KR100551451B1 - Teaching Tool of Wafer handling Robot using I-Type Finger - Google Patents

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KR100551451B1 KR1020030058812A KR20030058812A KR100551451B1 KR 100551451 B1 KR100551451 B1 KR 100551451B1 KR 1020030058812 A KR1020030058812 A KR 1020030058812A KR 20030058812 A KR20030058812 A KR 20030058812A KR 100551451 B1 KR100551451 B1 KR 100551451B1
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Abstract

본 발명은 I형 핑거를 사용하는 웨이퍼 반송용 로봇의 티칭 툴에 관한 것으로, I형 핑거의 센터를 확인하기 위한 센터확인용 패널과 상기 패널의 하부에 위치하고 상기 I형 핑거의 센터를 고정하기 위한 센터 고정브라켓과 상기 센터 고정브라켓의 하부에 위치하며 웨이퍼가 놓여질 스테이지의 센터를 맞추는 기준역할을 하는 스테이지 센터 확인용 바를 포함한다.The present invention relates to a teaching tool for a wafer transfer robot using an I-type finger, and includes a center-checking panel for checking the center of the I-type finger and a lower portion of the panel for fixing the center of the I-type finger. It includes a center fixing bracket and a stage center identification bar positioned below the center fixing bracket and serving as a reference for aligning the center of the stage on which the wafer is to be placed.

티칭툴, 웨이퍼, 핑거Teaching Tool, Wafer, Finger

Description

Ｉ형 핑거를 사용하는 웨이퍼 반송용 로봇의 티칭 툴{Teaching Tool of Wafer handling Robot using I-Type Finger} Teaching Tool of Wafer handling Robot using I-Type Finger}             

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 I형 핑거와 티칭 툴이 결합한 상태를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a state in which the I-type finger and the teaching tool is coupled according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 티칭 툴의 분리결합도이다.2 is an exploded view of the teaching tool according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 티칭 툴이 결합된 상태를 나타낸 도면이다.3 is a view showing a state in which a teaching tool is coupled according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 티칭 툴의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of a teaching tool according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 다른 실시예인 티칭 툴의 분리결합도이다.5 is an exploded view of the teaching tool according to another embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 티칭 툴이 결합된 상태를 나타낸 도면이다.6 is a view showing a state in which a teaching tool is coupled according to another embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 티칭 툴의 단면도이다.7 is a cross-sectional view of a teaching tool according to another embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 다수개의 스테이지 센터 확인용 바의 정면도이다.8 is a front view of a plurality of stage center check bar according to another embodiment of the present invention.

{도면의 주요부에 대한 설명}{Description of main parts of the drawing}

101 : I형 핑거 103 : 센터 가이드 101: type I finger 103: center guide

104a, 104b, 104c, 104d : 고정나사 104a, 104b, 104c, 104d: set screw

105 : 스테이지 센터 확인용 바105: stage center check bar

105' : 다른 실시예인 스테이지 센터 확인용 바105 ': another embodiment, a stage center check bar

106 : 센터확인용 패널 107 : 센터 고정브라켓106: center confirmation panel 107: center fixing bracket

401 : 체결수단 401: fastening means

402a, 402b, 402c, 402d : 제 1고정부402a, 402b, 402c, 402d: first fixed part

403a, 403b, 403c, 403d : 제 2고정부 403a, 403b, 403c, 403d: Second fixed government

404 : 가이드 홈 407a, 407b : 고정돌기404: guide groove 407a, 407b: fixing protrusion

408a, 408b : 고정돌기 홈408a, 408b: Fixing Groove

본 발명은 웨이퍼를 스테이지로 이동시키기 위한 이송 암의 정확한 티칭이 이루어지도록 하는데 있어서 적합한 이송 암의 티칭(teaching)용 툴(tool)에 관한 것이다.The present invention is directed to a tool for teaching the transfer arm suitable for ensuring accurate teaching of the transfer arm for moving the wafer to the stage.

현재 웨이퍼 생산 공정 중 전공정에 속하는 애싱 등의 설비에서는 얼라이너, 쿨링스테이지 및 쳄버의 리프트 핀 위에 웨이퍼가 위치하면 핀이 하강하여 얼라인, 쿨링, 애싱 등의 공정을 수행하게 된다.In the current ash production equipment such as ashing, which is in the entire process, if the wafer is placed on the lift pins of the aligner, cooling stage, and chamber, the pins are lowered to perform processes such as alignment, cooling, and ashing.

또한, 현재 웨이퍼 생산라인에 가동 중인 웨이퍼 핸드링 시스템(Equipment Front End Module, 'EFEM')장비는 장착된 로드포트(Loadport) 에 도킹된 카세트에 웨이퍼를 삽입 및 반출하는 공정을 수행한다.In addition, the Equipment Front End Module (EFEM) equipment currently operating on the wafer production line performs the process of inserting and unloading wafers into a cassette docked in a loaded loadport.

이러한 공정에서 각각의 스테이지에 웨이퍼를 정확히 위치시키기 위하여 티칭을 실시하게 된다. 여기서 티칭의 의미는 반송용 로봇이 웨이퍼를 진공으로 흡착하여 스테이지로 이동하기 위하여 로봇의 위치를 소프트웨어 및 하드웨어적으로 조정하는 것을 의미한다.In this process, teaching is performed to accurately position the wafer at each stage. Here, the teaching means that the transport robot adjusts the position of the robot by software and hardware in order to absorb the wafer by vacuum and move to the stage.

기존의 티칭작업은 가상 웨이퍼와 반사경을 이용하여 실시하였으나, 가상 웨이퍼의 가공시 정밀도와 차후 변형에 따른 오차가 발생하여 신뢰성이 떨어지고, 반사경의 경우 작업의 용이성의 떨어져 1회 티칭 후 재차 티칭을 실시해야 만 했기 때문에 많은 인력과 시간을 소비하였다. Conventional teaching has been done using virtual wafers and reflectors, but the accuracy of the virtual wafers and errors due to subsequent deformation occur, resulting in poor reliability. In the case of reflectors, teaching is performed again after teaching once due to the ease of operation. Because it had to do, it consumed a lot of manpower and time.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 신속하고 정확한 티칭을 실시할 뿐 아니라, 티칭에 대한 신뢰도를 극대화하는 새로운 방식의 티칭 툴을 제공하는 데 있다.
An object of the present invention is to provide a teaching tool of a new method for maximizing the reliability of teaching as well as performing a quick and accurate teaching to solve the above problems.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 웨이퍼 반송용 로봇의 티칭 툴은 I형 핑거의 센터를 확인하기 위한 센터확인용 패널과 상기 패널의 하부에 위치하고 상기 I형 핑거의 센터를 고정하기 위한 센터 고정브라켓과 상기 센터 고정브라켓의 하부에 위치하며 웨이퍼가 놓여질 스테이지의 센터를 맞추는 기준역할을 하는 스테이지 센터 확인용 바를 포함한다.In order to achieve the above object, the teaching tool of the wafer transfer robot of the present invention has a center check panel for checking the center of the I-type finger and a center fixation center for fixing the center of the I-type finger, which is located under the panel. And a stage center identifying bar positioned below the bracket and the center fixing bracket and serving as a reference for aligning the center of the stage on which the wafer is to be placed.

본 발명에서 센터확인용 패널과 센터 고정브라켓은 고정나사로 결합되는 것이 바람직하다.In the present invention, the center check panel and the center fixing bracket are preferably combined with a fixing screw.

본 발명에서 센터 고정브라켓의 중앙에는 상기 I형 핑거가 삽입되는 홈이 형성되고, 상기 홈의 너비는 I형 핑거의 너비 보다 큰 것이 바람직하다.In the present invention, a groove in which the I-type finger is inserted is formed in the center of the center fixing bracket, and the width of the groove is preferably larger than the width of the I-type finger.

본 발명에서 스테이지 센터 확인용 바는 상기 센터 고정브라켓에 탈, 부착 가능한 것이 바람직하다.In the present invention, the stage center check bar is preferably detachable from the center fixing bracket.

본 발명에서 센터확인용 패널은 티칭 툴과 상기 핑거의 센터가 일치될 수 있도록 육안으로 확인이 가능한 투명한 재질로 이루어진 것이 바람직하다.Center check panel in the present invention is preferably made of a transparent material that can be identified with the naked eye so that the center of the teaching tool and the finger coincides.

본 발명에서 센터확인용 패널은 그 중심에 핑거의 센터와 일치시킬 수 있도록 핑거의 센터표식과 동일한 표식을 포함하는 것이 바람직하다.In the present invention, the center check panel preferably includes the same mark as the center mark of the finger so that the center thereof can be matched with the center of the finger.

본 발명에서 스테이지 센터 확인용 바는 상단에 나사선을 형성하고 상기 센터 고정브라켓의 하부에서 조여지는 형태로 결합되는 것이 바람직하다.Stage center check bar in the present invention is preferably coupled to form a screw thread on the top and tightened in the lower portion of the center fixing bracket.

본 발명에서 스테이지 센터 확인용 바는 상기 센터 고정브라켓 하부의 가이드홈에 삽입되고, 상기 센터 고정브라켓의 상부에서 체결수단에 의해 고정되는 것이 바람직하다.In the present invention, the stage center checking bar is inserted into the guide groove of the lower center fixing bracket, it is preferably fixed by the fastening means in the upper portion of the center fixing bracket.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 I형 핑거와 티칭 툴이 결합한 상태를 나타내는 사시도와 분리결합도와 결합한 상태를 나타낸 도면 및 단면도이다.1 to 4 are a perspective view showing a state in which the I-type finger and the teaching tool is coupled according to an embodiment of the present invention and a cross-sectional view showing a state combined with the separation coupling.

상기 실시예에서, 웨이퍼 반송용 로봇의 티칭 툴은 I형 핑거(101)의 센터를 확인하기 위한 센터확인용 패널(106)과 상기 패널의 하부에 위치하고 상기 I형 핑거의 센터를 고정하기 위한 센터 고정브라켓(107)과 상기 센터 고정브라켓(107)의 하부에 위치하며 웨이퍼가 놓여질 스테이지의 센터를 맞추는 기준역할을 하는 스테이지 센터 확인용 바(105)를 포함한다.In the above embodiment, the teaching tool of the wafer transfer robot is a center check panel 106 for checking the center of the I-type finger 101 and a center positioned at the bottom of the panel to fix the center of the I-type finger. The fixed bracket 107 and the center fixed bracket 107 is located below the center and includes a stage center check bar 105 that serves as a reference for aligning the center of the stage on which the wafer is to be placed.

도면을 참조하면, 웨이퍼 반송용 로봇의 티칭 툴의 상부에는 센터확인용 패널(106)이 형성된다. 상기 센터확인용 패널(106)은 모서리가 깍여나간 사각형의 형상을 지닌다. 상기 센터확인용 패널(106)은 꼭 사각형으로 한정될 필요는 없다. 발명의 목적과 구성의 편의성에 맞추어 다른 형상으로 변형도 가능하다.Referring to the drawings, a center check panel 106 is formed on the teaching tool of the wafer transfer robot. The center confirming panel 106 has a rectangular shape with corners cut out. The center identification panel 106 is not necessarily limited to a rectangle. Modifications can be made in other shapes to suit the purpose and convenience of the invention.

상기 센터확인용 패널(106)은 그 내부를 육안으로 투시 가능하도록 투명한 재질을 이루는 것이 바람직하다. 상기 재질은 특별히 한정된 것은 아니나, 내구성과 투과도가 우수한 폴리프로필렌이나 폴리스티렌등의 합성수지 및 강화플라스틱이 사용될 수 있다.The center check panel 106 is preferably made of a transparent material so that the inside can be visually seen. The material is not particularly limited, but synthetic resins such as polypropylene or polystyrene having excellent durability and permeability and reinforced plastics may be used.

상기 센터확인용 패널(106)의 중앙에는 원형의 홈인 센터 가이드(103)가 형성된다. 상기 홈의 크기는 I형 핑거(101)의 크기에 맞추어 변형될 수 있다. 상기 홈은 I형 핑거(101) 센터와 상기 티칭 툴의 센터를 일치시키는 가이드 역할을 한다.A center guide 103, which is a circular groove, is formed in the center of the center identifying panel 106. The size of the groove may be modified to match the size of the I-type finger (101). The groove serves as a guide to align the center of the I-type finger 101 with the center of the teaching tool.

상기 I형 핑거에 형성된 센터표식과 상기 센터확인용 패널에 형성된 원형의 홈을 일치시켜 사용하면 된다.The center mark formed on the I-type finger and the circular groove formed on the center confirming panel may be matched to each other.

센터확인용 패널(106)의 소정의 위치에는 상기 센터 고정브라켓(107)과의 결합을 위한 제 1고정부(402)가 형성된다. 본 발명에서는 센터 고정브라켓(107)의 사각형의 꼭지점부근에 4개의 제 1고정부(402a, 402b, 402c, 402d)가 형성된다.A predetermined fixing part 402 for coupling with the center fixing bracket 107 is formed at a predetermined position of the center check panel 106. In the present invention, four first fixing parts 402a, 402b, 402c, and 402d are formed near the corners of the rectangle of the center fixing bracket 107.

상기 제 1고정부의 사이에는 두개의 고정돌기 홈(408a, 408b)이 형성된다. 상기 고정돌기 홈(408a, 408b)은 후술할 고정돌기(407a, 407b)와 결합되어 상기 센터확인용 패널과 센터 고정브라켓(107)의 결합시 오차를 방지한다.Two fixing protrusion grooves 408a and 408b are formed between the first fixing parts. The fixing protrusion grooves 408a and 408b are combined with the fixing protrusions 407a and 407b to be described later to prevent an error when the center checking panel and the center fixing bracket 107 are coupled to each other.

상기 센터확인용 패널(106)의 하부에는 센터 고정브라켓(107)이 형성된다. 상기 센터 고정브라켓(107)은 I형 핑거(101)를 고정시키는 역할을 한다.A center fixing bracket 107 is formed below the center check panel 106. The center fixing bracket 107 serves to fix the I-type finger (101).

상기 센터 고정브라켓(107)의 중앙에는 수직 또는 수평방향으로는 소정의 홈이 형성된다. 상기 홈의 너비는 한정된 것은 아니나 상기 I형 핑거(101)의 폭보다는 크게 형성하는 것이 바람직하다. 본 발명에서는 I형 핑거의 너비보다 2mm 정도 크게 제작된다.In the center of the center fixing bracket 107, a predetermined groove is formed in the vertical or horizontal direction. The width of the groove is not limited, but it is preferable to form a larger than the width of the I-type finger (101). In the present invention, it is made about 2mm larger than the width of the I-type finger.

상기 센터 고정브라켓(107)의 중앙에는 스테이지 센터 확인용 바(105)를 체결하기 위한 나사(401)가 삽입되는 가이드홈(404)이 형성된다. 상기 홈의 크기는 한정되지는 않으나 상기 스테이지 센터 확인용 바(105)의 지름과 일치하는 것이 바람직하다.In the center of the center fixing bracket 107 is formed a guide groove 404 into which a screw 401 is inserted to fasten the stage center confirming bar 105. The size of the groove is not limited but preferably coincides with the diameter of the stage center identifying bar 105.

상기 센터 고정브라켓(107)의 소정의 위치에는 상기 센터확인용 패널(106)의 소정의 위치에 형성된 제 1고정부(402)에 대향되게 제 2고정부(403)가 형성된다.The second fixing part 403 is formed at a predetermined position of the center fixing bracket 107 to face the first fixing part 402 formed at the predetermined position of the center identifying panel 106.

상기 센터확인용 패널(106)과 센터 고정브라켓(107)은 각각의 고정부를 이용 하여 고정나사(104)로 결합된다.The center check panel 106 and the center fixing bracket 107 are coupled to the fixing screw 104 using the respective fixing parts.

상기 센터 고정브라켓(107)의 제 2고정부(402a~403c, 403b~403d)의 사이에는 고정돌기(407a, 407b)가 형성된다. 고정돌기(407a, 407b)는 상기 고정돌기 홈(408a, 408b)에 대향되는 면에 존재하여, 결합시 오차를 방지한다.Fixing protrusions 407a and 407b are formed between the second fixing parts 402a to 403c and 403b to 403d of the center fixing bracket 107. Fixing protrusions (407a, 407b) are present on the surface opposite to the fixing projection grooves (408a, 408b), to prevent errors in the coupling.

상기 센터 고정브라켓(107)의 하부에는 스테이지 센터 확인용 바(105)가 형성된다. 상기 스테이지 센터 확인용 바(105)는 웨이퍼가 위치할 스테이지와 티칭 툴의 센터를 조정, 확인하는 수단이다.A stage center identifying bar 105 is formed below the center fixing bracket 107. The stage center confirming bar 105 is a means for adjusting and confirming the stage where the wafer is to be positioned and the center of the teaching tool.

상기 스테이지 센터 확인용 바(105)는 상기 센터 고정브라켓(107)의 중앙에 형성된 가이드홈(404)에 체결된다. 상기 체결된 스테이지 센터 확인용 바는 고정을 위하여 고정나사(401)로 조여진다.The stage center confirming bar 105 is fastened to a guide groove 404 formed at the center of the center fixing bracket 107. The fastened stage center check bar is tightened with a fixing screw 401 for fixing.

스테이지 센터 확인용 바를 고정하는 방법은 다음과 같다.How to fix the stage center check bar is as follows.

센터 고정브라켓(107)의 하부 외곽에서 바를 삽입하고, 센터 고정브라켓(107)의 상부에는 바가 고정될 수 있도록 나사(401)를 삽입한다. 즉, 센터 고정브라켓(107)을 중심에 두고 브라킷의 하부에는 바를 삽입하고, 상부에는 나사를 삽입하여 나사선을 따라 조인다. The bar is inserted in the lower outer portion of the center fixing bracket 107, and the screw 401 is inserted into the top of the center fixing bracket 107 so that the bar can be fixed. In other words, the center fixing bracket 107 is centered, the bar is inserted into the lower part of the bracket, and the screw is inserted into the upper part and tightened along the thread line.

상기 스테이지 센터 확인용 바(105)의 길이와 폭의 크기는 한정되지 않는다. 발명의 목적에 따라서 그 길이와 폭의 크기를 조절하는 것이 바람직하다.The size of the length and width of the stage center confirming bar 105 is not limited. It is preferable to adjust the size of the length and the width according to the object of the invention.

상기 구성을 포함하는 티칭툴과 핑거와 결합방법은 다음과 같다.The teaching tool and the finger and the coupling method including the above configuration is as follows.

상부브라킷의 각 모서리에 4개의 고정나사(104a, 104b, 104c, 104d)가 있다. 실제 사용시에 이 고정나사(104a, 104b, 104c, 104d)를 완전히 풀어서 제거한 후에 핑거를 삽입하는 것이 아니라 고정나사(104a, 104b, 104c, 104d)를 조금만 풀면 그 범위 안에서 센터확인용 패널(106)이 상하로 이동이 가능하게 된다.There are four fixing screws 104a, 104b, 104c and 104d at each corner of the upper bracket. In actual use, the fixing screws 104a, 104b, 104c and 104d are not completely removed and then the finger is inserted instead of the fixing screws 104a, 104b, 104c and 104d. This can be moved up and down.

센터 고정브라켓(107)에는 I형핑거(101)가 들어갈 수 있도록 홈이 파여있다. 이 홈은 I형핑거(101)의 두께와 거의 일치하여 고정나사(104a, 104b, 104c, 104d)를 조금 풀어주지 않고 핑거를 집어넣을 수 없다. 따라서, 고정나사(104a, 104b, 104c, 104d)를 풀고 센터확인용 패널(106)을 조금 위로 올린 후 I형핑거(101)를 집어넣고 나사(104a, 104b, 104c, 104d)를 조이면 자연스럽게 조여진다.The center fixing bracket 107 is recessed to allow the I-shaped finger 101 to enter. This groove almost coincides with the thickness of the I-shaped finger 101 so that the finger cannot be inserted without loosening the fixing screws 104a, 104b, 104c, 104d a little. Therefore, loosen the fixing screws 104a, 104b, 104c, 104d, raise the center check panel 106 a little, insert the I-shaped finger 101 and tighten the screws 104a, 104b, 104c, 104d. Lose.

도 5내지 도 8은 본 발명의 다른 실시예인 티칭툴의 도면이다.5 to 8 is a view of a teaching tool which is another embodiment of the present invention.

상기 실시예에서, 본 발명의 다른 티칭툴은 I형 핑거의 센터를 확인하기 위한 센터확인용 패널(106)과 상기 패널의 하부에 위치하고 상기 I형 핑거(101)의 센터를 고정하기 위한 센터 고정브라켓(107)과 상기 센터 고정브라켓의 하부에 위치하며 웨이퍼가 놓여질 스테이지의 센터를 맞추는 기준역할을 하는 스테이지 센터 확인용 바(105)를 포함한다.In the above embodiment, the other teaching tool of the present invention is located at the center of the panel for confirming the center of the I-type finger 106 and the center fixing for fixing the center of the I-type finger 101 is located at the bottom It includes a bracket 107 and a stage center identification bar 105 positioned below the center fixing bracket and serving as a reference for aligning the center of the stage on which the wafer is to be placed.

상기 실시예는, 다른 형태의 스테이지 센터 확인용 바(105')가 체결된 상태를 나타낸 것이다.The said embodiment shows the state in which the stage center confirmation bar 105 'of another form was fastened.

도 5 내지 도 7의 구성은 도 2 내지 도 4의 구성과 거의 유사하다. 도 2의 구성에서 스테이지 센터 확인용 바(105)는 센터 고정브라켓(107)의 하부에 삽입하고 상부에서 고정나사(104a, 104b, 104c, 104d)로 조이는 방법이었으나, 도 5내지 도 8을 참조하면, 또 다른 스테이지 센터 확인용 바(105')는 상부에 나사선을 형성하여 센터 고정브라켓(107)의 하부에 조여서 결합하는 방법을 사용한다.5 to 7 are almost similar to those of FIGS. 2 to 4. In the configuration of FIG. 2, the stage center confirming bar 105 was inserted into the lower portion of the center fixing bracket 107 and tightened with the fixing screws 104a, 104b, 104c, and 104d at the upper portion thereof. On the other hand, another stage center check bar 105 ′ uses a method of forming a screw thread on the upper part and tightening the lower part of the center fixing bracket 107 to be coupled.

도 7을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예인 스테이지 센터 확인용 바(105')가 센터 고정브라켓(107)에 결합되면, 스테이지 센터 확인용 바(105)의 상부에 나사선이 형성된 돌기의 상부면은 상기 센터 고정브라켓(107)의 상부면과 일치하거나, 그보다는 낮게 형성되므로 핑거결합시 방해를 받지 않는다.Referring to FIG. 7, when the stage center checking bar 105 ′, which is another embodiment of the present invention, is coupled to the center fixing bracket 107, the upper part of the protrusion having a thread formed on the top of the stage center checking bar 105 is provided. The surface is formed to coincide with or lower than the upper surface of the center fixing bracket 107, so that it is not disturbed when the finger is engaged.

도 8을 참조하면, 스테이지 센터 확인용 바(105, 105')는 각각의 시스템에 맞게 길이나 크기가 결정될 수 있으며, 상단에 나사선이 형성됨이 바람직하다.Referring to FIG. 8, the stage center confirming bars 105 and 105 ′ may have a length or a size determined for each system, and a thread is formed at an upper end thereof.

이하 본 발명에 의한 티칭시간의 변화에 대해 살펴본다.Hereinafter, the change in the teaching time according to the present invention will be described.

1) RS내 데모장치를 이용하여 1차 테스트1) 1st test using demo device in RS

작업준비Ready for work 3 Port3 Port MC/AlignerMC / Aligner MC/CoolingMC / Cooling 계system 기존existing 약 30분About 30 minutes 약45분(/Port)About 45 minutes (/ Port) 약30분(/Port)About 30 minutes (/ Port) 약30분(/Port)About 30 minutes (/ Port) 약 285분About 285 minutes 본원발명Invention 약 10분About 10 minutes 약15분(1Port)About 15 minutes (1Port) ** ** 약 125분About 125 minutes

* : MC 측 테스트는 하지 않음*: No MC side test

2) PSK내 장비를 이용하여 티칭장치 및 방식적용2) Teaching device and method application using equipment in PSK

작업준비Ready for work 3 Port3 Port MC/AlignerMC / Aligner MC/CoolingMC / Cooling 계system 기존existing 약 30분About 30 minutes 약45분(/Port)About 45 minutes (/ Port) 약30분(/Port)About 30 minutes (/ Port) 약 285분About 285 minutes 본원발명Invention 약 10분About 10 minutes 약15분(1Port)About 15 minutes (1Port) 약30분(기존)About 30 minutes (existing) 약 125분About 125 minutes

- Aligner 측의 공간 협소로 인해 현 장치로 티칭 할 수 없었음-Teaching with the current device was not possible due to the narrow space on the aligner side.

3) 본 발명의 티칭장치를 적용3) Apply the teaching device of the present invention

작업준비Ready for work 3 Port3 Port MC/AlignerMC / Aligner MC/CoolingMC / Cooling 계system 기존existing 약 30분About 30 minutes 약45분(/Port)About 45 minutes (/ Port) 약30분(/Port)About 30 minutes (/ Port) 약 285분About 285 minutes 본원발명Invention 약 10분About 10 minutes 약15분(/Port)About 15 minutes (/ Port) 약10분(기존)About 10 minutes (existing) 약 95분About 95 minutes

- MC/Aligner에 대한 장치 개선을 가정하여 계산-Calculation assuming device improvement for MC / Aligner

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, I형 핑거에 대한 신속하고 정확하며 신뢰성 있는 데이터를 제공하고, 기존의 티칭 툴 보다 크기 및 무게가 작고 가벼워 이동성 및 보관성이 뛰어난 효과가 있다.As described above, according to the present invention, it provides fast, accurate and reliable data on the I-type finger, and has the effect of excellent mobility and storage because the size and weight are smaller and lighter than those of the existing teaching tool.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, although described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and modified within the scope of the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. It will be appreciated that it can be changed.

Claims (8)

I형 핑거의 센터를 확인하기 위한 센터확인용 패널과 상기 패널의 하부에 위치하고 상기 I형 핑거의 센터를 고정하기 위한 센터 고정브라켓과 상기 센터 고정브라켓의 하부에 위치하며 웨이퍼가 놓여질 스테이지의 센터를 맞추는 기준역할을 하는 스테이지 센터 확인용 바를 포함하고,Center confirmation panel for checking the center of the I-type finger and the center fixing bracket for fixing the center of the I-type finger and the center fixing bracket for the center of the center fixing bracket located on the bottom of the panel Including a stage center check bar that serves as a reference 센터 고정브라켓의 수직 또는 수평 중 어느 한 방향으로 상기 I형 핑거가 삽입되는 홈이 형성되고, 상기 홈의 너비는 I형 핑거의 너비 보다 큰 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송용 로봇의 티칭 툴.And a groove into which the I-type finger is inserted in either the vertical or horizontal direction of the center fixing bracket, and the width of the groove is larger than the width of the I-type finger. 제 1항에 있어서, 센터확인용 패널과 센터 고정브라켓은 고정나사로 결합되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송용 로봇의 티칭 툴.The teaching tool of the wafer transfer robot according to claim 1, wherein the center check panel and the center fixing bracket are coupled with a fixing screw. 삭제delete 제 1항에 있어서, 스테이지 센터 확인용 바는 상기 센터 고정브라켓에 탈, 부착 가능한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송용 로봇의 티칭 툴.The teaching tool for a wafer transfer robot according to claim 1, wherein the stage center confirmation bar is detachable from and attached to the center fixing bracket. 제 4항에 있어서, 스테이지 센터 확인용 바는 상단에 나사선을 형성하고 상기 센터 고정브라켓의 하부에서 조여지는 형태로 결합되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송용 로봇의 티칭 툴.The teaching tool of the wafer transfer robot of claim 4, wherein the stage center confirming bar is coupled to form a screw thread at an upper end thereof and is tightened at a lower portion of the center fixing bracket. 제 4항에 있어서, 스테이지 센터 확인용 바는 상기 센터 고정브라켓의 하부에서 삽입되고, 상기 센터 고정브라켓의 상부에서 체결수단에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송용 로봇의 티칭 툴.5. The teaching tool of the wafer transfer robot according to claim 4, wherein the stage center checking bar is inserted at a lower portion of the center fixing bracket and fixed by a fastening means at an upper portion of the center fixing bracket. 제 1항에 있어서, 센터확인용 패널은 티칭 툴과 상기 핑거의 센터가 일치되는 것이 육안으로 확인이 가능하도록 투명한 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송용 로봇의 티칭 툴.The teaching tool for a wafer transfer robot according to claim 1, wherein the center identification panel is made of a transparent material to visually confirm that the teaching tool and the center of the finger coincide with each other. 제 7항에 있어서, 센터확인용 패널은 그 중심에 핑거의 센터와 일치시킬 수 있도록 핑거의 센터표식과 동일한 표식을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 반송용 로봇의 티칭 툴.8. The teaching tool for a wafer transfer robot according to claim 7, wherein the center identification panel includes a mark identical to the center mark of the finger so that the center check panel can be coincident with the center of the finger.
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