KR100603833B1 - Array substrate with dual gate pad structure for Liquid crystal display device and method of fabricating the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 특히 듀얼 게이트 패드 구조의 액정표시장치용 어레이 기판에 관한 것이다. The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to an array substrate for a liquid crystal display device having a dual gate pad structure.
종래의 듀얼 게이트 액정표시장치용 어레이 기판은 공통배선을 연결하는 Vcom 배선이 서로다른 레이어에 구비됨으로써 게이트 공정 후, 게이트 배선과 공통배선이 쇼트되었는지 판별을 위한 쇼트 검사를 실시하는 것이 불가능하다. 따라서, 데이터 공정 완료 후 게이트 배선과 공통배선 간의 쇼트 여부를 검사하였다. 하지만, 게이트 공정과 데이터 공정을 진행한 어레이 기판은 이미 박막 트랜지스터가 형성된 상태이며, 이 단계에서 공통배선과 게이트 배선의 쇼트 검사를 진행하여 쇼트가 발생한 불량 어레이 기판을 검출하면, 상기 기판은 이후 공정 진행을 시키기 않을 뿐, 리웍(rework)이 불가능하므로 수율 향상에 도움이 되지 않는다. In the conventional dual-gate liquid crystal display array substrate, since the Vcom wirings connecting the common wirings are provided in different layers, it is impossible to perform a short test for determining whether the gate wiring and the common wiring are shorted after the gate process. Therefore, after completion of the data process, the short circuit between the gate wiring and the common wiring was examined. However, the array substrate that has undergone the gate process and the data process has already formed a thin film transistor, and in this step, when the short inspection of the common wiring and the gate wiring is performed to detect a defective array substrate in which the short occurs, the substrate is subjected to a subsequent process. It doesn't make progress, and it doesn't rework, so it doesn't help improve yield.
본 발명에 있어서는 게이트 공정 완료 후 게이트 배선과 공통배선의 쇼트 검사를 가능하도록 하는 구조의 액정표시장치용 어레이 기판을 제공함으로써 상기 게이트 공정 진행 후 쇼트에 의한 불량 발생 시 리웍(rework) 공정을 실시하여 쇼트 불량으로 인한 수율 저하를 방지할 수 있다. In the present invention, by providing an array substrate for a liquid crystal display device having a structure that allows a short inspection of the gate wiring and the common wiring after the completion of the gate process, a rework process is performed when a defect occurs due to a short after the gate process is performed. Yield reduction due to a short short circuit can be prevented.
듀얼 게이트 패드, 어레이 기판, 쇼트 검사Dual Gate Pad, Array Board, Short Inspection
Description
도 1은 액정표시패널을 개략적으로 도시한 도면.1 is a schematic view of a liquid crystal display panel;
도 2는 종래의 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 개략적인 평면도.2 is a schematic plan view of a conventional array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device.
도 3은 도 2의 하나의 화소영역을 확대하여 도시한 도면.FIG. 3 is an enlarged view of one pixel area of FIG. 2; FIG.
도 4는 종래의 듀얼 게이트 패드 구조의 액정표시장치용 어레이 기판의 평면도.4 is a plan view of an array substrate for a liquid crystal display device of a conventional dual gate pad structure.
도 5a와 도 5b는 도 4의 어레이 기판의 제조에 있어 게이트 공정과 데이터 공정을 각각 완료한 상태를 도시한 평면도.5A and 5B are plan views showing a state in which a gate process and a data process are respectively completed in manufacturing the array substrate of FIG. 4.
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 듀얼 게이트 패드 구조의 액정표시장치용 어레이 기판의 평면도. 6 is a plan view of an array substrate for a liquid crystal display device having a dual gate pad structure according to an embodiment of the present invention.
도 7은 도 6을 A-A를 따라 절단한 단면도. FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 6; FIG.
도 8은 도 6을 B-B를 따라 절단한 단면도.8 is a cross-sectional view taken along the line B-B of FIG. 6.
도 9a와 도 9b는 도 6의 어레이 기판의 제조에 있어, 게이트 공정과 데이터 공정을 각각 완료한 상태를 도시한 평면도.9A and 9B are plan views showing a state in which a gate process and a data process are respectively completed in manufacturing the array substrate of FIG. 6.
도 10은 본 발명의 변형예에 의한 듀얼 게이트 패드 구조 액정표시장치용 어레이 기판의 평면도.10 is a plan view of an array substrate for a dual gate pad structure liquid crystal display device according to a modification of the present invention;
<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명><Brief description of the main parts of the drawing>
140 : 어레이 기판 143 : 게이트 배선140: array substrate 143: gate wiring
149 : 공통배선 153 : 공통전극 149: common wiring 153: common electrode
162 : 화소전극 173 : 제 2 Vcom 배선 162: pixel electrode 173: second Vcom wiring
181 : 게이트 연결배선 191, 193 : 콘택홀 181: gate connection wiring 191, 193: contact hole
DPA : 데이터 패드부 GLL1 : 제 1 게이트 링크 배선DPA: data pad portion GLL1: first gate link wiring
GP1 : 제 1 게이트 패드 GPA1, GPA2 : 제 1, 2 게이트 패드부GP1: first gate pad GPA1, GPA2: first and second gate pad portions
AA : 표시영역 NA1 내지 NA4 : 제 1 내지 제 4 비표시영역AA: display area NA1 to NA4: first to fourth non-display area
본 발명은 액정표시장치(LCD)용 어레이 기판에 관한 것으로 특히, 어레이 기판의 배선 구조에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE
일반적으로 액정표시장치는 액정의 광학적 이방성을 이용한 장치이다.In general, the liquid crystal display device is a device using the optical anisotropy of the liquid crystal.
즉, 액정표시장치는 전압이 가해지면 전계의 세기에 따라 액정의 분자배열이 바뀌고, 상기 액정의 분자배열에 따라 빛을 조절할 수 있는 특성을 이용하여 화상을 표현하는 장치로서, 공통전극을 포함하는 상부기판과 화소전극을 포함하는 하부 기판과 상기 두 기판 사이에 충진된 액정층으로 구성된다.That is, the liquid crystal display device is a device for representing an image by using a characteristic that can control the light according to the intensity of the electric field and the light is adjusted according to the molecular arrangement of the liquid crystal when the voltage is applied, comprising a common electrode The lower substrate includes an upper substrate and a pixel electrode, and a liquid crystal layer filled between the two substrates.
도면을 참조하여 조금 더 상세히 액정표시장치에 대해 설명한다.A liquid crystal display device will be described in more detail with reference to the drawings.
도 1은 일반적인 액정표시장치를 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing a general liquid crystal display device.
도시한 바와 같이, 일반적인 액정표시장치(1)는 투명한 절연기판 상에 컬러필터(5)와 상기 각 컬러필터(5)사이에 구성된 블랙매트릭스(7)와 상기 컬러필터(5)와 블랙매트릭스(7) 하부에 증착된 공통전극(9)이 형성된 상부기판(3)과, 게이트 배선(13)과 데이터 배선(15)이 교차하여 정의되는 화소영역(P)과, 상기 화소영역(P) 상에 형성된 화소전극(17)과 스위칭 소자(T)로 형성된 하부기판(11)으로 구성되며, 상기 상부기판(3)과 하부기판(11) 사이에는 액정(19)이 충진되어 있다.As shown in the drawing, a general liquid
상기 하부기판(22)은 어레이 기판이라고도 하며, 스위칭 소자인 박막트랜지스터(T)가 매트릭스형태(matrix type)로 위치하고, 이러한 다수의 박막트랜지스터를 교차하여 지나가는 게이트 배선(13)과 데이터 배선(15)이 형성된다.The
전술한 구조를 갖는 일반적인 액정표시장치는 상부기판의 공통전극과 하부기판의 화소전극에 전압을 인가함으로써 상-하로 걸리는 전기장에 의해 액정을 구동하는 방식으로, 투과율과 개구율 등의 특성이 우수한 반면, 시야각이 좁은 단점이 있다.A general liquid crystal display having the above-described structure is a method of driving a liquid crystal by an electric field applied up and down by applying a voltage to a common electrode of an upper substrate and a pixel electrode of a lower substrate, and has excellent characteristics such as transmittance and aperture ratio. The disadvantage is that the viewing angle is narrow.
따라서, 이러한 문제점을 극복하고자 상기 공통전극과 화소전극이 하나의 기판에 모두 형성되어 수평 전기장에 의해 액정이 구동하는 횡전계형 액정표시장치가 제안되었다.Accordingly, in order to overcome this problem, a transverse field type liquid crystal display device in which the common electrode and the pixel electrode are formed on one substrate and the liquid crystal is driven by a horizontal electric field has been proposed.
도 2는 일반적인 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판의 간략한 평면도이며, 도 3은 하나의 화소영역을 확대하여 도시한 도면이다. FIG. 2 is a schematic plan view of an array substrate for a general transverse electric field type liquid crystal display device, and FIG. 3 is an enlarged view of one pixel area.
도시한 바와 같이, 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판(40) 상의 화상을 표시하는 표시영역(AA)에는 가로 방향의 게이트 배선(43)과 세로 방향의 데이터 배선(46)이 교차하여 화소영역(P)을 정의하고 있으며, 상기 화소영역(P) 내에는 게이트 배선(43)과 데이터 배선(46)의 교차 부분에는 상기 게이트 배선(43) 및 데이터 배선(46)과 연결된 스위칭 소자인 박막 트랜지스터(Tr)가 형성되어 있다. As shown in the drawing, in the display area AA displaying an image on the array-type liquid crystal
또한, 상기 화소영역(P)에는 상기 게이트 배선(43)과 평행하게 일정간격 이격하여 가로방향으로 연장된 공통배선(49)이 형성되어 있으며, 상기 공통배선(49)에서 분기한 다수의 공통전극(53)이 세로 방향으로 연장되어 있다. In addition, the pixel region P has a
또한, 화소영역(P)에는 세로방향을 가지며 상기 공통전극(53)과 일정간격을 가지고 서로 엇갈리게 배치된 다수의 화소전극(62)이 형성되어 있는데, 상기 화소전극(62)은 박막 트랜지스터(Tr)와 연결되어 있다.In addition, in the pixel region P, a plurality of
표시영역(AA)의 외측의 비표시영역(NA)에 있어서는, 일측에 상기 표시영역(AA)에 형성된 게이트 배선(43)과 연결되며, 외부의 구동회로와 연결되는 게이트 패드부(GPA)가 형성되어 있으며, 표시영역(AA)의 상측면의 비표시영역(NA)에는 외부의 데이터 구동회로(미도시)와 연결되며, 표시영역(AA) 내에 형성된 데이터 배선(46)과 연결되는 데이터 패드부(DPA)가 형성되어 있다.In the non-display area NA on the outside of the display area AA, a gate pad part GPA connected to the
또한, 상기 표시영역(AA)의 외측으로 데이터 패드부(DPA)에 일끝단이 위치하며 데이터 배선(46)과 평행하게 DC 공통전압 인가를 위한 Vcom배선(72)이 형성되어 있으며, 상기 Vcom배선(72)은 게이트 배선(43)과 평행하게, 동일 행에 위치한 화소를 가로지르며 형성된 공통배선(49)의 일끝과 연결되어 있다. In addition, one end of the data pad part DPA is positioned outside the display area AA, and a
하지만, 전술한 구조의 액정표시장치는 액정표시장치가 점점 대형화되어 가면서 게이트 배선의 길이가 늘어나게 됨에 따라 배선저항에 따른 신호지연이 발생하여 표시품질이 저하되는 문제가 발생하고 있다. 따라서 이러한 배선저항에 따른 신호시연의 문제를 해결하고자 게이트 배선의 양끝단에서 동일한 신호전압을 인가시킬 수 있는 듀얼게이트 구조의 액정표시장치가 제안되었다. However, in the liquid crystal display device having the above-described structure, as the liquid crystal display device becomes larger and larger, the length of the gate wiring increases, causing signal delay due to wiring resistance, resulting in a decrease in display quality. Therefore, in order to solve the problem of signal demonstration according to the wiring resistance, a liquid crystal display device having a dual gate structure capable of applying the same signal voltage at both ends of the gate wiring has been proposed.
도 4는 종래의 듀얼 게이트 패드 구조의 액정표시장치용 어레이 기판의 평면도이다. 4 is a plan view of an array substrate for a liquid crystal display device having a conventional dual gate pad structure.
도시한 바와 같이, 액정표시장치용 듀얼게이트 구조의 어레이 기판(140)은 게이트 배선(143)에 대해 외부로부터 게이트 신호를 인가시키는 게이트 패드부(GPA1, GPA2)가 표시영역(AA)의 좌, 우 양측의 비표시영역(NA1, NA2) 각각에 형성된 것이 특징이며, 그 외의 표시영역(AA)의 구조에 대해서는 게이트 패드부를 일측에 구성한 일반적인 액정표시장치용 어레이 기판과 동일하고 이는 도 2를 통해 설명하였으므로 자세한 구조적 설명은 생략한다. As illustrated, the
액정표시장치용 듀얼 게이트 패드 구조의 어레이 기판(140)은 동일한 게이트 신호를 게이트 배선(143)을 기준으로 양끝단에서 동시에 입력함으로서 일끝단에서 게이트 신호를 입력한 통상의 액정표시장치 대비 배선저항에 의한 신호지연을 어느 정도 방지할 수 있게 되었다. The
도 5a와 도 5b는 도 4의 어레이 기판의 제조에 있어 게이트 공정과 데이터 공정을 각각 완료한 상태의 어레이 기판을 도시한 평면도이다.5A and 5B are plan views illustrating an array substrate in a state where a gate process and a data process are respectively completed in manufacturing the array substrate of FIG. 4.
액정표시장치용 듀얼 게이트 패드 구조의 어레이 기판(140)의 제조 시 게이트 레이어(gate layer) 형성 단계에서는 표시영역(AA)에 위치하는 게이트 배선(143)을 포함한 게이트 링크 배선(GLL1, GLL2) 및 게이트 패드(GP)가 동일 금속물질로써 동시에 형성되어 있으며, 상기 게이트 배선(143)과 평행하게 일정간격 이격하여 공통배선(149)이 형성되고, 각 화소(P)마다 상기 공통배선(149)에서 분기한 공통전극(도면에 있어서는 하나의 화소영역에만 상기 공통전극을 표시하였다.)(153)이 형성되어 있다. 이때, 게이트 레이어 단계만을 진행한 상태의 어레이 기판의 평면도인 도 5를 참조하면, 각 게이트 배선(143)은 상기 게이트 패드(GP)를 연결하는 게이트 연결배선(181, 182)을 형성함으로써 병렬구조로 연결되어 있는 것이 특징이다. 이는 추후에 진행하는 검사공정을 하나의 단자의 연결만으로 가능하도록 하기 위함이며 각 배선(143)간 등전위를 형성함으로써 공정 진행 중에 발생하는 정전기에 의한 파손 불량을 방지하기 위함이다. 상기 게이트 연결배선(181, 182)은 추후 액정패널 완성 직전에 게이트 패드 간 연결된 부분을 제거함으로써 각각의 독립된 게이트 배선(143)을 형성하게 된다. In the gate layer forming step of manufacturing the
이때, 전술한 구조의 액정표시장치 특히 횡전계형 액정표시장치에 있어서는 게이트 배선(143)과 상기 게이트 배선(143)과 일정간격 이격하여 형성된 공통배선(149)간 쇼트(short)가 많이 발생하는 문제가 있다. 따라서 상기 공통배선(149)과 게이트 배선(143) 간 쇼트가 발생하였는지에 대한 쇼트 검사를 실시해야 하는데 전술한 종래의 구조에 있어서는 게이트 배선(143)이 모두 연결되었 기에 상기 다수의 게이트 패드(GP) 중 어느 하나의 게이트 패드에 검사기의 일끝단을 연결시킴으로써 간단히 검사신호 입력이 가능하지만 각각의 공통배선(149)은 상기 각 공통배선(149) 자체를 연결시켜주는 Vcom배선이 형성되지 않았기에 상기 공통배선(149) 각각의 일끝단 하나하나에 검사기의 일끝단을 접촉시켜야 하는 문제가 있다. In this case, in the liquid crystal display device having the above-described structure, in particular, in the transverse electric field type liquid crystal display device, a short occurs frequently between the
따라서, 게이트 공정 단계 후에는 쇼트 검사가 불가능하며, 도 5b에 도시한 바와같이, 데이터 공정을 진행하여 상기 공통배선(149)을 연결하는 Vcom배선(172, 173) 및 상기 Vcom배선(172, 173) 일끝단의 Vcom입력단자(CP)를 형성한 후, 즉 박막 트랜지스터(Tr)의 완성 후, 상기 Vcom배선(172, 173) 일끝단의 Vcom 입력단자(CP)와 연결된 상태의 게이트 배선(143) 일끝단의 게이트 패드(GP)를 이용하여 공통배선(149)과 게이트 배선(143)의 쇼트 검사를 실시할 수 있다. Therefore, a short test cannot be performed after the gate process step. As shown in FIG. 5B, the Vcom wirings 172 and 173 and the Vcom wirings 172 and 173 which connect the
하지만, 게이트 공정과 데이터 공정을 진행한 어레이 기판은 이미 박막 트랜지스터가 형성된 상태이며, 이 단계에서 공통배선과 게이트 배선의 쇼트 검사를 진행하여 쇼트가 발생한 불량 어레이 기판을 검출하면, 상기 기판은 이후 공정 진행을 시키기 않을 뿐, 리웍(rework)이 불가능하므로 수율 향상에 도움이 되지 않는다. However, the array substrate that has undergone the gate process and the data process has already formed a thin film transistor, and in this step, when the short inspection of the common wiring and the gate wiring is performed to detect a defective array substrate in which the short occurs, the substrate is subjected to a subsequent process. It doesn't make progress, and it doesn't rework, so it doesn't help improve yield.
따라서, 본 발명에 있어서는 게이트 공정 완료 후 게이트 배선과 공통배선의 쇼트 검사를 가능하도록 하는 구조의 액정표시장치용 어레이 기판을 제공함으로써 상기 게이트 공정 진행 후 쇼트에 의한 불량 발생 시 리웍(rework) 공정을 실시하여 쇼트 불량으로 인한 수율 저하를 방지하는 것을 그 목적으로 한다.
Accordingly, the present invention provides an array substrate for a liquid crystal display device having a structure that allows a short inspection of the gate wiring and the common wiring after the completion of the gate process, thereby reworking the process when a defect occurs due to a short after the gate process. It aims at preventing the yield fall by short-circuit.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 게이트 패드 구조 액정표시장치용 어레이 기판은 중앙의 표시영역과 상기 표시영역의 좌우측으로 제 1 및 제 2 게이트 패드부가 정의된 제 1 및 제 2 비표시영역과, 상기 표시영역의 상측으로 데이터 패드부가 정의된 제 3 비표시영역과 하측으로 제 4 비표시영역이 정의된 것을 특징으로 하는 기판과; 상기 기판 상의 표시영역에 가로방향으로 구비된 게이트 배선과; 상기 게이트 배선에서 소정간격 이격하여 구비된 공통배선과; 상기 제 1, 2 비표시영역 중 어느 하나의 비표시영역에 상기 게이트 배선을 이루는 물질과 동일물질로써 상기 게이트 배선의 일끝단과 직접연결 구성된 제 1 게이트 링크 배선과; 상기 제 1, 2 비표시영역 중 제 1 게이트 링크 배선이 형성되지 않은 비표시영역에 상기 공통배선을 이루는 금속물질로써 상기 다수의 공통배선의 일끝과 직접 연결되며 세로방향으로 연장 구성된 제 1 Vcom 배선과; 상기 게이트 배선과 공통배선과 제 1 게이트 링크 배선과 제 1 Vcom배선 상부로 전면에 구성된 게이트 절연막과; 상기 게이트 절연막 위로 표시영역에 세로방향으로 구비됨으로써 다수의 게이트 배선과 교차하여 다수의 화소영역을 정의하는 다수의 데이터 배선과; 상기 데이터 배선과 동일한 층에 동일 물질로써 형성되며, 상기 제 1 Vcom 배선과 직접 연결되지 않은 다수의 공통배선의 일끝단과 콘택홀을 통해 연결된 것을 특징으로 하는 제 2 Vcom 배선과; 상기 게이트 절연막 위로 상기 제 1 게이트 링크 배선과 직접 연결된 상기 게이트 배선의 일끝 이외의 타끝과 제 2 콘택홀을 통해 연결된 것을 특징으로 하는 제 2 게이트 링크 배선과; 상기 게이트 배선과 데이터 배선과 교차지점에 구비된 박막 트랜지스터를 포함한다.According to an exemplary embodiment of the present invention, an array substrate for a dual gate pad structure liquid crystal display device includes first and second gate pad portions having a central display area and first and second gate pad parts defined at left and right sides of the display area. A non-display area, a third non-display area having a data pad portion defined above the display area, and a fourth non-display area defined below; A gate wiring provided in the display area on the substrate in a horizontal direction; A common wiring provided at a predetermined interval apart from the gate wiring; A first gate link interconnection directly connected to one end of the gate interconnection with the same material as the gate interconnection in one of the first and second non-display regions; The first Vcom wiring, which is a metal material forming the common wiring in the non-display region in which the first gate link wiring is not formed, among the first and second non-display regions, is directly connected to one end of the plurality of common wirings and extends in the vertical direction. and; A gate insulating film formed over the gate wiring, the common wiring, the first gate link wiring, and the first Vcom wiring; A plurality of data wires disposed in the display area in the vertical direction over the gate insulating film to define a plurality of pixel areas crossing the plurality of gate wires; A second Vcom wire formed of the same material on the same layer as the data wire and connected to one end of a plurality of common wires not directly connected to the first Vcom wire through a contact hole; A second gate link wire connected to the other end of the gate wire directly connected to the first gate link wire through the second contact hole on the gate insulating layer; And a thin film transistor provided at an intersection point with the gate line and the data line.
이때, 상기 다수의 화소영역에는 공통배선으로부터 분기한 다수의 공통전극이 더욱 구비된다. In this case, the plurality of pixel regions may further include a plurality of common electrodes branched from the common wiring.
또한, 상기 다수의 화소영역에는 상기 공통배선 사이마다 박막 트랜지스터와 연결된 화소전극이 더욱 구비된다. The pixel electrodes may further include pixel electrodes connected to the thin film transistors between the common lines.
또한, 상기 게이트 배선과 공통배선과 제 1 게이트 링크 배선과 제 1 Vcom 배선은 동일한 층에 동일한 금속물질로써 형성된 것이 특징이며, 상기 제 1, 2 게이트 링크 배선의 일끝단에는 제 1 및 제 2 게이트 패드가 더욱 구비된다.The gate wiring, the common wiring, the first gate link wiring, and the first Vcom wiring are formed of the same metal material on the same layer, and the first and second gates are formed at one end of the first and second gate link wirings. The pad is further provided.
본 발명에 따른 듀얼 게이트 패드 구조 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 방법은 중앙의 표시영역과 상기 표시영역의 좌우측으로 제 1 및 제 2 게이트 패드부가 정의된 제 1 및 제 2 비표시영역과, 상기 표시영역의 상측으로 데이터 패드부가 정의된 제 3 비표시영역과, 하측으로 제 4 비표시영역이 정의된 것을 특징으로 하는 기판 상의 상기 표시영역에 가로방향으로 게이트 배선과, 상기 게이트 배선에서 소정간격 이격하여 상기 게이트 배선과 평행한 공통배선과, 상기 제 1, 2 비표시영역 중 어느 하나의 비표시영역에 상기 게이트 배선을 이루는 물질과 동일물질로써 상기 게이트 배선의 일끝단과 직접연결 구성된 제 1 게이트 링크 배선과, 상기 제 1, 2 비표시영역 중 제 1 게이트 링크 배선이 형성되지 않은 비표시영역에 상기 공통배선의 일끝과 직접 연결되며 세로방향으로 연장하는 제 1 Vcom 배선과, 상기 제 1 게이트 링크 배선 일끝단에 제 1 게이트 패드와, 상기 제 1 게이트 패드를 모두 연결하는 게이트 연결배선을 형성하는 (a)단계와; 상기 게이트 배선 위로 전면에 게이트 절연막을 형성하는 (b)단계와; 상기 게이트 절연막 위로 표시영역에 세로방향으로 구비됨으로써 상기 게이트 배선과 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터 배선과, 상기 제 1 Vcom 배선과 직접 연결되지 않은 공통배선의 일끝과 제 1 콘택홀을 통해 연결된 것을 특징으로 하는 제 2 Vcom 배선과, 상기 제 1 게이트 링크 배선과 직접 연결된 상기 게이트 배선 일끝 이외의 타끝과 제 2 콘택홀을 통해 연결된 것을 특징으로 하는 제 2 게이트 링크 배선을 형성하는 (c)단계를 포함한다. A method of manufacturing an array substrate for a dual gate pad structure liquid crystal display device according to the present invention includes a first display portion and a second non-display portion in which a first and a second gate pad portion are defined at left and right sides of a central display area and the display area. A third non-display area in which a data pad part is defined above the display area, and a fourth non-display area in the lower part of the display area; and a gate line in a horizontal direction in a horizontal direction, and a predetermined distance from the gate wire. A first wiring which is directly connected to one end of the gate wiring by a common wiring spaced apart from and parallel to the gate wiring and the same material as the gate wiring in one of the first and second non-display areas A gate link wiring and a non-display region in which the first gate link wiring is not formed among the first and second non-display regions, and directly at one end of the common wiring. (A) forming a first Vcom wire connected to each other and extending in a longitudinal direction, a first gate pad at one end of the first gate link wire, and a gate connection wire connecting all of the first gate pads; (B) forming a gate insulating film on the entire surface of the gate wiring; A vertically disposed display area on the gate insulating layer, the data line crossing the gate line to define a pixel area, and one end of a common line not directly connected to the first Vcom line and a first contact hole; (C) forming a second Vcom wiring, and a second gate link wiring, the second gate link wiring being connected to the other end other than one end of the gate wiring directly connected to the first gate link wiring through a second contact hole. Include.
또한, (a)단계 후에는 상기 게이트 연결배선을 통해 모두 연결된 게이트 배선과 제 1 Vcom 배선에 의해 연결된 공통배선의 쇼트 검사를 실시하는 단계와; 쇼트 검사 시 불량이 발생한 기판을 리웍(rework)하는 단계와; 상기 리웍(rework) 된 기판에 상기 (a)단계를 실시하는 단계를 더욱 포함한다. In addition, after step (a), performing a short inspection of the gate wirings connected through the gate connection wirings and the common wirings connected by the first Vcom wirings; Reworking the substrate on which the defect has occurred during the short inspection; And performing the step (a) on the reworked substrate.
또한, 상기 (b)단계 이후에는 상기 게이트 절연막에 콘택홀을 형성하는 단계를 더욱 포함한다.
또한, 상기 (a)단계는 상기 게이트 배선과 데이터 배선과 교차지점에 게이트 전극을 형성하는 단계를 더욱 포함하고, 상기 (c)단계는 반도체층을 형성하는 단계와, 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계를 더욱 포함한다.In addition, after step (b), the method may further include forming a contact hole in the gate insulating layer.
In addition, the step (a) further comprises the step of forming a gate electrode at the intersection with the gate line and the data line, the step (c) is a step of forming a semiconductor layer, and forming a source and drain electrode It further comprises a step.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 듀얼 게이트 패드 구조의 액정표시장치용 어레이 기판의 평면도이며, 도 7과 도 8은 도 6을 각각 A-A, B-B를 따라 절단한 단면도이다. 이때, 상기 도 7과 8에서는 표시영역내 화소영역에 구비된 화소전극 및 공통전극과 박막 트랜지스터는 생략하였다. 6 is a plan view of an array substrate for a liquid crystal display device having a dual gate pad structure according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 7 and 8 are cross-sectional views taken along the lines A-A and B-B, respectively. 7 and 8, the pixel electrode, the common electrode, and the thin film transistor included in the pixel area in the display area are omitted.
우선, 도면에 있어서 설명의 편의를 위해, 어레이 기판(240)에 있어, 중앙의 화상을 표시하는 표시영역(AA)을 기준으로 상기 표시영역(AA) 좌우측에 위치한 비표시영역을 각각 제 1 비표시영역(NA1)과 제 2 비표시영역(NA2)으로 정의하고, 상기 제 1, 2 비표시영역(NA1, NA2)에 구성된 게이트 패드부(GPA)를 각각 제 1 게이트 패드부(GPA1)와 제 2 게이트 패드부(GPA2)라 정의한다. 또한, 표시영역(AA) 상하측의 비표시영역을 각각 제 3, 4 비표시영역(NA3, NA4)이라 정의한다. 이때, 상기 제 3 비표시영역(NA3)에는 데이터 패드부(DPA)가 정의되어 있다. First, for convenience of description in the drawings, the non-display areas positioned on the left and right sides of the display area AA on the
도시한 바와 같이, 제 1 게이트 패드부(GPA1)와 제 2 게이트 패드부(GPA2)가 어레이 기판(240) 중앙의 표시영역(AA)을 사이로 좌우측에 구비되어 있으며, 상기 제 1 게이트 패드부(GPA1)와 제 2 게이트 패드부(GPA2)를 사이로 하여 표시영역에 가로방향으로 다수의 게이트 배선(243)이 형성되어 있다. 이때, 상기 제 1, 2 게이트 패드부(GPA1, GPA2) 내의 각각의 게이트 패드(GP)와 표시영역(AA) 내의 게이트 배선(243)은 각각 제 1, 2 게이트 링크 배선(GLL1, GLL2)에 의해 연결되어 있으며, 이때, 제 1 비표시영역(NA1)에 위치한 상기 제 1 게이트 패드부(GPA1) 내의 게이트 패드(GP)와 이를 표시영역(AA) 내에 구비된 게이트 배선(243)과 연결시키는 제 1 게이트 링크 배선(GLL1)은 제 2 비표시영역(NA2)에 위치한 제 2 게이트 패드부(GPA2) 내의 게이트 패드(GP)와 이를 게이트 배선(243)과 연결시키는 제 2 게이트 링크 배선(GLL2)과 서로 다른 층에 형성된 것을 특징으로 한다. As illustrated, the first gate pad part GPA1 and the second gate pad part GPA2 are provided on the left and right sides of the display area AA in the center of the
또한, 어레이 기판(240) 상측의 제 3 비표시영역(NA3)에는 데이터 패드부(DPA)가 구비되어 있으며, 상기 데이터 패드부(DPA)에는 다수의 데이터 패드(DP)가 구비되어 있으며, 상기 데이터 패드(DP)와 각각 연결된 데이터 링크 배선(DLL)과 연결되어 표시영역(AA)에는 세로방향으로 배치됨으로써 상기 게이트 배선(243)과 교차하여 화소(P)를 정의하는 다수의 데이터 배선(246)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 배선(243)과 데이터 배선(246)의 교차지점에는 스위칭 소자인 박막 트랜지스터(Tr)가 형성되어 있다. 또한 표시영역(AA)에는 상기 게이트 배선(243)에서 소정간격 이격하여 공통배선(249)이 상기 게이트 배선(243)과 평행하게 형성되어 있으며, 각 화소영역(P)에는 상기 공통배선(249)에서 분기한 다수의 공통전극(253)이 형성되어 있다. In addition, a data pad part DPA is provided in the third non-display area NA3 on the
또한, 상기 제 1, 2 게이트 패드부(GPA1, GPA2)와 표시영역(AA) 사이의 제 1, 2 비표시영역(NA1, NA2)에는 각각 제 1, 2 Vcom 배선(272, 273)이 데이터 배선(246)과 평행하게 형성되어 있으며, 상기 제 1, 2 Vcom 배선(272, 273)은 표시영역(AA)의 동일 행에 위치한 화소(P)를 가로지르며 형성된 공통배선(249)의 양끝단과 각각 연결되어 있다. 이때, 상기 제 1, 2 Vcom 배선(272, 273)은 서로 다른층에 형성되어 있은 것이 특징이다. In addition, the first and second Vcom wirings 272 and 273 respectively include data in the first and second non-display areas NA1 and NA2 between the first and second gate pad parts GPA1 and GPA2 and the display area AA. The first and
조금 더 자세히 각 배선의 형성 구조에 대해 도 7, 8을 참조하여 설명한다.In more detail, the formation structure of each wiring is demonstrated with reference to FIGS.
도 7과 8은 도 6을 각각 A-A, B-B를 따라 절단한 단면도이다. 7 and 8 are cross-sectional views taken along the lines A-A and B-B, respectively.
우선, 도 7을 참조하여 제 1 게이트 패드부(GPA1)의 제 1 게이트 링크 배선(GLL1)과 게이트 배선(243)과 제 1 Vcom배선(272)과 공통배선(249)과 데이터 배선(246)의 형성 구조에 대해 설명하면, 기판(241) 상에 게이트 패드(미도시)와 연결된 제 1 게이트 링크 배선(GLL1)이 형성되어 있으며, 상기 제 1 게이트 링크 배선(GLL1)에서 소정간격 이격하여 공통배선(249)과 게이트 배선(243)이 각각 소정 간격 이격하여 형성되어 있다. 이때, 상기 제 1 게이트 링크 배선(GLL1)과 게이트 배선(243)은 도면상에는 연결된 것처럼 보이지 않으나, 실제적으로는 도 6에 도시한 바와 같이 연결되어 형성된 것이며, 또한 상기 기판(241) 상에 형성된 상기 게이트 배선(243)과 제 1 게이트 링크 배선(GLL1)과 공통배선(249)은 동일한 금속물질로써 형성된 것이 특징이다. First, referring to FIG. 7, the first gate link wiring GLL1, the
다음, 상기 제 1 게이트 링크 배선(GLL1)과 공통배선(249)과 게이트 배선(243) 위로 전면에 게이트 절연막(251)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 절연막(251) 위로, 상기 공통배선(249)과 콘택홀(291)을 통해 접촉하는 제 1 Vcom 배선(272)이 형성되어 있으며, 상기 제 1 Vcom 배선(272)에서 소정간격 이격하여 데이터 배선(246)이 형성되어 있다. 또한, 상기 제 1 Vcom 배선(272)과 데이터 배선(246) 상부로 전면에 보호층(260)이 형성되어 있다. Next, a
반면, 제 2 Vcom 배선(273)과 제 2 게이트 링크 배선(GLL2) 주위를 절단한 단면도인 도 8을 참조하면, 도시한 바와 같이 기판(241) 상의 표시영역(AA)에는 게이트 배선(243)이 형성되어 있으며, 제 2 비표시영역(NA2)에는 공통배선(249)과 상기 공통배선(249)의 일끝단과 연결된 제 2 Vcom 배선(273)이 형성되어 있다. 이때, 상기 게이트 배선(243)과 공통배선(249) 및 제 2 Vcom 배선(273)은 동일한 금속물질로써 형성된 것이 특징이다. On the other hand, referring to FIG. 8, which is a cross-sectional view cut around the second Vcom wiring 273 and the second gate link wiring GLL2, the
다음, 상기 게이트 배선(243)과 공통배선(249) 및 제 2 Vcom 배선(273) 위로 전면에는 게이트 절연막(251)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 절연막(251) 위로 표시영역(AA)과 제 2 비표시영역(NA2) 경계에 콘택홀(293)을 통해 하부의 게이트 배선(243)과 접촉하는 제 2 게이트 링크 배선(GLL2)이 형성되어 있다. 또한, 상기 제 2 게이트 링크 배선(GLL2) 위로 전면에는 보호층(260)이 형성되어 있다.Next, a
따라서, 도 7과 8을 비교하면, 제 1 게이트 패드(미도시)와 게이트 배선(243)과 상기 제 1 게이트 패드(미도시)와 게이트 전극(243)을 연결하는 제 1 게이트 링크 배선(GLL1)과 공통배선(249)과 상기 공통배선(249)과 연결된 제 2 Vcom 배선(273)은 어레이 기판(240)의 레이어(layer) 중 기판(241) 상에 게이트 공정에 의해 형성되었으며, 제 2 게이트 패드(미도시)와 상기 제 2 게이트 패드(미도시)와 게이트 배선(243)을 연결하는 제 2 게이트 링크 배선(GLL2)과 데이터 배선(246)과 제 1 Vcom 배선(272)은 게이트 절연막(251) 위로 데이터 공정에 의해 형성된 것임을 알 수 있다. Therefore, comparing FIGS. 7 and 8, the first gate link wiring GLL1 connecting the first gate pad (not shown) and the
전술한 구조와 같이 게이트 배선과 각각 연결되는 제 1 게이트 링크 배선과 제 1 게이트 패드와 제 2 게이트 링크 배선과 제 2 게이트 패드를 각각 다른 레이어에 구성하고, 동시에 표시영역에 각 화소에 형성된 공통배선의 양끝단과 각각 연결되는 제 1 Vcom 배선과 제 2 Vcom 배선을 각각 다른 레이어(layer)에 형성함으로써 상기 공통배선과 게이트 배선간의 쇼트 검사를 게이트 공정 진행 후 실시할 수 있도록 하였다.As described above, the first gate link wiring, the first gate pad, the second gate link wiring, and the second gate pad, which are respectively connected to the gate wiring, are formed in different layers, and at the same time, common wiring formed in each pixel in the display area. The first and second Vcom wires respectively connected to both ends of the first and second Vcom wires are formed in different layers so that the short test between the common wire and the gate wire can be performed after the gate process is performed.
다음, 게이트 공정만을 완료한 어레이 기판의 평면도를 참고하여 그 제조 방 법 및 쇼트 검사 진행에 대해 설명한다. Next, the manufacturing method and the short inspection process will be described with reference to the plan view of the array substrate having completed the gate process only.
도 9a는 본 발명의 실시예에 의한 듀얼 게이트 패드 구조 액정표시장치용 어레이 기판에 있어 게이트 공정을 완료한 상태를 도시한 것이다. 도 6과 마찬가지로 설명의 편의상 어레이 기판(240)의 중앙부를 기준으로 상기 중앙부에 표시영역(AA)과 상기 표시영역(AA) 외측으로 제 1 내지 제 4 비표시영역(NA1 내지 NA4)을 정의하였으며, 또한, 상기 제 1 내지 3 비표시영역(NA1 내지 NA3) 내에 제 1, 2 게이트 패드부(GPA1, GPA2)와 데이터 패드부(DPA)를 정의하였다. FIG. 9A illustrates a state in which a gate process is completed in an array substrate for a dual gate pad structure liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention. As shown in FIG. 6, for convenience of description, the display area AA and the first to fourth non-display areas NA1 to NA4 are defined in the central part of the
본 발명에 의한 어레이 기판(240)의 제조를 위해 금속물질 증착, 포토레지스트 도포, 노광, 포토레지스트 현상, 금속물질 식각, 포토레지스트 스트립 등 일련의 게이트 공정을 진행 완료하면, 도시한 바와 같이 기판 상에 게이트 배선(243)과 상기 게이트 배선(243) 일끝과 제 1 게이트 패드(GP1)를 연결시키는 제 1 게이트 링크 배선(GLL1)과 상기 게이트 배선(243)에서 소정간격 이격하여 상기 게이트 배선(243)과 평행하게 형성된 공통배선(249)과, 상기 공통배선(249)의 일끝과 연결된 제 2 Vcom 배선(273)이 형성된다. 이때, 제 1 게이트 패드부(GPA1)의 제 1 게이트 패드(GP1)는 게이트 연결배선(281)에 의해 각각이 모두 연결되어 있는 것이 특징이며, 표시영역(AA) 내의 공통배선(249) 또한 제 2 Vcom 배선(273)에 의해 모두 연결되어 있는 것이 특징이다. 따라서, 상기 게이트 배선(243)과 공통배선(249)간의 쇼트가 발생하였는지에 대해 단지 상기 제 1 게이트 패드부(GPA1) 내에 형성된 다수의 제 1 게이트 패드(GP1) 중 하나의 게이트 패드와 제 2 Vcom 배선(273)의 일끝단과 연결되며 데이터 패드부(DPA)에 형성된 제 2 Vcom 단자(CP) 두 곳을 쇼트 검사 기(미도시)의 두 단자에 각각 접촉시킴으로써 쇼트 발생 여부를 쉽게 알아 낼 수 있다. In order to manufacture the
종래의 구조에 있어서는, 각 공통배선과 연결되는 Vcom배선이 게이트 레이어에 구비되지 않으므로 쇼트 검사를 진행하기 위해서는 각 화소 행마다 구비되는 공통배선 일끝단 하나하나에 쇼트 검사기의 단자를 각각 접촉시켜야 하므로 실제적으로 게이트 공정 단계 후에 쇼트 검사의 진행할 수 없었지만, 본 발명에 있어서는 게이트 공정 완료 후 게이트 레이어에 모두 연결된 게이트 배선(243)과, 공통배선 (249)모두를 연결하는 제 2 Vcom 배선(273)이 형성됨으로써 상기 제 2 Vcom 배선(273) 일끝단의 Vcom 단자(CP)와 게이트 배선과 연결된 제 1 게이트 링크 배선(GLL1) 일끝단의 제 1 게이트 패드(GP1) 중 하나를 쇼트 검사기 단자에 연결시킴으로써 간단히 쇼트 검사를 진행할 수 있다.In the conventional structure, since the Vcom wiring connected to each common wiring is not provided in the gate layer, in order to perform the short inspection, the terminals of the short inspection apparatus must be brought into contact with one end of the common wiring provided for each pixel row. However, although the short inspection could not be performed after the gate process step, in the present invention, after completion of the gate process, the
전술한 바와 같이 쇼트 검사를 진행하여 불량이 발생한 어레이 기판은 상기 기판상에 금속물질로써 한 공정만을 진행하였으므로 비교적 쉽게 리웍이 가능하므로 리웍 공정을 실시하여 상기 금속물질의 배선을 모두 제거한 후 재 투입하여 전술한 게이트 공정을 진행한다. 따라서, 최종적인 어레이 기판의 제조 수율을 향상시킬 수 있다.As described above, since the short inspection is performed and the array substrate in which the defect is generated has only one step as a metal material on the substrate, it is relatively easy to rework. Thus, the reworking process is performed to remove all the wiring of the metal material and then reinsert it. The gate process described above is performed. Therefore, the production yield of the final array substrate can be improved.
다음, 데이터 공정을 완료한 어레이 기판의 평면도인 9b를 참고하여 게이트 공정 이후의 데이터 공정에 대해 설명한다.Next, the data process after the gate process will be described with reference to 9b, which is a plan view of the array substrate having completed the data process.
다음, 전술한 게이트 공정을 완료하면, 도 9b에 도시한 바와 같이, 기판 상에 무기절연물질을 전면에 증착하여 게이트 절연막(미도시)을 형성한다. 이후, 상 기 게이트 절연막(미도시) 일부를 패터닝하여 콘택홀(291, 293)을 형성한다. Next, when the above-described gate process is completed, as shown in FIG. 9B, an inorganic insulating material is deposited on the entire surface of the substrate to form a gate insulating film (not shown). Thereafter, a portion of the gate insulating layer (not shown) is patterned to form contact holes 291 and 293.
상기 콘택홀(291, 293)은 제 1 게이트 링크 배선(GLL1)과 연결되지 않은 게이트 배선(243) 일끝단과 제 1 비표시영역(NA1)에 위치한 공통배선(249)의 일끝단에 형성됨으로써 상기 게이트 배선(243) 및 공통배선(249)의 일끝단을 노출시킨다. The contact holes 291 and 293 are formed at one end of the
다음, 상기 게이트 절연막(미도시) 위로 데이터 공정을 진행하여 표시영역 내에는 상기 게이트 배선(243)과 교차하는 다수의 데이터 배선(246)과 상기 데이터 배선(246) 일끝단에 연결된 데이터 링크 배선(DLL)과 데이터 패드(DP)와, 제 1 비표시영역(NA1)에 있어 상기 콘택홀(291)을 통해 공통배선(249)의 일끝단과 각각 접촉하며, 상기 데이터 배선과 평행하게 제 1 Vcom 배선(272)과, 동시에 게이트 배선(243)의 일끝단과 상기 콘택홀(293)을 통해 연결되는 다수의 제 2 게이트 링크 배선(GLL2)을 형성한다. 이때, 상기 데이터 배선(246)은 상기 데이터 배선(246) 일끝단에 연결된 데이터 링크 배선(DLL) 끝단에 형성된 데이터 패드(DP)가 데이터 연결 배선(283)에 의해 모두 연결되어 형성된 것이 특징이다. 상기 데이터 연결 배선(289)에 의해 데이터 배선(246)이 모두 등전위를 형성함으로써 이후 공정에서 발생하는 정전기에 의한 파손을 방지할 수 있다.Next, a data process is performed on the gate insulating layer (not shown), and a plurality of
다음, 각 화소영역(P)에는 상기 데이터 공정 진행에 의해 상기 공통배선(249)에서 분기한 다수의 공통전극(253)이 형성된다. 또한, 상기 게이트 배선(243)과 데이터 배선(246)의 교차지점에는 게이트 전극(미도시)과, 반도체층(미도시)과, 소스 및 드레인 전극(미도시)으로 구성되는 박막 트랜지스터(Tr)가 형성되며, 이후 공정에 의해 상기 박막 트랜지스터(Tr) 위로 보호층(미도시)이 형성 되며, 상기 보호층(미도시) 위로 상기 공통전극(253) 사이마다 화소전극(262)이 형성되며, 이때, 상기 화소전극(262)은 박막 트랜지스터(Tr)와 상기 보호층(미도시)에 형성된 드레인 콘택홀(미도시)을 통해 연결된 것을 특징으로 한다. Next, a plurality of
상기 게이트 연결배선(281, 282)과 데이터 연결배선(283)은 추후 액정패널(미도시) 형성 공정에서 제거되어 최종적으로는 전기적으로 분리된 게이트 배선(243)과 데이터 배선(246)이 각각 형성된다.The gate connection wirings 281 and 282 and the data connection wirings 283 are later removed in a liquid crystal panel (not shown) forming process, and finally, the
전술한 방법에 의해 본 발명에 의한 어레이 기판의 제조를 완성한다. The manufacturing method of the array substrate by this invention is completed by the method mentioned above.
다음, 전술한 실시예의 변형예로써 도 10을 참조하여 설명하면, 도시한 바와 같이, 변형예에 의한 어레이 기판(340)은 제 2 게이트 패드부(GPA2) 내의 제 2 게이트 패드(GP2)와 제 2 게이트 링크 배선(GLL2)과 게이트 배선(343)과 공통배선(349) 및 제 1 비표시영역(NA1) 내에 상기 공통배선(349)과 연결된 제 1 Vcom 배선(372)을 게이트 공정에 의해 먼저 형성함으로써, 상기 전술한 본 발명의 실시예(도 9) 비교하여 표시영역을 기준으로 대칭적인 구조가 되므로, 게이트 공정 후 간단히 제 2 게이트 패드(GP2) 중 하나의 패드와 제 1 Vcom 배선(372) 일끝단에 형성된 제 1 Vcom 단자(CP1)를 쇼트 검사기(미도시)의 두 단자(미도시)와 연결시킴으로써 간단히 게이트 배선(343)과 공통배선(349) 간의 쇼트 여부를 검사할 수 있다. 그 외의 구조에 대해서는 실시예와 동일하므로 설명은 생략한다.Next, referring to FIG. 10 as a modified example of the above-described embodiment, as shown, the
본 발명에 따른 듀얼 게이트 구종의 액정표시장치용 어레이 기판은 게이트 배선과 동일한 레이어에 동일한 물질로써 제 1 게이트 패드부에 상기 게이트 배선과 연결된 제 1 게이트 링크 배선과 제 1 게이트 패드 및 상기 게이트 배선에서 소정간격 이격하여 형성된 공통배선을 형성하고, 제 2 게이트 패드부가 형성된 제 2비표시영역에 제 2 Vcom배선과 상기 제 2 Vcom배선 일끝단에 Vcom 단자를 형성함으로써 게이트 공정 후, 간단히 상기 게이트 배선과 공통배선 간의 쇼트 검사를 실시할 수 있도록 하였다.An array substrate for a liquid crystal display device of a dual gate type according to the present invention may be formed of a first gate link line, a first gate pad, and a gate line connected to the gate line in the first gate pad part using the same material as that of the gate line. After the gate process, a common wiring formed at a predetermined interval is formed and a second Vcom wiring and a Vcom terminal are formed at one end of the second Vcom wiring in the second non-display area where the second gate pad portion is formed. Short inspection between common wirings can be performed.
따라서, 게이트 공정 후 쇼트 검사에 의해 어레이 기판의 쇼트 불량 발생 유무를 판단할 수 있으며, 상기 쇼트 불량이 발생한 어레이 기판은 단순히 게이트 공정만을 완료하였으므로 리웍 공정의 진행으로 간단히 상기 게이트 물질을 제거하여 다시 게이트 공정에 투입함으로써 수율을 향상시키는 효과가 있다. Therefore, it is possible to determine whether or not a short defect occurs in the array substrate by a short inspection after the gate process, and since the array substrate in which the short defect has occurred has only completed the gate process, the gate material is simply removed by the rework process. It is effective in improving a yield by putting into a process.
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