KR0119298Y1 - Wafer cassette plate guide apparatus - Google Patents
Wafer cassette plate guide apparatusInfo
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- KR0119298Y1 KR0119298Y1 KR2019940035956U KR19940035956U KR0119298Y1 KR 0119298 Y1 KR0119298 Y1 KR 0119298Y1 KR 2019940035956 U KR2019940035956 U KR 2019940035956U KR 19940035956 U KR19940035956 U KR 19940035956U KR 0119298 Y1 KR0119298 Y1 KR 0119298Y1
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
Abstract
본 고안은 카세트의 위치를 조절하여 안정되게 하는 카세트 플레이트 가이드장치에 관한 것으로, 상기 카세트 플레이트 내측 양면에 장착되며, 상기 카세트가 끼워져 지지될 수 있도록 그 중앙부에 소정크기의 슬롯이 형성되며, 그 측면 소정위치에 상기 카세트의 상하이동 간격을 제공하는 장공홀이 적어도 하나 이상 형성된 카세트가이드편The present invention relates to a cassette plate guide device for adjusting the position of the cassette to be stabilized, is mounted on both sides of the cassette plate, a predetermined size slot is formed in the center so that the cassette can be inserted and supported, the side Cassette guide piece formed with at least one long hole for providing a distance between the cassette at a predetermined position
(1); 상기 카세트플레이트에 카세트가이드편이 고정되도록 체결하며, 그 일측부가 상기 카세트가이드편의 장공홀측에 삽입되어 상기 카세트의 상하위치를 조절하는 카세트 고정볼트(2)를 구비하여 카세트의 위치선정을 정확히 할 수 있도록 조절하여 고정하므로서 웨이퍼를 신뢰성있게 이동시킬 수 있는 효과가 있다.(One); The cassette guide piece is fastened to the cassette plate, and one side thereof is inserted into the long hole hole side of the cassette guide piece so that the cassette fixing bolt 2 adjusts the upper and lower positions of the cassette so that the cassette can be accurately positioned. By adjusting and fixing, the wafer can be reliably moved.
Description
제 1 도는 본 고안에 의한 카세트 플레이트 가이드 장치의 일실시예 구성을 나타낸 사시도,1 is a perspective view showing an embodiment configuration of a cassette plate guide device according to the present invention,
제 2 도는 카세트 가이드편에 카세트를 장착시킨 상태도.2 is a state in which a cassette is mounted on a cassette guide piece.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1:카세트가이드편 1a:슬롯1: cassette guide flight 1a: slot
1b:장공홀 2:고정볼트1b: Hole hole 2: Fixed bolt
3:카세트3: cassette
본 고안은 반도체 제조공정중 필름 또는 패턴이 형성된 웨이퍼막의 두께를 측정하기 위한 장비에서 다수의 웨이퍼가 담긴 카세트의 위치선정을 정확히 하기 위한 카세트 플레이트에 관한 것으로 특히, 카세트의 위치를 조절하여 안정되게 하는 카세트 플레이트 가이드장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette plate for accurately positioning a cassette containing a plurality of wafers in a device for measuring the thickness of a film or a patterned wafer film during a semiconductor manufacturing process. It relates to a cassette plate guide device.
일반적으로, 소정의 카세트로부터 웨이퍼의 픽업(Pick-Up)을 안전하게 하기 위해서는 카세트의 위치가 안정되어야 하며, 이를 위하여 종래에는 소정의 카세트 플레이트 정면에 가이드홀을 형성하고, 상기 가이드홀에 카세트가 위치되도록 맞추어 고정시켰다.In general, in order to secure pick-up of a wafer from a predetermined cassette, the position of the cassette must be stabilized. For this purpose, a guide hole is conventionally formed in front of a predetermined cassette plate, and a cassette is positioned in the guide hole. Fixed as much as possible.
그러나, 상기 방법은 먼저, 카세트가 가이드홀에 정확히 일치하였는가를 육안으로 검사하여야 하는 번거로움이 따를 뿐만 아니라 육안에 의한 오차로 인하여 카세트의 위치선정이 불량해질때는 웨이퍼가 파손되거나 불량해지며, 웨이퍼를 잡아 이송시키는 로보틱 피거(robotic figer)가 손상되는 문제점을 내포하고 있었다.However, the above method is not only cumbersome to visually check whether the cassette is exactly aligned with the guide hole, but also when the positioning of the cassette is poor due to visual errors, the wafer is broken or defective. The robotic figer, which catches and transports it, was damaged.
따라서, 본 고안은 상기의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 웨이퍼가 담긴 카세트를 상하측으로 소정간격만큼 조절하여 상기 카세트의 위치를 안정되게 하는 카세트플레이트 가이드 장치를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a cassette plate guide device which stabilizes the position of the cassette by adjusting a cassette containing a wafer up and down by a predetermined interval to solve the above problems.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 필름 또는 패턴이 형성된 웨이퍼막의 두께를 측정하기 위한 장비에 포함되며, 다수의 웨이퍼가 구비된 카세트를 지지하는 카세트 플레이트에 있어서, 상기 카세트 플레이트 내측 양면에 장착되며, 상기 카세트가 끼워져 지지될 수 있도록 그 중앙부에 소정크기의 슬롯이 형성되며, 그 측면 소정위치에 상기 카세트의 상하이동간격을 제공하는 장공홀이 적어도 하나 이상 형성된 카세트가이드수단; 상기 카세트플레이트에 카세트가이드수단이 고정되도록 체결하며, 그 일측부가 상기 카세트가이드수단의 장공홀측에 삽입되어 상기 카세트의 상하위치를 조절하는 카세트 고정수단을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is included in a device for measuring the thickness of a film or a patterned wafer film, a cassette plate for supporting a cassette provided with a plurality of wafers, is mounted on both sides of the cassette plate inside A cassette guide means having a slot having a predetermined size at a central portion thereof so that the cassette can be inserted and supported therein, and at least one long hole formed at a predetermined side of the cassette to provide an even distance between the cassettes; The cassette guide means is fastened to the cassette plate, and one side thereof is inserted into the long hole side of the cassette guide means to provide a cassette fixing means for adjusting the vertical position of the cassette.
이하, 첨부된 제 1 도 및 제 2 도의 도면을 참조하여 본 고안의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings of FIGS. 1 and 2.
제 1 도는 본 고안에 의한 카세트 플레이트 가이드장치의 일실시예 구성을 나타낸 사시도, 제 2 도는 카세트 가이드편에 카세트를 장착시킨 상태도로서 도면에서 1은 카세트가이드편, 1a는 슬롯, 1b는 장공홀, 2는 고정볼트, 3은 카세트를 각각 나타내는 것이다.1 is a perspective view showing an embodiment configuration of a cassette plate guide device according to the present invention, FIG. 2 is a state diagram in which a cassette is mounted on a cassette guide piece, in which 1 is a cassette guide piece, 1a is a slot, 1b is a long hole, 2 is a fixed bolt, 3 is a cassette, respectively.
도면에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 카세트 플레이트 가이드 장치는 다수의 웨이퍼가 담긴 카세트의 위치가 기울어짐없이 안정되게 유지되도록 한 것으로, 소정의 카세트 플레이트(도면에 도시하지 않음)의 내측양면에는 그의 내면 형상과 동일한 카세트 가이드편(1)이 각각 장착되는데, 상기 카세트가이드편(1)의 중앙부에는 상기 카세트(3)가 지지될 수 있도록 소정크기의 슬롯(1a)이 형성되며, 측면상, 하측 소정위치에는 상기 카세트(3)의 위치이동에 따른 상하이동간격을 제공할 수 있도록 소정크기의 장공홀(1b)이 각각 형성된다.As shown in the figure, the cassette plate guide device according to the present invention is to maintain a stable position of the cassette containing a plurality of wafers without tilting, and on both inner sides of a predetermined cassette plate (not shown) Cassette guide pieces 1 having the same inner surface shape are mounted, respectively, and a slot 1a of a predetermined size is formed at the center of the cassette guide piece 1 so that the cassette 3 can be supported. In the lower predetermined position, a long hole 1b of a predetermined size is formed so as to provide a shankdong interval according to the movement of the cassette 3.
그리고, 상기 카세트플레이트에 카세트가이드편(1)이 고정될 수 있도록 소정크기의 고정볼트(2)가 구비되는데, 상기 고정볼트(2)의 일측부는 상기 카세트가이드편(1)의 장공홀(1b)에 삽입되어 상기 카세트(3)의 상하위치를 조절하여 고정한다.Then, a fixing bolt 2 of a predetermined size is provided so that the cassette guide piece 1 can be fixed to the cassette plate, and one side of the fixing bolt 2 has a long hole 1b of the cassette guide piece 1. ) To be fixed by adjusting the vertical position of the cassette (3).
따라서, 카세트(3)내에 구비된 웨이퍼가 소정의 로보틱 피거(robotic figer)에 의해 정확히 운반되도록 카세트(3)의 위치선정을 한후 가이드편(1)을 고정볼트(2)로 고정하는 것이다.Therefore, after positioning the cassette 3 so that the wafer provided in the cassette 3 is correctly carried by a predetermined robotic figer, the guide piece 1 is fixed with the fixing bolt 2.
상기와 같이 구성되어 작용하는 본 고안은 카세트의 위치선정을 정확히 할 수 있도록 조절하여 고정하므로서 웨이퍼를 신뢰성있게 이동시킬 수 있는 효과가 있다.The present invention configured and acting as described above has an effect of reliably moving the wafer by adjusting and fixing the cassette so as to accurately position the cassette.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940035956U KR0119298Y1 (en) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | Wafer cassette plate guide apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940035956U KR0119298Y1 (en) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | Wafer cassette plate guide apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960025425U KR960025425U (en) | 1996-07-22 |
| KR0119298Y1 true KR0119298Y1 (en) | 1998-08-01 |
Family
ID=19402888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019940035956U KR0119298Y1 (en) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | Wafer cassette plate guide apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0119298Y1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101136902B1 (en) * | 2010-01-14 | 2012-04-20 | 주식회사 에스에프에이 | Cassette centering apparatus |
-
1994
- 1994-12-26 KR KR2019940035956U patent/KR0119298Y1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101136902B1 (en) * | 2010-01-14 | 2012-04-20 | 주식회사 에스에프에이 | Cassette centering apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960025425U (en) | 1996-07-22 |
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