KR100537230B1 - 반사 열판과 피봇 지지된 리드를 구비하는 공정실 조립체 - Google Patents
반사 열판과 피봇 지지된 리드를 구비하는 공정실 조립체 Download PDFInfo
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- 기부 판과, 리드와, 상기 기부 판과 리드 사이에 위치되며 상기 리드와 상기 기부 판과 함께 공정실을 형성하는 하우징과, 하우징과 리드 사이에 배치된 리드 밀봉 부재와, 기부 판으로부터 리드까지 연장되는 종축을 구비하는 단일의 리드 지지체를 포함하고, 상기 리드는 이 리드를 단일의 리드 지지체로부터 제거하지 않고도 리드의 내부면으로의 접근을 허용하기 위하여 종축을 중심으로 하여 충분히 회전 가능한 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
- 제20항에 있어서, 단일의 리드 지지체가 안내부와 베어링 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
- 제21항에 있어서, 상기 베어링 부재는 하나 이상의 부싱을 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
- 제21항에 있어서, 상기 안내부는 기부판에 견고하게 결합된 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
- 제20항에 있어서, 상기 단일의 리드 지지체가 공압 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
- 제20항에 있어서, 리드 구속 부재를 더 포함하고, 상기 리드 구속 부재는 리드의 회전 이동을 최소화시키는 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
- 제25항에 있어서, 상기 리드 구속 부재는 베어링 부재에 결합된 후퇴 가능한 스프링 플런저인 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
- 제20항에 있어서,공정실 내에서 기부판에 인접하게 배치된 절연체로서, 그 절연체의 바닥면과 기부판의 상부면 사이에 적어도 부분적으로 형성된 에어 갭을 구비하는 절연체와;공정실 내에서 절연체에 인접하게 배치된 열판과;상기 열판과 절연체 사이에 배치된 하나 이상의 제1 반사 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
- 제27항에 있어서, 상기 리드에 결합된 제1 유체 공급 부재를 더 포함하고, 상기 제1 유체 공급 부재는 리드가 하우징에 밀봉되었을 때에는 공정실 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
- 제28항에 있어서, 상기 제1 유체 공급 부재가 샤워 헤드인 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
- 제28항에 있어서, 리드의 외부로부터 연장되어서 상기 제1 유체 공급 부재에 결합된 가요성의 제2 유체 공급 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
- 제30항에 있어서, 상기 가요성의 제2 유체 공급 부재가 유연한 재료로 제조된 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
- 제27항에 있어서, 절연체의 적어도 일부는 공정실 내에 제1 에어 갭을 형성하기 위하여 기부 판으로부터 이격된 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
- 제27항에 있어서, 절연체의 적어도 일부는 기부 판과 열판 사이에 전도 저항 층을 형성시키기 위하여 기부 판으로부터 충분히 이격된 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
- 제32항에 있어서, 상기 제1 에어 갭의 직경은 절연체의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
- 제27항에 있어서, 상기 절연체는 홈을 포함하는 상부면을 구비하는 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
- 제35항에 있어서, 상기 제1 반사 부재는 적어도 부분적으로는 상기 홈 안에 위치된 것을 특징으로 하는 공정 모듈 조립체.
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