KR100550957B1 - 트레이 정렬 장치 - Google Patents

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KR100550957B1
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양정숙
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Abstract

본 발명은 트레이 정렬 장치에 관한 것으로서, 트레이가 안치되는 베이스와, 상기 베이스의 상부에 고정 설치되며 트레이 안치 영역의 일측에 양 모서리를 형성하는 가이드 수단과, 상기 트레이 안치 영역에서 상기 가이드 수단의 맞은편 양 모서리 주변에 각각 설치되며 피니언의 회전에 의하여 캠 로브가 트레이의 측면을 푸싱하는 제1 및 제2 캠부와, 상기 제1 및 제2 캠부를 각각 회전시키는 제1 및 제2 랙과, 상기 제1 및 제2 랙을 연동하여 직선 구동하는 실린더를 포함한다. 본 발명에 따르면, 하나의 구동 수단, 즉 양방향 로드 실린더에 의하여 트레이의 전·후,좌·우 정렬이 가능하고, 가이드 핀에 의하여 트레이를 항상 고정된 위치에 정렬할 수 있다.
트레이, 정렬, Orientation, 캠, 랙, 피니언, 와셔

Description

트레이 정렬 장치{TRAY ORIENTATION DEVICE}
도 1은 종래 기술에 따른 트레이 자동정렬장치의 평면도.
도 2는 종래 기술에 따른 트레이 자동정렬장치의 정면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이 정렬 장치의 사시도.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이 정렬 장치의 평면도.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이 정렬 장치의 정면도.
도 6은 도 5의 AA 면을 따라 확개한 트레이 정렬 장치의 배면도.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 캠부의 사시도 및 단면도.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이 정렬 장치의 동작 상태도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
200 : 베이스 205 : 가이드 핀
210 : 제1 캠부 215 : 제2 캠부
220 : 아이들러(idler)부 225 : 제3 캠부
230 : 제1 랙 235 : 제2 랙
240 : 양방향 로드 실린더 245 : LM 가이드
250 : 센서 도그 255 : 리미트 센서
300 : 캠 305 : 캠축
310 : 캠 로브 315 : 핀 홀
320 : 캠 와셔 325 : 돌출부
330 : 캠 헤드 335 : 홈부
340 : 피니언
본 발명은 정렬(Orientation) 장치에 관한 것으로서, 특히 반도체 소자 등이 탑재되는 트레이를 정위치에 정렬하기 위한 트레이 정렬 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 공정 또는 기타 전자 부품의 제조 공정에 있어서, 전자 부품을 운반하는 트레이 또는 회로 기판 등을 픽업 위치에 정확히 정렬하기 위한 종래의 기술로는 예컨대, 한국실용신안공고 제1996-6423호("트레이 자동정렬장치")가 있다.
도 1 및 도 2는 각각, 상기 한국실용신안공고 제1996-6423호에 개시된 트레이 자동정렬장치의 평면도 및 정면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 트레이 자동정렬장치는 베이스(10)의 상방에 위치하는 트레이 받침판(20)과, 베이스와 트레이 받침판 사이에 위치하며 그 축이 상기 트레이 받침판과 수직이 되도록 설치되는 피니언(30)과, 이와 치합하여 이물림 운동하는 네개의 랙(40)과, 랙으로부터 연장 형성되며 그 단부에는 트레이를 정 렬시키기에 적합하도록 상기 트레이 받침판 위로 돌출하는 걸림턱(55)이 마련된 클램퍼(50), 그리고 상기 랙을 구동하는 실린더(60)로 구성되어 있다.
전방랙(41)은 그 우측단부에서 연결부재(70)에 의해 우측 클램퍼(51)에 연결되고, 후방랙(42)은 그 좌측단부에서 연결부재(70)에 의해 좌측 클램퍼(52)에 의해 연결된다. 따라서 전후방랙(41, 42)이 상호 반대방향으로 직선왕복 운동함에 따라 이에 연결된 우측클램퍼(51)와 좌측클램퍼(52)가 좌우로 상호 반대방향으로 운동함으로써 각 클램퍼에 형성된 걸림턱에 의해 트레이가 좌우로 정렬되게 된다. 또한 전후방랙(41, 42)과 직교하는 좌, 우측랙(43, 44)이 설치되고 이들은 각각 연결부재에 의해 전방클램퍼(53)와 후방클램퍼(54)에 연결된다.
상기 트레이 자동정렬장치의 동작을 살펴보면, 먼저 트레이가 트레이 받침판(20) 위로 안내되도록 전방랙(41)의 연결부재에 결합된 실린더(60)를 구동하여 전방랙(41)은 우측으로 직선운동하게 하고, 이에 따라 전방랙과 치합된 피니언(30)이 회전함으로써 후방랙(42)은 좌측으로, 좌측랙(43)은 전방으로, 우측랙(44)은 후방으로 직선운동하게 된다. 따라서 이들 각 랙에 일체로 결합된 전후방, 좌우측 클램퍼(51, 52, 53, 54)가 벌어지게 된다.
다음으로, 클램퍼(50)가 벌어진 상태에서 정렬되지 않은 트레이가 트레이 받침판(20) 상으로 안내되면, 인장된 인장코일스프링(80)의 복원력에 의해 각 랙이 동작하여 각 클램퍼가 좁혀지면서 트레이를 정렬하게 된다.
그런데, 전술한 종래의 트레이 자동정렬장치는 전·후,좌·우 네방향으로 확개된 클램퍼가 인장코일스프링(80)의 복원력에 의하여 좁혀지도록 구성되므로, 각 인장코일스프링(80)의 탄성 계수가 상이할 경우, 또는 장기간 사용으로 인하여 인장코일스프링의 복원력이 열화될 경우에, 전·후,좌·우 클램퍼가 비대칭으로 좁혀져서 트레이의 정렬 위치가 변동될 가능성이 높다. 더욱이, 트레이가 항상 고정된 위치에 정렬되도록 가이드하기 위한 수단이 구비되어 있지 아니하므로, 트레이가 정확한 위치에 정렬되었는지 여부를 확인하기도 용이하지 않은 단점이 있다.
전술한 문제점을 해결하고자, 본 발명은 하나의 구동 수단에 의하여 트레이의 전·후,좌·우 정렬이 가능하고, 트레이를 항상 고정된 위치에 정렬할 수 있으며 반복 사용시에도 트레이 고정 위치의 변동이 발생하지 않는 트레이 정렬 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 트레이 정렬 장치가 제공되며, 트레이가 안치되는 베이스와, 상기 베이스의 상부에 고정 설치되며 트레이 안치 영역의 일측에 양 모서리를 형성하는 가이드 수단과, 상기 트레이 안치 영역에서 상기 가이드 수단의 맞은편 양 모서리 주변에 각각 설치되며 피니언의 회전에 의하여 캠 로브가 트레이의 측면을 푸싱하는 제1 및 제2 캠부와, 상기 제1 및 제2 캠부를 각각 회전시키는 제1 및 제2 랙과, 상기 제1 및 제2 랙을 연동하여 직선 구동하는 실린더를 포함한다.
이 때, 상기 제1 및 제2 랙은 일직선 상에 설치되며, 상기 실린더는 상기 제1 및 제2 랙을 연동하여 동일한 거리를 이동시키는 양방향 로드 실린더인 것이 바 람직하다. 또한, 상기 트레이 정렬 장치는 상기 제1 캠부와 피니언을 통해 교합하며 상기 제1 캠부의 회전과 연동하여 캠 로브가 트레이의 측면을 푸싱하는 제3 캠부를 더 포함하며, 상기 제1 캠부 및 제3 캠부는 트레이의 서로 수직인 측면을 각각 푸싱하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 제2 캠부 및 제2 랙 사이에 개재되고 상기 제2 랙의 직선 운동을 회전 운동으로 변환하여 상기 제2 캠부에 전달하는 아이들러 피니언을 더 포함하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 제1 캠부 및 제2 캠부는 상기 캠 로브에 관통홀이 형성되며, 상기 베이스는 상기 제1 캠부 및 제2 캠부의 캠 로브를 사전에 지정된 위치로 조립하기 위한 홈부가 형성되는 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명토록 하며, 도면 전체에 걸쳐 동일한 도면 부호는 동일하거나 유사한 구성 요소를 지칭하고 있다.
도 3, 도 4 및 도 5는 각각, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이 정렬 장치의 사시도, 평면도 및 정면도이며, 도 6은 도 5의 AA 면을 따라 확개한 트레이 정렬 장치의 배면도이다. 한편, 도 3 내지 도 6에서, 상기 트레이 정렬 장치는 반도체 소자가 적재된 트레이를 반도체 소자의 픽업이 가능한 위치로 수직 이동하여 안치하는 장치인 셋플레이트(Set Plate) 장치에 설치된 경우를 예시하고 있다. 셋플레이트 장치는 공지 기술에 따라 구성될 수 있으며, 본 발명의 기술적 특징과는 무관하므로 이에 대한 설명은 생략한다.
도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트레이 정렬 장치는 트레이가 정치되는 베이스(200)와, 도 4를 기준으로 할 때 상기 베이스의 좌·우 상단 모서리 주변에 각각 설치되는 한 쌍의 가이드 핀(205)과, 상기 베이스의 좌·우 하단 모서리 주변에 각각 설치되고 하부의 피니언에 의하여 축회전하는 제1 및 제2 캠부(210, 215)와, 상기 제2 캠부의 피니언과 치합하는 피니언이 구비되는 아이들러(220)와, 상기 제1 캠부와 피니언을 통해 교합하여 회전하는 제3 캠부(225)와, 상기 제1 캠부 및 아이들러의 피니언에 각각 치합하여 이들을 회전시키기 위한 제1 및 제2 랙(230, 235)과, 상기 제1 및 제2 랙을 동일 방향으로 연동하여 작동시키는 양방향 로드(rod) 실린더(240)로 구성되어 있다.
먼저, 베이스(200)는 도 4에 도시된 바와 같이, 그 모서리 주변에 설치된 가이드 핀(205), 제1 및 제3 캠부(210, 225), 그리고 제2 캠부(215) 및 아이들러부(idler)(220)에 의하여 구획되는 사각형의 영역 내에 트레이를 수용하며, 상기 사각형의 영역(이하 "트레이 안치 영역"이라 함)은 트레이의 폭 및 길이에 소정의 마진을 포함하도록 구성될 수 있다. 상기 소정의 마진에 관해서는 제1 및 제3 캠부(210, 225), 제2 캠부(215) 및 아이들러부(idler)(220)의 구성과 관련하여 후술한다.
가이드 핀(205)은 사각형의 트레이 안치 영역의 좌·우 상단 모서리를 형성하도록, 도 4에 도시된 바와 같이 그 좌·우 상단 모서리의 각 변에 하나씩 설치되어 있다.
제1 및 제3 캠부(210, 225)는 트레이 안치 영역의 좌·우 상단 모서리를 형성하도록 그 좌·우 상단 모서리의 각 변에 설치되며, 제2 캠부(215) 및 아이들러 부(idler)(220)는 트레이 안치 영역의 좌·우 하단 모서리를 형성하도록 좌·우 상단 모서리의 각 가장자리에 설치되어 있다.
제1 내지 제3 캠부(210, 215, 225)의 상세한 구성은 도 7을 참조하여 설명하며, 도 7a 및 도 7b는 캠부(210, 215, 225)의 공통된 사시도 및 단면도이다.
도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 각 캠부(210,215,225)는 베이스(200) 상부의 전술한 설치 위치에 형성된 관통홀에 캠(300)의 캠축(305)이 삽입된다. 캠축(305)과 관통홀의 내벽에는 캠축(305)의 축방향 운동을 지지하는 쓰러스트 와셔(thrust washer)가 게재될 수 있다. 캠(300)은 트레이를 정렬하기 위한 캠 로브(310)가 베이스의 상부에서 일방향으로 돌출되어 있고, 캠 로브(310)에는 핀 홀(315)이 베이스를 향하여 수직으로 형성되어 있다.
또한, 캠(300)의 상단에는 캠 와셔(320)가 설치되며, 캠 와셔(320)는 전술한 캠 로브(310)와 같이 일방향으로 돌출된 돌출부(325)를 구비하며, 돌출부(325)는 캠 로브(310)와 소정의 각도를 이루도록 조립된다. 캠 와셔(320)는 돌출부(325)가 회전하여 트레이의 측벽부(측면부)를 상부에서 지지할 수 있는 높이에 설치된다. 예컨대, 플레이트의 측벽부가 단차 형태로 형성된 경우에는 상기 단차부의 상부를 지지할 수 있는 높이에 설치될 수 있다.
캠 와셔(320)의 상단에는 전술한 캠(300) 및 캠 와셔(320)를 캠축(305)에 고정하기 위한 캠 헤드(330)가 설치되어 있다.
한편, 베이스(200)의 상부에는 각 캠부의 캠축(305)이 삽입되는 관통홀 주변에 각 캠 로브의 각도 조정을 위한 홈부(335)가 설치되어 있어서, 캠(300)을 조립 할 때 캠 로브(315)에 형성된 핀 홀(315)과 상기 홈부(335)를 일치하도록 정렬한 후, 핀 홀(315)을 통해 홈부(330)에 핀 또는 볼트를 삽입한다. 이어서, 전술한 캠 와셔(320) 및 캠 헤드(330)의 조립이 완료된 후 상기 삽입된 핀 또는 볼트를 제거함으로써, 캠부(210, 215, 225)에 구비된 세 개의 캠 로브를 원하는 위치에 용이하게 정렬할 수 있다.
캠축(305)의 하단(베이스의 하부에 위치함)에는 피니언(340)이 연결되어 있어서, 피니언(340)의 회전에 따라 캠(300)이 회전하도록 구성되어 있다.
한편, 아이들러부(220)는 전술한 캠부의 구성과 같이 베이스의 하부에서 축회전하는 피니언(340)을 구비하며, 트레이 정렬에 필요한 캠(300) 및 캠 와셔(320)는 생략될 수 있다.
다시 도 3 내지 도 6을 참조하면, 제1 및 제3 캠부(210, 225)의 피니언은 상호 치합하여 반대 방향으로 회전하며, 아이들러부(idler)(220) 및 제2 캠부(215)도 서로 치합하여 반대 방향으로 회전한다.
제1 및 제2 랙(230, 235)은 베이스의 하부에서 양방향 로드 실린더(240)의 양축에 일직선으로 설치되며, 전술한 제1 캠부(210) 및 아이들러부(220)의 피니언(도 7의 340)에 각각 치차 결합하여 양방향 실린더(240)의 작동에 의하여 제1 캠부(210) 및 아이들러부(220)의 피니언을 회전시킨다. 한편, 제1 및 제2 랙(230, 235)의 직선 이동을 가이드하기 위한 LM(Linear Motion) 가이드(245)가 그 이동 경로상에 각각 설치될 수 있다.
또한, 제1 및 제2 랙(230, 235)에는 센서 도그(250)가 각각 설치되며, 양방 향 로드 실린더(240)에 의한 제1 및 제2 랙(230, 235)의 작동 여부를 검출하기 위한 리미트 센서(255)가 베이스의 하부에 고정 설치되어 있다. 이에 따라, 제1 및 제2 랙(230, 235)의 직선 이동시에, 센서 도그(250)가 리미트 센서(255)에 접촉하면 실린더(240)의 작동 상태를 확인할 수 있다.
양방향 로드 실린더(240)는 실린더 로드(rod)가 양방향으로 형성되고, 양방향의 두 로드는 동일 방향으로 동일 거리를 이동하며, 이에 따라 각 로드에 연결된 제1 및 제2 랙(230, 235)도 실린더(240)의 작동시에 서로 동일 방향으로 동일 거리를 움직인다.
이하, 전술한 트레이 정렬 장치의 동작을 설명한다.
먼저, 트레이를 베이스(200)의 상부에 안치하는 동안에는 각 캠부(210, 215, 225)는 캠 로브(310)가 전술한 트레이 안치 영역의 외부를 향한다. 이어서 트레이가 안치되면, 트레이를 정렬하기 위해 실린더(240)가 작동하여 제1 및 제2 랙(230, 235)이 도 4의 좌측 방향으로 이동한다. 이에 따라, 제1 캠부(210)의 피니언 및 아이들러부(220)의 피니언은 반시계 방향으로 회전하며, 이들에 각각 치합되어 있는 제3 캠부(225)의 피니언 및 제2 캠부(215)의 피니언은 시계 방향으로 회전한다. 이 때, 트레이 안치 영역의 좌하단에 위치하는 제1 및 제3 캠부(210, 225)의 캠 로브는 트레이 안치 영역의 외부에서 내부로 회전하면서 베이스(200)에 안치된 트레이를 맞은편의 가이드 핀(205) 방향으로 푸싱한다. 또한, 트레이 안치 영역의 우하단에 위치하는 제2 캠부(215)의 캠 로브도 트레이 안치 영역의 외부에서 내부로 회전하면서 베이스(200)에 안치된 트레이를 전술한 가이드 핀(205) 방향으로 푸싱한다. 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 제1 캠부 및 제3 캠부는 좌하단 모서리의 주변에서 트레이의 서로 수직인 측면을 각각 푸싱하며, 제2 캠부는 상기 제3 캠부와 동일한 측면을 푸싱하도록 구성될 수 있다.
이와 같이, 제1 내지 제3 캠부(210, 215, 225)의 작동과 가이드 핀(205)의 기준 위치 설정에 의하여, 트레이는 트레이 안치 영역의 좌·우 상단 모서리를 기준으로 정렬될 수 있다.
한편, 캠 로브(310)가 트레이를 푸싱하는 거리는 캠 로브의 길이, 그리고 푸싱이 완료된 시점에서 캠 로브와 트레이의 측면이 이루는 각도에 의하여 결정되며, 푸싱이 완료된 시점에서 세 개의 캠 로브와 플레이트의 측면이 이루는 각도는 모두 45ㅀ가 되도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 푸싱 거리에 대응하여 전술한 트레이 안치 영역의 마진을 설계함으로써 정렬 오차를 최소한으로 할 수 있다.
실린더(240)의 스트로크 거리(작동 거리)와 관련하여, 캠 로브의 회전각도는 베이스 상의 각 캠부 주변에 형성된 홈부(335)의 위치와 상기 푸싱 완료 시점에서 캠 로브 위치 사이의 각도에 해당하므로, 피니언의 크기를 고려하여 필요한 랙의 이동 거리를 산출할 수 있다. 랙의 이동거리가 산출되면 전술한 실린더(240)의 스트로크 거리를 산출할 수 있다.
한편, 전술한 바에 따라 제1 내지 제3 캠부(210, 215, 225)가 트레이의 측면(측벽)을 푸싱하는 과정에서, 예컨대 트레이의 측면이 굴곡 형태로 되어 있는 경우에 캠 로브의 푸싱에 의해 트레이가 상방으로 유동하여 트레이가 제대로 정렬되지 않을 수 있다. 이를 해결하기 위해서, 제1 내지 제3 캠부의 캠 로브가 트레이를 푸 싱하기 이전에, 전술한 캠 와셔의 돌출부(325)가 캠 로브보다 먼저 회전하여 트레이의 상부를 지지하도록 할 수 있다. 이 경우에, 각 캠부의 캠 와셔 돌출부는 각 캠부의 회전 방향을 따라 캠 로브보다 선행하는 각도로 조립되며, 캠 로브의 푸싱이 완료되는 시점까지 캠 와셔의 돌출부가 트레이의 상부를 지지하고 있도록 그 각도를 설정할 수 있다.
정렬이 완료되면, 실린더(240)가 도 4의 우측 방향으로 작동함으로써, 캠부(210, 215, 225)의 캠 로브 위치를 원래의 위치로 환원할 수 있다.
이상에서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명하였으나, 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 여타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 예컨대, 본 발명에 따른 정렬 장치는 통상의 트레이 뿐만 아니라 여타의 판형 물체를 정렬하는 데도 적용할 수 있음을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 보호 범위는 이하의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이며, 특허청구범위에 기재된 트레이는 통상의 트레이뿐만 아니라 정렬이 요구되는 여하의 판형 물체를 포함하는 것으로 해석되어야 할 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 하나의 구동 수단, 즉 양방향 로드 실린더에 의하여 트레이의 전·후,좌·우 정렬이 가능하고, 가이드 핀에 의하여 트레이를 항상 고정된 위치에 정렬할 수 있으며, 반복 사용하더라도 트레이 고정 위치의 변동이 발생하지 아니하는 장점이 있다.

Claims (6)

  1. 트레이의 위치를 정렬하는 장치로서,
    트레이가 안치되는 베이스와,
    상기 베이스의 상부에 고정 설치되며, 트레이 안치 영역의 일측에 양 모서리를 형성하는 가이드 수단과,
    상기 트레이 안치 영역에서 상기 가이드 수단의 맞은편 양 모서리 주변에 각각 설치되며, 피니언의 회전에 의하여 캠 로브가 트레이의 측면을 푸싱하는 제1 및 제2 캠부와,
    상기 제1 및 제2 캠부를 각각 회전시키는 제1 및 제2 랙과,
    상기 제1 및 제2 랙을 연동하여 직선 구동하는 실린더
    를 포함하는 트레이 정렬 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 랙은 일직선 상에 설치되며,
    상기 실린더는 상기 제1 및 제2 랙을 연동하여 동일한 거리를 이동시키는 양방향 로드 실린더인 트레이 정렬 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 캠부와 피니언을 통해 교합하며, 상기 제1 캠부의 회전과 연동하여 캠 로브가 트레이의 측면을 푸싱하는 제3 캠부를 더 포함하며,
    상기 제1 캠부 및 제3 캠부는 트레이의 서로 수직인 측면을 각각 푸싱하는 것인 트레이 정렬 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제2 캠부 및 제2 랙 사이에 개재되어, 상기 제2 랙의 직선 운동을 회전 운동으로 변환하여 상기 제2 캠부에 전달하는 아이들러 피니언
    을 더 포함하는 트레이 정렬 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 캠부 및 제2 캠부는,
    상기 캠 로브와 함께 회전하며, 상기 캠 로브가 트레이를 푸싱하는 동안에 상기 트레이의 측면을 상부에서 지지하도록 설치되는 캠 와셔
    를 포함하는 트레이 정렬 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 캠부 및 제2 캠부는 상기 캠 로브에 관통홀이 형성되며,
    상기 베이스는 상기 제1 캠부 및 제2 캠부의 캠 로브를 사전에 지정된 위치로 조립하기 위한 홈부가 형성되는 것인 트레이 정렬 장치.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09283602A (ja) * 1996-04-08 1997-10-31 Sony Corp トレイの位置決め装置
KR20050089110A (ko) * 2004-03-03 2005-09-07 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09283602A (ja) * 1996-04-08 1997-10-31 Sony Corp トレイの位置決め装置
KR20050089110A (ko) * 2004-03-03 2005-09-07 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 정렬장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101316893B1 (ko) 2011-05-17 2013-10-11 에버테크노 주식회사 트레이 얼라이너

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