KR100602424B1 - Glass inspection equipment for flat panel display and glass lifter therefor - Google Patents

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KR100602424B1
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조동명
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(주)오엘케이
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Abstract

유리기판을 홀더에 로딩한 상태에서 작업자의 조작에 따라 짧은 시간 내에 소정 방향으로 턴(Turn)하는 것이 가능하여 작업성을 개선한 매크로 검사 장치와, 그의 홀더 하부에 구성되어 유리기판을 턴하는데 이용될 수 있도록 장착되는 리프터를 개시한다. 본 발명의 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치는, 유리기판의 후면 조명을 수행하기 위하여 일 측면에 구성되는 백라이트; 상기 유리기판의 전면을 대향하면서 그의 상부에 설치되어 상기 유리기판의 매크로 검사를 위한 조사광을 제공하는 라이트; 소정 위치에서 로딩된 상기 유리기판을 홀딩하는 홀더; 상기 홀더에 장착되어 상부에 안착되는 유리기판의 리프팅 상태를 지지하는 서퍼터; 및 상기 홀더의 하부에 설치되고, 대기 상태에서 경사지게 구동되고 이용 상태에서 수직되게 구동되며, 상기 이용 상태에서 제1 결합부를 이루는 단부가 상승되어 상기 서퍼터와 결합되고, 상기 결합 상태에서 회전력을 제공함으로써 상기 홀더에 홀딩된 상기 유리기판을 원하는 위치로 턴하는 리프터를 구비한다.The macro inspection apparatus which can turn in a predetermined direction within a short time according to the operator's operation while the glass substrate is loaded in the holder and improves workability, and is used to turn the glass substrate in the lower part of the holder Disclosed is a lifter mounted so as to be possible. Macro inspection apparatus of the glass substrate for a flat panel display of the present invention, the backlight is configured on one side to perform the back lighting of the glass substrate; A light facing the front surface of the glass substrate and provided above the glass substrate to provide irradiation light for macro inspection of the glass substrate; A holder holding the glass substrate loaded at a predetermined position; A supporter mounted on the holder to support a lifting state of the glass substrate mounted on the holder; And a lower portion of the holder, driven in an inclined state in a standby state and vertically driven in a use state, in which the end portion forming the first coupling portion is raised to engage with the surfer, and provides rotational force in the engaged state. Thereby providing a lifter for turning the glass substrate held in the holder to a desired position.

Description

평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치 및 이에 장착되는 유리기판 리프터{GLASS INSPECTION EQUIPMENT FOR FLAT PANEL DISPLAY AND GLASS LIFTER THEREFOR}Macro inspection apparatus for glass substrates for flat panel displays and glass substrate lifters mounted thereon {GLASS INSPECTION EQUIPMENT FOR FLAT PANEL DISPLAY AND GLASS LIFTER THEREFOR}

도 1은 종래의 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치를 설명하는 도면.1 is a view for explaining a macro inspection apparatus of a conventional glass substrate for a flat panel display.

도 2는 본 발명에 따른 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치의 바람직한 실시예로써 매크로 검사를 위한 구동 상태를 나타내는 도면.2 is a view showing a driving state for the macro inspection as a preferred embodiment of the macro inspection apparatus of the glass substrate for a flat panel display according to the present invention.

도 3은 도 2의 실시예의 홀더와 리프터를 유리기판을 턴하기 위한 상태로 구동한 것을 나타내는 도면.FIG. 3 shows the holder and lifter of the embodiment of FIG. 2 driven in a state for turning on the glass substrate. FIG.

도 4는 실시예로 구성되는 리프터가 구동되는 상태를 설명하는 도면.4 is a view for explaining a state in which the lifter configured in the embodiment is driven.

도 5는 실시예로 구성되는 리프터의 단부와 결합되어 홀더에 놓이는 유리기판을 지지하기 위한 서퍼터의 일 예를 나타내는 사시도.FIG. 5 is a perspective view illustrating an example of a surfer for supporting a glass substrate that is coupled to an end of a lifter configured as an embodiment and placed in a holder. FIG.

도 6은 실시예가 유리기판의 턴 상태를 설명하는 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100: 로딩/언로딩 로봇 200: 검사장치
202: 백라이트 204: 라이트
210: 지지패털 212: 홀더
220: 유리기판 230: 리프터
232: 나사봉 234: 모터
236: 이음부 238: 링커
240: 수직봉 246: 모터
248: 나사봉 250: 가이드 조립체
254: 모터 258: 결합부
270: 서포터 272: 결합부
6 is a view for explaining an embodiment of a turn state of a glass substrate.
<Description of the symbols for the main parts of the drawings>
100: loading / unloading robot 200: inspection device
202: backlight 204: light
210: support pattern 212: holder
220: glass substrate 230: lifter
232: screw rod 234: motor
236: seam 238: linker
240: vertical rod 246: motor
248: screw rod 250: guide assembly
254: motor 258: coupling part
270: supporter 272: coupling portion

본 발명은 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유리기판을 홀더에 로딩한 상태에서 작업자의 조작에 따라 짧은 시간 내에 소정 방향으로 턴(Turn)하는 것이 가능하여 작업성을 개선한 매크로 검사 장치와, 그의 홀더 하부에 구성되어 유리기판을 턴하는데 이용될 수 있도록 장착되는 리프터에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a macro inspection apparatus for a glass substrate for a flat panel display, and more particularly, it is possible to turn in a predetermined direction within a short time according to the operator's operation in a state where the glass substrate is loaded in a holder. It relates to a macro inspection apparatus and improved lifter which is configured under the holder and can be used to turn the glass substrate.

최근 디스플레이 기술이 발전함에 따라 액정표시장치(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 또는 유기전계발광소자(유기 EL)등을 기본 표시 소자로 채용한 다양한 평판디스플레이(flat panel display : 이하 "FPD"라 함) 장치가 제품으로 개발되어 시판되고 있다.With the recent development of display technology, various flat panel displays (hereinafter referred to as "FPD") employing liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP) or organic light emitting diode (organic EL) as basic display elements. The device is being developed and marketed as a product.

이들 FPD 장치에는 패널 제작을 위한 유리기판이 이용되며, 유리기판은 매크로 검사(육안 검사) 및 마이크로 검사(마이크로 장치 검사) 등 다양한 검사를 거친 후 FPD 장치에 설치된다.Glass substrates for panel production are used in these FPD devices, and glass substrates are installed in the FPD devices after undergoing various inspections such as macro inspection (visual inspection) and micro inspection (micro device inspection).

이 중 매크로 검사는 작업자의 육안으로 유리기판 전체에 얼룩이나 이물질이 부착된 상태를 검사하는 과정이다. 그리고, 마이크로 검사는 매크로 검사에서 발견된 국소부위의 얼룩이나 이물질을 현미경, 카메라, 영상분석장치 등과 같은 마이크로 장치를 이용하여 수십 배 이상으로 확대하여 정밀 검사하는 과정이다.Among these, macro inspection is a process of inspecting the state of stains or foreign substances attached to the entire glass substrate with the naked eye of the operator. In addition, the micro-inspection is a process of magnifying and inspecting spots or foreign substances on the local area found in the macro-inspection by more than a few times using micro devices such as microscopes, cameras, and image analysis devices.

이 중 매크로 검사는 유리기판에 다양한 각도 및 방향으로 광을 조사하여 검사를 실시한다. 이를 위한 유리기판 지지 장치의 일예가 대한민국 특허출원 2003-13094호에 "표시장치용 글라스 지지장치"로 개시된 바 있다.Among these, macro inspection is performed by irradiating light onto glass substrates at various angles and directions. An example of a glass substrate support device for this purpose has been disclosed as a "glass support device for a display device" in Korean Patent Application No. 2003-13094.

종래의 매크로 검사 장치는 도 1과 같이 구성되고 있다.The conventional macro inspection apparatus is constructed as shown in FIG.

도 1을 참조하면, 종래의 매크로 검사 장치는 로딩/언로딩 로봇(10)과 검사 장치(20)로 구성된다.Referring to FIG. 1, a conventional macro inspection apparatus includes a loading / unloading robot 10 and an inspection apparatus 20.

로딩/언로딩 로봇(10)은 본체(12)의 상부와 하부에 각각 관절을 갖는 아암(14)이 구성되고, 아암(14)은 수평 방향으로 접거나 펴지도록 구동된다. 그리고, 이들 아암(14)의 단부에 상부에 유리기판을 실어서 이동하기 위한 포크(16)가 구성된다. 상부의 아암(14)은 검사 장치(20)의 홀더(26)에 있는 유리기판을 회전시키기 위하여 검사 장치(20)의 턴테이블(22)로 로딩하기 위한 것이고, 하부의 아암(14)은 검사 장치(20)의 홀더(26)에 유리기판을 로딩/언로딩하기 위한 것이다.The loading / unloading robot 10 has an arm 14 having articulations at the top and bottom of the body 12, respectively, and the arm 14 is driven to fold or unfold in the horizontal direction. A fork 16 is mounted on the end of these arms 14 to move the glass substrate thereon. The upper arm 14 is for loading into the turntable 22 of the inspection apparatus 20 to rotate the glass substrate in the holder 26 of the inspection apparatus 20, and the lower arm 14 is the inspection apparatus. It is for loading / unloading a glass substrate into the holder 26 of 20.

그리고, 검사 장치(20)는 상부에 턴테이블(22)을 구비하고, 하부에 홀더(26)를 포함하는 검사 장비가 구성된다. 홀더(26)는 작업자가 유리기판의 표면을 검사할 수 있도록 "26a"와 같이 유리기판을 경사지게 구동할 수 있다. 그리고, 턴테이블(22)은 일정한 방향으로 배치된 유리기판을 다른 방향으로 검사하기 위하여 회전시키는데 이용된다. 또한, 검사 장치(20)의 일측에는 유리기판에 검사를 위한 조도를 제공하기 위한 백라이트(24)가 구성된다.And the inspection apparatus 20 is equipped with the turntable 22 in the upper part, and the test | inspection equipment which includes the holder 26 in the lower part is comprised. The holder 26 may drive the glass substrate inclined like “26a” so that an operator may inspect the surface of the glass substrate. Then, the turntable 22 is used to rotate the glass substrate arranged in a certain direction to inspect in another direction. In addition, one side of the inspection device 20 is configured with a backlight 24 for providing illuminance for inspection on the glass substrate.

상술한 바와 같이 구성된 종래의 매크로 검사 장치는 FPD용으로 이용되는 유리기판의 표면에 대한 매크로 검사를 실행하는 과정에 상술한 바와 같이 유리기판을 0°위치에서 90°위치로 방향을 턴(또는 0° 위치에서 90°회전)하여 매크로 검사를 실행하는 경우가 있다.The conventional macro inspection apparatus configured as described above turns the glass substrate from the 0 ° position to the 90 ° position (or 0) as described above in the course of performing the macro inspection on the surface of the glass substrate used for the FPD. Macro inspection may be performed at 90 ° rotation).

상기한 경우에 해당하여, 도 1과 같은 종래의 매크로 검사 장치를 이용하여 유리기판을 턴하는 경우, 로딩/언로딩 로봇(10)의 아암(14)의 포크(16)가 홀더(26)로 구동되어 유리기판을 싣고, 유리기판을 실은 포크(16)는 턴테이블(22)로 이송되 며, 포크(16)에 의하여 이송된 유리기판이 턴테이블(22)에 놓인다. In this case, when the glass substrate is turned by using the conventional macro inspection apparatus as shown in FIG. 1, the fork 16 of the arm 14 of the loading / unloading robot 10 moves to the holder 26. Driven to load the glass substrate, the fork 16 loaded with the glass substrate is transferred to the turntable 22, the glass substrate transferred by the fork 16 is placed on the turntable (22).

그 후, 유리기판은 턴테이블(22) 내에 구성되는 회전 테이블(도시되지 않음)의 회전과 더불어 원하는 방향으로 턴되고, 다시 로딩/언로딩 로봇(10)이 아암(14)의 포크(16)를 턴테이블(22)로 구동하여 턴된 상태의 유리기판을 싣고, 유리기판은 변경된 위치로 턴된 상태로 홀더(26)로 이송되어 매크로 검사된다.Thereafter, the glass substrate is turned in the desired direction with the rotation of a rotating table (not shown) constituted in the turntable 22, and the loading / unloading robot 10 moves the fork 16 of the arm 14 again. The glass substrate in the turned state is loaded by driving with the turntable 22, and the glass substrate is transferred to the holder 26 in a turned state to a changed position and inspected macro.

상술한 바와 같이, 종래의 매크로 검사 장치는 매크로 검사를 실시하는 공간과 별도의 공간에 유리기판을 턴하기 위한 별도의 구성요소를 갖는다. 그러므로, 종래의 매크로 검사 장치는 다른 공간으로 유리기판을 왕복하여 이송하는데 많은 구동시간이 소요되며, 상기한 구동시간의 소요 및 다단계의 유리기판 이송에 따른 작업성 저하가 발생하고, 별도의 구성요소로 인한 공간 이용의 효율성이 떨어지며, 별도의 구성요소를 위한 부품은 제작 단가를 상승시키는 원인으로 작용될 수 있다.As described above, the conventional macro inspection apparatus has a separate component for turning the glass substrate in a space separate from the space for performing the macro inspection. Therefore, the conventional macro inspection apparatus takes a lot of driving time to transfer the glass substrate back and forth to another space, the work time is deteriorated due to the above-mentioned driving time and the multi-step glass substrate transfer, and separate components Due to the low efficiency of space use, parts for a separate component may act as a cause of increasing the manufacturing cost.

상기한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 홀더가 장착되는 영역에서 매크로 검사를 위하여 유리기판을 턴하도록 구성하여 매크로 검사 시간과 작업성을 개선시키고, 공간 마진을 가지면서 제작 상승 요인을 억제할 수 있는 유리기판의 매크로 검사 장치 및 그에 작창되는 유리기판 리프터를 제공함에 있다.An object of the present invention for solving the above problems is to turn on the glass substrate for the macro inspection in the area where the holder is mounted to improve the macro inspection time and workability, and to suppress the manufacturing rise factor while having a space margin The present invention provides a macro inspection apparatus for a glass substrate, and a glass substrate lifter formed thereon.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치는, 소정 위치에서 로딩된 유리기판을 홀딩하고 상기 유리기판의 매크로 검사를 위하여 수평 및 경사진 상태로 구동되는 홀더; 상기 홀더에 장착되어 상부에 안착되는 유리기판의 리프팅 상태를 지지하는 서퍼터; 상기 홀더의 하부에 설치되고, 대기 상태에서 경사지게 구동되고 이용 상태에서 수직되게 구동되며, 상기 이용 상태에서 제1 결합부를 이루는 단부가 상승되어 상기 서퍼터와 결합되고, 상기 결합 상태에서 회전력을 제공함으로써 상기 홀더에 홀딩된 상기 유리기판을 원하는 위치로 턴하는 리프터; 유리기판의 후면 조명을 수행하기 위하여 장치 뒤쪽에 설치되는 백라이트; 및, 상기 유리기판의 전면을 대향하면서 그의 상부에 설치되어 상기 유리기판의 매크로 검사를 위한 조사광을 제공하는 라이트를 포함한다.
상기 서퍼터는 상기 유리기판과 대응되는 장방면체 형상을 가지면서 내부에 크로스되는 프레임을 갖도록 구성되며, 중심부의 하부에 상기 리프터의 상기 제1 결합부와 결합 가능한 제2 결합부가 구성되는 것이 바람직하다.
상기 제1 결합부와 상기 제2 결합부는 치차 결합되는 구성을 가지거나, 나사 결합되는 것이 좋다.
바람직하게는, 상기 리프터는, 소정 베이스와 힌지 결합되는 수직봉; 상기 수직봉을 수직 및 경사 위치로 구동하는 제1 구동 수단; 상기 수직봉의 단부에 장착되어 상기 제1 결합부를 상승 및 하강 시키는 제2 구동 수단; 및, 상기 제2 구동 수단의 상부에 장착되어 상기 제1 결합부를 회전시키는 제3 구동수단;을 구비하고, 상기 제2 구동 수단의 상승 및 하강에 연동되어 상기 서퍼터가 상승 및 하강되어 상부의 상기 유리기판을 리프팅하고, 상기 제3 구동 수단의 회전에 의하여 상기 유리기판을 턴시킨다.
상기 제1 구동수단은, 회전력을 제공하는 제1 모터; 및, 상기 제1 모터의 회전력을 직진 및 후진을 위한 구동력으로 전환하여 상기 수직봉에 전달하는 이음 수단;을 구비하는 것이 좋다.
또한, 상기 제2 구동수단은, 회전력을 제공하는 제2 모터; 및, 상기 제2 모터의 회전력을 상승 및 하강을 위한 구동력으로 변환하여 상승 및 하강을 위한 가이드를 수행하는 가이드 조립체;를 구비할 수 있다.
바람직하게는, 상기 제3 구동 수단은, 회전력을 제공하는 제3 모터; 상기 제3 모터의 회전력을 전달받아 이를 상기 제1 결합부에 전달하는 회전축;을 구비한다.
본 발명의 다른 형태에 따르면, 매크로 검사를 수행하기 위한 유리기판을 홀더에 홀딩하고, 측면의 백라이트와 상부의 조사광을 제공하는 라이트를 이용하여 유리기판에 대한 매크로 검사를 수행하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치에 장착되는 유리기판의 리프터에 있어서; 소정 베이스와 힌지 결합되는 수직봉; 상기 수직봉을 수직 및 경사 위치로 구동하는 제1 구동수단; 상기 수직봉의 단부에 장착되어 제1 결합부를 상승 및 하강 시키는 제2 구동수단; 상기 제2 구동수단의 상부에 장착되어 상기 제1 결합부를 회전시키는 제3 구동수단; 및, 상기 홀더에 장착되어 상부에 안착되는 유리기판의 리프팅 상태를 지지하고 중심 하부에 제2 결합부를 갖는 서퍼터;를 구비하고, 상기 제2 구동수단의 상승 및 하강에 연동되어 상기 제1 및 상기 제2 결합부가 결합됨으로써 상기 서퍼터가 상승 및 하강되어 상부의 상기 유리기판을 리프팅하고, 상기 제3 구동수단의 회전에 의하여 상기 홀더에 홀딩된 상기 유리기판을 원하는 위치로 턴한다.
바람직하게는, 상기 서퍼터는 상기 유리기판과 대응되는 장방면체 형상을 가지면서 내부에 크로스되는 프레임을 갖도록 구성되며, 중심부의 하부에 상기 리프터의 상기 제1 결합부와 결합 가능한 제2 결합부가 구성된다.
상기 제1 결합부와 상기 제2 결합부는 치차 결합되거나, 나사 결합되는 구성을 갖는 것이 좋다.
또한, 상기 제1 구동수단은, 회전력을 제공하는 제1 모터; 및, 상기 제1 모터의 회전력을 직진 및 후진을 위한 구동력으로 전환하여 상기 수직봉에 전달하는 이음 수단;을 구비하는 것이 바람직하다.
상기 제2 구동수단은, 회전력을 제공하는 제2 모터; 및 상기 제2 모터의 회전력을 상승 및 하강을 위한 구동력으로 변환하여 상승 및 하강을 위한 가이드를 수행하는 가이드 조립체;를 구비할 수 있다.
상기 제3 구동 수단은, 회전력을 제공하는 제3 모터; 상기 제3 모터의 회전력을 전달받아 상기 제1 결합부에 전달하는 회전축;을 구비하는 것이 좋다.
Macro inspection apparatus for a flat panel display glass substrate according to the present invention for achieving the above object, the holder for holding a glass substrate loaded at a predetermined position and driven in a horizontal and inclined state for the macro inspection of the glass substrate; A supporter mounted on the holder to support a lifting state of the glass substrate mounted on the holder; Installed in the lower part of the holder, driven obliquely in the standby state and driven vertically in the use state, in which the end portion forming the first engagement portion is raised to engage with the surfer, providing rotational force in the engaged state A lifter for turning the glass substrate held in the holder to a desired position; A backlight installed at the back of the device to perform the back lighting of the glass substrate; And a light facing the front surface of the glass substrate and provided above the glass substrate to provide irradiation light for macro inspection of the glass substrate.
The surfer has a rectangular cross-sectional shape corresponding to the glass substrate and is configured to have a frame that crosses therein, and a second coupling part capable of engaging with the first coupling part of the lifter is configured at a lower portion of the center. .
The first coupling portion and the second coupling portion may have a configuration in which gears are geared or screwed.
Preferably, the lifter, a vertical rod hinged to the predetermined base; First driving means for driving the vertical rods to vertical and inclined positions; Second driving means mounted to an end of the vertical rod to raise and lower the first coupling part; And third driving means mounted on an upper portion of the second driving means to rotate the first coupling part, and interlocked with the rising and falling of the second driving means to raise and lower the surfer. The glass substrate is lifted and the glass substrate is turned by the rotation of the third driving means.
The first drive means, the first motor for providing a rotational force; And a joint means for converting the rotational force of the first motor into a driving force for straight and backward movements and transferring the rotational force to the vertical rods.
In addition, the second drive means, a second motor for providing a rotational force; And a guide assembly configured to convert the rotational force of the second motor into a driving force for raising and lowering to perform a guide for raising and lowering.
Preferably, the third drive means, a third motor for providing a rotational force; And a rotation shaft which receives the rotational force of the third motor and transmits it to the first coupling part.
According to another aspect of the present invention, a glass for flat panel display which holds a glass substrate for performing a macro inspection in a holder and performs a macro inspection on the glass substrate by using a light that provides a backlight on the side and an irradiation light on the upper side. A glass substrate lifter mounted on a macro inspection apparatus of a substrate; A vertical rod hinged to a predetermined base; First driving means for driving the vertical rods to vertical and inclined positions; Second driving means mounted to an end of the vertical rod to raise and lower a first coupling part; Third driving means mounted on an upper portion of the second driving means to rotate the first coupling part; And a surfer mounted on the holder to support the lifting state of the glass substrate seated on the upper portion and having a second coupling portion at a lower portion of the center, interlocked with the rising and falling of the second driving means. As the second coupling part is coupled, the surfer is raised and lowered to lift the upper glass substrate, and the glass substrate held in the holder is turned to a desired position by the rotation of the third driving means.
Preferably, the surfer has a rectangular cross-sectional shape corresponding to the glass substrate and is configured to have a frame that crosses therein, and a second coupling portion configured to be coupled to the first coupling portion of the lifter at a lower portion of the center portion. do.
It is preferable that the first coupling portion and the second coupling portion have a configuration that is geared or screwed.
In addition, the first drive means, a first motor for providing a rotational force; And a joint means for converting the rotational force of the first motor into a driving force for moving forward and backward and transmitting the driving force to the vertical rods.
The second drive means, a second motor for providing a rotational force; And a guide assembly configured to convert the rotational force of the second motor into a driving force for raising and lowering to perform a guide for raising and lowering.
The third drive means includes a third motor for providing a rotational force; It is preferable to include; a rotating shaft for receiving the rotational force of the third motor and transmitting it to the first coupling portion.

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이하, 본 발명에 따른 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치 및 그에 장착되는 유리기판 리프터의 바람직한 실시예에 대하여 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a macro inspection apparatus of a glass substrate for a flat panel display and a glass substrate lifter mounted thereto will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 매크로 검사 장치의 실시예는 도 2 및 도 3과 같이 실시될 수 있으며, 도 2는 매크로 검사를 위하여 구동되는 상태이고, 도 3은 유리기판의 턴을 위하여 홀더와 리프터가 로딩되는 상태이다.An embodiment of the macro inspection apparatus according to the present invention can be implemented as shown in Figures 2 and 3, Figure 2 is a state driven for the macro inspection, Figure 3 is a holder and lifter is loaded for the turn of the glass substrate It is a state.

본 발명에 따른 매크로 검사 장치는 로딩/언로딩 로봇(100)과 검사 장치(200)로 구성되며, 로딩/언로딩 로봇(100)은 검사 장치(200)의 홀더(212) 상부에 유리기판을 로딩/언로딩할 수 있는 일측면에 구성됨이 바람직하다.The macro inspection apparatus according to the present invention includes a loading / unloading robot 100 and an inspection apparatus 200, and the loading / unloading robot 100 includes a glass substrate on the holder 212 of the inspection apparatus 200. It is preferably configured on one side that can be loaded / unloaded.

여기에서, 로딩/언로딩 로봇(100)은 유리기판을 검사 장치(200) 내로 로딩하거나 매크로 검사가 끝난 유리기판을 언로딩하는데 이용되고, 유리기판의 로딩/언로딩을 위하여 관절 구조를 가져서 수평방향으로 수축 및 신장을 수행하는 아암(104)과 아암의 단부에 구성되어 유리기판을 위쪽으로 지지하는 포크(106)가 구성된다. 아암(104)과 포크(106)의 위치는 도 3과 같이 홀더(212)가 수평으로 구동될 때 그 상부로 유리기판을 로딩할 수 있도록 세팅됨이 바람직하며, 아암(104)과 포크(106)가 상하로 구동가능한 경우 도 3의 위치로 구동되는 홀더(212) 상부에 유리기판을 로딩/언로딩할 수 있도록 설정됨이 바람직하다.Here, the loading / unloading robot 100 is used to load the glass substrate into the inspection apparatus 200 or to unload the glass substrate after the macro inspection, and has a joint structure for loading / unloading the glass substrate. An arm 104 for contracting and stretching in the direction and a fork 106 configured at the end of the arm to support the glass substrate upward are configured. The position of the arm 104 and the fork 106 is preferably set so that the glass substrate can be loaded thereon when the holder 212 is driven horizontally, as shown in FIG. ) Is preferably set to load / unload the glass substrate on the holder 212 driven to the position of FIG.

그리고, 검사 장치(200)에는 백라이트(202)가 구성되며, 백라이트(202)는 검 사장치(200)의 유리기판(220)을 홀딩하는 홀더(212)를 기준으로 검사자가 위치하는 반대쪽에 매크로 검사를 위한 조도를 제공하도록 구성된다. 그리고, 검사자가 위치한 쪽의 홀더(212) 상부에는 일정 거리 이격되어서 검사광을 제공하는 라이트(204)가 구성된다.In addition, the inspection apparatus 200 includes a backlight 202, and the backlight 202 is a macro on the opposite side where the inspector is positioned based on the holder 212 holding the glass substrate 220 of the inspection apparatus 200. It is configured to provide illuminance for inspection. In addition, a light 204 configured to provide inspection light is spaced a predetermined distance above the holder 212 on the side where the inspector is located.

그리고, 검사 장치(200) 내에서 홀더(212)는 지지패널(210)에 고정되며, 지지패널(210)은 소정 높이의 봉체를 갖는 베이스(206)와 연결부재(208)로 연결되며, 지지패널(210)은 연결부재(208)에 의하여 소정 높이에 걸린 상태를 유지하도록 구성된다. 즉, 지지패널(210)은 상기와 같이 소정 위치에서 연결부재(208)의 구동에 의하여 수평 상태 및 경사 상태로 구동 가능하게 연결된다.In addition, the holder 212 is fixed to the support panel 210 in the inspection apparatus 200, and the support panel 210 is connected to the base 206 having a rod of a predetermined height and the connection member 208, and is supported. The panel 210 is configured to be held at a predetermined height by the connecting member 208. That is, the support panel 210 is operatively connected to the horizontal state and the inclined state by the driving of the connection member 208 at a predetermined position as described above.

일예로써, 상기 연결부재(208)는 지지패널(210) 및 베이스(206)의 봉체와 힌지 결합을 가지면서, 별도의 푸시 로드(도시되지 않음)의 인장 및 수축에 의하여 경사 상태 및 수평 상태로 구동되며, 푸시 로드는 모터 또는 유압에 의하여 인장 및 수축에 필요한 동력을 전달받도록 구성될 수 있다. 본 발명에서 상기 연결부재는 일예로써 간략히 설명하였으나, 지지패널(210)을 수평 상태 및 경사 상태로 변환 구동 가능한 공지의 구성이 적용될 수 있음은 자명하며, 이는 본 발명의 기술 사상을 이해한 자라면 용이하게 구성할 수 있을 정도의 수준이므로 이에 대한 구체적인 도시 및 설명은 생략한다. 그리고, 지지패널(210)도 나사 결합과 같은 공지의 결합 방법에 의하여 홀더(212)와 결합될 수 있다. As an example, the connection member 208 has a hinge coupling with the rod body of the support panel 210 and the base 206, and in an inclined state and a horizontal state by tension and contraction of a separate push rod (not shown). Driven, the push rod may be configured to receive power required for tensioning and contracting by a motor or hydraulic pressure. In the present invention, the connecting member has been briefly described as an example, but it is apparent that a known configuration capable of driving the support panel 210 in a horizontal state and an inclined state can be applied, which is understood by those skilled in the art. Since the level can be easily configured, detailed illustration and description thereof will be omitted. In addition, the support panel 210 may also be coupled to the holder 212 by a known coupling method such as screwing.

그리고, 베이스(206), 연결부재(208), 및 지지패널(210)은 상술한 바와 같이 홀더(212)를 지지 및 구동하는 구동 수단으로 구성되는 것이며, 이들의 상호 메카 니즘에 의하여 홀더(212)는 라이트(204)의 광이 유리기판(220)에서 반사되어 검사자를 향함으로써 매크로 검사하기에 적당한 각도를 갖는 경사 상태로 구동되거나 또는 유리기판(220)을 로딩/언로딩 또는 턴하기 위한 수평 상태로 구동될 수 있다.In addition, the base 206, the connection member 208, and the support panel 210 are configured by driving means for supporting and driving the holder 212 as described above, and the holder 212 is formed by their mutual mechanism. ) Is driven in an inclined state at which the light of the light 204 is reflected from the glass substrate 220 and directed toward the inspector, at an angle suitable for macro inspection, or horizontal for loading / unloading or turning the glass substrate 220. Can be driven in a state.

그리고, 홀더(212)는 공기를 흡입하는 다수의 패드를 구비하여 유리기판(220)을 흡입력으로 홀딩하거나 별도의 클램퍼를 구비하여 유리기판(220)의 변부를 클램핑하는 등의 방법으로 유리기판(220)을 상부에 탈착 가능한 구조를 갖도록 구성됨이 바람직하다.In addition, the holder 212 may include a plurality of pads for sucking air to hold the glass substrate 220 with suction force, or include a separate clamper to clamp the edge of the glass substrate 220. 220 is preferably configured to have a removable structure on top.

또한, 홀더(212)에는 플로터(214)가 설치될 수 있으며, 플로터(214)는 검사자의 조작에 의하여 육안으로 판별된 결함 부분을 체크하는데 이용된다.In addition, the plotter 214 may be provided in the holder 212, and the plotter 214 is used to check a defective portion visually determined by the inspector's operation.

한편, 상기한 홀더(212)의 하부 즉 지지패널(210)의 하부에는 리프터(230)가 구성되며, 리프터(230)는 도 4를 참조하여 상세히 설명한다.Meanwhile, a lifter 230 is configured below the holder 212, that is, under the support panel 210, and the lifter 230 will be described in detail with reference to FIG. 4.

먼저, 리프터(230)가 적용되기 위하여 홀더(212)에는 도 5와 같은 서퍼터(270)가 장착되며, 서퍼터(270)는 홀더(212)에 안착되면서 상부의 유리기판(220)을 지지하고 하부의 리프터(230)의 단부와 결합되는 결합부(272)를 가짐이 바람직하다.First, in order to apply the lifter 230, the holder 212 is mounted with the surfer 270 as shown in FIG. 5, and the supporter 270 is seated on the holder 212 and supports the upper glass substrate 220. And it is preferred to have a coupling portion 272 coupled to the end of the lower lifter 230.

서퍼터(270)는 상부의 유리기판(220)이 장방면체 형상을 가짐으로써 그에 대응되는 형상을 갖도록 프레임이 구성됨이 바람직하고, 보다 견고함을 보장하기 위하여 각 모서리에 연결되는 내부 프레임이 구성됨이 바람직하다. 본 발명에서 제시된 서퍼터(270)는 일 예로 제시된 것이며, 본 발명의 기술적 사상이 이에 국한된 것이 아니며 제작자의 의도에 따라 다양하게 실시될 수 있음은 자명하다.The surfer 270 preferably has a frame configured such that the upper glass substrate 220 has a rectangular shape, and has an inner frame connected to each corner to ensure more robustness. desirable. The surfer 270 presented in the present invention is presented as an example, and it is obvious that the technical spirit of the present invention is not limited thereto and may be variously implemented according to the intention of the manufacturer.

서퍼터(270)의 중앙 하부에는 결합부(272)가 구성되며, 결합부(272)는 서퍼터(270)를 이루는 프레임과 일체 또는 조립형태로 구성가능하고, 하단부는 리프터(230)의 단부와 치차결합 등의 방법으로 상승력을 전달받도록 구성됨이 바람직하다.Coupling portion 272 is formed at the center lower portion of the surfer 270, coupling portion 272 can be configured integrally or assembled with the frame constituting the surfer 270, the lower end is the end of the lifter 230 It is preferable to be configured to receive the lifting force by a method such as and gear coupling.

리프터(230)는 베이스(206)의 저면에 힌지(242)로 결합되어 회전자재하여 수직봉(240)이 유리기판을 턴하기 위하여 이용될 때는 직각으로 구동되고 대기 상태로 세팅되기 위하여 경사져서 공간을 이용 효율성이 보장되도록 함이 바람직하다. 그리고, 수직봉(240)은 모터(234)에 의하여 회전력을 전달받는 이음부(236)와 수직봉(240)의 고정된 위치 간의 링커(238)에 의하여 구동력을 전달받도록 구성될 수 있으며, 모터(234)는 리니어 모터로써 회전방향에 따라 이음부(236)의 직진 또는 후진이 결정되도록 구동되고, 모터(234)의 회전력은 나사봉(232)에 전달됨으로써 이음부(236)에서 직진 및 후진 운동력으로 전환되도록 구성될 수 있다.The lifter 230 is coupled to the bottom of the base 206 by a hinge 242 and rotates when the vertical rods 240 are used to turn the glass substrate. It is desirable to ensure that the use efficiency. In addition, the vertical rod 240 may be configured to receive a driving force by a linker 238 between the joint 236 receiving the rotational force by the motor 234 and a fixed position of the vertical rod 240. 234 is a linear motor that is driven so that the straight or backward of the joint 236 is determined according to the rotation direction, the rotational force of the motor 234 is transmitted to the screw rod 232 to go straight and backward in the joint 236 It can be configured to convert to exercise power.

즉, 이음부(236)가 전진하면 수직봉(240)이 수직으로 구동되고, 이음부(236)가 후진하면 수직봉(240)이 경사지게 구동된다.That is, when the joint 236 moves forward, the vertical rod 240 is vertically driven, and when the joint 236 moves backward, the vertical rod 240 is inclined.

그리고, 수직봉(240)의 단부에는 모터(246)가 구성되고, 모터(246) 상부에는 모터에 연결된 나사봉(248) 및 그와 결합된 가이드 조립체(250)가 구성되고, 가이드 조립체(250)의 상부에는 모터(254)가 장착되며, 모터(254)는 상부의 결합부(258)를 회전시키는 동작을 수행하도록 구성된다.In addition, a motor 246 is configured at an end of the vertical rod 240, and a screw rod 248 connected to the motor and a guide assembly 250 coupled thereto are configured at the upper portion of the motor 246, and the guide assembly 250 is provided. The top of the) is mounted with a motor 254, the motor 254 is configured to perform the operation of rotating the coupling portion 258 of the upper.

즉, 모터(246)의 회전력이 나사봉(248)에 전달되고, 그 회전력이 가이드 조립체(250)에 전달되며, 가이드 조립체(250)는 회전력이 상승 및 하강에 이용된다. 즉, 가이드 조립체(250)는 상승 및 하강함으로써 리프터(230)가 수직으로 세워진 상태에서 결합부(258)를 서퍼터(270)의 결합부(272)와 결합가능한 위치로 상승시키고, 양 결합부(272, 258)가 조립된 상태에서 모터(254)가 구동함으로써 회전력이 양 결합부(272, 258)를 통하여 서퍼터(270)로 전달되며, 서퍼터(270)가 모터(246)의 구동에 따라 상승되어 유리기판(220)을 든 상태에서 모터(254)의 구동에 의하여 원하는 방향으로 턴된다. 여기에서 도 4의 부호 "256"은 모터(254)의 회전력을 결합부(258)로 전달하는 회전축을 의미한다.That is, the rotational force of the motor 246 is transmitted to the screw rod 248, the rotational force is transmitted to the guide assembly 250, the rotational force of the guide assembly 250 is used for raising and lowering. That is, the guide assembly 250 is raised and lowered to raise the engaging portion 258 to the position that can be engaged with the engaging portion 272 of the surfer 270 in the state in which the lifter 230 is standing vertically, both engaging portions As the motor 254 is driven while the motors 272 and 258 are assembled, rotational force is transmitted to the surfer 270 through both coupling parts 272 and 258, and the surfer 270 drives the motor 246. As a result of being raised by the glass substrate 220 is turned in the desired direction by the driving of the motor 254. Here, reference numeral 256 of FIG. 4 means a rotating shaft which transmits the rotational force of the motor 254 to the coupling unit 258.

결국, 도 6과 같이 리프터(230)의 결합부(258)가 상승하여 서퍼터(270)의 결합부(272)와 조립되고, 결합부(258)이 회전됨으로써 서퍼터(270)에 안착된 유리기판(220)이 원하는 위치로 턴된다.As a result, as shown in FIG. 6, the coupling part 258 of the lifter 230 is raised to assemble with the coupling part 272 of the surfer 270, and the coupling part 258 is rotated to be seated on the surfer 270. The glass substrate 220 is turned to a desired position.

본 발명에 의하면, 매크로 검사를 실시하는 공간에 유리기판을 턴하기 위한 리프터를 설치함으로써 공간 활용성이 향상되고, 유리기판이 별도의 장소로 로딩되는 과정이 불필요함으로써 그 만큼 구동 시간이 절감되면서 매크로 검사를 위한 다단계의 공정이 줄어들수 있어서 작업성이 개선되는 효과가 있다.According to the present invention, the space utilization is improved by installing a lifter for turning the glass substrate in the space for performing the macro inspection, and the driving time is reduced by not having to load the glass substrate into a separate place. Multi-step process for inspection can be reduced, thereby improving workability.

또한, 본 발명에 따른 매크로 검사에 이용되는 리프터는 홀더 내부에 하나의 어셈블리로 구성가능하여 제작 단가를 절감할 수 있는 효과가 있다.In addition, the lifter used for the macro inspection according to the present invention is configurable as one assembly in the holder has the effect of reducing the manufacturing cost.

Claims (15)

평판 디스플레이 패널용 유리기판의 결함을 육안으로 검사하는 매크로 검사장치로서,A macro inspection apparatus for visually inspecting a defect of a glass substrate for a flat panel display panel, 소정 위치에서 로딩된 유리기판을 홀딩하고 상기 유리기판의 매크로 검사를 위하여 수평 및 경사진 상태로 구동되는 홀더;A holder holding the glass substrate loaded at a predetermined position and driven in a horizontal and inclined state for macro inspection of the glass substrate; 상기 홀더에 장착되어 상부에 안착되는 유리기판의 리프팅 상태를 지지하는 서퍼터;A supporter mounted on the holder to support a lifting state of the glass substrate mounted on the holder; 상기 홀더의 하부에 설치되고, 대기 상태에서 경사지게 구동되고 이용 상태에서 수직되게 구동되며, 상기 이용 상태에서 제1 결합부를 이루는 단부가 상승되어 상기 서퍼터와 결합되고, 상기 결합 상태에서 회전력을 제공함으로써 상기 홀더에 홀딩된 상기 유리기판을 원하는 위치로 턴하는 리프터;Installed in the lower part of the holder, driven obliquely in the standby state and driven vertically in the use state, in which the end portion forming the first engagement portion is raised to engage with the surfer, providing rotational force in the engaged state A lifter for turning the glass substrate held in the holder to a desired position; 유리기판의 후면 조명을 수행하기 위하여 장치 뒤쪽에 설치되는 백라이트; 및A backlight installed at the back of the device to perform the back lighting of the glass substrate; And 상기 유리기판의 전면을 대향하면서 그의 상부에 설치되어 상기 유리기판의 매크로 검사를 위한 조사광을 제공하는 라이트The light facing the front surface of the glass substrate is installed on the upper portion to provide the irradiation light for macro inspection of the glass substrate 를 포함하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치.Macro inspection apparatus of the glass substrate for a flat panel display comprising a. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 서퍼터는 상기 유리기판과 대응되는 장방면체 형상을 가지면서 내부에 크로스되는 프레임을 갖도록 구성되며, 중심부의 하부에 상기 리프터의 상기 제1 결합부와 결합 가능한 제2 결합부가 구성됨을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치.The surfer has a rectangular parallelepiped shape corresponding to the glass substrate and has a frame that crosses therein, and a second coupling part configured to be coupled to the first coupling part of the lifter is formed at a lower portion of the center portion. Macro inspection device for glass substrates for flat panel displays. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 제1 결합부와 상기 제2 결합부는 치차 결합되는 구성을 가짐을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치.The first coupling portion and the second coupling portion macro inspection apparatus of the flat panel display, characterized in that the gear has a configuration that is coupled. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 제1 결합부와 상기 제2 결합부는 나사 결합되는 구성을 가짐을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치.And the first coupling part and the second coupling part are screw coupled to each other. 청구항 1에 있어서, 상기 리프터는,The method according to claim 1, wherein the lifter, 소정 베이스와 힌지 결합되는 수직봉;A vertical rod hinged to a predetermined base; 상기 수직봉을 수직 및 경사 위치로 구동하는 제1 구동 수단;First driving means for driving the vertical rods to vertical and inclined positions; 상기 수직봉의 단부에 장착되어 상기 제1 결합부를 상승 및 하강 시키는 제2 구동 수단; 및Second driving means mounted to an end of the vertical rod to raise and lower the first coupling part; And 상기 제2 구동 수단의 상부에 장착되어 상기 제1 결합부를 회전시키는 제3 구동수단;을 구비함으로써,And third driving means mounted on an upper portion of the second driving means to rotate the first coupling part. 상기 제2 구동 수단의 상승 및 하강에 연동되어 상기 서퍼터가 상승 및 하강되어 상부의 상기 유리기판을 리프팅하고, 상기 제3 구동 수단의 회전에 의하여 상기 유리기판을 턴시킴을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치.And the surfer is raised and lowered in conjunction with the rising and falling of the second driving means to lift the upper glass substrate, and turn on the glass substrate by the rotation of the third driving means. Inspection device for glass substrates. 청구항 5에 있어서, 상기 제1 구동수단은,The method of claim 5, wherein the first drive means, 회전력을 제공하는 제1 모터; 및A first motor providing a rotational force; And 상기 제1 모터의 회전력을 직진 및 후진을 위한 구동력으로 전환하여 상기 수직봉에 전달하는 이음 수단;을 구비함을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치.And a joint means for converting the rotational force of the first motor into a driving force for moving forward and backward and transferring the driving force to the vertical rods. 청구항 5에 있어서, 상기 제2 구동수단은,The method of claim 5, wherein the second drive means, 회전력을 제공하는 제2 모터; 및A second motor providing a rotational force; And 상기 제2 모터의 회전력을 상승 및 하강을 위한 구동력으로 변환하여 상승 및 하강을 위한 가이드를 수행하는 가이드 조립체;를 구비함을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치.And a guide assembly for converting the rotational force of the second motor into a driving force for raising and lowering to guide the lifting and lowering of the second motor. 청구항 5에 있어서, 상기 제3 구동 수단은,The method according to claim 5, wherein the third drive means, 회전력을 제공하는 제3 모터;A third motor providing a rotational force; 상기 제3 모터의 회전력을 전달받아 이를 상기 제1 결합부에 전달하는 회전축;을 구비함을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치.And a rotation shaft which receives the rotational force of the third motor and transmits the rotational force of the third motor to the first coupling part. 매크로 검사를 수행하기 위한 유리기판을 홀더에 홀딩하고, 측면의 백라이트와 상부의 조사광을 제공하는 라이트를 이용하여 유리기판에 대한 매크로 검사를 수행하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치에 장착되는 유리기판의 리프터에 있어서;A glass substrate for performing a macro inspection is held in a holder, and is mounted on a macro inspection apparatus of a glass substrate for a flat panel display which performs a macro inspection on a glass substrate using a light that provides a backlight on the side and an irradiation light on the upper side. In the lifter of the glass substrate; 소정 베이스와 힌지 결합되는 수직봉;A vertical rod hinged to a predetermined base; 상기 수직봉을 수직 및 경사 위치로 구동하는 제1 구동수단;First driving means for driving the vertical rods to vertical and inclined positions; 상기 수직봉의 단부에 장착되어 제1 결합부를 상승 및 하강 시키는 제2 구동수단; 및Second driving means mounted to an end of the vertical rod to raise and lower a first coupling part; And 상기 제2 구동수단의 상부에 장착되어 상기 제1 결합부를 회전시키는 제3 구동수단; 및Third driving means mounted on an upper portion of the second driving means to rotate the first coupling part; And 상기 홀더에 장착되어 상부에 안착되는 유리기판의 리프팅 상태를 지지하고 중심 하부에 제2 결합부를 갖는 서퍼터;를 구비하고,And a supporter mounted on the holder to support a lifting state of the glass substrate seated on the upper part and having a second coupling part at the center lower portion thereof. 상기 제2 구동수단의 상승 및 하강에 연동되어 상기 제1 및 상기 제2 결합부가 결합됨으로써 상기 서퍼터가 상승 및 하강되어 상부의 상기 유리기판을 리프팅하고, 상기 제3 구동수단의 회전에 의하여 상기 홀더에 홀딩된 상기 유리기판을 원하는 위치로 턴함을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치에 장착되는 유리기판의 리프터.The surfer is lifted and lowered by lifting the glass substrate on the upper side by interlocking with the first and second coupling parts in conjunction with the rising and falling of the second driving means, and by rotating the third driving means. And a glass substrate lifter mounted on the macro inspection apparatus of the glass substrate for flat panel display, which turns the glass substrate held in the holder to a desired position. 청구항 9에 있어서,The method according to claim 9, 상기 서퍼터는 상기 유리기판과 대응되는 장방면체 형상을 가지면서 내부에 크로스되는 프레임을 갖도록 구성되며, 중심부의 하부에 상기 리프터의 상기 제1 결합부와 결합 가능한 제2 결합부가 구성됨을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치에 장착되는 유리기판의 리프터.The surfer has a rectangular parallelepiped shape corresponding to the glass substrate and has a frame that crosses therein, and a second coupling part configured to be coupled to the first coupling part of the lifter is formed at a lower portion of the center portion. A glass substrate lifter mounted on a macro inspection device for glass substrates for flat panel displays. 청구항 9에 있어서,The method according to claim 9, 상기 제1 결합부와 상기 제2 결합부는 치차 결합되는 구성을 가짐을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치에 장착되는 유리기판의 리프터.And a first coupling portion and a second coupling portion of the glass substrate mounted on the macro inspection apparatus of the glass substrate for a flat panel display. 청구항 9에 있어서,The method according to claim 9, 상기 제1 결합부와 상기 제2 결합부는 나사 결합되는 구성을 가짐을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치에 장착되는 유리기판의 리프터.And the first coupling part and the second coupling part are screw coupled to each other. The lifter of the glass substrate mounted to the macro inspection apparatus of the glass substrate for a flat panel display. 청구항 9에 있어서, 상기 제1 구동수단은,The method according to claim 9, wherein the first drive means, 회전력을 제공하는 제1 모터; 및A first motor providing a rotational force; And 상기 제1 모터의 회전력을 직진 및 후진을 위한 구동력으로 전환하여 상기 수직봉에 전달하는 이음 수단;을 구비함을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치에 장착되는 유리기판의 리프터.Lifting means of the glass substrate mounted to the macro inspection apparatus of the glass substrate for a flat panel display, characterized in that it comprises; a connecting means for converting the rotational force of the first motor into a driving force for going straight and backward. 청구항 9에 있어서, 상기 제2 구동수단은,The method of claim 9, wherein the second drive means, 회전력을 제공하는 제2 모터; 및A second motor providing a rotational force; And 상기 제2 모터의 회전력을 상승 및 하강을 위한 구동력으로 변환하여 상승 및 하강을 위한 가이드를 수행하는 가이드 조립체;를 구비함을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치에 장착되는 유리기판의 리프터.A guide assembly for converting the rotational force of the second motor into a driving force for raising and lowering to perform a guide for raising and lowering the glass motor for mounting the macro inspection apparatus of the glass substrate for a flat panel display. Lifter. 청구항 9에 있어서, 상기 제3 구동 수단은,The method according to claim 9, wherein the third drive means, 회전력을 제공하는 제3 모터;A third motor providing a rotational force; 상기 제3 모터의 회전력을 전달받아 상기 제1 결합부에 전달하는 회전축;을 구비함을 특징으로 하는 평판디스플레이용 유리기판의 매크로 검사 장치에 장착되는 유리기판의 리프터.And a rotation shaft which receives the rotational force of the third motor and transmits the rotational force to the first coupling unit. The lifter of the glass substrate mounted on the macro inspection apparatus of the glass substrate for a flat panel display.
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KR101098550B1 (en) 2009-08-28 2011-12-26 주식회사 디네트웍스 Apparatus for macro inspection of flat display panel and method thereof
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