KR100593785B1 - 포팅시스템에서의 모터 제어 방법 - Google Patents

포팅시스템에서의 모터 제어 방법 Download PDF

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KR100593785B1 KR1020060011229A KR20060011229A KR100593785B1 KR 100593785 B1 KR100593785 B1 KR 100593785B1 KR 1020060011229 A KR1020060011229 A KR 1020060011229A KR 20060011229 A KR20060011229 A KR 20060011229A KR 100593785 B1 KR100593785 B1 KR 100593785B1
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Abstract

본 발명은 보호용 테이프와 분리한 후, 반도체 필름을 송출하는 로더, 송출된 반도체 필름상에 반도체 소자를 코팅시키는 포터, 상기 소자가 부착된 반도체 필름을 가열하여 경화시키는 프리큐어로 및 상기 경화된 반도체 필름을 되감는 언로더로 구성된 포팅시스템에서의 상기 로더/언로더에 구비된 모터 제어 방법에 있어서, 상기 로더/언로더의 반도체 필름의 처짐 정도를 측정하는 단계; 상기 반도체 필름의 처짐 정도를 다단계로 구분하는 단계; 및 상기 반도체 필름의 처짐 정도를 구분하는 각 단계별 상기 로더/언로더에 구비된 모터의 구동속도(회전력)를 달리 적용시키는 단계를 포함하여 상기 반도체 필름의 처짐 정도를 일정하게 유지시키는 것을 특징으로 한다.
상기 반도체 필름의 처짐 정도의 측정은 반도체 필름의 상/하방에 구비시킨 거리 감지 센서를 이용하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 반도체 필름의 처짐 정도 측정은 발광부 및 수광부를 구비한 광센서를 이용하되, 상기 수광부와 발광부가 반도체 필름을 사이에 두고 상기 반도체 필름의 측방(측면)에 형성시키는 것을 특징으로 한다.
상기 광센서는 반도체 필름의 처짐 정도를 구분하는 각 지점마다 설치시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 광센서는 반도체 필름의 처짐 정도를 구분하는 최상부 지점과 최하부 지점에 각각 설치시키고, 상기 최상부 지점과 최하부 지점 사이의 단계 구분 지점은 최상부 지점과 최하부 지점 사이의 거리를 소정 비율로 나누는 것을 특징으로 한다.
상기와 같이, 본 발명에서는 포팅시스템의 로더/언로더에 있는 반도체 필름의 처짐 정도에 따라 모터의 속도를 달리 적용시킴으로써 반도체 필름의 처짐 정도를 일정하게 유지시킬 수 있다.
이에 따라, 본 발명은 반도체 필름에 일정한 장력을 유지하면서 반도체 필름이 단락되지 않으며, 또한 정확하고 일정한 속도로 반도체 필름을 이송시킬 수 있다.
반도체필름, 로더, 언로더, 모터

Description

포팅시스템에서의 모터 제어 방법{A Control Method of motor for Potting System}
도 1은 종래기술의 포팅시스템을 개략적으로 나타내는 정면도.
도 2a 및 도 2b는 종래기술의 포팅시스템에서의 로더 및 언로더의 외형을 도시한 사시도.
도 3은 본 발명의 포팅시스템을 개략적으로 도시한 정면도.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 포팅시스템에서의 로더 및 언로더의 외형을 도시한 사시도.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 제 1 일실시예에 따른 포팅시스템에서의 로더 및 언로더의 정면도.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 제 2 일실시예에 따른 포팅시스템에서의 로더 및 언로더의 정면도.
도 7은 반도체 필름 처짐 정도에 따른 언로더의 탭릴에 연결된 모터의 속도를 나타내는 그래프.
도 8은 본 발명에 따른 포팅시스템에서의 모터 제어 방법을 나타내는 순서도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
140: 로더 150: 언로더
200,500: 탭릴유닛 400,800: 스페이서릴유닛
100: 포터 110: 프리큐어로
300: 백텐션 유닛 200a,500a: 탭릴
200b,500b: 탭릴고정장치 400a,800a: 스페이서릴
400b,800b: 스페이서릴고정장치 143a: 반도체 필름
145: 보호용 테입 901, 902 : 거리감지센서
911a ~ 919b : 광센서
본 발명은 포팅시스템의 모터 제어 방법에 관한 것으로서, 특히 반도체 필름에 반도체 소자를 고정하는 LDI(LCD DRIVER IC)의 포팅 공정(포팅 시스템) 중 로더, 언로더의 반도체 필름의 처짐 정도를 일덩하게 유지시킬 수 있는 포팅시스템의 모터 제어 방법에 관한 것이다.
도 1은 종래기술의 포팅시스템을 개략적으로 도시한 정면도이고, 도 2a 및 도 2b는 종래기술의 포팅시스템에서의 로더 및 언로더의 외형을 도시한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 포팅시스템은 보호용 테이프(145)와 분리한 후, 상기 반도체 필름(143a)을 송출하는 로더(140), 송출된 반도체 필름(143a) 상에 반도체 소자(미도시)를 코팅시키는 포터(100), 상기 소자가 부착된 반도체 필름(143a)을 가열하여 경화시키는 프리큐어로(110) 및 상기 경화된 반도체 필름(143a)을 되감는 언로더(150)를 포함한다.
상기 로더(140)는 도 2a에 도시된 바와 같이, 탭릴(200a) 및 탭릴고정장치(200b)로 구성된 탭릴유닛(200), 스페이서릴(400a) 및 스페이서릴고정장치(400b)로 구성된 스페이서릴유닛(400), 백텐션 유닛(300) 및 다수개의 필름가이드(141)를 포함한다.
또한, 상기 언로더(150)는 도 2b에 도시된 바와 같이, 탭릴(500a) 및 탭릴고정장치(500b)로 구성된 탭릴유닛(500), 스페이서릴(800a) 및 스페이서릴고정장치(800b)로 구성된 스페이서릴유닛(800), 제 2 스테핑모터유닛(700) 및 다수개의 필름가이드(151)를 포함한다.
도면부호 142는 로더의 전방 프레임, 152는 언로더의 전방 프레임, 103은 모니터이다.
상기 종래기술에 따른 포팅시스템에서의 포팅공정을 개략적으로 살펴보면 다음과 같다.
상기 로더(140)에서는 상기 탭릴(200a)에 감겨있는 반도체 필름(143a)과 보호용 테입(145)을 분리하여 상기 보호용 테입(145)은 스페이서릴(400a)에 감고, 상 기 분리된 반도체 필름(143a)은 상기 백텐션 유닛(300)에 의하여 일정한 텐션을 지니면서 상기 포터(100)에 공급된다.
상기 포터(100)에는 상기 반도체 필름(143a)을 이송시키는 제 1 스테핑모터 유닛(101), 다수개의 로봇(102) 및 상기 로봇(102)에 부착되어 있으며 에폭시 수지를 함유하고 있는 디스펜서 니들(106)을 이용하여 상기 로더(140)로부터 이송된 반도체필름(143a)에 반도체 소자(미도시)를 에폭시 코팅한다.
상기와 같이 코팅된 반도체필름(143a)은 프리큐어로(110)를 좌우방향으로 롤러(111)(112)를 통해 1단 내지 3단(114)을 차례로 통과하여 상기 프리큐어로(110)에 설치되어 있는 히터에 의해 경화되며, 이로 인해 상기 반도체 소자가 상기 반도체필름(143a)에 고정된다.
그러면 반도체필름(143a)은 상기 언로더(150)에 있는 제 2 스테핑모터유닛(700)에 의해 당겨져 탭릴 유닛(500)에 상기 보호용 테입(145)과 함께 감아진다.
그러나 종래의 포팅시스템을 장시간 운용시키면 상기 백텐션 유닛과 제 2 스테핑모터 간의 회전 오차에 의해 로더의 탭릴과 백텐션 유닛 사이에 있는 반도체 필름 또는 언로더의 제 2 스테핑 모터와 탭릴 사이에 있는 반도체 필름이 처진다는 문제점이 발생되었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 반도체 필름의 처짐 정도에 따라 모터의 속도를 달리 적용시켜 반도체 필름 의 처짐 정도를 일정하게 유지시키기 위한 포팅시스템에서의 모터 제어 방법을 제공하는 데 있다.
상기와 같은 목적을 이루기 위해 본 발명은 보호용 테이프와 분리한 후, 반도체 필름을 송출하는 로더, 송출된 반도체 필름상에 반도체 소자를 코팅시키는 포터, 상기 소자가 부착된 반도체 필름을 가열하여 경화시키는 프리큐어로 및 상기 경화된 반도체 필름을 되감는 언로더로 구성된 포팅시스템에서의 상기 로더/언로더에 구비된 모터 제어 방법에 있어서, 상기 로더/언로더의 반도체 필름의 처짐 정도를 측정하는 단계; 상기 반도체 필름의 처짐 정도를 다단계로 구분하는 단계; 및 상기 반도체 필름의 처짐 정도를 구분하는 각 단계별 상기 로더/언로더에 구비된 모터의 구동속도(회전력)를 달리 적용시키는 단계를 포함하여 상기 반도체 필름의 처짐 정도를 일정하게 유지시키는 것을 특징으로 한다.
상기 반도체 필름의 처짐 정도의 측정은 반도체 필름의 상/하방에 구비시킨 거리 감지 센서를 이용하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 반도체 필름의 처짐 정도 측정은 발광부 및 수광부를 구비한 광센서를 이용하되, 상기 수광부와 발광부가 반도체 필름을 사이에 두고 상기 반도체 필름의 측방(측면)에 형성시키는 것을 특징으로 한다.
상기 광센서는 반도체 필름의 처짐 정도를 구분하는 각 지점마다 설치시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 광센서는 반도체 필름의 처짐 정도를 구분하는 최상부 지점과 최하부 지점에 각각 설치시키고, 상기 최상부 지점과 최하부 지점 사이의 단계 구분 지점은 최상부 지점과 최하부 지점 사이의 거리를 소정 비율로 나누는 것을 특징으로 한다.
상기에서 언로더/로더의 반도체 필름의 처짐 정도를 3 구간으로 구분시키고, 반도체 필름이 가장 많이 처진 제 1 구간에서는 언로더/로더의 탭릴에 연결된 모터의 속도를 가속/감속시키고, 제 2 구간에서는 모터의 속도를 등속시키며, 제 3 구간에서는 모터의 속도를 감속/가속시켜 반도체 필름의 처짐을 일정하게 유지시키는 것을 특징으로 한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 포팅시스템을 개략적으로 도시한 정면도이고, 도 4a 및 도 4b는 본 발명의 포팅시스템에서의 로더 및 언로더의 외형을 도시한 사시도이다.
먼저, 도 3을 참조하여 본 발명에 따른 포팅시스템을 살펴보면, 보호용 테이프(145)와 분리한 후, 상기 반도체 필름(143a)을 송출하는 로더(100), 송출된 반도체 필름(143a) 상에 반도체 소자(미도시)를 코팅시키는 포터(100), 상기 소자가 부착된 반도체 필름(143a)을 가열하여 경화시키는 프리큐어로(110) 및 상기 경화된 반도체 필름(143a)을 되감는 언로더(150)를 포함한다.
상기 로더(140)는 도 4a에 도시된 바와 같이, 탭릴(200a) 및 탭릴고정장치 (200b)로 구성된 탭릴유닛(200), 스페이서릴(400a) 및 스페이서릴고정장치(400b)로 구성된 스페이서릴유닛(400), 백텐션 유닛(300), 다수개의 필름가이드(141) 및 상기 반도체 필름의 처짐 정도를 측정하는 센서(901), 모터(미도시됨) 및 제어부(미도시됨)를 포함한다.
또한, 상기 언로더(150)는 도 4b에 도시된 바와 같이, 탭릴(500a) 및 탭릴고정장치(500b)로 구성된 탭릴유닛(500), 스페이서릴(800a) 및 스페이서릴고정장치(800b)로 구성된 스페이서릴유닛(800), 제 2 스테핑모터유닛(700), 다수개의 필름가이드(151) 및 상기 반도체 필름의 처짐 정도를 측정하는 센서(902), 모터(미도시됨) 및 제어부(미도시됨)를 포함한다.
도면부호 142는 로더의 전방 프레임, 152는 언로더의 전방 프레임, 103은 모니터이다.
상기 본 발명에 따른 포팅시스템에서의 포팅공정을 개략적으로 살펴보면 다음과 같다.
상기 로더(140)에서는 상기 탭릴(200a)에 감겨있는 반도체 필름(143a)과 보호용 테입(145)을 분리하여 상기 보호용 테입(145)은 스페이서릴(400a)에 감기고, 상기 분리된 반도체 필름(143a)은 상기 백텐션 유닛(300)에 의하여 일정한 텐션('장력' 또는 '긴장'이라고도 함)을 지니면서 상기 포터(100)에 공급된다.
상기 포터(100)에는 상기 반도체 필름(143a)을 이송시키는 제 1 스테핑모터 유닛(101), 다수개의 로봇(102) 및 상기 로봇(102)에 부착되어 있으며 에폭시 수지 를 함유하고 있는 디스펜서 니들(106)을 이용하여 상기 로더(140)로부터 이송된 반도체필름(143a)에 반도체 소자(미도시)를 에폭시 코팅한다.
상기와 같이 코팅된 반도체필름(143a)은 프리큐어로(110)를 좌우방향으로 롤러(111)(112)를 통해 1단 내지 3단(114)을 차례로 통과하면서 상기 프리큐어로(110)에 설치되어 있는 히터에 의해 경화되면서 상기 반도체 소자가 상기 반도체필름(143a)에 고정된다.
그러면 반도체필름(143a)은 상기 언로더(150)에 있는 제 2 스테핑모터유닛(700)에 의해 당겨져 탭릴(500a)에 상기 보호용 테입(145)과 함께 감아진다.
만약, 종래와 같이 상기 반도체 필름이 기준치에 비해 너무 처져있는 경우, 본 발명에서는 센서(광센서, 초음파 센서 등)를 이용하여 반도체필름의 처짐 정도가 측정되고, 그 신호가 제어부에 전달되면 제어부에서는 상기 탭릴에 연결된 모터의 속도를 제어하여 상기 반도체 필름의 처짐 정도를 적정 수준 유지시켜 준다.
상기 센서는 반도체 필름의 처짐 정도를 측정하는 센서이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 제 1 일실시예에 따른 포팅시스템에서의 로더 및 언로더의 정면도이다.
도 5a 및 도 5b를 참조하면, 로더에서 탭릴 유닛(200)과 백텐션 유닛(300) 사이에 걸쳐져 있는 반도체필름 및 언로더에서 제 2 스테핑모터(700)와 탭릴 유닛(500) 사이에 걸쳐져 있는 반도체필름이 네 가지 형태로 처져 있다.
또한, 상기 반도체 필름의 처진 정도를 측정하는 거리감지 센서(901)(902)가 상기 반도체 필름의 상방(上方)에 형성된다. 물론 본 발명에서는 상기 거리감지 센서(901)(902)가 상기 반도체 필름의 하방(下方)에 형성되어도 무방하다.
또한, 본 발명에서는 상기 거리감지센서(901)(902)가 반도체 필름(143a)의 골(골짜기) 부분까지 거리 측정이 이루어지도록 반도체 필름(143a)의 골 부분의 직상부 또는 직하부에 형성되는 것이 바람직하다.
상기 도면에는 반도체 필름의 처짐 정도를 일례로서 세 구간으로 구분하였다. 즉, 반도체 필름 처짐(골) 부분의 위치에 따라 A-B구간, B-C구간, C-D구간으로 구분하였다. 여기서, A지점은 반도체 필름의 처짐이 제일 아래쪽(하부)에 위치하므로 '최하부 지점'이라고도 지칭하며, 반대로 D지점은 반도체 필름의 처짐이 제일 윗쪽(상부)에 위치하므로 '최하부 지점'이라고도 지칭한다.
여기서, A-B구간은 반도체 필름의 처짐 정도가 가장 심한 구간에 해당하고, B-C 구간은 반도체 필름의 처짐 정도가 상기 A-B구간보다 덜한 구간에 해당하며, C-D 구간은 반도체 필름의 처짐 정도가 B-C 구간보다 덜한 구간에 해당한다.
본 발명에서는 반도체 필름의 처짐(골) 부분이 상기 A-B구간 또는 B-C구간 또는 C-D구간 중 어느 구간에 위치함에 따라 로더/언로더의 탭릴에 연결된 모터의 속도가 달리 적용된다.
이를 도 7을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 하되, 우선 언로더에 대해서만 언급하기로 한다.
도 7은 반도체 필름 처짐 정도에 따른 언로더의 탭릴에 연결된 모터의 속도를 나타내는 그래프이다.
도 5b 및 도 7을 참조하면, 거리 감지 센서의 측정 결과, 만약 반도체 필름이 'A지점(최하부 지점)'까지 처져 있다면, 즉 반도체 필름의 처짐(골) 부분이 A 부분에 해당한다면 본 발명에서는 언로더의 탭릴에 연결된 모터를 가속시킨다.
상기 가속은 반도체 필름이 'B지점'에 이를 때까지 계속 진행된다. 즉, 본 발명에서는 반도체 필름의 처짐(골)부분이 A-B 구간에 위치하면 언로더의 탭릴에 연결된 모터를 가속시킨다.
그런 후, 상기 반도체 필름의 처짐(골)부분이 'B지점'까지 올라가면 본 발명에서는 언로더의 탭릴에 연결된 모터를 등속시킨다.
상기 등속은 반도체 필름이 'C지점'에 이를 때까지 계속 진행된다. 즉, 본 발명에서는 반도체 필름의 처짐(골)부분이 B-C 구간에 위치하면 언로더의 탭릴에 연결된 모터를 등속시킨다.
그런 후, 상기 반도체 필름의 처짐(골)부분이 'C지점'까지 올라가면 본 발명에서는 언로더의 탭릴에 연결된 모터를 감속시킨다.
상기 감속은 반도체 필름이 'D지점(최상부 지점)'에 이를 때까지 계속 진행된다. 즉, 본 발명에서는 반도체 필름의 처짐(골)부분이 C-D 구간에 위치하면 언로더의 탭릴에 연결된 모터를 감속시킨다.
만약, 언로더가 아닌 로더인 경우에는 그 반대로 적용시키면 된다. 즉, 반도체 필름의 처짐(골) 부분이 A-B 구간에 위치하면 로더의 탭릴에 연결된 모터를 감속시키고, 반도체 필름의 처짐(골) 부분이 B-C 구간에 위치하면 로더의 탭릴에 연결된 모터를 등속시키며, 반도체 필름의 처짐(골) 부분이 C-D 구간에 위치하면 로 더의 탭릴에 연결된 모터를 가속시킨다.
상기 A지점, B지점, C지점, D지점에 대한 설정은 실험치에 의존한다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 제 2 일실시예에 따른 포팅시스템에서의 로더 및 언로더의 정면도이다.
도 6a 및 도 6b에 대한 내용은 도 5a 및 도 5b 설명과 거의 비슷하나, 다만 반도체 필름의 처짐 정도를 측정하는 센서를 다른 것으로 채택한 또 다른 일실시예이다. 즉, 도 5a 및 도 5b에서는 거리 감지 센서를 이용하였으나, 도 6a 및 도 6b에서는 수광부와 발광부가 구비된 광센서를 이용한다.
본 발명의 일실시예에서는 반도체 필름의 처짐 정도를 세 구간으로 구분하였으므로, 이에 따라 상기 구간을 경계하는 지점에 각각 광센서(총 4쌍 설치됨)가 설치된다.
상기 광센서는 반도체 필름의 처짐 정도를 측정하기 위해 발광부(911a ~ 918a)와 수광부(911b ~ 918b)가 상기 반도체 필름(143a)을 사이에 두고 상기 반도체 필름의 측방(측면)에 형성된다.
본 발명에서는 상기와 같이, 반도체 필름의 처짐 정도를 구분하는 각 지점(A, B, C, D 지점)마다 광센서를 설치하여도 무방하지만, 반도체 필름의 처짐 정도가 가장 심한 최하부 지점(A지점)과 반도체 필름의 처짐 정도가 가장 완화한 최상부 지점(D지점)에만 각각 설치시키고, 그 중간에 있는 B지점과 C 지점은 사용자에 의해 임의로 설정할 수 있다. 이는 알고리즘을 통해 가능하는데, 예를 들면, 상기 A지점와 D지점 사이의 거리를 측정한 후, 상기 거리를 소정 비율로 나누어 B 지점 및 C 지점을 설정(결정)할 수 있다.
이를, 다음 수식을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.
(수식 1) 2πr1 ×(θ1/360) = K,
(수식 2) 2πr2 ×(θ2/360) = L,
여기서, K는 반도체 필름의 처짐이 A 지점에서 B 지점으로 도달하기 위한 반도체 필름의 감길 길이, L은 반도체 필름의 처짐이 B 지점에서 C 지점으로 도달하기 위한 반도체 필름의 감길 길이, θ1은 반도체 필름의 처짐이 A 지점에서 B 지점으로 도달하기 위한 모터 회전 각도, θ2는 반도체 필름의 처짐이 B 지점에서 C 지점으로 도달하기 위한 모터 회전 각도, r1은 반도체 필름의 처짐이 A 지점에 이를때 탭릴 중심에서 최외곽 필름까지의 거리, r2는 반도체 필름의 처짐이 B 지점에 이를때 탭릴 중심에서 최외곽 필름까지의 거리를 나타낸다.
따라서, 본 발명에서는 반도체 필름의 처진 부분이 최하부 지점에서 모터 회전각도가 θ1에 이를 때까지는 모터를 가속시키고, 그 이후 모터회전각도가 θ2에 이를 때까지는 모터를 등속시킨다.
상기 광센서의 원리에 대해 간략히 설명하면, 발광부(911a ~ 918a)에서 조사 된 빛의 양을 수광부(911b ~ 918b)에서 소정이상 감지하면 반도체 필름이 상기 광센서가 위치한 부분까지 내려오지 않았다는 것을 나타내며, 발광부(911a ~ 918a)에서 조사된 빛의 양을 수광부(911b ~ 918b)에서 소정 미만 인식하면 반도체 필름이 상기 광센서가 위치한 부분까지 내려왔다는 것을 나타낸다.
이하, 본 발명에서는 도 5a 및 도 5b 설명부분과 같으므로 생략하기로 한다.
도 8은 제 1, 2실시예에서 나타난 반도체 필름의 처짐 정도를 완화시키기 위한 순서도이다.
도 8을 참조하면, 본 발명에서는 먼저, 센서(거리감지센서, 광센서 등)를 이용하여 반도체 필름(143a)의 처짐 정도를 측정한다.(S101)
그러면 상기 센서 신호는 제어부에 전달되며, 제어부에서는 상기 처짐 정도를 다단계로 구분한다.(S102) 예를 들면, 도 5a 내지 도 6b에 도시된 바와 같이, 반도체 필름의 처짐 정도를 세 구간(A-B구간, B-C구간, C-D구간)으로 구분한다.
만약, 반도체 필름의 처짐(골) 부분이 제 1 구간(A-B 구간)에 위치한다고 가정(S103)하면 본 발명에서는 언로더/로더의 탭릴에 연결된 모터를 가속/감속시킨다.(S104) 즉, 상기 반도체 필름의 처짐이 언로더에서 발생했다면 언로더의 탭릴에 연결된 모터를 가속시키고, 상기 반도체 필름의 처짐이 로더에서 발생했다면 언로더의 탭릴에 연결된 모터를 감속시킨다.
그러면, 상기 반도체 필름의 처짐(골) 부분이 B 지점까지 올라가게 되며(S105), 상기 반도체 필름의 처짐(골) 부분이 제 2 구간(B-C 구간, B지점 포함)에 위치하면 본 발명에서는 언로더/로더의 탭릴에 연결된 모터를 등속시킨다.(S106)
그러면, 상기 반도체 필름의 처짐(골) 부분이 C 지점까지 올라가게 되며(S107), 상기 반도체 필름의 처짐(골) 부분이 제 3 구간(C-D 구간, C지점 포함)에 위치하면 본 발명에서는 언로더/로더의 탭릴에 연결된 모터를 감속/가속시킨다.(S107)
이에 따라, 본 발명에서는 반도체 필름의 처짐을 적정 수준으로 완화시킬 수 있다.
상기와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
상기와 같이, 본 발명에서는 포팅시스템의 로더/언로더에 있는 반도체 필름의 처짐 정도에 따라 모터의 속도를 달리 적용시킴으로써 반도체 필름의 처짐 정도를 일정하게 유지시킬 수 있다.
이에 따라, 본 발명은 반도체 필름에 일정한 장력을 유지하면서 반도체 필름이 단락되지 않으며, 또한 정확하고 일정한 속도로 반도체 필름을 이송시킬 수 있다.

Claims (6)

  1. 보호용 테이프와 분리한 후, 반도체 필름을 송출하는 로더, 송출된 반도체 필름상에 반도체 소자를 코팅시키는 포터, 상기 소자가 부착된 반도체 필름을 가열하여 경화시키는 프리큐어로 및 상기 경화된 반도체 필름을 되감는 언로더로 구성된 포팅시스템에서의 상기 로더/언로더에 구비된 모터 제어 방법에 있어서,
    상기 로더/언로더의 반도체 필름의 처짐 정도를 측정하는 단계; 상기 반도체 필름의 처짐 정도를 다단계로 구분하는 단계; 및 상기 반도체 필름의 처짐 정도를 구분하는 각 단계별 상기 로더/언로더에 구비된 모터의 구동속도(회전력)를 달리 적용시키는 단계를 포함하여 상기 반도체 필름의 처짐 정도를 일정하게 유지시키는 것을 특징으로 하는 포팅시스템에서의 모터 제어 방법.
  2. 제 1항에 있어서, 반도체 필름의 처짐 정도 측정은 반도체 필름의 상/하방에 구비시킨 거리 감지 센서를 이용하는 것을 특징으로 하는 포팅시스템에서의 모터 제어 방법.
  3. 제 1항에 있어서, 반도체 필름의 처짐 정도 측정은 발광부 및 수광부를 구비한 광센서를 이용하되, 상기 수광부와 발광부가 반도체 필름을 사이에 두고 상기 반도체 필름의 측방(측면)에 형성시키는 것을 특징으로 하는 포팅시스템에서의 모터 제어 방법.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 광센서는 반도체 필름의 처짐 정도를 구분하는 각 지점마다 설치시키는 것을 특징으로 하는 포팅시스템에서의 모터 제어 방법.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 광센서는 반도체 필름의 처짐 정도를 구분하는 최상부 지점과 최하부 지점에 각각 설치시키고, 상기 최상부 지점과 최하부 지점 사이의 단계 구분 지점은 최상부 지점과 최하부 지점 사이의 거리를 소정 비율로 나누는 것을 특징으로 하는 포팅시스템에서의 모터 제어 방법.
  6. 제 1항 내지 5항 중 어느 한 항에 있어서, 언로더/로더의 반도체 필름의 처짐 정도를 3 구간으로 구분시키고, 반도체 필름이 가장 많이 처진 제 1 구간에서는 언로더/로더의 탭릴에 연결된 모터의 속도를 가속/감속시키고, 제 2 구간에서는 모터의 속도를 등속시키며, 제 3 구간에서는 모터의 속도를 감속/가속시켜 반도체 필름의 처짐을 일정하게 유지시키는 것을 특징으로 하는 포팅시스템에서의 모터 제어 방법.
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