KR100609970B1 - Substrate for mounting light emitting device, fabricating method thereof and package using the same - Google Patents

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KR100609970B1
KR100609970B1 KR1020050059906A KR20050059906A KR100609970B1 KR 100609970 B1 KR100609970 B1 KR 100609970B1 KR 1020050059906 A KR1020050059906 A KR 1020050059906A KR 20050059906 A KR20050059906 A KR 20050059906A KR 100609970 B1 KR100609970 B1 KR 100609970B1
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support plate
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김근호
이상균
장준호
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엘지전자 주식회사
엘지이노텍 주식회사
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Abstract

본 발명은 발광 소자 실장용 기판 및 그의 제조 방법, 그를 이용한 패키지에 관한 것으로, 지지판에 발광 소자 실장용 홈과 전극라인 인출용 관통홀을 형성하고, 제너 다이오드를 일련공정으로 형성하여 발광 소자의 실장을 원활하게 함과 동시에, 발광 소자의 내전압 특성을 보완할 수 있는 효과가 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate for mounting a light emitting device, a method for manufacturing the same, and a package using the same. A light emitting device mounting groove and an electrode line drawing-through hole are formed in a support plate, and a zener diode is formed in a serial process to mount a light emitting device. At the same time, there is an effect that can complement the withstand voltage characteristics of the light emitting device.

또한, 본 발명은 형광체 파우더가 분산되어 있는 몰딩용 복합 수지로 발광 소자를 감싸는 몰딩부를 형성함으로써, 백색 광원을 비롯한 다양한 파장의 광을 방출하는 발광원을 구현할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention by forming a molding unit surrounding the light emitting device with a molding compound resin in which the phosphor powder is dispersed, there is an effect that can implement a light emitting source that emits light of various wavelengths, including a white light source.

발광소자, 기판, 제너다이오드, 패키지, 관통홀, 홈 Light Emitting Device, Substrate, Zener Diode, Package, Through Hole, Groove

Description

발광 소자 실장용 기판 및 그의 제조 방법, 그를 이용한 패키지 { Substrate for mounting light emitting device, fabricating method thereof and Package using the same } Substrate for mounting light emitting device, fabricating method approximately and package using the same}

도 1은 종래 기술에 따른 발광 다이오드의 단면도1 is a cross-sectional view of a light emitting diode according to the prior art.

도 2는 종래 기술에 따른 리드프레임의 몰딩 기술을 이용한 표면 실장형 발광 소자 패키지의 개략적인 단면도2 is a schematic cross-sectional view of a surface mount light emitting device package using a molding technique of a lead frame according to the related art.

도 3a 내지 3e는 본 발명에 따른 발광 소자 실장용 기판의 제조 공정을 설명하기 위한 단면도3A to 3E are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of a substrate for mounting a light emitting device according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따라 지지판에 발광 소자를 실장하기 위하여 본딩부재를 전극라인 상부에 형성한 상태를 도시한 단면도4 is a cross-sectional view showing a state in which a bonding member is formed on an electrode line in order to mount a light emitting device on a support plate according to the present invention.

도 5는 도 4의 발광 소자 실장용 기판을 이용한 패키지를 도시한 단면도5 is a cross-sectional view showing a package using the substrate for mounting the light emitting device of FIG.

도 6은 본 발명에 따른 발광 소자 실장용 기판을 이용한 패키지를 보호하기 위한 몰딩부가 형성된 상태를 도시한 단면도6 is a cross-sectional view showing a state in which a molding part for protecting a package using a substrate for mounting a light emitting device according to the present invention is formed.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100 : 지지판 101a,101b : 관통홀100: support plate 101a, 101b: through hole

103 : 홈 110a,110b : 마스크층 103: groove 110a, 110b: mask layer

120a,120b : 확산층 131a,131b,132a,132b : 전극 라인120a and 120b: diffusion layers 131a and 131b and 132a and 132b and electrode lines

141a,141b : 본딩부재 150 : 발광 소자141a, 141b: bonding member 150: light emitting element

160 : 몰딩부 160: molding part

본 발명은 발광 소자 실장용 기판 및 그의 제조 방법, 그를 이용한 패키지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 지지판에 발광 소자 실장용 홈과 전극라인 인출용 관통홀을 형성하고, 제너 다이오드를 일련공정으로 형성하여 발광 소자의 실장을 원활하게 함과 동시에, 발광 소자의 내전압 특성을 보완할 수 있는 발광 소자 실장용 기판 및 그의 제조 방법, 그를 이용한 패키지에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate for mounting a light emitting device, a method for manufacturing the same, and a package using the same. More specifically, a groove for mounting a light emitting device and a through hole for drawing out an electrode line are formed in a support plate, and a zener diode is formed by a serial process. A light emitting device mounting substrate, a method for manufacturing the same, and a package using the same, which facilitates mounting of a light emitting device and complements the breakdown voltage characteristics of the light emitting device.

일반적으로, 직접 천이형 화합물 반도체의 3-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 물질을 이용한 발광 다이오드나 레이저 다이오드와 같은 발광소자는 박막 성장 기술 및 소자 재료의 개발로 적색, 녹색, 청색 및 자외선 등 다양한 색을 구현할 수 있으며, 형광 물질을 이용하거나 색을 조합함으로써 효율이 좋은 백색 광선도 구현이 가능하다. In general, light emitting devices such as light emitting diodes or laser diodes using a group 3-5 or 2-6 compound semiconductor material of a direct transition compound semiconductor are developed using thin film growth technology and device materials such as red, green, blue and ultraviolet light. Various colors can be realized, and efficient white rays can be realized by using fluorescent materials or combining colors.

이러한 기술의 발달로 디스플레이 소자뿐만 아니라 광통신 수단의 송신 모듈, LCD(Liquid Crystal Display) 표시 장치의 백라이트를 구성하는 냉음극관 (CCFL; Cold Cathode Fluorescence Lamp)을 대체하는 LED 백라이트, 형광등이나 백열전구를 대체할 수 있는 백색 발광 다이오드 조명 장치, 자동차 헤드라이트 및 신호등에까지 응용이 확대되고 있다. The development of these technologies replaces not only display devices but also LED backlights, fluorescent lamps or incandescent lamps, which replace the Cold Cathode Fluorescence Lamp (CCFL), which forms the backlight of optical communication means, transmission modules, and liquid crystal display (LCD) displays. Applications are expanding to white light emitting diode lighting devices, automotive headlights and traffic lights.

이러한 목적으로 발광소자를 응용하기 위해서는 소자의 동작 전압이 낮아야 하고 발광효율과 휘도가 높아야 한다. In order to apply the light emitting device for this purpose, the operating voltage of the device should be low, and the luminous efficiency and luminance should be high.

도 1은 종래 기술에 따른 발광 다이오드의 단면도로서, 사파이어 또는 n-GaAs 기판(10) 상부에 n-반도체층(11), 활성층(12)과 p-반도체층(13)이 순차적으로 적층되어 있고; 상기 p-반도체층(13)에서 n-반도체층(11) 일부까지 메사(Mesa) 식각되어 있고; 상기 p-반도체층(13) 상부에 투명전극(14)이 형성되어 있고; 상기 메사 식각된 n-반도체층(11) 상부에 n-전극(15)이 형성되어 있고; 상기 투명전극(14) 상부에 p-전극(16)이 형성되어 있다.1 is a cross-sectional view of a light emitting diode according to the prior art, in which an n-semiconductor layer 11, an active layer 12, and a p-semiconductor layer 13 are sequentially stacked on a sapphire or n-GaAs substrate 10. ; Mesa is etched from the p-semiconductor layer (13) to a part of the n-semiconductor layer (11); A transparent electrode 14 is formed on the p-semiconductor layer 13; An n-electrode 15 is formed on the mesa-etched n-semiconductor layer 11; The p-electrode 16 is formed on the transparent electrode 14.

이러한, 발광 다이오드는 외부 전원에서 p-전극(16)과 n-전극(15) 사이에 전압이 인가되면, p-전극(16)과 n-전극(15)으로 정공과 전자가 주입되고, 활성층(12)에서 정공과 전자가 재결합하면서 여분의 에너지가 광으로 변환되어 투명전극 및 기판을 통하여 외부로 방출하게 된다. In the light emitting diode, when a voltage is applied between the p-electrode 16 and the n-electrode 15 from an external power source, holes and electrons are injected into the p-electrode 16 and the n-electrode 15, and the active layer At 12, as the holes and the electrons recombine, extra energy is converted into light and emitted to the outside through the transparent electrode and the substrate.

상기의 방법으로 제조된 발광 다이오드는 패키지에 실장하여 다른 부품과 함께 인쇄회로기판에 접합된다. The light emitting diode manufactured by the above method is mounted on a package and bonded to a printed circuit board together with other components.

한편, 반도체 소자용 패키지는 삽입형 패키지와 표면 실장형 패키지로 분류되며, 표면 실장형 패키지는 삽입형 패키지에 비하여 고집적화가 가능하고 박형으로 구현할 수 있으며, 시스템 통합 패키지의 구현이 가능하므로 발광 다이오드 소 자용 패키지로는 표면 실장형 패키지가 주류를 이루고 있다. On the other hand, semiconductor device packages are classified into an insert package and a surface mount package, and a surface mount package can be more integrated and thinner than an insert package, and a system integrated package can be implemented, so that a package for a light emitting diode device is provided. In the furnace, surface-mount packages are the mainstream.

도 2는 종래 기술에 따른 리드프레임의 몰딩 기술을 이용한 표면 실장형 발광 소자 패키지의 개략적인 단면도로서, 리드프레임(50) 상부에 발광 다이오드(51)를 본딩하고, 상기 발광 다이오드(51)의 전극단자들(미도시)을 리드프레임(50)과 와이어(52) 본딩하고, 상기 리드프레임(50), 발광 다이오드(51)와 와이어(52)를 감싸며 몰딩한다.2 is a schematic cross-sectional view of a surface mount light emitting device package using a lead frame molding technique according to the related art. The light emitting diode 51 is bonded to the lead frame 50, and the electrode of the light emitting diode 51 is bonded. Terminals (not shown) are bonded to the lead frame 50 and the wire 52, and are molded while wrapping the lead frame 50, the light emitting diode 51, and the wire 52.

상기 몰딩공정으로, 상기 리드프레임(50), 발광 다이오드(51)와 와이어(52)는 몰딩수지(53)로 감싸여지게 된다.In the molding process, the lead frame 50, the light emitting diodes 51, and the wires 52 are wrapped with the molding resin 53.

이로서, 리드프레임의 몰딩 기술을 이용한 표면 실장형 발광 소자 패키지가 구현된다.As a result, a surface mount light emitting device package using a molding technique of a lead frame is realized.

한편, 발광 다이오드는 내전압 특성이 취약하므로 발광 다이오드 소자의 내전압 특성을 보완하기 위하여, 제너 다이오드나 다른 정전기 보호용 소자(미도시)를 발광 다이오드(51)와 병렬로 연결하여 사용하고 있다.On the other hand, since the light emitting diode has a weak withstand voltage characteristic, in order to supplement the withstand voltage characteristic of the light emitting diode device, a zener diode or another electrostatic protection element (not shown) is used in parallel with the light emitting diode 51.

그러나, 전술된 패키지 구조에서는 보호용 소자를 실장할 별도의 패키지를 필요로하여 발광 소자 패키지의 크기가 커지고, 보호용 소자용 패키지를 만드는 공정 및 비용이 추가적으로 요구되는 문제점이 있었다.However, the above-described package structure requires a separate package for mounting a protective device, thereby increasing the size of the light emitting device package and additionally requiring a process and a cost of making a protective device package.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 지지판에 발광 소자 실장용 홈과 전극라인 인출용 관통홀을 형성하고, 제너 다이오드를 일련공정으로 형성하여 발광 소자의 실장을 원활하게 함과 동시에, 발광 소자의 내전압 특성을 보완할 수 있는 발광 소자 실장용 기판 및 그의 제조 방법을 제공하는 데 목적이 있다.In order to solve the above problems, the present invention forms a light emitting device mounting groove and an electrode line drawing through hole in a support plate, and a zener diode is formed in a serial process to facilitate mounting of the light emitting device. It is an object of the present invention to provide a light emitting device mounting substrate and a method of manufacturing the same, which can supplement the voltage resistance characteristics of the light emitting device.

본 발명의 다른 목적은 형광체 파우더가 분산되어 있는 몰딩용 복합 수지로 발광 소자를 감싸는 몰딩부를 형성함으로써, 백색 광원을 비롯한 다양한 파장의 광을 방출하는 발광원을 구현할 수 있는 발광 소자 실장용 기판을 이용한 패키지를 제공하는 데 있다.It is another object of the present invention to form a molding part surrounding a light emitting device with a molding resin in which phosphor powder is dispersed, thereby using a light emitting device mounting substrate capable of realizing a light emitting source that emits light of various wavelengths including a white light source. The package is provided.

상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 양태(樣態)는, A preferred aspect for achieving the above objects of the present invention,

상부에 홈이 형성되어 있고, 상기 홈 주변의 상호 이격된 지지판 영역 각각에 관통홀들이 형성되어 있고; Grooves are formed in the upper portion, and through holes are formed in each of the spaced apart support plate regions around the grooves;

상기 홈에 대향되는 지지판 하부의 상호 이격된 영역에, 상기 지지판의 제 1 극성과 반대의 제 2 극성을 갖는 불순물이 주입되어 확산된 한 쌍의 확산층이 형성되어 있고; A pair of diffusion layers in which impurities having a second polarity opposite to the first polarity of the support plate are injected and diffused are formed in the mutually spaced areas below the support plate opposite the grooves;

상기 홈 내부면에서 이격되어 상기 관통홀들을 통하여 지지판 하부로 연장된 한 쌍의 전극라인들 각각이 상기 한 쌍의 확산층 각각에 연결되어 있는 발광 소자 실장용 기판이 제공된다.A light emitting device mounting substrate is provided in which each of the pair of electrode lines spaced apart from the inner surface of the groove and extended to the lower side of the support plate is connected to each of the pair of diffusion layers.

상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 다른 양태(樣態)는, Another preferred aspect for achieving the above object of the present invention,

제 1 극성을 갖는 지지판 상부에 홈을 형성할 영역 및 한 쌍의 관통홀을 형성할 영역들을 제외하고 상부 마스크층을 형성하고, 상기 지지판 상부에 한 쌍의 관통홀을 형성할 영역들에 대응되는 영역들을 제외하고 상기 지지판 하부에 하부 마스크층을 형성하는 단계와;The upper mask layer is formed except for a region for forming a groove and a pair of through holes on the support plate having a first polarity, and corresponds to regions for forming a pair of through holes on the support plate. Forming a lower mask layer under the support plate except regions;

상기 상, 하부 마스크층으로 마스킹하고, 상기 홈을 형성할 영역을 식각하여 상기 지지판 상부에 홈을 형성하고, 한 쌍의 관통홀을 형성할 영역들을 식각하여 상기 지지판을 관통하는 한 쌍의 관통홀들을 형성하는 단계와;Masking the upper and lower mask layers, etching a region to form the groove to form a groove in the upper portion of the support plate, and a pair of through holes penetrating the support plate by etching regions to form a pair of through holes. Forming them;

상기 홈에 대향되는 지지판 하부의 상호 이격된 영역에, 상기 지지판의 제 1 극성과 반대의 제 2 극성을 갖는 불순물을 주입하고 확산시켜 한 쌍의 확산층을 형성하는 단계와;Forming a pair of diffusion layers by injecting and diffusing impurities having a second polarity opposite to the first polarity of the support plate in spaced areas below the support plate opposite to the grooves;

상기 홈 내부면에서 상호 이격되는 한 쌍의 전극라인을 상기 지지판 상부 및 한 쌍의 관통홀들 내측 상부에 형성하는 단계와;Forming a pair of electrode lines spaced apart from each other at an inner surface of the groove on an upper portion of the support plate and an inner portion of the pair of through holes;

상기 한 쌍의 관통홀들 내부 상측에 형성된 한 쌍의 전극라인 각각이 상기 한 쌍의 확산층과 연결되도록, 상기 한 쌍의 관통홀들 내부 하측과 지지판 하부에 전극라인들을 형성하는 단계를 포함하여 구성된 발광 소자 실장용 기판의 제조 방법이 제공된다.Forming electrode lines on the lower side of the pair of through holes and on the lower side of the support plate such that each of the pair of electrode lines formed on the upper side of the pair of through holes is connected to the pair of diffusion layers. Provided is a method of manufacturing a light emitting device mounting substrate.

상기한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 바람직한 또 다른 양태(樣態)는, Another preferred aspect for achieving the above object of the present invention,

상부에 홈이 형성되어 있고, 상기 홈 주변의 상호 이격된 지지판 영역 각각에 관통홀들이 형성되어 있고, 상기 홈에 대향되는 지지판 하부의 상호 이격된 영역에, 상기 지지판의 제 1 극성과 반대의 제 2 극성을 갖는 불순물이 주입되어 확산된 한 쌍의 확산층이 형성되어 있고, 상기 홈 내부면에서 이격되어 상기 관통홀들을 통하여 지지판 하부로 연장된 한 쌍의 전극라인들 각각이 상기 한 쌍의 확산층에 각각에 연결되어 있는 발광 소자 실장용 기판과; Grooves are formed in the upper portion, through-holes are formed in each of the mutually spaced support plate regions around the groove, and in the mutually spaced regions below the support plate opposite to the grooves, a first polarity opposite to the first polarity of the support plate is formed. A pair of diffusion layers in which impurities having bipolarity are injected and diffused are formed, and each of the pair of electrode lines spaced apart from the inner surface of the groove and extending below the support plate through the through holes is formed in the pair of diffusion layers. A light emitting element mounting substrate connected to each one;

상기 지지판의 전극라인들 상부에 플립칩되어 있는 발광 소자를 포함하여 이루어진 발광 소자 실장용 기판을 이용한 패키지가 제공된다.Provided is a package using a light emitting device mounting substrate including a light emitting device flip-chipd on top of electrode lines of the support plate.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3a 내지 3e는 본 발명에 따른 발광 소자 실장용 기판의 제조 공정을 설명하기 위한 단면도로서, 먼저, 제 1 극성을 갖는 지지판(100) 상부에 홈을 형성할 영역 및 한 쌍의 관통홀을 형성할 영역들을 제외하고 상부 마스크층(110a)을 형성하고, 상기 지지판(100) 상부에 한 쌍의 관통홀을 형성할 영역들에 대응되는 영역들을 제외하고 상기 지지판(100) 하부에 하부 마스크층(110b)을 형성한다.(도 3a)3A to 3E are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of a substrate for mounting a light emitting device according to the present invention. First, an area for forming a groove and a pair of through holes are formed in an upper portion of a support plate 100 having a first polarity. An upper mask layer 110a is formed except for regions to be formed, and a lower mask layer (under the support plate 100 is formed) except for regions corresponding to regions in which a pair of through holes are to be formed on the support plate 100. 110b) (FIG. 3A).

상기 지지판(100)은 실리콘 기판이 바람직하다.The support plate 100 is preferably a silicon substrate.

그 후, 상기 상, 하부 마스크층(110a,110b)으로 마스킹하고, 상기 홈을 형성할 영역을 식각하여 상기 지지판(100) 상부에 홈(103)을 형성하고, 한 쌍의 관통홀을 형성할 영역들을 식각하여 상기 지지판(100)을 관통하는 한 쌍의 관통홀들(101a,101b)을 형성한다.(도 3b)Thereafter, the upper and lower mask layers 110a and 110b are masked, and an area to form the groove is etched to form a groove 103 on the support plate 100 and to form a pair of through holes. The regions are etched to form a pair of through holes 101a and 101b penetrating the support plate 100 (FIG. 3B).

여기서, 상기 홈(103)은 이방성 습식식각 공정을 수행하여, 홈(103)의 측벽을 경사지게 형성한다.Here, the groove 103 performs an anisotropic wet etching process to form the sidewall of the groove 103 to be inclined.

즉, 상기 홈(103)의 측벽이 경사지면, 발광 소자에서 방출되는 광을 반사시킬 수 있는 반사면이 형성되는 것이므로, 상기 발광 소자에서 상부로 방출되는 광 량을 증가시킬 수 있는 것이다.That is, when the sidewall of the groove 103 is inclined, since the reflective surface for reflecting the light emitted from the light emitting device is formed, the amount of light emitted upward from the light emitting device can be increased.

또한, 상기 관통홀 역시, 지지판(100)의 상부 및 하부를 이방성 습식식각 공정을 수행하여 형성하면, 관통홀 내부의 상측면과 하측면은 경사져 있으며, 중앙영역이 돌출된 형상으로 형성된다.In addition, when the through hole is formed by performing an anisotropic wet etching process on the upper and lower portions of the support plate 100, the upper side and the lower side inside the through hole are inclined, and the center region is formed to protrude.

이 때, 상기 관통홀 내부면이 경사져 있으면, 후술되는 전극라인의 증착이 잘되어, 전극라인 형성을 원활하게 할 수 있는 것이다.At this time, if the inner surface of the through hole is inclined, the electrode lines described later are well deposited, and thus the electrode lines can be smoothly formed.

일례로, 전술된 홈과 관통홀을 형성하는 것은 실리콘 벌크 마이크로 머시닝 공정을 수행하면 간단히 형성할 수 있다.For example, forming the aforementioned groove and the through hole may be simply performed by performing a silicon bulk micromachining process.

연이어, 상기 홈(103)에 대향되는 지지판 하부의 상호 이격된 영역에, 상기 지지판(100)의 제 1 극성과 반대의 제 2 극성을 갖는 불순물을 주입하고 확산시켜 한 쌍의 확산층(120a,120b)을 형성한다.(도 3c)Subsequently, a pair of diffusion layers 120a and 120b are implanted into and diffused into the mutually spaced areas below the support plate opposite to the groove 103 to have impurities having a second polarity opposite to the first polarity of the support plate 100. ) (FIG. 3C).

상기 지지판(100)의 제 1 극성이 P타입이면, 상기 확산층(120a,120b)의 제 2 극성은 N타입이므로, 상기 지지판(100)과 확산층(120a,120b)은 PN 제너 다이오드가 된다.When the first polarity of the support plate 100 is P type, since the second polarity of the diffusion layers 120a and 120b is N type, the support plate 100 and the diffusion layers 120a and 120b may be PN Zener diodes.

그 다음, 상기 홈(103) 내부면에서 상호 이격되는 한 쌍의 전극라인(131a,131b)을 상기 지지판(100) 상부 및 한 쌍의 관통홀들(101a,101b) 내측 상부에 형성한다.(도 3d)Next, a pair of electrode lines 131a and 131b spaced apart from each other on the inner surface of the groove 103 is formed in the upper portion of the support plate 100 and in the upper portion of the pair of through holes 101a and 101b. 3d)

마지막으로, 상기 한 쌍의 관통홀들(101a,101b) 내부 상측에 형성된 한 쌍의 전극라인(131a,131b) 각각이 상기 한 쌍의 확산층(120a,120b)과 연결되도록, 상기 한 쌍의 관통홀들(101a,101b) 내부 하측과 지지판(100) 하부에 전극라인들 (132a,132b)을 형성한다.(도 3e) Finally, the pair of penetrations are formed such that each of the pair of electrode lines 131a and 131b formed on the upper side of the pair of through holes 101a and 101b is connected to the pair of diffusion layers 120a and 120b. Electrode lines 132a and 132b are formed on the lower side of the holes 101a and 101b and the lower portion of the support plate 100 (FIG. 3E).

이로서, 상기 전극라인들(132a,132b) 각각에는 제너 다이오드가 연결되어 발광 소자가 실장될 경우, 내전압 특성을 보완할 수 있는 것이다.As a result, when a zener diode is connected to each of the electrode lines 132a and 132b to mount the light emitting device, the withstand voltage characteristics may be compensated for.

전술된 공정에 의하여, 발광 소자 실장용 기판의 제조가 완료된다.By the above-mentioned process, manufacture of the board | substrate for light emitting element mounting is completed.

즉, 본 발명에 따른 발광 소자 실장용 기판은 상부에 홈(103)이 형성되어 있고, 상기 홈(103) 주변의 상호 이격된 지지판(100) 영역 각각에 관통홀들(101a,101b)이 형성되어 있고; 상기 홈(103)에 대향되는 지지판 하부의 상호 이격된 영역에, 상기 지지판(100)의 제 1 극성과 반대의 제 2 극성을 갖는 불순물이 주입되어 확산된 한 쌍의 확산층(120a,120b)이 형성되어 있고; 상기 홈 내부면에서 이격되어 상기 관통홀들(101a,101b)을 통하여 지지판(100) 하부로 연장된 한 쌍의 전극라인들 각각이 상기 한 쌍의 확산층(120a,120b) 각각에 연결되어 구성된다.That is, in the light emitting device mounting substrate according to the present invention, grooves 103 are formed in upper portions, and through holes 101a and 101b are formed in each of the regions of the support plate 100 spaced apart from each other around the grooves 103. It is done; A pair of diffusion layers 120a and 120b in which impurities having a second polarity opposite to the first polarity of the support plate 100 are injected and diffused into the mutually spaced areas below the support plate opposite to the groove 103 are formed. Formed; Each of the pair of electrode lines spaced apart from the inner surface of the groove and extending below the support plate 100 through the through holes 101a and 101b is connected to each of the pair of diffusion layers 120a and 120b. .

도 4는 본 발명에 따라 지지판에 발광 소자를 실장하기 위하여 본딩부재를 전극라인 상부에 형성한 상태를 도시한 단면도로서, 전술된 도 3e의 지지판(100)에 형성된 홈(103) 내부면에 위치되는 전극라인들(131a,131b) 상부에 본딩부재(141a,141b)를 형성한다.4 is a cross-sectional view illustrating a bonding member formed on an upper electrode line in order to mount a light emitting device on a support plate according to the present invention, and is located on the inner surface of the groove 103 formed in the support plate 100 of FIG. 3E. Bonding members 141a and 141b are formed on the electrode lines 131a and 131b.

이 본딩부재(141a,141b)는 지지판(100) 상부에 발광 소자를 접합시키기 위한 역할과 상기 발광 소자의 전극단자과 지지판의 전극라인들을 전기적으로 연결시키기 위한 역할이 있다. The bonding members 141a and 141b serve to bond the light emitting device to the upper portion of the support plate 100 and to electrically connect the electrode terminals of the light emitting device to the electrode lines of the support plate.

도 5는 도 4의 발광 소자 실장용 기판을 이용한 패키지를 도시한 단면도로서, 지지판(100)의 전극라인들(131a,131b) 상부에는 본딩부재(141a,141b)가 형성되 어 있고, 이 본딩부재(141a,141b)에 발광 소자(150)가 플립칩(Flip chip) 본딩되어 있다.FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a package using the light emitting device mounting substrate of FIG. 4, and bonding members 141a and 141b are formed on the electrode lines 131a and 131b of the support plate 100. The light emitting device 150 is flip chip bonded to 141a and 141b.

여기서, 상기 본딩부재(141a,141b)는 솔더가 바람직하다.Here, the bonding members 141a and 141b are preferably solder.

도 6은 본 발명에 따른 발광 소자 실장용 기판을 이용한 패키지를 보호하기 위한 몰딩부가 형성된 상태를 도시한 단면도로서, 몰딩부가 구비된 패키지는, 상부에 홈(103)이 형성되어 있고, 상기 홈(103) 주변의 상호 이격된 지지판(100) 영역 각각에 관통홀들(101a,101b)이 형성되어 있고, 상기 홈(103)에 대향되는 지지판 하부의 상호 이격된 영역에, 상기 지지판(100)의 제 1 극성과 반대의 제 2 극성을 갖는 불순물이 주입되어 확산된 한 쌍의 확산층(120a,120b)이 형성되어 있고, 상기 홈 내부면에서 이격되어 상기 관통홀들(101a,101b)을 통하여 지지판(100) 하부로 연장된 한 쌍의 전극라인들 각각이 상기 한 쌍의 확산층(120a,120b) 각각에 연결되어 있는 발광 소자 실장용 기판과; 상기 지지판(100)의 전극라인들(131a,131b) 상부에 플립칩되어 있는 발광 소자(150)와; 상기 발광 소자(150)를 외부로부터 보호하도록, 상기 지지판(100) 상부를 감싸는 몰딩부(160)로 구성된다.6 is a cross-sectional view showing a state in which a molding part for protecting a package using a substrate for mounting a light emitting device according to the present invention is formed. In the package with the molding part, a groove 103 is formed on an upper portion thereof, and the groove ( Through holes 101a and 101b are formed in each of the regions of the support plate 100 spaced apart from each other, and the regions of the support plate 100 are spaced apart from each other below the support plate opposite to the grooves 103. A pair of diffusion layers 120a and 120b in which impurities having a second polarity opposite to the first polarity are injected and diffused are formed, and are spaced apart from the inner surface of the groove to support the through plate 101a and 101b. A light emitting device mounting substrate on which a pair of electrode lines extending downwards are connected to each of the pair of diffusion layers 120a and 120b; A light emitting device 150 that is flip-chipd over the electrode lines 131a and 131b of the support plate 100; In order to protect the light emitting device 150 from the outside, it is composed of a molding unit 160 surrounding the upper portion of the support plate (100).

즉, 상기 발광 소자 실장용 기판에 발광 소자(150)가 본딩되면, 상기 발광 소자 실장용 기판을 트랜스퍼 몰딩공정을 수행하면, 상기 발광 소자(150)를 감싸는 몰딩부(160)가 지지판(100) 상부에 형성된다.That is, when the light emitting device 150 is bonded to the light emitting device mounting substrate, and the transfer molding process of the light emitting device mounting substrate, the molding unit 160 surrounding the light emitting device 150 is the support plate 100 It is formed on the top.

이 때, 상기 트랜스퍼 몰딩 공정을 수행할 때, 절연 물질이 전극라인에 묻어 오염되는 것을 방지하기 위해서 상기 지지판(100) 하부에 테이프를 접착시킨 후, 몰딩공정을 수행한다.In this case, when the transfer molding process is performed, a tape is adhered to the lower portion of the support plate 100 to prevent contamination of the insulating material from the electrode line, and then a molding process is performed.

그리고, 상기 몰딩부(160)는 몰딩용 복합 수지에 형광체 파우더가 분산된 상태로 형성하면, 발광 소자에서 방출되는 광의 파장을 전환시킬 수 있게 된다.In addition, when the molding unit 160 is formed in a state in which phosphor powder is dispersed in a molding composite resin, the molding unit 160 may switch the wavelength of light emitted from the light emitting device.

예를 들어, 발광 소자에서 방출되는 광이 청색광이고, 상기 형광체 파우더가 녹색 형광체 및 적색 형광체 파우더이면, 발광 소자에서 방출된 청색광은 몰딩부에 분산되어 있는 녹색 형광체 및 적색 형광체에 입사되면, 녹색광 및 적색광으로 파장 전환되어 외부로 방출되고, 형광체에 입사되지 못한 청색광은 그대로 외부로 방출됨으로, 외부로는 청색광, 녹색광과 적색광이 합쳐진 백색광이 방출되는 것이다.For example, if the light emitted from the light emitting device is blue light, and the phosphor powder is a green phosphor and a red phosphor powder, the blue light emitted from the light emitting device enters the green phosphor and the red phosphor dispersed in the molding part, and the green light and The wavelength is converted into red light and is emitted to the outside, and blue light that is not incident on the phosphor is emitted to the outside as it is, so that the white light in which blue light, green light and red light are combined is emitted to the outside.

그러므로, 백색 광원을 비롯한 다양한 파장의 광을 방출하는 발광원을 구현할 수 있다.Therefore, it is possible to implement a light emitting source that emits light of various wavelengths, including a white light source.

따라서, 상기 형광체 파우더는 청색 형광체 파우더, 녹색 형광체 파우더, 적색 형광체 파우더와 노란색 형광체 파우더 중 어느 하나 또는 둘 이상인 것이 바람직하다.Therefore, it is preferable that the phosphor powder is any one or two or more of blue phosphor powder, green phosphor powder, red phosphor powder, and yellow phosphor powder.

이상 상술한 바와 같이, 본 발명은 지지판에 발광 소자 실장용 홈과 전극라인 인출용 관통홀을 형성하고, 제너 다이오드를 일련공정으로 형성하여 발광 소자의 실장을 원활하게 함과 동시에, 발광 소자의 내전압 특성을 보완할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention forms a light emitting device mounting groove and an electrode line drawing-through hole in a support plate, and a zener diode is formed in a serial process to facilitate mounting of the light emitting device and at the same time the withstand voltage of the light emitting device. There is an effect to supplement the characteristics.

또한, 본 발명은 형광체 파우더가 분산되어 있는 몰딩용 복합 수지로 발광 소자를 감싸는 몰딩부를 형성함으로써, 백색 광원을 비롯한 다양한 파장의 광을 방 출하는 발광원을 구현할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention by forming a molding portion surrounding the light emitting device with a molding compound resin in which the phosphor powder is dispersed, there is an effect that can implement a light emitting source that emits light of various wavelengths, including a white light source.

본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the invention has been described in detail only with respect to specific examples, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the spirit of the invention, and such modifications and variations belong to the appended claims.

Claims (14)

상부에 홈이 형성되어 있고, 상기 홈 주변의 상호 이격된 지지판 영역 각각에 관통홀들이 형성되어 있고; Grooves are formed in the upper portion, and through holes are formed in each of the spaced apart support plate regions around the grooves; 상기 홈에 대향되는 지지판 하부의 상호 이격된 영역에, 상기 지지판의 제 1 극성과 반대의 제 2 극성을 갖는 불순물이 주입되어 확산된 한 쌍의 확산층이 형성되어 있고; A pair of diffusion layers in which impurities having a second polarity opposite to the first polarity of the support plate are injected and diffused are formed in the mutually spaced areas below the support plate opposite the grooves; 상기 홈 내부면에서 이격되어 상기 관통홀들을 통하여 지지판 하부로 연장된 한 쌍의 전극라인들 각각이 상기 한 쌍의 확산층에 각각에 연결되어 구성된 발광 소자 실장용 기판.And a pair of electrode lines spaced apart from the inner surface of the groove and extending through the through holes to the lower side of the support plate, respectively, connected to the pair of diffusion layers. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 지지판은,The support plate, 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 발광 소자 실장용 기판.A substrate for mounting a light emitting element, characterized in that the silicon substrate. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 홈의 측벽은,The side wall of the groove, 경사져 있는 것을 특징으로 하는 발광 소자 실장용 기판.A substrate for mounting a light emitting element, characterized by being inclined. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 관통홀 내부의 상측면과 하측면은 경사져 있으며, 중앙영역이 돌출된 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 발광 소자 실장용 기판.The upper side and the lower side of the inside of the through hole is inclined, the light emitting device mounting substrate, characterized in that the central region is formed in a protruding shape. 제 1 극성을 갖는 지지판 상부에 홈을 형성할 영역 및 한 쌍의 관통홀을 형성할 영역들을 제외하고 상부 마스크층을 형성하고, 상기 지지판 상부에 한 쌍의 관통홀을 형성할 영역들에 대응되는 영역들을 제외하고 상기 지지판 하부에 하부 마스크층을 형성하는 단계와;The upper mask layer is formed except for a region for forming a groove and a pair of through holes on the support plate having a first polarity, and corresponds to regions for forming a pair of through holes on the support plate. Forming a lower mask layer under the support plate except regions; 상기 상, 하부 마스크층으로 마스킹하고, 상기 홈을 형성할 영역을 식각하여 상기 지지판 상부에 홈을 형성하고, 한 쌍의 관통홀을 형성할 영역들을 식각하여 상기 지지판을 관통하는 한 쌍의 관통홀들을 형성하는 단계와;Masking the upper and lower mask layers, etching a region to form the groove to form a groove in the upper portion of the support plate, and a pair of through holes penetrating the support plate by etching regions to form a pair of through holes. Forming them; 상기 홈에 대향되는 지지판 하부의 상호 이격된 영역에, 상기 지지판의 제 1 극성과 반대의 제 2 극성을 갖는 불순물을 주입하고 확산시켜 한 쌍의 확산층을 형성하는 단계와;Forming a pair of diffusion layers by injecting and diffusing impurities having a second polarity opposite to the first polarity of the support plate in spaced areas below the support plate opposite to the grooves; 상기 홈 내부면에서 상호 이격되는 한 쌍의 전극라인을 상기 지지판 상부 및 한 쌍의 관통홀들 내측 상부에 형성하는 단계와;Forming a pair of electrode lines spaced apart from each other at an inner surface of the groove on an upper portion of the support plate and an inner portion of the pair of through holes; 상기 한 쌍의 관통홀들 내부 상측에 형성된 한 쌍의 전극라인 각각이 상기 한 쌍의 확산층과 연결되도록, 상기 한 쌍의 관통홀들 내부 하측과 지지판 하부에 전극라인들을 형성하는 단계를 포함하여 구성된 발광 소자 실장용 기판의 제조 방법.Forming electrode lines on the lower side of the pair of through holes and on the lower side of the support plate such that each of the pair of electrode lines formed on the upper side of the pair of through holes is connected to the pair of diffusion layers. The manufacturing method of the board | substrate for light emitting element mounting. 제 5 항에 있어서, The method of claim 5, wherein 상기 홈은, 이방성 습식식각 공정을 수행하여 홈의 측벽을 경사지게 형성하고,The grooves are formed by inclining sidewalls of the grooves by performing an anisotropic wet etching process. 상기 관통홀은, 지지판의 상부 및 하부를 이방성 습식식각 공정을 수행하여, 관통홀 내부의 상측면과 하측면이 경사지고, 중앙영역이 돌출된 형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 발광 소자 실장용 기판의 제조 방법.The through-holes are formed by performing anisotropic wet etching on the upper and lower portions of the support plate to form a shape in which the upper and lower surfaces of the through-hole are inclined and protrude from the center region. Method of preparation. 상부에 홈이 형성되어 있고, 상기 홈 주변의 상호 이격된 지지판 영역 각각에 관통홀들이 형성되어 있고, 상기 홈에 대향되는 지지판 하부의 상호 이격된 영역에, 상기 지지판의 제 1 극성과 반대의 제 2 극성을 갖는 불순물이 주입되어 확산된 한 쌍의 확산층이 형성되어 있고, 상기 홈 내부면에서 이격되어 상기 관통홀들을 통하여 지지판 하부로 연장된 한 쌍의 전극라인들 각각이 상기 한 쌍의 확산층에 각각에 연결되어 있는 발광 소자 실장용 기판과; Grooves are formed in the upper portion, through-holes are formed in each of the mutually spaced support plate regions around the groove, and in the mutually spaced regions below the support plate opposite to the grooves, a first polarity opposite to the first polarity of the support plate is formed. A pair of diffusion layers in which impurities having bipolarity are injected and diffused are formed, and each of the pair of electrode lines spaced apart from the inner surface of the groove and extending below the support plate through the through holes is formed in the pair of diffusion layers. A light emitting element mounting substrate connected to each one; 상기 지지판의 전극라인들 상부에 플립칩되어 있는 발광 소자를 포함하여 이 루어진 발광 소자 실장용 기판을 이용한 패키지.A package using a light emitting device mounting substrate comprising a light emitting device that is flip-chip over the electrode lines of the support plate. 제 7 항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 발광 소자를 외부로부터 보호하도록, 상기 지지판 상부를 감싸는 몰딩부가 더 구비된 것을 특징으로 하는 발광 소자 실장용 기판을 이용한 패키지.A package using a substrate for mounting a light emitting device, characterized in that the molding unit surrounding the upper portion of the support plate is further provided to protect the light emitting device from the outside. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 몰딩부는,The molding part, 몰딩용 복합 수지에 형광체 파우더가 분산된 상태로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 발광 소자 실장용 기판을 이용한 패키지.A package using a light emitting device mounting substrate, characterized in that the phosphor powder is dispersed in a molding composite resin. 제 9 항에 있어서, The method of claim 9, 상기 형광체 파우더는,The phosphor powder, 청색 형광체 파우더, 녹색 형광체 파우더, 적색 형광체 파우더와 노란색 형광체 파우더 중 어느 하나 또는 둘 이상인 것을 특징으로 하는 발광 소자 실장용 기판을 이용한 패키지.A package using a light emitting device mounting substrate, characterized in that any one or two or more of blue phosphor powder, green phosphor powder, red phosphor powder and yellow phosphor powder. 제 7 항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 발광 소자는 상기 전극라인들 각각의 상부에 형성된 솔더에 플립칩 본딩되어 있는 것을 특징으로 하는 발광 소자 실장용 기판을 이용한 패키지.The light emitting device is a package using a light emitting device mounting substrate, characterized in that the flip chip bonding on the solder formed on each of the electrode lines. 제 7 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 7 to 11, 상기 지지판은,The support plate, 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 발광 소자 실장용 기판을 이용한 패키지.A package using a substrate for mounting a light emitting element, characterized in that the silicon substrate. 제 7 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 7 to 11, 상기 홈의 측벽은,The side wall of the groove, 경사져 있는 것을 특징으로 하는 발광 소자 실장용 기판을 이용한 패키지.The package using the board | substrate for light emitting element mounting characterized by the inclination. 제 7 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 7 to 11, 상기 관통홀 내부의 상측면과 하측면은 경사져 있으며, 중앙영역이 돌출된 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 발광 소자 실장용 기판을 이용한 패키지.The upper side and the lower side of the inside of the through-hole is inclined, the package using a substrate for mounting a light emitting element, characterized in that the central region is formed in a protruding shape.
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