KR100590471B1 - 마이크로 어레이 칩용 디엔에이 혼성화 챔버 - Google Patents

마이크로 어레이 칩용 디엔에이 혼성화 챔버 Download PDF

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    • C12Q2565/629—Detection means characterised by use of a special device being a microfluidic device

Abstract

본 발명은, DNA가 스폿팅된 마이크로 어레이 칩 기판의 표면에 접착될 수 있고, DNA 혼성화 용액을 주입하기 위한 주입구와; 상기 주입구와 연통하면서 주입된 용액이 이동하도록 마이크로미터 단위의 높이를 갖는 제 1 이동채널과; 상기 제 1 이동채널과 연통하면서 상기 DNA가 스폿팅된 영역을 포함하도록 상기 영역보다 넓은 표면적을 갖고 마이크로미터 단위의 높이를 가지며, 주입된 용액이 수용되어 상기 칩 표면에 스폿팅된 DNA와 주입된 용액의 반응을 제공하는 반응챔버와; 상기 반응챔버와 연통하면서 상기 용액의 주입에 따라 제 1 이동채널 및 반응챔버내에 존재하던 공기를 외부로 배출하기 위한 배출구;로 이루어지는 마이크로 어레이 칩용 DNA 혼성화 챔버를 제공하여, 사용되는 혼성화 용액의 양을 최소화하여 원가 절감을 달성할 수 있을 뿐만 아니라 용액 주입에 따른 에러 발생율을 줄일 수 있다.

Description

마이크로 어레이 칩용 디엔에이 혼성화 챔버 {DNA HYBRIDIZATION CHAMBER FOR MICRO ARRAY CHIP}
도 1은 현재의 상용 마이크로 어레이 칩용 DNA 혼성화 챔버의 모식도이다.
도 2는 도 1에 보인 상용 DNA 혼성화 챔버에 잉크를 주입한 것을 보여주는 이미지 사진이다.
도 3은 도 1에 보인 상용 DNA 혼성화 챔버에 잉크 주입시 기포가 발생한 것을 보여주는 이미지 사진이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 DNA 혼성화 챔버를 사용한 마이크로 어레이 칩의 구성을 개략적으로 보여주는 이미지 사진이다.
도 5는 도 4에 보인 DNA 혼성화 챔버의 제작 순서도의 일례를 보여준다.
도 6a 내지 6c는 도 4에 보인 DNA 혼성화 챔버에 용액이 시간에 따라 충진되는 상태를 보여주는 이미지 사진이다.
도 7a 및 7b는 각각 본 발명의 일실시예에 따른 DNA 혼성화 챔버를 사용한 경우와, 상용 DNA 혼성화 챔버를 사용한 경우에서 DNA 마이크로 어레이 칩 분석 결과를 보여주는 이미지 사진이다.
본 발명은, 마이크로 어레이 칩용 DNA 혼성화 챔버 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술을 이용하여 마이크로미터 단위의 높이를 갖는 마이크로 어레이 칩용 DNA 혼성화 챔버를 제작하는 것에 관한 것이다.
마이크로 어레이 칩을 제작할 때 사용하는 혼성화 챔버(hybridization chamber)라는 용어는 크게 두 가지 의미로 사용되고 있다.
하나는 DNA 혼성화(hybridization) 반응 시 DNA가 스폿팅(spotting)된 슬라이드글라스 위에 일정량의 혼성화 용액을 떨어뜨린 후 커버 슬립(cover slip)으로 덮어 넓게 펴준 후 슬라이드글라스 크기의 홈이 파인 주형에 넣고 마개를 닫아 쓰는 기구를 가리킨다. 이 기구는 물이 새어 들어가지 않게 고무링이 사이에 들어있어 혼성화 반응 시 물중탕에서 반응을 가능하게 한다.
또 하나의 의미는 진단용 칩에서 널리 사용되는 의미로 한 개의 슬라이드글라스를 가지고 여러 명의 환자의 시료를 검사할 때 서로의 시료들이 혼합되지 않도록 하면서 혼성화 반응시키기 위해 시료 주입구를 가지면서 한 개 또는 여러 개의 홈이 파인 얇은 판 형태의 기구를 가리킨다. 이 때 홈이 파여져 있는 면은 슬라이드글라스와 같은 유리재질에 용액이 흘러나오지 않을 정도의 접착성을 가지고 있어야 한다.
후자 의미로 혼성화 챔버를 사용할 때, 혼성화 반응 조건은 40℃ ∼ 70℃의 온도 범위에서 1시간 ~ 12시간 정도 반응시킨다. 이 때 슬라이드글라스를 오븐에 넣을 때 직접 넣는 것이 아니라 슬라이드글라스의 평형을 유지할 수 있는 마개가 있는 용기 속에 넣으며 증류수나 혼성화 용액을 소량 담아서 오븐에서 반응시킨다. 본 발명에서의 혼성화 챔버는 후자의 의미를 지닌다.
지금까지는 일정 모양으로 상품화되어 있는 마이크로 어레이용 혼성화 챔버를 사용하거나, 챔버 대용으로 커버 슬립을 덮어서 사용하고 있다.
그런데, 커버 슬립을 덮어서 사용하는 경우는 영역을 구분할 수 없기 때문에 한 개의 슬라이드 위에 한사람의 시료만을 분석할 수 있다. 이러한 방법은 슬라이드글라스 위에 DNA가 스폿팅된 영역이 넓을 경우엔 적절하지만 진단용 칩과 같이 작은 면적을 스폿팅할 경우엔 시간, 인력 및 슬라이드글라스의 낭비가 커진다. 일례로 4명의 시료를 분석할 경우 커버 슬립을 이용하면 4개의 슬라이드로 4번의 실험을 각각 행해야 하는데 반해 4개의 혼성화 챔버가 있는 슬라이드글라스를 사용하는 경우 1개의 슬라이드글라스 실험으로 4명의 시료를 동시에 분석할 수 있으며 시간이 그 만큼 단축되게 된다.
지금까지 사용되고 있는 혼성화 챔버의 경우 4개의 혼성화 챔버를 포함하는데, 도 1에 그 중 하나의 혼성화 챔버에 대한 모식도를 나타내었다. 타원형의 혼성화 챔버(10)에는 주입구(12)와 배출구(14)가 형성된다. 도 1과 같은 형태의 챔버를 혼성화 용액으로 모두 채우기 위해서는 80 ㎕ 이상의 많은 양의 용액이 필요하며 주입구가 챔버에 직접 붙어있기 때문에 용액을 주입할 때 사용자의 숙련도 및 컨디 션에 따라 챔버 내에 기포가 발생할 확률이 높아진다. 도 2는 도 1에 보인 상용 혼성화 챔버에 잉크를 주입한 후의 이미지 사진이며, 도 3은 주입할 때 실험자의 실수로 기포가 발생한 혼성화 챔버의 이미지 사진이다.
우선 혼성화 용액의 경우 현재 시판되는 용액의 가격이 10만원/1ml 정도로 매우 고가이므로 실험할 때 가급적이면 혼성화 용액의 사용량을 적게 하는 것이 칩 제조 단가를 낮추는데 기여한다고 볼 수 있다. 또한 용액주입 후 기포가 발생할 경우 그 기포 부분의 스폿팅 영역은 반응이 제대로 되지 않기 때문에 기포 발생을 억제하는 것이 매우 중요한 일이다. 이는 사용자의 숙련도 및 컨디션에 따라 나타날 수 있는 현상으로 칩을 이용한 환자의 진단 시 분석결과에 영향을 미치게 되므로 진단 분석 시 실험오차의 원인이 될 수 있다.
이에 본 발명은, 실험자의 숙련도 및 컨디션에 따른 오차 발생의 가능성을 최소화할 수 있는 마이크로 어레이 칩용 DNA 혼성화 챔버를 제공하는 것을 목적으로 한다.
아울러, 본 발명은, 상기 혼성화 챔버를 마이크로미터 단위의 두께로 형성하여 종래 혼성화 챔버에 비해 혼성화 용액의 사용량을 줄이는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, DNA가 스폿팅된 마이크로 어레이 칩 기판의 표면에 접착될 수 있 고, DNA 혼성화 용액을 주입하기 위한 주입구와; 상기 주입구와 연통하면서 주입된 용액이 이동하도록 마이크로미터 단위의 높이를 갖는 제 1 이동채널과; 상기 제 1 이동채널과 연통하면서 상기 DNA가 스폿팅된 영역을 포함하도록 상기 영역보다 넓은 표면적을 갖고 마이크로미터 단위의 높이를 가지며, 주입된 용액이 수용되어 상기 칩 표면에 스폿팅된 DNA와 주입된 용액의 반응을 제공하는 반응챔버와; 상기 반응챔버와 연통하면서 상기 용액의 주입에 따라 제 1 이동채널 및 반응챔버내에 존재하던 공기를 외부로 배출하기 위한 배출구;로 이루어지는 마이크로 어레이 칩용 DNA 혼성화 챔버를 제공한다.
여기서, 바람직하게는 상기 반응챔버와 상기 배출구 사이에는 마이크로미터 단위의 높이를 갖는 제 2 이동채널이 형성되고, 상기 용액의 주입에 따라 제 1 이동채널 및 반응챔버내에 존재하던 공기는 상기 제 2 이동채널을 통해 상기 배출구로 배출되는 것이 좋다.
또한, 더욱 바람직하게는 상기 주입구를 통한 상기 용액의 주입은 별개의 기구를 통해 이루어지는 것이 좋고, 상기 별개의 기구는 깔대기, 파이프 및 노즐로 이루어지는 군으로부터 선택되는 어느 하나의 기구일 수 있다.
또한, 바람직하게는, 복수개의 혼성화 챔버가 일체로 형성되어 하나의 슬라이드글라스 실험으로 복수명의 시료를 동시에 분석할 수 있도록 하는 것이 좋다.
또한, 더욱 바람직하게는 상기 반응챔버 및 이동채널의 높이는 10 내지 500 ㎛일 수 있고, 상기 이동채널의 길이는 100 ㎛ 내지 20 ㎜일 수 있으며, 상기 혼성화 챔버는 MEMS 기술을 이용하여 PDMS 고분자로부터 제조될 수 있다.
이하에서, 본 발명을 본 발명의 바람직한 일실시예에 기초하여 더욱 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명의 범위가 이하의 설명에 의해 제한되는 것은 아니며, 본 발명의 범위는 오로지 후술하는 청구범위의 기재에 의해서만 제한될 것이다.
특히, 이하의 설명은 본 발명의 마이크로 어레이 칩용 DNA 혼성화 챔버를 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane: 이하, "PDMS"라 함)(다우 코팅사의 제품 Sylgard 184을 사용함) 고분자를 이용하여 제작하는 예를 들었다. 그러나, 당업자라면 PDMS와 특성이 유사한 어떤 고분자뿐만 아니라 다른 재료들도 본 발명의 사상을 그대로 구현하면서 사용될 수 있다. 특히, 기판과의 접착성이 떨어지는 재료들도 공지의 표면처리기술을 이용함으로써 기판과의 접착성을 향상시켜 본 발명의 사상을 그대로 구현할 수 있다.
후술하는 본 발명의 바람직한 일실시예에서 PDMS 고분자를 사용하는 이유는, PDMS 고분자의 기계적 특성이 비교적 우수하고 제작이 간단하고, 가격이 싸며, 다른 물질과의 접합이 용이하기 때문이다. 또한 별도의 표면개질 없이도 자체의 접착성만으로 기판에 대한 탈, 부착이 가능하기 때문이다.
본 발명의 일실시예에 따른 혼성화챔버의 구성을 도 4에 나타내었다. 도 4에 보인 바와 같이, 혼성화 챔버(50)는 DNA 혼성화 용액을 주입하기 위한 주입구(26)와, 상기 주입구(26)와 연통하면서 주입된 용액이 이동하도록 마이크로미터 단위의 높이를 갖는 제 1 이동채널(22)과, 상기 제 1 이동채널(22)과 연통하면서 상기 DNA가 스폿팅된 영역을 포함하도록 상기 영역보다 넓은 표면적을 갖고 마이크로미터 단위의 높이를 가지며, 주입된 용액이 수용되어 상기 칩 표면에 스폿팅된 DNA와 주입된 용액의 반응을 제공하는 반응챔버(20)와, 상기 반응챔버(20)와 연통하면서 상기 용액의 주입에 따라 제 1 이동채널(22) 및 반응챔버(20)내에 존재하던 공기를 외부로 배출하기 위한 배출구(28)로 이루어진다. 따라서, 주입구(26) 및 제 1 이동채널(22)을 통해 혼성화 용액을 반응 챔버(20)내로 주입하므로 기포 발생의 가능성이 현저히 줄어들어 주입에 따른 에러 발생율을 낮출 수 있다. 도 4에서는 배출구(28)가 반응챔버(20)에 직접 뚫려 있지 않지만, 반응챔버(20)에 직접 배출구(28)를 형성하여도 상술한 효과를 달성할 수 있다.
아울러, 도 4에 보인 바와 같이, 상기 반응챔버(20)와 상기 배출구(28) 사이에는 마이크로미터 단위의 높이를 갖는 제 2 이동채널(24)이 형성되고, 상기 용액의 주입에 따라 제 1 이동채널(22) 및 반응챔버(20)내에 존재하던 공기는 상기 제 2 이동채널(24)을 통해 상기 배출구(28)로 배출되도록 구성할 수도 있다. 이 경우, 반응챔버(20) 내부의 잔류하는 공기가 제 2 이동채널(22)로 밀려가거나 배출구(28)를 통해 배출되므로 기포 발생의 가능성이 더 줄어들어 주입에 따른 에러 발생율을 더욱 줄일 수 있게 된다.
도면번호 50은 혼성화챔버가 형성된 기판을 나타내고, 도면번호 60은 유리기판인데, 실제 사용시에는 마이크로 어레이 칩 기판이 될 것이다.
상기 이동채널(22, 24) 및 반응챔버(20)는 혼성화 용액의 주입량, 점도 및 DNA가 스폿팅되는 형태와 영역에 따라 그 크기와 모양을 다양화될 수 있다.
상술한 구성을 갖는 혼성화 챔버는 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술을 이용하여 제조할 수 있는데, 그 제조 과정의 일례를 설명한다.
먼저, PDMS 혼성화 챔버를 제조하기 위한 마스터로서 상용 SU-8 네가티브 포토레지스트(SU-8 negative photoresist)(미국 메사츄세츠주 뉴튼 소재의 마이크로켐사의 제품 SU-8-50을 사용함)를 이용하였고, 그 기판으로는 실리콘 웨이퍼를 이용하였다. 실리콘 웨이퍼는 황산:과산화수소를 3:1비율로 섞은 혼합용액에 약 10분간 반응시킨 후 초순수로 세정하고 이를 95℃ 핫 플레이트 위에서 약 15분간 베이킹시켰다. 경우에 따라서는 표면의 완전 건조를 위해 12시간 이상 건조시켰는데, 이는 접착성확보를 위해 중요한 과정이다.
액상의 SU-8은 스핀 코팅법으로 세정된 실리콘 웨이퍼 위에 코팅되었는데, 그 때의 스핀 속도는 저속, 중속, 고속의 3단계를 거쳤고 최고 1500 rpm의 속도를 30초간 유지시켰다. 스핀 코팅된 액상의 SU-8은 기포를 완전히 제거한 후, 오븐에서 소프트 베이킹(soft baking)을 거쳤는데, 이 때 65℃에서 6분간, 95℃에서 20분간의 2단계 연속베이킹을 수행하였다.
패턴 형성을 위해서 베이킹을 거쳐 고상이 된 SU-8 위에 이동채널(22, 24)과 반응챔버(20)가 디자인된 포토마스크를 놓고 365 ㎚의 UV로 48초간 노광하였다. 노광을 마친 SU-8은 노광 후 베이킹(Post exposure bake)과정을 거쳤으며, 이 때 베이킹(baking) 조건은 65℃에서 6분간, 95℃에서 20분간이었다. 노광 후 베이킹 과정을 마친 SU-8은 현상액(SU-8 developer)(마이크로켐사의 제품)에 담가 현상한 후, IPA 린스(rinse)와 N2 블로잉(blowing) 과정을 거쳐 완전 건조시키고, 150℃에서 하드 베이킹(hard baking)을 함으로써 완전한 SU-8 마스터를 제조하였다. 이 마스터는 마이크로미터 단위 높이의 이동채널(22, 24) 및 반응챔버(20)의 형상을 가졌다. 여기서, 반응챔버(20) 및 이동채널(22, 24)의 높이의 보다 바람직한 범위는 10 내지 500㎛이고, 그 길이의 보다 바람직한 범위는 100㎛ 내지 20㎜이다.
이상에서는 마스터를 MEMS 기술을 이용해 제작하였으나, 당업자라면 마이크로 스탬핑 기술과 같은 다른 공지의 기술을 이용해 마이크로미터 단위 높이의 이동채널 및 반응챔버의 형상을 갖는 마스터를 얼마든지 쉽게 제작할 수 있다.
PDMS 고분자는 주제(base)와 경화제(curing agent) 용액을 9:1 비율로 균일하게 혼합하여 제조하였는데, 이 때 발생되는 기포는 진공 중에서 완전히 제거하였다. 이어서 기포가 완전히 제거된 PDMS 액상 고분자를 실리콘웨이퍼 상에 구현된 SU-8 마스터에 부어서 마스터가 완전히 함몰되도록 하였다. 이 때, SU-8 마스터에는 원하는 혼성화 챔버의 두께에 맞춰 테두리 벽을 세우고 실리콘웨이퍼 뒷면으로 PDMS가 새어 들어가지 않도록 완벽하게 밀봉을 수행하였다.
이렇게 제조된 PDMS 고분자는 70℃로 가열된 핫 플레이트(hot plate) 위에서 약 1시간 가량 고형화 과정을 거쳐 마이크로미터 단위 높이의 이동채널 및 반응챔버를 갖는 혼성화 챔버를 얻게 되며, 얻어진 혼성화 챔버의 이동채널 양 끝단에 주입구(26) 및 배출구(28)를 위한 구멍을 뚫는다. 이 후, 혼성화 챔버를 포함하는 PDMS 고분자를 원하는 크기로 잘라 유리 기판 위에 접합시킨다. 마이크로미터 단위 높이의 반응챔버 및 채널을 갖는 PDMS 혼성화 챔버를 유리 기판에 접합할 때에는 표면의 청결상태가 매우 중요하기 때문에 PDMS 혼성화 챔버를 제작한 직후에 행하였으며, 필요에 따라 오염물질을 유기용매로 세척하여 완전건조 후 수행하였다.
이상의 설명은 1 개의 혼성화 챔버를 상정한 것이다. 그러나, DNA가 스폿팅된 영역이 4 영역(block)으로 구분되는 상용 슬라이드글라스(진단용 칩)의 경우, 상술한 바와 같은 구성을 갖는 4개의 혼성화 챔버가 슬라이드글라스 위에 접착될 것이다. 이 경우, 당연히 각 혼성화 챔버의 반응챔버는 슬라이드글라스 위의 DNA가 스폿팅된 각 영역과 대응할 것이다. 이는 4 영역을 갖는 상용 슬라이드글라스를 예로 든 것이고, 슬라이드글라스 위의 영역 수에 맞게 혼성화 챔버의 숫자는 얼마든지 변경될 수 있다.
상기에서 서술된 일련의 방법을 통해 제작된 혼성화 챔버를 유리 기판에 접착한 후 이용 시에는 혼성화 용액을 주입할 수 있는 별개의 주입기를 사용하는게 편리한데, 본 발명의 일실시예에서는 플라스틱 재질의 원추형 주입기(깔대기)를 사용하였다. 그러나, 이 주입기로 별개의 파이프나 노즐도 사용될 수 있으며, 사용되는 혼성화 용액의 양에 따라서 크기가 다양화될 수 있으며, 재질 또한 다양화 될 수 있다.
도 5에는 혼성화 챔버를 제작하는 일련의 과정을 개략적으로 보인 순서도를 보였다.
도 6a 내지 6c에 본 발명의 일실시예에 따라 제작된 PDMS 혼성화 챔버를 사용한 마이크로 어레이용 칩의 시간에 따른 챔버 충진 상태를 나타내었다. 이 때 사 용된 용액은 실제 진단시에 사용되는 혼성화 용액의 점도와 흡사한 잉크를 이용하였으며, 수분내에 완전히 챔버를 충진하였다. 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 혼성화 챔버를 사용하는 경우, 이동채널(22, 24) 및 반응챔버(20)의 높이가 마이크로미터 단위로 제한되므로, 혼성화 챔버(50) 내부로 들어가는 혼성화 용액의 양을 최소화하여 고가의 혼성화 용액의 사용을 줄일 수 있으며, 주입구 및 제 1 이동채널을 통해 용액을 주입하므로 기포 발생의 가능성이 현저히 줄어들어 주입에 따른 에러 발생율을 저감할 수 있을 뿐만 아니라, 제 2 이동채널 및 배출구의 설계에 의해 반응챔버(20) 내부에 남아있게 되는 기포 발생의 가능성을 현저히 줄어들어 주입에 따른 에러 발생율을 저감할 수 있다.
혼성화 반응을 위해서는 혼성화 용액이 챔버에 충진된 상태에서 약 70℃의 오븐에 1시간 이상 방치가 이루어져야 하는데, 본 발명에서는 파이콘 튜브라 불리우는 제품을 사용하였으며, 여기에는 소량의 물을 충진시켜 튜브내의 습도를 일정하게 유지시켰다. 이때 사용된 튜브는 크기 및 모양이 다양화될 수 있으며, 재질 또한 다양화 될 수 있다.
도 7a 및 7b는 DNA 마이크로 어레이 칩 분석 결과 이미지로서, 도 7a는 본 발명의 일실시예에 의해 제작된 혼성화 챔버를 이용해 직접 DNA 마이크로 어레이 칩을 제작하는데 사용하여 분석한 결과이며, 도 7b는 현재 상용화되어 있는 혼성화 챔버를 이용해 분석한 결과이다. 도 7a 및 7b는 동일한 DNA 혼성화 현상을 보였으며 본 발명에 의해 제작된 혼성화 챔버가 DNA 마이크로 어레이 칩 제작에 적용 가능함을 보여준다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 혼성화 챔버는 MEMS 기술을 이용하여 제작되므로 마이크로미터 단위의 높이를 갖는 챔버 및 채널을 형성하여 사용되는 혼성화 용액을 최소화시켜 고가의 혼성화 용액 사용을 제한함으로써 원가 절감을 가져올 수 있으며, 특별히 고안된 용액 주입구 및 채널은 주입에 따른 에러 발생률을 줄이는데 기여할 수 있다.
또한, PDMS 고분자로 혼성화 챔버를 구성하는 경우, PDMS 자체의 접착성만으로도 슬라이드글라스기판에 대해 탈, 부착이 가능하기 때문에 간단한 세정을 통해 필요에 따라 반복 사용할 수 있다는 장점이 있다.

Claims (8)

  1. DNA가 스폿팅된 마이크로 어레이 칩 기판의 표면에 형성되고,
    DNA 혼성화 용액을 주입하기 위한 주입구와; 상기 주입구와 연통하면서 주입된 용액이 이동할 수 있는 제 1 이동채널과; 상기 제 1 이동채널과 연통하면서 상기 DNA가 스폿팅된 영역을 포함하도록 상기 영역보다 넓은 표면적을 가지며, 주입된 용액이 수용되어 상기 칩 표면에 스폿팅된 DNA와 주입된 용액의 반응을 제공하는 반응챔버와; 상기 반응챔버와 연통하면서 상기 용액의 주입에 따라 제 1 이동채널 및 반응챔버내에 존재하던 공기를 외부로 배출하기 위한 배출구;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 칩용 DNA 혼성화 챔버.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 반응챔버와 상기 배출구 사이에는 제 2 이동채널이 형성되고, 상기 용액의 주입에 따라 제 1 이동채널 및 반응챔버내에 존재하던 공기는 상기 제 2 이동채널을 통해 상기 배출구로 배출되는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 칩용 DNA 혼성화 챔버.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 혼성화 용액의 주입은, 깔대기, 파이프 및 노즐로 이루어지는 군으로부터 선택되는 어느 하나를 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 칩용 DNA 혼성화 챔버.
  4. 삭제
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    복수개의 혼성화 챔버가 하나의 슬라이드 글라스 위에 형성되며, 각 혼성화 챔버의 반응챔버는 슬라이드 글라스 위의 DNA가 스폿팅된 각 영역에 대응하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 칩용 DNA 혼성화 챔버.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 이동채널 및 반응챔버의 높이는 10 내지 500 ㎛인 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 칩용 DNA 혼성화 챔버.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 이동채널의 길이는 100 ㎛ 내지 20 ㎜인 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 칩용 DNA 혼성화 챔버.
  8. 삭제
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