KR100558196B1 - 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트 및이를사용하는 시편 제조 방법 - Google Patents

투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트 및이를사용하는 시편 제조 방법 Download PDF

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Abstract

투과전자현미경 검사용 시편을 제작하는 공정에서, 상기 시편이 기설정된 목표 두께를 갖도록 그라인딩하는 동안, 상기 시편은 마운트에 고정된다. 상기 마운트의 상부면에는 상기 시편이 삽입되는 제1홈과, 상기 제1홈으로부터 상기 시편을 분리시키기 위한 제2홈이 형성되어 있다. 상기 시편은 마운팅 왁스를 이용하여 상기 제1홈에 고정되며, 상기 마운트로부터 돌출된 부위는 그라인더에 의해 그라인딩된다. 상기 제1홈의 깊이는 상기 시편의 목표 두께에 따라 결정되며, 상기 시편의 돌출된 부위는 상기 마운트의 상부면까지 그라인딩된다. 따라서, 목표 두께를 갖는 시편을 용이하게 제작할 수 있다.

Description

투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트 및 이를 사용하는 시편 제조 방법{Mount for mounting a sample for inspection by a transmission electron microscope and method of manufacturing a sample using the same}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마운트의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트를 설명하기 위한 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 마운트의 단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 도 1에 도시된 마운트를 사용하여 투과전자현미경 검사용 시편을 제조하는 방법을 설명하기 위한 순서도들이다.
도 6은 도 5a 및 도 5b에 도시된 시편 제조 방법에 의해 제조되는 투과전자현미경 시편을 설명하기 위한 사시도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 원형 시편 12 : 실리콘웨이퍼
14 : 더미 웨이퍼 16 : 시편 스택
18 : 예비 시편 100 : 마운트
102 : 제1홈 104 : 제2홈
본 발명은 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트와, 이를 사용하여 시편을 제조하는 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 기판으로 사용되는 실리콘웨이퍼로부터 준비된 투과전자현미경 검사용 시편의 표면을 그라인딩하기 위해 상기 시편을 고정시키는 마운트와 이를 이용하여 시편을 제조하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 장치는 실리콘웨이퍼 상에 집적 회로를 형성하기 위한 팹 공정(Fabrication process)과, 상기 팹 공정을 통해 형성된 반도체 장치들을 개별화시키기 위한 패키지 공정을 통해 제조된다.
상기 팹 공정은 증착 공정, 식각 공정, 확산 공정, 이온 주입 공정, 기계적 화학적 연마 공정, 세정 공정, 검사 공정 등과 같은 단위 공정들을 포함한다. 상기 단위 공정들 중에서 검사 공정은 실리콘웨이퍼 상에 형성된 막 또는 패턴들을 검사하기 위해 수행된다.
상기 검사 공정에는 주사전자현미경(scanning electron microscope; SEM), 투과전자현미경(transmission electron microscope; TEM), 이차이온질량분석기(secondary ion mass spectrometer; SIMS) 등과 같은 다양한 검사 장치가 사용되고 있다.
상기 투과전자현미경은 시편을 투과한 전자빔을 이용하므로, 투과전자현미경 검사용 시편은 약 70㎛ 이하의 얇은 두께를 갖는 것이 바람직하다.
상기 시편은 마운팅 왁스(mounting wax)를 이용하여 실린더 형상을 갖는 마운트의 상면에 부착되고, 상기 시편이 약 70㎛ 정도의 두께를 갖도록 그라인더에 의해 시편의 후면이 그라인딩된다. 여기서, 상기 시편의 후면을 그라인딩하는 동안, 빈번하게 시편의 두께를 측정해야 하는 번거로움이 있으며, 시편의 정확한 두께 측정이 어렵다는 단점이 있다. 또한, 그라인딩 동안에 시편이 쉽게 파손되거나, 목적하는 두께를 갖도록 시편을 그라인딩하기가 매우 어렵다는 단점이 있다. 따라서, 개량된 마운트 및 시편 제조 방법이 요구되고 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 제1목적은, 투과전자현미경 검사용 시편을 제작하는데 있어서, 시편이 목표 두께를 갖도록 시편을 그라인딩하기 위하여 시편을 고정시키기 위한 마운트를 제공하는데 있다.
본 발명의 제2목적은, 상술한 바와 같은 마운트를 이용하여 투과전자현미경 검사용 시편을 제조하는 방법을 제공하는데 있다.
상기 제1목적을 달성하기 위한 본 발명은, 투과전자현미경 검사용 시편을 그라인딩하기(grinding) 위해 상기 시편을 고정시키는 마운트(mount)에 있어서, 상기 시편의 두께보다 낮은 제1깊이와 상기 시편의 형상과 대응하는 형상을 갖고 상기 시편을 그 내부에 삽입하기 위한 제1홈과, 상기 제1깊이보다 깊은 제2깊이를 갖고 상기 제1홈의 측면과 교차하며 상기 제1홈에 삽입된 시편을 상기 제1홈으로부터 분리시키기 위한 제2홈이 형성된 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트를 제공한다.
상기 제2목적을 달성하기 위한 본 발명은, 시편을 마운트 상에 고정시키는 단계와, 상기 마운트로부터 돌출된 부위를 그라인딩하는 단계와, 상기 마운트로부터 상기 시편을 분리시키는 단계를 포함하는 투과전자현미경 검사용 시편을 제조하는 방법을 제공한다.
상기 시편은 디스크 형상을 가지며, 마운트의 제1홈의 직경은 상기 시편의 직경보다 크게 형성된다. 또한, 상기 제1깊이는 기설정된 시편의 목표 두께보다 약 1 내지 10㎛ 정도 더 깊게 형성되는 것이 바람직하다.
상기 제1홈에 삽입된 시편은 마운팅 왁스를 이용하여 상기 제1홈에서 고정되며, 상기 마운트의 상면으로부터 돌출된 부위는 상기 마운트의 상면까지 그라인딩된다.
따라서, 시편이 목표 두께를 갖도록 용이하게 그라인딩할 수 있으며, 그라인딩 도중에 시편이 파손되는 것을 감소시킬 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트를 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 마운트의 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 마운트(100)는 실린더 형상을 가지며, 상면(100a)에 원형 시편(10)이 삽입되는 제1홈(102)과 상기 원형 시편(10)을 제1홈(102)으로부터 분리시키기 위한 제2홈(104)이 형성되어 있다.
상기 마운트(100)는 스테인리스 스틸로 이루어질 수 있으며, 상기 제1홈(102)은 원형 홈이다. 여기서, 상기 제1홈(102)의 형상은 시편(10)의 형상에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
상기 원형 시편(10)의 직경은 약 3mm 정도이며, 상기 제1홈(102)의 직경은 약 3.05 내지 3.15mm 정도이며, 도 1 및 도 2에 도시된 제1홈(102)의 직경은 약 3.1mm 정도이다.
상기 원형 시편(10)의 두께는 약 400㎛ 정도이며, 기설정된 목표 두께는 약 70㎛ 정도이다. 상기 제1홈(102)의 깊이는 상기 목표 두께보다 1 내지 10㎛ 정도 더 깊은 것이 바람직하다. 즉, 상기 제1홈(102)의 깊이는 약 71 내지 80㎛ 정도이며, 도 1 및 도 2에 도시된 제1홈(102)의 깊이는 약 75㎛ 정도이다.
상기 제1홈(102)과 원형 시편(10) 사이에는 원형 시편(10)을 제1홈(102)의 내부에서 고정시키기 위한 마운팅 왁스(미도시)가 개재되며, 제1홈(102)의 바닥면(102a)과 원형 시편(10)의 전면(10a)이 서로 마주보도록 상기 원형 시편(10)이 제1홈(102)으로 삽입된다.
상기와 같이 제1홈(102)의 깊이가 원형 시편(10)의 목표 두께보다 깊은 이유는 마운팅 왁스를 이용하여 원형 시편(10)을 제1홈(102)에 고정시키기 때문이다. 즉, 제1홈(102)의 바닥면(102a)에 도포되는 마운팅 왁스의 두께는 1 내지 10㎛ 정 도이다.
상기와 같이 원형 시편(10)이 마운트(100)의 제1홈(102)에 고정된 후, 노출된 원형 시편(10)의 후면(10b)이 그라인더(미도시)에 의해 그라인딩된다. 이때, 마운트(100)의 상면(100a)으로부터 돌출된 부위(10c)는 상기 마운트(100)의 상면(100a)까지 그라인딩된다. 따라서, 목표 두께를 갖는 원형 시편(10)을 용이하게 제작할 수 있다. 또한, 원형 시편(10)을 그라인딩하는 동안, 원형 시편(10)의 측면(10d)과 제1홈(102) 사이에 개재되는 마운팅 왁스에 의해 원형 시편(10)의 파손이 방지된다.
상기 제2홈(104)은 제1홈(102)의 직경 방향으로 연장되어 상기 제1홈(102)의 측면(102b)과 교차되며, 상기 제1홈(102)의 반경보다 좁은 폭과 제1홈(102)의 직경보다 긴 길이와 제1홈(102)의 깊이보다 깊은 깊이를 갖는다. 제2홈(104)은 제1홈으로부터 원형 시편(10)을 분리하기 위한 것으로 약 80 내지 90㎛ 정도의 깊이를 갖는 것이 바람직하다. 도 1 및 도 2에 도시된 제2홈(104)은 1mm 정도의 폭과 6mm 정도의 길이와 85㎛ 정도의 깊이를 갖는다.
상기 원형 시편(10)의 그라인딩 단계 이후에 상기 마운팅 왁스를 약 100℃ 정도로 가열하여 충분히 연화시키고, 이어서 상기 제2홈(104)을 이용하여 원형 시편(10)을 제1홈(102)으로부터 분리시킨다. 한편, 상기 마운팅 왁스는 아세톤에 용해되므로 상기 아세톤을 이용하여 원형 시편(10)을 제1홈(102)으로부터 분리시킬 수도 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시 키기 위한 마운트를 설명하기 위한 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 마운트의 단면도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 마운트(200)는 실린더 형상을 가지며, 상면(200a)에 원형 시편(10)의 형상과 대응하는 형상을 갖고 상기 원형 시편(10)이 삽입되는 제1홈(202)과, 상기 원형 시편(10)을 제1홈(202)으로부터 분리시키기 위한 제2홈(204)이 형성되어 있다.
상기 제2홈(204)은 제1홈(202)의 반경 방향으로 연장되어 상기 제1홈(202)의 측면(202d)과 교차되며, 상기 제1홈(202)의 반경보다 좁은 폭과 제1홈(202)의 반경보다 긴 길이와 제1홈(202)의 깊이보다 깊은 깊이를 갖는다. 제2홈(204)은 제1홈(202)으로부터 원형 시편(10)을 분리하기 위한 것으로 약 80 내지 90㎛ 정도의 깊이를 갖는 것이 바람직하다. 도 1 및 도 2에 도시된 제2홈(204)은 1mm 정도의 폭과 3mm 정도의 길이와 85㎛ 정도의 깊이를 갖는다.
도면 참조 부호 202a 및 202b는 제1홈(202)의 바닥면 및 측면을 의미하며, 상기 구성 요소들에 대한 추가적인 상세 설명은 도 1 및 도 2를 참조하는 본 발명의 일 실시예에 따른 마운트의 구성 요소들과 유사하므로 생략하기로 한다.
도 5a 및 도 5b는 도 1에 도시된 마운트를 사용하여 투과전자현미경 검사용 시편을 제조하는 방법을 설명하기 위한 순서도들이고, 도 6은 도 5a 및 도 5b에 도시된 시편 제조 방법에 의해 제조되는 투과전자현미경 시편을 설명하기 위한 사시도이다.
도 1, 2, 5 및 6을 참조하면, 상기 시편 제조 방법은, 시편(10)을 준비하는 단계(S10)와, 상기 시편(10)을 마운트(100) 상에 고정시키는 단계(S20)와, 상기 마운트(100)로부터 돌출된 부위를 그라인딩하는 단계(S30)와, 상기 마운트(100)로부터 상기 시편(10)을 분리시키는 단계(S40)와, 상기 시편(10)을 딤플링(dimpling)하는 단계(S50)와, 딤플링된 시편(10)의 중앙 부위에 홀을 형성하는 단계(S60)를 포함한다.
상기 시편(10)을 준비하는 단계(S10)는 도시된 바와 같이 S102 내지 S114 단계들을 포함한다.
먼저, 막 또는 패턴들이 형성된 실리콘웨이퍼로부터 적절한 크기를 갖는 제1실리콘웨이퍼(12a)와 제2실리콘웨이퍼(12b)를 추출한다(S102). 여기서, 제1실리콘웨이퍼(12a)는 약 4mm의 폭과 약 5mm의 길이를 가지며, 제2실리콘웨이퍼(12b)는 제1실리콘웨이퍼(12a)의 크기와 동일한 크기를 갖는다.
상기 제1실리콘웨이퍼(12a)와 제2실리콘웨이퍼(12b)의 후면들에 각각 적어도 하나의 더미 웨이퍼(14)를 접착시킨다(S104). 이때, 상기 제1 및 제2실리콘웨이퍼(12a, 12b)와 더미 웨이퍼들(14)은 같은 크기를 갖는 것이 바람직하다.
상기 제1실리콘웨이퍼(12a)의 전면과 제2실리콘웨이퍼(12b)의 전면이 서로 마주하도록 제1 및 제2실리콘웨이퍼(12a, 12b)를 서로 접착시켜 시편 스택(16, stack)을 제작한다(S106).
다이아몬드 톱(saw)을 이용하여 상기 제1실리콘웨이퍼(12a)와 제2실리콘웨이퍼(12b)의 단면들이 노출되도록 상기 시편 스택(16)을 슬라이싱(slicing)하여 예비 시편(18)을 준비한다(S108). 즉, 상기 제1실리콘웨이퍼(12a)와 제2실리콘웨이퍼(12b)의 전면들과 수직하는 방향으로 상기 시편 스택(16)을 슬라이싱한다. 이때, 상기 예비 시편(18)은 약 4mm의 폭과, 약 5mm의 길이 및 약 1000㎛ 정도의 두께를 갖는다.
상기 예비 시편(18)을 절단하여 디스크 형상을 갖는 원형 시편(10)을 제작한다(S110). 상기 원형 시편(10)은 약 3mm 정도의 직경을 갖는 것이 바람직하다.
상기 제1 및 제2실리콘웨이퍼(12a, 12b)의 전면들과 수직하는 상기 원형 시편(10)의 전면(10a)에 대한 그라인딩 가공을 수행한다(S112).
그라인딩된 원형 시편(10)의 전면(10a)에 대한 폴리싱 가공을 수행한다(S114). 상기 폴리싱된 원형 시편(10)은 약 400㎛ 정도의 두께를 갖는 것이 바람직하다.
이어서, 마운트(100)의 제1홈(102)의 내면들(102a, 102b)에 마운팅 왁스를 도포하고, 상기 폴리싱된 원형 시편(10)을 마운트(100)의 제1홈(102)에 고정시킨다(S20). 이때, 상기 원형 시편(10)의 폴리싱된 전면(10a)이 상기 마운트(100)의 제1홈(102)의 바닥면(102a)과 마주하도록 상기 원형 시편(10)을 상기 제1홈(102)에 삽입한다.
상기 원형 시편(10)의 마운트(100)로부터 돌출된 부위(10c)를 그라인딩한다(S30). 상기 그라인딩 단계 동안 원형 시편(10)은 다수의 디스크 그라인더들(미도시)에 의해 그라인딩된다. 상기 디스크 그라인더들은 각각 다른 그라인드 페이퍼들을 갖는다. 예를 들면, 40㎛, 15㎛, 5㎛ 실리콘 카바이드 페이퍼(silicon carbide paper)들이 순차적으로 사용될 수 있다. 원형 시편(10)은 마운트(100)의 상부면(100a)까지 그라인딩된다. 즉, 상기 원형 시편(10)은 상기 마운트(100)의 제1홈(102)에 고정된 원형 시편(10)의 후면(10b)이 마운트(100)의 상면(102)과 일치하도록 상기 디스크 그라인더들에 의해 순차적으로 그라인딩된다. 따라서, 그라인딩된 원형 시편(10-1)은 약 70㎛ 정도의 두께를 갖는다.
상기 마운트(100)로부터 그라인딩된 원형 시편(10-1)을 분리시킨다(S40). 상기 그라인딩된 원형 시편(10-1)과 마운트(100)의 제1홈(102) 사이의 마운팅 왁스를 약 100Å 정도의 온도에서 충분히 연화시킨 후, 마운트(100)의 제2홈(104)을 이용하여 상기 그라인딩된 원형 시편(10-1)을 마운트(100)로부터 분리시킨다.
이어서, 딤플러(dimpler, 미도시)를 이용하여 그라인딩된 원형 시편(10-1)의 전면(10a)을 딤플링(dimpling)한다(S50). 계속해서, 이온 밀러(ion miller, 미도시)를 이용하여 딤플링딘 원형 시편(10-2)의 중앙 부위에 홀(20)을 형성함으로써, 투과전자현미경용 시편(10-3)을 마무리한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 투과전자현미경 검사용 시편은 마운트의 제1홈에 마운팅 왁스를 사용하여 고정된 후 디스크 그라인더에 의해 목표 두께를 갖도록 그라인딩된다. 따라서, 그라인딩 단계에서의 시편 파손이 감소되며, 목표 두께를 갖는 시편을 용이하게 제작할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영 역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (19)

  1. 투과전자현미경 검사용 시편을 그라인딩하기(grinding) 위해 상기 시편을 고정시키는 마운트(mount)에 있어서,
    상기 시편의 두께보다 얕은 제1깊이와 상기 시편의 형상과 대응하는 형상을 갖고 상기 시편을 그 내부에 삽입하기 위한 제1홈과, 상기 제1깊이보다 깊은 제2깊이를 갖고 상기 제1홈의 측면과 교차하며 상기 제1홈에 삽입된 시편을 상기 제1홈으로부터 분리시키기 위한 제2홈이 형성된 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1깊이는 기설정된 시편의 목표 두께보다 1 내지 10㎛ 정도 더 깊은 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1홈은 원형 홈인 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1홈은 3.05 내지 3.15mm 정도의 직경과, 71 내지 80㎛ 정도의 깊이를 갖는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트.
  5. 제3항에 있어서, 상기 제2홈은 상기 제1홈의 반경 방향으로 연장된 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트.
  6. 제5항에 있어서, 제2홈은 상기 제1홈의 반경보다 좁은 폭과, 상기 제1홈의 반경보다 긴 길이와, 80 내지 90㎛ 정도의 깊이를 갖는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트.
  7. 제3항에 있어서, 상기 제2홈은 상기 제1홈의 직경 방향으로 연장된 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트.
  8. 제7항에 있어서, 제2홈은 상기 제1홈의 반경보다 좁은 폭과, 상기 제1홈의 직경보다 긴 길이와, 80 내지 90㎛ 정도의 깊이를 갖는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트.
  9. 제1항에 있어서, 상기 마운트는 실린더 형상을 가지며, 상기 제1홈 및 제2홈은 상기 마운트의 상부면에 형성된 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트.
  10. 제9항에 있어서, 상기 시편은 마운팅 왁스(mounting wax)에 의해 상기 제1홈 에 고정되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 고정시키기 위한 마운트.
  11. 시편을 마운트 상에 고정시키는 단계;
    상기 마운트로부터 돌출된 시편 부위를 그라인딩하는 단계; 및
    상기 마운트로부터 상기 시편을 분리시키는 단계를 포함하되,
    상기 마운트의 상면에는, 상기 시편의 두께보다 얕은 제1깊이와 상기 시편의 형상과 대응하는 형상을 갖고 상기 시편을 그 내부에 삽입하여 고정시키기 위한 제1홈과, 상기 제1깊이보다 깊은 제2깊이를 갖고 상기 제1홈의 측면과 교차하며 상기 제1홈에 삽입된 시편을 상기 제1홈으로부터 분리시키기 위한 제2홈이 형성된 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 제조하는 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 제1홈의 깊이는 기설정된 시편의 목표 두께보다 1 내지 10㎛ 정도 더 깊은 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 제조하는 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 시편은 디스크 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 제조하는 방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 시편을 준비하는 단계를 더 포함하며, 상기 준비 단계는,
    제1실리콘웨이퍼의 후면에 적어도 하나의 제1더미 웨이퍼를 접착시키는 단계;
    제2실리콘웨이퍼의 후면에 적어도 하나의 제2더미 웨이퍼들을 접착시키는 단계;
    상기 제1실리콘웨이퍼의 전면과 상기 제2실리콘웨이퍼의 전면이 서로 마주하도록 상기 제1 및 제2실리콘웨이퍼를 접착시키는 단계;
    상기 제1 및 제2실리콘웨이퍼의 단면들이 노출되도록 상기 웨이퍼들을 슬라이싱하여(slicing) 플레이트 형상을 갖는 예비 시편을 형성하는 단계; 및
    상기 예비 시편을 상기 디스크 형상으로 커팅하는(cutting)하여 상기 시편을 준비하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 제조하는 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제1 및 제2실리콘웨이퍼의 전면들과 수직하는 상기 시편의 전면을 그라인딩하는 단계; 및
    상기 시편의 전면을 폴리싱하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 제조하는 방법.
  16. 제15항에 있어서, 상기 시편은 마운팅 왁스를 이용하여 상기 폴리싱된 시편의 전면이 상기 제1홈의 바닥면과 마주하도록 고정되는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 제조하는 방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 시편은 아세톤을 이용하여 상기 제1홈으로부터 분리되는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 제조하는 방법.
  18. 제11항에 있어서, 상기 시편의 돌출된 부위는 상기 마운트의 상면까지 그라인딩되는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 제조하는 방법.
  19. 제11항에 있어서,
    상기 마운트로부터 분리된 시편의 전면을 딤플링(dimpling)하는 단계; 및
    상기 딤플링된 시편의 중앙 부위에 홀을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경 검사용 시편을 제조하는 방법.
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