KR100486257B1 - Subword line drive signal generation circuit and method using the same - Google Patents

Subword line drive signal generation circuit and method using the same Download PDF

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Abstract

네가티브로 바이어스된 워드라인 구조에서 네가티브 전압변동을 감소시키고, 상기 네가티브 전압변동에 의하여 발생되는 노이즈를 감소시킬 수 있는 서브워드라인 구동신호 발생회로가 제공된다. 대응되는 서브 워드라인 구동회로로 서브워드라인 구동신호를 제공하기 위한 서브워드라인 구동신호 발생회로는 디코딩 신호를 수신하기 위한 입력단; 상기 서브워드라인 구동신호를 출력하기 위한 출력단; 및 상기 출력단에 접속되고, 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 출력단을 제1전압으로 풀-다운하거나, 또는 제어신호 및 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 출력단을 제2전압으로 풀-다운하기 위한 풀-다운회로를 구비하며, 상기 출력단이 상기 제1전압으로 풀-다운된 때, 상기 제어신호는 활성화된다. 상기 제1전압은 상기 제2전압보다 높은 것이고, 상기 제1전압은 접지전압이고, 상기 제2전압은 네가티브 전압이다.A subword line drive signal generation circuit capable of reducing negative voltage fluctuations in a negatively biased word line structure and reducing noise caused by the negative voltage fluctuations is provided. A subword line driving signal generation circuit for providing a subword line driving signal to a corresponding sub word line driving circuit includes an input terminal for receiving a decoded signal; An output terminal for outputting the subword line driving signal; And a pull-down connected to the output terminal for pulling down the output terminal to a first voltage in response to the decoding signal or for pulling down the output terminal to a second voltage in response to a control signal and the decoding signal. And a control circuit is activated when the output terminal is pulled down to the first voltage. The first voltage is higher than the second voltage, the first voltage is a ground voltage, and the second voltage is a negative voltage.

Description

서브워드라인 구동신호 발생회로 및 방법{Subword line drive signal generation circuit and method using the same} Subword line drive signal generation circuit and method using the same}

본 발명은 반도체 메모리장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대응되는 서브 워드라인 구동회로로 서브워드라인 구동신호를 제공하기 위한 서브워드라인 구동신호 발생회로 및 서브워드라인 구동신호 제공방법에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly, to a subword line driving signal generation circuit and a subword line driving signal providing method for providing a subword line driving signal to a corresponding sub word line driving circuit.

도 1은 종래의 DRAM 장치의 메모리 셀을 나타낸다. 상기 메모리 셀의 리프레쉬 시간은 두 개의 주요한 누설전류, 즉 접합 누설전류(junction leakage current; I1)와 서브-쓰레쉬홀드 전류(sub-threshold current; I2)에 의하여 감소된다. 접합 누설전류(I1)는 트랜지스터(M1)의 접합경계(junction boundary)의 결함들에 의하여 발생된다. 서브-쓰레쉬홀드 전류(I2)는 트랜지스터(M1)를 통하여 흐르는 서브-쓰레쉬홀드 전류(I2)에 의하여 발생되는 채널누설전류다.1 shows a memory cell of a conventional DRAM device. The refresh time of the memory cell is reduced by two major leakage currents: junction leakage current I1 and sub-threshold current I2. Junction leakage current I1 is generated by defects in the junction boundary of transistor M1. The sub-threshold current I2 is a channel leakage current generated by the sub-threshold current I2 flowing through the transistor M1.

접합 누설전류(I1)는 채널의 이온 농도를 감소시킴으로서 감소시킬 수 있으나, 이것은 서브-쓰레쉬홀드 전류(I2)를 증가시키는 원인이 된다. 유사하게 서브-쓰레쉬홀드 전류(I2)는 트랜지스터(M1)의 문턱전압을 증가시킴으로써 감소시킬 수 있으나, 이것은 접합 누설전류(I1)를 증가시키는 원인이 된다.The junction leakage current I1 can be reduced by decreasing the ion concentration of the channel, but this causes the increase in the sub-threshold current I2. Similarly, the sub-threshold current I2 can be reduced by increasing the threshold voltage of the transistor M1, but this causes the junction leakage current I1 to increase.

네가티브로 바이어스된 워드라인 구조는 접합 누설전류(I1)와 서브-쓰레쉬홀드 전류(I2)를 동시에 감소시키기 위하여 고안되었다. 네가티브 워드라인 구조를 적용하는 메모리장치는 선택되지 않은 메모리 셀들의 워드라인들로 네가티브 전압(VBB, 전형적으로 -0.4볼트 내지 -0.5볼트)을 공급한다. The negatively biased wordline structure is designed to simultaneously reduce the junction leakage current (I1) and the sub-threshold current (I2). The memory device applying the negative word line structure supplies a negative voltage (VBB, typically -0.4 volts to -0.5 volts) to the word lines of unselected memory cells.

그러나 네가티브로 바이어스된 워드라인 구조들은 여러 가지 문제점들을 발생한다. 첫째, 프리차지 작동을 하는 동안, 워드라인이 승압전압 또는 전원전압으로부터 네가티브 전압(VBB)으로 방전될 때 발생된 높은 방전전류를 처리하기 위한 큰 용량의 네가티브 전압원을 필요로 한다. 이러한 방전전류들은 네가티브 전압 (VBB)의 변동을 일으키기 쉽다.However, negatively biased wordline structures present several problems. First, during the precharge operation, a large capacity negative voltage source is required to handle the high discharge current generated when the word line is discharged from the boost voltage or the supply voltage to the negative voltage VBB. These discharge currents are likely to cause fluctuations in the negative voltage VBB.

워드라인 제어회로를 작동시키기 위하여 요구되는 전류는 부가적인 네가티브 전압원을 요구한다. 즉, 네가티브 전압원은 메모리 장치에서 많은 면적을 차지하기 쉽다. The current required to operate the word line control circuit requires an additional negative voltage source. In other words, the negative voltage source is likely to occupy a large area in the memory device.

둘째, 종래의 네가티브로 바이어스된 워드라인 구조는 워드라인마다 하나의 네가티브 워드라인 드라이버가 필요하므로 전형적으로 칩 면적에서 불리한 복잡한 구조를 요구한다. 더욱이, 워드라인 드라이버 피치(pitch)에 네가티브 전압 변환기를 구현하기는 어렵다. Second, conventional negatively biased wordline structures require a complex structure, which is typically disadvantageous in chip area since one negative wordline driver is required per wordline. Moreover, it is difficult to implement negative voltage converters in wordline driver pitch.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적인 과제는 네가티브로 바이어스된 워드라인 구조에서 네가티브 전압의 변동을 감소시키고, 상기 네가티브 전압의 변동에 의하여 발생되는 노이즈를 감소시킬 수 있는 서브워드라인 구동신호 발생회로를 제공하는 것이다.Accordingly, a technical problem of the present invention is to provide a subword line driving signal generation circuit capable of reducing a variation in negative voltage in a negatively biased word line structure and reducing noise generated by the variation in the negative voltage. It is.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 대응되는 서브 워드라인 구동회로로 서브워드라인 구동신호를 제공하기 위한 서브워드라인 구동신호 발생회로는 디코딩 신호를 수신하기 위한 입력단; 상기 서브워드라인 구동신호를 출력하기 위한 출력단; 및 상기 출력단에 접속되고, 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 출력단을 제1전압으로 풀-다운하거나, 또는 제어신호 및 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 출력단을 제2전압으로 풀-다운하기 위한 풀-다운회로를 구비하며, 상기 출력단이 상기 제1전압으로 풀-다운된 때, 상기 제어신호는 활성화된다.A subword line driving signal generation circuit for providing a subword line driving signal to a corresponding sub word line driving circuit for achieving the technical problem comprises: an input terminal for receiving a decoded signal; An output terminal for outputting the subword line driving signal; And a pull-down connected to the output terminal for pulling down the output terminal to a first voltage in response to the decoding signal or for pulling down the output terminal to a second voltage in response to a control signal and the decoding signal. And a control circuit is activated when the output terminal is pulled down to the first voltage.

상기 제1전압은 상기 제2전압보다 높고, 상기 제1전압은 접지전압이고, 상기 제2전압은 네가티브 전압이다.The first voltage is higher than the second voltage, the first voltage is a ground voltage, and the second voltage is a negative voltage.

상기 풀-다운회로는 노드; 상기 출력단과 상기 노드에 접속되고, 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 출력단과 상기 노드를 접속하기 위한 제1풀-다운회로; 상기 노드와 상기 제1전압사이에 접속되고, 상기 출력단의 신호에 응답하여 상기 노드를 상기 제1전압으로 풀-다운하기 위한 제2풀-다운회로; 및 상기 출력단과 상기 제2전압사이에 접속되고, 상기 제어신호 및 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 출력단을 상기 제2전압으로 풀-다운하기 위한 제3풀-다운회로를 구비한다.The pull-down circuit includes a node; A first pull-down circuit connected to the output terminal and the node, for connecting the output terminal and the node in response to the decoding signal; A second pull-down circuit connected between the node and the first voltage and configured to pull down the node to the first voltage in response to a signal at the output terminal; And a third pull-down circuit connected between the output terminal and the second voltage, for pulling down the output terminal to the second voltage in response to the control signal and the decoding signal.

또한, 본 발명에 따른 대응되는 서브 워드라인 구동회로로 서브워드라인 구동신호를 제공하기 위한 서브워드라인 구동신호 발생회로는 디코딩 신호를 수신하기 위한 입력단; 상기 서브워드라인 구동신호를 출력하기 위한 출력단; 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 출력단과 제1전압사이에 형성되는 제1전류 패스; 및 제어신호 및 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 출력단과 제2전압사이에 형성되는 제2전류패스를 구비하며, 상기 출력단이 상기 제1전류패스에 의하여 상기 제1전압으로 풀-다운된 때, 상기 제2전류패스는 활성화된 상기 제어신호에 응답하여 형성된다.In addition, a subword line driving signal generation circuit for providing a subword line driving signal to a corresponding sub word line driving circuit according to the present invention includes an input terminal for receiving a decoded signal; An output terminal for outputting the subword line driving signal; A first current path formed between the output terminal and a first voltage in response to the decoded signal; And a second current path formed between the output terminal and a second voltage in response to a control signal and the decoding signal, wherein the output terminal is pulled down to the first voltage by the first current path. The second current path is formed in response to the activated control signal.

그리고 본 발명에 따른 대응되는 서브 워드라인 구동회로로 서브워드라인 구동신호를 제공하기 위한 서브워드라인 구동신호 발생회로는 디코딩 신호를 수신하기 위한 입력단; 상기 서브워드라인 구동신호를 출력하기 위한 출력단; 상기 디코딩 신호를 수신하기 위한 제1인버터; 상기 디코딩 신호를 수신하기 위한 제2인버터; 상기 제1인버터의 출력신호에 응답하여 상기 출력단을 승압전압으로 풀-업하기 위한 풀-업회로; 상기 제1인버터의 출력신호 및 상기 출력단의 신호에 응답하여 상기 출력단을 제1전압으로 풀-다운하기 위한 제1풀-다운회로; 및 제어신호, 및 상기 제2인버터의 출력신호에 응답하여 상기 출력단을 제2전압으로 풀-다운하기 위한 제2풀-다운회로를 구비한다.And a subword line driving signal generating circuit for providing a sub word line driving signal to a corresponding sub word line driving circuit according to the present invention. An output terminal for outputting the subword line driving signal; A first inverter for receiving the decoded signal; A second inverter for receiving the decoded signal; A pull-up circuit for pulling up the output terminal to a boosted voltage in response to an output signal of the first inverter; A first pull-down circuit for pulling down the output terminal to a first voltage in response to an output signal of the first inverter and a signal of the output terminal; And a second pull-down circuit for pulling down the output terminal to a second voltage in response to a control signal and an output signal of the second inverter.

본 발명에 따른 대응되는 서브 워드라인 구동회로로 서브워드라인 구동신호를 제공하는 방법은 디코딩 신호를 수신하는 단계; 및 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 서브워드라인 구동신호를 제1전압으로 풀-다운하거나, 또는 제어신호 및 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 서브워드라인 구동신호를 제2전압으로 풀-다운하는 단계를 구비하며, 상기 서브워드라인 구동신호가 상기 제1전압으로 풀-다운된 때, 상기 서브워드라인 구동신호는 활성화된 상기 제어신호에 응답하여 상기 제2전압으로 풀-다운된다. 상기 제1전압은 접지전압이고, 상기 제2전압은 네가티브 전압이다.A method of providing a subwordline drive signal to a corresponding subwordline driver circuit in accordance with the present invention comprises the steps of: receiving a decoded signal; And pulling down the subword line driving signal to a first voltage in response to the decoding signal, or pulling down the subword line driving signal to a second voltage in response to a control signal and the decoding signal. And when the subwordline driving signal is pulled down to the first voltage, the subwordline driving signal is pulled down to the second voltage in response to the activated control signal. The first voltage is a ground voltage, and the second voltage is a negative voltage.

본 발명에 따른 입력단과 출력단을 구비하는 서브 워드라인 구동신호 발생회로가 상기 출력단을 통하여 대응되는 서브 워드라인 구동회로로 서브워드라인 구동신호를 제공하는 방법은 상기 입력단을 통하여 디코딩 신호를 수신하는 단계; 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 출력단과 제1전압사이에 제1전류 패스를 형성하는 단계; 및 제어신호 및 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 출력단과 제2전압사이에 제2전류패스를 형성하는 단계를 구비하며, 상기 출력단이 상기 제1전류패스를 통하여 상기 제1전압으로 풀-다운된 때, 상기 제2전류패스는 활성화된 상기 제어신호에 응답하여 상기 출력단을 상기 제2전압으로 풀-다운한다. 상기 제1전압은 상기 제2전압보다 높은 것이 바람직하다.A method of providing a subword line driving signal to a corresponding sub word line driving circuit by a sub word line driving signal generation circuit having an input terminal and an output terminal according to the present invention may include receiving a decoding signal through the input terminal. ; Forming a first current path between the output terminal and a first voltage in response to the decoded signal; And forming a second current path between the output terminal and the second voltage in response to a control signal and the decoding signal, wherein the output terminal is pulled down to the first voltage through the first current path. The second current path pulls down the output terminal to the second voltage in response to the activated control signal. Preferably, the first voltage is higher than the second voltage.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

도 2는 종래의 서브-워드라인 드라이버 구조를 이용한 DRAM장치의 코어구조를 나타낸다. 도 2에 도시된 코어 구조는 메모리 셀 어레이들(ARRAY; 32), 감지증폭기 블락들(SAs), 서브 워드라인 블락들(SWDs), 로우 디코더(38) 및 컨졍션 영역(CONJUNCTION)을 구비한다. 컨졍션 영역(CONJUNCTION)은 워드라인에 승압전압을 공급하기 위한 전압발생회로들(30, 40; 이하 'PXID 발생회로'라 한다.)을 구비한다.2 illustrates a core structure of a DRAM device using a conventional sub-wordline driver structure. The core structure shown in FIG. 2 includes memory cell arrays ARRAY 32, sense amplifier blocks SAs, sub wordline blocks SWDs, a row decoder 38, and a connection region CONJUNCTION. . The connection area CONJUNCTION includes voltage generation circuits 30 and 40 (hereinafter, referred to as PXID generation circuits) for supplying a boosted voltage to the word line.

각각의 메모리 셀 어레이(ARRAY)내에는 개별 메모리 셀들(MC)과 서브-워드라인 드라이버(36)가 있다. 각각의 메모리 셀(MC)은 워드라인(WL)과 비트라인 (BL/BLB)의 교점에 위치하는 셀 트랜지스터와 셀 커패시터를 갖는다. Within each memory cell array ARRAY are individual memory cells MC and a sub-wordline driver 36. Each memory cell MC has a cell transistor and a cell capacitor positioned at an intersection of a word line WL and a bit line BL / BLB.

로우 디코더(38)는 상부 로우 어드레스들(2~8)을 수신하고, 디코딩하여 워드라인 인에이블 신호들(WEI<i>, i는 0 내지 n)중에서 하나의 워드라인 인에이블신호를 활성화시킨다. 활성화된 각 워드라인 인에이블 신호(WEI)는 승압전압(VPP)레벨을 갖는다.The row decoder 38 receives and decodes the upper row addresses 2 to 8 to activate one word line enable signal among the word line enable signals WEI <i> where i is 0 to n. . Each activated word line enable signal WEI has a boosted voltage level VPP.

디코딩신호 발생회로(42)는 하위 로우 어드레스들(0~1)을 수신하고, 디코딩하여 4개의 디코딩 신호들(PXI(j>, j는 0 내지 3)을 발생시킨다.The decoding signal generation circuit 42 receives the lower row addresses 0 to 1 and decodes it to generate four decoding signals PXI (j>, where j is 0 to 3).

도 4는 종래의 NMOS 형 서브-워드라인 드라이버를 나타내고, 도 5는 종래의 CMOS 형 서브-워드라인 드라이버를 나타낸다. 여기서 PXIB는 디코딩 신호(PXI)와 서로 반대되는 위상을 갖는 신호이고, 활성화된 디코딩 신호(PXI)는 승압전압(VPP)레벨을 갖는다. WEIB는 워드라인 인에이블 신호(WEI)와 서로 반대되는 위상을 갖는 신호이다.4 shows a conventional NMOS type sub-wordline driver, and FIG. 5 shows a conventional CMOS type sub-wordline driver. Here, PXIB is a signal having a phase opposite to that of the decoding signal PXI, and the activated decoding signal PXI has a boosted voltage VPP level. The WEIB is a signal having a phase opposite to that of the word line enable signal WEI.

따라서 도 4 및 도 5의 서브-워드라인 드라이버는 디코딩 신호(PXI) 및 워드라인 인에이블 신호(WEI)에 응답하여 서브워드라인(WL)을 승압전압(VPP)레벨로 구동한다. Accordingly, the sub-wordline driver of FIGS. 4 and 5 drives the subwordline WL to the boosted voltage VPP level in response to the decoding signal PXI and the wordline enable signal WEI.

도 3은 종래의 서브-워드라인 구동신호 발생회로를 나타낸다. 도 3을 참조하면, 서브-워드라인 구동신호 발생회로(이하 'PXID 발생회로'라 한다.)는 다수개의 인버터들(310, 320, 330), 두 개의 트랜지스터들(350, 380) 및 지연회로(360, 370)를 구비한다. 3 shows a conventional sub-word line driving signal generation circuit. Referring to FIG. 3, a sub-word line driving signal generating circuit (hereinafter referred to as a 'PXID generating circuit') includes a plurality of inverters 310, 320, and 330, two transistors 350 and 380, and a delay circuit. And 360 and 370.

전원전압(VCC)은 메모리 셀 어레이의 공급전압으로 하이(high)레벨을 갖는다. 트랜지스터(340)는 작은 채널 폭을 갖는다. 디코딩 신호(PXI)가 로우(low)에서 하이(high)로 천이하는 경우, 인버터(320)의 출력신호(PXID)는 승압전압(VPP)레벨을 갖는다. 이 경우 도 4 및 도 5의 서브워드라인(WL)도 활성화된 워드라인 인에이블 신호(WEI)에 응답하여 승압전압(VPP)레벨을 갖는다. The power supply voltage VCC has a high level as a supply voltage of the memory cell array. Transistor 340 has a small channel width. When the decoding signal PXI transitions from low to high, the output signal PXID of the inverter 320 has a boosted voltage VPP level. In this case, the subword line WL of FIGS. 4 and 5 also has a boosted voltage VPP level in response to the activated word line enable signal WEI.

디코딩 신호(PXI)가 하이에서 로우로 천이하는 경우, 인버터(320)의 출력단은 큰 기생 커패시턴스를 가지므로, 인버터(320)의 출력신호(PXID)는 하이레벨로부터 천천히 로우레벨로 감소한다. 인버터(320)의 출력신호(PXID)가 트랜지스터(350)의 문턱전압(threshold voltage)보다 큰 경우, 인버터(320)의 출력단의 대부분의 전류는 트랜지스터(350)를 통하여 접지전원(VSS)으로 방전된다. 이때 트랜지스터 (380)에 의하여 인버터(320)의 출력단은 적은 전류를 네가티브 전압(VBB)쪽으로 방전한다.When the decoding signal PXI transitions from high to low, since the output terminal of the inverter 320 has a large parasitic capacitance, the output signal PXID of the inverter 320 gradually decreases from the high level to the low level. When the output signal PXID of the inverter 320 is greater than the threshold voltage of the transistor 350, most of the current at the output terminal of the inverter 320 is discharged to the ground power supply VSS through the transistor 350. do. At this time, the output terminal of the inverter 320 by the transistor 380 discharges a small current toward the negative voltage (VBB).

트랜지스터(350)의 게이트에 접속된 지연회로(360)에 의하여, 인버터(320)의 출력전압(PXID)이 거의 0이 될 때까지 인버터(320)의 출력단의 전류는 트랜지스터 (350)를 통하여 접지전원(VSS)으로 방전된다. 트랜지스터(350)가 턴-오프된 후, 인버터(320)의 출력신호, 또는 도 4 및 도 5의 서브워드라인(WL)의 전압은 트랜지스터(380)를 통하여 네가티브 전원(VBB)레벨로 된다. By the delay circuit 360 connected to the gate of the transistor 350, the current at the output terminal of the inverter 320 is grounded through the transistor 350 until the output voltage PXID of the inverter 320 becomes almost zero. Discharged to the power supply VSS. After the transistor 350 is turned off, the output signal of the inverter 320 or the voltage of the subword line WL of FIGS. 4 and 5 becomes the negative power supply VBB level through the transistor 380.

즉, 전원전압(VCC)이 낮을 경우, 트랜지스터(380)의 게이트와 소오스사이의 전압은 적으므로, 트랜지스터(380)에 흐르는 전류는 네가티브 전압(VBB)의 변동에 많은 영향을 주지 못한다. That is, when the power supply voltage VCC is low, since the voltage between the gate and the source of the transistor 380 is small, the current flowing through the transistor 380 does not have much influence on the variation of the negative voltage VBB.

그러나, 전원전압(VCC)이 높은 경우(예컨대, 테스트 모드), 트랜지스터(380)의 게이트와 소오스사이의 전압이 증가하면, 트랜지스터(380)를 흐르는 전류는 증가하므로, 네가티브 전압(VBB)의 변동은 증가한다. 따라서 네가티브 전압(VBB)의 변동에 의한 노이즈도 증가한다. However, when the power supply voltage VCC is high (e.g., the test mode), when the voltage between the gate and the source of the transistor 380 increases, the current flowing through the transistor 380 increases, so that the variation of the negative voltage VBB Increases. Therefore, the noise caused by the variation of the negative voltage VBB also increases.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 서브-워드라인 구동신호 발생회로를 나타낸다. 6 illustrates a sub-word line driving signal generation circuit according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 대응되는 서브 워드라인 구동회로로 서브워드라인 구동신호(PXID)를 제공하기 위한 서브-워드라인 구동신호 발생회로(30)는 입력단으로 입력되는 디코딩 신호(PXI)를 수신하기 위한 입력단, 서브워드라인 구동신호(PXID)를 출력하기 위한 출력단, 및 상기 출력단에 접속되고, 인버터(610)의 출력신호, 즉 디코딩신호(PXI)에 응답하여 상기 출력단을 제1전압(VSS)으로 풀-다운하거나, 또는 제어신호(PXID_CON)와 인버터(630)의 출력신호, 즉 디코딩신호(PXI)에 응답하여 상기 출력단을 제2전압(VBB)으로 풀-다운하기 위한 풀-다운회로(660 내지 670으로 구성됨)를 구비하며, 상기 출력단이 제1전압(VSS)으로 풀-다운된 때, 제어신호 (PXID_CON)는 활성화된다. 제1전압(VSS)은 접지전압이고, 제2전압(VBB)은 네가티브 전압이다. 따라서 제1전압(VSS)은 제2전압(VBB)보다 높다. Referring to FIG. 6, the sub-word line driving signal generation circuit 30 for providing the subword line driving signal PXID to the corresponding sub word line driving circuit receives the decoding signal PXI input to the input terminal. An output terminal for outputting a subword line driving signal PXID, an output terminal for outputting a subword line driving signal PXID, and an output terminal of the inverter 610 in response to an output signal of the inverter 610, that is, a decoding signal PXI. A pull-down circuit for pulling down the output terminal to the second voltage VBB in response to the control signal PXID_CON and the output signal of the inverter 630, that is, the decoding signal PXI. 660 to 670), and when the output terminal is pulled down to the first voltage VSS, the control signal PXID_CON is activated. The first voltage VSS is a ground voltage and the second voltage VBB is a negative voltage. Therefore, the first voltage VSS is higher than the second voltage VBB.

서브-워드라인 구동신호 발생회로(30)는 다수개의 인버터들(610, 620, 630), 다수개의 트랜지스터들(650, 660, 670)을 구비한다. 서브-워드라인 구동신호 발생회로는 지연회로(640)를 더 구비한다.The sub-word line driving signal generation circuit 30 includes a plurality of inverters 610, 620, and 630 and a plurality of transistors 650, 660, and 670. The sub-word line driving signal generation circuit further includes a delay circuit 640.

인버터(610)는 PMOS 트랜지스터(601)와 NMOS트랜지스터(603)를 구비한다. 디코딩신호(PXI)는 PMOS 트랜지스터(601)와 NMOS트랜지스터(603)의 게이트로 입력되고, PMOS 트랜지스터(601)는 승압전압(VPP)과 인버터(610)의 출력단사이에 접속되고, NMOS트랜지스터(603)는 인버터(610)의 출력단과 접지전압(VSS)사이에 접속된다. 인버터(610)는 디코딩신호(PXI)의 상태(예컨대 하이 또는 로우)에 따라 승압전압(VPP)과 접지잔압(VSS)사이를 스윙하는 출력신호를 인버터(620)로 출력한다. The inverter 610 includes a PMOS transistor 601 and an NMOS transistor 603. The decoding signal PXI is input to the gates of the PMOS transistor 601 and the NMOS transistor 603, and the PMOS transistor 601 is connected between the boost voltage VPP and the output terminal of the inverter 610, and the NMOS transistor 603. ) Is connected between the output terminal of the inverter 610 and the ground voltage (VSS). The inverter 610 outputs an output signal swinging between the boosted voltage VPP and the ground residual voltage VSS to the inverter 620 according to the state (eg, high or low) of the decoding signal PXI.

인버터(620)는 PMOS 트랜지스터(605)와 NMOS트랜지스터(607)를 구비한다. 인버터(610)의 출력신호는 PMOS 트랜지스터(605)와 NMOS트랜지스터(607)의 게이트로 입력되고, PMOS 트랜지스터(605)는 승압전압(VPP)과 인버터(620)의 출력단사이에 접속되고, NMOS트랜지스터(607)는 인버터(620)의 출력단과 노드(655)사이에 접속된다. NMOS트랜지스터(607)는 승압전압(VPP)레벨을 갖는 인버터(610)의 출력신호에 응답하여 인버터(620)의 출력단과 노드(655)를 접속시킨다.The inverter 620 includes a PMOS transistor 605 and an NMOS transistor 607. The output signal of the inverter 610 is input to the gates of the PMOS transistor 605 and the NMOS transistor 607, the PMOS transistor 605 is connected between the boosted voltage VPP and the output terminal of the inverter 620, and the NMOS transistor 607 is connected between the output terminal of the inverter 620 and the node 655. The NMOS transistor 607 connects the output terminal of the inverter 620 and the node 655 in response to the output signal of the inverter 610 having a boosted voltage (VPP) level.

인버터(620)는 인버터(610)의 출력신호의 상태에 따라 승압전압(VPP)과 접지전압(VSS)사이를 스윙하는 출력신호(PXID)를 출력한다. 즉, PMOS 트랜지스터(605)는 인버터(620)의 출력신호(PXID)를 승압전압(VPP)으로 풀-업시킨다. 인버터(620)의 출력신호(PXID)는 도 4 또는 도5에 도시된 서브-워드라인 드라이버를 구동하기 위한 구동신호이다. The inverter 620 outputs an output signal PXID swinging between the boosted voltage VPP and the ground voltage VSS according to the state of the output signal of the inverter 610. That is, the PMOS transistor 605 pulls up the output signal PXID of the inverter 620 to the boosted voltage VPP. The output signal PXID of the inverter 620 is a driving signal for driving the sub-word line driver shown in FIG. 4 or 5.

인버터(630)는 디코딩신호(PXI)를 수신하고, 디코딩신호(PXI)의 상태에 따라 전원전압(VCC)과 네가티브 전압(VBB)사이를 스윙하는 출력신호(PXIB)를 도 4 또는 도 5에 도시된 서브-워드라인 드라이버로 출력한다. 인버터(630)의 출력신호(PXIB)는 서브-워드라인 드라이버를 구동하기 위한 구동신호이다. The inverter 630 receives the decoding signal PXI and outputs the output signal PXIB swinging between the power supply voltage VCC and the negative voltage VBB according to the state of the decoding signal PXI in FIG. 4 or 5. Output to the sub-wordline driver shown. The output signal PXIB of the inverter 630 is a driving signal for driving the sub-word line driver.

지연회로(640)는 인버터(620)의 출력단과 트랜지스터(650)의 게이트사이에 접속된다. 트랜지스터(650)는 노드(655)와 접지전압(VSS)사이에 접속된다. 트랜지스터(650)는 인버터(620)의 출력신호(PXID)에 응답하여 노드(655)를 접지전압(VSS)으로 풀-다운시킨다.The delay circuit 640 is connected between the output terminal of the inverter 620 and the gate of the transistor 650. Transistor 650 is connected between node 655 and ground voltage VSS. The transistor 650 pulls down the node 655 to the ground voltage VSS in response to the output signal PXID of the inverter 620.

각 트랜지스터(607, 650)는 인버터(610)의 출력신호와 인버터(620)의 출력신호, 즉 디코딩신호(PXI)에 응답하여 인버터(620)의 출력단과 접지전압(VSS)사이에 제1전류패스를 형성한다.Each of the transistors 607 and 650 has a first current between the output terminal of the inverter 620 and the ground voltage VSS in response to the output signal of the inverter 610 and the output signal of the inverter 620, that is, the decoding signal PXI. Form a pass.

트랜지스터(660)는 인버터(620)의 출력단과 노드(665)사이에 접속되고, 제어신호(PXID_CON)는 트랜지스터(660)의 게이트로 입력된다. 트랜지스터(670)는 노드(665)와 네가티브 전압(VBB)사이에 접속되고, 트랜지스터(670)의 게이트는 인버터(630)의 출력단에 접속된다. NMOS 트랜지스터들(660, 670)은 제어신호 (PXID_CON) 및 디코딩신호(PXI)에 응답하여 인버터(620)의 출력단을 네가티브 전압(VBB)으로 풀-다운시킨다. The transistor 660 is connected between the output terminal of the inverter 620 and the node 665, and the control signal PXID_CON is input to the gate of the transistor 660. Transistor 670 is connected between node 665 and negative voltage VBB, and the gate of transistor 670 is connected to the output terminal of inverter 630. The NMOS transistors 660 and 670 pull down the output terminal of the inverter 620 to the negative voltage VBB in response to the control signal PXID_CON and the decoding signal PXI.

즉, NMOS 트랜지스터들(660, 670)은 제어신호(PXID_CON) 및 디코딩신호(PXI)에 응답하여 인버터(620)의 출력단과 네가티브 전압(VBB)사이에 제2전류패스를 형성한다. 상기 제2전류패스는 상기 제1전류패스에 의하여 인버터(620)의 출력신호 (PXID)가 접지전압(VSS)레벨로 풀-다운된 때 활성화된 제어신호(PXID_CON)에 응답하여 형성된다. That is, the NMOS transistors 660 and 670 form a second current path between the output terminal of the inverter 620 and the negative voltage VBB in response to the control signal PXID_CON and the decoding signal PXI. The second current path is formed in response to the control signal PXID_CON activated when the output signal PXID of the inverter 620 is pulled down to the ground voltage VSS level by the first current path.

본 발명에 따른 서버-워드라인 구동신호 발생회로의 인버터(620)의 출력단은 NMOS트랜지스터(650)의 게이트와 직접 접속될 수 있다. 이 경우 인버터(620)의 출력단과 NMOS트랜지스터(650)의 게이트를 전기적으로 접속하는 메탈라인은 지연회로 (640)의 기능, 즉 인버터(620)의 출력신호(PXID)를 소정 시간 지연시키는 기능을 수행한다. The output terminal of the inverter 620 of the server-word line driving signal generation circuit according to the present invention may be directly connected to the gate of the NMOS transistor 650. In this case, the metal line electrically connecting the output terminal of the inverter 620 and the gate of the NMOS transistor 650 has a function of the delay circuit 640, that is, a function of delaying the output signal PXID of the inverter 620 for a predetermined time. Perform.

도 7은 도 6에 도시된 서브-워드라인 구동신호 발생회로의 타이밍도를 나타낸다. 도 4, 도 6 및 도 7을 참조하여 PXID 발생회로의 동작이 상세히 설명된다. FIG. 7 is a timing diagram of the sub-word line driving signal generation circuit shown in FIG. 6. The operation of the PXID generation circuit will be described in detail with reference to FIGS. 4, 6 and 7.

디코딩신호(PXI)가 로우(VBB)에서 하이(VPP)로 천이하는 경우, 인버터들 (610, 620)에 의하여 서브워드라인 구동신호(PXID)는 로우에서 하이로 천이한다. 따라서 도 4 또는 도 5의 서브-워드라인 드라이버의 서브워드라인(WL)은 활성화된 워드라인 인에이블신호(WEI) 및 비활성화된 PXIB에 응답하여 승압전압(VPP)레벨로 풀-업된다. When the decoding signal PXI transitions from the low VBB to the high VPP, the subword line driving signal PXID transitions from the low to the high by the inverters 610 and 620. Accordingly, the subwordline WL of the sub-wordline driver of FIG. 4 or 5 is pulled up to the boosted voltage VPP level in response to the activated wordline enable signal WEI and the deactivated PXIB.

디코딩 신호(PXI)가 하이(VPP)에서 로우(VBB)로 천이하는 경우, 제어신호 (PXID_CON)는 로우이므로, 트랜지스터(660)는 오프된다. 따라서 트랜지스터(670)로 흐르는 전류는 없다. 인버터(620)의 출력단의 전류는 트랜지스터(650)만을 통하여 접지전원(VSS)으로 흐른다. 인버터(620)의 출력단의 기생 커패시턴스는 상당히 크므로, 인버터(620)의 출력단, 즉 서브워드 라인 구동신호의 전압은 천천히 감소한다. When the decoding signal PXI transitions from the high VPP to the low VBB, the control signal PXID_CON is low, so the transistor 660 is turned off. Therefore, no current flows to the transistor 670. The current at the output terminal of the inverter 620 flows to the ground power supply VSS only through the transistor 650. Since the parasitic capacitance of the output terminal of the inverter 620 is considerably large, the voltage of the output terminal of the inverter 620, that is, the subword line driving signal, decreases slowly.

제어신호(PXID_CON)는 디코딩 신호(PXI)가 활성화되기 전에 비활성화되고, 디코딩 신호(PXI)가 비활성화된 후 활성화되는 것이 바람직하다. The control signal PXID_CON is inactivated before the decoding signal PXI is activated, and is preferably activated after the decoding signal PXI is inactivated.

지연회로(640)에 의하여 또는 메탈라인에 의하여, 트랜지스터(650)는 인버터 (620)의 출력신호(PXID)의 전압레벨이 거의 접지전압(VSS)으로 될 때까지 턴-온 상태를 유지할 수 있으므로, 인버터(620)의 출력단의 전류 또는 서브워드라인(WL)의 전류는 트랜지스터(650)를 통하여 접지전압(VSS)으로 방전된다.By the delay circuit 640 or by the metal line, the transistor 650 can remain turned on until the voltage level of the output signal PXID of the inverter 620 becomes almost the ground voltage VSS. The current of the output terminal of the inverter 620 or the current of the subword line WL is discharged to the ground voltage VSS through the transistor 650.

트랜지스터(650)가 거의 접지전압(VSS)레벨을 갖는 서브워드라인 구동신호(PXID)에 응답하여 턴-온프(turn-off)될 때, 제어신호(PXID_CON)가 활성화되면, 트랜지스터(660)는 턴-온된다. 따라서 서브워드라인 구동신호(PXID)는 트랜지스터들(660, 670)을 통하여 네가티브 전압(VBB)레벨로 되므로, 도 4 및 도5의 서브워드라인(WL)은 네가티브 전압(VBB)으로 된다. When the transistor 650 is turned on in response to the subword line driving signal PXID having a nearly ground voltage VSS level, when the control signal PXID_CON is activated, the transistor 660 is turned on. Is turned on. Accordingly, since the subword line driving signal PXID is at the negative voltage VBB level through the transistors 660 and 670, the subword line WL of FIGS. 4 and 5 becomes the negative voltage VBB.

따라서 본 발명에 따른 PXID 발생회로의 트랜지스터(660)는 제어신호 (PXID_CON)에 의하여 트랜지스터(670)의 턴-온에 무관하게 오프된다. 따라서 전원전압(VCC)이 소정의 기준보다 높은 경우, 즉 트랜지스터(670)의 게이트와 소오스사이의 전압이 증가하더라도 트랜지스터(670)에 흐르는 전류는 증가하지 않고, 네가티브 전원(VBB)에 의한 노이즈도 발생되지 않는다.Accordingly, the transistor 660 of the PXID generating circuit according to the present invention is turned off regardless of the turn-on of the transistor 670 by the control signal PXID_CON. Therefore, when the power supply voltage VCC is higher than a predetermined reference, that is, even if the voltage between the gate and the source of the transistor 670 increases, the current flowing through the transistor 670 does not increase, and noise caused by the negative power supply VBB is also increased. It does not occur.

그리고, 트랜지스터(670)로 흐르는 전류는 항상 접지전압(VSS)에서 네가티브 전압(VBB)만큼의 전압차이에 해당하는 전류만 흐르므로, 트랜지스터(670)는 전원전압(VCC)에 무관하게 일정한 전류만 소모한다. 따라서 네가티브 전압(VBB)의 변동에 의한 노이즈는 상당히 감소된다.In addition, since the current flowing through the transistor 670 always flows only a voltage difference corresponding to the negative voltage VBB from the ground voltage VSS, the transistor 670 has only a constant current regardless of the power supply voltage VCC. Consume. Therefore, the noise due to the variation of the negative voltage VBB is considerably reduced.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 서브워드라인 구동신호 발생회로는 네가티브로 바이어스된 워드라인 구조에서 네가티브 전압의 변동을 감소시키고, 상기 네가티브 전압의 변동에 의하여 발생되는 노이즈를 감소시키는 효과가 있다. As described above, the subword line driving signal generation circuit according to the present invention has the effect of reducing the variation of the negative voltage in the negatively biased word line structure and reducing the noise generated by the variation of the negative voltage.

또한, 네가티브 전압이 안정화되면, 메모리 셀의 누설전류와 서브-쓰레쉬홀드 전류가 감소하므로, 메모리 셀의 리프레쉬 특성이 개선되는 효과가 있다. In addition, when the negative voltage is stabilized, since the leakage current and the sub-threshold current of the memory cell are reduced, the refresh characteristic of the memory cell is improved.

본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 상세한 설명이 제공된다.The detailed description of each drawing is provided in order to provide a thorough understanding of the drawings cited in the detailed description of the invention.

도 1은 종래의 DRAM 메모리장치의 메모리 셀을 나타낸다.1 shows a memory cell of a conventional DRAM memory device.

도 2는 종래의 서브-워드라인 드라이버 구조를 이용한 DRAM장치의 코어구조를 나타낸다. 2 illustrates a core structure of a DRAM device using a conventional sub-wordline driver structure.

도 3은 종래의 서브워드라인 구동신호 발생회로를 나타낸다.3 shows a conventional subword line driving signal generation circuit.

도 4는 종래의 NMOS 형 서브 워드라인 드라이버를 나타낸다.4 shows a conventional NMOS type sub wordline driver.

도 5는 종래의 CMOS 형 서브 워드라인 드라이버를 나타낸다.Fig. 5 shows a conventional CMOS sub wordline driver.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 서브워드라인 구동신호 발생회로를 나타낸다.6 illustrates a subword line driving signal generation circuit according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 7은 도 6에 도시된 서브워드라인 구동신호 발생회로의 타이밍도를 나타낸다.FIG. 7 is a timing diagram of the subword line driving signal generation circuit shown in FIG. 6.

Claims (11)

대응되는 서브 워드라인 구동회로로 서브워드라인 구동신호를 제공하기 위한 서브워드라인 구동신호 발생회로에 있어서,A subword line driving signal generation circuit for providing a subword line driving signal to a corresponding sub word line driving circuit, 디코딩 신호를 수신하기 위한 입력단;An input for receiving a decoded signal; 상기 서브워드라인 구동신호를 출력하기 위한 출력단; 및 An output terminal for outputting the subword line driving signal; And 상기 출력단에 접속되고, 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 출력단을 제1전압으로 풀-다운하거나, 또는 제어신호 및 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 출력단을 제2전압으로 풀-다운하기 위한 풀-다운회로를 구비하며,A pull-down circuit connected to the output terminal for pulling down the output terminal to a first voltage in response to the decoding signal or for pulling down the output terminal to a second voltage in response to a control signal and the decoding signal; Equipped with 상기 풀-다운회로는The pull-down circuit 노드;Node; 상기 출력단과 상기 제1 전압 사이에 접속되고, 상기 출력단 신호에 응답하여 상기 출력단을 상기 제1 전압으로 풀-다운하는 제1 풀-다운회로;A first pull-down circuit connected between the output terminal and the first voltage and pulling down the output terminal to the first voltage in response to the output terminal signal; 상기 출력단과 상기 노드 사이에 접속되고, 상기 제어 신호에 응답하여 상기 출력단을 상기 노드와 연결시키는 제2 풀-다운회로; 및 A second pull-down circuit connected between the output terminal and the node and coupling the output terminal to the node in response to the control signal; And 상기 노드과 상기 제2 전압사이에 접속되고, 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 노드를 상기 제2 전압으로 풀-다운하기 위한 제3풀-다운회로를 구비하고,A third pull-down circuit connected between said node and said second voltage, for pulling down said node to said second voltage in response to said decoding signal, 상기 출력단이 상기 제1전압으로 풀-다운된 때, 상기 제어신호는 활성화되는 것을 특징으로 하는 서브워드라인 구동신호 발생회로. And the control signal is activated when the output terminal is pulled down to the first voltage. 제1항에 있어서, 상기 제1전압은 상기 제2전압보다 높은 것을 특징으로 하는 서브워드라인 구동신호 발생회로. The sub word line driving signal generation circuit of claim 1, wherein the first voltage is higher than the second voltage. 제1항에 있어서, 상기 제1전압은 접지전압이고, 상기 제2전압은 네가티브 전압인 것을 특징으로 하는 서브워드라인 구동신호 발생회로.The sub word line driving signal generation circuit of claim 1, wherein the first voltage is a ground voltage, and the second voltage is a negative voltage. 삭제delete 대응되는 서브 워드라인 구동회로로 서브워드라인 구동신호를 제공하기 위한 서브워드라인 구동신호 발생회로에 있어서,A subword line driving signal generation circuit for providing a subword line driving signal to a corresponding sub word line driving circuit, 디코딩 신호를 수신하기 위한 입력단;An input for receiving a decoded signal; 상기 서브워드라인 구동신호를 출력하기 위한 출력단; An output terminal for outputting the subword line driving signal; 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 출력단과 제1전압사이에 형성되는 제1전류 패스; 및 A first current path formed between the output terminal and a first voltage in response to the decoded signal; And 제어신호 및 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 출력단과 제2전압사이에 형성되는 제2전류패스를 구비하며, A second current path formed between the output terminal and a second voltage in response to a control signal and the decoded signal, 상기 출력단이 상기 제1전류패스에 의하여 상기 제1전압으로 풀-다운된 때, 상기 제2전류패스는 활성화된 상기 제어신호에 응답하여 형성되는 것을 특징으로 하는 서브워드라인 구동신호 발생회로. And the second current path is formed in response to the activated control signal when the output terminal is pulled down to the first voltage by the first current path. 제5항에 있어서, 상기 제1전압은 접지전압이고, 상기 제2전압은 네가티브 전압인 것을 특징으로 하는 서브워드라인 구동신호 발생회로. 6. The subword line driving signal generation circuit of claim 5, wherein the first voltage is a ground voltage and the second voltage is a negative voltage. 대응되는 서브 워드라인 구동회로로 서브워드라인 구동신호를 제공하기 위한 서브워드라인 구동신호 발생회로에 있어서,A subword line driving signal generation circuit for providing a subword line driving signal to a corresponding sub word line driving circuit, 디코딩 신호를 수신하기 위한 입력단;An input for receiving a decoded signal; 상기 서브워드라인 구동신호를 출력하기 위한 출력단; An output terminal for outputting the subword line driving signal; 상기 디코딩 신호를 수신하기 위한 제1인버터;A first inverter for receiving the decoded signal; 상기 디코딩 신호를 수신하기 위한 제2인버터;A second inverter for receiving the decoded signal; 상기 제1인버터의 출력신호에 응답하여 상기 출력단을 승압전압으로 풀-업하기 위한 풀-업회로;A pull-up circuit for pulling up the output terminal to a boosted voltage in response to an output signal of the first inverter; 상기 제1인버터의 출력신호 및 상기 출력단의 신호에 응답하여 상기 출력단을 제1전압으로 풀-다운하기 위한 제1풀-다운회로; 및 A first pull-down circuit for pulling down the output terminal to a first voltage in response to an output signal of the first inverter and a signal of the output terminal; And 제어신호, 상기 제2인버터의 출력신호에 응답하여 상기 출력단을 제2전압으로 풀-다운하기 위한 제2풀-다운회로를 구비하는 것을 특징으로 하는 서브워드라인 구동신호 발생회로. And a second pull-down circuit for pulling down the output terminal to a second voltage in response to a control signal and an output signal of the second inverter. 대응되는 서브 워드라인 구동회로로 서브워드라인 구동신호를 제공하는 방법에 있어서, A method of providing a subword line driving signal to a corresponding sub word line driving circuit, 디코딩 신호를 수신하는 단계; 및 Receiving a decoded signal; And 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 서브워드라인 구동신호를 제1전압으로 풀-다운하거나, 또는 제어신호 및 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 서브워드라인 구동신호를 제2전압으로 풀-다운하는 단계를 구비하며,Pulling down the subword line driving signal to a first voltage in response to the decoding signal, or pulling down the subword line driving signal to a second voltage in response to a control signal and the decoding signal; , 상기 서브워드라인 구동신호가 상기 제1전압으로 풀-다운된 때, 상기 서브워드라인 구동신호는 활성화된 상기 제어신호에 응답하여 상기 제2전압으로 풀-다운되는 것을 특징으로 하는 서브워드라인 구동신호 제공 방법. And when the subword line driving signal is pulled down to the first voltage, the subword line driving signal is pulled down to the second voltage in response to the activated control signal. How to provide a signal. 제8항에 있어서, 상기 제1전압은 접지전압이고, 상기 제2전압은 네가티브 전압인 것을 특징으로 하는 서브워드라인 구동신호 제공방법. 10. The method of claim 8, wherein the first voltage is a ground voltage, and the second voltage is a negative voltage. 입력단과 출력단을 구비하는 서브 워드라인 구동신호 발생회로가 상기 출력단을 통하여 대응되는 서브 워드라인 구동회로로 서브워드라인 구동신호를 제공하는 방법에 있어서,A method of providing a subword line driving signal to a corresponding sub word line driving circuit through a sub word line driving signal generation circuit having an input terminal and an output terminal, the method comprising: 상기 입력단을 통하여 디코딩 신호를 수신하는 단계; Receiving a decoded signal through the input terminal; 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 출력단과 제1전압사이에 제1전류 패스를 형성하는 단계; 및 Forming a first current path between the output terminal and a first voltage in response to the decoded signal; And 제어신호 및 상기 디코딩신호에 응답하여 상기 출력단과 제2전압사이에 제2전류패스를 형성하는 단계를 구비하며, Forming a second current path between the output terminal and a second voltage in response to a control signal and the decoded signal, 상기 출력단이 상기 제1전류패스를 통하여 상기 제1전압으로 풀-다운된 때, 상기 제2전류패스는 활성화된 상기 제어신호에 응답하여 상기 출력단을 상기 제2전압으로 풀-다운하는 것을 특징으로 하는 서브워드라인 구동신호 제공방법. And when the output terminal is pulled down to the first voltage through the first current path, the second current path pulls down the output terminal to the second voltage in response to the activated control signal. Subword line driving signal providing method. 제10항에 있어서, 상기 제1전압은 상기 제2전압보다 높은 것을 특징으로 하는 서브워드라인 구동신호 제공방법. The method of claim 10, wherein the first voltage is higher than the second voltage.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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KR100940835B1 (en) * 2008-06-04 2010-02-04 주식회사 하이닉스반도체 Circuit for Driving Word-Line of Semiconductor Memory Apparatus
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1186543A (en) * 1997-09-03 1999-03-30 Nec Corp Semiconductor storage device
KR20000045870A (en) * 1998-12-30 2000-07-25 김영환 Circuit for supplying negative potential word line voltage of dram
KR20020078992A (en) * 2001-04-12 2002-10-19 주식회사 하이닉스반도체 Sub word line driving circuit of semiconductor memory device
KR20030063818A (en) * 2002-01-24 2003-07-31 삼성전자주식회사 Method for discharging a word line and semiconductor memory device using the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1186543A (en) * 1997-09-03 1999-03-30 Nec Corp Semiconductor storage device
KR20000045870A (en) * 1998-12-30 2000-07-25 김영환 Circuit for supplying negative potential word line voltage of dram
KR20020078992A (en) * 2001-04-12 2002-10-19 주식회사 하이닉스반도체 Sub word line driving circuit of semiconductor memory device
KR20030063818A (en) * 2002-01-24 2003-07-31 삼성전자주식회사 Method for discharging a word line and semiconductor memory device using the same

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