KR100517151B1 - Ｓｍｉｆ파드 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 SMIF 파드에 관한 것으로서, 파드플레이트에 설치된 회전판의 회전에 따라 락킹장치에 의해 파드플레이트와 파드커버가 분리/결합되는 SMIF 파드에 있어서, 파드플레이트에 부설되어 회전판과 상호 연동하여 회전되는 개폐 로터리스위치와, 파드플레이트에 부설되어 회전판과 개폐 로터리스위치의 사이에서 회전력을 전달하여 상호 연동되도록 하는 회전력 전달부재를 포함하며, SMIF 파드를 개폐하는 락킹장치와 상호 연동되는 수동 개폐장치를 파드플레이트에 부설하여 작업자가 파드를 쉽게 개폐할 수 있고, 기존의 락킹장치와 본 발명에 따라 부설된 수동 개폐장치의 동작을 제한하는 락킹스위치가 마련되어 SMIF 파드의 불요한 개폐를 방지할 수 있는 이점이 있다.

Description

ＳＭＩＦ파드{STANDARD MECHANICAL INTERFACE POD}
본 발명은 SMIF(Standard Mechanical Interface) 파드(Pod)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 파드를 개폐하는 락킹장치와 상호 연동되는 수동 개폐장치를 파드플레이트에 부설하여 작업자가 파드를 쉽게 개폐할 수 있도록 한 SMIF 파드에 관한 것이다.
일반적으로, 좁은 공간의 청정실 등에서의 대기 콘트롤 및 프로세스 처리시 인위적인 실수 등을 방지하기 위하여 SMIF 장치가 사용된다. SMIF는 반도체 소자의 제조공정을 수행하는 반도체 소자 제조장비의 주변장치로서 웨이퍼 또는 웨이퍼가 저장된 웨이퍼카세트를 반도체 소자 제조장비에 로딩 및 언로딩하는 데 사용된다.
SMIF 장치는 SMIF 파드가 구비되며, SMIF 파드는 웨이퍼가 장착된 웨이퍼카세트를 수납하여 밀폐상태로 유지시킴과 아울러 작업자가 운반할 수 있도록 SMIF 장치로부터 분리된다.
종래의 SMIF 장치에 구비되는 SMIF 파드를 첨부된 도면을 이용하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래의 SMIF 파드를 도시한 분해사시도이다. 도시된 바와 같이, 상측면에 웨이퍼카세트(미도시)가 안착되는 파드플레이트(10)와, 파드플레이트(10)에 상측으로부터 착탈가능하게 결합되는 파드커버(20)와, 파드플레이트(10)와 파드커버(20)의 분리를 억제시키는 락킹장치(30)를 포함한다.
파드플레이트(10)는 가장자리가 파드커버(20)의 하단에 억지 끼워짐으로써 파드커버(20)에 착탈가능하게 결합된다.
파드커버(20)는 하단에 파드플레이트(10)의 가장자리가 끼워지도록 플랜지(21)가 형성되며, 양측면에 손잡이(22)가 수직되게 설치된다.
손잡이(22)가 파드커버(20)의 양측면에 수직되게 설치되도록 파드커버(20)의 상면 양측에 볼트(B)에 의해 상부고정부재(23)가 각각 부착되고, 양측면에 상부고정부재(23)의 하측으로 하부고정부재(24)가 역시 볼트(B)에 의해 각각 부착되며, 상부고정부재(23)와 하부고정부재(24)에 손잡이(22)의 상단과 하단이 각각 볼트(B)에 의해 고정된다.
또한, 파드커버(20)는 파드플레이트(10)와의 결합부위에 SMIF 파드(1) 내부의 밀폐를 위하여 고무재질로 이루어지는 미도시된 밀봉재가 마련된다.
락킹장치(30)는 파드커버(20)의 플랜지(21)에 앞뒤로 각각 형성되는 복수의 걸림홀(31)과, 파드플레이트(10)상에 설치된 회전판(32)의 회전에 의해 파드플레이트(10)의 전후측으로 각각 돌출되어 걸림홀(31)에 끼워지는 복수의 걸림돌기(33)를 포함한다.
이와 같은 종래의 SMIF 파드(1)는 파드플레이트(10)상에 웨이퍼카세트가 놓여지면 파드커버(20)의 플랜지(21)에 파드플레이트(10)가 끼워지고, SMIF 장치 또는작업자에 의해 회전판(32)을 회전시킴으로써 파드플레이트(10)의 전후측으로 각각 걸림돌기(33)를 돌출시켜서 파드커버(20)의 플랜지(21)에 형성된 걸림홀(31)에 삽입시킨다. 따라서, 파드플레이트(10)와 파드커버(20)는 서로 분리가 억제된다.
파드플레이트(10)로부터 파드커버(20)가 분리시에는 SMIF 장치 또는 작업자에 의해 파드플레이트(10)상에 설치된 회전판(32)을 반대방향으로 회전시킴으로써 걸림홀(31)에 삽입된 걸림돌기(33)를 파드플레이트(10) 내측으로 삽입시킨다.
그러나, 종래의 SMIF 파드(1)는 전술한 바와 같이 락킹장치(30)의 회전판(32)을 회전시켜 파드플레이트(10)와 파드커버(20)를 상호 분리/결합(개폐)시킬 수 있으나 SMIF 장치에 의하지 아니하고 작업자가 직접 개폐하고자 할 경우에는 락킹장치(30)의 구조적 특성으로 매우 번거로울 뿐만 아니라 쉽게 개폐할 수도 없었다.
더구나, 작업자에 의한 수동 개폐시에 개폐 작업의 어려움으로 장시간이 소요되거나 파드 자체에 충격이 가해지는 경우가 발생할 수 있으며, 이때에는 충격이 웨이퍼카세트로 전달되어 웨이퍼의 손상이 발생하거나 파드내에 존재하는 미량의 파티클에 의하여 웨이퍼가 오염될 수 있는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 제안한 것으로서, SMIF 파드를 개폐하는 락킹장치와 상호 연동되는 수동 개폐장치를 파드플레이트에 부설하여 작업자가 파드를 쉽게 개폐할 수 있도록 한 SMIF 파드를 제공하는 데 그 목적이 있다.
이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명에 따른 SMIF 파드는, 파드플레이트에 설치된 회전판의 회전에 따라 락킹장치에 의해 상기 파드플레이트와 파드커버가 분리/결합되는 SMIF 파드에 있어서, 상기 파드플레이트에 부설되어 상기 회전판과 상호 연동하여 회전되는 개폐 로터리스위치와, 상기 파드플레이트에 부설되어 상기 회전판과 상기 개폐 로터리스위치의 사이에서 회전력을 전달하여 상호 연동되도록 하는 회전력 전달부재와, 상기 파드플레이트에 부설되어 상기 회전판 또는 상기 개폐 로터리스위치의 회전을 락/언락하는 락킹스위치를 포함한다.
본 발명의 실시예로는 다수개가 존재할 수 있으며, 이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하기로 한다. 이 실시예를 통해 본 발명의 목적, 특징 및 이점들을 보다 잘 이해할 수 있게 된다.
도 2는 본 발명에 따른 SMIF 파드에 적용되는 파드플레이트의 저면도이며, 도 3은 도 2에 도시된 파드플레이트에 내장되는 개폐 장치의 중요 부분 구성도이다. 도시된 본 발명의 파드플레이트(100)는 도 1을 통해 설명한 공지의 SMIF 파드에서 파드커버(20)와 분리/결합되는 구성 요소로서, 도 1을 통해 도시한 바와 같이 파드커버(20)의 분리를 억제시키는 락킹장치(30)를 포함한다. 다만 개폐 로터리스위치(120)와의 연동 기능의 추가에 따라 도 1에서 참조부호 32로 명기한 회전판을 도 2에서는 참조부호 110으로 명기하였다.
도 2를 참조하면 본 발명에 따른 파드플레이트(100)에는, 회전판(110)과 상호 연동하여 회전되는 개폐 로터리스위치(120), 회전판(110) 및 개폐 로터리스위치(120)의 회전을 락/언락하는 락킹스위치(130)가 부설되며, 그 내부에는 도 3에 도시된 바와 같은 수동 개폐장치가 설치된다. 개폐 로터리스위치(120)는 작업자가 손을 이용하여 간편하게 파드를 개방할 수 있도록 마련된 스위치로서 파드플레이트(100)의 바닥면에 요철이 없도록 음각으로 설치된다. 락킹스위치(130)는 개폐 로터리스위치(120)가 쉽게 회전되어 파드가 불요하게 개방되는 것을 방지하기 위하여 마련된 스위치로서 드라이버 등의 간단한 공구를 이용하여 회전시킬 수 있도록 "一"자홈 또는 "十"자홈 등이 음각된다.
도 3을 참조하면 본 발명에 따른 수동 개폐장치는, 회전판(110)과 개폐 로터리스위치(120)는 벨트 등과 같은 회전력 전달부재(140)에 의하여 연결되어 상호 연동하여 회전되게 설치되며, 락킹스위치(130)는 회전각에 따라 회전판(110)과 개폐 로터리스위치(120)의 회전 동작을 락/언락하도록 설치된다.
락킹스위치(130)는 드라이버 등의 간단한 공구를 이용하여 회전시킬 수 있도록 "一"자홈 또는 "十"자홈 등이 음각되어 파드플레이트(100)의 저면으로 노출되는 헤드(131)와, 헤드(131)에 일체로 결합되어 헤드(131)가 소정의 회전각으로 위치할 때에 회전력 전달부재(140)의 움직임을 제한하는 락킹암(133)으로 구성되며, 회전력 전달부재(140)의 락킹암(133)과의 대향면에는 요철면(141)이 형성되고, 락킹암(133)의 회전력 전달부재(140)와의 대향면에도 요철면(135)이 형성되어 요철면(135)과 요철면(141)과의 결합/분리에 의하여 회전판(110) 및 개폐 로터리스위치(120)의 회전이 락/언락된다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 파드플레이트(100)가 적용된 SMIF 파드의 개폐 과정을 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
파드커버(20)의 플랜지(21)에 파드플레이트(100)가 끼워진 상태에서 SMIF 장치에 의해 회전판(110)이 클로스 방향으로 회전되면 파드플레이트(100)의 전후측으로 각각 걸림돌기(33)가 돌출되며, 돌출된 걸림돌기(33)가 파드커버(20)의 플랜지(21)에 형성된 걸림홀(31)에 삽입되어 파드플레이트(100)와 파드커버(20)는 서로 분리가 억제된다. 이때 회전판(110)의 회전력은 회전력 전달부재(140)에 의하여 개폐 로터리스위치(120)로 전달되어 개폐 로터리스위치(120) 또한 회전판(110)의 회전에 연동하여 클로스 방향으로 회전된다.
한편, 파드커버(20)의 플랜지(21)에 파드플레이트(100)가 끼워진 상태에서 작업자가 개폐 로터리스위치(120)를 클로스 방향으로 회전시킬 경우에도 파드커버(20)와 파드플레이트(100)가 락킹된다. 작업자가 개폐 로터리스위치(120)를 클로스 방향으로 회전시키면 이 회전력이 회전력 전달부재(140)를 통하여 회전판(110)에 전달되며, 이로서 회전판(110)이 클로스 방향으로 회전된다. 그러면 상기한 바와 같이 파드플레이트(100)의 전후측으로 각각 걸림돌기(33)가 돌출되며, 돌출된 걸림돌기(33)가 파드커버(20)의 플랜지(21)에 형성된 걸림홀(31)에 삽입되어 파드플레이트(100)와 파드커버(20)는 서로 분리가 억제되는 것이다.
다음으로, 파드커버(20)와 파드플레이트(100)의 개방 과정을 살펴보면 SMIF 장치에 의해 파드플레이트(100)상에 설치된 회전판(110)이 오픈 방향으로 회전되는 경우에 걸림홀(31)에 삽입된 걸림돌기(33)가 파드플레이트(100) 내측으로 삽입되며, 이로서 파드커버(20)의 플랜지(21)로부터 파드플레이트(100)를 분리할 수 있다. 이때 회전판(110)의 회전력은 회전력 전달부재(140)에 의하여 개폐 로터리스위치(120)로 전달되어 개폐 로터리스위치(120) 또한 회전판(110)의 회전에 연동하여 오픈 방향으로 회전된다.
아울러, 파드커버(20)와 파드플레이트(100)가 폐쇄된 상태에서 작업자가 개폐 로터리스위치(120)를 오픈 방향으로 회전시킬 경우에도 파드커버(20)와 파드플레이트(100)를 개방시킬 수 있다. 작업자가 개폐 로터리스위치(120)를 오픈 방향으로 회전시키면 이 회전력이 회전력 전달부재(140)를 통하여 회전판(110)에 전달되며, 이로서 회전판(110)이 오픈 방향으로 회전된다. 그러면 상기한 바와 같이 걸림홀(31)에 삽입된 걸림돌기(33)가 파드플레이트(100) 내측으로 삽입되며, 이로서 파드커버(20)의 플랜지(21)로부터 파드플레이트(100)를 분리할 수 있는 것이다.
상기와 같이 회전판(110) 또는 개폐 로터리스위치(120)를 이용하면 SMIF 파드를 자유로이 개방 또는 폐쇄할 수 있으나, 이러한 개폐 과정을 락킹스위치(130)를 이용하여 제한할 수도 있다.
락킹스위치(130)가 오픈 위치에 놓인 상태에서 드라이버 등의 간단한 공구를 이용하여 락킹스위치(130)의 헤드(131)에 음각된 "一"자홈 또는 "十"자홈 등을 회전시켜 헤드(131)를 클로스 위치로 회전시키면 헤드(131)에 일체로 결합된 락킹암(133)이 동반하여 클로스 위치로 회전된다. 이때 회전력 전달부재(140)의 락킹암(133)과의 대향면에는 형성된 요철면(141)과 락킹암(133)의 회전력 전달부재(140)와의 대향면에 형성된 요철면(135)이 결합되어 회전판(110) 및 개폐 로터리스위치(120)의 회전을 락킹한다. 물론 상기의 락킹 과정을 통하여 쉽게 알 수 있는 바와 같이 락킹스위치(130)를 클로스 위치에 오픈 위치로 회전시키면 요철면(141)과 요철면(135)이 분리되어 회전판(110) 및 개폐 로터리스위치(120)의 회전이 언락된다.
상기에서는 본 발명의 일 실시예에 국한하여 설명하였으나 본 발명의 기술이 당업자에 의하여 용이하게 변형 실시될 가능성이 자명하다. 이러한 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 기재된 기술사상에 포함된다고 하여야 할 것이다.
전술한 바와 같이 본 발명은 SMIF 파드를 개폐하는 락킹장치와 상호 연동되는 수동 개폐장치를 파드플레이트에 부설하여 작업자가 파드를 쉽게 개폐할 수 있다.
또한, 기존의 락킹장치와 본 발명에 따라 부설된 수동 개폐장치의 동작을 제한하는 락킹스위치가 마련되어 SMIF 파드의 불요한 개폐를 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 SMIF 파드를 도시한 분해 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 SMIF 파드에 적용되는 파드플레이트의 저면도,
도 3은 도 2에 도시된 파드플레이트에 내장되는 개폐 장치의 중요 부분 구성도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : 파드플레이트 120 : 개폐 로터리스위치
130 : 락킹스위치 131 : 헤드
133 : 락킹암 135 : 락킹스위치의 요철면
140 : 회전력 전달부재 141 : 회전력 전달부재의 요철면

Claims (6)

  1. 삭제
  2. 파드플레이트에 설치된 회전판의 회전에 따라 락킹장치에 의해 상기 파드플레이트와 파드커버가 분리/결합되는 SMIF 파드에 있어서,
    상기 파드플레이트에 부설되어 상기 회전판과 상호 연동하여 회전되는 개폐 로터리스위치와,
    상기 파드플레이트에 부설되어 상기 회전판과 상기 개폐 로터리스위치의 사이에서 회전력을 전달하여 상호 연동되도록 하는 회전력 전달부재와,
    상기 파드플레이트에 부설되어 상기 회전판 또는 상기 개폐 로터리스위치의 회전을 락/언락하는 락킹스위치를 포함하는 SMIF 파드.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 락킹스위치는,
    공구를 이용하여 회전시킬 수 있도록 상기 파드플레이트의 저면으로 노출되는 헤드와,
    상기 헤드에 일체로 결합되어 상기 헤드가 소정의 회전각으로 위치할 때에 상기 회전력 전달부재의 움직임을 제한하는 락킹암을 포함하는 것을 특징으로 한 SMIF 파드.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 락킹암의 상기 회전력 전달부재와의 대향면에도 요철면이 형성되고, 상기 회전력 전달부재의 상기 락킹암과의 대향면에는 요철면이 형성되며, 상기 두 요철면의 결합/분리에 의하여 상기 회전판 또는 개폐 로터리스위치의 회전이 락/언락되는 것을 특징으로 한 SMIF 파드.
  5. 제 2 항에 있어서, 상기 개폐 로터리스위치는,
    상기 파드플레이트의 바닥면에 요철이 없도록 음각으로 설치된 것을 특징으로 한 SMIF 파드.
  6. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 락킹스위치의 헤드에는,
    드라이버를 이용하여 회전시킬 수 있도록 "一"자홈 또는 "十"자홈이 음각된 것을 특징으로 한 SMIF 파드.
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