KR100556140B1 - System for inspecting glass substrate - Google Patents

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KR100556140B1
KR100556140B1 KR1020020030386A KR20020030386A KR100556140B1 KR 100556140 B1 KR100556140 B1 KR 100556140B1 KR 1020020030386 A KR1020020030386 A KR 1020020030386A KR 20020030386 A KR20020030386 A KR 20020030386A KR 100556140 B1 KR100556140 B1 KR 100556140B1
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Abstract

본 발명은 유리기판의 결함을 검사하기 위한 유리기판의 검사시스템을 개시한다. 본 발명은 여러장의 유리기판이 수납되어 있는 컨테이너를 수용하는 로딩스탠드와, 로딩스탠드로부터 검사스테이션을 경유하여 언로딩되는 유리기판을 수납할 수 있는 컨테이너를 수용하는 언로딩스탠드와, 로딩스탠드와 언로딩스탠드 사이에 설치되며 로딩스탠드의 컨테이너로부터 한장의 유리기판을 검사스테이션으로 이송시키고 검사스테이션으로부터 한장의 유리기판을 언로딩스탠드의 컨테이너로 이송시켜 수납시키는 트랜스포터와, 트랜스포터로부터 한장의 유리기판을 인수하여 다자유도운동시킬 수 있도록 검사스테이션에 설치되는 핸들러로 구성된다. 본 발명에 의하면, 여러장의 유리기판이 수납되어 있는 컨테이너를 로딩스탠드에 수용하고, 로딩스탠드로부터 한장의 유리기판을 트랜스포터에 의하여 검사스테이션의 핸들러로 공급한 후, 핸들러에 의하여 유리기판을 다자유도운동시키면서 검사함으로써, 대형·박형의 유리기판을 매우 간편하고 효율적으로 검사할 수 있다. 또한, 유리기판을 자동으로 핸들링할 수 있으며, 정확하고 안정적으로 척킹하여 유리기판의 파손을 효과적으로 방지할 수 있다. 그리고 유리기판의 양면을 간편하게 검사하여 검사의 신뢰성을 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.The present invention discloses a glass substrate inspection system for inspecting a defect of a glass substrate. The present invention provides a loading stand for accommodating a container containing a plurality of glass substrates, an unloading stand for accommodating a container for accommodating a glass substrate unloaded from the loading stand via an inspection station, and a loading stand and an unloading stand. A transporter installed between the loading stands and transporting one glass substrate from the container of the loading stand to the inspection station, and transporting one glass substrate from the inspection station to the container of the unloading stand, and one glass substrate from the transporter. It consists of a handler that is installed in the inspection station so that it can multiply exercise by taking. According to the present invention, a container containing a plurality of glass substrates is accommodated in a loading stand, and a glass substrate is supplied from the loading stand to the handler of the inspection station by a transporter, and then the glass substrate is multiplied by the handler. By inspecting while exercising, a large and thin glass substrate can be inspected very simply and efficiently. In addition, the glass substrate can be automatically handled, and accurate and stable chucking can effectively prevent breakage of the glass substrate. And by simply inspecting both sides of the glass substrate there is an effect that can greatly improve the reliability of the inspection.

Description

유리기판의 검사 시스템{SYSTEM FOR INSPECTING GLASS SUBSTRATE}Inspection system for glass substrates {SYSTEM FOR INSPECTING GLASS SUBSTRATE}

도 1은 본 발명에 따른 검사시스템의 전체 구성을 개략적으로 나타낸 평면도,1 is a plan view schematically showing the overall configuration of an inspection system according to the present invention;

도 2는 본 발명에 따른 검사시스템의 컨테이너, 로딩 및 언로딩스탠드를 나타낸 측면도, Figure 2 is a side view showing a container, loading and unloading stand of the inspection system according to the present invention,

도 3은 본 발명에 따른 검사시스템의 컨테이너, 로딩 및 언로딩스탠드를 나타낸 정면도,Figure 3 is a front view showing the container, loading and unloading stand of the inspection system according to the present invention,

도 4는 본 발명에 따른 검사시스템의 컨테이너, 로딩 및 언로딩스탠드를 나타낸 평면도,4 is a plan view showing a container, loading and unloading stand of the inspection system according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 검사시스템의 트랜스포터가 유리기판을 척킹하여 상승한 상태를 나타낸 정면도,Figure 5 is a front view showing a state in which the transporter of the inspection system according to the present invention by chucking the glass substrate,

도 6은 본 발명에 따른 검사시스템의 트랜스포터를 나타낸 측면도,6 is a side view showing a transporter of the inspection system according to the present invention;

도 7은 본 발명에 따른 검사시스템의 트랜스포터를 나타낸 평면도, 7 is a plan view showing a transporter of the inspection system according to the present invention,

도 8은 본 발명의 트랜스포터의 제1 척킹유닛에 의하여 유리기판을 척킹하는 작동을 설명하기 위하여 부분적으로 나타낸 측면도,8 is a side view partially shown to explain the operation of chucking the glass substrate by the first chucking unit of the transporter of the present invention;

도 9는 본 발명의 트랜스포터의 제2 척킹유닛에 의하여 유리기판을 척킹하는 작동을 설명하기 위하여 부분적으로 나타낸 평면도,9 is a plan view partially shown for explaining the operation of chucking the glass substrate by the second chucking unit of the transporter of the present invention;

도 10은 본 발명에 따른 검사시스템의 핸들러를 나타낸 정면도,10 is a front view showing a handler of the inspection system according to the present invention;

도 11은 본 발명에 따른 핸들러의 로터리칼럼, 모션거더와 홀딩장치를 부분적으로 나타낸 평면도,11 is a plan view partially showing a rotary column, a motion girder and a holding device of the handler according to the present invention;

도 12는 본 발명에 따른 검사시스템의 핸들러를 나타낸 측면도,12 is a side view showing a handler of the inspection system according to the present invention;

도 13은 본 발명에 따른 핸들러의 홀딩장치를 나타낸 정면도,13 is a front view showing a holding device of the handler according to the present invention;

도 14는 본 발명에 따른 핸들러의 푸싱유닛에 의하여 유리기판을 정렬하는 작동을 설명하기 위하여 나타낸 평면도,14 is a plan view showing to explain the operation of aligning the glass substrate by the pushing unit of the handler according to the present invention;

도 15는 본 발명에 따른 핸들러의 사이드척킹유닛에 의하여 유리기판을 척킹하는 작동을 설명하기 위하여 나타낸 평면도,15 is a plan view illustrating the operation of chucking the glass substrate by the side chucking unit of the handler according to the present invention;

도 16a 및 도 16b는 본 발명에 따른 핸들러의 어퍼척킹유닛에 의하여 유리기판을 척킹하는 작동을 설명하기 위하여 나타낸 측면도,16A and 16B are side views illustrating an operation of chucking a glass substrate by an upper chucking unit of a handler according to the present invention;

도 17은 본 발명에 따른 핸들러의 제1 로킹장치에 의하여 홀딩장치의 림어셈블리를 로킹하는 작동을 설명하기 위하여 부분적으로 나타낸 평면도,17 is a plan view partially shown for explaining the operation of locking the rim assembly of the holding device by the first locking device of the handler according to the present invention;

도 18은 본 발명에 따른 핸들러의 제2 로킹장치에 의하여 홀딩장치의 림어셈블리를 로킹하는 작동을 설명하기 위하여 부분적으로 절제하여 나타낸 측면도이다.18 is a side view partially cut away to explain the operation of locking the rim assembly of the holding device by the second locking device of the handler according to the invention.

♣도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣ ♣ Explanation of symbols for the main parts of the drawing ♣

1: 유리기판 10: 컨테이너1: glass substrate 10: container

20: 로딩스탠드 30: 언로딩스탠드20: loading stand 30: unloading stand

40: 포지셔너 42: 클램핑유닛40: positioner 42: clamping unit

43: 푸싱유닛 50: 정렬장치43: pushing unit 50: alignment device

51: 로워푸싱유닛 56: 어퍼푸싱유닛51: lower pushing unit 56: upper pushing unit

70: 트랜스포터 71: 로터리칼럼70: transporter 71: rotary column

74: 모션헤드 79: 업다운에어실린더74: motion head 79: up-down air cylinder

82: 마운팅플레이트 90: 제1 척킹유닛82: mounting plate 90: first chucking unit

100: 제2 척킹유닛 113: 핸들100: second chucking unit 113: handle

120: 핸들러 124: 로터리칼럼120: handler 124: rotary column

125: 모션거더 128: 업다운에어실린더125: motion girder 128: up-down air cylinder

130: 홀딩장치 140: 림어셈블리130: holding device 140: rim assembly

146: 레스트 150: 사이드척킹유닛146: rest 150: side chucking unit

160: 푸싱유닛 170: 어퍼척킹유닛160: pushing unit 170: upper chucking unit

180: 홀더어셈블리 190: 로터리액츄에이터180: holder assembly 190: rotary actuator

200: 제1 로킹장치 210: 제2 로킹장치200: first locking device 210: second locking device

본 발명은 유리기판의 검사시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유리기판을 간편하게 로딩 및 언로딩하고 자동으로 핸들링하여 검사하기 위한 유리기판의 검사시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection system for glass substrates, and more particularly, to an inspection system for glass substrates for easily loading and unloading and automatically handling and inspecting glass substrates.

주지하고 있는 바와 같이, TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent) 등 평판디스플레 이(Flat display)의 제조 분야에서 사용되는 유리기판은 유리용해로(Glass melting furnace)에서 용해된 유리물을 성형공정과 절단공정을 통하여 제조하고 있다. 이와 같은 유리기판에는 여러 가지 요인에 의하여 많은 결함이 발생되고 있다. 따라서, 고품질의 평판디스플레이를 제조하기 위하여 유리기판의 두께, 휨도, 평탄도, 투과율, 기포, 이물, 긁힘, 요철, 오염, 직선성 및 크기오차 등에 대하여 검사와 측정을 실시한 후, 제조공정에서의 불량요인을 찾고 그 원인을 규명하여 시정하고 있다. As is well known, glass substrates used in the manufacture of flat panel displays such as thin film transistor-liquid crystal displays (TFT-LCDs), plasma display panels (PDPs), and electro luminescent (EL) are glass melting. Glass melted in glass melting furnace is manufactured through molding process and cutting process. Many defects occur in such glass substrates due to various factors. Therefore, in order to manufacture high quality flat panel display, the thickness, warpage, flatness, transmittance, bubble, foreign matter, scratch, irregularities, contamination, linearity, and size error of glass substrate are examined and measured. Finding the bad factors and finding out the cause and correcting them.

일반적으로 유리기판의 기포, 긁힘, 요철, 오염, 직선성 및 크기오차 등은 작업자의 육안검사와 샘플링검사(Sampling inspection)에 의하여 실시하고 있다. 유리기판의 육안검사에 있어서 작업자가 자유롭게 핸들링(Handling)할 수 있는 유리기판의 크기는 세로 550mm, 가로 650mm 정도이다. 그런데 유리기판의 크기가 세로 1100mm, 가로 1250mm, 두께 0.5∼1mm 정도로 점차 대형화 및 박형화되면서 작업자의 핸들링에 많은 난제가 수반되고 있다. 유리기판은 작업자의 핸들링시 물리적 접촉에 의하여 특성이 변화되거나 쉽게 오염될 우려가 높다. 이 경우 유리기판의 표면에 코팅되는 박막, 예를 들어 절연막으로 실리카(SiO2)막과 도전막으로 ITO (Indium tin oxide)막의 불량을 유발시키므로, 유리기판의 물리적 접촉은 원칙적으로 금지되어 있다. 유리기판의 핸들링을 위한 척킹영역(Chucking area)은 각 에지(Edge)로부터 5∼8mm 이내로 허용하는 것이 일반적이며, 이 척킹영역은 후공정에서 절단하여 제거하고 있다. 이와 같이 대형·박형 유리기판의 가장자리를 작업 자가 제한적으로 척킹하여 핸들링하기에는 매우 힘들고 어려울 뿐만 아니라, 유리기판이 휨변형에 의하여 쉽게 깨지면서 안전사고를 유발시키는 문제가 수반되고 있다.In general, bubbles, scratches, irregularities, contamination, linearity, and size error of glass substrates are carried out by visual inspection and sampling inspection. In the visual inspection of the glass substrate, the size of the glass substrate that a worker can handle freely is about 550 mm long and 650 mm wide. However, as the size of glass substrates is gradually increased in size and thickness to about 1100 mm in length, 1250 mm in width, and 0.5 to 1 mm in thickness, many difficulties are involved in the handling of workers. Glass substrates are highly susceptible to changes in properties or easily contaminated by physical contact when handling the operator. In this case, since the thin film coated on the surface of the glass substrate, for example, the silica (SiO 2 ) film as the insulating film and the ITO (Indium tin oxide) film as the conductive film, is inferior, physical contact of the glass substrate is prohibited in principle. It is common to allow a chucking area for handling the glass substrate within 5 to 8 mm from each edge, and this chucking area is cut off and removed in a later step. As such, it is very difficult and difficult for the operator to chuck the edges of the large and thin glass substrates by limited chucking, and the glass substrates are easily broken by the bending deformation, causing a safety accident.

한편, 일본 공개특허공보 평11-14956호와 평11-14957호의 액정패널용 검사스테이지를 살펴보면, 액정패널의 양측단을 로딩위치에서 홀더에 의하여 홀딩하여 액정패널의 점등시험을 위한 검사위치로 로딩하고, 검사위치로부터 검사가 완료된 액정패널을 로딩위치로 언로딩시키는 기술이 개시되어 있다. 또한, 한국 공개특허공보 제1999-65369의 액정패널 그리퍼에는 액정패널의 양측단을 척킹하여 워크테이블의 흡착수단에 의하여 흡착하고, 워크테이블에 의하여 액정패널을 X축 및 Y축운동, 회전운동시키면서 검사하는 기술이 개시되어 있다. 그러나 이 기술들은 작업자의 수작업에 의하여 액정패널을 홀더에 홀딩시켜야 하므로, 대형·박형 유리기판의 검사에는 적용할 수 없을 뿐만 아니라, 특히 유리기판의 양면을 검사할 수 없는 문제를 수반하고 있다. 한국 공개특허공보 제2001-58165호의 유리기판 반입/반출장치에는 포크에 의하여 카세트에 수납되어 있는 유리기판을 진공으로 흡착하여 로딩하며, 포크의 운동은 서보모터에 의하여 제어하는 기술이 개시되어 있다. 그러나 유리기판의 진공흡착에 의해서는 대형·박형 유리기판의 로딩 및 언로딩시에 유리기판의 중량을 지탱하기 곤란하고, 포크로부터 유리기판이 이탈될 경우 심각한 안전사고를 유발시킬 우려가 매우 높은 문제를 가지고 있다. On the other hand, looking at the inspection stage for the liquid crystal panel of Japanese Patent Laid-Open Nos. 11-14956 and 11-14957, both ends of the liquid crystal panel are held by the holder at the loading position and loaded into the inspection position for the lighting test of the liquid crystal panel. Then, a technique for unloading the liquid crystal panel from which the inspection is completed from the inspection position to the loading position is disclosed. In addition, the liquid crystal panel gripper of Korean Patent Laid-Open Publication No. 1999-65369 chucks both ends of the liquid crystal panel to be sucked by the suction means of the worktable, and the liquid crystal panel is moved by the worktable while the X-axis and the Y-axis movement are rotated. An inspection technique is disclosed. However, these technologies are not applicable to the inspection of large and thin glass substrates, as well as the problem of not being able to inspect both sides of the glass substrate, because the liquid crystal panel must be held in the holder by the operator's manual operation. The glass substrate loading / exporting device of Korean Patent Laid-Open Publication No. 2001-58165 discloses a technique in which a glass substrate stored in a cassette is sucked and loaded by vacuum, and the movement of the fork is controlled by a servomotor. However, due to vacuum adsorption of glass substrates, it is difficult to support the weight of glass substrates during loading and unloading of large and thin glass substrates, and there is a high possibility of causing serious safety accidents when glass substrates are separated from forks. Have

본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 여러 가지 문제점을 해결하기 위하 여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 유리기판의 로딩 및 언로딩, 핸들링 등 일련의 검사공정을 매우 간편하고 효율적으로 실시할 수 있는 유리기판의 검사시스템을 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve the various problems of the prior art as described above, the object of the present invention is to carry out a series of inspection processes such as loading and unloading, handling of glass substrates very easily and efficiently To provide an inspection system for glass substrates.

본 발명의 다른 목적은 대형·박형 유리기판을 자동으로 핸들링하여 효율적으로 검사할 수 있는 유리기판의 검사시스템을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide an inspection system for glass substrates that can efficiently inspect large and thin glass substrates.

본 발명의 또 다른 목적은 유리기판을 정확하고 안정적으로 척킹하여 유리기판의 파손을 효과적으로 방지할 수 있는 유리기판의 검사시스템을 제공하는데 있다.It is still another object of the present invention to provide an inspection system for a glass substrate that can effectively prevent rupture of the glass substrate by chucking the glass substrate accurately and stably.

본 발명의 또 다른 목적은 유리기판의 양면을 간편하게 검사하여 검사의 신뢰성을 크게 향상시킬 수 있는 유리기판의 검사시스템을 제공하는데 있다.Still another object of the present invention is to provide an inspection system for a glass substrate that can greatly inspect both sides of the glass substrate to greatly improve the reliability of the inspection.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 여러장의 유리기판이 수납되어 있는 컨테이너를 수용하는 로딩스탠드와; 로딩스탠드로부터 검사스테이션을 경유하여 언로딩되는 유리기판을 수납할 수 있는 컨테이너를 수용하는 언로딩스탠드와; 로딩스탠드와 언로딩스탠드 사이에 설치되며, 로딩스탠드의 컨테이너로부터 한장의 유리기판을 검사스테이션으로 이송시키고, 검사스테이션으로부터 한장의 유리기판을 언로딩스탠드의 컨테이너로 이송시켜 수납시키는 트랜스포터와; 트랜스포터로부터 한장의 유리기판을 인수하여 다자유도운동시킬 수 있도록 검사스테이션에 설치되는 핸들링수단으로 이루어지는 유리기판의 검사시스템에 있다.A feature of the present invention for achieving the above object is a loading stand for receiving a container containing a plurality of glass substrates; An unloading stand for receiving a container capable of receiving a glass substrate which is unloaded from the loading stand via the inspection station; A transporter which is installed between the loading stand and the unloading stand, transfers one glass substrate from the container of the loading stand to the inspection station, and transfers one glass substrate from the inspection station to the container of the unloading stand; It is in the inspection system of a glass substrate which consists of a handling means installed in an inspection station so that a glass substrate can be acquired from a transporter and multi-degree of freedom movement is carried out.

이하, 본 발명에 따른 유리기판의 검사시스템에 대한 바람직한 실시예를 첨 부된 도면들에 의거하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of the inspection system of the glass substrate according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명의 검사시스템에는 유리기판(1)을 공급하기 위한 로딩스테이션(Loading station: S1)과, 유리기판(1)을 배출하기 위한 언로딩스테이션(Unloading station: S2)과, 유리기판(1)을 작업자의 육안에 의하여 검사하기 위한 검사스테이션(Inspecting Station: S3)이 각각 마련되어 있다. 로딩스테이션(S1), 언로딩스테이션(S2)과 검사스테이션(S3)은 로딩스테이션(S1)과 언로딩스테이션(S2) 사이에 검사스테이션(S3)이 삼각형을 이루도록 배치되어 있다. 한편, 검사스테이션(S3)에는 유리기판(1)의 검사를 위하여 예를 들어 유리기판(1)을 조명하는 조명장치와, 유리기판(1)에 포함되어 있는 기포 등을 검사하기 위한 CCD카메라(Charge coupled device camera) 등의 검사장비가 마련되어 있다.First, referring to FIG. 1, the inspection system of the present invention includes a loading station S1 for supplying a glass substrate 1 and an unloading station S2 for discharging the glass substrate 1. ) And an inspection station (S3) for inspecting the glass substrate 1 by the naked eye of the operator are provided. The loading station S1, the unloading station S2 and the inspection station S3 are arranged so that the inspection station S3 forms a triangle between the loading station S1 and the unloading station S2. Meanwhile, the inspection station S3 includes, for example, an illumination device for illuminating the glass substrate 1 for inspection of the glass substrate 1, and a CCD camera for inspecting bubbles, etc. contained in the glass substrate 1 ( Inspection equipment such as a charge coupled device camera is provided.

도 2와 도 4에 도시되어 있는 바와 같이, 유리기판(1)은 상부가 개방되어 있는 컨테이너(Container: 10)에 여러장이 일정한 간격을 두고 수납되어 보관 및 운반되며, 컨테이너(10)의 내면에는 유리기판(1)의 가장자리를 끼워 수직하게 정렬시킬 수 있는 다수의 슬롯(Slot: 11)들이 형성되어 있다. 본 실시예에 있어서 컨테이너(10)에는 세로 1100mm, 가로 1250mm, 두께 0.5∼1mm 정도의 크기를 갖는 12∼15장 정도의 유리기판(1)이 수납된다. 그리고 유리기판(1)은 길이가 긴 가로방향이 컨테이너(10)의 폭방향으로 수납된다. 도 2에는 컨테이너(10)의 양측면이 리브(12)의 연결에 의하여 개방부(13)가 형성되어 있는 개방형의 컨테이너가 도시되어 있다. As shown in Figure 2 and 4, the glass substrate 1 is stored in several containers at regular intervals in the container (10) is open at the top is stored and transported, the inner surface of the container (10) A plurality of slots 11 are formed to vertically align the edges of the glass substrate 1. In the present embodiment, the container 10 accommodates about 12 to 15 glass substrates 1 having a length of about 1100 mm, a width of 1250 mm, and a thickness of about 0.5 to 1 mm. In addition, the glass substrate 1 has a long horizontal direction in the width direction of the container 10. 2 shows an open container in which both sides of the container 10 are formed with openings 13 by the connection of the ribs 12.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 검사시스템은 로딩스테이션(S1)과 언 로딩스테이션(S2) 각각에 컨테이너(10)의 로딩과 언로딩을 위하여 설치되어 있는 로딩스탠드(Loading stand: 20)와 언로딩스탠드(30)를 구비하며, 로딩 및 언로딩스탠드(20, 30)는 동일하게 구성되어 있다. 로딩 및 언로딩스탠드(20, 30) 각각은 컨테이너(10)를 수용할 수 있도록 일측이 개방되어 있는 격납실(21, 31)을 갖는 상자형 프레임(22, 32)과, 프레임(22, 32)의 하측에 컨테이너(10)를 이송시킬 수 있도록 설치되어 있는 롤러컨베이어(23, 33)로 구성되어 있다. 롤러컨베이어(23, 33)는 컨테이너(10)의 양측 하면을 지지할 수 있도록 한쌍으로 구성되어 있으며, 롤러컨베이어(23, 33)의 컨베이어보디(24, 34)에는 컨테이너(10)의 이송방향을 따라 다수의 롤러(25, 35)가 자유롭게 회전할 수 있도록 배열되어 있으며 1 to 4, the inspection system of the present invention is a loading stand (Loading stand: 20) installed for loading and unloading the container 10 in each of the loading station (S1) and the unloading station (S2) ) And an unloading stand 30, and the loading and unloading stands 20 and 30 are configured in the same way. Each of the loading and unloading stands 20, 30 has a box-shaped frame 22, 32 having a compartment 21, 31 which is open at one side to accommodate the container 10, and the frames 22, 32. It is composed of roller conveyors (23, 33) that is installed to transport the container 10 to the lower side of the). The roller conveyors 23 and 33 are configured in a pair so as to support both lower surfaces of the container 10, and the conveying direction of the container 10 is transferred to the conveyor bodies 24 and 34 of the roller conveyors 23 and 33. A plurality of rollers 25, 35 are arranged to rotate freely

또한, 로딩 및 언로딩스탠드(20, 30) 각각에는 격납실(21, 31)에 수용되는 컨테이너(10)의 위치를 결정하는 포지셔너(Positioner: 40)가 설치되어 있다. 포지셔너(40)는 컨테이너(10)의 이송방향선단을 구속할 수 있도록 프레임(22, 32)의 내측에 장착되어 있는 복수의 스토퍼(41)와, 컨테이너(10)의 이송방향후단을 구속할 수 있도록 프레임(22, 32)의 바닥 전방에 장착되어 있는 복수의 클램핑유닛(42)으로 구성되어 있다. 클램핑유닛(42)은 스토퍼(41)에 대하여 컨테이너(10)의 이송방향후단을 밀 수 있는 푸셔(42a)와, 이 푸셔(42a)를 회전 및 직선운동시키는 액츄에이터(42b)로 구성되어 있다. 클램핑유닛(42)의 푸셔(42a)가 롤러컨베이어(23, 33)의 롤러(25, 35)보다 낮은 높이에 위치되어 있으면 로딩 및 언로딩스탠드(20, 30) 각각의 격납실(21, 31)에 컨테이너(10)를 로딩 및 언로딩시킬 수 있다. 액츄에이터 (42b)의 작동에 의하여 컨테이너(10)의 이송방향후단을 지지할 수 있는 위치로 푸 셔(42a)를 회전시킨 후 컨테이너(10)에 대하여 직선운동시키면, 푸셔(42a)는 컨테이너(10)의 이송방향후단을 밀어 스토퍼(41)에 밀착시킨다. 따라서, 컨테이너(10)는 스토퍼(41)와 푸셔(42a)의 협동에 의하여 정렬됨과 동시에 견고하게 클램핑된다. In addition, each of the loading and unloading stands 20 and 30 is provided with a positioner 40 for determining the position of the container 10 accommodated in the storage rooms 21 and 31. The positioner 40 may constrain the plurality of stoppers 41 mounted inside the frames 22 and 32 and the rear end of the container 10 in order to restrain the front end of the container 10. It consists of a plurality of clamping units 42 which are mounted in front of the bottom of the frame (22, 32). The clamping unit 42 is comprised by the pusher 42a which can push the back direction of the container 10 with respect to the stopper 41, and the actuator 42b which rotates and linearly moves this pusher 42a. If the pushers 42a of the clamping unit 42 are located at a lower level than the rollers 25 and 35 of the roller conveyors 23 and 33, the compartments 21 and 31 of the loading and unloading stands 20 and 30 respectively. Can be loaded and unloaded. When the pusher 42a is rotated to a position capable of supporting the rear end of the container 10 in the transport direction by the operation of the actuator 42b, the pusher 42a moves in the container 10. ), The rear end of the conveying direction is pushed against the stopper 41. Thus, the container 10 is aligned by the cooperation of the stopper 41 and the pusher 42a and is firmly clamped at the same time.

도 3과 도 4에 도시되어 있는 바와 같이, 포지셔너(40)는 격납실(21, 31)의 중앙으로 컨테이너(10)를 정렬시키는 복수의 푸싱유닛(Pushing unit: 43)을 구비하며, 푸싱유닛(43)은 컨테이너(10)의 양측면 중앙을 밀 수 있도록 프레임(22, 32)의 양측에 장착되어 있다. 푸싱유닛(42)은 실린더로드(44a)를 갖는 에어실린더(44)와, 에어실린더(44)의 실린더로드(44a)에 컨테이너(10)의 양측면을 밀 수 있도록 장착되어 있는 푸싱바(45)로 구성되어 있다. 푸싱바(45)는 컨테이너(10)의 측면 전체를 밀 수 있도록 길게 형성되어 있다. 에어실린더(44)는 프레임(22, 32)에 고정되어 있는 브래킷(46)에 장착되어 있으며, 푸싱바(44)의 양측에는 브래킷(45)을 관통하여 직선운동을 안내하는 가이드바(47)가 연결되어 있다.As shown in FIGS. 3 and 4, the positioner 40 includes a plurality of pushing units 43 for aligning the container 10 with the centers of the compartments 21 and 31. 43 is attached to both sides of the frames 22 and 32 so that the center of both sides of the container 10 may be pushed. The pushing unit 42 includes an air cylinder 44 having a cylinder rod 44a and a pushing bar 45 mounted on the cylinder rod 44a of the air cylinder 44 so as to push both sides of the container 10. Consists of The pushing bar 45 is formed long so that the entire side surface of the container 10 can be pushed. The air cylinder 44 is mounted to the bracket 46 fixed to the frames 22 and 32, and guide bars 47 for guiding linear movement through the bracket 45 on both sides of the pushing bar 44. Is connected.

도 2와 도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 로딩 및 언로딩스탠드(20, 30)의 프레임(22, 32)에는 컨테이너(10)에 수납되어 있는 유리기판(1)을 정렬시킬 수 있는 정렬장치(50)가 설치되어 있다. 정렬장치(50)는 개방형 컨테이너(10)에 수납되어 있는 유리기판(1)의 양측단 하부를 중앙으로 밀어 정렬시킬 수 있도록 프레임 (20)의 하부 양측에 장착되어 있는 복수의 로워푸싱유닛(51)을 구비한다. 로워푸싱유닛(51)은 실린더로드(52a)를 갖는 에어실린더(52)와, 에어실린더(52)의 실린더로드(52a)에 컨테이너(10)의 개방부(13)를 통하여 유리기판(1)의 양측단 하부를 밀 수 있도록 장착되어 있는 푸싱바(53)로 구성되어 있다. 푸싱바(53)는 컨테이너(10)에 수용되는 유리기판(1) 전체를 밀 수 있도록 길게 형성되어 있다. 에어실린더 (52)는 프레임(22, 32)에 고정되어 있는 브래킷(54)에 장착되어 있으며, 푸싱바 (53)의 양측에는 브래킷(54)을 관통하여 직선운동을 안내하는 가이드바(55)가 연결되어 있다.2 and 3, the alignment device for aligning the glass substrate 1 accommodated in the container 10 to the frames 22, 32 of the loading and unloading stands 20, 30. 50 is provided. The alignment device 50 includes a plurality of lower pushing units 51 mounted on both lower sides of the frame 20 so that the lower ends of both sides of the glass substrate 1 housed in the open container 10 can be aligned in the center. ). The lower pushing unit 51 has an air cylinder 52 having a cylinder rod 52a and a glass substrate 1 through an opening 13 of the container 10 to the cylinder rod 52a of the air cylinder 52. It consists of a pushing bar 53, which is mounted to push the lower ends of both sides. The pushing bar 53 is elongated to push the entire glass substrate 1 accommodated in the container 10. The air cylinder 52 is mounted to the bracket 54 fixed to the frames 22 and 32, and guide bars 55 for guiding linear movement through the bracket 54 on both sides of the pushing bar 53. Is connected.

또한, 정렬장치(50)는 컨테이너(10)의 상방으로 돌출되어 있는 유리기판(1)의 양측단 상부를 중앙으로 밀어 정렬시킬 수 있도록 프레임(22, 32)의 양측에 장착되어 있는 복수의 어퍼푸싱유닛(56)을 구비한다. 어퍼푸싱유닛(56)은 프레임(22, 32)에 고정되어 있는 가이드포스트(57)를 따라 승강운동할 수 있도록 설치되어 있는 사이드플레이트(58)와, 사이드플레이트(58)에 고정되어 있는 너트(59a)에 조절핸들(59b)의 조작에 의하여 나사운동할 수 있도록 체결되어 있는 리드스크루(Lead screw: 59)와, 리드스크루(59)의 선단에 유리기판(1)의 양측단을 밀 수 있도록 장착되어 있는 푸싱바(60)로 구성되어 있다. 푸싱바(60)는 컨테이너(10)에 수용되어 있는 유리기판(1) 전체를 밀 수 있도록 길게 형성되어 있다. 푸싱바(60)의 양측에는 사이드플레이트(58)를 관통하여 직선운동을 안내하는 가이드바(61)가 연결되어 있다. 그리고 로딩 및 언로딩스탠드(20, 30) 각각의 프레임(22, 32)에는 포지셔너 (40)의 액츄에이터(42b)와 에어실린더(44), 정렬장치(50)의 에어실린더 (52)를 제어하기 위한 복수의 온오프스위치(61a)를 갖는 컨트롤보드(61)가 구성되어 있다. 본 실시예에 있어서 로딩스탠드(30)에 구성되는 정렬장치(50)의 로워 및 어퍼푸싱유닛(51, 56)은 배제시킬 수도 있다. In addition, the aligning device 50 includes a plurality of uppers mounted on both sides of the frames 22 and 32 so that the upper ends of both sides of the glass substrate 1 protruding upward from the container 10 can be aligned to the center. The pushing unit 56 is provided. The upper pushing unit 56 has a side plate 58 which is installed to move up and down along the guide posts 57 fixed to the frames 22 and 32, and a nut fixed to the side plate 58. Lead screw 59 which is fastened to the screw movement by the operation of the adjusting handle 59b to 59a), and both ends of the glass substrate 1 can be pushed to the tip of the lead screw 59. It consists of the pushing bar 60 attached. The pushing bar 60 is elongated to push the entire glass substrate 1 accommodated in the container 10. Guide bars 61 for guiding linear movement through side plates 58 are connected to both sides of the pushing bar 60. In addition, the frames 22 and 32 of each of the loading and unloading stands 20 and 30 control the actuator 42b of the positioner 40, the air cylinder 44, and the air cylinder 52 of the alignment device 50. A control board 61 having a plurality of on / off switches 61a is configured. In the present embodiment, the lower and the upper pushing units 51 and 56 of the alignment device 50 configured in the loading stand 30 may be excluded.

도 1과 도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 검사시스템은 로딩스테이션 (S1)으로부터 컨테이너(10)에 수용되어 있는 한장의 유리기판(1)을 검사스테이션 (S3)으로 이송하고 검사스테이션(S3)으로부터 한장의 유리기판(1)을 언로딩위치 (P2)로 이송하는 트랜스포터(Transporter: 70)를 구비한다. 트랜스포터(70)는 수직하게 기립되어 있는 중공형 로터리칼럼(Rotary column: 71)을 가지며, 로터리칼럼 (71)의 외면에는 길이방향을 따라 슬롯(71a)이 형성되어 있다. 로터리칼럼(71)은 그 상단과 하단이 어퍼베어링(72a)과 로워베어링(72b)에 지지되어 Z축회전운동할 수 있도록 설치되어 있고, 어퍼 및 로워베어링(72a, 72b)은 상부의 빔(72c)과 하부의 베이스(72d) 각각에 고정되어 있는 어퍼 및 로워샤프트(72e, 72f)에 장착되어 있다. 도 6에 자세히 도시되어 있는 바와 같이, 로터리칼럼(71)의 회전위치는 위치결정장치(73)에 의하여 결정된다. 위치결정장치(73)는 포지셔닝블록(73a)의 구멍 (73b)에 스프링(73c)의 탄성을 받는 스토퍼(73d)가 출몰할 수 있도록 장착되어 있다. 위치결정장치(73)의 스토퍼(73d)는 로터리칼럼(71)의 외면 하단에 고정되어 있는 링(Ring: 73e)의 구멍(73f)에 맞춤되어 로터리칼럼(71)의 회전위치를 구속한다. 도 6에는 구멍(73f)이 로터리칼럼(71)의 외면에 하나가 형성되어 있는 것이 도시되어 있으나, 구멍(73f)은 로딩, 언로딩 및 검사스테이션(S1∼S3) 각각의 위치에 부합하도록 3개가 형성된다. 그리고 트랜스포터(70)의 로터리칼럼(71)은 잘 알려진 서보모터에 의하여 회전시킬 수도 있다. 1 and 5 to 7, the inspection system of the present invention transfers a glass substrate 1 housed in the container 10 from the loading station S1 to the inspection station S3 and A transporter 70 for transporting one glass substrate 1 to the unloading position P2 from S3 is provided. The transporter 70 has a hollow rotary column 71 that stands vertically, and a slot 71a is formed along the longitudinal direction on the outer surface of the rotary column 71. The rotary column 71 is provided so that the upper and lower ends thereof are supported by the upper bearing 72a and the lower bearing 72b so as to rotate in the Z axis, and the upper and lower bearings 72a and 72b are formed on the upper beam ( It is attached to the upper and lower shafts 72e and 72f which are fixed to 72c) and lower base 72d, respectively. As shown in detail in FIG. 6, the rotational position of the rotary column 71 is determined by the positioning device 73. The positioning device 73 is mounted in the hole 73b of the positioning block 73a so that the stopper 73d, which is elastically received by the spring 73c, can be projected. The stopper 73d of the positioning device 73 is fitted to the hole 73f of the ring 73e fixed to the lower end of the outer surface of the rotary column 71 to restrain the rotational position of the rotary column 71. FIG. 6 shows that one hole 73f is formed on the outer surface of the rotary column 71, but the hole 73f corresponds to the positions of the loading, unloading and inspection stations S1 to S3, respectively. Dogs are formed. In addition, the rotary column 71 of the transporter 70 may be rotated by a well-known servo motor.

트랜스포터(70)의 로터리칼럼(71)에는 로터리칼럼(71)을 따라 승강운동, 즉 Z축병진운동할 수 있도록 모션헤드(Motion head: 74)가 설치되어 있으며, 모션헤드 (74)의 승강운동은 Z축리니어모션가이드(Linear motion guide: 75)에 의하여 안내된다. Z축리니어모션가이드(75)는 로터리칼럼(71)의 외면에 길이방향을 따라 평행하게 장착되어 있는 한쌍의 가이드레일(75a)과, 모션헤드(74)의 후단에 가이드레일 (75a)을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되어 있는 한쌍의 슬라이드블록(75b)으로 구성되어 있다. 모션헤드(74)의 상승 및 하강위치는 로터리칼럼(71)의 상단에 장착되어 있는 어퍼스토퍼(76a)와, 로터리칼럼(71)의 대략 중앙에 장착되어 있는 로워스토퍼(76b)에 의하여 제한된다. 모션헤드(74)의 최대하강위치는 베이스(71b)의 상면에 수직하게 기립되어 있는 스톱포스트(77)와, 스톱포스트(77)에 접촉될 수 있도록 모션헤드(74)의 하면에 장착되어 있는 쇽업쇼버(78)에 의하여 제한된다. 스톱포스트(77)의 슬롯(77a)에는 볼트(77b)의 체결에 의하여 스토퍼블록(77c)이 장착되어 있으며, 쇽업쇼버(78)는 스토퍼블록(77c)에 접촉되어 모션헤드(74)의 최대하강위치를 구속한다. The rotary column 71 of the transporter 70 is provided with a motion head 74 to move up and down, that is, Z-axis translation along the rotary column 71, and the motion head 74 moves up and down. The motion is guided by a Z-axis linear motion guide (75). The Z-axis linear motion guide 75 has a pair of guide rails 75a mounted in parallel in the longitudinal direction on the outer surface of the rotary column 71 and along the guide rails 75a at the rear end of the motion head 74. It is composed of a pair of slide blocks (75b) that are mounted to slide. The upward and downward positions of the motion head 74 are limited by the upper stopper 76a mounted on the upper end of the rotary column 71 and the lower stopper 76b mounted in the center of the rotary column 71. . The maximum lowering position of the motion head 74 is mounted on the stop post 77 standing upright on the top surface of the base 71b and on the bottom surface of the motion head 74 so as to be in contact with the stop post 77. It is limited by the shock absorber 78. A stopper block 77c is mounted in the slot 77a of the stop post 77 by the fastening of the bolt 77b, and the shock absorber 78 is in contact with the stopper block 77c to maximize the motion head 74. Restrain the falling position.

또한, 트랜스포터(70)는 로터리칼럼(71)을 따라 모션헤드(74)를 승강운동시키는 구동수단으로 업다운에어실린더(79)를 구비한다. 업다운에어실린더(79)는 로터리칼럼(71)의 내측에 수직하게 장착되어 있으며, 업다운에어실린더(79)의 실린더로드(79a)는 로터리칼럼(71)의 슬롯(71a)을 관통하는 커넥팅바(Connecting bar: 79b)에 의하여 모션헤드(74)의 후단에 연결되어 있다. 본 실시예에 있어서 업다운에어실린더(79)는 모션헤드(74)의 원활한 승강운동을 위하여 밸런스실린더로 구성되어 있다. 모션헤드(74)의 구동수단은 서보모터의 구동에 의하여 회전하는 볼스크루(Ball screw)와, 이 볼스크루를 따라 나사운동하여 모션헤드(74)를 운동시키는 너트와, 모션헤드(74)의 운동을 안내하는 리니어모션가이드로 구성되는 리니어모션액츄에이터(Linear motion actuator)를 적용할 수도 있다. 또한, 리니어모션액츄에이터는 가이드레일과, 이 가이드레일을 따라 슬라이딩운동하여 모션헤드(74)를 운동시키는 슬라이드블록과, 슬라이드블록에 내장되어 가이드레일을 따라 슬라이드블록을 슬라이딩운동시키는 리니어모터(Linear motor)로 구성되는 리니어모터가이드 (Linear motor guide)로 대신할 수도 있다.In addition, the transporter 70 includes an up-down air cylinder 79 as driving means for lifting and lowering the motion head 74 along the rotary column 71. The up-down air cylinder 79 is mounted vertically inside the rotary column 71, and the cylinder rod 79a of the up-down air cylinder 79 passes through the slot 71a of the rotary column 71 Connecting bar: 79b) is connected to the rear end of the motion head 74. In this embodiment, the up-down air cylinder 79 is constituted by a balance cylinder for smooth movement of the motion head 74. As shown in FIG. The driving means of the motion head 74 includes a ball screw that rotates by driving the servomotor, a nut that moves the motion head 74 by screwing along the ball screw, and a motion of the motion head 74. It is also possible to apply a linear motion actuator consisting of a linear motion guide to guide the motion. In addition, the linear motion actuator includes a guide rail, a slide block sliding the motion head 74 by sliding along the guide rail, and a linear motor built into the slide block to slide the slide block along the guide rail. It can also be replaced by a linear motor guide consisting of).

도 6과 도 7에 도시되어 있는 바와 같이, 트랜스포터(70)의 모션헤드(74)에는 모션헤드(74)에 대하여 신축시킬 수 있는 신축수단으로 X축리니어모션가이드 (80)가 설치되어 있다. X축리니어모션가이드(80)는 모션헤드(74)의 선단으로부터 X축방향의 직선운동에 의하여 신장시킬 수 있는 길이가 긴 한쌍의 슬라이드레일 (80a)과, 이 슬라이드레일(80a)의 직선운동을 안내할 수 있도록 모션헤드(74)의 하면에 장착되어 있는 한쌍의 가이드블록(80b)으로 구성되어 있다. 슬라이드레일 (80a)의 행정은 위치규제기구(81)에 의하여 구속된다. 위치규제기구(81)는 모션헤드(74)의 하면 양측에 소정의 간격을 두고 각각 장착되어 있는 좌측스토퍼(81a) 및 우측스트퍼(81b)와, 슬라이드레일(80a)의 후단에 고정되어 있으며 좌측 및 우측스토퍼(81a, 81b)에 걸려 슬라이드레일(80a)의 직선운동을 구속하는 도그(81c)로 구성되어 있다. 슬라이드레일(80a)의 선단에는 마운팅플레이트(82)가 장착되어 있다.As shown in FIG. 6 and FIG. 7, the motion head 74 of the transporter 70 is provided with an X-axis linear motion guide 80 as expansion and contraction means that can be expanded and contracted with respect to the motion head 74. . The X-axis linear motion guide 80 has a pair of long slide rails 80a that can be extended by the linear motion in the X-axis direction from the tip of the motion head 74, and the linear motion of the slide rails 80a. It consists of a pair of guide blocks (80b) mounted on the lower surface of the motion head 74 to guide the. The stroke of the slide rail 80a is restrained by the position regulating mechanism 81. Positioning mechanism 81 is fixed to the rear end of the slide rail (80a) and the left stopper (81a) and the right stripper (81b), which are mounted at predetermined intervals on both sides of the lower surface of the motion head (74). It consists of the dog 81c which hangs on the left and right stopper 81a, 81b, and restrains the linear motion of the slide rail 80a. The mounting plate 82 is attached to the tip of the slide rail 80a.

도 5 내지 도 9를 모두 참조하면, 마운팅플레이트(82)의 양측에는 유리기판 (1)의 상측단 양측을 척킹할 수 있도록 한쌍의 제1 척킹유닛(90)이 장착되어 있다. 제1 척킹유닛(90)의 고정그리퍼(91)는 브래킷(92)에 의하여 마운팅플레이트(82)에 고정되어 있고, 가동그리퍼(93)는 고정그리퍼(91)와 협동하여 유리기판(1)의 상측단을 척킹한다. 가동그리퍼(93)는 척킹에어실린더(94)의 실린더로드(94a)에 연결되어 있으며, 척킹에어실린더(94)는 마운팅플레이트(82)에 장착되어 있다. 고정그리퍼(91)의 내면에는 유리기판(1)의 보호를 위하여 유연성을 갖는 패드(91a)가 부착되어 있고, 가동그리퍼(93)에는 브래킷(92)을 관통하여 가동그리퍼(93)의 직선운동을 안내하는 한쌍의 가이드바(95)가 연결되어 있다. 5 to 9, a pair of first chucking units 90 are mounted on both sides of the mounting plate 82 to chuck both sides of the upper end of the glass substrate 1. The fixed gripper 91 of the first chucking unit 90 is fixed to the mounting plate 82 by the bracket 92, and the movable gripper 93 cooperates with the fixed gripper 91 to form the glass substrate 1. Chuck the top end. The movable gripper 93 is connected to the cylinder rod 94a of the chucking air cylinder 94, and the chucking air cylinder 94 is mounted to the mounting plate 82. The inner surface of the fixed gripper 91 is attached with a flexible pad 91a for protection of the glass substrate 1, and the movable gripper 93 penetrates the bracket 92 to linearly move the movable gripper 93. A pair of guide bars 95 for guiding are connected.

또한, 마운팅플레이트(82)의 양측단에는 유리기판(1)의 양측단을 척킹할 수 있도록 한쌍의 제2 척킹유닛(100)이 장착되어 있다. 제2 척킹유닛(100)은 마운팅플레이트(82)의 양측에 장착되어 있는 아암(101)의 선단에 피봇(102)을 중심으로 회전운동할 수 있도록 장착되어 있는 로터리플레이트(103)와, 로터리플레이트(103)를 회전운동시키는 에어실린더(104)로 구성되어 있다. 에어실린더(104)의 실린더로드 (104a)는 피봇(105a)에 의하여 로터리플레이트(103)의 일측에 연결되어 있고, 에어실린더(104)의 후단은 피봇(105b)에 의하여 마운팅플레이트(82)에 연결되어 있다. 로터리플레이트(103)의 하측에는 승강운동할 수 있도록 제1 업다운플레이트(106)가 배치되어 있으며, 제1 업다운플레이트(106)에는 로터리플레이트(103)를 관통하여 제1 업다운플레이트(106)의 승강운동을 안내하는 한쌍의 제1 가이드바(107)가 연결되어 있다. 로터리플레이트(103)의 상면에 장착되어 있는 제1 업다운에어실린더 (108)의 실린더로드(108a)는 로터리플레이트(103)를 관통하여 제1 업다운플레이트 (106)에 연결되어 있다.In addition, a pair of second chucking units 100 are mounted at both ends of the mounting plate 82 to chuck both ends of the glass substrate 1. The second chucking unit 100 is a rotary plate 103 mounted on both ends of the mounting plate 82 so as to rotate about the pivot 102, and a rotary plate. The air cylinder 104 which rotates 103 is comprised. The cylinder rod 104a of the air cylinder 104 is connected to one side of the rotary plate 103 by the pivot 105a, and the rear end of the air cylinder 104 is mounted to the mounting plate 82 by the pivot 105b. It is connected. The first up-down plate 106 is disposed below the rotary plate 103 to move up and down, and the first up-down plate 106 penetrates the rotary plate 103 to move up and down the first up-down plate 106. A pair of first guide bars 107 for guiding the movement are connected. The cylinder rod 108a of the first up-down air cylinder 108 mounted on the upper surface of the rotary plate 103 is connected to the first up-down plate 106 through the rotary plate 103.

제1 업다운플레이트(106)의 하측에 승강운동할 수 있도록 제2 업다운플레이 트(109)가 배치되어 있으며, 제2 업다운플레이트(109)에는 제1 업다운플레이트 (108)를 관통하여 제2 업다운플레이트(109)의 승강운동을 안내하는 한쌍의 제2 가이드바(110)가 연결되어 있다. 제1 업다운플레이트(109)의 상면에 장착되어 있는 제2 업다운에어실린더(111)의 실린더로드(111a)는 제1 업다운플레이트(109)를 관통하여 제2 업다운플레이트(109)에 연결되어 있다. 제2 업다운플레이트(109)의 선단에는 유리기판(1)의 양측단을 척킹하는 한쌍의 그리퍼(112a, 112b)를 갖는 에어척 (112)이 장착되어 있다. 그리고 모션헤드(74)의 선단에는 로터리칼럼(71)의 Z축회전운동과 X축리니어모션가이드(80)의 신축운동을 위하여 작업자가 잡을 수 있는 핸들(113)이 하방으로 길게 연장되어 있다. 핸들(113)에는 트랜스포터(70)의 업다운에어실린더(79), 척킹에어실린더(94), 에어실린더(104), 제1 및 제2 업다운에어실린더(108, 111)와 에어척(112)을 제어하기 위한 복수의 온오프스위치(114a)를 갖는 컨트롤보드(114)가 구성되어 있다. 핸들(113)의 양측 상단은 한쌍의 서포트바(115)에 의하여 마운팅플레이트(82)의 후면에 고정되어 있다.A second up-down plate 109 is disposed to move up and down below the first up-down plate 106, and the second up-down plate 109 penetrates through the first up-down plate 108 and the second up-down plate 108. A pair of second guide bars 110 for guiding the lifting movement of 109 is connected. The cylinder rod 111a of the second up-down air cylinder 111 mounted on the upper surface of the first up-down plate 109 penetrates through the first up-down plate 109 and is connected to the second up-down plate 109. At the tip of the second up-down plate 109, an air chuck 112 having a pair of grippers 112a and 112b for chucking both ends of the glass substrate 1 is mounted. And the handle 113 which can be grabbed by the operator for the Z-axis rotational movement of the rotary column 71 and the expansion and contraction of the X-axis linear motion guide 80 extends downwards at the tip of the motion head 74. The handle 113 has an up-down air cylinder 79, a chucking air cylinder 94, an air cylinder 104, first and second up-down air cylinders 108, 111, and an air chuck 112 of the transporter 70. Control board 114 having a plurality of on-off switch 114a for controlling the configuration is configured. The upper ends of both sides of the handle 113 are fixed to the rear surface of the mounting plate 82 by a pair of support bars 115.

도 1과 도 10을 참조하면, 본 발명의 검사시스템은 트랜스포터(70)로부터 유리기판(1)을 인수하여 다자유도운동시킬 수 있도록 검사스테이션(S3)에 설치되어 있는 핸들러(Handler: 120)를 구비한다. 핸들러(120)는 베이스(121)의 샤프트(122)에 장착되어 있는 베어링(123)의 지지에 의하여 Z축회전운동할 수 있도록 수직하게 설치되어 있는 중공형 로터리칼럼(124)과, 로터리칼럼(124)에 대하여 로터리칼럼 (124)을 따라 승강운동, 즉 Z축병진운동할 수 있도록 설치되어 있는 모션거더 (Motion girder: 125)로 구성되어 있다. 그리고 중공형 로터리칼럼(124)의 외면에 는 길이방향을 따라 슬롯(124a)이 형성되어 있다.1 and 10, the inspection system of the present invention is a handler (120) installed in the inspection station (S3) to take over the glass substrate (1) from the transporter 70 to perform a multi-freedom movement. It is provided. The handler 120 includes a hollow rotary column 124 vertically installed to allow Z-axis rotational motion by the support of the bearing 123 mounted on the shaft 122 of the base 121, and a rotary column ( 124) is composed of a motion girder (125) installed to move up and down along the rotary column 124, that is, Z-axis translation. And the outer surface of the hollow rotary column 124 is formed with a slot 124a along the longitudinal direction.

도 10 내지 도 12에 도시되어 있는 바와 같이, 모션거더(125)의 승강운동은 Z축리니어모션가이드(126)에 의하여 안내된다. Z축리니어모션가이드(126)는 로터리칼럼(124)의 외면에 길이방향을 따라 평행하게 장착되어 있는 한쌍의 가이드레일 (126a)과, 가이드레일(126a)을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되어 있는 한쌍의 슬라이드블록(126b)과, 슬라이드블록(126b)에 부착되어 있으며 모션거더(125)의 일측이 부착되어 있는 캐리지(Carriage: 126c)로 구성되어 있다. 모션거더(125)의 상승 및 하강위치는 로터리칼럼(124)의 상단에 장착되어 있는 어퍼스토퍼(127a)와, 로터리칼럼(124)의 대략 중앙에 장착되어 있는 로워스토퍼(127b)에 의하여 제한된다. 그리고 Z축리니어모션가이드(126)의 캐리지(126c)의 좌측단에는 사이드스토퍼 (127c)가 장착되어 있으며, 모션거더(125)의 후면에는 사이드스토퍼(127c)에 걸려 모션거더(125)의 X축병진운동을 구속하는 도그(127d)가 장착되어 있다. 10 to 12, the lifting motion of the motion girder 125 is guided by the Z-axis linear motion guide 126. The Z-axis linear motion guide 126 is mounted on the outer surface of the rotary column 124 so as to slide along a guide rail 126a and a guide rail 126a. It consists of a pair of slide block 126b and the carriage 126c attached to the slide block 126b and to which one side of the motion girder 125 is attached. The rising and lowering positions of the motion girder 125 are limited by the upper stopper 127a mounted at the upper end of the rotary column 124 and the lower stopper 127b mounted at approximately the center of the rotary column 124. . The side stopper 127c is mounted at the left end of the carriage 126c of the Z-axis linear motion guide 126, and the rear side of the motion girder 125 is caught by the side stopper 127c and the X of the motion girder 125 is mounted. A dog 127d for restraining the axial translation is mounted.

본 발명의 핸들러(120)는 로터리칼럼(124)을 따라 모션거더(125)를 승강운동시키는 구동수단으로 업다운에어실린더(128)를 구비한다. 업다운에어실린더(128)는 로터리칼럼(124)의 내측에 장착되어 있으며, 업다운에어실린더(128)의 실린더로드 (128a)는 로터리칼럼(124)의 슬롯(124a)을 관통하는 커플링바(128b)에 의하여 모션거더(125)가 고정되어 있는 Z축리니어모션가이드(126)의 캐리지(126c)에 연결되어 있다. 본 실시예에 있어서 업다운에어실린더(128)는 모션거더(125)의 원활한 승강운동을 위하여 밸런스실린더로 구성되어 있다. 모션거더(125)의 구동수단은 모션헤드(74)의 구동수단과 마찬가지로 리니어모션액츄에이터나 리니어모터가이드로 대신 할 수도 있다. 그리고 모션거더(125)는 X축병진운동은 X축리니어모션가이드(129)에 의하여 안내된다. X축리니어모션가이드(129)의 캐리지(126c)의 전면에 장착되어 있는 가이드블록(129a)과, 모션거더(125)의 후면에 가이드블록(129a)을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되어 있는 슬라이드레일(129b)로 구성되어 있다. The handler 120 of the present invention includes an up-down air cylinder 128 as a driving means for lifting and lowering the motion girder 125 along the rotary column 124. The up-down air cylinder 128 is mounted inside the rotary column 124, and the cylinder rod 128a of the up-down air cylinder 128 passes through the slot 124a of the rotary column 124. By the motion girder 125 is connected to the carriage 126c of the Z-axis linear motion guide 126 is fixed. In this embodiment, the up-down air cylinder 128 is configured as a balance cylinder for smooth lifting and lowering of the motion girder 125. The driving means of the motion girder 125 may be replaced by a linear motion actuator or a linear motor guide, similarly to the driving means of the motion head 74. And the motion girder 125 is the X-axis translational motion is guided by the X-axis linear motion guide 129. A guide block 129a mounted on the front of the carriage 126c of the X-axis linear motion guide 129 and a slide mounted on the rear surface of the motion girder 125 to slide along the guide block 129a. It is comprised by the rail 129b.

도 10과 도 13에 도시되어 있는 바와 같이, 모션거더(125)의 선단에는 유리기판(1)을 홀딩하는 홀딩장치(130)가 설치되어 있다. 홀딩장치(130)의 사각형 림어셈블리(Rim assembly: 140)는 유리기판(1)의 각 변으로부터 이격되도록 서로 평행하게 배치되어 있는 상하측의 제1 및 제2 서포트바(141, 142)와 좌우측의 제3 및 제4 서포트바(143, 144)로 구성되어 있으며, 제1 내지 제4 서포트바(141∼144) 각각은 엘보우(145)에 의하여 연결되어 있다. 림어셈블리(140)의 제2 서포트바(142)에는 유리기판(1)의 하측단을 지지하는 복수의 레스트(Rest: 146)가 장착되어 있다. 10 and 13, a holding device 130 for holding the glass substrate 1 is provided at the tip of the motion girder 125. The rectangular rim assembly 140 of the holding device 130 is disposed on the left and right sides of the first and second support bars 141 and 142 which are arranged in parallel with each other so as to be spaced apart from each side of the glass substrate 1. The third and fourth support bars (143, 144) of the, each of the first to fourth support bars (141 to 144) are connected by an elbow (145). The second support bar 142 of the rim assembly 140 is equipped with a plurality of rests 146 supporting the lower end of the glass substrate 1.

도 10과 도 13 내지 도 15를 참조하면, 제3 및 제4 서포트바(143. 144) 각각의 외면에는 유리기판(1)의 양측단을 척킹하는 복수의 사이드척킹유닛(Side chucking unit: 150)이 서로 대향되도록 장착되어 있다. 사이드척킹유닛(150)은 제3 및 제4 서포트바(143, 144)에 고정되어 있는 고정그리퍼(151)와, 이 고정그리퍼(151)에 대하여 피봇(152)을 중심으로 회전하여 유리기판(1)의 양측단을 척킹할 수 있도록 장착되어 있는 가동그리퍼(153)와, 피봇(152)을 중심으로 가동그리퍼 (153)를 회전운동시키는 척킹에어실린더(154)로 구성되어 있다. 척킹에어실린더 (154)의 실린더로드(154a)는 피봇(155a)에 의하여 가동그리퍼(153)의 일단에 연결 되어 있고, 척킹에어실린더(154)의 후단은 피봇(155b)에 의하여 클램프(156)에 연결되어 있다. 그리고 클램프(156)는 제3 및 제4 서포트바(143, 144)에 고정되어 있다. 10 and 13 to 15, a plurality of side chucking units 150 for chucking both ends of the glass substrate 1 on the outer surface of each of the third and fourth support bars 143 and 144. ) Are mounted to face each other. The side chucking unit 150 is fixed to the third and fourth support bars 143 and 144 by the fixed gripper 151 and the fixed gripper 151 about the pivot 152 by rotating the glass substrate ( It comprises a movable gripper 153 mounted to chuck both ends of 1) and a chucking air cylinder 154 for rotating the movable gripper 153 about the pivot 152. The cylinder rod 154a of the chucking air cylinder 154 is connected to one end of the movable gripper 153 by the pivot 155a, and the rear end of the chucking air cylinder 154 is the clamp 156 by the pivot 155b. Is connected to. The clamp 156 is fixed to the third and fourth support bars 143 and 144.

도 10, 도 13과 도 14에 도시되어 있는 바와 같이, 림어셈블리(140)의 제3 서포트바(143)에는 제4 서포트바(144)를 향하여 유리기판(1)을 정렬시킬 수 있도록 밀어주는 복수의 푸싱유닛(160)이 장착되어 있다. 푸싱유닛(160)은 제3 서포트바 (143)에 고정되어 있는 클램프(161)에 장착되어 있는 에어실린더(162)와, 에어실린더(162)의 실린더로드(162a)의 선단에 장착되어 있는 푸셔(163)로 구성되어 있다. 푸셔(163)는 클램프(161)를 관통하는 가이드바(164)의 안내에 의하여 직선운동된다. 푸싱유닛(160)은 제4 서포트바(144)로부터 제3 서포트바(143)를 향하여 유리기판(1)을 밀어줄 수 있도록 제4 서포트바(144)에 장착시킬 수도 있다. As shown in FIGS. 10, 13, and 14, the third support bar 143 of the rim assembly 140 pushes the glass substrate 1 toward the fourth support bar 144 to align the glass substrate 1. A plurality of pushing unit 160 is mounted. The pushing unit 160 is provided with an air cylinder 162 attached to the clamp 161 fixed to the third support bar 143 and a pusher mounted at the tip of the cylinder rod 162a of the air cylinder 162. It consists of 163. The pusher 163 is linearly moved by the guide of the guide bar 164 penetrating the clamp 161. The pushing unit 160 may be mounted on the fourth support bar 144 to push the glass substrate 1 toward the third support bar 143 from the fourth support bar 144.

도 10, 도 13과 도 16a 및 도 16에 도시되어 있는 바와 같이, 림어셈블리 (140)의 상부에는 레스트(146)에 지지되어 있는 유리기판(1)의 상측단을 척킹하는 어퍼척킹유닛(170)을 구비한다. 어퍼척킹유닛(170)은 림어셈블리(140)의 제1 서포트바(141)에 고정되어 있으며 베어링(171a)을 갖는 다수의 클램프(171)와, 클램프 (171)의 베어링(171a)에 의하여 회전할 수 있도록 지지되어 있는 샤프트(172)와, 샤프트(172)를 회전시킬 수 있도록 실린더로드(173a)가 연결되어 있는 에어실린더 (173a)로 구성되어 있다. 에어실린더(173)의 실린더로드(173a)는 커플러(174a)에 의하여 샤프트(172)의 일단에 연결되어 있으며, 에어실린더(173)는 커플러(174b)에 의하여 림어셈블리(140)의 제3 서포트바(143)에 연결되어 있다. 그리고 어퍼척킹유 닛(170)은 림어셈블리(140)의 제1 서포트바(143)에 유리기판(1)의 상측단을 지지할 수 있도록 고정되어 있는 다수의 고정그리퍼(175)와, 고정그리퍼(175)와 협동하여 유리기판(1)의 상측단을 척킹할 수 있도록 샤프트(172)에 장착되어 있는 다수의 가동그리퍼(176)를 갖는다. 고정 및 가동그리퍼(175, 176) 각각에는 유리기판(1)을 보호할 수 있도록 유연성을 갖는 패드(175a, 176a)가 부착되어 있다.As shown in FIGS. 10, 13, 16A, and 16, an upper chucking unit 170 that chucks an upper end of the glass substrate 1 supported by the rest 146 on the upper portion of the rim assembly 140. ). The upper chucking unit 170 is fixed to the first support bar 141 of the rim assembly 140 and rotates by a plurality of clamps 171 having a bearing 171a and a bearing 171a of the clamp 171. It consists of the shaft 172 supported so that it may be supported, and the air cylinder 173a to which the cylinder rod 173a is connected so that the shaft 172 may rotate. The cylinder rod 173a of the air cylinder 173 is connected to one end of the shaft 172 by a coupler 174a, and the air cylinder 173 is supported by the coupler 174b of the third support of the rim assembly 140. It is connected to the bar 143. The upper chucking unit 170 includes a plurality of fixed grippers 175 and fixed grippers fixed to the first support bar 143 of the rim assembly 140 to support the upper end of the glass substrate 1. It has a plurality of movable grippers 176 mounted to the shaft 172 so as to chuck the upper end of the glass substrate 1 in cooperation with 175. Each of the fixed and movable grippers 175 and 176 has pads 175a and 176a having flexibility to protect the glass substrate 1.

도 10과 도 13을 다시 참조하면, 림어셈블리(140)는 홀더어셈블리(180)에 회전운동할 수 있도록 장착된다. 홀더어셈블리(180)는 림어셈블리(140)의 제3 서포트바(143)에 대하여 평행하게 배치되어 있는 제1 서포트바(181)와, 림어셈블리(140)의 제1 및 제2 서포트림(141, 142)의 외측에 배치되어 있으며 제1 서포트바(181)의 상하단에 서로 평행하게 연결되어 있는 제2 서포트바(182) 및 제3 서포트바(183)로 구성되어 있다. 홀더어셈블리(180)의 제2 및 제3 서포트바(182, 183)는 제1 서포트바(181)의 상하단에 "ㄷ"자형을 이루도록 엘보우(184)에 의하여 각각 연결되어 있다. 홀더어셈블리(180)의 제2 및 제3 서포트바(182, 183)의 선단에는 클램프(185)의 피봇(185a)을 중심으로 림어셈블리(140)의 제1 및 제2 서포트바(141, 142)의 중앙이 회전운동할 수 있도록 연결되어 있다. 그리고 홀더어셈블리(180)의 제1 서포트바(181)는 그 중앙이 로터리액츄에이터(190)의 로우터(Rotor: 190a)와 커플러 (191)에 의하여 연결되어 있으며, 로터리액츄에이터(190)는 모션거더(125)의 선단에 고정되어 있다. 도 13에 자세히 도시되어 있는 바와 같이, 로터리액츄에이터 (190)의 초기회전위치는 위치결정장치(192)에 의하여 결정된다. 위치결정장치(192)는 포지셔닝블록(192a)의 구멍(192b)에 스프링(192c)의 탄성을 받는 스토퍼(192d) 가 출몰할 수 있도록 장착되어 있다. 위치결정장치(192)의 스토퍼(192d)는 로우터 (190a)의 외면에 형성되어 있는 홈(192e)에 맞춤되어 로우터(190a)의 초기회전위치를 구속하며, 로터리액츄에이터(190)의 초기회전위치는 유리기판(1)을 트랜스포터 (70)로부터 홀딩장치(130)의 림어셈블리(140)에 인계하거나 홀딩장치(130)의 림어셈블리(140)로부터 트랜스포터(70)로 인계할 수 있도록 림어셈블리(140)의 초기위치와 동일하게 설정되어 있다. Referring back to FIGS. 10 and 13, the rim assembly 140 is mounted to rotate on the holder assembly 180. The holder assembly 180 includes a first support bar 181 disposed in parallel with the third support bar 143 of the rim assembly 140, and first and second support rims 141 of the rim assembly 140. 142 and a second support bar 182 and a third support bar 183 are connected to the upper and lower ends of the first support bar 181 in parallel with each other. The second and third support bars 182 and 183 of the holder assembly 180 are connected to the upper and lower ends of the first support bar 181 by elbows 184 so as to form a "c" shape. First and second support bars 141 and 142 of the rim assembly 140 around the pivot 185a of the clamp 185 at the ends of the second and third support bars 182 and 183 of the holder assembly 180. ) Is connected to the center of rotation. The center of the first support bar 181 of the holder assembly 180 is connected by a rotor 190a and a coupler 191 of the rotary actuator 190, and the rotary actuator 190 is a motion girder (1). It is fixed to the tip of 125). As shown in detail in FIG. 13, the initial rotational position of the rotary actuator 190 is determined by the positioning device 192. The positioning device 192 is mounted to the hole 192b of the positioning block 192a so that the stopper 192d receiving the elasticity of the spring 192c can protrude. The stopper 192d of the positioning device 192 fits into the groove 192e formed on the outer surface of the rotor 190a to constrain the initial rotational position of the rotor 190a, and the initial rotational position of the rotary actuator 190. The rim may take over the glass substrate 1 from the transporter 70 to the rim assembly 140 of the holding device 130 or to take over from the rim assembly 140 of the holding device 130 to the transporter 70. It is set equal to the initial position of the assembly 140.

도 10과 도 17에 도시되어 있는 바와 같이, 림어셈블리(140)의 운동은 로터리칼럼(124)과 근접하도록 베이스(121)의 상면에 장착되어 있는 제1 로킹장치(200)에 의하여 구속된다. 제1 로킹장치(200)는 베이스(121)의 상면에 장착되어 있는 가이드레일(201)을 가지며, 가이드레일(201)에는 가이드레일(201)을 따라 슬라이딩운동하는 슬라이드블록(202)이 세팅스크루(202a)에 의하여 고정되어 있다. 슬라이드블록(202)의 슬롯(202a)을 따라 높이를 조절할 수 있도록 셋팅블록(203)이 볼트 (204)의 체결에 의하여 장착되어 있고, 셋팅블록(203)의 상부에는 실린더로드 (205a)를 갖는 한쌍의 로킹에어실린더(205)가 서로 대향되도록 장착되어 있다. 림어셈블리(140)의 제2 서포트바(142)와 제3 서포트바(143)를 연결하는 엘보우(145)에는 로킹블록(206)이 부착되어 있으며, 로킹블록(206)에는 로킹에어실린더(205)의 실린더로드(205a)가 맞춤될 수 있는 로킹구멍(207)이 형성되어 있다. 로킹에어실린더(205)는 한쌍으로 구성된 것을 설명하였으나 하나만을 사용할 수 있으며 솔레노이드로 대신할 수도 있다. As shown in FIGS. 10 and 17, the motion of the rim assembly 140 is constrained by the first locking device 200 mounted on the top surface of the base 121 to approach the rotary column 124. The first locking device 200 has a guide rail 201 mounted on the upper surface of the base 121, the slide block 202 sliding sliding along the guide rail 201 is set screw It is fixed by 202a. The setting block 203 is mounted by the fastening of the bolt 204 so that the height can be adjusted along the slot 202a of the slide block 202, and the cylinder block 203a is provided on the top of the setting block 203. A pair of locking air cylinders 205 are mounted to face each other. A locking block 206 is attached to the elbow 145 connecting the second support bar 142 and the third support bar 143 of the rim assembly 140, and the locking air cylinder 205 is attached to the locking block 206. A locking hole 207 is formed in which the cylinder rod 205a of the " Although the locking air cylinder 205 has been described as being configured in pairs, only one may be used and may be replaced by a solenoid.

도 10과 도 18에 도시되어 있는 바와 같이, 본 발명의 핸들러(120)는 림어셈 블리(140)의 운동을 구속하는 제2 로킹장치(210)를 구비한다. 제2 로킹장치(210)는 림어셈블리(140)의 제4 서포트바(144)와 근접하도록 베이스(121)의 상면에 장착되어 있는 가이드레일(211)을 가지며, 가이드레일(211)에는 가이드레일(211)을 따라 슬라이딩운동하는 슬라이드블록(212)이 세팅스크루(213)에 의하여 고정되어 있다. 슬라이드블록(212)의 슬롯(212a)을 따라 높이를 조절할 수 있도록 셋팅블록(213)이 볼트(214)의 체결에 의하여 장착되어 있고, 셋팅블록(213)의 측면에는 로킹에어실린더(215)가 대향되도록 장착되어 있다. 로킹에어실린더(215)의 실린더로드(215a)는 셋팅블록(213)에 고정되어 있는 피봇(216)을 중심으로 회전운동하는 레버(217)의 하단에 연결되어 있으며, 레버(217)의 타단에는 자유롭게 회전할 수 있도록 로킹롤러(218)가 장착되어 있다. 셋팅블록(213)의 상면에는 원추형 셋팅핀(219)이 장착되어 있다. 그리고 림어셈블리(140)의 제2 서포트바(142)와 제4 서포트바(144)를 연결하는 엘보우(145)에는 로킹블록(220)이 부착되어 있다. 로킹블록(220)의 전면에는 로킹롤러(218)가 맞춤되는 로킹구멍(221)이 형성되어 있고 하면에는 셋팅핀 (219)이 맞춤되는 셋팅구멍(222)이 형성되어 있다. 핸들러(120)의 초기위치는 제1 및 제2 로킹장치(200, 210)에 의하여 림어셈블리(140)의 운동이 구속되어 트랜스포터(70)로부터 유리기판(1)을 인수하고 트랜스포터(70)로 다시 인계할 수 있도록 설정된다.As shown in FIGS. 10 and 18, the handler 120 of the present invention includes a second locking device 210 that constrains the motion of the rim assembly 140. The second locking device 210 has a guide rail 211 mounted on an upper surface of the base 121 to approach the fourth support bar 144 of the rim assembly 140, and the guide rail 211 has a guide rail 211. A slide block 212 sliding along 211 is fixed by the setting screw 213. The setting block 213 is mounted by fastening the bolt 214 to adjust the height along the slot 212a of the slide block 212, and the locking air cylinder 215 is provided on the side of the setting block 213. It is mounted to face each other. The cylinder rod 215a of the locking air cylinder 215 is connected to the lower end of the lever 217 that rotates about the pivot 216 fixed to the setting block 213, and the other end of the lever 217 The locking roller 218 is mounted to rotate freely. The conical setting pin 219 is mounted on an upper surface of the setting block 213. The locking block 220 is attached to the elbow 145 connecting the second support bar 142 and the fourth support bar 144 of the rim assembly 140. The front surface of the locking block 220 is formed with a locking hole 221 to which the locking roller 218 is fitted, and a setting hole 222 to which the setting pin 219 is fitted. The initial position of the handler 120 is constrained by the movement of the rim assembly 140 by the first and second locking devices 200 and 210 to take over the glass substrate 1 from the transporter 70 and to transport the transporter 70. It is set to take over again.

지금부터는 이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 유리기판의 검사시스템에 대한 작용을 설명한다.Now, the operation of the inspection system of the glass substrate according to the present invention having such a configuration will be described.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 우선 작업자는 로딩스탠드(20)의 격납실(21)에 검사가 요구되는 여러장의 유리기판(1)이 수납되어 있는 컨테이너(10)를 수용시키고, 언로딩스탠드(30)의 격납실(31)에는 검사를 완료한 유리기판(1)을 회수할 수 있도록 빈 컨테이너(10)를 수용시킨다. 롤러컨베이어(23, 33)의 롤러(25, 35)를 타고 이송되던 컨테이너(10)의 이송방향선단은 포지셔너(40)의 스토퍼(41)에 구속되어 정지된다. 푸싱유닛(43)의 에어실린더(44)가 작동되어 실린더로드(44a)를 전진시키면, 푸싱바(45)가 컨테이너(10)의 양측면을 중앙으로 밀어 정렬시킨다. 에어실린더(44)의 실린더로드(44a)가 후퇴되어 푸싱바(45)를 복귀시키고, 클램핑유닛(42)의 액츄에이터(42b)가 작동되어 푸셔(42a)에 의하여 컨테이너(10)의 이송방향후단을 밀어주게 되면, 컨테이너(10)는 스토퍼(141)와 푸셔(42a)의 협동에 의하여 정렬되면서 견고하게 클램핑된다.Referring to FIGS. 1 to 3, first, an operator accommodates a container 10 in which a plurality of glass substrates 1 are required to be inspected in an enclosure 21 of a loading stand 20, and an unloading stand. The containment chamber 31 of 30 receives the empty container 10 so that the glass substrate 1 which completed the test | inspection may be collect | recovered. The tip of the conveyance direction of the container 10, which has been conveyed by the rollers 25 and 35 of the roller conveyors 23 and 33, is restrained by the stopper 41 of the positioner 40 and stopped. When the air cylinder 44 of the pushing unit 43 is operated to advance the cylinder rod 44a, the pushing bar 45 pushes both sides of the container 10 toward the center to align it. The cylinder rod 44a of the air cylinder 44 is retracted to return the pushing bar 45, and the actuator 42b of the clamping unit 42 is operated so that the back end of the container 10 is moved by the pusher 42a. When pushed in, the container 10 is firmly clamped while being aligned by the cooperation of the stopper 141 and the pusher 42a.

도 2와 도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 로딩스탠드(20)의 격납실(21)에 수용되는 컨테이너(10)의 양측면에 개방부(13)가 형성되어 있는 경우, 로워푸싱유닛 (51)의 에어실린더(52)가 작동되어 실린더로드(52a)를 전진시키면, 푸싱바(53)가 컨테이너(10)에 수납되어 있는 유리기판(1)의 양측단을 중앙으로 밀어 정렬시킨다. 유리기판(1)의 정렬이 완료되면, 에어실린더(52)의 실린더로드(52a)가 후퇴되어 푸싱바(53)를 복귀시킨다. 컨테이너(10)의 양측면이 폐쇄되어 있는 폐쇄형 컨테이너의 경우, 작업자는 어퍼푸싱유닛(56)의 조절핸들(59c)을 조작하여 너트(59a)를 따라 리드스크루(59)를 나사운동시킴으로써, 푸싱바(60)에 의하여 컨테이너(10)에 수납되어 있는 유리기판(1)의 양측단을 중앙으로 밀어 정렬시킨다.As shown in FIGS. 2 and 3, when the openings 13 are formed on both sides of the container 10 accommodated in the compartment 21 of the loading stand 20, the lower pushing unit 51 is formed. When the air cylinder 52 is operated to advance the cylinder rod 52a, the pushing bar 53 pushes both ends of the glass substrate 1 housed in the container 10 to the center to align it. When the alignment of the glass substrate 1 is completed, the cylinder rod 52a of the air cylinder 52 is retracted and the pushing bar 53 is returned. In the case of a closed container in which both sides of the container 10 are closed, the operator pushes the lead screw 59 along the nut 59a by manipulating the adjusting handle 59c of the upper pushing unit 56, thereby pushing. Both ends of the glass substrate 1 accommodated in the container 10 by the bar 60 are pushed to the center and aligned.

도 1과 도 5 내지 도 7을 참조하면, 작업자는 로딩 및 언로딩스탠드(20, 30) 각각의 격납실(21, 31)에 컨테이너(10)의 준비가 완료되면, 트랜스포터(70)를 작동시켜 로딩스탠드(20)의 컨테이너(10)로부터 한장의 유리기판(1)을 검사스테이션 (S3)의 핸들러(120)로 이송시킨다. 제1 척킹유닛(90)의 고정그리퍼(91)와 가동그리퍼(93)가 벌어지도록 척킹에어실린더(94)의 실린더로드(94a)가 후퇴된 후, 업다운에어실린더(79)의 실린더로드(79a)가 후퇴되어 로터리칼럼(71)의 하측으로 모션헤드(74)를 하강시킨다. 모션헤드(74)의 하강위치는 로워스토퍼(76b)에 의하여 제한된다. 업다운에어실린더(79)의 오작동으로 인하여 모션헤드(74)의 쇽업소버(78)가 포스트(77)의 상단에 걸리면, 모션헤드(74)의 최대하강위치가 제한된다. 따라서, 모션헤드(74)의 과도한 하강으로 인한 유리기판(1)의 파손 및 안전사고를 방지할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 5 to 7, when the operator prepares the container 10 in the storage rooms 21 and 31 of each of the loading and unloading stands 20 and 30, the transporter 70 may be moved. The glass substrate 1 is transferred from the container 10 of the loading stand 20 to the handler 120 of the inspection station S3. After the cylinder rod 94a of the chucking air cylinder 94 is retracted so that the fixed gripper 91 and the movable gripper 93 of the first chucking unit 90 are opened, the cylinder rod 79a of the up-down air cylinder 79 is retracted. ) Is retracted to lower the motion head 74 below the rotary column 71. The lowering position of the motion head 74 is limited by the lower stopper 76b. If the shock absorber 78 of the motion head 74 is caught on the top of the post 77 due to a malfunction of the up-down air cylinder 79, the maximum downward position of the motion head 74 is limited. Therefore, it is possible to prevent breakage and safety accident of the glass substrate 1 due to excessive falling of the motion head 74.

한편, 작업자는 모션헤드(74)의 하강동작과 병행하여 핸들(113)을 잡고 트랜스포터(70)의 로터리칼럼(71)을 Z축회전운동시키고, 모션헤드(74)를 따라 X축리니어모션가이드(80)의 슬라이드레일(80a)을 직선운동시켜 고정그리퍼(91)와 가동그리퍼(93) 사이에 예를 들어 컨테이너(10)의 이송방향후단에 수납되어 있는 첫번째 유리기판(1)의 상측단이 개재되도록 한다. 척킹에어실린더(94)의 실린더로드(94a)가 전진되면, 전진되는 가동그리퍼(93)는 고정그리퍼(91)와 협동하여 유리기판(1)의 상측단을 척킹한다. 이와 같이 제1 척킹유닛(90)의 고정 및 가동그리퍼(91, 93)에 의하여 유리기판(1)을 척킹할 때 제2 척킹유닛(100)의 에어척(112)은 도 6에 도시되어 있는 바와 같이 유리기판(1)의 상측단과 간섭되지 않도록 상승되어 있고, 에어척(109)의 그리퍼(112a, 112b)는 도 9에 가상선으로 도시되어 있는 바와 같이 벌 어져 있다. 그리고 제2 척킹유닛(100)의 로터리플레이트(103)는 에어척(112)의 그리퍼(112a, 112b)가 유리기판(1)의 양측단과 간섭되지 않고 외측으로 벗어나도록 에어실린더(104)의 실린더로드(104a)가 후퇴되어 있는 것에 의하여 피봇(102)을 중심으로 회전되어 있다. On the other hand, the operator grasps the handle 113 in parallel with the lowering motion of the motion head 74, and moves the rotary column 71 of the transporter 70 in the Z-axis rotation, along the X-axis linear motion along the motion head 74 The slide rail 80a of the guide 80 is linearly moved so that the upper side of the first glass substrate 1, which is stored between the stationary gripper 91 and the movable gripper 93, for example, at the rear end of the container 10 in the conveying direction. Allow the stage to intervene. When the cylinder rod 94a of the chucking air cylinder 94 is advanced, the movable gripper 93 which is advanced cooperates with the fixed gripper 91 to chuck the upper end of the glass substrate 1. As such, when the glass substrate 1 is chucked by the fixed and movable grippers 91 and 93 of the first chucking unit 90, the air chuck 112 of the second chucking unit 100 is illustrated in FIG. 6. As shown in FIG. 9, the gripper 112a and 112b of the air chuck 109 are raised so as not to interfere with the upper end of the glass substrate 1. In addition, the rotary plate 103 of the second chucking unit 100 has a cylinder of the air cylinder 104 such that the grippers 112a and 112b of the air chuck 112 do not interfere with both ends of the glass substrate 1 and move outward. As the rod 104a is retracted, the rod 104a is rotated about the pivot 102.

도 5, 도 8과 도 9를 참조하면, 업다운에어실린더(79)의 실린더로드(79a)가 전진되어 로터리칼럼(71)의 상측으로 모션헤드(74)를 상승시키면, 제1 척킹유닛 (90)에 의하여 척킹되어 있는 유리기판(1)도 함께 상승된다. 유리기판(1)의 하측단이 컨테이너(10)로부터 취출되기 이전에 제2 척킹유닛(100)의 제1 업다운에어실린더(108)의 실린더로드(108a)가 전진되어 제1 업다운플레이트(106)를 하강시킴으로써, 에어척(112)을 1차 하강시킨다. 그리고 제2 업다운에어실린더(111)의 실린더로드(111a)가 전진되어 제2 업다운플레이트(109)를 하강시킴으로써, 에어척(112)을 2차 하강시킨다. 에어실린더(104)의 실린더로드(104a)가 전진되어 피봇(102)을 중심으로 로터리플레이트(103)를 회전시키면, 에어척(112)의 그리퍼(112a, 112b) 사이에 유리기판(1)의 양측단이 개재된다. 그리고 에어척(112)의 그리퍼(112a, 112b)가 작동되어 유리기판(1)의 양측단을 척킹한다. 이때, 에어척(112)의 그리퍼(112a, 112b)는 유리기판(1)의 하측단과 근접하는 위치, 예를 들어 하측단으로부터 100∼200mm 사이의 양측단을 척킹한다. 이와 같이 유리기판(1)의 하측단이 컨테이너(10)로부터 취출되기 이전에 제2 척킹유닛(100)에 의하여 유리기판(1)의 양측단을 척킹함으로써, 유리기판(1)의 흔들림을 효과적으로 방지시켜 트랜스포터(70)에 의하여 유리기판(1)을 안정적으로 이송시킬 수 있다. 5, 8 and 9, when the cylinder rod 79a of the up-down air cylinder 79 is advanced to raise the motion head 74 above the rotary column 71, the first chucking unit 90 The glass substrate 1 chucked by) is also raised. Before the lower end of the glass substrate 1 is taken out of the container 10, the cylinder rod 108a of the first up-down air cylinder 108 of the second chucking unit 100 is advanced to the first up-down plate 106. By lowering, the air chuck 112 is first lowered. And the cylinder rod 111a of the 2nd up-down air cylinder 111 is advanced, and the 2nd up-down plate 109 is lowered, and the air chuck 112 is lowered secondary. When the cylinder rod 104a of the air cylinder 104 is advanced to rotate the rotary plate 103 about the pivot 102, the glass substrate 1 is held between the grippers 112a and 112b of the air chuck 112. Both ends are interposed. The grippers 112a and 112b of the air chuck 112 are operated to chuck both ends of the glass substrate 1. At this time, the grippers 112a and 112b of the air chuck 112 chuck a position close to the lower end of the glass substrate 1, for example, both side ends between 100 and 200 mm from the lower end. As described above, by chucking both ends of the glass substrate 1 by the second chucking unit 100 before the lower end of the glass substrate 1 is removed from the container 10, the shaking of the glass substrate 1 can be effectively prevented. By preventing it, the glass substrate 1 can be stably transferred by the transporter 70.

도 10, 도 17과 도 18을 참조하면, 핸들러(120)의 림어셈블리(140)는 트랜스포터(70)의 유리기판(1)을 인수할 수 있도록 제1 및 제2 로킹장치(200, 210)의 협동에 의하여 구속되는 초기위치에 셋팅되어 있다. 도 17에 도시되어 있는 바와 같이, 제1 로킹장치(200)의 로킹에어실린더(205)의 실린더로드(205a)가 로킹블록 (206)의 로킹구멍(207)에 로킹되어 있으면, 림어셈블리(140)의 운동은 구속된다. 도 18에 도시되어 있는 바와 같이, 제2 로킹장치(210)의 로킹롤러(218)는 로킹블록 (220)의 로킹구멍(221)에 로킹되고, 셋팅핀(219)은 로킹블록(220)의 셋팅구멍(221)에 로킹되어 있으면, 림어셈블리(140)의 운동은 구속된다. 도 14에 도시되어 있는 바와 같이, 트랜스포터(70)에 의하여 이송되는 유리기판(70)을 핸들러(120)의 림어셈블리(140)에 인계하기 위하여 사이드척킹유닛(150)의 가동그리퍼(153)는 고정그리퍼(151)로부터 벌어져 있고, 푸싱유닛(160)의 푸셔(163)는 후퇴되어 있다. 그리고 도 16a에 도시되어 있는 바와 같이, 어퍼척킹유닛(170)의 가동그리퍼(176)는 고정그리퍼(175)로부터 벌어져 있다.10, 17, and 18, the rim assembly 140 of the handler 120 allows the first and second locking devices 200, 210 to take over the glass substrate 1 of the transporter 70. It is set at the initial position constrained by the cooperation of). As shown in FIG. 17, if the cylinder rod 205a of the locking air cylinder 205 of the first locking device 200 is locked in the locking hole 207 of the locking block 206, the rim assembly 140 ) Is constrained. As shown in FIG. 18, the locking roller 218 of the second locking device 210 is locked in the locking hole 221 of the locking block 220, and the setting pin 219 of the locking block 220. When locked in the setting hole 221, the movement of the rim assembly 140 is restrained. As shown in FIG. 14, the movable gripper 153 of the side chucking unit 150 to take over the glass substrate 70 transferred by the transporter 70 to the rim assembly 140 of the handler 120. Is separated from the fixed gripper 151, and the pusher 163 of the pushing unit 160 is retracted. As shown in FIG. 16A, the movable gripper 176 of the upper chucking unit 170 is separated from the fixed gripper 175.

도 1과 도 10에 도시되어 있는 바와 같이, 작업자는 모션헤드(74)의 상승에 의하여 컨테이너(10)로부터 유리기판(1)이 완전히 취출되면, 트랜스포터(70)의 제1 및 제2 척킹유닛(90, 100)에 척킹되어 있는 유리기판(1)을 로터리칼럼(71)의 회전운동과 X축리니어모션가이드(80)의 신축운동을 병행시켜 림어셈블리(140)의 내측에 위치시킨다. 그리고 유리기판(1)의 하측단은 레스트(146)에 지지시시키고 양측단은 사이드척킹유닛(150)의 고정그리퍼(151)에 지지시킴과 동시에 상측단은 어퍼척킹유닛(170)의 고정그리퍼(175)에 지지시킨다. 1 and 10, when the glass substrate 1 is completely taken out of the container 10 by the lifting of the motion head 74, the operator first and second chucking of the transporter 70. The glass substrate 1 chucked to the units 90 and 100 is positioned inside the rim assembly 140 in parallel with the rotational movement of the rotary column 71 and the stretching movement of the X-axis linear motion guide 80. The lower end of the glass substrate 1 is supported by the rest 146, and both ends thereof are supported by the fixed gripper 151 of the side chucking unit 150, and the upper end thereof is the fixed gripper of the upper chucking unit 170. Support at 175.

도 10을 참조하면, 작업자는 트랜스포터(70)의 제1 및 제2 척킹유닛(90, 100)에 의한 유리기판(1)의 척킹을 해제한 후, 트랜스포터(70)는 초기위치로 복귀시킨다. 푸싱유닛(160)의 에어실린더(162)가 작동되어 실린더로드(162a)를 전진시키면, 푸셔(163)는 림어셈블리(140)의 제3 서포트바(143)로부터 제4 서포트바(144)를 향하여 유리기판(1)의 일측단을 중앙으로 밀게 된다. 따라서, 유리기판(1)의 수직중심축은 림어셈블리(140)의 수직중심축에 정렬된다. 유리기판(1)의 정렬 후, 에어실린더(162)가 작동되어 실린더로드(162a)를 후퇴시키면, 푸셔(163)는 초기위치로 복귀된다. Referring to FIG. 10, after the worker releases the chucking of the glass substrate 1 by the first and second chucking units 90 and 100 of the transporter 70, the transporter 70 returns to the initial position. Let's do it. When the air cylinder 162 of the pushing unit 160 is operated to advance the cylinder rod 162a, the pusher 163 moves the fourth support bar 144 from the third support bar 143 of the rim assembly 140. One side end of the glass substrate 1 is pushed toward the center. Therefore, the vertical center axis of the glass substrate 1 is aligned with the vertical center axis of the rim assembly 140. After the alignment of the glass substrate 1, when the air cylinder 162 is operated to retract the cylinder rod 162a, the pusher 163 is returned to the initial position.

도 15에 도시되어 있는 바와 같이, 사이드척킹유닛(150)의 척킹에어실린더 (154)가 작동되어 실린더로드(154a)를 전진시키면, 가동그리퍼(153)는 피봇(152)을 중심으로 회전되고, 회전되는 가동그리퍼(153)는 고정그리퍼(151)와 협동하여 유리기판(1)의 양측단을 척킹한다. 도 16b에 도시되어 있는 바와 같이, 어퍼척킹유닛 (170)의 에어실린더(173)가 작동되어 실린더로드(173a)를 전진시키면, 클램프(171)의 베어링(171a)을 중심으로 샤프트(172)가 회전되어 고정그리퍼(175)에 대하여 가동그리퍼(176)를 회전시키고, 가동그리퍼(176)는 고정그리퍼(175)와 협동하여 유리기판(1)의 상측단을 척킹한다. As shown in FIG. 15, when the chucking air cylinder 154 of the side chucking unit 150 is operated to advance the cylinder rod 154a, the movable gripper 153 is rotated about the pivot 152. The rotatable movable gripper 153 cooperates with the fixed gripper 151 to chuck both ends of the glass substrate 1. As shown in FIG. 16B, when the air cylinder 173 of the upper chucking unit 170 is operated to advance the cylinder rod 173a, the shaft 172 is centered around the bearing 171a of the clamp 171. The rotating gripper 176 rotates with respect to the fixed gripper 175, and the movable gripper 176 cooperates with the fixed gripper 175 to chuck the upper end of the glass substrate 1.

한편, 핸들러(120)의 림어셈블리(140)에 유리기판(1)이 홀딩된 후, 제1 로킹장치(200)의 로킹에어실린더(205)가 작동되어 실린더로드(205a)를 후퇴시키면, 실린더로드(205a)는 로킹블록(206)의 로킹구멍(207)으로부터 빠져 림어셈블리(140)의 구속을 해제한다. 제2 로킹장치(210)의 로킹에어실린더(216)가 작동되어 실린더로 드(216a)를 후퇴시키면, 레버(217)가 피봇(216)을 중심으로 회전되고, 로킹롤러 (218)는 로킹블록(220)의 로킹구멍(221)으로부터 빠져 림어셈블리(140)의 구속을 해제한다. 업다운에어실린더(129)의 작동에 의하여 실린더로드(129a)를 전진시키면, 로터리칼럼(124)을 따라 모션거더(125)와 함께 홀딩장치(130) 전체가 상승되면서 로킹블록(220)의 셋팅구멍(222)은 셋팅핀(219)으로부터 분리된다. On the other hand, after the glass substrate 1 is held on the rim assembly 140 of the handler 120, the locking air cylinder 205 of the first locking device 200 is operated to retract the cylinder rod 205a. The rod 205a is released from the locking hole 207 of the locking block 206 to release the restraint assembly 140. When the locking air cylinder 216 of the second locking device 210 is operated to retract the cylinder rod 216a, the lever 217 is rotated about the pivot 216, and the locking roller 218 is the locking block. The restraint of the rim assembly 140 is released from the locking hole 221 of 220. When the cylinder rod 129a is advanced by the operation of the up-down air cylinder 129, the entire holding device 130 is raised along with the rotary column 124 together with the motion girder 125 to set the hole of the locking block 220. 222 is separated from the setting pin 219.

도 10을 참조하면, 작업자는 홀딩장치(130)의 림어셈블리(140)에 홀딩되어 있는 유리기판(1)을 다자유도운동시킴과 동시에 조명장치에 의하여 유리기판(1)을 조명하면서 유리기판(1)의 결함에 대한 육안검사를 실시한다. 림어셈블리(140)는 홀더어셈블리(180)의 피봇(185)을 중심으로 회전운동시키고, 홀더어셈블리(180)는 로터리액츄에이터(190)의 작동에 의하여 X축회전운동시킬 수 있다. 업다운에어실린더(129)의 작동에 의하여 실린더로드(129a)를 전진 또는 후퇴시키면, 로터리칼럼 (124)을 따라 모션거더(125)와 홀딩장치(130) 전체를 승강운동, 즉 Z축병진운동시킬 수 있다. 베이스(121)의 샤프트(122)를 중심으로 로터리칼럼(124)을 회전운동시키면, 모션거더(125)와 홀딩장치(140) 전체를 Z축회전운동시킬 수 있다. X축리니어모션가이드(139)의 가이드블록(129a)를 따라 모션거더(125)의 가이드레일(129b)을 X축방향으로 직선운동시키면, 모션거더(125)에 의하여 홀딩장치(130) 전체를 X축병진운동시킬 수 있다. 작업자는 핸들러(120)의 다자유도운동에 의하여 홀딩장치 (130)의 림어셈블리(140)에 홀딩되어 있는 유리기판(1)을 자유롭게 핸들링하면서 유리기판(1)의 결함을 간편하고 안전하게 검사할 수 있다.Referring to FIG. 10, a worker may freely move the glass substrate 1 held on the rim assembly 140 of the holding device 130 while illuminating the glass substrate 1 by an illumination device. Visual inspection for defects in 1) is to be carried out. The rim assembly 140 rotates about the pivot 185 of the holder assembly 180, and the holder assembly 180 may rotate in the X axis by the operation of the rotary actuator 190. When the cylinder rod 129a is advanced or retracted by the operation of the up-down air cylinder 129, the motion girder 125 and the holding device 130 are moved up or down along the rotary column 124, that is, Z-axis translation. Can be. When the rotary column 124 is rotated about the shaft 122 of the base 121, the entire motion girder 125 and the holding device 140 may be rotated in the Z axis. When the guide rail 129b of the motion girder 125 linearly moves along the guide block 129a of the X-axis linear motion guide 139 in the X-axis direction, the entire holding device 130 is moved by the motion girder 125. X-axis translation can be done. The operator can easily and safely inspect the defects of the glass substrate 1 while freely handling the glass substrate 1 held by the rim assembly 140 of the holding device 130 by the multiple degree of freedom motion of the handler 120. have.

도 1과 도 10을 다시 참조하면, 작업자는 검사스테이션(S3)에서 유리기판(1) 에 대한 검사가 완료되면, 핸들러(120)의 림어셈블리(140)는 제1 및 제2 로킹장치 (200, 210)에 의하여 다시 구속시킨다. 이때, 제2 로킹장치(210)의 셋팅핀(219)이 로킹블록(220)의 셋팅구멍(222)에 맞춤되면 림어셈블리(140)가 초기위치에 정확하게 정렬된다. 이로 인하여 로킹에어실린더(205)의 실린더로드(205a)도 로킹블록 (206)의 로킹구멍(207)에 정렬된다. 따라서, 제1 및 제2 로킹장치(200, 210)에 의한 림어셈블리(140)의 로킹동작을 정확하게 실시할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 10 again, when the operator completes the inspection of the glass substrate 1 at the inspection station S3, the rim assembly 140 of the handler 120 may include the first and second locking devices 200. (210). At this time, when the setting pin 219 of the second locking device 210 is fitted to the setting hole 222 of the locking block 220, the rim assembly 140 is correctly aligned at the initial position. As a result, the cylinder rod 205a of the locking air cylinder 205 is also aligned with the locking hole 207 of the locking block 206. Accordingly, the locking operation of the rim assembly 140 by the first and second locking devices 200 and 210 can be accurately performed.

도 10과 도 16a에 도시되어 있는 바와 같이, 핸들러(120)의 림어셈블리(140)가 구속된 후, 어퍼척킹유닛(170)의 업다운에어실린더(173)가 작동되어 실린더로드 (173a)를 후퇴시키면, 샤프트(172)의 회전에 의하여 가동그리퍼(176)가 고정그리퍼 (175)로부터 벌어지면서 유리기판(1)의 척킹을 해제한다. 도 5, 도 6과 도 14를 참조하면, 트랜스포터(70)의 제1 척킹유닛(90)에 의하여 유리기판(1)의 상측단이 척킹된 후, 사이드척킹유닛(150)의 척킹에어실린더(154)가 작동되어 실린더로드 (154a)를 후퇴시키면, 가동그리퍼(153)는 유리기판(1)의 양측단으로부터 이격되어 척킹을 해제한다. 작업자는 트랜스포터(70)의 모션헤드(74)에 대하여 X축리니어모션가이드(80)의 슬라이드레일(80a)을 수축시켜 림어셈블리(140)로부터 유리기판(1)을 이탈시킨 후, 제2 척킹유닛(100)에 의하여 유리기판(1)의 양측단을 척킹시킨다. As shown in FIGS. 10 and 16A, after the rim assembly 140 of the handler 120 is restrained, the up-down air cylinder 173 of the upper chucking unit 170 is operated to retract the cylinder rod 173a. In this case, the movable gripper 176 is released from the fixed gripper 175 by the rotation of the shaft 172 to release the chucking of the glass substrate 1. 5, 6 and 14, after the upper end of the glass substrate 1 is chucked by the first chucking unit 90 of the transporter 70, the chucking air cylinder of the side chucking unit 150 When the 154 is operated to retract the cylinder rod 154a, the movable gripper 153 is spaced apart from both ends of the glass substrate 1 to release the chucking. The operator contracts the slide rail 80a of the X-axis linear motion guide 80 with respect to the motion head 74 of the transporter 70 to separate the glass substrate 1 from the rim assembly 140, and then the second Both sides of the glass substrate 1 are chucked by the chucking unit 100.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 작업자는 트랜스포터(70)의 제1 및 제2 척킹유닛(90, 100)에 의하여 척킹되어 있는 유리기판(1)을 로터리칼럼(71)의 Z축회전운동, 모션헤드(74)의 Z축병진운동과 X축리니어모션가이드(80)의 신축운동을 병행시켜 언로딩스탠드(30)의 격납실(31)에 수용되어 있는 컨테이너(10)로 이송시킨다. 마지막으로, 트랜스포터(70)의 작동에 의하여 이송되는 예를 들어 첫번째 유리기판 (1)의 하단은 컨테이너(10)의 이송방향선단에 형성되어 있는 슬롯(11)에 맞춤시키고, 유리기판(1)이 컨테이너(10)의 슬롯(11)에 완전히 수납되면 제1 및 제2 척킹유닛(90, 100)에 의한 유리기판(1)의 척킹을 해제한다. 그리고 트랜스포터(70)의 작동에 의하여 로딩스탠드(20)의 컨테이너(10)로부터 두번째 유리기판(1)을 검사스테이션(S3)의 핸들러(120)에 로딩하여 유리기판(1)을 순차적으로 검사한다.1 to 4, the operator moves the Z-axis rotational movement of the glass column 1 chucked by the first and second chucking units 90 and 100 of the transporter 70. The parallel movement of the Z-axis translational motion of the motion head 74 and the stretching motion of the X-axis linear motion guide 80 is transferred to the container 10 accommodated in the storage compartment 31 of the unloading stand 30. Lastly, for example, the lower end of the first glass substrate 1, which is transported by the operation of the transporter 70, is fitted to the slot 11 formed at the leading end of the container 10 in the transport direction, and the glass substrate 1 ) Is completely received in the slot 11 of the container 10 to release the chucking of the glass substrate (1) by the first and second chucking units (90, 100). Then, the glass substrate 1 is sequentially inspected by loading the second glass substrate 1 from the container 10 of the loading stand 20 to the handler 120 of the inspection station S3 by the operation of the transporter 70. do.

이상의 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다. The above embodiments are merely illustrative of preferred embodiments of the present invention, and the scope of the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications may be made by those skilled in the art within the spirit and scope of the present invention. Modifications, variations, or substitutions may be made, and such embodiments are to be understood as being within the scope of the present invention.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 유리기판의 검사시스템에 의하면, 여러장의 유리기판이 수납되어 있는 컨테이너를 로딩스탠드에 수용하고, 로딩스탠드로부터 한장의 유리기판을 트랜스포터에 의하여 검사스테이션의 핸들러로 공급한 후, 핸들러에 의하여 유리기판을 다자유도운동시키면서 검사함으로써, 대형·박형의 유리기판을 매우 간편하고 효율적으로 검사할 수 있다. 또한, 유리기판을 자동으로 핸들링할 수 있으며, 정확하고 안정적으로 척킹하여 유리기판의 파손을 효과적으로 방지할 수 있다. 그리고 유리기판의 양면을 간편하게 검사하여 검사의 신뢰성을 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the inspection system of the glass substrate according to the present invention, a container containing a plurality of glass substrates is accommodated in the loading stand, and one glass substrate from the loading stand is transferred to the handler of the inspection station by the transporter. After supplying, the glass substrate can be inspected by the handler with multiple degrees of freedom movement, whereby the large and thin glass substrates can be inspected very simply and efficiently. In addition, the glass substrate can be automatically handled, and accurate and stable chucking can effectively prevent breakage of the glass substrate. And by simply inspecting both sides of the glass substrate there is an effect that can greatly improve the reliability of the inspection.

Claims (15)

여러장의 유리기판이 수납되어 있는 컨테이너를 수용하는 로딩스탠드와;A loading stand for receiving a container in which a plurality of glass substrates are stored; 상기 로딩스탠드로부터 검사스테이션을 경유하여 언로딩되는 상기 유리기판을 수납할 수 있는 컨테이너를 수용하는 언로딩스탠드와;An unloading stand for receiving a container for receiving the glass substrate, which is unloaded from the loading stand via an inspection station; 상기 로딩스탠드와 언로딩스탠드 사이에 설치되며, 상기 로딩스탠드의 컨테이너로부터 한장의 유리기판을 상기 검사스테이션으로 이송시키고, 상기 검사스테이션으로부터 상기 한장의 유리기판을 상기 언로딩스탠드의 컨테이너로 이송시켜 수납시키는 트랜스포터와;It is installed between the loading stand and the unloading stand, and transfers one glass substrate from the container of the loading stand to the inspection station, and transfers the glass substrate from the inspection station to the container of the unloading stand. A transporter to make; 상기 트랜스포터로부터 상기 한장의 유리기판을 인수하여 다자유도운동시킬 수 있도록 상기 검사스테이션에 설치되는 핸들링수단으로 이루어지는 유리기판의 검사시스템.And a handling means provided in the inspection station so as to receive the single glass substrate from the transporter so as to move freely. 제 1 항에 있어서, 상기 로딩 및 언로딩스탠드 각각은,The method of claim 1, wherein each of the loading and unloading stands, 상기 컨테이너를 수용할 수 있도록 일측이 개방되어 있는 격납실을 갖는 프레임과;A frame having a storage compartment in which one side is opened to accommodate the container; 상기 프레임의 하측에 상기 컨테이너를 이송시킬 수 있도록 설치되는 롤러컨베이어와;A roller conveyor installed at the lower side of the frame to transport the container; 상기 프레임의 격납실에 수용되는 상기 컨테이너의 위치를 결정하는 포지셔닝수단으로 구성되는 유리기판의 검사시스템.And a positioning means for determining a position of the container accommodated in the storage compartment of the frame. 제 2 항에 있어서, 상기 포지셔닝수단은,The method of claim 2, wherein the positioning means, 상기 컨테이너의 이송방향선단을 구속할 수 있도록 상기 프레임의 내측에 장착되는 복수의 스토퍼와;A plurality of stoppers mounted on the inner side of the frame to constrain the front end of the container in the transport direction; 상기 스토퍼에 대하여 상기 컨테이너의 이송방향후단을 구속할 수 있도록 상기 프레임의 바닥에 장착되는 복수의 클램핑수단과;A plurality of clamping means mounted to the bottom of the frame to restrain the trailing direction of the container relative to the stopper; 상기 컨테이너의 양측면을 중앙으로 밀어 정렬시킬 수 있도록 상기 프레임의 양측에 각각 장착되는 푸싱유닛으로 구성되는 유리기판의 검사시스템.And a pushing unit mounted on both sides of the frame so as to slide both sides of the container toward the center. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 로딩 및 언로딩스탠드 각각에는 상기 컨테이너에 수납되어 있는 상기 유리기판의 양측단을 중앙으로 정렬시킬 수 있는 정렬수단을 더 구비하는 유리기판의 검사시스템.3. The inspection system according to claim 1 or 2, wherein each of the loading and unloading stands further includes alignment means for aligning both ends of the glass substrate housed in the container to the center. 제 1 항에 있어서, 상기 트랜스포터는,The method of claim 1, wherein the transporter, Z축회전운동할 수 있도록 설치되는 로터리칼럼과;A rotary column installed to allow the Z-axis rotational movement; 상기 로터리칼럼을 따라 Z축병진운동할 수 있도록 설치되는 모션헤드와;A motion head installed to perform Z-axis translation along the rotary column; 상기 로터리칼럼을 따라 상기 모션헤드를 Z축병진운동시키는 구동수단과;Drive means for Z-axis translation of the motion head along the rotary column; 상기 모션헤드에 대하여 신축운동할 수 있도록 설치되는 신축수단과;Expansion means installed to expand and contract with respect to the motion head; 상기 신축수단의 선단에 상기 유리기판의 상측단 양측을 척킹할 수 있도록 장착되는 한쌍의 제1 척킹수단으로 구성되는 유리기판의 검사시스템.And a pair of first chucking means mounted on the front end of the expansion means to chuck both sides of the upper end of the glass substrate. 제 5 항에 있어서, 상기 신축수단은 상기 모션헤드의 선단으로부터 X축방향의 직선운동에 의하여 신장시킬 수 있는 길이가 긴 한쌍의 슬라이드레일과, 이 슬라이드레일의 직선운동을 안내할 수 있도록 상기 모션헤드의 하면에 장착되어 있는 한쌍의 가이드레일으로 구성되는 유리기판의 검사시스템.6. The stretching means according to claim 5, wherein the expansion means includes a pair of long slide rails that can be extended by a linear motion in the X-axis direction from the tip of the motion head, and the motion to guide the linear motion of the slide rail. Inspection system for glass substrates consisting of a pair of guide rails mounted on the bottom of the head. 제 5 항에 있어서, 상기 트랜스포터는 상기 신축수단의 선단에 상기 유리기판의 양측단 상부를 척킹할 수 있도록 장착되는 한쌍의 제2 척킹수단을 더 구비하는 유리기판의 검사시스템.6. The inspection system according to claim 5, wherein the transporter further comprises a pair of second chucking means mounted on the front end of the expansion means so as to chuck an upper end of both sides of the glass substrate. 제 7 항에 있어서, 상기 제2 척킹수단은,The method of claim 7, wherein the second chucking means, 상기 마운팅플레이트의 양측단에 장착되는 아암과;Arms mounted at both ends of the mounting plate; 상기 아암의 선단에 회전운동할 수 있도록 장착되는 로터리플레이트와; A rotary plate mounted to the tip of the arm to rotate; 상기 로터리플레이트를 회전운동시키는 에어실린더와;An air cylinder for rotating the rotary plate; 상기 로터리플레이트의 하측에 승강운동할 수 있도록 배치되는 제1 업다운플레이트와;A first up-down plate disposed to move up and down under the rotary plate; 상기 제1 업다운플레이트를 승강운동시키는 제1 업다운에어실린더와;A first up-down air cylinder for lifting and lowering the first up-down plate; 상기 제1 업다운플레이트에 제공되며, 상기 유리기판의 양측단을 척킹하는 한쌍의 그리퍼를 갖는 에어척으로 구성되는 유리기판의 검사시스템. And an air chuck provided in the first up-down plate and having an air chuck having a pair of grippers for chucking both ends of the glass substrate. 제 8 항에 있어서, 상기 제2 척킹수단은 상기 제1 업다운플레이트의 하측에 승강운동할 수 있도록 배치되며 상기 에어척이 장착되는 제2 업다운플레이트와, 상기 제1 업다운플레이트에 장착되고 상기 제2 업다운플레이트를 승강운동시키는 제2 업다운에어실린더를 더 구비하는 유리기판의 검사시스템. The method of claim 8, wherein the second chucking means is arranged to move up and down the first up-down plate and a second up-down plate on which the air chuck is mounted, mounted on the first up-down plate and the second And a second up-down air cylinder for lifting and lowering the up-down plate. 제 1 항에 있어서, 상기 핸들링수단은,The method of claim 1, wherein the handling means, 베이스의 상부에 Z축회전운동할 수 있도록 설치되는 로터리칼럼과;A rotary column installed at an upper portion of the base to allow Z-axis rotational movement; 상기 로터리칼럼에 대하여 Z축병진운동과 X축병진운동할 수 있도록 설치되는 모션거더와;A motion girder installed to allow Z-axis translation and X-axis translation with respect to the rotary column; 상기 로터리칼럼을 따라 상기 모션거더를 Z축병진운동시키는 구동수단과;Drive means for Z-axis translation of the motion girder along the rotary column; 상기 모션거더에 근접하도록 설치되어 상기 유리기판을 홀딩하는 홀딩수단과;Holding means installed close to the motion girder and holding the glass substrate; 상기 모션거더에 대하여 상기 홀딩수단을 X축회전운동시키는 로터리액츄에이터로 구성되는 유리기판의 검사시스템.And a rotary actuator for rotating the holding means in the X axis with respect to the motion girder. 제 10 항에 있어서, 상기 홀딩수단은,The method of claim 10, wherein the holding means, 상기 유리기판을 수용하며, 상기 유리기판의 각 변으로부터 이격되도록 서로 평행하게 배치되는 상하측의 제1 및 제2 서포트바와 좌우측의 제3 및 제4 서포트바를 갖는 림어셈블리와;A rim assembly for accommodating the glass substrate and having upper and lower first and second support bars arranged in parallel with each other so as to be spaced apart from each side of the glass substrate and third and fourth support bars on the left and right sides; 상기 림어셈블리의 제2 서포트바에 상기 유리기판의 하측단을 지지할 수 있 도록 장착되는 복수의 레스트와;A plurality of rests mounted on the second support bar of the rim assembly to support the lower end of the glass substrate; 상기 림어셈블리의 제3 및 제4 서포트바에 상기 유리기판의 양측단을 척킹할 수 있도록 장착되는 복수의 사이드척킹유닛과;A plurality of side chucking units mounted on the third and fourth support bars of the rim assembly to chuck both side ends of the glass substrate; 상기 림어셈블리가 회전운동할 수 있도록 장착되고, 상기 로터리액츄에이터에 연결되는 홀더어셈블리로 구성되는 유리기판의 검사시스템.The rim assembly is mounted so as to be rotatable, the inspection system of the glass substrate consisting of a holder assembly connected to the rotary actuator. 제 11 항에 있어서, 상기 사이드척킹유닛은, The method of claim 11, wherein the side chucking unit, 상기 림어셈블리의 제3 및 제4 서포트바에 상기 유리기판의 양측단을 지지할 수 있도록 고정되는 고정그리퍼와;A fixed gripper fixed to the third and fourth support bars of the rim assembly to support both ends of the glass substrate; 상기 고정그리퍼에 대하여 피봇을 중심으로 회전하여 상기 유리기판의 양측단을 척킹할 수 있도록 장착되는 가동그리퍼와;A movable gripper mounted to rotate the pivot about the fixed gripper and to chuck both ends of the glass substrate; 상기 피봇을 중심으로 상기 가동그리퍼를 회전운동시키는 척킹에어실린더로 구성되는 유리기판의 검사시스템.And a chucking air cylinder for rotating the movable gripper about the pivot. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서, 상기 홀딩수단은 상기 림어셈블리의 제3 및 제4 서포트바중 어느 하나에 다른 하나를 향하여 상기 유리기판을 밀어 정렬시킬 수 있도록 푸싱유닛이 더 장착되고, 상기 푸싱유닛은 상기 제3 및 제4 서포트바중 어느 하나에 장착되는 에어실린더와, 이 에어실린더의 작동에 의하여 상기 유리기판을 밀어주는 푸셔로 구성되는 유리기판의 검사시스템.According to claim 11 or 12, wherein the holding means is further mounted to the pushing unit to align the glass substrate toward the other one of the third and fourth support bar of the rim assembly, The pushing unit includes an air cylinder mounted to one of the third and fourth support bars, and a pusher for pushing the glass substrate by the operation of the air cylinder. 제 11 항 또는 제 12 항에 있어서, 상기 림어셈블리의 상부에 상기 유리기판의 상측단을 척킹하는 어퍼척킹유닛을 더 구비하며, 상기 어퍼척킹유닛은 상기 림어셈블리의 제1 서포트바에 고정되며 베어링을 갖는 다수의 클램프와, 상기 클램프의 베어링에 의하여 회전할 수 있도록 지지되는 샤프트와, 상기 샤프트를 회전시키는 에어실린더와, 상기 림어셈블리의 제1 서포트바에 상기 유리기판의 상측단을 지지할 수 있도록 고정되는 다수의 고정그리퍼와, 상기 고정그리퍼와 협동하여 유리기판의 상측단을 척킹할 수 있도록 상기 샤프트에 장착되는 다수의 가동그리퍼로 구성되는 유리기판의 검사시스템.The method of claim 11 or 12, further comprising an upper chucking unit for chucking the upper end of the glass substrate on the upper portion of the rim assembly, the upper chucking unit is fixed to the first support bar of the rim assembly and bearing A plurality of clamps, a shaft supported to rotate by the bearing of the clamp, an air cylinder for rotating the shaft, and fixed to support the upper end of the glass substrate on the first support bar of the rim assembly. And a plurality of fixed grippers, and a plurality of movable grippers mounted on the shaft so as to chuck the upper end of the glass substrate in cooperation with the fixed grippers. 제 11 항에 있어서, 상기 홀딩수단의 림어셈블리에 상기 트랜스포터로부터 상기 유리기판을 인계할 수 있도록 상기 림어셈블리의 위치를 구속하는 로킹수단을 더 구비하는 유리기판의 검사시스템.12. The inspection system according to claim 11, further comprising locking means for constraining the position of the rim assembly to take over the glass substrate from the transporter to the rim assembly of the holding means.
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