KR100533628B1

KR100533628B1 - The holdder for fixing jig

Info

Publication number: KR100533628B1
Application number: KR10-2003-0051616A
Authority: KR
Inventors: 이준선; 조숙철
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2003-07-25
Filing date: 2003-07-25
Publication date: 2005-12-06
Also published as: KR20050012918A

Abstract

본 발명은 칩 저항기 제조공정에 있어서 칩 저항기의 측면 전극을 형성하기 위한 스퍼터링(Sputtering) 공정시 이용되는 홀더의 구조 개선에 관한 것으로, 보다 상세하게는 홀더에 부착되는 지그를 다시 분리하여 재부착하지 않고서도 칩 저항기의 양측면에 측면 전극의 형성이 가능하도록 구조가 개선된 지그 장착용 홀더에 관한 것이다.The present invention relates to the improvement of the structure of the holder used in the sputtering process for forming the side electrode of the chip resistor in the chip resistor manufacturing process, and more particularly, do not separate and reattach the jig attached to the holder. The present invention relates to a jig mounting holder having an improved structure so that side electrodes can be formed on both sides of a chip resistor without using the same.

본 발명은 스트립이 적재된 지그를 창착하는 홀더에 있어서, 상기 지그의 상, 하 길이와 같은 간격을 유지하며 소정 면적의 상하면을 갖는 다수의 평행축; 상기 다수의 평행축과 직교하도록 상기 다수 평행축의 전면 및 측면에 각각 배치되며, 상기 다수 평행축을 고정시키는 두 개의 고정커버; 및 상기 평행축 상면의 일단부에 돌기 형태로 형성된 지그 스토퍼를 포함하여, 상기 일 평행축의 상면 및 그 상부에 위치한 평행축의 하면에 접촉하도록 상기 지그를 장착하며, 상기 지그는 상기 지그 스토퍼에 의해 좌우 위치가 고정되는 것을 특징으로 하는 지그 장착용 홀더를 제공한다.The present invention provides a holder for mounting a jig loaded with a strip, the holder comprising: a plurality of parallel axes having a top and bottom lengths of the jig and having a top and bottom of a predetermined area; Two fixing covers disposed on the front and side surfaces of the plurality of parallel axes so as to be orthogonal to the plurality of parallel axes, and fixing the plurality of parallel axes; And a jig stopper formed in a protrusion on one end of the upper surface of the parallel shaft, and mounting the jig so as to contact the upper surface of the one parallel shaft and the lower surface of the parallel shaft located above the jig stopper. Provided is a jig mounting holder characterized in that the position is fixed.

이러한 본 발명의 구성에 의하면, 종래 지그가 부착되는 형태의 홀더에서 지그를 끼우는 형태의 홀더로 구조를 개선함으로써, 스퍼터링 공정에 소요되는 시간을 단축하여 효율적으로 칩 저항기의 측면 전극을 형성할 수 있는 효과가 있다. According to the configuration of the present invention, by improving the structure from the holder of the jig is attached to the conventional jig attached form, it is possible to shorten the time required for the sputtering process to form the side electrode of the chip resistor efficiently It works.

Description

Jig mounting holder {THE HOLDDER FOR FIXING JIG}

도1은 일반적인 칩 저항기의 단면 구조도로서, 도1을 참조하면 칩 저항기는 절연기판(1) 상면에 형성된 박막 저항체(4)와, 그 기판(1) 상면에 있는 박막저항체(4)의 양측에서 형성된 상면전극(3)과, 그 기판(1) 하면의 양측에서 형성된 하면전극(2)과, 상기 상면전극(3)의 일부영역부터 기판의 하면전극(2) 일부영역까지 형성된 측면전극(7)과, 상기 상면전극(3), 하면전극(2) 및 측면전극(7)상에 형성된 도금층(8)과, 상기 저항체(4)를 보호하는 보호층(5)으로 구성된다.1 is a cross-sectional structural view of a general chip resistor. Referring to FIG. 1, a chip resistor is formed on both sides of a thin film resistor 4 formed on an upper surface of an insulating substrate 1 and a thin film resistor 4 on an upper surface of the substrate 1. The upper electrode 3 formed, the lower electrode 2 formed on both sides of the lower surface of the substrate 1, and the side electrode 7 formed from a partial region of the upper electrode 3 to a partial region of the lower electrode 2 of the substrate. ), A plating layer 8 formed on the top electrode 3, the bottom electrode 2, and the side electrode 7, and a protective layer 5 protecting the resistor 4.

도2a 내지 도2h는 도1에 도시된 박막 칩 저항기의 제조공정을 나타낸 순서도로서, 도2a에 도시된 절연기판(1)위에 도2b와 같이 박막 저항체(4), 하면전극(2)(미도시) 및 상면전극(3)을 스퍼터링(Sputtering) 공정을 이용하여 형성하고, 상기 박막 저항체(4), 하면전극(2) 및 상면전극(3)은 포토리소그래피 및 에칭공정을 통해 원하는 패턴으로 구성한다. 2A to 2H are flow charts showing the manufacturing process of the thin film chip resistor shown in FIG. 1, and the thin film resistor 4 and the lower surface electrode 2 (not shown) on the insulating substrate 1 shown in FIG. 2A as shown in FIG. C) and the top electrode 3 are formed using a sputtering process, and the thin film resistor 4, the bottom electrode 2 and the top electrode 3 are formed in a desired pattern through a photolithography and etching process. do.

이러한 결과물에 대해 저항값의 안정화를 위해 열처리를 수행하고, 정밀한 저항값을 얻기 위해 도2c와 같이 레이저 트리밍을 실시하고, 상기 박막 저항체(4)를 보호하기 위한 보호막(5)을 형성한다. Heat treatment is performed on the resultant to stabilize the resistance value, laser trimming is performed to obtain a precise resistance value, and a protective film 5 is formed to protect the thin film resistor 4.

이어, 도2d와 같이 양측면이 노출되도록 스트립(6) 형태로 1차 다이싱한다. Subsequently, primary dicing is performed in the form of a strip 6 to expose both sides as shown in FIG. 2D.

상기 스트립(6)의 측면(6a)에 스퍼터링 공정을 적용하여 측면전극(7)을 형성하기 위해서, 상기 스트립(6)의 측면(6a)이 노출되도록 도2e와 같이 지그(11)에 차례로 적재한다. In order to form the side electrode 7 by applying the sputtering process to the side surface 6a of the strip 6, the side surface 6a of the strip 6 is sequentially loaded on the jig 11 as shown in FIG. 2E. do.

상기 스트립(6)이 적재된 지그(11)를 도2f와 같이 홀더(12)에 장착하고 스퍼터링 공정을 적용하여 지그(11)의 노출된 영역(6a)에 측면전극(7)을 형성한다.The jig 11 on which the strip 6 is loaded is mounted on the holder 12 as shown in FIG. 2F and a sputtering process is applied to form the side electrode 7 in the exposed region 6a of the jig 11.

도2g와 같이, 측면전극(7)이 형성된 스트립(6)을 도2h와 같이 2차 다이싱하여 칩단위로 제조한 후에 니캘(Ni), 팔라듐-주석(Pd-Sn) 합금으로 도금공정을 수행하여 최종 제품인 칩 저항기를 완성한다.As shown in FIG. 2G, the strip 6 having the side electrodes 7 formed thereon is subjected to secondary dicing, as shown in FIG. 2H, and manufactured in chip units, and the plating process is performed using nickel and palladium-tin alloys. To complete the final chip resistor.

상기 도2f에 도시된 바와 같이, 종래 홀더(12)는 지그(11)를 부착하는 형태로서, 일면에 측면전극(7)을 형성하고 타면에 측면전극(7)을 형성하기 위해서는 홀더(12)에 장착된 지그(11)의 노출면이 바뀌도록 장착된 지그(11)를 홀더(12)로부터 떼어내어 다시 장착해야 한다. 이와 같은 공정에 있어서, 종래에는 스트립(6)의 측면전극을 형성하는데 소요되는 스퍼터링 공정 시간뿐만 아니라, 홀더(12)에 장착된 지그(11)의 노출면을 변경하는데 소요되는 시간지연의 문제점이 있다.As shown in FIG. 2F, the holder 12 is a type to which a jig 11 is attached. In order to form the side electrode 7 on one side and the side electrode 7 on the other side, the holder 12 is formed. The mounted jig 11 should be detached from the holder 12 so that the exposed surface of the jig 11 mounted on the jig 11 is changed, and then mounted again. In such a process, the problem of the time delay required to change the exposed surface of the jig 11 mounted on the holder 12 as well as the sputtering process time required to form the side electrode of the strip 6 is conventional. have.

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본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 그 목적은 효율적으로 칩 저항기의 양 측면에 측면 전극을 형성하기 위해서, 홀더에 부착되는 지그를 다시 분리하여 재부착하지 않고서도 칩 저항기의 양측면에 측면 전극의 형성이 가능한 지그 장착용 홀더를 제공하는데 있다.The present invention is to solve the above conventional problems, the object of the chip resistors to efficiently form the side electrodes on both sides of the chip resistor, without having to reattach and reattach the jig attached to the holder It is to provide a jig mounting holder capable of forming side electrodes on both sides.

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 수단으로서, 본 발명은, 스트립이 적재된 지그를 장착하는 홀더에 있어서, 상기 지그의 상, 하 길이와 같은 간격을 유지하며 소정 면적의 상하면을 갖는 다수의 평행축;상기 다수의 평행축과 직교하도록 상기 다수 평행축의 전면 및 측면에 각각 배치되며, 상기 다수 평행축을 고정시키는 두 개의 고정커버; 및상기 평행축 상면의 일단부에 돌기 형태로 형성된 지그 스토퍼를 포함하여,상기 일 평행축의 상면 및 그 상부에 위치한 평행축의 하면에 접촉하도록 상기 지그를 장착하며, 상기 지그는 상기 지그 스토퍼에 의해 좌우 위치가 고정되는 것을 특징으로 하는 지그 장착용 홀더를 제공한다.As a means for achieving the above object of the present invention, the present invention, in the holder for mounting the jig on which the strip is mounted, a plurality of having a top and bottom of a predetermined area while maintaining the same distance as the upper and lower length of the jig A parallel shaft; two fixing covers disposed on the front and side surfaces of the plurality of parallel axes so as to be orthogonal to the plurality of parallel axes, and fixing the plurality of parallel axes; And a jig stopper formed in a protrusion on one end of the upper surface of the parallel shaft, wherein the jig is mounted to contact the upper surface of the one parallel shaft and the lower surface of the parallel shaft located above the parallel shaft, and the jig is left and right by the jig stopper. Provided is a jig mounting holder characterized in that the position is fixed.

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이하, 본 발명에 따른 지그 장착용 홀더는 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 본 발명의 참조된 도면에서 실질적으로 동일한 구성 및 기능을 갖는 구성요소들은 동일한 부호를 사용할 것이다.Hereinafter, a jig mounting holder according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the referenced drawings of the present invention, components having substantially the same configuration and function will use the same reference numerals.

도4는 본 발명에 의한 지그 장착용 홀더의 구성도로서, 도4를 참조하면 본 발명의 장치는, 상기 지그(11)의 상, 하 길이와 같은 간격을 유지하며 소정 면적의 상하면을 갖는 다수의 평행축(21)과, 상기 다수의 평행축(21)과 직교하도록 상기 다수 평행축(21)의 전후면에 배치되어 상기 다수 평행축(21)을 고정시키는 두 개의 고정커버(22)와, 상기 평행축(21) 상면의 일단부에 돌기 형태로 형성된 지그 스토퍼(23)를 포함한다.4 is a block diagram of a jig mounting holder according to the present invention. Referring to FIG. 4, the apparatus of the present invention maintains the same distance as the upper and lower lengths of the jig 11 and has a plurality of upper and lower surfaces of a predetermined area. And two fixing covers 22 disposed on the front and rear surfaces of the plurality of parallel shafts 21 so as to be orthogonal to the plurality of parallel shafts 21, and to fix the plurality of parallel shafts 21. And a jig stopper 23 formed in a protrusion shape at one end of the upper surface of the parallel shaft 21.

도5a는 본 발명에 의한 고정커버와 다수의 평행축이 서로 고정된 영역, 즉 상기 도4의 영역(R)의 단면도이고, 도5b는 상기 영역(R)의 측면도로서, 상기 고정커버(22)는, 상기 다수의 평행축(21)이 고정되는 부분에, 상기 고정커버(22)와 상기 다수의 평행축(21) 사이에 설치되는 텐션 스프링(24b) 및 상기 다수의 평행축(21)이 고정되는 부분에, 상기 고정커버(21)로부터 상기 텐션 스프링(24b)을 통과하여 상기 평행축(22)내에 고정되는 볼트(24a)를 포함한다.5A is a cross-sectional view of a region in which the fixing cover and a plurality of parallel axes are fixed to each other, that is, the region R of FIG. 4, and FIG. 5B is a side view of the region R, and the fixing cover 22 ) Is a tension spring 24b provided between the fixing cover 22 and the plurality of parallel shafts 21 and the plurality of parallel shafts 21 at a portion where the plurality of parallel shafts 21 are fixed. The fixed portion 21 includes a bolt 24a which is fixed in the parallel shaft 22 through the tension spring 24b from the fixing cover 21.

이하, 상기와 같은 구성에 따른 본 발명의 홀더(20)에 지그(11)를 장착하는 과정을 도6을 참조하여 살펴보면, 왕(王)자 모양으로 구성된 다수의 평행축(21) 사이의 간격은 장착되는 지그(11)의 높이와 동일하므로, 상기 지그(11)를 다수의 평행축(21) 사이로 끼운다. 즉, 상기 지그(11)는, 상기 일 평행축의 상면 및 그 상부에 위치한 평행축의 하면에 접촉하도록 장착된다. 이때, 상기 지그(11)가 홀더(20)에 안전하게 장착되도록 , 상기 다수의 평행축(21)에 직교하도록 상기 고정커버(22)를 부착시킨다. 상기 고정커버(22)는 탈부착식으로, 상기 고정커버(22)와 다수의 평행축(21)이 만나는 지점에서 고정커버(22)에 설치된 상기 텐션 스프링(24b)이 다수의 평행축(21)에 최대한 압착하고, 상기 텐션 스프링(24b)과 커플링되어 설치된 상기 볼트(24a)가 상기 텐션 스프링(24b)을 통과하여 상기 평행축(21)내에 고정되어 상기 지그(11)가 홀더(20)에 안정적으로 장착하게 되는 것이다. Hereinafter, the process of mounting the jig 11 to the holder 20 of the present invention as described above with reference to Figure 6, the gap between the plurality of parallel axis 21 configured in the shape of a king (王) shape Since is the same as the height of the jig 11 to be mounted, the jig 11 is sandwiched between a plurality of parallel axes 21. That is, the jig 11 is mounted to contact the upper surface of the one parallel axis and the lower surface of the parallel axis located above the parallel axis. At this time, the fixing cover 22 is attached to be perpendicular to the plurality of parallel shafts 21 so that the jig 11 is securely mounted to the holder 20. The fixing cover 22 is detachable, and the tension spring 24b installed at the fixing cover 22 at the point where the fixing cover 22 and the plurality of parallel shafts 21 meet is provided with a plurality of parallel shafts 21. To the tension spring 24b, the bolt 24a installed in coupling with the tension spring 24b is passed through the tension spring 24b and fixed in the parallel shaft 21 so that the jig 11 is held in the holder 20. It will be installed in a stable.

또한, 상기 스토퍼(23)가 상기 지그(11)의 하단과 접하는 상기 다수의 평행축(21)에 돌기처럼 형성되어, 상기 지그(11)가 한쪽으로 일정하게 고정되도록 한다.In addition, the stopper 23 is formed as a protrusion on the plurality of parallel shafts 21 in contact with the lower end of the jig 11, so that the jig 11 is constantly fixed to one side.

이하, 상기와 같은 구성에 따른 본 발명의 칩 저항기 제조공정을 설명한다. 종래 제조공정과 동일한 제조공정을 나타낸 부분에 있어서는 종래 도2a 내지 도2h에 도시된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, the chip resistor manufacturing process of the present invention according to the configuration as described above. In the part showing the same manufacturing process as the conventional manufacturing process, it demonstrates with reference to the drawing shown to FIG. 2A-2H conventionally.

도2a에 도시된 절연기판(1)위에 도2b와 같이 스퍼터링 공정을 통해 절연기판(1)의 상면에 박막 저항체(4)를 형성한 후에 그 박막 저항체(4)를 포토리소그래피 및 에칭공정으로 원하는 패턴을 형성한다. After the thin film resistor 4 is formed on the upper surface of the insulating substrate 1 through the sputtering process as shown in FIG. 2B on the insulating substrate 1 shown in FIG. 2A, the thin film resistor 4 is subjected to photolithography and etching processes. Form a pattern.

이어, 상기 박막 저항체(4)와 마찬가지로, 스퍼터링 공정을 이용해 기판 상면에 형성된 박막 저항체(4)의 양측과 기판 하면의 양측에 상, 하면 전극(3,2)을 형성하고, 포토리소그래피 및 에칭공정으로 원하는 패턴을 형성한다.Then, similarly to the thin film resistor 4, the upper and lower electrodes 3 and 2 are formed on both sides of the thin film resistor 4 formed on the upper surface of the substrate and on both sides of the lower surface of the substrate using a sputtering process, and the photolithography and etching process To form the desired pattern.

이러한 결과물에 대해 저항값의 안정화를 위해 열처리를 수행하고, 정밀한 저항값을 얻기 위해 도2c와 같이 레이저 트리밍을 실시하고, 상기 박막 저항체(4)를 보호하기 위한 보호막(5)을 형성한다.Heat treatment is performed on the resultant to stabilize the resistance value, laser trimming is performed to obtain a precise resistance value, and a protective film 5 is formed to protect the thin film resistor 4.

이어, 도2d와 같이 양측면이 노출되도록 스트립(6)으로 1차 다이싱한다.Subsequently, primary dicing is performed with the strip 6 to expose both sides as shown in FIG. 2D.

상기 스트립(6)의 측면(6a)에 스퍼터링 공정을 적용하여 측면전극(7)을 형성하기 위해서 상기 스트립(6)의 측면(6a)이 노출되도록 도2e와 같이 지그(11)에 차례로 적재한다. In order to form the side electrode 7 by applying the sputtering process to the side surface 6a of the strip 6, the side surface 6a of the strip 6 is sequentially loaded on the jig 11 as shown in FIG. 2E. .

도2e와 같이 스트립(6)이 적재된 지그(11)를 도6에 도시된 바와 같이 본 발명에 의한 홀더(20)에 장착한다. As shown in Fig. 2E, the jig 11 loaded with the strip 6 is mounted in the holder 20 according to the present invention.

즉, 종래 홀더(12)가 지그(11)의 일면을 부착시키는 형태인 것에 비해, 본 발명의 홀더(20)는 지그(11)의 높이만큼 간격을 두고 설치된 평행축(21) 사이로 지그(11)를 끼우는 형태이다.That is, the holder 20 of the present invention is in the form of attaching one surface of the jig 11, whereas the holder 20 of the present invention is arranged between the parallel shafts 21 spaced apart by the height of the jig 11. ) Is inserted.

도6에 도시된 것처럼 지그가 평행축에 끼워지면 탈부착식으로 설치된 고정커버(22)가 다수의 평행축(21)과 직교하도록 부착된다. 이때, 상기 고정커버(22)와 다수의 평행축이 만나는 지점에서 고정커버(22)에 설치된 상기 텐션 스프링(24b)은 상기 고정커버(22)가 다수의 평행축(21)에 최대한 압착되도록 하며, 상기 텐션 스프링(24b)과 커플링되어 설치된 상기 볼트(24a)는 상기 텐션 스프링(24b)을 통과하여 상기 평행축(21)내에 장착되어 상기 고정커버(22)가 다수의 평행축(21)에 부착되도록 한다.As shown in Fig. 6, when the jig is fitted to the parallel shaft, the fixing cover 22 which is detachably installed is attached to be orthogonal to the plurality of parallel shafts 21. At this time, the tension spring 24b installed on the fixing cover 22 at the point where the fixing cover 22 and the plurality of parallel shafts meet allows the fixing cover 22 to be compressed to the plurality of parallel shafts 21 as much as possible. The bolt 24a coupled to the tension spring 24b is installed in the parallel shaft 21 through the tension spring 24b so that the fixing cover 22 has a plurality of parallel shafts 21. To be attached to the

도6과 같이 지그(11)를 홀더(20)에 장착하고 스퍼터링 공정을 적용하여 지그(11)의 노출된 영역(6a)에 측면전극(7)을 형성한다.As shown in FIG. 6, the jig 11 is mounted on the holder 20 and a sputtering process is applied to form the side electrode 7 in the exposed region 6a of the jig 11.

상기 홀더(20)는 지그(11)의 양면이 노출되도록 지그(11)를 장착함으로써, 상기 지그(11)를 떼어내지 않고 상기 홀더(20)의 방향을 회전시켜 원하는 면에 측면전극(7)을 형성할 수 있다. 이로 인해, 본 발명의 홀더(20)는 종래 스트립(6)의 양측면에 측면전극(7)을 형성하기 위해서 홀더(12)로부터 지그(11)를 떼어내는데 소요되는 시간을 절약하여 스퍼터링 공정 시간을 단축할 수 있다.The holder 20 mounts the jig 11 so that both sides of the jig 11 are exposed, thereby rotating the direction of the holder 20 without removing the jig 11 so that the side electrode 7 is positioned on a desired surface. Can be formed. As a result, the holder 20 of the present invention saves the time required to separate the jig 11 from the holder 12 in order to form the side electrodes 7 on both sides of the conventional strip 6, thereby reducing the sputtering process time. It can be shortened.

상기 도6과 같은 홀더(20)를 통해 측면전극(7)이 형성된 스트립(6)은 도2h와 같이 칩단위로 2차 다이싱 한 후에 니켈(Ni), 팔라듐-주석(Pb-Sn) 합금으로 도금공정을 수행하여 최종 제품인 칩 저항기를 완성한다.The strip 6 on which the side electrodes 7 are formed through the holder 20 as shown in FIG. 6 is subjected to secondary dicing in the chip unit as shown in FIG. 2H, and then nickel (Ni) and palladium-tin (Pb-Sn) alloys. The plating process is performed to complete the chip resistor which is the final product.

본 발명은 종래 지그가 부착되는 형태의 홀더에서 지그를 끼우는 형태의 홀더로 구조를 개선함으로써, 스퍼터링 공정에 소요되는 시간을 단축하여 효율적으로 칩 저항기의 측면 전극을 형성할 수 있는 효과가 있다. The present invention improves the structure from the holder of the jig attached to the holder of the jig form, thereby reducing the time required for the sputtering process and effectively forming the side electrodes of the chip resistors.

도1은 일반적인 박막 칩 저항기를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a general thin film chip resistor.

도2a 내지 도2h는 일반적인 박막 칩 저항기 제조공정의 순서도이다.2A to 2H are flowcharts of a general thin film chip resistor manufacturing process.

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도4는 본 발명에 의한 홀더의 구성도이다.4 is a block diagram of a holder according to the present invention.

도5a는 도4에서 다수의 평행축과 고정커버가 접하는 영역(R)의 단면도이고, 도5b는 영역(R)의 측면도이다.FIG. 5A is a cross-sectional view of a region R in which a plurality of parallel axes and a fixed cover are in contact with FIG. 4, and FIG. 5B is a side view of the region R. FIG.

도6은 본 발명에 의한 홀더에 지그가 장착된 구성도이다.6 is a configuration diagram in which a jig is mounted on a holder according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1: 절연기판 2: 하면전극1: Insulation substrate 2: Bottom electrode

3: 상면전극 4: 저항체3: top electrode 4: resistor

5: 보호층 6: 스트립5: protective layer 6: strip

7: 측면전극 8: 도금층7: side electrode 8: plating layer

11: 지그 20: 홀더11: jig 20: holder

21: 평행축 22: 고정커버21: parallel axis 22: fixed cover

23: 스토퍼 24a: 볼트23: stopper 24a: bolt

24b: 텐션 스프링24b: tension spring

Claims

In the holder for mounting a jig loaded with a strip,

A plurality of parallel axes having an upper surface and a lower surface having a predetermined area while maintaining a distance such as an upper and lower length of the jig;

Two fixing covers disposed on the front and side surfaces of the plurality of parallel axes so as to be orthogonal to the plurality of parallel axes, and fixing the plurality of parallel axes; And

Including a jig stopper formed in a projection on one end of the upper surface of the parallel axis,

And mounting the jig so as to contact the upper surface of the one parallel shaft and the lower surface of the parallel shaft located above the jig, wherein the jig is fixed to the left and right positions by the jig stopper.

The method of claim 1,

The jig mounting holder is characterized in that the jig mounting holder made of a king-shaped.

The method of claim 1, wherein the fixing cover

A tension spring installed between the fixing cover and the plurality of parallel shafts at a portion where the plurality of parallel shafts are fixed; And

And a bolt fixed to the parallel shaft at a portion where the plurality of parallel shafts are fixed, passing through the tension spring from the fixing cover.

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