KR100493189B1 - Method for manufacturing lead frame - Google Patents

Method for manufacturing lead frame Download PDF

Info

Publication number
KR100493189B1
KR100493189B1 KR1019970076319A KR19970076319A KR100493189B1 KR 100493189 B1 KR100493189 B1 KR 100493189B1 KR 1019970076319 A KR1019970076319 A KR 1019970076319A KR 19970076319 A KR19970076319 A KR 19970076319A KR 100493189 B1 KR100493189 B1 KR 100493189B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lead
lead frame
liquid adhesive
mask
application
Prior art date
Application number
KR1019970076319A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR19990056324A (en
Inventor
노형호
Original Assignee
삼성테크윈 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성테크윈 주식회사 filed Critical 삼성테크윈 주식회사
Priority to KR1019970076319A priority Critical patent/KR100493189B1/en
Publication of KR19990056324A publication Critical patent/KR19990056324A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100493189B1 publication Critical patent/KR100493189B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads

Abstract

본 발명에 따르면, 이너 리이드와 아우터 리이드를 구비하는 리이드-온-칩(lead-on-chip;L.O.C.)형 반도체 팩키지용 리이드 프레임 또는 이너 리이드와 아우터 리이드와 패드를 구비한 리이드 프레임상에 디스펜서를 이용하여 액상의 접착제를 도포하는 리이드 프레임의 제조 방법에 있어서, 중심부가 제거된 마스크 부재를 상기 리이드 프레임상에 밀착시키고, 디스펜서로부터 토출되는 액상 접착제의 도포 개시 위치를 상기 마스크의 상부 표면으로 설정하여 액상 접착제를 도포하는 것을 특징으로 하는 리이드 프레임의 제조 방법이 제공된다. 본 발명의 리이드 프레임의 제조 방법은 액상의 접착제가 반도체 칩이 부착되지 않는 부분까지 유동하여 리이드 프레임을 오염시키는 것을 방지할 수 있다는 장점을 가진다.According to the present invention, a dispenser is placed on a lead frame for a lead-on-chip (LOC) type semiconductor package having an inner lead and an outer lead, or a lead frame having an inner lead, an outer lead, and a pad. In the manufacturing method of the lead frame which apply | coats a liquid adhesive by using, the mask member from which the center part was removed is closely adhered on the said lead frame, and the application starting position of the liquid adhesive discharged from a dispenser is set to the upper surface of the said mask, Provided is a method of producing a lead frame, characterized by applying a liquid adhesive. The manufacturing method of the lead frame of the present invention has the advantage that the liquid adhesive can be prevented from flowing to the portion where the semiconductor chip is not attached to contaminate the lead frame.

Description

리이드 프레임 제조 방법{Method for manufacturing lead frame}Lead frame manufacturing method {Method for manufacturing lead frame}

본 발명은 리이드 프레임 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 칩의 접착에 사용되는 액상의 접착제 도포 방법을 개선한 리이드 프레임 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a lead frame, and more particularly, to a method of manufacturing a lead frame in which a liquid adhesive coating method used for bonding a semiconductor chip is improved.

리이드 프레임은 반도체 칩(chip)과 함께 반도체 패키지(package)를 이루는 핵심 구성요소의 하나로서, 반도체 패키지의 내부와 외부를 연결해주는 도선(lead)의 역할과 반도체 칩을 지지해주는 지지체(frame)의 역할을 한다. 이러한 반도체 리드 프레임은 통상적으로 스탬핑(stamping) 방식 또는 에칭(etching) 방식에 의해 제조된다. 스탬핑 방식은 금형에 의한 가공방식으로서, 금형을 사용하여 리이드 프레임 소재를 타발 성형하는 방법이다. 반면에, 에칭에 의한 가공 방법은 리이드 프레임에 포토레지스터로 소정 패턴의 마스크를 형성한 후에 에칭액을 이용하여 화학적 부식을 통해 성형하는 방법이다. 위와 같은 성형 가공 이후에, 와이어 본딩 특성을 향상시키기 위한 도금 공정이 포함되며, 반도체 칩에 대한 리이드 프레임의 접합을 위한 접착제 도포 공정 또는 테이핑 공정이 포함된다.The lead frame is one of the core components of the semiconductor package together with the semiconductor chip, and serves as a lead connecting the inside and the outside of the semiconductor package and the support of the frame supporting the semiconductor chip. Play a role. Such a semiconductor lead frame is typically manufactured by a stamping method or an etching method. The stamping method is a processing method using a mold, and is a method of punching a lead frame material using a mold. On the other hand, the etching method is a method of forming a mask of a predetermined pattern on the lead frame with a photoresist and then molding through chemical corrosion using an etching solution. After the molding process as described above, a plating process for improving wire bonding properties is included, and an adhesive coating process or a taping process for bonding the lead frame to the semiconductor chip is included.

리이드 프레임은 반도체 칩의 탑재 방식에 따라 다양한 구조를 가진다. 예를 들면 리이드 프레임은 반도체 칩을 탑재하는 패드(pad)와 내부 리이드(inner lead) 및 외부 리이드(outer lead)를 구비할 수 있다. 즉, 반도체 리이드 프레임의 사각 기판상의 중앙부에는, 반도체 칩을 탑재하게 되는 사각형 패드가 2개나 4개의 서포트 바아(support bar)에 의해 지지되어 있고, 이 패드의 둘레에는 와이어 본딩에 의해 칩내 소자의 각 단자와 선이 연결되는 이너 리드가 패드의 네변의 둘레에 접근된 형태로 배열되어 있으며, 내부 리이드의 외측으로 외부 리이드가 연장되어 있다. 또다른 예에서, 리이드 프레임은 리이드-온-칩(lead on chip;LOC)의 반도체 팩키지를 위한 형태를 가지며, 이것은 패드가 제거된 구조로서 반도체 칩이 이너 리이드의 소정 위치에 부착된다.The lead frame has various structures according to the mounting method of the semiconductor chip. For example, the lead frame may include a pad on which the semiconductor chip is mounted, an inner lead and an outer lead. That is, a rectangular pad on which the semiconductor chip is to be mounted is supported by two or four support bars at the center portion of the quadrangular substrate of the semiconductor lead frame, and around each pad of the element within the chip by wire bonding. Inner leads to which terminals and wires are connected are arranged in a manner approaching around the four sides of the pad, and the outer leads extend outside the inner leads. In another example, the lead frame has a form for a semiconductor package of lead on chip (LOC), in which the pad is removed and the semiconductor chip is attached to a predetermined position of the inner lead.

위에서 언급된 바와 같이, 리이드 프레임의 제조에는 반도체 칩을 리이드 프레임에 접착시키기 위한 액상의 접착제 도포 공정이 포함된다. 액상의 접착제는 반도체 칩을 접착시킬 부위에 따라서 리이드 프레임의 패드나 또는 이너 리이드에 도포된다. 접착제는 액상의 상태로 도포된 이후에 건조되며, 차후의 공정인 반도체 조립 공정에서 리이드 프레임과 반도체 칩을 상호 가열 압착시킴으로써 액상의 접착제가 용융되어 반도체 칩의 접착이 이루어질 수 있다. As mentioned above, the manufacture of the lead frame includes a liquid adhesive application process for adhering the semiconductor chip to the lead frame. The liquid adhesive is applied to the pad of the lead frame or the inner lead depending on the portion to which the semiconductor chip is to be bonded. The adhesive is dried after being applied in a liquid state, and the liquid adhesive is melted by mutually heat pressing the lead frame and the semiconductor chip in a subsequent semiconductor assembly process so that the adhesion of the semiconductor chip can be achieved.

액상 접착제의 도포는 소위 디스펜서(dispenser) 장치를 이용하여 수행된다.디스펜서 장치는 시린지(syringe)의 원통형 내부 공간에 액상의 접착제를 충전시키고, 이를 공압을 이용하여 니이들(needle)을 통해 토출하는 장치이다. 니이들을 통해 가압 분출된 액상의 접착제는 패드 또는 이너 리이드의 소정 위치에 도포되며, 이후에 건조된다.Application of the liquid adhesive is performed using a so-called dispenser device. The dispenser device fills a liquid adhesive into a cylindrical inner space of a syringe and discharges it through a needle using pneumatic pressure. Device. The liquid adhesive pressurized through the needle is applied at a predetermined position on the pad or inner lead, and then dried.

도 1에 도시된 것은 LOC 형 반도체 팩키지를 위한 리이드 프레임의 일부에 대한 개략적인 사시도를 도시한 것이다.Shown in FIG. 1 is a schematic perspective view of a portion of a lead frame for a LOC type semiconductor package.

도면을 참조하면, 리이드 프레임(10)은 이너 리이드(11a,11b,11c,11d,11e)와 아우터 리이드(12a,12b,12c,12d,12e)를 구비하며, 이들 이너 리이드와 아우터 리이드(12)는 일직선상으로 연장된 각각의 리이드로서 형성된다. 이너 리이드(11)의 상부 표면에는 액상의 접착제가 도포되어야 하는데, 접착제 도포 부위는 각각 도면 번호 13a,13b,13c,13d 및, 13e 로 표시되어 있다. 이후의 반도체 팩키지 조립 공정에서는 접착제 도포 부위에 반도체 칩(미도시)이 배치됨으로써 리이드 프레임(10)과 반도체 칩의 상호 접착이 이루어질 수 있다.Referring to the drawings, the lead frame 10 includes inner leads 11a, 11b, 11c, 11d and 11e and outer leads 12a, 12b, 12c, 12d and 12e, and these inner leads and outer leads 12 ) Is formed as each lead extending in a straight line. A liquid adhesive should be applied to the upper surface of the inner lead 11, and the adhesive application sites are denoted by reference numerals 13a, 13b, 13c, 13d and 13e, respectively. In the subsequent semiconductor package assembly process, a semiconductor chip (not shown) is disposed at an adhesive application site, and thus the adhesion of the lead frame 10 and the semiconductor chip may be performed.

위에서 설명한 바와 같이, 액상의 접착제를 도포 부위(13a 내지 13e)에 도포하려면 디스펜서 장치가 이용된다. 디스펜서 장치(미도시)는 액상의 접착제가 토출되는 니이들(미도시)을 최초의 이너 리이드(11a)의 도포 부위(13a) 상부에 일치시킨 후에 공압으로 액상 접착제를 분사하는 것이다. 다음에 니이들의 위치는 근접한 이너 리이드(11b)의 도포 부위(13b)로 이동하게 되며, 계속해서 다음 리이드의 도포 부위 상부로 이동하면서 액상의 접착제를 도포하게 된다. 즉, 디스펜서의 니이들이 이너 리이드의 상부에서 폭 방향으로 이동하면서 액상의 접착제를 토출하는 것이다.As described above, a dispenser device is used to apply the liquid adhesive to the application sites 13a to 13e. The dispenser device (not shown) aligns the needle (not shown) from which the liquid adhesive is discharged to the upper portion of the application portion 13a of the first inner lead 11a, and then sprays the liquid adhesive by pneumatic pressure. The position of the needle is then moved to the application site 13b of the adjacent inner lead 11b, and then the liquid adhesive is applied while moving to the top of the application site of the next lead. That is, the needle of the dispenser discharges the liquid adhesive while moving in the width direction from the top of the inner lead.

그런데 위와 같은 도포 과정에서 액상의 접착제는 니이들이 최초로 접하게 되는 이너 리이드(11a)의 측면으로 유동하는 현상이 발생할 수 있다. 즉, 도 1에서 도면 번호 14로 표시된 측면 부분에까지 액상의 접착제가 도포되는 현상이다. 이러한 액상 접착제의 유동 현상은 여러 가지 원인에 의해 발생할 수 있다. 예를 들면 디스펜서의 니이들은 최초의 이너 리이드(11a)의 상부에서 액상 접착제를 분출하게 되는데, 만일 니이들의 위치가 정확하지 않다면 액상의 접착제는 측면 부위(14)로 유동하게 된다. 또한 니이들의 구경(口徑)이 이너 리이드의 폭(width)보다 큰 경우에는 액상 접착제의 분출량에 따라서 최초 리이드(11a)의 측면 부위(14)로 유동할 수 있다. 그러나 어떠한 경우에도 다른 이너 리이드(11b,11c,11d,11e)의 측면 부위로 액상 접착제가 유동하지 않으며, 이것은 일단 액상 접착제의 분출이 개시된 이후에는 도포 부위(13b,13c,13d,13e)의 표면에서 액체의 표면 장력이 작용하기 때문이다.By the way, the liquid adhesive in the application process as described above may occur a phenomenon that the needle flows to the side of the inner lead (11a) first contact. That is, the liquid adhesive is applied to the side portion indicated by the reference numeral 14 in FIG. The flow phenomenon of the liquid adhesive may be caused by various causes. For example, the needles of the dispenser eject the liquid adhesive on top of the first inner lead 11a. If the needles are not in the correct position, the liquid adhesive will flow to the side portion 14. In addition, when the diameter of the needle is larger than the width of the inner lead, the needle may flow to the side portion 14 of the first lead 11a according to the ejection amount of the liquid adhesive. In no case, however, the liquid adhesive flows to the side portions of the other inner leads 11b, 11c, 11d, and 11e, which is the surface of the application sites 13b, 13c, 13d, and 13e once the ejection of the liquid adhesive is started. This is because the surface tension of the liquid at

한편 도 2에는 패드를 구비한 리이드 프레임의 일부에 대한 개략적인 사시도가 도시되어 있다.2 shows a schematic perspective view of a part of the lead frame with a pad.

도면을 참조하면, 리이드 프레임(20)은 이너 리이드(21)와 아우터 리이드(22)를 구비하며, 중심부에는 패드(23)가 구비된다. 패드(23)는 서포트 바아(24)에 의해 외주면에 형성된 레일(미도시)에 연결됨으로써 지지된다. 반도체 칩(미도시)은 패드(23)의 상부에 부착되는데, 도면 번호 25로 지시된 것은 액상 접착제가 도포되는 부위이다. Referring to the drawing, the lead frame 20 includes an inner lead 21 and an outer lead 22, and a pad 23 is provided at the center thereof. The pad 23 is supported by being connected to a rail (not shown) formed on the outer circumferential surface by the support bar 24. A semiconductor chip (not shown) is attached to the top of the pad 23, indicated by reference numeral 25 is a portion to which the liquid adhesive is applied.

도 2에 도시된 바와 같이 도포 부위(25)가 패드(23)의 횡방향에 걸쳐 전체적으로 설정되는 경우, 디스펜서의 니이들(미도시)을 통해 분출되는 액상 접착제는 패드(23)의 측면(26)으로 유동하는 현상이 발생한다. 이러한 유동 현상도 니이들의 최초 위치가 잘못 선정되는등의 이유에 의해서 발생한다.When the application site 25 is set as a whole over the transverse direction of the pad 23 as shown in FIG. 2, the liquid adhesive ejected through the needles (not shown) of the dispenser may have the side surface 26 of the pad 23. Flows to This flow phenomenon also occurs because of the incorrect selection of the needle's initial position.

도 1 및 도 2의 예를 들어 설명한 바와 같이, 액상의 접착제를 도포할 때 이너 리이드 또는 패드의 측면으로 액상 접착제가 유동하는 것은 반도체 팩키지 조립 공정에 부정적인 영향을 미친다. 즉, 측면으로 유동하는 액상 접착제는 리이드 프레임을 오염시킬뿐만 아니라, 팩키지 조립시에 몰드의 구조를 약화시키는 원인이 된다. 이러한 액상 접착제의 측면 유동 현상을 방지하려면 디스펜서 니이들의 최초 토출 위치를 정확히 설정하여야 하는데, 이는 상당한 곤란이 따르는 작업이다.As described with reference to the examples of FIGS. 1 and 2, the flow of the liquid adhesive to the side of the inner lead or pad when the liquid adhesive is applied negatively affects the semiconductor package assembly process. That is, the liquid adhesive flowing to the side not only contaminates the lead frame, but also causes the structure of the mold to be weakened when assembling the package. In order to prevent this side flow phenomenon of the liquid adhesive, it is necessary to accurately set the initial dispensing position of the dispenser needles, which is a difficult task.

본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 액상의 접착제 도포 방법이 개선된 리이드 프레임 제조 방법을 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide a lead frame manufacturing method improved liquid adhesive coating method.

본 발명의 다른 목적은 마스크를 이용하여 액상의 접착제를 도포하는 리이드 프레임 제조 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a lead frame manufacturing method for applying a liquid adhesive using a mask.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 이너 리이드와 아우터 리이드를 구비하는 리이드-온-칩(lead-on-chip;L.O.C.)형 반도체 팩키지용 리이드 프레임상에 디스펜서를 이용하여 액상의 접착제를 도포하는 리이드 프레임의 제조 방법에 있어서, 중심부가 제거된 마스크 부재를 상기 리이드 프레임상에 밀착시키고, 디스펜서로부터 토출되는 액상 접착제의 도포 개시 위치를 상기 마스크의 상부 표면으로 설정하여 액상 접착제를 도포하는 것을 특징으로 하는 리이드 프레임의 제조 방법이 제공된다.In order to achieve the above object, according to the present invention, a liquid adhesive is applied to the lead frame for lead-on-chip (LOC) type semiconductor package having an inner lead and an outer lead using a dispenser. In the manufacturing method of the lead frame to apply, the mask member from which the center part was removed is stuck in close contact with the said lead frame, and setting the application start position of the liquid adhesive discharged from a dispenser to the upper surface of the said mask and apply | coating a liquid adhesive A method for producing a lead frame is provided.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 마스크 부재의 내측면과 인접한 이너 리이드의 측면 사이의 간격은 상기 이너 리이드 사이의 간격과 동일하게 이격된다.According to another feature of the invention, the spacing between the inner surface of the mask member and the side surfaces of the adjacent inner leads is equally spaced apart from the spacing between the inner leads.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 디스펜서로부터 토출되는 액상 접착제의 도포 종료 위치는 상기 마스크의 상부 표면으로 설정된다.According to another feature of the invention, the application end position of the liquid adhesive discharged from the dispenser is set to the upper surface of the mask.

또한 본 발명에 따르면, 이너 리이드와, 아우터 리이드와, 반도체 칩이 그 위에 탑재되는 패드를 포함하는 리이드 프레임상에 디스펜서를 이용하여 액상의 접착제를 도포하는 리이드 프레임의 제조 방법에 있어서, 중심부가 제거된 마스크 부재를 상기 리이드 프레임상에 밀착시키고, 디스펜서로부터 토출되는 액상 접착제의 도포 개시 위치를 상기 마스크의 상부 표면으로 설정하여 액상 접착제가 도포된다.Further, according to the present invention, in the manufacturing method of a lead frame in which a liquid adhesive is applied using a dispenser on a lead frame including an inner lead, an outer lead, and a pad on which a semiconductor chip is mounted, the center portion is removed. The mask member is brought into close contact with the lead frame, and the liquid adhesive is applied by setting the application start position of the liquid adhesive discharged from the dispenser to the upper surface of the mask.

이하 본 발명을 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to an embodiment shown in the accompanying drawings.

도 3에는 본 발명에 따라서 LOC 형 반도체 팩키지용 리이드 프레임에 액상의 접착제를 도포하는 방법이 도시되어 있다.3 illustrates a method of applying a liquid adhesive to a lead frame for a LOC type semiconductor package according to the present invention.

도면을 참조하면, 리이드 프레임(30)은 부분적인 사시도로 도시되어 있으며, 이너 리이드(31a,31b,31c,31d,31e,31f)와 그로부터 각각 연장된 아우터 리이드(32a,32b,32c,32d,32e,32f)로 형성된 다수의 리이드를 구비한다. 각각의 이너 리이드(31a 내지 31f) 상부에는 도포 부위(33a,33b,33c,33d,33e,33f)가 설정되어 있으며, 액상의 접착제는 이러한 도포 부위(33a 내지 33f)에만 도포되어야 한다. Referring to the drawings, the lead frame 30 is shown in a partial perspective view, and the inner leads 31a, 31b, 31c, 31d, 31e, and 31f and the outer leads 32a, 32b, 32c, 32d, respectively extending therefrom, 32e, 32f). Application areas 33a, 33b, 33c, 33d, 33e, 33f are set on each of the inner leads 31a to 31f, and the liquid adhesive should be applied only to these application areas 33a to 33f.

본 발명에 따르면, 액상 접착제의 도포는 마스크(35)를 이용하여 수행된다. 마스크(35)는 도면에 도시된 바와 같이 중심부가 제거된 사각형으로 형성된다. 마스크(35)는 예를 들면 금속이나 수지 또는 종이를 이용하여 제작될 수 있으며, 도면에 도시된 형태와 다르게 제작될 수 있다. 마스크(35)는 리이드 프레임(30)의 상부에 밀착된 상태로 배치되며, 이때 마스크(35)의 내측면(37a)은 이너 리이드(31a)의 외측면(38a)과 소정 간격으로 이격되고, 마스크(35)의 다른 내측면(37b)은 이너 리이드(31f)의 외측면(38f)와 소정 간격으로 이격된다. 이때 마스크(35)의 내측면(37a,37b)이 이너 리이드(31a,31f)의 각각의 외측면(38a,38f)과 이격되는 간격은 각각의 리이드들이 상호 이격되는 간격과 동일하게 형성된다.According to the invention, the application of the liquid adhesive is performed using the mask 35. The mask 35 is formed in a quadrangle with the center removed as shown in the figure. The mask 35 may be manufactured using, for example, metal, resin, or paper, and may be manufactured differently from the shape shown in the drawing. The mask 35 is disposed in close contact with the upper portion of the lead frame 30, wherein the inner surface 37a of the mask 35 is spaced apart from the outer surface 38a of the inner lead 31a at a predetermined interval, The other inner side surface 37b of the mask 35 is spaced apart from the outer side surface 38f of the inner lead 31f at a predetermined interval. At this time, the intervals at which the inner surfaces 37a and 37b of the mask 35 are spaced apart from the respective outer surfaces 38a and 38f of the inner leads 31a and 31f are formed to be the same as the intervals at which the respective leads are spaced apart from each other.

액상의 접착제를 리이드의 도포 부위(13a 내지 13e)에 도포하는 작업은 마스크(35)를 리이드 프레임(30)에 밀착시킨 상태에서 디스펜서(미도시)를 이용하여 수행된다. 액상의 접착제를 도포하려면, 최초의 도포 위치는 마스크(35)의 상부 표면에 설정되며, 이것은 도 3에서 도면 번호 36a로 표시되어 있다. 또한 디스펜서(미도시)에 의한 액상 접착제의 도포가 종료되는 위치는 도면 번호 36b로 표시되어 있는 마스크(35)의 상부 표면이다.The operation of applying the liquid adhesive to the application sites 13a to 13e of the lead is performed using a dispenser (not shown) in a state where the mask 35 is in close contact with the lead frame 30. To apply the liquid adhesive, the initial application position is set on the upper surface of the mask 35, which is indicated by reference numeral 36a in FIG. The position where the application of the liquid adhesive by the dispenser (not shown) is finished is the upper surface of the mask 35 indicated by reference numeral 36b.

마스크(35)를 이용한 액상 접착제의 도포는 최초의 도포 위치를 마스크(35)의 소정 위치(36a)에 설정함으로써 액상 접착제가 최초의 이너 리이드(31a)의 측면으로 유동하는 것을 방지하는 것이다. 즉, 위에서 설명한 바와 같이 액상 접착제는 일단 도포가 개시된 이후에는 표면 장력 때문에 이너 리이드의 측면으로 유동하지 않으며, 따라서 액상 접착제 도포의 개시 위치를 마스크(35)의 상부 표면으로 설정하면 최초의 이너 리이드 측면에 접착제가 유동하는 것을 방지할 수 있는 것이다. 마스크(35)의 내측면(37a)과 최초 이너 리이드(31a)의 외측면(38a)을 리이드의 피치에 해당하도록 이격시킴으로써 마스크(35)의 상부 표면은 가상의 이너 리이드가 되는 것이다. Application of the liquid adhesive using the mask 35 is to prevent the liquid adhesive from flowing to the side of the first inner lead 31a by setting the initial application position at the predetermined position 36a of the mask 35. That is, as described above, the liquid adhesive does not flow to the side of the inner lead once the application of the liquid is initiated because of surface tension, and therefore, when the starting position of the liquid adhesive application is set to the upper surface of the mask 35, the first inner lead side This can prevent the adhesive from flowing. The upper surface of the mask 35 becomes an imaginary inner lead by separating the inner surface 37a of the mask 35 from the outer surface 38a of the initial inner lead 31a to correspond to the pitch of the lead.

도 4에는 패드를 구비하는 리이드 프레임을 본 발명에 따라서 액상 접착제를 도포하는 것을 도시한 것이다.Figure 4 shows the application of the liquid adhesive in accordance with the present invention in a lead frame having a pad.

도면을 참조하면, 리이드 프레임(40)은 이너 리이드(41)와 아우터 리이드(42)를 구비하며, 반도체 칩(미도시)이 그 위에 부착되는 패드(43)를 구비한다. 패드(43)는 서포트 바아(44)에 의해 레일(미도시)에 대하여 지지된다.Referring to the drawing, the lead frame 40 includes an inner lead 41 and an outer lead 42 and a pad 43 to which a semiconductor chip (not shown) is attached. Pad 43 is supported relative to a rail (not shown) by support bar 44.

액상의 접착제는 패드(43)의 상부 표면에 횡방향으로 연장된 도포 부위(45)에 도포되어야 한다. 본 발명에 따르면, 액상 접착제의 도포는 마스크(47)를 리이드 프레임(40)에 밀착시킨 상태에서 수행된다.The liquid adhesive should be applied to the application site 45 extending transversely to the top surface of the pad 43. According to the present invention, the application of the liquid adhesive is performed while the mask 47 is in close contact with the lead frame 40.

마스크(47)는 도 3에서 사용된 마스크(35)와 유사하게 중심부가 제거된 사각형이다. 마스크(47)를 리이드 프레임(40)의 표면에 밀착시킨 상태에서, 마스크(47)의 내측면(49a)은 패드(43)의 일측 외측면(43a)으로부터 소정 간격으로 이격된다. 또한 마스크(47)의 다른 내측면(49b)은 패드(43)의 다른 외측면(43b)과 소정 간격으로 이격된다.The mask 47 is a square with the center removed, similar to the mask 35 used in FIG. 3. In a state where the mask 47 is in close contact with the surface of the lead frame 40, the inner surface 49a of the mask 47 is spaced apart from one side outer surface 43a of the pad 43 at predetermined intervals. The other inner side 49b of the mask 47 is also spaced apart from the other outer side 43b of the pad 43 at predetermined intervals.

디스펜서 장치를 이용하여 액상의 접착제를 도포하려면, 니이들(미도시)의 최초 위치는 마스크(47)의 상부 표면에 설정되며, 예를 들면 도 4에서 도면 번호 48a로 지시된 부분에서 액상 접착제의 도포가 개시된다. 니이들(미도시)은 마스크(47)의 상부 표면(48a)으로부터 액상의 접착제를 도포하기 시작하여 패드(43)의 도포 부위(45)에 대한 접착제 도포를 수행하며, 마스크(47)의 상부 표면(48b)에서 접착제의 도포가 종료된다.To apply the liquid adhesive using the dispenser device, the initial position of the needle (not shown) is set on the upper surface of the mask 47, for example in the portion indicated by reference numeral 48a in FIG. Application is started. The needle (not shown) begins to apply a liquid adhesive from the upper surface 48a of the mask 47 to perform adhesive application to the application site 45 of the pad 43, and the top of the mask 47. Application of the adhesive on the surface 48b ends.

패드(43)를 구비한 리이드 프레임(40)에 대하여 마스크(47)를 이용하여 액상의 접착제를 도포하는 것은 위에서 설명한 바와 같이 패드(43)의 측면(43a)으로 액상 접착제가 유동하는 것을 방지할 수 있으며, 접착제 도포의 개시 위치를 정확하게 선정하는데 따른 작업의 곤란을 덜어준다. 이때 마스크(47)의 내측면(49a)과 패드(43)의 외측면(43a) 사이의 이격 간격은 디스펜서(미도시)로부터 토출되는 액상 접착제의 토출량에 따라서 정해져야 한다.Applying the liquid adhesive with the mask 47 to the lead frame 40 with the pad 43 will prevent the liquid adhesive from flowing to the side 43a of the pad 43 as described above. Can reduce the difficulty of working correctly selecting the starting position of the adhesive application. At this time, the separation interval between the inner surface 49a of the mask 47 and the outer surface 43a of the pad 43 should be determined according to the discharge amount of the liquid adhesive discharged from the dispenser (not shown).

본 발명에 따라서 접착제의 도포 방법이 개선된 리이드 프레임의 제조 방법은 액상의 접착제가 반도체 칩이 부착되지 않는 부분까지 유동하여 리이드 프레임을 오염시키는 것을 방지할 수 있다는 장점을 가진다. 또한 디스펜서의 니이들이 리이드 프레임상에서 접착제 도포 개시 위치를 설정하는데 따른 곤란을 덜어주므로 작업의 편이성이 향상된다. 더욱이 미세한 피치의 리이드를 가지는 리이드 프레임에 대한 액상 접착제의 도포 작업도 용이하게 이루어질 수 있다.According to the present invention, a method of manufacturing a lead frame having an improved method of applying an adhesive has an advantage in that a liquid adhesive can be prevented from contaminating the lead frame by flowing to a portion where the semiconductor chip is not attached. In addition, since the needle of the dispenser eliminates the difficulty of setting the adhesive application start position on the lead frame, the ease of operation is improved. Moreover, the application of the liquid adhesive to the lead frame having a fine pitch lead can also be made easily.

본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것으로서 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the accompanying drawings, which are exemplary and will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. . Therefore, the true scope of protection of the present invention should be defined only by the appended claims.

도 1은 리이드-온-칩 형태의 반도체 팩키지용 리이드 프레임의 일부에 대한 개략적인 사시도.1 is a schematic perspective view of a portion of a lead frame for a semiconductor package in lead-on-chip form;

도 2는 패드를 구비한 리이드 프레임의 일부에 대한 개략적인 사시도.2 is a schematic perspective view of a portion of a lead frame with pads.

도 3은 본 발명에 따라서 리이드-온-칩 형태의 반도체 팩키지용 리이드 프레임에 대하여 액상 접착제를 도포하는 것을 도시한 개략적인 설명도.Figure 3 is a schematic illustration showing the application of a liquid adhesive to the lead frame for semiconductor packages in the form of a lead-on-chip according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따라서 패드를 구비한 리이드 프레임에 대하여 액상 접착제를 도포하는 것을 도시한 개략적인 설명도.Figure 4 is a schematic illustration showing the application of the liquid adhesive to the lead frame with a pad in accordance with the present invention.

* 도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명 *Brief description of the main symbols in the drawings

10. 리이드 프레임 11a~11e. 이너 리이드10. Lead frames 11a-11e. Inner lead

12a~12e. 아우터 리이드 13a~13e. 도포 부위12a-12e. Outer lead 13a-13e. Application site

20. 리이드 프레임 21.이너 리이드20.Lead frame 21.Inner lead

22. 아우터 리이드 23. 패드22.Outer lid 23.Pad

31a~31f. 이너 리이드 32a~32f. 아우터 리이드31a-31f. Inner lead 32a ~ 32f. Outer lead

33a~33f. 도포 부위 35. 마스크33a-33f. Application area 35. Mask

41. 이너 리이드 42. 아우터 리이드41.Inner lead 42.Outer lead

43. 패드 47. 마스크43.Pad 47.Mask

Claims (1)

이너 리이드와 아우터 리이드를 구비하는 리이드-온-칩(lead-on-chip;L.O.C.)형 반도체 팩키지용 리이드 프레임상에 디스펜서를 이용하여 액상의 접착제를 도포하는 리이드 프레임의 제조 방법에 있어서, In the manufacturing method of the lead frame which apply | coats a liquid adhesive using a dispenser on the lead frame for a lead-on-chip (L.O.C.) type | mold semiconductor package which has an inner lead and an outer lead, 중심부가 제거된 마스크 부재를 상기 리이드 프레임상에 밀착시키고, 디스펜서로부터 토출되는 액상 접착제의 도포 개시 위치를 상기 마스크 부재의 상부 표면으로 설정하고, 상기 디스펜서로부터 토출되는 액상 접착제의 도포 종료위치를 상기 마스크의 상부 표면으로 설정하여 액상 접착제를 도포하며, 상기 마스크 부재의 내측면과 인접한 이너 리이드의 측면 사이의 간격은 상기 이너 리이드 사이의 간격과 동일하게 이격되는 것을 특징으로 하는 리이드 프레임의 제조 방법.The mask member from which the center part was removed is brought into close contact with the lead frame, the application start position of the liquid adhesive discharged from the dispenser is set to the upper surface of the mask member, and the application end position of the liquid adhesive discharged from the dispenser is set to the mask. A liquid adhesive is applied by setting to an upper surface of the method, and the space between the inner surface of the mask member and the side of the adjacent inner lead is spaced equally to the space between the inner leads.
KR1019970076319A 1997-12-29 1997-12-29 Method for manufacturing lead frame KR100493189B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970076319A KR100493189B1 (en) 1997-12-29 1997-12-29 Method for manufacturing lead frame

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970076319A KR100493189B1 (en) 1997-12-29 1997-12-29 Method for manufacturing lead frame

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990056324A KR19990056324A (en) 1999-07-15
KR100493189B1 true KR100493189B1 (en) 2005-09-26

Family

ID=37304875

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970076319A KR100493189B1 (en) 1997-12-29 1997-12-29 Method for manufacturing lead frame

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100493189B1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0198292A (en) * 1987-06-18 1989-04-17 Toyo Commun Equip Co Ltd Soldering paste printing method for printed board
KR940004787A (en) * 1992-08-19 1994-03-16 김광호 Semiconductor Package Manufacturing Method
JPH06177526A (en) * 1992-12-09 1994-06-24 Toyota Autom Loom Works Ltd Printing method for bonding agent
KR970055308A (en) * 1995-12-29 1997-07-31 서두칠 Lead frame of surface acoustic wave filter
KR970077548A (en) * 1996-05-10 1997-12-12 김광호 Semiconductor chip mounting method using fluid adhesive and lead frame of LOC type semiconductor chip package

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0198292A (en) * 1987-06-18 1989-04-17 Toyo Commun Equip Co Ltd Soldering paste printing method for printed board
KR940004787A (en) * 1992-08-19 1994-03-16 김광호 Semiconductor Package Manufacturing Method
JPH06177526A (en) * 1992-12-09 1994-06-24 Toyota Autom Loom Works Ltd Printing method for bonding agent
KR970055308A (en) * 1995-12-29 1997-07-31 서두칠 Lead frame of surface acoustic wave filter
KR970077548A (en) * 1996-05-10 1997-12-12 김광호 Semiconductor chip mounting method using fluid adhesive and lead frame of LOC type semiconductor chip package

Also Published As

Publication number Publication date
KR19990056324A (en) 1999-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6410979B2 (en) Ball-grid-array semiconductor device with protruding terminals
KR19980023898A (en) Lead frame with adhesive layer
US20060125064A1 (en) Semiconductor device and a method of manufacturing the same
US6448107B1 (en) Pin indicator for leadless leadframe packages
JP3564970B2 (en) Tape carrier and tape carrier device using the same
KR100243967B1 (en) Lead frame and semiconductor device using the same
JP2005142554A (en) Lead frame and method for manufacturing semiconductor package using it
KR100493189B1 (en) Method for manufacturing lead frame
KR0174983B1 (en) Semiconductor chip mounting method and leadframe of loc type semiconductor package
US6268646B1 (en) Lead frame for lead on chip
US6686652B1 (en) Locking lead tips and die attach pad for a leadless package apparatus and method
US5989474A (en) Method for fabricating resin-sealed semiconductor device using leadframe provided with resin dam bar
JP2011181964A (en) Lead frame, and manufacturing method therefor
US6040620A (en) Lead frame for LOC having a regulating lead to prevent variation in adhesive coverage
US5231755A (en) Method of forming soluble alignment bars
JP2704128B2 (en) Lead frame for semiconductor device and method of manufacturing the same
EP0801424B1 (en) Semiconductor device and assembling method thereof
JPH10321651A (en) Semiconductor device
JPH0438858A (en) Manufacture of semiconductor device
KR100432348B1 (en) Leadframe for lead-on-chip (LOC)
KR100313500B1 (en) Tape carrier package and manufacturing method thereof
KR200160933Y1 (en) Lead frame of semiconductor package type
KR19980018132A (en) Lead frame, manufacturing method thereof and semiconductor device using same
JPH06342817A (en) Semiconductor device
JP2671800B2 (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20090430

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee