KR100508646B1 - 반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템 - Google Patents

반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템에 관한 것으로, 반도체 제조공정 중에 사용되는 화학용제 등과 같은 물품의 수납이 가능한 단위 공간을 복수로 제공하며 물품 입고시 제품명과 유효기간 등의 정보를 획득한 상태에서 물품 출고 요청시에는 기 설정된 우선 출고 기준에 따라 유효기간 등을 고려하여 비축된 물품을 자동 선택하여 출고할 수 있도록 하며, 반도체 제조공정 중에 물품 출고를 신속히 수행할 수 있어서 공정 시간을 단축시켜 수율을 향상시킬 수 있고, 여러 가지의 물품을 함께 보관하는 경우에 출고시 물품이 바뀔 위험성을 미연에 방지하는 이점이 있다.

Description

반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템{MATERIAL STORAGE SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURE PROCESS}
본 발명은 반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제조공정 중에 사용되는 화학용제 등과 같은 물품의 수납이 가능한 단위 공간을 복수로 제공하며 작업자의 물품 출고 요청에 따라 비축된 물품을 자동 선택하여 출고할 수 있도록 한 반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템에 관한 것이다.
반도체 제조공정은 반도체기판 상에 이온주입 공정, 사진 공정, 식각 공정, 확산 공정 및 증착 공정 등의 제조 공정을 반복 진행하여 완성한다. 따라서 수많은 종류의 화학용제가 사용되며 동일한 종류의 화학용제라 할지라도 공정마다 사용량의 편차를 갖는다. 특히 파운드리 사업(Foundry Business)을 하는 반도체 제조사에서는 보다 많은 종류의 화학용제가 사용되며, 생산량에 따라 화학용제의 사용량 또한 매우 큰 편차를 갖는다.
통상적으로 이러한 화학용제 등의 물품은 캐비넷(Cabinet) 등과 같은 비축공간에 저장하며, 반도체 제조공정에서 소정의 물품 사용이 요구되면 작업자는 해당 종류의 물품들이 비축된 공간에서 적당한 물품을 임의로 선택하여 공정 진행에 사용하고 있다.
그런데, 대부분의 화학용제는 표준의 효과를 발휘할 수 있는 유효기간을 가지며, 이와 같이 유효기간을 갖는 화학용제를 입출고할 경우에는 유효기간을 고려하여야만 한다.
따라서, 출고 작업자는 선입선출의 원칙을 지켜야 하며, 출고시에는 화학용제가 담긴 용기의 라벨에 표시된 유효기간을 일일이 확인하여 가장 유효기간이 짧게 남은 화학용제를 선택하여 공정 진행에 사용하여야 하는 번거로움이 있었다.
그러나, 상기와 같은 출고 작업의 어려움은 시간 손실을 초래하여 결국에는 수율에 악영향을 끼쳤으며, 여러 가지의 물품을 함께 보관하는 경우에는 그 분류를 작업자의 수작업에 의존함에 따라 물품이 바뀔 위험성마저 내포하는 문제점이 있었다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 제안한 것으로, 반도체 제조공정 중에 사용되는 화학용제 등과 같은 물품의 수납이 가능한 단위 공간을 복수로 제공하며 물품 입고시 제품명과 유효기간 등의 정보를 획득한 상태에서 물품 출고 요청시에는 기 설정된 우선 출고 기준에 따라 유효기간 등을 고려하여 비축된 물품을 자동 선택하여 출고할 수 있도록 한 물품 입출고 시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다.
이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템은, 반도체 제조공정 중에 사용되는 물품의 수납이 가능한 단위 공간을 복수로 갖춘 다단의 트레이와, 상기 트레이를 보호하며 적어도 상기 단위 공간 크기를 갖는 물품 입출로가 마련된 하우징과, 입출고되는 상기 물품의 정보를 입력할 수 있는 물품 정보 입력수단과, 상기 단위 공간 내 상기 물품의 수납 여부를 감지하는 물품 감지수단과, 상기 물품에 대한 상기 단위 공간으로의 입고를 선택하거나 상기 단위 공간으로부터의 출고를 선택하기 위한 입출고 선택수단과, 상기 입출고 선택수단과 상기 물품 감지수단 및 상기 물품 정보 입력수단으로부터의 입력 신호에 의거하여 상기 단위 공간마다의 입출고 정보를 생성 및 갱신하여 정보 저장수단에 저장하는 제어수단과, 상기 입출고 선택수단으로부터의 입력 신호와 상기 정보 저장수단에 저장된 입출고 정보 또는 우선 출고 기준에 의거하여 상기 제어수단에서 생성된 물품 입출고 요청에 따라 상기 물품이 수납되지 않은 단위 공간 또는 출고 대상 물품이 수납된 단위 공간의 위치를 상기 물품 입출로의 위치와 일치시키는 트레이 구동수단을 포함하며, 상기 다단의 트레이는, 회전축을 중심으로 회동 가능하게 방사상으로 배치된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예로는 다수개가 존재할 수 있으며, 이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하기로 한다. 이 실시예를 통해 본 발명의 목적, 특징 및 이점들을 보다 잘 이해할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템의 평면도이며, 도 2는 도 1에 도시된 물품 입출고 시스템의 측면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 물품 입출고 시스템을 위한 운용 장치의 블록 구성도로서, 사진 공정에서 주로 사용되는 포토레지스트를 입출고 대상 물품으로 채택한 경우이다.
본 발명에 따른 물품 입출고 시스템은, 작업자에 의하여 운반된 포토레지스트(PR)의 수납이 가능한 단위 공간을 복수로 갖춘 다단의 트레이(120)가 회전축(130)을 중심으로 회동 가능하게 방사상으로 배치되며, 적어도 상기 단위 공간 크기를 갖는 물품 입출로(115)가 마련된 하우징(110)이 트레이(120)의 회동을 방해하지 않으면서 트레이(120)를 포함한 전체 구조를 보호하도록 설치된다.
물품 입출로(115)의 근방에는 입출고 대상 물품인 포토레지스트(PR)의 제품명과 유효기간 등의 정보를 입력할 수 있는 물품 정보 입력수단으로서 바코드를 인식하는 바코드 인식기(140)가 배치되며, 트레이(120)에는 상기 단위 공간마다 포토레지스트(PR)의 수납 여부를 감지하는 PR 감지 센서(160)와 같은 물품 감지수단이 설치된다. PR 감지 센서(160)는 단위 공간에 수납되는 포토레지스트(PR)의 하중을 감지하는 압력 센서로 구현할 수 있다.
회전축(130)을 구동시켜 트레이(120)를 회전시키기 위한 트레이 구동수단으로서 트레이 회전 모터(150)가 설치되며, 작업자가 포토레지스트(PR)의 입출고를 선택하거나 포토레지스트(PR)의 제품명과 유효기간 등의 정보를 직접 입력하기 위한 입출고 선택수단으로서 키패드(170)가 설치된다.
키패드(170)와 바코드 인식기(140) 및 PR 감지 센서(160)로부터의 입력 신호에 의거하여 트레이(120)의 단위 공간마다의 입출고 정보를 생성 및 갱신하여 PR 입출고 정보 메모리(185) 등과 같은 정보 저장수단에 저장함과 아울러 키패드(170)로부터의 입력 신호와 PR 입출고 정보 메모리(185)에 저장된 입출고 정보 및 우선 출고 기준에 의거하여 트레이 회전 모터(150)를 제어하여 물품 입출로(115)를 통해 포토레지스트(PR)를 입출고 할 수 있도록 트레이(120)를 회전 및 정지시키는 제어수단으로서 컨트롤러(180)가 설치된다.
키패드(170)를 통한 작업자의 입력 정보와 PR 입출고 정보 메모리(185)에 저장된 단위 공간마다의 입출고 정보 등의 각종 정보를 컨트롤러(180)의 제어신호에 따라 작업자가 인식할 수 있도록 외부로 표시하는 표시수단으로서 디스플레이(175)가 설치된다.
상기에서는 설명의 편의 및 이해를 돕기 위하여 바코드 인식기(140), 키패드(170), 디스플레이(175), 컨트롤러(180), PR 입출고 정보 메모리(185)가 각각 개별적으로 설치된 예로서 설명하였으나 컨트롤 박스에 일체로 구성하여 작업자와의 인터페이스가 용이하게 물품 입출로(115)의 근방에 설치하는 것이 바람직하다.
이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템의 동작 과정을 상세히 설명하기로 한다.
먼저, 트레이(120)의 단위 공간마다 설치된 PR 감지 센서(160)는 해당 단위 공간 내 포토레지스트(PR)의 수납 여부를 감지하여 이를 컨트롤러(180)로 전달하며, 컨트롤러(180)는 PR 감지 센서(160)의 감지값에 의거하여 단위 공간마다의 입출고 정보를 생성 또는 갱신하여 PR 입출고 정보 메모리(185)에 저장한다.
작업자가 포토레지스트(PR)의 입고를 위하여 키패드(170)를 통해 물품 입고를 선택하면 컨트롤러(180)는 PR 입출고 정보 메모리(185)에 저장된 단위 공간마다의 입출고 정보를 읽어들여 현재 포토레지스트(PR)가 수납되지 않은 단위 공간의 위치를 파악한다. 컨트롤러(180)는 포토레지스트(PR)가 수납되지 않은 단위 공간의 위치가 물품 입출로(115)와 일치하여 작업자가 포토레지스트(PR)를 수납할 수 있도록 트레이 회전 모터(150)를 제어하여 트레이(120)를 회전 및 정지시킨다.
작업자는 물품 입출로(115)를 통해 트레이(120)의 단위 공간에 포토레지스트(PR)를 수납하여 저장하게 되는데, 이때 저장하고자 하는 포토레지스트(PR)의 제품명과 유효기간 등의 정보를 입력하여야만 한다. 이를 위해 바코드 인식기(140)에 포토레지스트(PR)의 바코드를 인식시키거나 키패드(170)를 이용하여 제품 정보를 직접 입력할 수도 있다.
이때, 트레이(120)의 해당 단위 공간에 설치된 PR 감지 센서(160)가 해당 단위 공간 내 포토레지스트(PR)의 수납 상태를 감지하여 이를 컨트롤러(180)로 전달하며, 컨트롤러(180)는 바코드 인식기(140)로부터 전달되는 바코드 정보로부터 포토레지스트(PR)의 제품명과 유효기간 등의 정보를 추출하거나 키패드(170)를 통해 입력되는 제품 정보를 인식한다.
컨트롤러(180)가 PR 감지 센서(160)의 수납 상태 감지값과 해당 포토레지스트(PR)의 정보에 의거하여 해당 단위 공간의 입출고 정보를 갱신하여 PR 입출고 정보 메모리(185)에 저장함으로써 일련의 물품 입고 과정이 마무리되며, 상기와 같은 물품 입고 과정의 전반에 걸친 각종 정보는 디스플레이(175)를 통해 외부로 표시하여 작업자의 편의를 도모한다.
다음으로, 작업자가 포토레지스트(PR)의 출고를 위하여 키패드(170)를 통해 요망하는 제품명 등의 정보를 입력하여 물품 입고를 선택하면 키패드(170)로부터 물품 출고 요청 신호가 발생되어 컨트롤러(180)로 전달된다.
컨트롤러(180)는 키패드(170)로부터 물품 출고가 요청되면 PR 입출고 정보 메모리(185)에 저장된 입출고 정보를 읽어들여 해당하는 제품의 포토레지스트(PR)가 수납된 트레이(120)의 단위 공간 위치를 파악한다. 이때 복수의 단위 공간이 파악되면 각각 수납되어진 포토레지스트(PR)의 제품 정보들을 비교한 후 기 설정된 우선 출고 기준에 의거하여 특정 포토레지스트(PR)를 택일한다. 즉 우선 출고 기준이 유효기간 순서로 설정된 경우에는 복수의 단위 공간에 각각 수납되어진 포토레지스트(PR)의 유효기간을 비교하여 가장 유효기간이 짧게 남은 포토레지스트(PR)를 택일하여 해당 포토레지스트(PR)가 수납된 단위 공간의 위치를 파악한다.
컨트롤러(180)는 택일된 해당 포토레지스트(PR)가 수납된 단위 공간의 위치가 물품 입출로(115)와 일치하여 작업자가 포토레지스트(PR)를 인출할 수 있도록 트레이 회전 모터(150)를 제어하여 트레이(120)를 회전 및 정지시킨다.
작업자는 물품 입출로(115)를 통해 트레이(120)의 단위 공간에 수납되어 있던 포토레지스트(PR)를 인출하게 되는데, 이때 트레이(120)의 해당 단위 공간에 설치된 PR 감지 센서(160)가 해당 단위 공간 내 포토레지스트(PR)의 인출 상태를 감지하여 이를 컨트롤러(180)로 전달하며, 컨트롤러(180)는 PR 감지 센서(160)의 인출 상태 감지값에 의거하여 해당 단위 공간의 입출고 정보를 갱신하여 PR 입출고 정보 메모리(185)에 저장함으로써 일련의 물품 출고 과정이 마무리되며, 상기와 같은 물품 출고 과정의 전반에 걸친 각종 정보는 디스플레이(175)를 통해 외부로 표시하여 작업자의 편의를 도모한다.
상기에서는 본 발명의 일 실시예에 국한하여 설명하였으나 본 발명의 기술이 당업자에 의하여 용이하게 변형 실시될 가능성이 자명하다. 이러한 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 기재된 기술사상에 포함된다고 하여야 할 것이다.
전술한 바와 같이 본 발명은 반도체 제조공정 중에 사용되는 화학용제 등과 같은 물품의 수납이 가능한 단위 공간을 복수로 제공하며 물품 입고시 제품명과 유효기간 등의 정보를 획득한 상태에서 물품 출고 요청시에는 기 설정된 우선 출고 기준에 따라 유효기간 등을 고려하여 비축된 물품을 자동 선택하여 출고할 수 있도록 한다.
이에 따라, 반도체 제조공정 중에 물품 출고를 신속히 수행할 수 있어서 공정 시간을 단축시켜 수율을 향상시킬 수 있으며, 여러 가지의 물품을 함께 보관하는 경우에 출고시 물품이 바뀔 위험성을 미연에 방지하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템의 평면도,
도 2는 도 1에 도시된 물품 입출고 시스템의 측면도,
도 3은 도 1에 도시된 물품 입출고 시스템을 위한 운용 장치의 블록 구성도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
PR : 포토레지스트 110 : 하우징
115 : 물품 입출로 120 : 트레이
130 : 회전축 140 : 바코드 인식기
150 : 트레이 회전 모터 160 : PR 감지 센서
170 : 키패드 175 : 디스플레이
180 : 컨트롤러 185 : PR 입출고 정보 메모리

Claims (8)

  1. 반도체 제조공정 중에 사용되는 물품의 수납이 가능한 단위 공간을 복수로 갖춘 다단의 트레이와,
    상기 트레이를 보호하며 적어도 상기 단위 공간 크기를 갖는 물품 입출로가 마련된 하우징과,
    입출고되는 상기 물품의 정보를 입력할 수 있는 물품 정보 입력수단과,
    상기 단위 공간 내 상기 물품의 수납 여부를 감지하는 물품 감지수단과,
    상기 물품에 대한 상기 단위 공간으로의 입고를 선택하거나 상기 단위 공간으로부터의 출고를 선택하기 위한 입출고 선택수단과,
    상기 입출고 선택수단과 상기 물품 감지수단 및 상기 물품 정보 입력수단으로부터의 입력 신호에 의거하여 상기 단위 공간마다의 입출고 정보를 생성 및 갱신하여 정보 저장수단에 저장하는 제어수단과,
    상기 입출고 선택수단으로부터의 입력 신호와 상기 정보 저장수단에 저장된 입출고 정보 또는 우선 출고 기준에 의거하여 상기 제어수단에서 생성된 물품 입출고 요청에 따라 상기 물품이 수납되지 않은 단위 공간 또는 출고 대상 물품이 수납된 단위 공간의 위치를 상기 물품 입출로의 위치와 일치시키는 트레이 구동수단
    을 포함하며,
    상기 다단의 트레이는, 회전축을 중심으로 회동 가능하게 방사상으로 배치된 것을 특징으로 한 반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 입출고 선택수단을 통한 입력 정보와 상기 정보 저장수단에 저장된 단위 공간마다의 입출고 정보를 포함하는 각종 정보를 상기 제어수단의 제어신호에 따라 외부로 표시하는 표시수단을 더 포함하는 반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 트레이 구동수단은 상기 제어수단의 제어신호에 의거하여 상기 회전축을 구동시켜 상기 트레이를 회전시키는 트레이 회전 모터인 것을 특징으로 한 반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 물품 정보 입력수단은 상기 물품의 바코드를 인식하는 바코드 인식기인 것을 특징으로 한 반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 물품 감지수단은 상기 단위 공간에 수납되는 상기 물품의 하중을 감지하는 압력 센서인 것을 특징으로 한 반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 입출고 선택수단은 상기 물품의 입출고를 선택하거나 제품명 또는 유효기간을 포함하는 정보를 직접 입력할 수 있는 키패드인 것을 특징으로 한 반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어수단은 상기 트레이에 수납된 물품의 출고를 위한 상기 우선 출고 기준으로 상기 물품의 유효기간을 이용하는 것을 특징으로 한 반도체 제조공정용 물품 입출고 시스템.
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