KR100536938B1 - 디스플레이용 글라스를 위한 운반 박스 - Google Patents

디스플레이용 글라스를 위한 운반 박스 Download PDF

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Abstract

본 발명은 디스플레이용 글라스 운반 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 개방된 일면을 갖는 그리고 복수의 디스플레이용 글라스가 수납될 수 있도록 복수의 슬롯들이 형성된 내부공간을 갖는 몸체; 상기 개방된 일면을 개폐하기 위한 도어; 및 상기 내부공간의 진공배기를 위한 배기포트를 포함한다. 본 발명에 의하면, 상기 몸체는 겉면에 진공배기시 휘는 것을 방지하기 위한 다수의 보강 리브들과, 상기 몸체의 내부공간으로 불활성가스를 인입할 수 있는 가스 인입포트를 갖는다.

Description

디스플레이용 글라스를 위한 운반 박스{carrier box for Display glass }
본 발명은 디스플레이용 글라스 운반 장치에 관한 것이다.
최근 사무 자동화(OA)기기나 휴대용 소형 TV등의 보급에 따라 이제까지의 전자 디스플레이 장치로 브라운관(CRT) 대신에 액정 디스플레이(LCD), 일렉트로 일루미너 센서(EL)소자, 플라즈마 디스플레이(PDP), 형광표시관(VFD) 등의 연구가 활발히 추진되고 일부는 실용화되고 있다.
이러한 전자 디스플레이 장치는 극도로 경량으로 박형, 저가 저소비 전력구동으로 집적회로와의 정합성이 좋은 특징을 가져 랩톱 컴퓨터(laptop computer)나 포켓 컴퓨터(Pocket computer)의 표시 외에 차량 적재용, 칼라 TV 화상용으로서 그 용도가 급속하게 확대하고 있다. 또한, LCD에 사용되고 있는 칼라필터는 3-5인치가 실용화되어 있고, 10-14인치가 개발중이며 대형화를 향해 급속히 진행되고 있다.
전자 디스플레이 장치를 제조하기 위해서는, 글라스에 성막, 확산, 노광, 에치 등의 각종 처리를 반복하여 실시할 필요가 있다. 이 때문에 일반적으로 디스플레이용 글라스는 실행해야 할 처리공정에 따라서 다른 장치 사이를 작업원 또는 자동반송기구 등에 의해 이송된다.
이러한 상황에서, 디스플레이용 글라스는 전단의 처리가 끝난 후에 바로 다음 처리를 위한 처리장치로 반송된다고 할 수 없고, 다음 처리가 개시되기 전까지의 사이, 장시간, 클린룸 내에서 대기하는 경우가 빈번하게 발생하게 된다.
이때, 디스플레이용 글라스는 장시간 대기와 접촉하게 되고 이러한 상황에서 디스플레이용 글라스 표면에는 수 나노미터(nm) 이하 박막의 자연산화막이 성장하게 된다. 자연산화막의 성장 속도에 영향을 미치는 인자로는 산소농도, 수분 농도나 온도 등을 들 수 있다. 이러한 자연산화막은 디스플레이용 글라스의 특성에 부여하는 악영향이 증대되고 있는 실정이다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 완전한 공정이 이루어지지 않은 디스플레이용 글라스를 대기로부터의 오염 및 산화를 방지할 수 있는 새로운 형태의 디스플레이용 글라스 운반 장치를 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제들을 이루기 위한 디스플레이용 글라스 운반 장치는 개방된 일면을 갖는 그리고 복수의 디스플레이용 글라스가 수납될 수 있도록 복수의 슬롯들이 형성된 내부공간을 갖는 몸체; 상기 개방된 일면을 개폐하기 위한 도어; 및 상기 내부공간의 진공배기를 위한 배기포트를 포함한다.
본 발명에 의하면, 상기 몸체는 겉면에 진공배기시 휘는 것을 방지하기 위한 다수의 보강 리브들과, 상기 몸체의 내부공간으로 불활성가스를 인입할 수 있는 가스 인입포트 그리고 상기 몸체 내부공간의 진공도를 확인하기 위한 압력게이지를 갖는다.
본 발명에 의하면, 상기 몸체에 상기 도어를 닫았을 때, 상기 도어의 열림 방지를 위한 복수의 잠금 장치와, 상기 몸체의 저면에 설치되는 운반을 위한 바퀴들 그리고 상기 몸체의 측면에 설치되는 손잡이를 갖는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 디스플레이용 글라스 운반 장치(100)는 몸체(110), 도어(120) 그리고 포트들이 구비된 포트부(130)를 갖는다.
상기 몸체(110)는 개방된 일면을 갖는 박스형상으로 이루어지며, 그 몸체의 내부공간(112)에는 복수의 디스플레이용 글라스(w)들이 수납될 수 있도록 슬롯(114)들이 형성되어 있다. 상기 몸체(110)의 겉면에는 진공배기시 몸체가 진공압에 의해 휘는 것을 방지하기 위한 보강 리브(116)들이 형성되어 있다. 특히, 상기 몸체에는 운반이 수월하도록 바닥에 4개의 바퀴(118)가 설치되어 있을 뿐만 아니라, 몸체의 상단부에는 손잡이(119)가 설치되어 있다.
예컨대, 상기 몸체(110)는 스테인리스, 알루미늄 또는 프라스틱 계열로 이루어질 수 있다.
상기 도어(120)는 상기 몸체(110)의 개방된 일면을 개폐하기 위해, 일측은 경첩(122)들에 의해 상기 몸체(110)에 고정된다. 상기 몸체(110)에는 상기 도어(120)를 닫았을 때 상기 도어를 고정하기 위한 잠금장치(124)들이 설치되어 있다. 상기 도어와 상기 몸체의 접촉면에는 실링을 위한 오링도 설치됨은 물론이다.
상기 포트부(130)는 상기 몸체(110)의 일측면에 배치된다. 이 포트부(130)에는 상기 몸체의 내부공간(112)으로 불활성가스를 인입할 수 있는 가스 인입포트(132)와, 상기 내부공간의 진공배기를 위한 배기포트(134), 상기 몸체 내부공간의 진공도를 확인하기 위한 압력게이지(136) 그리고 다용도로 사용할 수 있는 예비 인입포트(138)가 설치되어 있다.
본 발명에서는 디스플레이용 글라스를 일 예를 들어 설명하였지만, 12인치 웨이퍼에도 적용할 수 있다.
본 발명은 외부의 분위기와는 차단된 반송이 용이한 운반 박스(100)를 제공하는 것으로, 본 발명의 사용 예를 설명하면, 상기 몸체(110)의 내부 공간(112)에는 다음 공정을 진행하기 위한 또는 장시간 보관하기 위한 디스플레이용 글라스(w)들이 수납된다. 이렇게 디스플레이용 글라스(w)들이 상기 몸체의 내부 공간에 수납되면, 도어(120)를 닫아 상기 내부 공간을 외부와 차단한다. 그리고 상기 배기포트(134)를 통해 상기 내부 공간으로 진공상태로 만든 다음, 상기 가스 인입포트(132)를 통해 불활성가스인 질소가스를 충진하여, 파티클의 부착뿐만 아니라 자연산화막의 발생을 최대한 억제한다.
여기서, 상기 디스플레이용 글라스(w)는 포토 레티클(reticle: 회로 원판)용 기판, 액정 디스플레이 패널용 기판이나 플라즈마 디스플레이 패널용 기판 등의 표시 패널 기판, 하드 디스크용 기판, 반도체 장치 등의 전자 디바이스용 웨이퍼 등을 뜻한다.
이와 같이, 본 발명의 박스(100)는 완전한 공정이 이루어지지 않은 디스플레이용 글라스를 대기 상태가 아닌 진공상태에서 불활성 가스(질소가스)로 충진하여 대기로부터의 오염 및 산화를 방지하고 장시간 보관이 가능한 것이다.
이상에서, 본 발명에 따른 디스플레이용 글라스 운반 장치의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면 자연 산화막의 성장을 최대한 억제하면서 장시간 보관이 가능한 이점이 있다. 본 발명에 따르면, 불활성 가스 분위기로 유지된 상태에서 이동이 용이한 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 운반 박스의 사시도;
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 운반 박스의 정면도;
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 운반 박스의 측면도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 운반 박스의 평면도
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 운반 박스에 기판이 삽입된 상태를 보여주는 도면이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
110 : 몸체
112 : 내부공간
114 : 슬롯
116 : 보강 리브
118 : 바퀴
119 : 손잡이
120 : 도어
130 : 포트부
132 : 가스인입포트
134 : 배기포트
136 : 압력게이지
138 : 예비 인입포트

Claims (6)

  1. 디스플레이용 글라스를 운반하기 위한 장치에 있어서:
    개방된 일면을 갖는 그리고 복수의 디스플레이용 글라스가 수납될 수 있도록 복수의 슬롯들이 형성된 내부공간을 갖는 몸체;
    상기 개방된 일면을 개폐하기 위한 도어; 및
    상기 내부공간의 진공배기를 위한 배기포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 글라스 운반 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 몸체는 겉면에 진공배기시 휘는 것을 방지하기 위한 다수의 보강 리브들을 갖는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 글라스 운반 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 몸체의 내부공간으로 불활성가스를 인입할 수 있는 가스 인입포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 글라스 운반 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 몸체 내부공간의 진공도를 확인하기 위한 압력게이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 글라스 운반 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 몸체에 상기 도어를 닫았을 때, 상기 도어의 열림 방지를 위한 복수의 잠금 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 글라스 운반 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 몸체의 저면에 설치되는 운반을 위한 바퀴들과;
    상기 몸체의 측면에 설치되는 손잡이를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이용 글라스 운반 장치.
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