KR100505512B1 - 지지볼을 접촉면으로 하는 정전척, 기판지지대,기판고정용 클램프 및 그 제조방법 - Google Patents

지지볼을 접촉면으로 하는 정전척, 기판지지대,기판고정용 클램프 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 다수의 지지볼에 의해 반도체 기판 및 평판디스플레이 기판과 점접촉하는 정전척, 기판지지대, 기판고정용 클램프 및 그 제조방법에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명에서는, 상면이 평탄면으로 형성되고 전극로드가 구비된 지지부; 상기 지지부 표면에 절연물질을 도포하여 형성되는 하부 절연층; 상기 하부 절연층 표면에 부착되며, 상기 전극로드와 전기적으로 연결되는 다수의 전극패턴; 상기 전극패턴에 절연물질을 도포하여 형성되는 상부 절연층; 상기 상부 절연층 표면에 접합물질을 도포하여 형성되는 접합층; 상기 접합층 표면에 소정형태로 배열되어 상기 접합층에 접합, 고정되는 다수의 지지볼로 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전척을 제공한다.

Description

지지볼을 접촉면으로 하는 정전척, 기판지지대, 기판고정용 클램프 및 그 제조방법{Chuck table, support table and clamp using supporting ball and the methods thereof}
본 발명은 반도체 기판의 접촉 손상을 방지하기 위해 접촉부위를 최소화하기 위해 다수의 지지볼을 이용하여 기판과 점접촉하는 정전척, 기판지지대, 기판고정용 클램프 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근 반도체 건식처리에서 반도체 기판의 패터닝시 위치정밀도를 향상시킬 필요가 대두되었으며, 정전척은 정전기력을 이용하여 이러한 위치정밀도의 향상을 위해 사용되어지는 장치이다.
종래의 정전척에 관한 발명의 일실시예는, 일본 공개특허공보 2002-70340호 "정전척 부재 및 그 제조방법"에 개시되어 있다. 즉, 상기 발명은, 도 1 에 도시된 바와 같이, '기재상의 적어도 한쪽 표면에 금속질층으로 이루어지는 언더코트(2)를 갖고, 그 언더코트(2) 상에 Al2O3 세라믹스로 이루어지는 하부 절연층(3)을 갖고, 그 절연층 상에 금속질 전극층(4)을 가지며, 그 전극층 위에는 톱코트로서 Al2O3 세라믹스로 이루어지는 상부 절연층(5)을 형성하여 이루어지는 정전척 부재'로 구성되어 있다.
그러나, 이와 같은 종래의 정전척은 기판(10)과 면접촉을 함에 따라, 기판상에 파티클이 발생할 우려가 있으며, 기판 전체면이 정전척과 접촉함에 따라 기판의 평판도를 유지하는데 어려움이 있고, 이에 따라 기판 제작상 균일한 표면처리와 구조적인 평판도를 확보하기가 어렵다는 문제점이 있었다.
그리고, 정전척과 기판이 면접촉함에 따라, 기판의 제조공정상 식각 또는 증착시 온도, 압력 등의 공정조건의 균일성을 확보하기가 어렵다는 문제점이 있었다.
한편, 종래 정전척의 다른 실시예로서, 상기와 같이 정전척과 기판의 면접촉을 감소시키고자 접촉면을 엠보싱처리한 정전척이 사용되는 경우가 있다.
그러나, 이러한 경우에도 엠보싱 표면형상의 제작에 어려움이 따르고 양산하기가 어렵다는 문제가 있었다. 또한, 엠보싱의 접촉에 의한 마멸로 인해 기판상에 파티클 발생 및 파손의 우려가 있으며, 엠보싱부의 수명이 짧아 정전척 제작비용이 과다하게 소요된다는 문제가 있었다.
그리고, 상기한 바와 같은 종래의 정전척에 있어서의 문제점은, 기판의 검사 등에 사용되는 기판지지대와 기판을 그립(grip)하는 수단인 클램프에 있어서도 여전히 문제점으로 남아있었다.
따라서, 본 발명의 목적은, 반도체 기판의 제작공정상 기판의 손상과 파티클 발생을 방지하고, 공정상 기판의 온도 및 압력의 균일도 및 식각, 증착 등에서 공정균일도를 확보하도록 하는 정전척을 제공하는데 있다.
또한, 기능상 및 제작상의 안정성이 확보되고 사용수명이 연장된 정전척 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.
그리고, 본 발명의 목적은, 기판의 손상과 변형을 방지하고 파티클 발생을 최소화하는 기판지지대 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 목적은, 기판의 손상과 파티클을 방지하고 기판에의 충격을 완화하는 클램프 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 상면이 평탄면으로 형성되고 전극로드가 구비된 지지부; 상기 지지부 표면에 절연물질을 도포하여 형성되는 하부 절연층; 상기 하부 절연층 표면에 부착되며, 상기 전극로드와 전기적으로 연결되는 다수의 전극패턴; 상기 전극패턴에 절연물질을 도포하여 형성되는 상부 절연층; 상기 상부 절연층 표면에 접합물질을 도포하여 형성되는 접합층; 상기 접합층 표면에 소정형태로 배열되어 상기 접합층에 접합, 고정되는 다수의 지지볼을 제공한다.
여기서, 상기 지지부 상단부에 형성되는 다수의 헬륨 이동 통로; 상기 헬륨 이동 통로로부터 상기 접합제 표면까지 관통하여 설치되는 연통관; 상기 헬륨 이동 통로의 상부를 폐쇄함과 동시에 상기 연통관을 지지하는 플러그를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 상면이 평탄면으로 형성된 지지부; 상기 지지부 표면에 절연물질을 도포하여 형성되는 절연층; 상기 절연층 표면에 접합물질을 도포하여 형성되는 접합층; 상기 접합층 표면에 소정형태로 배열되어 상기 접합층에 접합, 고정되는 다수의 지지볼로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판지지대를 제공한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 기판고정용 클램프에 있어서, 상기 클램프의 기판고정부에 부착되는 댐퍼; 상기 댐퍼 표면에 접합물질을 도포하여 형성되는 접합층; 상기 접합층 상에 소정형태로 배열되어 접합, 고정되는 다수의 지지볼로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판고정용 클램프를 제공한다.
한편, 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 상면이 평탄면으로 형성되고 전극로드가 구비된 지지부 표면에 절연물질을 도포하여 하부 절연층을 형성시키는 단계; 상기 하부 절연층 표면에 다수의 전극패턴을 부착하고 상기 다수의 전극패턴을 상기 전극로드와 전기적으로 연결하는 단계; 상기 전극패턴 표면에 절연물질을 도포하여 상부 절연층을 형성하는 단계; 상기 상부 절연층 표면에 접합물질을 도포하여 접합층을 형성하는 단계; 상기 접합층 표면에 다수의 지지볼을 소정형태로 배열하여 상기 접합제에 접합하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전척 제조방법을 제공한다.
여기서, 상기 지지부 상단부에 다수의 헬륨 이동 통로를 형성하는 단계; 상기 헬륨 이동 통로로부터 상기 접합층 표면까지 관통하는 연통관을 설치하는 단계; 상기 헬륨 이동 통로의 상부를 폐쇄함과 동시에 상기 연통관을 지지하는 플러그를 설치하는 단계를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 상면이 평탄면으로 형성된 지지부 표면에 절연물질을 도포하여 절연층을 형성하는 단계; 상기 절연층 표면에 접합물질을 도포하여 접합층을 형성하는 단계; 상기 접합층 상에 다수의 지지볼을 소정형태로 배열하여 접합하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판지지대 제조방법을 제공한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 기판고정용 클램프의 기판고정부에 댐퍼를 부착하는 단계; 상기 댐퍼 표면에 접합물질을 도포하여 접합층을 형성하는 단계; 상기 접합층 상에 소정형태로 다수의 지지볼을 배열하여 접합하는 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판고정용 클램프 제조방법을 제공한다.
이하 첨부도면을 참고하여 본 발명에 대해 상세히 설명하도록 한다.
본 발명에 의한 정전척(100)은, 도 2 에 도시된 바와 같이, 하부에 위치한 지지부(101)와, 상기 지지부(101)의 표면에 절연물질을 도포하여 형성되는 하부 절연층(110)과, 상기 하부 절연층(110) 표면에 부착되는 다수의 전극패턴(120)과, 상기 전극패턴(120) 표면에 절연물질을 도포하여 형성된 상부 절연층(130)과, 상기 상부 절연층(130) 표면에 접합물질을 도포하여 형성된 접합층(140)과, 상기 접합층(140) 표면에 배열되어 접합되는 다수의 지지볼(150) 그리고 상기 다수의 지지볼 사이에 고정하여 배치되는 다수의 누출방지댐(160)으로 이루어져 있다.
지지부(101)는, 그 상면이 평면을 이루고 있고, 중심부에는 상하로 통공이 형성되어 있으며, 상기 통공에는 전극로드(103)가 삽입된다. 상기 전극로드(103)는 후술할 전극패턴(120)에 전압을 가하는 역할을 담당한다. 한편, 상기 지지부(101)의 상면에는 다수의 헬륨 이동 통로(105)가 역사다리꼴 형상으로 상부가 개방된 홈을 이루고 있다. 상기한 헬륨 이동 통로(105)는 헬륨가스의 이동경로 역할을 한다.
하부 절연층(110)은 그 하부에 위치한 지지부(101)의 상면에 형성되며, 그 재질은 Al2O3로 이루어져 있다. 그리고, 상기 하부 절연층(110)의 두께는 100~400㎛의 범위내에서 균일한 두께를 갖는다.
전극패턴(120)은, 정전척에 일반적으로 구비되는 것으로서, 정전척에 직류전원을 인가하여 정전력을 발생시키는 역할을 하며, 정전척의 형상 및 고정되는 기판의 모양에 따라 다양한 패턴으로 형성된다. 상기 전극패턴(120)은, 상기 하부 절연층(110) 표면에 부착되며, 상기 지지부(101)의 전극로드(103)에 접속된다. 그리고, 상기 전극패턴(120)의 두께는 3~30㎛의 범위내에서 균일한 두께를 갖는다. 상기 전극패턴(120)은 구리(Cu), 니켈(Ni), 텅스텐(W) 등의 금속으로 이루어져 있다.
상부 절연층(130)은 상기 전극패턴(120)의 상면에 형성되며, 그 재질은 Al2O3로 이루어져 있다. 그리고, 상기 상부 절연층(130)의 두께는 100~400㎛의 범위내에서 균일한 두께를 갖는다.
접합층(140)은 폴리이미드 또는 에폭시 등으로 이루어져 있으며, 그 두께는 수㎛~수백㎛의 범위내에서 균일한 두께를 갖는다.
지지볼(150)은, 정전척의 최상면에 형성되어 기판을 지지하는 구성요소로서, 기판과 접촉되는 부분이 구 또는 반구 형상을 취함으로써, 기판과의 접촉면을 최소화하여 기판의 분리가 용이하며, 기판의 손상을 최소화하는 역할을 한다. 이러한 지지볼(150)은, 상기 접합층(140)의 표면에 충격 또는 산포, 분포 등의 방법에 의해 일정형태로 배열되며, 그 직경은 수십㎛~수백㎛의 범위내에서 균일한 값을 갖는다. 그리고, 상기 지지볼(150)의 재질은 주로 세라믹, 폴리이미드 등의 유전체이나 플라스틱 등과 같은 일반적인 재료를 사용하여도 무방하다. 또한, 상기 지지볼(150)이 상기 접합층(140) 상에 접합될 때, 그 접합력을 강화시키기 위해, 도 2 의 확대도에서 보는 바와 같이, 상기 지지볼(150) 측면부에 별도의 접합제(141)가 도포되어 있다. 이에 따라, 상기 지지볼(150)은 보다 강력하게 상기 접합층(140) 표면에 본딩된다.
누출방지댐(160)은 상기 다수의 지지볼(150)의 사이에 일정간격으로 고정하여 배치되어 있으며, 상기 헬륨 이동 통로(105)로부터 배출되는 헬륨가스가 새는 것을 방지하고 열출입을 막아 기판의 저면 전체를 일정온도 및 일정압력으로 유지하는 기능을 한다.
한편, 상기 지지부(101)의 헬륨 이동 통로(105)에는 그 상부에 연통관(107)이 연결되어 있으며, 상기 연통관(107)은 상기 헬륨 이동 통로(105)로부터 상기 접합층(140) 표면까지 상기 각 구성요소를 관통하고 있다. 또한, 상기 헬륨 이동 통로(105)의 상부는 플러그(109)에 의해 외부로부터 폐쇄되며, 상기 플러그(109)는 그 중심부에 형성된 통공으로 상기 연통관(107)이 삽입되어 상기 연통관(107)을 지지한다.
이상과 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 정전척의 작동상태를 설명하면 다음과 같다.
즉, 먼저 지지부(101)의 헬륨 이동 통로(105)를 통해 공급되는 일정온도, 일정압력의 헬륨가스가 연통관(107)을 통해 다수의 지지볼(150)이 있는 공간으로 배출되고 있는 상태에서 기판(10)이 상기 다수의 지지볼(150)의 상면에 놓여진다. 여기서, 상기 지지부(101)의 전극로드(103)에 전압이 인가되어 이와 연결된 다수의 전극패턴(120)이 소정 전압을 띠게 되고, 상기 기판(10)에는 상기 전극로드(103)와 다른 전위차를 갖는 전압이 인가된다. 따라서, 상기 기판(10)은 상기 전위차에 의해 발생된 전기력에 의해서 상기 다수의 지지볼(150) 상에 고정된다. 따라서, 상기 기판(10)은 다수의 지지볼(150) 상에서 다수의 점접촉에 의해 지지됨에 따라 기판손상 및 파티클 발생이 방지된다. 한편, 상기 헬륨 이동 통로(105)를 통해 상부로 배출되는 헬륨가스는 상기 기판(10)의 저면에 골고루 분포되어 기판(10) 처리 작업에 적정한 온도와 압력이 일정하게 유지되도록 한다. 그리고, 상기 헬륨가스는 지지볼(150) 사이사이에 고정배치된 누출방지댐(160)에 의해 외부로 누출되지 않는다.
한편, 플라즈마 소스를 이용하는 공정에서는 상기 접합층(140) 또는 접합제(141)와 지지볼(150)에 의해 이루어지는 정전척(100) 최상단부에 알루미나 코팅을 함으로써 정전척(100)의 유전율을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 의한 기판지지대(200)는, 도 3 에 도시된 바와 같이, 하부에 위치한 지지부(201)와, 상기 지지부(201)의 표면에 부착되는 절연층(210)과, 상기 절연층(110) 표면에 접합물질을 도포하여 형성된 접합층(240)과, 상기 접합층(240) 표면에 배열되어 접합되는 다수의 지지볼(250)로 이루어져 있다.
지지부(201)는, 그 상면이 평면을 이루고 있다.
절연층(210)은 그 하부에 위치한 지지부(201)의 상면에 형성되며, 그 재질은 Al2O3로 이루어져 있다. 그리고 상기 절연층(210)의 두께는 100~400㎛의 범위내에서 균일한 두께를 갖는다.
접합층(240)은 폴리이미드 또는 에폭시 등으로 이루어져 있으며, 그 두께는 수㎛~수백㎛의 범위내에서 균일한 두께를 갖는다.
지지볼(250)은 상기 접합층(240)의 표면에 충격 또는 산포, 분포 등의 방법에 의해 일정형태로 배열되며, 그 직경은 수십㎛~수백㎛에서 균일한 값을 갖는다. 그리고, 상기 지지볼(250)의 재질은, 상기 정전척(100)의 경우와 마찬가지로, 주로 세라믹, 폴리이미드 등의 유전체이나 플라스틱 등과 같은 일반적인 재료를 사용하여도 무방하다. 또한, 상기 지지볼(250)이 상기 접합층(240) 상에 접착될 때, 그 접착력을 강화시키기 위해, 상기 정전척(100)의 경우에서와 같이, 상기 지지볼(250) 측면부에 별도의 접합제를 도포하여 지지볼(250)을 보다 강력하게 상기 접합층(240)에 본딩시킬 수도 있다.
이상과 같은 구성을 갖는 본 발명에 의한 기판지지대(200)는, 기판(10)이 상기 다수의 지지볼(250) 상에 놓여지며, 이에 따라 상기 다수의 지지볼(150) 상에서 다수의 점접촉에 의해 지지됨에 따라 기판손상 및 파티클 발생을 방지하는 기능을 한다.
본 발명에 의한 클램프(300)는, 도 4 의 부분 단면도에 도시된 바와 같이, 기판(10)을 그립하는 그립부(301)와, 상기 그립부(301)의 하부 표면에 부착되는 충격완화용 댐퍼(370)와, 상기 댐퍼(370)의 하부 표면에 접합물질을 도포하여 형성된 접합층(340)과, 상기 접합층(340)의 하부 표면에 배열되어 접합되는 다수의 지지볼(350) 및 상기 지지볼(350) 측면부에 별도로 도포되는 접합제(341)로 이루어져 있다. 여기서, 상기 정전척(100) 또는 기판지지대(200)에서의 설명과 중복되는 부분은 생략하기로 한다.
그립부(301)는 클램프(300)의 단부에 형성되어 기판(10)을 그립하는 기능을 담당한다.
댐퍼(370)는 기판(10)의 그립시 상기 기판(10)에의 충격량을 완화시키는 구성요소로서, 상기 그립부(301)의 하부 표면에 부착되며, 그 재질은 댐핑기능을 하는 고무 등의 종래 일반적인 재료로 이루어질 수 있다.
이상과 같은 구성을 갖는 본 발명에 의한 클램프(300)에 의하면, 상기 클램프(300)에 의해 그립되는 기판(10)이 점접촉됨으로써 기판손상이 방지되며, 그립시 댐퍼(370)의 댐핑작용에 의해 기판(10)에의 충격량이 완화된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 정전척에 의하면, 반도체 기판의 제작공정상 기판의 손상과 파티클 발생을 방지하고, 정전척의 유전율을 향상시키며, 공정상 기판의 온도 및 압력의 균일도 및 식각, 증착 등에서 공정균일도를 확보할 수 있다. 또한, 정전척의 기능상 및 제작상의 안정성이 확보되고 사용수명이 연장되는 효과가 있다.
그리고, 본 발명에 따른 기판지지대에 의하면, 기판의 손상과 변형을 방지하고 파티클 발생을 최소화할 수 있도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판지지용 클램프에 의하면, 기판의 손상과 파티클을 방지하고 기판에의 충격을 완화시킬 수 있도록 하는 효과가 있다.
도 1 은 종래의 정전척을 나타내는 개념도,
도 2 는 본 발명에 따른 정전척을 나타내는 단면도,
도 3 은 본 발명에 따른 기판지지대를 나타내는 단면도,
도 4 는 본 발명에 따른 클램프를 나타내는 부분 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 기판 100 : 정전척
101 : 지지부 103 : 전극로드
105 : 헬륨 이동 통로 107 : 연통관
109 : 플러그 110 : 하부 절연층
120 : 전극패턴 130 : 상부 절연층
140 : 접합층 141 : 접합제
150 : 지지볼 160 : 누출방지댐
200 : 기판지지대 300 : 클램프
301 : 그립부 370 : 댐퍼

Claims (18)

  1. 상면이 평탄면으로 형성되고, 전극로드가 구비된 지지부;
    상기 지지부 표면에 절연물질을 도포하여 형성되는 하부 절연층;
    상기 하부 절연층 표면에 부착되며, 상기 전극로드와 전기적으로 연결되는 다수의 전극패턴;
    상기 전극패턴 표면에 절연물질을 도포하여 형성되는 상부 절연층;
    상기 상부 절연층 표면에 접합물질을 도포하여 형성되는 접합층;
    상기 접합층 표면에 소정형태로 배열되어 상기 접합층에 접합, 고정되는 다수의 지지볼로 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전척.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지부 상단부에 형성되는 다수의 헬륨 이동 통로;
    상기 헬륨 이동 통로로부터 상기 접합층 표면까지 관통하여 설치되는 연통관;
    상기 헬륨 이동 통로의 상부를 폐쇄함과 동시에 상기 연통관을 지지하는 플러그;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 정전척.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 헬륨 이동 통로를 통해 배출되는 헬륨가스의 온도 및 압력분포가 균일하도록 상기 접합층 상에 고정하여 배치되는 다수의 누출방지댐이 더 마련되는 것을 특징으로 하는 정전척.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 정전척의 최상단부에 알루미나 코팅을 한 것을 특징으로 하는 정전척.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 지지볼은,
    유전체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전척.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 접합층은,
    폴리이미드 또는 에폭시를 도포하여 형성되는 것을 특징으로 하는 정전척.
  7. 상면이 평탄면으로 형성된 지지부;
    상기 지지부 표면에 절연물질을 도포하여 형성되는 절연층;
    상기 절연층 표면에 접합물질을 도포하여 형성되는 접합층;
    상기 접합층 상에 소정형태로 배열되어 접합되는 다수의 지지볼;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판지지대.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 지지볼은,
    유전체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판지지대.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 절연층 표면에 댐퍼가 부착되고, 상기 댐퍼 표면에 접합물질을 도포하여 상기 접합층이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판지지대.
  10. 제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 접합층은,
    폴리이미드 또는 에폭시를 도포하여 형성되는 것을 특징으로 하는 기판지지대.
  11. 기판고정용 클램프에 있어서,
    상기 클램프의 기판고정부에 부착되는 댐퍼;
    상기 댐퍼 표면에 접합물질을 도포하여 형성되는 접합층;
    상기 접합층 상에 소정형태로 배열되어 접합되는 다수의 지지볼;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판고정용 클램프.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 지지볼은,
    유전체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판고정용 클램프.
  13. 제 11 항 또는 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 접합층은,
    폴리이미드 또는 에폭시를 도포하여 형성되는 것을 특징으로 하는 기판고정용 클램프.
  14. 상면이 평탄면으로 형성되고 전극로드가 구비된 지지부 표면에 절연물질을 도포하여 하부 절연층을 형성하는 단계;
    상기 하부 절연층 표면에 다수의 전극패턴을 부착하고 상기 다수의 전극패턴을 상기 전극로드와 전기적으로 연결하는 단계;
    상기 전극패턴 표면에 절연물질을 도포하여 상부 절연층을 형성하는 단계;
    상기 상부 절연층 표면에 접합물질을 도포하여 접합층을 형성하는 단계;
    상기 접합층 표면에 다수의 지지볼을 소정형태로 배열하여 상기 접합층에 접합하는 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전척 제조방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 지지부 상단부에 다수의 헬륨 이동 통로를 형성하는 단계;
    상기 헬륨 이동 통로로부터 상기 접합층 표면까지 관통하는 연통관을 설치하는 단계;
    상기 헬륨 이동 통로의 상부를 폐쇄함과 동시에 상기 연통관을 지지하는 플러그를 설치하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 정전척 제조방법.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 헬륨 이동 통로를 통해 배출되는 헬륨가스의 온도 및 압력분포가 균일하도록 상기 접합층 상에 다수의 누출방지댐을 고정하여 배치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척 제조방법.
  17. 상면이 평탄면으로 형성된 지지부 표면에 절연물질을 도포하여 절연층을 형성하는 단계;
    상기 절연층 표면에 접합물질을 도포하여 접합층을 형성하는 단계;
    상기 접합층 상에 다수의 지지볼을 소정형태로 배열하여 접합하는 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판지지대 제조방법.
  18. 기판고정용 클램프의 기판고정부에 댐퍼를 부착하는 단계;
    상기 댐퍼 표면에 접합물질을 도포하여 접합층을 형성하는 단계;
    상기 접합층 상에 소정형태로 다수의 지지볼을 배열하여 접합하는 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판고정용 클램프 제조방법.
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