전기(CST, 도 1 참조)를 만들어 주기 위한 것이다. 여기서, 유지 배선(26, 27, 28, 29)에 입력되는 공통 전압은 하나의 패드를 통하여 유지 전극선(26)의 한쪽 방향에서 입력될 수도 있으며, 다수의 패드를 통하여 유지 전극선(26)의 양쪽 방향에서 입력될 수도 있다. First, a gate made of a metal or a conductor such as aluminum (Al) or aluminum alloy (Al alloy), molybdenum (Mo) or molybdenum-tungsten (MoW) alloy, chromium (Cr), tantalum (Ta) or the like on the
여기서, 게이트 배선(22, 24) 및 유지 배선(26, 27, 28, 29)은 단일층으로 형성될 수도 있지만, 이중층이나 삼중층으로 형성될 수도 있다. 이중층 이상으로 형성하는 경우에는 한 층은 저항이 작은 물질로 형성하고 다른 층은 다른 물질, 특히 화소 전극으로 사용되는 ITO와의 접촉 특성이 좋은 물질로 만드는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 외부와 전기적으로 연결되는 패드부를 보강하기 위하여 패드부는 배선용 물질과 화소 전극용 물질인 ITO와 함께 형성하기 때문이다. Here, the
게이트 배선(22, 24) 및 유지 배선(26, 27, 28, 29) 위에는 질화 규소(SiNx) 따위로 이루어진 게이트 절연막(30)이 형성되어 게이트 배선(22, 24) 및 유지 배선(26, 27, 28, 29)을 덮고 있다.A
게이트 절연막(30) 위에는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon) 따위의 반도체로 이루어진 반도체 패턴(42)이 형성되어 있으며, 반도체 패턴(42) 위에는 인(P) 따위의 n형 불순물로 고농도로 도핑되어 있는 비정질 규소 따위로 이루어진 저항성 접촉층(ohmic contact layer) 패턴 또는 중간층 패턴(55, 56)이 형성되어 있다.A
접촉층 패턴(55, 56) 위에는 Mo 또는 MoW 합금, Cr, Al 또는 Al 합금, Ta 따위의 도전 물질로 이루어진 박막 트랜지스터의 소스 및 드레인 전극(65, 66)이 각각 형성되어 있으며, 게이트 절연막(30) 상부에는 소스 전극(65)과 연결되어 있으며, 게이트선(22)과 교차하여 화소를 정의하는 데이터선(62)이 세로 방향으로 형성되어 있다. 데이터 배선(62, 65, 66)은 데이터선(62)의 한쪽 끝에 연결되어 외부로부터의 화상 신호를 인가 받는 데이터 패드를 더 포함할 수 있다. 게이트 절연막(30) 상부에는 데이터 배선(62, 65, 66)과 동일한 층으로 일단은 유지 배선(26)과 중첩되어 있으며 타단은 이웃하는 화소 행의 게이트선(22)을 지나 배선 수리부(29)와 중첩되어 있는 수리용 보조선(68)이 세로 방향으로 형성되어 있다. 여기서, 수리용 보조선(68)의 타단은 게이트선(22) 상부까지만 연장될 수도 있다.On the
데이터 배선(62, 65, 66) 및 수리용 보조선(68)도 게이트 배선(22, 24)과 마찬가지로 단일층으로 형성될 수도 있지만, 이중층이나 삼중층으로 형성될 수도 있다. 물론, 이중층 이상으로 형성하는 경우에는 한 층은 저항이 작은 물질로 형성하고 다른 층은 다른 물질과의 접촉 특성이 좋은 물질로 만드는 것이 바람직하다.The data lines 62, 65, 66 and the repair
데이터 배선(62, 65, 66) 및 데이터 배선으로 가려지지 않는 반도체층(42) 위에는 보호막(72)이 형성되어 있으며, 보호막(72)은 드레인 전극(66)을 드러내는 접촉구멍(71)을 가지고 있다. A
보호막(72) 위에는 박막 트랜지스터로부터 화상 신호를 받아 상판의 공통 전 극과 함께 전기장을 생성하는 화소 전극(82)이 형성되어 있다. 화소 전극(82)은 ITO(indium tin oxide) 따위의 투명한 도전 물질로 만들어지며, 접촉 구멍(71)을 통하여 드레인 전극(66)과 물리적·전기적으로 연결되어 화상 신호를 전달받는다. 여기서, 화소 전극(82)과 동일한 층에는 서로 이웃하는 화소 행의 서로 인접한 유지 배선(26, 27, 28, 29)을 연결하는 유지 배선 연결부가 더 형성될 수 있으며, 이러한 유지 배선 연결부는 게이트 절연막(30)과 보호막(72)에 형성되어 있는 접촉 구멍을 통하여 유지 배선(26, 27, 28, 29)과 연결될 수 있다. 이에 대해서는 이후에 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. On the
이러한 본 발명의 실시예에 따른 구조에서 수리용 보조선(68)은 데이터 배선(62, 65, 66)과 동일한 층으로 형성되어 있지만, 화소 전극(82)과 동일한 층으로 보호막(72) 상부에 형성될 수 있으며, 유지 배선 연결부는 수리용 보조선(68)과 동일한 층으로 게이트 절연막(30) 상부에 형성될 수 있다. 한편, 보호막(72)은 게이트 패드 및 데이터 패드를 드러내는 접촉 구멍을 가질 수 있으며, 화소 전극과 동일한 층에는 접촉 구멍을 통하여 게이트 패드 및 데이터 패드를 덮는 보조 게이트 패드 및 보조 데이터 패드가 형성될 수 있다.In the structure according to the exemplary embodiment of the present invention, the repair
그러면, 이러한 본 발명의 실시예에 다른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조에서 게이트 배선, 데이터 배선 또는 유지 배선이 단선되는 경우에 수리하는 방법에 대하여 상세하기 설명하기로 한다.Next, a method of repairing the gate wiring, the data wiring or the sustain wiring in the structure of the thin film transistor substrate for a liquid crystal display device according to the embodiment of the present invention will be described in detail.
우선, 게이트선(22)이 단선되는 경우에 단선의 수리 방법을 구체적으로 설명하기로 한다.First, a method of repairing disconnection when the
도 4a는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에서 게이트선이 단선되는 경우에 그 수리 방법을 도시한 도면이다.4A is a diagram illustrating a repair method when a gate line is disconnected in a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 4a에서 보는 바와 같이, 게이트선(22)이 A 부분에서 단선되는 경우에는 단선된 A 부분을 중심으로 양쪽에 인접한 수리용 보조선(68)과 게이트선(22) 및 유지 전극선(26)이 교차하는 S 부분()에 레이저를 이용하여 이들(22, 26, 68)을 단락시켜, 게이트선(22)을 통하여 전달되는 주사 신호를 수리용 보조선(68)과 유지 전극선(26)을 통하여 우회시킨다. 이때, 유지 배선(26, 27, 28, 29) 전체에 주사 신호가 전달되지 않도록 S 부분에 인접한 양쪽의 유지 전극선(26)의 O 부분(--)을 단선시킨다. 이때, O 부분 사이의 유지 전극(28)을 추가로 단선시킬 수도 있으며, 공통 전압은 유지 전극선(26)의 양쪽 방향에서 전달된다. 한편, 공통 전압이 유지 전극선(26)의 한쪽 방향에서만 전달되는 경우에는 가로 방향으로 유지 전극(28)을 연결하는 유지 보조선(25)을 추가할 수도 있다.As shown in FIG. 4A, when the
다음은, 데이터선(62)이 단선되는 경우, 이를 수리하는 방법에 대하여 상세하게 설명하기로 한다. Next, when the
도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에서 데이터선이 단선되는 경우에 그 수리 방법을 도시한 도면이다.4B is a diagram illustrating a repair method when a data line is disconnected in a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
데이터선(62)이 B 부분에서 단선되는 경우에는 도 4b에서 보는 바와 같이, 단선된 B 부분에 인접한 상하의 유지 배선(26, 27)과 데이터선(62)이 교차하는 S 부분()에 레이저를 이용하여 이들(26, 27, 62)을 단락시켜, 데이터선(62)을 통하여 전달되는 영상 신호를 유지 배선(26, 27)을 통하여 우회시킨다. 이때, 유지 전 극 연결부(27)가 유지 전극선(26)을 이용할 수도 있지만, 각각의 단위 화소에 2개씩 형성되어 있는 경우에는 두 개의 유지 전극 연결부를 모두 이용할 수도 있다. 이때에도, 영상 신호가 유지 배선(26, 27, 28, 29) 전체에 전달되지 않도록 S 부분에 인접한 유지 전극선(26) O 부분(--)을 단선시킨다. 이때, 두 개의 유지 전극 연결부(27)만을 이용하여 수리하는 경우에 공통 전압은 유지 전극선(26)의 한쪽 방향에서 전달될 수도 있으며, 유지 전극선(26)을 이용하는 경우에 공통 전압은 유지 전극선(26)의 양쪽에서 전달되는 것이 바람직하다.In the case where the
다음은, 데이터 배선(62, 65, 66) 중에서 소스 전극(65)이 단선되는 경우, 이를 수리하는 방법에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.Next, when the
도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에서 데이터 배선 중 소스 전극이 단선되는 경우에 그 수리 방법을 도시한 도면이다.4C is a diagram illustrating a repair method when a source electrode is disconnected among data lines in a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 4c에서 보는 바와 같이, 데이터 배선(62, 65, 66) 중에서 소스 전극(65)의 C 부분이 단선되는 경우에는 C 부분에 인접한 유지 전극 연결부(27)와 데이터선(62)이 교차하는 S 부분()과 C 부분에 인접한 유지 배선(26, 29)과 수리용 보조선(68) 및 데이터선(62)이 교차하는 S 부분()에 레이저를 이용하여 이들(26, 27, 29, 62)을 단락시켜, 데이터선(62)을 통하여 전달되는 영상 신호를 유지 배선(26, 27, 28, 29)과 수리용 보조선(68)을 통하여 우회시킨다. 이때, 유지 배선(26, 27, 28, 29) 전체에 영상 신호가 전달되지 않도록 S 부분에 인접한 유지 배선(26, 28)의 O 부분(--)을 단선시킨다. 이때에도, 공통 전압은 유지 전극선(26)의 양쪽 방향에서 전달된다.As shown in FIG. 4C, when the C portion of the
다음은, 유지 배선 연결부를 가지는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.Next, the structure of the thin film transistor substrate for liquid crystal display device having the sustain wiring connection portion will be described in detail.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조를 구체적으로 도시한 배치도이고, 도 6은 도 5에서 VI-VI' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.FIG. 5 is a layout view illustrating a structure of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention in detail. FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI ′ of FIG. 5.
대부분의 구조는 도 1과 유사하다.Most of the structure is similar to FIG.
하지만, 수리용 보조선(68)의 양단은 유지 전극선(26)과 이웃하는 게이트선(22)과 각각 중첩되어 있다. 또한, 게이트 절연막(30)과 보호막(72)에는 게이트 배선(26, 29)을 각각 드러내는 접촉 구멍(78)을 가지고 있으며, 화소 전극(82)과 동일한 층에는 서로 이웃하는 화소 행의 인접한 유지 배선(26, 27, 28, 29)을 전기적으로 연결하는 유지 배선 연결부(88)가 형성되어 있다. However, both ends of the repair
이러한 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 구조에서, 서로 이웃하는 유지 전극선(26, 28)은 유지 전압용 보조선(84)을 통하여 서로 연결되어 있으므로 유지 전극선(26, 28)을 통하여 전달되는 유지 전압의 신호 왜곡을 최소화시킬 수 있다. In the structure of the thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to the exemplary embodiment of the present invention, the adjacent sustain
그러면, 이렇게 유지 배선 연결부(88)를 가지는 구조에서 게이트 배선 또는 데이터 배선이 단선되는 경우, 그 수리 방법에 대하여 구체적으로 설명하기로 한다. 이러한 구조에서는 유지 배선 연결부(88)를 통하여 유지 배선(26, 27, 28, 29)이 모두 연결되어 있기 때문에 유지 배선(26, 27, 28, 29)에 전달되는 신호는 하나의 패드를 통하여 연결해도 된다.Then, when the gate wiring or the data wiring is disconnected in the structure having the sustain
우선, 게이트선(22)이 단선되는 경우에 단선의 수리 방법을 구체적으로 설명하기로 한다.First, a method of repairing disconnection when the
도 7a는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에서 게이트선이 단선되는 경우에 그 수리 방법을 도시한 도면이다.FIG. 7A illustrates a repair method when a gate line is disconnected in a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.
도 7a에서 보는 바와 같이, 게이트선(22)이 A 부분에서 단선되는 경우에는 A 부분에 인접한 양쪽의 수리용 보조선(68)과 게이트선(22) 및 유지 전극선(26)과 교차하는 S 부분()에 레이저를 이용하여 이들(22, 26, 68)을 단락시켜, 게이트선(22)을 통하여 전달되는 주사 신호를 수리용 보조선(68)과 유지 전극선(26)을 통하여 우회시킨다. 이때, 유지 배선(26, 27, 28, 29) 전체에 주사 신호가 전달되지 않도록 S 부분에 인접한 유지 전극선(26, 28, 29)의 O 부분(--)을 단선시킨다. 이때, 유지 배선(26, 27, 28, 29) 모두는 유지 배선 연결부(88)를 통하여 연결되어 있기 때문에 S 부분 사이의 유지 전극(28)의 O 부분(--)을 단선시켜 유지 전극(28)을 유지 전극선(26)으로부터 분리해야 한다.As shown in FIG. 7A, when the
다음은, 데이터선(62)이 단선되는 경우, 이를 수리하는 방법에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.Next, when the
도 7b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에서 데이터선이 단선되는 경우에 그 수리 방법을 도시한 도면이다.FIG. 7B is a diagram illustrating a repair method when a data line is disconnected in a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.
데이터선(62)이 B 부분에서 단선되는 경우에는 도 7b에서 보는 바와 같이, B 부분에 인접한 유지 배선(26, 27)과 데이터선(62)이 교차하는 S 부분()에 레이저를 이용하여 이들(26, 27, 62)을 단락시켜, 데이터선(62)을 통하여 전달되는 영 상 신호를 유지 배선(26, 27)을 통하여 우회시킨다. 이때에도, 영상 신호가 유지 배선(26, 27, 28, 29) 전체에 전달되지 않도록 S 부분에 인접한 유지 전극선(26) 및 유지 전극(28)의 O 부분(--)을 단선시킨다. When the
다음은, 데이터 배선(62, 65, 66) 중에서 소스 전극(65)이 단선되는 경우, 이를 수리하는 방법에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.Next, when the
도 7c는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판에서 데이터 배선 중 소스 전극이 단선되는 경우에 그 수리 방법을 도시한 도면이다.FIG. 7C is a diagram illustrating a repair method when a source electrode is disconnected among data lines in a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.
도 7c에서 보는 바와 같이, 데이터 배선(62, 65, 66) 중에서 소스 전극(65)의 C 부분이 단선되는 경우에는, C 부분에 인접한 유지 전극 연결부(27) 및 유지 전극선(26)과 데이터선(62)이 교차하는 S 부분()에 레이저를 이용하여 이들(26, 27, 62)을 단락시켜, 데이터선(62)을 통하여 전달되는 영상 신호를 유지 배선(26, 27, 29)과 유지 배선 연결부(88)를 통하여 우회시킨다. 이때, 유지 배선(26, 27, 28, 29) 전체에 영상 신호가 전달되지 않도록 S 부분에 인접한 유지 배선(26, 28)의 O 부분(--)을 단선시킨다. As shown in FIG. 7C, when the C portion of the
여기에서는 화소 전극(82)의 재료의 예로 투명한 ITO를 들었으나, 반사형 액정 표시 장치의 경우 불투명한 도전 물질을 사용하여도 무방하다.Although transparent ITO has been used as an example of the material of the
본 발명의 실시예에서와 같이, 수리용 보조선을 두어 게이트선 또는 데이터선의 단선 불량을 용이하게 수리할 수 있으며, 유지 배선 연결부를 통하여 서로 이 웃하는 화소 행의 인접한 유지 전극선을 연결함으로써 유지 전압의 신호 왜곡을 최소화할 수 있다. As in the embodiment of the present invention, a repair auxiliary line can be provided to easily repair a disconnection failure of a gate line or a data line, and a sustain voltage can be connected by connecting adjacent sustain electrode lines of adjacent pixel rows through a sustain wiring connection. Minimize signal distortion.
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