KR100608325B1 - 반도체 소자의 mim 캐패시터 형성방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (13)
- 배선이 형성된 절연막상에 상기 배선을 덮도록 배리어층을 형성하는 단계;상기 배리어층을 상기 배선이 노출되게 패터닝한 후 상기 배리어층 상에 상기 배선과 접촉되어 전기적으로 연결되는 하부 전극층을 형성하는 단계;상기 하부 전극층상에 하부 전극 산화 방지층을 형성하는 단계;상기 하부 전극 산화 방지층상에 고유전율층을 형성하는 단계;상기 고유전율층을 열처리하여 고유전율 산화막을 형성하는 단계;상기 고유전율 산화막상에 상부 전극층을 형성하는 단계; 및상기 상부 전극층, 고유전율 산화막, 하부 전극 산화 방지층 및 하부 전극층을 패터닝하여 캐패시터를 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 MIM 캐패시터 형성방법.
- 제1항에 있어서,상기 배선은 구리(Cu)로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 MIM 캐패시터 형성방법.
- 제1항에 있어서,상기 하부 전극층은 TiN, Ta, TaNx, TaC, W, WNx, TiW, WBN 및 WC로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 MIM 캐패시터 형성방법.
- 제3항에 있어서,상기 TiN, Ta, TaNx, TaC, W, WNx, TiW, WBN 및 WC로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나는 CVD 또는 PVD 방식으로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 MIM 캐패시터 형성방법.
- 제3항에 있어서,상기 TiN, Ta, TaNx, TaC, W, WNx, TiW, WBN 및 WC로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나는 50~1,000Å 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 MIM 캐패시터 형성방법.
- 제1항에 있어서,상기 하부 전극 산화 방지층은 알루미늄(Al)으로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 MIM 캐패시터 형성방법.
- 제6항에 있어서,상기 알루미늄은 10~300Å 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 MIM 캐패시터 형성방법.
- 제1항에 있어서,상기 고유전율층은 Ti, Ru, Y, Sr, Ba, Zr, Hf, Ta의 단원자 금속원소, 그들의 질화물 및 탄화물로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 MIM 캐패시터 형성방법.
- 제1항에 있어서,상기 열처리는 150~450℃ 온도에서 진행되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 MIM 캐패시터 형성방법.
- 제1항에 있어서,상기 상부 전극층은 TiN, Ta, TaNx, TaC, W, WNx, TiW, WBN 및 WC로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 MIM 캐패시터 형성방법.
- 제10항에 있어서,상기 TiN, Ta, TaNx, TaC, W, WNx, TiW, WBN 및 WC로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나는 CVD 또는 PVD 방식으로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 MIM 캐패시터 형성방법.
- 제10항에 있어서,상기 TiN, Ta, TaNx, TaC, W, WNx, TiW, WBN 및 WC로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나는 50~3,000Å 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 MIM 캐패시터 형성방법.
- 제10항에 있어서,상기 TiN, Ta, TaNx, TaC, W, WNx, TiW, WBN 및 WC로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나는 대기중, O2, N2, Ar, Ar와 O2의 혼합기체, Ar와 N2 의 혼합기체 및 N2와 O2의 혼합기체로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나의 기체 분위기에서 열처리되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 MIM 캐패시터 형성방법.
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