KR100604115B1 - 자외선 투과 필터 및 그 자외선 투과 필터를 사용한자외선 탐상등 - Google Patents

자외선 투과 필터 및 그 자외선 투과 필터를 사용한자외선 탐상등 Download PDF

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Abstract

상지시 (傷指示) 모양의 간과의 원인이 되는 적색 기미의 헐레이션이 발생하지 않는 자외선 투과 필터를 제공한다.
자외선 투과용 유리필터의 표면에 파장 694 ∼ 780 nm 의 가시광을 반사하여 투과시키지 않는 유전체 다층막을 형성한다.

Description

자외선 투과 필터 및 그 자외선 투과 필터를 사용한 자외선 탐상등{ULTRAVIOLET LIGHT PERMEABLE FILTER AND FLAW DETECTION LIGHT USING THE SAME FILTER}
도 1 은 실시형태 1 에 따른 자외선 탐상등용 자외선 투과 필터를 모형적으로 도시한 부분종단면도이다.
도 2 는 도 1 에 도시된 다층막을 확대하여 모형적으로 도시한 부분종단면도이다.
도 3 은 도 2 에 도시된 층막의 일부를 확대하여 모형적으로 도시한 부분종단면도이다.
도 4 는 실시형태 2 에 따른 자외선 탐상등용 자외선 투과 필터를 모형적으로 도시한 부분종단면도이다.
도 5 는 도 4 에 도시된 자외선 투과 필터의 양면에 형성된 유전체 다층막을 확대하여 모형적으로 도시한 부분종단면도이다.
도 6 은 자외선 탐상등의 구조를 도시하는 일부 생략 일부 절결측면도이다.
도 7 은 본 발명에 사용된 메탈 할라이드 램프의 분광분포곡선을 나타내는 그래프이다.
도 8 은 종래의 자외선 투과용 유리필터의 분광분포곡선을 나타내는 그래프 이다.
도 9 는 자외선 투과 필터의 분광분포곡선을 나타내는 그래프이다.
도 10 은 자외선 투과 필터의 분광분포곡선을 나타내는 그래프이다.
도 11 은 자외선 투과 필터의 분광분포곡선을 나타내는 그래프이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
3, 11, 16 : 자외선 투과 필터
12, 17 : 유전체 다층막
13, 18 : 층막
14 : 저굴절율 물질층
15 : 고굴절율 물질층
본 발명은 자외선 투과 필터 및 그 자외선 투과 필터를 사용한 자외선 탐상등에 관한 것이다.
이미 알려진 바와 같이, JIS Z 2343 에 규정되어 있는 형광 침투 탐상 (探傷) 시험방법 및 JIS G 0565 에 규정되어 있는 형광 자분 탐상시험방법의 실시에 있어서는, 형광 침투액 및 형광 자분을 여기하여 발광시키기 위하여 자외선 투과 필터와 메탈 할라이드 램프를 조합하여 사용한 자외선 탐상등 (당업자 사이에서는 「블랙라이트」라고도 함) 이 사용되고 있다.
예컨대, 일본국 특개평 7-140117 호 공보에는, 파장 400 nm 미만의 청자색의 조사광에 의한 검사원의 피로, 그 피로에 기인한 결함의 과검출 및 간과를 회피하기 위하여 육안으로 인정되는 하한의 파장을 385 ± 5 nm 으로 한 자외선 투과 필터와 메탈 할라이드 램프를 조합하여 사용한 자외선 탐상등이 개시되어 있다.
자외선 투과 필터와 메탈 할라이드 램프를 조합하여 사용한 시판하는 자외선 탐상등을 사용하여 형광 침투 탐상시험 및 형광 자분 탐상시험이 행해지는 시험현장에서는, 시험면에 요철이 적은 경우에는, 시험면에 대한 광선의 조사각도와 관찰하는 검사원의 눈의 각도에 따라서는 시험면에서 반사된 광선이 적색과 청백색이 혼합된 적색 기미의 헐레이션 (halation) 으로서 눈으로 확인되어 관찰하기가 어렵다는 문제점 및 헐레이션이 발생하는 장소, 특히 적색 기미의 헐레이션이 발생하는 장소에 상지시(傷指示) 모양이 나타나는 경우에는, 해당 상지시 모양을 시인(視認)하지 못하고 간과하고마는 문제점이 있기 때문에, 절삭가공된 시험면 등의 요철이 적은 시험면의 탐상시험에 있어서는 정확한 탐상결과를 얻지못하는 경우가 있었다.
그리하여, 본 발명자들은 상지시 모양을 간과하는 원인이 되는 헐레이션, 특히 적색 기미의 헐레이션이 발생하지 않는 적외선 투과 필터를 제공하는 것을 기술적 과제로서 그 구현화를 도모하기 위하여 연구실험을 거듭한 결과, 자외선 투과 필터와 메탈 할라이드 램프를 조합하여 사용한 시판하는 각종 자외선 탐상등에 상용되고 있는 종래의 자외선 투과 필터는 사람의 눈으로 확인할 수 있는 파장 380 ∼ 410 nm 과 파장 694 ∼ 780 nm 의 각 파장영역의 빛을 투과하고 있고, 이 각 파 장역의 빛이 시험면에서 반사되어 적색 기미의 헐레이션으로서 시인되고 있음을 확인함과 동시에, 파장 694 ∼ 780 nm 의 파장영역의 빛을 투과시키지 않는 경우에는 적색 기미의 헐레이션이 발생하지 않는다는 현상을 발견하였다.
이하, 본 발명자가 행한 연구실험 경과를 설명한다.
우선 도 6 은, 본 발명자가 실험에 사용한 자외선 탐상등의 구조를 나타내는 일부생략, 일부절결 측면도이고, 1 은 측면에 자외선 조사용 개구부 (2) 가 형성된 금속제 케이스, 3 은 케이스 (1) 의 자외선 조사용 개구부 (2) 에 장착된 자외선 투과 필터이고, 그 자외선 투과 필터 (3) 의 후방에는, 알루마이트 보호막이 형성되어 있는 거울면 (4) 을 갖는 알루미늄제의 방물선(放物線)상 오목면 반사경 (5) 이 그 거울면 (4) 을 자외선 투과 필터 (3) 면을 향하여 배치되어있다. 또한, 방물선상 오목면 반사경 (5) 의 중앙부에는 구멍 (6) 이 형성되어있다. 7 은 자외선 광원인 메탈 할라이드 램프이고, 방물선상 오목면 반사경 (5) 의 이면측에서 구멍 (6) 에 삽입되고, 그 기단부는 소켓 (8) 에 끼워붙여지고, 소켓 (8) 에 접속되어 있는 2 심 캡타이어 코드 (9) 를 통하여 케이스 (1) 외부의 인버터형 안정기 (도시 생략) 에 접속되어 있다. 그리고, 10 은 플라스틱제 파수(把手)체이고, 그 내부에는 2 심 캡타이어 코드 (9) 가 관통되어 있다.
또한, 도 7 은 본 발명에 사용된 메탈 할라이드 램프 (70 W/FDA: 품명: 마크텍 주식회사 제조) 의 분광분포곡선을 나타내는 그래프, 도 8 은 종래의 자외선 투과용 유리필터 (D10FA: 품명: 마크텍 주식회사 제조: 유리 표면에 코팅막이 형성되어 있지 않은 것) 의 분광분포곡선을 나타내는 그래프이고, 메탈 할라이드 램프 (7) 는 도 7 에 도시된 분광분포곡선을 갖고 있고, 그 종래의 자외선 투과용 유리필터는 도 8 에 도시되었듯이, 파장 380 ∼ 780 nm 의 가시광에 대하여 파장 413 ∼ 694 nm 의 빛을 흡수하여 투과시키지 않고, 파장 380 ∼ 413 nm 와 파장 694 ∼ 780 nm 의 각 파장영역의 빛은 투과시킨다.
그리고 본 발명에서의 분광분포곡선의 측정에는 분광분포곡선 측정용 분광광도계 (형식: U-2200: 주식회사 쯔시마 제작소 제조) 를 사용하였다.
피시험체: 각주상 강재 (단면 50 ×50 ㎜, 길이 200 ㎜) 의 연마 표면의 자연상(自然傷) (깊이 0.12 ㎜, 길이 20 ㎜) 에 대하여, 형광 자분: 수퍼마그너 LY-50 (상품명: 마크텍 주식회사 제조), 형광 자분 농도: 0.5 g/1, 자분 분산제: BC-1 (상품명: 마크텍 주식회사 제조), 자분 분산제 농도: 2 g/1, 자화전류치: DC-500 A 의 조건으로 상지시 모양을 형성시켜, 헐레이션과 지시모양의 검출의 관계에 대하여 다음과 같은 육안에 의한 시험을 행하였다.
가장 먼저, 상기 종래의 자외선 투과용 유리필터를 상기 자외선 탐상등에 장착하여 형광 자분 탐상시험을 실시하였다 (시험 1).
그 결과, 청백색 기미의 헐레이션은 시인되지 않고, 적색 기미의 헐레이션이 시인되어 상지시 모양을 시인할 수 없었다.
그리하여, 상기 종래의 자외선 투과용 유리필터 대신에, 상기 필터에 진공증착처리에 의한 유전체 다층막을 형성한 도 9 및 도 10 에 나타나는 각 분광분포곡선을 갖는 2 종의 자외선 투과 필터를 사용하여 시험을 행하였다.
우선, 파장 700 nm 이상의 가시광내의 빛을 반사하는 도 9 에 도시된 분광분 포곡선을 갖는 자외선 투과 필터를 상기 자외선 탐상등에 장착하여 형광 자분 탐상시험을 실시하였다 (시험 2).
그 결과, 청백색 기미의 헐레이션은 시인되었으나, 적색 기미의 헐레이션은 시인되지 않고, 상지시 모양을 확실히 시인할 수 있었다.
다음은, 파장 400 ∼ 410 nm 와 파장 700 nm 부근에서 그 이상의 가시광내의 빛을 반사하는 도 10 에 나타나는 분광분포곡선을 갖는 자외선 투과 필터를 상기 자외선 탐상등에 장착하여 형광 자분 탐상시험을 실시하였다 (시험 3).
그 결과, 청백색 기미의 헐레이션이 약간 시인되었으나, 적색 기미의 헐레이션은 시인되지 않고, 상지시 모양을 상기 시험 2 와 동일하게 확실히 육안으로 확인할 수 있었다.
본 발명자들은 상기 시험 1 ∼ 3 의 결과에 의하여, 상지시 모양의 관찰에 악영향을 주는 것은 적색 기미의 헐레이션으로서 인식되는 파장 700 nm 부근의 빛이고, 파장 700 nm 부근에서 파장 780 nm 까지의 파장역의 빛을 반사하여 투과시키지 않는 자외선 투과 필터를 상기 자외선 탐상등에 장착시키면 된다는 괄목할만한 사실을 얻어내고, 상기 기술적과제를 해결한 것이다.
상기 기술적 과제는 다음과 같은 본 발명에 의하여 해결할 수 있다.
즉, 본 발명에 따른 자외선 탐상등용 자외선 투과 필터는, 자외선 투과용 유리필터의 표면에 파장 694 ∼ 780 nm 의 가시광을 반사하여 투과시키지 않는 유전체 다층막을 형성하여 이루어지는 것이다.
또한, 본 발명은 상기 자외선 탐상등용 자외선 투과 필터에 있어서, 유전체 다층막이 저굴절율 물질의 층과 고굴절율 물질의 층을 교대로 적층하여 이루어지는 것이다.
또한, 본 발명은 상기 어느 하나의 자외선 탐상등용 자외선 투과 필터에 있어서, 유전체 다층막이 고굴절율 물질의 층을 저굴절율 물질의 층 사이에 끼운 층막을 복수층 적층하여 이루어지는 것이다.
또한, 본 발명에 따른 자외선 탐상등은 상기 어느 하나의 자외선 탐상등용 자외선 투과 필터를 장착하여 이루어지는 것이다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조로하여 설명한다.
실시형태 1
도 1 은 실시형태 1 에 따른 자외선 탐상등용 자외선 투과 필터를 모형적으로 도시한 부분 종단면도, 도 2 는 도 1 에 도시된 다층막을 확대하여 모형적으로 도시한 부분 종단면도, 도 3 은 도 2 에 도시된 층막의 일부를 확대하여 모형적으로 도시한 부분 종단면도이고, 이들 도면에 있어서, 11 은 상기 종래의 자외선 투과용 유리필터의 표면에 파장 694 ∼ 780 nm 의 가시광을 반사하는 유전체 다층막 (12) 을 형성한 자외선 투과 필터이고, 13 은 유전체 다층막 (12) 을 구성하는 층막이고, 8 층의 층막 (13) 이 적층되어있다. 그리고, 층막 (13) 은 저굴절율 물질의 층 (14) 과 고굴절율 물질의 층 (15) 을 교대로 적층하여 형성되어 고굴절율 물질의 층 (15) 을 저굴절율 물질의 층 (14) 사이에 끼운 적층구조로 되어있다.
유전체 다층막 (12) 은 증착처리에 의하여 형성하면 되고, 진공증착법 및 이 온플레이팅법 등의 주지의 방법에 의하여 박막층의 코팅을 중첩하여 다층막 (12)으로서 투과파장을 선택적으로 제어하면 된다. 진공증착방법을 채용하면, 비용을 저렴하게 할 수 있다.
유전체 다층막 (12) 의 각 층은, 고굴절율 물질인 HfO2, TiO2, ZrO2, ZnS 등과 저굴절율 물질인 SiO2, MgF2, Na3AlF6 등을 사용하고, 저굴절율 물질의 층 (14) 과 고굴절율 물질의 층 (15) 을 교대로 적층하면 된다.
도 3 에 도시된 바와 같이, 상기 종래의 자외선 투과용 유리필터의 편면에, 두께 146 nm 의 저굴절율 물질 SiO2 의 층 (14) 과 그 저굴절율 물질층 (14) 의 위에 적층된 두께 520 nm 의 고굴절율 물질 TiO2 의 층 (15) 과 그 고굴절율 물질층 (15) 의 위에 적층된 두께 146 nm 의 저굴절율 물질 SiO2 의 층 (14) 에 의하여 구성되는 층막 (13) 을 8 층 적층하면 (도 2 참조), 파장 694 ∼ 780 nm 의 가시광을 반사하여 투과시키지 않는 유전체 다층막 (12) 을 형성할 수 있다.
유전체 다층막 (12) 은 반드시 8 층일 필요는 없으나, 층막 (13) 을 증가시키면 반사시키는 빛의 파장을 엄밀하게 제한할 수 있다. 그리고 층막 (13) 의 저굴절율 물질의 층 (14) 과 고굴절율 물질의 층 (15) 의 순서는 고굴절율 물질층 (15) 의 위에 저굴절율 물질층 (14) 을 적층하도록 해도 된다.
실시형태 2
도 4 는 실시형태 2 에 따른 자외선 탐상등용 자외선 투과 필터를 모형적으 로 도시한 부분종단면도이고, 도 5 는 도 4 에 도시된 자외선 투과 필터의 양면에 형성된 유전체 다층막을 확대하여 모형적으로 도시한 부분종단면도이고, 이들 도면에서 도 1 ∼ 도 3 과 동일 부호는 동일 또는 상당 부분을 나타내며, 16 은 도 1 에 도시된 자외선 투과 필터 (11) 의 다른쪽 면에 파장 400 ∼ 410 nm 의 가시광을 반사하여 투과시키지 않는 유전체 다층막 (17) 을 형성한 자외선 투과 필터이고, 18 은 유전체 다층막 (17) 을 구성하는 층막이고, 8 층의 층막 (18) 이 적층되어있다. 그리고, 층막 (18) 은 도 3 에 도시된 바와 같이, 저굴절율 물질의 층 (14) 과 고굴절율 물질의 층 (15) 을 교대로 적층하여 형성되어 있다.
상기 자외선 투과 필터 (11) 의 다른쪽 면에, 두께 91 nm 의 저굴절율 물질 SiO2 의 층 (14) 과 그 저굴절율 물질층 (14) 의 위에 적층된 두께 325 nm 의 고굴절율 물질 TiO2 의 층 (15) 과 그 고굴절율 물질층 (15) 의 위에 적층된 두께 91 nm 의 저굴절율 물질 SiO2 의 층 (14) 에 의하여 구성되는 층막 (18) 을, 도 5 에 도시된 바와 같이 8 층 적층하면, 파장 400 ∼ 410 nm 의 가시광을 반사하여 투과시키지 않는 유전체 다층막 (17) 을 형성할 수 있다.
실시예
실시예 1
진공박막 형성장치 (자동연속식 진공박막 형성장치 CES-3: 품명: 주식회사 싱크론 제조) 를 사용하여 진공증착처리에 의하여, 도 8 에 도시된 분광분포곡선을 갖는 자외선 투과용 유리필터 (D10FA: 품명: 마크텍 주식회사 제조: 유리표면에 코 팅막이 형성되지 않은 것) 의 편면에 두께 146 nm 의 저굴절율 물질 SiO2 의 층을 형성하고, 그 저굴절율 물질층 위에 두께 520 nm 의 고굴절율 물질 TiO2 의 층을 형성하고, 그 고굴절율 물질층의 위에 두께 146 nm 의 저굴절율 물질 SiO2 의 층을 형성하고, 이것을 층막 (13) 으로서 8 층 적층하고, 도 1 ∼ 도 3 에 도시된 구성의 자외선 투과 필터 (11) 를 얻었다
자외선 투과 필터 (11) 의 분광분포곡선을 측정한 결과, 도 9 에 도시된 그래프의 분광분포곡선이 얻어지고, 파장 694 ∼ 780 nm 의 가시광을 반사하여 투과시키지 않는 유전체 다층막 (12) 이 형성되어 있는 것을 확인할 수 있었다.
상기 자외선 투과 필터 (11) 를 도 6 에 도시된 자외선 탐상등 (수퍼라이트 D-10: 상품명: 마크텍 주식회사 제조, 자외선 광원: 메탈 할라이드 램프 70W/FDA: 마크텍 주식회사 제조) 에 장착하여 메탈 할라이드 램프를 점등시키고, 피시험체: 각주상 강재 (단면 50 ×50 ㎜, 길이 200 ㎜) 의 연마 표면의 자연상 (깊이 0.12 ㎜, 길이 20 ㎜) 에 대하여, 형광 자분: 수퍼 마그너 LY-50 (상품명: 마크텍 주식회사 제조), 형광 자분 농도: 0.5 g/1, 자분 분산제: BC-1 (상품명: 마크텍 주식회사 제조), 자분 분산제 농도: 2 g/1, 자화전류치: DC-500A 의 조건으로 상지시 모양을 형성시켜 지시모양의 확인시험을 행하였다.
청백색 기미의 헐레이션은 시인되었으나 적색 기미의 헐레이션은 육안으로 시인되지 않고, 상지시 모양을 확실히 시인할 수 있고, 상지시 모양의 관찰을 양호하게 행할 수 있었다.
실시예 2
실시예 1 과 동일한 방법으로, 실시예 1 에서 사용한 것과 같은 자외선 투과용 유리필터의 편면에 실시예 1 의 유전체 다층막과 같은 유전체 다층막 (12) 을 형성하고, 다른쪽 면에는, 실시예 1 에서 사용한 것과 같은 진공 박막 형성장치를 사용하여 진공증착처리에 의하여 두께 91 nm 의 저굴절율 물질 SiO2 층을 형성하고, 그 저굴절율 물질층의 위에 두께 325 nm 의 고굴절율 물질 TiO2 층을 형성하고, 그 고굴절율 물질층의 위에 두께 91 nm 의 저굴절율 물질 SiO2 층을 형성하고, 이것을 층막 (18) 으로서 8 층 적층하고, 도 4 및 도 5 에 나타나는 구성의 자외선 투과 필터 (16) 를 얻었다.
자외선 투과 필터 (16) 의 분광분포곡선을 측정한 결과, 도 11 에 도시된 그래프의 분광분포곡선이 얻어지고, 파장 405 ∼ 410 nm 의 가시광을 반사하여 투과시키지 않는 유전체 다층막 (17) 이 형성되어 있는 것을 확인할 수 있었다.
상기 자외선 투과 필터 (16) 를 사용하여 실시예 1 과 동일한 방법으로 상지시 모양을 형성시켜 지시모양의 확인시험을 행한 결과, 헐레이션이 시인되지 않고, 상지시 모양의 관찰을 양호하게 행할 수 있었다.
실시예 3
실시예 1 과 동일한 방법으로, 실시예 1 에서 사용한 것과 같은 자외선 투과용 유리필터의 편면에 두께 138 nm 의 저굴절율 물질 MgF2 의 층을 형성하고, 그 저 굴절율 물질층의 위에 두께 440 nm 의 고굴절율 물질 HfO2 층을 형성하고, 그 고굴절율 물질층의 위에 두께 138 nm 의 저굴절율 물질 MgF2 층을 형성하고, 이것을 층막 (13) 으로서 8 층 적층하고, 도 1 ∼ 도 3 에 도시된 구성의 자외선 투과 필터 (11) 를 얻었다.
자외선 투과 필터 (11) 의 분광분포곡선을 측정한 결과, 도 9 에 도시된 그래프의 분광분포곡선과 동일한 분광분포곡선이 얻어지고, 파장 694 ∼ 780 nm 의 가시광을 반사하여 투과시키지 않는 유전체 다층막 (12) 이 형성되어 있는 것을 확인할 수 있었다.
상기 자외선 투과 필터 (11) 를 사용하여 실시예 1 과 동일한 방법으로 지시모양의 확인시험을 행한 결과, 청백색 기미의 헐레이션은 시인되었으나, 적색 기미의 헐레이션은 시인되지 않고, 상지시 모양을 확실히 시인할 수 있고, 상지시 모양의 관찰을 양호하게 실시할 수 있었다.
실시예 4
실시예 2 와 동일한 방법으로, 실시예 1 에서 사용한 것과 같은 자외선 투과용 유리필터의 편면에 두께 138 nm 의 저굴절율 물질 MgF2 의 층을 형성하고, 그 저굴절율 물질층의 위에 두께 440 nm 의 고굴절율 물질 HfO2 층을 형성하고, 그 고굴절율 물질층의 위에 두께 138 nm 의 저굴절율 물질 MgF2 층을 형성하고, 이것을 층막 (13) 으로서 8 층 적층하고, 다른쪽 면에는, 두께 86 nm 의 저굴절율 물질 MgF2 층을 형성하고, 그 저굴절율 물질층의 위에 두께 325 nm 의 고굴절율 물질 TiO2 층을 형성하고, 그 고굴절율 물질층의 위에 두께 86 nm 의 저굴절율 물질 MgF2 층을 형성하고, 이것을 층막 (18) 으로서 8 층 적층하고, 도 4 및 도 5 에 도시된 구성의 자외선 투과 필터 (16) 를 얻었다.
자외선 투과 필터 (16) 의 분광분포곡선을 측정한 결과, 도 11 에 도시된 그래프의 분광분포곡선과 동일한 분광분포곡선이 얻어지고, 파장 405 ∼ 410 nm 의 가시광을 반사하여 투과시키지 않는 유전체 다층막 (17) 이 형성되어 있는 것을 확인할 수 있었다.
상기 자외선 투과 필터 (16) 를 사용하여 실시예 1 과 동일한 방법으로 지시모양의 확인시험을 행한 결과, 헐레이션이 시인되지 않고, 상지시 모양의 관찰을 양호하게 행할 수 있었다.
본 발명에 의하면, 적색 기미의 헐레이션(halation)을 발생시키는 694 ∼ 780 nm 의 가시광을 반사하여 투과시키지 않는 자외선 탐상등용 자외선 투과 필터를 제공할 수 있다.
또, 파장 694 ∼ 780 nm 의 가시광을 반사하여 투과시키지 않는 자외선 탐상등용 자외선 투과 필터를 장착한 자외선 탐상등을 제공할 수 있으므로, 요철이 적은 시험면 및 절삭가공된 시험면에서의 탐상관찰에 있어서도 상지시 모양의 간과를 가급적 방지할 수 있고, 더욱 정밀도 높은 상검출을 실현할 수 있다.
따라서, 본 발명의 산업상 이용성은 매우 높다고 말할 수 있다.

Claims (5)

  1. 자외선 투과용 유리필터의 표면에 적색의 헐레이션을 발생시키는 파장 694 ~ 780nm 의 가시광선을 투과시키지 않는 유전체 다층막을 형성하여 적색의 헐레이션이 일어나지 않도록 한 자외선 탐상등용 자외선 투과 필터.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 유전체 다층막은 저굴절율 물질의 층과 고굴절율 물질의 층을 교대로 적층하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 자외선 탐상등용 자외선 투과 필터.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 유전체 다층막은 고굴절율 물질의 층을 저굴절율 물질의 층 사이에 끼운 층막을 복수층 적층하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 자외선 탐상등용 자외선 투과 필터.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 자외선 탐상등용 자외선 투과 필터를 장착하여 이루어지는 자외선 탐상등.
  5. 제 3 항에 기재된 자외선 탐상등용 자외선 투과 필터를 장착하여 이루어지는 자외선 탐상등.
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