KR100532850B1 - X-ray inspection system - Google Patents
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Abstract
본 발명은 엑스선 검사를 위한 엑스선 투시장치에 대한 것으로, 발명의 주된 목적은 영상증배관의 위치를 엑스선 조사기로부터 동일 반경을 갖는 가이드레일 상에서 공전의 형태로 위치변경 가능하도록 하고, 그 변경된 위치에서 자전의 형태로 회전하도록 하므로써 피검사물을 통과한 입체영상을 빗각투영방법(Oblique Angle View)으로 보다 자세하게 측정할 수 있도록 하는데 있으며, 또 다른 한편으로는 피검사물을 고정시키되, 5축제어가 가능한 탑재 테이블을 수평상태를 유지한 채 360°이상 회전가능하도록 하므로써 멀티 레이어 회로기판(Multi Layer PCB)위의 자동 납땜시에 발생되는 불량들의 측정이 용이하도록 하는데 있다. The present invention relates to an X-ray perspective apparatus for X-ray inspection, the main object of the invention is to enable the position of the image multiplier to change the position in the form of the idle on the guide rail having the same radius from the X-ray irradiator, and rotate at the changed position By rotating in the form of a three-dimensional image passed through the object to be measured in more detail by the oblique angle view method (Oblique Angle View), on the other hand to fix the test object, but the 5-axis control mounting table It is possible to easily measure the defects generated during the automatic soldering on the multi-layer PCB by maintaining the horizontal state to be able to rotate more than 360 °.
상기 목적한 바를 달성하기 위한 본 발명의 특징적인 수단은 엑스선 검사를 위한 엑스선 투시장치에 있어서, 영상증배기구(400)를 엑스선 조사수단(100)으로부터 동일한 반경을 따라 이동시킬 수 있도록 호형 가이드레일(552)을 포함하여 구성한 공전작동수단(500), 그리고 상기 공전작동수단상에서 자체회전이 가능하도록 구성한 자전작동수단(600)을 마련하여 공전작동 및 자전작동을 실시할 수 있도록 하는데 있다. A characteristic means of the present invention for achieving the above object is an X-ray inspection apparatus for X-ray inspection, the arc-shaped guide rail to move the image multiplying mechanism 400 along the same radius from the X-ray irradiation means 100 ( It is to provide a revolving operation means 500 including the 552, and a revolving operation means 600 configured to enable self-rotation on the revolving operation means to perform the revolving operation and the revolving operation.
Description
본 발명은 엑스선 검사를 위한 엑스선 투시장치에 대한 것으로, 더 상세하게는 엑스선 튜브로부터 발사된 엑스선이 피검사물을 통과한 후 영상증배관에서 획득될 수 있도록 하되, 상기 영상증배관의 위치를 일부 공전시킬 수 있도록 하는 한편, 공전된 상태에서 일부 자전을 시켜 피검사물의 불량유무를 영상으로 더욱 자세히 볼 수 있도록 하는데 특징이 있는 것이다. The present invention relates to an X-ray perspective apparatus for X-ray inspection, and more specifically, X-rays emitted from the X-ray tube to be obtained in the image multiplier after passing the test object, the position of the image multiplier part of the revolution On the other hand, it is characterized by allowing some rotation in the idle state to see in detail the defects of the inspected object.
일반적으로 엑스선 검사를 위한 엑스선 투시장치는 각종 회로기판의 회로실장 상태를 비파괴 상태로 측정하기 위한 것으로서, 주지하는 바와 같이 엑스선의 투과 특성을 이용하는 것이다. In general, the X-ray projected value for X-ray inspection is for measuring the circuit mounting state of various circuit boards in a non-destructive state and, as is well known, uses the transmission characteristics of X-rays.
이와 같이 사용하는 종래의 엑스선 검사장치로 특허 제 280747호(이하 "선행기술1"이라 함)와 특허출원 공개 제2001-0026637호(이하 "선행기술2"라 함)가 있다. Conventional X-ray inspection apparatuses used in this way include Patent No. 280747 (hereinafter referred to as "prior art 1") and Patent Application Publication No. 2001-0026637 (hereinafter referred to as "prior art 2").
선행기술1은 피검사물이 탑재되는 탑재 테이블과, 그 탑재테이블의 상측에 위치되어 상기 피검사물에 대하여 엑스선을 조사하는 엑스선 조사기 및 탑재 테이블의 하측에 위치되어 피검사물을 투과한 엑스선 영상을 가시영상으로 전환하는 영상획득부를 포함하여 구성하며, 특히 상기한 영상획득부를 환형의 경로상에 배치한 후, 회전 이동시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 하고 있다. Prior art 1 is a visible image of a mounting table on which an inspection object is mounted, an X-ray irradiator positioned above the mounting table for irradiating X-rays to the inspection object, and an X-ray image positioned below the mounting table and transmitted through the inspection object. It comprises a video acquisition unit for switching to, and in particular, characterized in that the image acquisition unit is arranged on the annular path, it can be rotated.
또, 선행기술2는 엑스선 영상을 촬영하기 위해 피검사물을 고정하는 탑재 테이블과, 상기 피검사물의 축지점에 임의의 각도로 엑스선을 조사하기 위하여 원형 궤도로 회전 시킬 수 있는 엑스선 조사기와, 상기 엑스선 조사기에서 발생된 엑스선이 피검사물을 투과한 후 도달되는 영상을 획등하기 위하여 방사상으로 설치한 다수개(도면상에는 8개를 표현함)의 영상증배관으로 구성하며, 특히 이 영상증배관은 상기 엑스선 조사기를 향하여 기울어진 채 고정시키는 것을 특징으로 하고 있다. In addition, the prior art 2 is a mounting table for fixing the inspection object to take an X-ray image, an X-ray irradiator that can be rotated in a circular orbit to irradiate the X-rays at an angle to the axis point of the inspection object, and the X-ray The X-rays generated from the irradiator consist of a plurality of image multipliers (8 on the drawing) installed radially to equalize the images reached after passing through the test object. It is characterized in that fixed to be inclined toward.
그러나 전자의 경우, 영상획득부가 가동 테이블에 탑재되어 피검사물을 투과한 엑스선 단층영상을 따라 이동될 수 있다는 장점이 있기는 하나, 영상획득부의 자체 각도가 회전하지 않기 때문에 그 영상을 수직의 상태 또는 빗각의 상태로 전환시키면서 관찰할 수 없는 단점이 있다. However, in the former case, the image acquisition unit is mounted on the movable table and can be moved along the X-ray tomography image that has passed through the inspected object. However, since the image acquisition unit does not rotate its own angle, the image is vertical or There is a disadvantage that can not be observed while switching to the oblique state.
또 한, 후자의 경우, 엑스선 조사기를 회전시킬 수 있도록 함과 동시에 영상증배관을 다수 설치하였기 때문에 피검사물의 여러 방향으로 영상을 획득할 수 있는 장점이 있기는 하나, 역시 각각의 영상증배관을 자체 회전시킬 수 없기 때문에 임의의 각도에서 검토되는 영상을 더욱 자세히 검사할 수 없는 단점이 있다. In addition, in the latter case, the X-ray irradiator can be rotated and a plurality of image multipliers are installed, so that the image can be acquired in various directions of the inspected object. Since it cannot be rotated by itself, there is a disadvantage in that the image examined from an arbitrary angle cannot be examined in more detail.
그리고 또, 상기한 선행기술1, 선행기술2은 물론이고, 여기서 제시하지 않은 또 다른 엑스선 측정장치들도 대부분 피검사물의 탑재 테이블을 회전시키지 못하기 때문에 운용이 번거로웠다. In addition, the above-described prior art 1, the prior art 2, as well as other X-ray measuring devices not presented here, the operation is cumbersome because most of the mounting table can not rotate the inspection object.
예컨대 종래의 비 회전식 탑재 테이블은 피검사물의 엑스선 투과 방향을 달리 하고 싶으면, 엑스선 조사기를 회전시킴과 동시에 별도의 입체 구동장치(x축 방향, y축 방향, z축방향으로의 이동장치)를 사용하여 긴밀하게 위치 이동시키고, 셋팅하여야 하는 단점이 있다. For example, if the conventional non-rotary mounting table wants to change the X-ray transmission direction of the inspected object, the X-ray irradiator is rotated and a separate three-dimensional drive device (moving device in the x-axis direction, y-axis direction, and z-axis direction) is used. There is a disadvantage in that the position is moved closely and set.
따라서 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결 보안하고자 안출한 것으로, 발명의 주된 목적은 영상증배관의 위치를 엑스선 조사기로부터 동일 반경을 갖는 가이드레일 상에서 공전의 형태로(일부 구간에 한정하여 회전하지만 공전회전으로 봄) 위치변경 가능하도록 하고, 그 변경된 위치에서 자전의 형태로(일부 각도에 한정하여 회전하지만 자전회전으로 봄) 회전하도록 하므로써 피검사물을 통과한 입체영상을 빗각투영방법(Oblique Angle View)으로 보다 자세하게 측정할 수 있도록 하는데 있으며, 또 다른 한편으로는 피검사물을 고정시키되, 5축제어가 가능한 탑재 테이블을 수평상태를 유지한 채 360°이상 회전가능하도록 하므로써 멀티 레이어 회로기판(Multi Layer PCB)위의 자동 납땜시에 발생되는 불량들의 측정이 용이하도록 하는데 있다. Therefore, the present invention has been made to solve the conventional problems as described above, the main object of the invention is to rotate the position of the image multiplier in the form of revolving on the guide rail having the same radius from the X-ray irradiator (limited to some sections However, it is possible to change the position of the object by rotating it in the form of rotation (rotating to some angles but rotating it in rotation) at the changed position. On the other hand, by fixing the inspected object and rotating the mounting table with 5-axis control by 360 ° or more while maintaining the horizontal state. It is to make it easy to measure the defects generated during the automatic soldering on the PCB).
상기 목적한 바를 달성하기 위한 본 발명의 특징적인 수단은 엑스선 조사수단과, 상기 엑스선 조사수단으로부터 조사되는 엑스선의 조사범위에 있도록 마련한 피검사물 고정용 탑재 테이블, 그리고 상기 탑재 테이블을 설치하기 위한 베이스판재와, 상기 탑재 테이블을 포함한 채 베이스판재를 입체적으로 이동시킬 목적으로 X축방향 이송기구와, Y축방향 이송기구와, Z축방향 이송기구를 포함하는 위치조절수단, 그리고 상기 탑재 테이블을 기준으로 엑스선 조사수단의 반대쪽에 마련한 영상증배기구를 포함하는 엑스선 검사를 위한 엑스선 투시장치에 있어서, 상기한 영상증배기구는 상기 엑스선 조사수단으로부터 동일한 반경을 따라 이동시킬 수 있도록 호형 가이드레일을 포함하는 공전작동수단, 그리고 상기 공전작동수단상에서 자체회전이 가능하도록 자전작동수단을 구비하여 공전작동 및 자전작동을 실시할 수 있도록 하는데 있다. A characteristic means of the present invention for achieving the above object is an X-ray irradiation means, a mounting table for fixing the inspection object provided to be in the irradiation range of the X-rays irradiated from the X-ray irradiation means, and a base plate for installing the mounting table And a position adjusting means including an X-axis feed mechanism, a Y-axis feed mechanism, and a Z-axis feed mechanism for the purpose of three-dimensionally moving the base plate while including the mounting table. An X-ray perspective apparatus for X-ray inspection including an image multiplying mechanism provided on an opposite side of the X-ray radiating means, wherein the image multiplying mechanism includes an arc-shaped guide rail to move along the same radius from the X-ray radiating means. Self-rotation on means and on said idle means It is to provide a rotating operation means so that the idle operation and the rotating operation can be performed.
이하 본 발명의 구성을 첨부 도면에 따라 상세히 설명한다. Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 전체 구성을 보인 정면도, 도 2는 본 발명의 전체 구성을 보인 측면도, 그리고 도 3은 본 발명의 전체 구성을 보인 평면도이다. 1 is a front view showing the overall configuration of the present invention, FIG. 2 is a side view showing the overall configuration of the present invention, and FIG. 3 is a plan view showing the overall configuration of the present invention.
먼저, 상기 도면에서 보듯이 본 발명의 구성은 엑스선 조사수단(100)과, 상기 엑스선 조사수단(100)으로부터 조사되는 엑스선의 조사범위에 있도록 마련한 피검사물 고정용 탑재 테이블(200), 그리고 상기 탑재 테이블을 설치하기 위한 베이스판재(210)와, 상기 탑재 테이블을 포함한 채 베이스판재를 입체적으로 이동시킬 목적으로 X축방향 이송기구와, Y축방향 이송기구와, Z축방향 이송기구를 포함하는 위치조절수단(300), 그리고 상기 탑재 테이블(200)을 기준으로 엑스선 조사수단(100)의 반대쪽에 마련한 영상증배기구(400)를 구비하는 것이다. First, as shown in the drawing, the configuration of the present invention is the X-ray irradiation means 100, the mounting table for fixing the inspection object 200 provided to be in the irradiation range of the X-rays irradiated from the X-ray irradiation means 100, and the mounting A position including an X-axis feed mechanism, a Y-axis feed mechanism, and a Z-axis feed mechanism for the purpose of three-dimensionally moving the base plate material including the mounting table and the base plate material for installing the table. The control means 300 and the image multiplying mechanism 400 provided on the opposite side of the X-ray irradiation means 100 on the basis of the mounting table 200.
이때, 본 발명의 특징적인 구성은 피검사물을 고정하기 위한 탑재 테이블(200)과 영상증배기구(400) 조작용 구성이다. At this time, the characteristic configuration of the present invention is a configuration for operating the mounting table 200 and the image multiplication mechanism 400 for fixing the inspection object.
즉, 상기한 탑재 테이블(200)은 베이스판재(210) 상에 구비한 수평회전용 동력수단(220)으로써 360° 이상 회전이 가능하도록 하되, 상기한 수평회전용 동력수단(220)의 구성은 상기 베이스판재(210) 상에 마련한 다수의 아이들 풀리(211)와, 탑재 테이블(200)의 저면에 마련한 다수의 회전 풀리(201)와, 상기한 아이들 풀리들 및 회전 풀리들 사이에 연결한 벨트(221)와, 상기 벨트를 정/역회전 시키기 위한 벨트모터(222)로 구성하는 것이다. That is, the mounting table 200 is to be rotated by 360 ° or more as the horizontal power unit 220 provided on the base plate 210, the configuration of the power unit 220 for horizontal rotation is A plurality of idle pulleys 211 provided on the base plate 210, a plurality of rotary pulleys 201 provided on the bottom surface of the mounting table 200, the belt connected between the idle pulleys and the rotary pulleys 221, and the belt motor 222 for forward / reverse rotation of the belt.
또한, 영상증배기구(400)를 조작하기 위해서는 호형 가이드레일(552)을 포함하는 공전작동수단(500)과, 상기 공전작동수단(500)에 포함되는 자전작동수단(600)을 구비하여 공전작동 및 자전작동을 실시할 수 있도록 하는 것이 중요하다. In addition, in order to operate the image multiplying mechanism 400, the revolving operation means 500 including the arc-shaped guide rail 552, and the revolving operation means 600 included in the revolving operation means 500, the revolving operation And it is important to be able to perform the rotating operation.
상기 공전작동수단(500)은 도 4, 도 5 및 도 6에서 보는 바와 같이 바닥부분에 지지프레임(510)을 설치하고, 이 지지프레임상에 호형레일(552)을 고정하되, 이 호형레일(552)은 상기한 엑스선 조사수단(100)을 중심점으로 가지도록 한다. The idle operation means 500 is provided with a support frame 510 on the bottom portion, as shown in Figures 4, 5 and 6, to fix the arc of the rail 552 on the support frame, this arc ( 552 has the X-ray irradiation means 100 as a center point.
그리고 이 호형레일(552)을 따라 이동할 수 있는 홀딩부재(530)와, 상기 홀딩부재(530)를 고정할 수 있는 지지기구(540), 그리고 상기 지지기구를 상기 호형레일을 따라 이동시키기 위한 구동수단(550)을 마련한 후, 상기 지지기구(540)에 영상증배기구(400)를 부착하는 것이다. And a holding member 530 that can move along the arc rail 552, a support mechanism 540 that can fix the holding member 530, and a drive for moving the support mechanism along the arc rail. After providing the means 550, the image multiplying mechanism 400 is attached to the support mechanism 540.
그리고 상기 구동수단(550)은 영상증배기구(400)를 포함한 상기 지지기구(540)를 이동시키기 위해 기어벨트(553)를 설치하되, 아이들롤러(551)를 사용하여 상기 호형레일(552)을 따라 설치한 후 그 끝단을 상기 지지기구(540)에 고정하고, 상기 기어벨트(553)를 구동시키기 위해 벨트풀리(554)를 구비한 채 지지기구(540) 상에 고정시킨 구동모터(555)를 포함한다. The driving means 550 installs a gear belt 553 to move the support mechanism 540 including the image multiplying mechanism 400, and uses the idle roller 551 to move the arc rail 552. Drive motor 555 fixed to the support mechanism 540 with the belt pulley 554 for fixing the end thereof to the support mechanism 540 and to drive the gear belt 553 after the installation. It includes.
한편, 자전작동수단(600)은 도 7에서 보는 바와 같이 상기 지지기구(540)상에 설치한 프론트 브라켓(542)과 리어 브라켓(541)의 사이에 설치된다. 즉, 호형레일(552)용 홀딩부재(530)가 고정된 리어 브라켓(541)과, 영상증배기구(400)가 고정된 프론트 브라켓(542)의 사이에 서로를 연결한 회전축(610)과, 상기 프론트 브라켓(542)에 마련된 피동치차(620)와, 상기 피동치차(620)에 치합된 원동치차(630)와, 상기 원동치차를 가지면서 리어 브라켓(541)에 고정된 액튜에이터(640)로 이루어 진다.On the other hand, the rotating operation means 600 is installed between the front bracket 542 and the rear bracket 541 installed on the support mechanism 540 as shown in FIG. That is, the rotating shaft 610 connected to each other between the rear bracket 541 to which the holding member 530 for the arc-shaped rail 552 is fixed, and the front bracket 542 to which the image multiplying mechanism 400 is fixed, and A driven gear 620 provided in the front bracket 542, a driven gear 630 engaged with the driven gear 620, and an actuator 640 fixed to the rear bracket 541 while having the driven gear. Is done.
그 외에 도면 중 미설명 부호 700은 전체 작동을 컨트롤하기 위한 컴퓨터이고, 700은 프린터이다. In addition, reference numeral 700 in the drawings is a computer for controlling the overall operation, 700 is a printer.
다음은 상기와 같이 구성된 본 발명의 작동상태를 설명한다. The following describes the operating state of the present invention configured as described above.
먼저, 상기한 탑재 테이블(200)은 도 2 및 도 3에서 보는 바와 같이 베이스판재(210) 상에 구비한 수평회전용 동력수단(220)으로써 360° 이상 회전이 가능하게 된다. 즉, 컴퓨터(700)를 포함하는 컨트롤 시스템의 지시를 받아 베이스판재(210) 위의 벨트모터(222)가 작동하면, 베이스판재(210) 상에 마련한 다수의 아이들 풀리(211)와 탑재 테이블(200)의 저면에 마련한 다수의 회전 풀리(201)들 사이에 연결한 벨트(221)를 정/역행시킨다. First, the mounting table 200 as shown in Figures 2 and 3 as the horizontal rotational power means 220 provided on the base plate 210 can be rotated 360 ° or more. That is, when the belt motor 222 on the base plate 210 operates under the instruction of the control system including the computer 700, the plurality of idle pulleys 211 and the mounting table (provided on the base plate 210) The belt 221 connected between the plurality of rotary pulleys 201 provided on the bottom of the 200 is forwarded / reversed.
따라서 상기 탑재 테이블(200)이 베이스판재(210) 위에서 회전을 할 수 있게 되고, 탑재 테이블(200)상에 고정시키는 피검사물의 엑스선 조사 위치를 달리할 수 있게 된다. Therefore, the mounting table 200 can be rotated on the base plate 210, and the X-ray irradiation position of the inspected object to be fixed on the mounting table 200 can be changed.
그러므로 이러한 탑재 테이블(200)의 회전은 앞서 말한 바와 같이 테이블 전체를 움직이기 위한 입체 구동장치(x축 방향, y축 방향, z축방향으로의 이동장치)의 작동 시간을 단축시켜주는 작용을 한다. Therefore, the rotation of the mounting table 200 serves to shorten the operation time of the three-dimensional drive device (moving device in the x-axis direction, y-axis direction, z-axis direction) for moving the entire table as described above .
다음으로, 탑재 테이블(200)의 입체이동 및 회전으로 피검사물의 측정부분이 정해지면 엑스선 조사수단(100)에서 조사되는 엑스선을 받아 영상화 시킬 수 있도록 영상증배기구(400)를 적절한 위치로 이동시킨다. Next, when the measurement portion of the inspection object is determined by the stereoscopic movement and rotation of the mounting table 200, the image multiplying mechanism 400 is moved to an appropriate position so that the X-ray irradiated from the X-ray irradiation means 100 can be imaged. .
이때는 컴퓨터(700)를 포함하는 컨트롤 시스템의 지시에 따라 공전작동수단(500)이 작동한다. At this time, the idle operation means 500 operates according to the instruction of the control system including the computer 700.
즉, 도 4 및 도 5에서 보는 바와 같이 구동수단(550)의 구동모터(555)가 정회전 또는 역회전 하므로써 호형레일(552)을 따라 설치된 기어벨트(553)가 당겨지거나 풀리게 되고, 따라서 홀딩부재(530)로써 호형레일(552)에 얹힌 지지기구(540)는 호형레일(552)을 타고 전진 또는 후진하게 된다. That is, as shown in FIGS. 4 and 5, the driving motor 555 of the driving means 550 is rotated forward or reverse, so that the gear belt 553 installed along the arc rail 552 is pulled or released, thus holding. The support mechanism 540 mounted on the arc rail 552 as the member 530 is moved forward or backward by the arc rail 552.
이와 같이 공전작동수단(500)이 작동시켜서 원하는 장소로 지지기구(540)를 이동시키면 그 외측에 구비된 영상증배기구(400)가 피검사물을 통과한 엑스선을 영상화 한다.As such, when the revolving operation means 500 operates to move the support mechanism 540 to a desired place, the image multiplying mechanism 400 provided at the outside thereof images the X-rays passing through the inspection object.
참고로 이때 볼수 있는 영상은 도 9에서 보는 바와 같이 입체감이 있는 상태로 볼 수 있게 된다. For reference, the image that can be viewed at this time can be viewed in a state having a three-dimensional effect as shown in FIG.
그리고 상기 도 9에서 보는 바와 같은 상태에서 특정 부분의 외형을 더 상세히 관찰하기 위해서는 도 8에서 보는 바와 같이 공전작동수단이 작동된 상태에서 상태에서 자전작동수단을 구동시켜 영상증배기구(400)를 임의의 각도로 회전시킨다. In order to observe the appearance of a specific part in a state as shown in FIG. 9 in more detail, as shown in FIG. 8, the image multiplying mechanism 400 is randomly driven by driving the rotating operation means in a state where the revolving operation means is operated. Rotate at an angle of.
즉, 도 6 및 도 7에서 보는 바와 같이 리어 브라켓(541) 측에 설치된 액튜에이터(640)를 구동시키면 원동치차(630)가 프론트 브라켓(542) 측에 고정된 피동치차(620)를 회전시키게 되고, 프론트 브라켓(542)은 리어 브라켓(541)과 회전축(610)으로써 축설되어 있기 때문에 피동치차(620)가 회전하는 만큼 영상증배기구(400) 역시 도 8에서 보는 바와 같이 회전을 하게 된다. That is, when the actuator 640 installed on the rear bracket 541 side is driven as shown in FIGS. 6 and 7, the driving gear 630 rotates the driven gear 620 fixed to the front bracket 542 side. Since the front bracket 542 is arranged as the rear bracket 541 and the rotation shaft 610, the image multiplying mechanism 400 also rotates as shown in FIG. 8 as the driven gear 620 rotates.
따라서 특정부분은 도 10에서 보는 바와 같이 그 외형을 더 자세히 살필 수 있게 되는 것이다. Therefore, the specific part will be able to examine the appearance in more detail as shown in FIG.
본 발명의 공전작동수단(500)과 자전작동수단(600)은 상세한 구성 설명 및 도면에서 표현된 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상이 크게 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 수단으로 실시될 수 있음을 밝혀 둔다.The revolving operation means 500 and the revolving operation means 600 of the present invention are not limited to the embodiments represented in the detailed configuration description and drawings, and may be implemented by various means within the scope of the technical idea of the present invention. Let's find out.
위에서 상세히 설명한 바와 같은 본 발명은 영상증배관의 위치를 엑스선 조사기로부터 동일 반경을 갖는 가이드레일 상에서 공전의 형태로 위치변경 시킬 수 있도록 하고, 그 변경된 위치에서 자전의 형태로 회전시킬 수 있도록 하였기 때문에 피검사물을 통과한 엑스선 영상을 3차원 빗각투영방법(Oblique Angle View)으로 더욱 입체감 있게 자세하게 측정할 수 있는 장점이 있다. As described in detail above, the present invention enables the position of the image multiplier to be changed in the form of revolution on the guide rail having the same radius from the X-ray irradiator, and to rotate in the form of rotation at the changed position. The X-ray image passing through the object can be measured in three-dimensional detail in three-dimensional oblique angle view.
즉, 종래의 2차원 검사에서는 볼 수 없었던 불량 예컨대, 납땜의 다층구조적 이중겹침당태에서의 균열, 들뜸(냉땜), 힐렛 및 힐의 납땜 상태, 비아홀의 적층상태까지 정확하게 볼 수 있게 되었으며, 고밀도, 고집적 팩케이지의 검사에서도 선명도를 크게 높일 수 있게 된 것이다. That is, defects that were not seen in the conventional two-dimensional inspection, for example, cracks, lifting (cold soldering), soldering state of the hillet and heel, and stacking of via holes in the multi-layered double overlapping state of soldering can be accurately seen. Even in the inspection of highly integrated packages, the sharpness can be greatly increased.
뿐만 아니라 피검사물을 고정시키는 탑재 테이블을 수평상태를 그대로 유지한 채 엑스선 발생기의 중심을 기준으로 360° 이상 회전가능하도록 하였기 때문에 통상적인 입체구동장치를 반복 이동과 제어부분 이동에 관한 처리속도와 기계적인 구조의 수명이 연장된 것이며, 아울러 피사물의 길이와 관계없이 원하는 부위를 신속하게 측정할 수 있는 장점이 있다. In addition, the mounting table for fixing the inspected object is rotated more than 360 ° with respect to the center of the X-ray generator while keeping the horizontal state as it is. The lifetime of the conventional structure is extended, and there is an advantage in that it is possible to quickly measure a desired area irrespective of the length of the object.
도 1은 본 발명의 전체 구성을 보인 정면도1 is a front view showing the overall configuration of the present invention
도 2는 본 발명의 전체 구성을 보인 측면도Figure 2 is a side view showing the overall configuration of the present invention
도 3은 본 발명의 전체 구성을 보인 평면도3 is a plan view showing the overall configuration of the present invention
도 4는 본 발명의 공전작동수단의 구성을 보인 부분 정면도Figure 4 is a partial front view showing the configuration of the idle operation means of the present invention
도 5는 본 발명의 공전작동수단의 구성을 보인 사시도Figure 5 is a perspective view showing the configuration of the idle operation means of the present invention
도 6은 본 발명의 공전작동수단 및 자잔작동수단을 보인 단면도6 is a cross-sectional view showing the idle operation means and the residual operation means of the present invention.
도 7은 본 발명의 자전작동수단의 실시예를 보인 분해 사시도Figure 7 is an exploded perspective view showing an embodiment of the rotating operation means of the present invention
도 8은 본 발명의 공전작동 및 자전작동을 설명하기 위한 개략도8 is a schematic view for explaining the idle operation and the rotation operation of the present invention
도 9는 본 발명의 공전작동 후 검사된 영상의 예시도9 is an exemplary view of the image inspected after the idle operation of the present invention
도 10은 본 발명의 자전작동 후 검사된 영상의 예시도 10 is an exemplary view of the image examined after the rotation operation of the present invention
<도면의 주요 부분에 대한 부호설명><Code Description of Main Parts of Drawing>
100 : 엑스선 조사수단 200 : 탑재 테이블100: X-ray irradiation means 200: mounting table
201 : 회전풀리 210 : 베이스판재201: rotating pulley 210: base plate
211 : 아이들풀리 220 : 수평회전용 동력수단211: idler pulley 220: power unit for horizontal rotation
221 : 벨트 222 : 벨트모터221: belt 222: belt motor
300 : 위치조절수단 400 : 영상증배기구300: position control means 400: image multiplication mechanism
500 : 공전작동수단 510 : 지지프레임500: idle operation means 510: support frame
530 : 홀딩부재 540 : 지지기구530: holding member 540: support mechanism
541 : 리어 브라켓 542 : 프론트 브라켓541 rear bracket 542 front bracket
550 : 구동수단 551 : 아이들롤러550: driving means 551: idle roller
552 : 호형레일 553 : 기어벨트552: arc rail 553: gear belt
554 : 벨트풀리 555 : 구동모터554: belt pulley 555: drive motor
600 : 자전작동수단 610 : 회전축600: rotating operation means 610: rotating shaft
620 : 피동치차 630 : 원동치차620: driven gear 630: driven gear
640 : 액튜에이터 640: Actuator
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