KR100250928B1 - Sub row decoder circuit - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A sub row decoder circuit is provided to prevent a standby current from being increased although metal lines are shorted as making the potential of a pull-up signal and a pull-down signal identical in a standby state by connecting the source of a pull-down transistor disabling a word line to a pull-up signal, not a ground voltage. CONSTITUTION: The circuit includes a bootstrap transistor(MN4), a pull-up transistor(MN5), a switching device(MN6) and a pull-down transistor(MN7). The bootstrap transistor is connected between a pull-up signal input node and a bootstrap node. A potential signal is applied to the gate of the bootstrap transistor. The pull-up transistor the gate of which is connected to the bootstrap node is connected between a word line boosting signal line and a word line. The switching device is connected between the pull-up signal input node and the first node. A signal which the pull-up signal is inverted is applied to the gate of the switching device. The pull-down transistor is a diode structure in which the source of the pull-down transistor is connected to one end of the switching device and the drain to the word line.

Description

서브 로오 디코더 회로Sub row decoder circuit

본 발명은 워드라인으로 워드라인 부스팅 신호를 전달하는 풀-업 트랜지스터와 상기 워드라인으로 접지전압을 전달하는 풀-다운 트랜지스터를 구비한 반도체 메모리 장치의 서브 로오 디코더 회로에 관한 것으로, 특히 풀-다운 트랜지스터의 소오스를 접지전압이 아닌 풀-업 신호에 연결하여 대기 상태에서 풀-업 신호와 풀-다운 신호가 서로 같은 전위가 되도록 함으로써, 메탈 라인들이 서로 쇼트(short)되더라도 대기 전류의 증가를 제거시킨 서브 로오 디코더 회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a sub-row decoder circuit of a semiconductor memory device having a pull-up transistor for transmitting a word line boosting signal to a word line and a pull-down transistor for transmitting a ground voltage to the word line. By connecting the source of the transistor to the pull-up signal rather than the ground voltage, the pull-up and pull-down signals are at the same potential in the standby state, eliminating the increase in standby current even if the metal lines are shorted to each other. It is related to a sub row decoder circuit.

반도체 메모리 소자에서 워드 라인을 제어하기 위해서 로오 디코더를 사용한다. 그러나 메모리 소자의 고집적화에 따라 워드라인 하나에 디코더 하나를 래이아웃(layout)하기에는 너무 공간이 부족하다. 따라서 현재는 대부분 로오 디코더 하나의 출력에 계층 워드라인 구동회로 몇개를 고유하고, 이를 서브 로오 디코더(pxi 발생기)에 의해 구분되게 하는 계층 워드라인 구동회로를 사용한다.A row decoder is used to control word lines in a semiconductor memory device. However, due to the high integration of memory devices, there is not enough space to lay out one decoder per word line. Therefore, at present, a plurality of hierarchical word line driving circuits are unique to an output of a single loo decoder, and a hierarchical word line driving circuit is used to distinguish them by a sub row decoder (pxi generator).

일반적으로, 계층적 워드 라인 구조는 워드 라인의 메탈 스트랩핑(Metal Strapping)에서 발생하는 엄격한 메탈 디자인 루울(Metal Design Rule)을 완화하기 위하여 사용된다. 메탈 스트랩핑은 폴리-실리콘(Poly-Silicon)으로 만들어지는 워드 라인의 저항을 감소시키기 위하여 메탈 라인을 워드 라인 피치(Pitch)로 셀 어레이의 상부에 배열하고 폴리-실리콘의 워드 라인에 연결하는 것으로, 워드 라인의 저항을 줄여 구동 시간을 빠르게 한다. (여기에서 피치란 규칙적으로 배열된 라인들에서 라인 폭(Line Width) + 스페이스(Space)를 합한 것을 지칭한다.) 이러한 메탈 스트랩핑 방법은, 메모리 소자의 집적도가 증가함에 따라 워드 라인 피치가 감소하므로 메탈 공정의 결함(Failure) 비율이 증가하여 수율(Yield)이 감소된다. 따라서, 64M급 디램(DRAM) 제품부터는 계층적 워드 라인 구조가 필수적으로 적용되고 있다.In general, a hierarchical word line structure is used to mitigate the strict metal design rules that occur in metal strapping of word lines. Metal strapping is a method of arranging metal lines on top of a cell array with a word line pitch and connecting them to a poly-silicon word line to reduce the resistance of word lines made of poly-silicon. This reduces the resistance of the word line, resulting in faster drive times. (Pitch here refers to the sum of Line Width + Space in regularly arranged lines.) This metal strapping method decreases the word line pitch as the density of memory elements increases. Therefore, the failure rate of the metal process increases, and yield is reduced. Therefore, the hierarchical word line structure has been applied to 64M DRAM products.

계층적 워드라인 구조에 사용되는 종래의 하위 워드라인 구동회로는 일반적으로 3개의 엔모스(NMOS)형 트랜지스터로 구성되어 있으며, 더블 부트스트래핑(Double Bootstrapping) 과정을 통하여 하위 워드라인을 승압된 전압 레벨인 고전위(Vpp)로 구동한다.The conventional lower word line driving circuit used in the hierarchical word line structure is generally composed of three NMOS transistors, and the voltage level of the lower word line is boosted through a double bootstrapping process. Drive at high potential (Vpp).

도1은 워드라인(WLi)을 구동하기 위한 종래의 서브 로오 디코더 회로의 상세회로도로서, 입력신호라인(N1)과 제2노드(N2) 사이에 접속되며 게이트로 전위 신호(Vx)가 인가되는 제1NMOS형 트랜지스터(MN1)와, 워드 라인 부스팅 신호(px+0) 라인과 워드 라인(SWL0) 사이에 접속되며 게이트가 상기 제2노드(N2)에 연결된 제2NMOS형 트랜지스터(MN2)와, 상기 워드 라인(SWL0)과 접지전압(Vss) 사이에 접속되며 게이트로 상기 입력 신호의 반전 신호가 인가되는 제3NMOS형 트랜지스터(MN3)로 구성되어 있다.1 is a detailed circuit diagram of a conventional sub row decoder circuit for driving a word line WLi, which is connected between an input signal line N1 and a second node N2 and has a potential signal Vx applied to a gate thereof. A second NMOS transistor MN2 connected between a first NMOS transistor MN1, a word line boosting signal px + 0 line, and a word line SWL0 and having a gate connected to the second node N2; The third NMOS transistor MN3 is connected between the word line SWL0 and the ground voltage Vss and applied with an inverted signal of the input signal to the gate.

상기 제2NMOS형 트랜지스터인 풀-업 트랜지스터(MN2)는 워드 라인(WL)을 Vpp 레벨로 풀-업 시키고, 상기 제3NMOS형 트랜지스터인 풀-다운 트랜지스터(MN3)는 'OV'(그라운드)로 풀-다운시키는 역할을 수행한다. 그리고, 상기 제1NMOS형 트랜지스터인 부트스트랩 트랜지스터(MN1)는 상기 제2노드(N2)를 프리차지하고 부트스트랩핑된 후에 전위가 그대로 유지되도록 하는 스위치 역할을 한다. 즉, 대개의 경우 Vx=Vcc가 되며 제2노드(N2)를 Vx=Vt(Vt는 문턱전압)으로 프리차지하고 난 후, 소정시간(Td)이 지연된 후에 상기 워드라인 부스팅 신호(px)가 '고전위(Vpp)'로 활성화됨에 따라 상기 제2노드(N2)는 Vpp+Vt 이상의 전압으로 부트스트랩핑되므로, 상기 워드라인 부스팅 신호(px)의 전압 'Vpp'가 풀-업 트랜지스터(MN1)를 통하여 워드 라인(WL0)에 그대로 전달된다.The pull-up transistor MN2, which is the second NMOS transistor, pulls up the word line WL to Vpp level, and the pull-down transistor MN3, which is the third NMOS transistor, is pulled to 'OV' (ground). -It performs the role of down. The bootstrap transistor MN1, which is the first NMOS transistor, serves as a switch to maintain the potential after precharging and bootstrapping the second node N2. That is, in most cases, Vx = Vcc and after precharging the second node N2 with Vx = Vt (Vt is a threshold voltage), the word line boosting signal px is delayed after a predetermined time Td is delayed. As the second node N2 is bootstrapped to a voltage of Vpp + Vt or more as it is activated to the high potential Vpp ', the voltage' Vpp 'of the wordline boosting signal px is pull-up transistor MN1. The data is transferred to the word line WL0 as it is.

디램(DRAM)에서 셀 트랜지스터의 게이트로서 일반적으로 다결정 실리콘을 사용하고 있다. 그런데, 다결정 실리콘의 저항이 크기 때문에 로오 디코더에서 멀리 있는 셀들까지의 신호전달이 느려지게 된다. 이러한 단점을 보완하기 위해 메탈 스트랩핑 방식을 사용하는데, 이는 고집적화 될수록 메탈(metal)과 메탈(metal) 사이의 스페이스(space)가 좁아져 공정진행에 어려움을 겪게 된다. 서브 로오 디코더 방식을 사용하면, 메탈 라인의 수가 절반 또는 그 이하로 줄어들어 공정이 용이하게 된다. 종래의 서브 로오 디코더 방식에는 씨모스(CMOS)를 사용하는 방법과 엔모스(NMOS)를 사용하는 방법이 있다. CMOS를 사용하면, 메탈 라인이 1/4로 줄어들어 메탈 공정이 용이할 뿐만 아니라 메탈 라인들이 서로 쇼트(short)가 되더라도 대기 상태에서는 메탈 라인들이 같은 전위로 잡혀있기 때문에 대기(stand by) 전류가 증가하지 않는 장점이 있지만, PMOS를 사용하기 때문에 별도의 N-웰(well)을 필요로 하고, 따라서 많은 면적을 차지하게 된다. NMOS를 사용하는 경우에는 별도의 웰(well)이 필요하지 않기 때문에 면적을 줄일 수 있다는 장점이 있지만, 대기 상태에서 메탈 라인들이 서로 다른 전위로 놓여 있어서 메탈 라인들이 서로 쇼트(short)가 될 경우 대기 전류가 증가하여 설령 리페어(repair)를 한다하더라도 상품의 가치가 없어지게 되는 문제점이 있었다.In DRAM, polycrystalline silicon is generally used as a gate of a cell transistor. However, due to the large resistance of polycrystalline silicon, signal propagation to cells far away from the row decoder is slowed down. In order to compensate for this drawback, a metal strapping method is used. As the integration becomes higher, the space between the metal and the metal becomes narrower, which makes it difficult to proceed with the process. Using the sub row decoder method reduces the number of metal lines to half or less, thereby facilitating the process. Conventional sub-loo decoders include a method of using CMOS and a method of using NMOS. With CMOS, the metal lines are reduced to one quarter, making the metal process easier, and even if the metal lines are short to each other, the standby current increases because the metal lines are held at the same potential in the standby state. There is an advantage not to do this, but the use of PMOS requires a separate N-well, thus occupying a large area. The use of NMOS has the advantage that the area can be reduced because no separate wells are required, but when the metal lines are shorted to each other because the metal lines are placed at different potentials in the standby state, There was a problem that the value of the product is lost even if the current is increased, even if the repair (repair).

따라서 본 발명에서는 워드라인을 디스에이블시키는 풀-다운 트랜지스터의 소오스를 접지전압이 아닌 풀-업 신호에 연결하여 대기상태에서 풀-업 신호와 풀-다운 신호가 서로 같은 전위가 되도록 함으로써, 메탈 라인들이 서로 쇼트되더라도 대기 전류의 증가를 제거시킨 서브 로오 디코더 회로를 제공하는데에 그 목적이 있다.Therefore, in the present invention, by connecting the source of the pull-down transistor for disabling the word line to the pull-up signal, not the ground voltage, so that the pull-up signal and the pull-down signal become the same potential in the standby state, the metal line It is an object of the present invention to provide a sub row decoder circuit that eliminates an increase in quiescent current even if they are shorted to each other.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예에 따른 서브 로오 디코더 회로는, 반도체 메모리 장치에 있어서, 풀-업신호 입력노드와 부트스트랩 노드 사이에 접속되고 게이트로 전위 신호가 인가되는 부트스트랩 트랜지스터와, 워드라인 부스팅 신호라인과 워드라인 사이에 접속되며 게이트가 상기부트 스트랩 노드에 연결된 풀-업 트랜지스터와, 상기 풀-업신호 입력노드와 제1노드 사이에 접속되며 게이트로 상기 풀-업 신호를 발전시킨 신호가 인가되는 스위칭 소자와, 자신의 소오스가 상기 스위칭 소자의 일단에 접속되고 자신의 드레인이 상기 워드라인에 접속된 다이오드 구조의 풀-다운 트랜지스터를 구비한다.In order to achieve the above object, a sub row decoder circuit according to an embodiment of the present invention includes a bootstrap transistor in a semiconductor memory device, which is connected between a pull-up signal input node and a bootstrap node and a potential signal is applied to a gate; A pull-up transistor connected between the word line boosting signal line and the word line and having a gate connected to the boot strap node, and connected between the pull-up signal input node and the first node to gate the pull-up signal. And a switching element to which a generated signal is applied, and a pull-down transistor of a diode structure whose source is connected to one end of the switching element and its drain is connected to the word line.

도1은 종래의 N-모스형 트랜지스터를 이용한 서브 로오 디코더 회로도.1 is a circuit diagram of a sub row decoder using a conventional N-MOS transistor.

도2는 본 발명의 일 실시예에 의한 서브 로오 디코더 회로도.2 is a circuit diagram of a sub row decoder according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

10 : 메탈 라인 MN6 : 스위칭 소자10: metal line MN6: switching element

MN1~MN4 : 부트스트랩 트랜지스터MN1 to MN4: Bootstrap Transistors

MN2~MN5 : 풀-업 트랜지스터MN2 ~ MN5: Pull-up Transistors

MN3~MN7 : 풀-다운 트랜지스터MN3-MN7: Pull-Down Transistors

상술한 목적 및 기타의 목적과 본 발명의 특징 및 이점은 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해 질 것이다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.The above and other objects and features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도2는 본 발명의 일실시예에 의한 서브 로오 디코더 회로도로써, 풀-업신호 입력노드(N3)와 부트스트랩 노드(N4) 사이에 접속되고 게이트로 전위 신호(Vx)가 인가되는 부트스트랩 트랜지스터(MN4)와, 워드라인 부스팅 신호(px+0) 라인과 워드라인(WL0) 사이에 접속되며 게이트가 상기 부트스트랩 노드(N4)에 연결된 풀-업 트랜지스터(MN5)와, 상기 풀-업신호 입력노드(N3)와 제5노드(N5) 사이에 접속되며 게이트로 상기 풀-업 신호를 반전시킨 신호가 인가되는 제6NMOS형 트랜지스터(MN6)와, 상기 제5노드(N5)와 상기 워드라인(WL0) 사이에 다이오드 구조로 접속된 풀-다운 트랜지스터(MN7)로 구성된다.FIG. 2 is a circuit diagram of a sub row decoder according to an embodiment of the present invention, in which a bootstrap transistor is connected between a pull-up signal input node N3 and a bootstrap node N4 and a potential signal Vx is applied to a gate. A pull-up transistor MN5 connected between the MN4, a word line boosting signal px + 0 line, and a word line WL0, a gate of which is connected to the bootstrap node N4, and the pull-up signal; A sixth NMOS transistor MN6 connected between an input node N3 and a fifth node N5 and to which a signal obtained by inverting the pull-up signal is applied to a gate; the fifth node N5 and the word line; And a pull-down transistor MN7 connected in a diode structure between (WL0).

워드라인이 선택되어 고전위(Vpp)가 전달되는 과정을 살펴보면, 우선 입력 어드레스 신호에 의하여 선택된 주 로오 디코더의 출력 노드(N3)는 전원전위(Vcc)가 되고, 부트스트랩 트랜지스터(MN4)의 게이트 전위가 전원전위(Vcc)인 경우는 부트스트랩 노드(N4)로는 Vcc - Vtn(부트스트랩 트랜지스터(MN4)의 문턱전위)라는 전위가 전달된다.Looking at the process of the word line is selected and the high potential (Vpp) is transferred, first, the output node (N3) of the main row decoder selected by the input address signal becomes the power supply potential (Vcc), the gate of the bootstrap transistor (MN4) When the potential is the power source potential Vcc, a potential of Vcc-Vtn (the threshold potential of the bootstrap transistor MN4) is transferred to the bootstrap node N4.

그 이후에 부 로오 디코더의 고전위 전달신호(PX+i) 중의 하나로 워드라인을 인에이블시킬 전위(Vpp)가 전달되게 되는 경우에서 고전위 전달 디코더(도시안됨)에 의해 px+0가 선택된다면, px+0의 전위가 접지전위(Vss)에서 워드라인 인에이블 전위(Vpp)로 전이함에 따라 풀-업 트랜지스터(MN5)의 고전위 전달노드(px+0)와 게이트 노드(N4) 사이에 존재하는 캐패시턴스(capacitance)로 인하여 Vcc - Vtn전위로 있던 노드(N4)의 전위는 고전위(Vpp) 이상의 전위로 올가가게 되고, 이에 따라, 고전위 전달노드(pxi)의 고전위(Vpp)를 워드라인(WL0)으로 전달하게 된다.Subsequently, if px + 0 is selected by the high potential transfer decoder (not shown) in the case where the potential Vpp to enable the word line is transmitted to one of the high potential transfer signals PX + i of the decoder. , between the high potential transfer node (px + 0) of the pull-up transistor (MN5) and the gate node (N4) as the potential of px + 0 transitions from the ground potential (Vss) to the word line enable potential (Vpp). Due to the capacitance present, the potential of the node N4, which was in the Vcc-Vtn potential, rises to a potential higher than the high potential (Vpp), thereby increasing the high potential (Vpp) of the high potential transfer node (pxi). Transfer to word line WL0.

반면에, 주 디코더가 선택되지 않은 경우는 부트스트랩 노드(N4)가 접지 전위(Vss)이기 때문에 부 로오 디코더의 풀-업 트랜지스터(MN5)에서 만들어지는 캐패시턴스가 적어서 부트스트랩 현상이 일어나지 않고, 주 디코더가 선택된 경우라도 고전위 노드(pxi)가 접지전위를 유지하는 경우는 풀-업 트랜지스터(MN5)가 턴-오프되어 워드라인이 인에이블되지 않는다. 이때, 입력신호노드(N3)는 주 로오 디코더가 선택되지 않은 경우이기 때문에 '로직로우'상태가 되어 풀-업 트랜지스터(MN5)를 턴-오프시키지만, 입력신호의 반전신호가 게이트로 인가되는 제6NMOS형 트랜지스터(MN6)는 턴-오프되어 풀-업 신호인 제3노드(N3)의 전위신호와 풀-다운 신호인 제5노드(N5)의 전위신호는 같아지게 된다. 반면, 풀-업 신호가 '로직하이'인 경우에는 제6NMOS형 트랜지스터(MN6)는 턴-오프되어 제5노드(N5)의 풀-다운 신호와 제3노드(N3)의 풀-다운 신호는 분리된다. 이때 워드라인을 충분히 낮은 전위로 유지시키기 위해 풀-업 신호로는 기판 전위(Vbb) 또는 문턱 전위(-Vtn)보다 낮은 전압을 가해준다. 또한 풀-다운 트랜지스터(MN7)로서 NMOS형 다이오드(diode)를 사용하여 하나의 워드라인이 선택되어 전위가 하이 전압이 될때 다른 3개의 워드라인에 연결된 풀-다운 트랜지스터들이 턴-오프되어 워드라인들이 서로 독립되어 다른 워드라인들은 '로직로우' 상태를 유지하게 된다.On the other hand, when the main decoder is not selected, since the bootstrap node N4 is the ground potential Vss, the capacitance produced by the pull-up transistor MN5 of the decoder is small so that the bootstrap phenomenon does not occur. Even when the decoder is selected, when the high potential node pxi maintains the ground potential, the pull-up transistor MN5 is turned off so that the word line is not enabled. At this time, since the input signal node N3 is a case in which the main decoder is not selected, the input signal node N3 is 'logic low' to turn off the pull-up transistor MN5, but the inversion signal of the input signal is applied to the gate. The 6NMOS transistor MN6 is turned off so that the potential signal of the third node N3 as the pull-up signal and the potential signal of the fifth node N5 as the pull-down signal are the same. On the other hand, when the pull-up signal is 'logic high', the sixth NMOS transistor MN6 is turned off so that the pull-down signal of the fifth node N5 and the pull-down signal of the third node N3 are turned off. Are separated. In this case, a voltage lower than the substrate potential Vbb or the threshold potential −Vtn is applied to the pull-up signal to maintain the word line at a sufficiently low potential. In addition, when one word line is selected using an NMOS diode as the pull-down transistor MN7, the pull-down transistors connected to the other three word lines are turned off when the potential becomes a high voltage. Independent of each other, the other word lines remain 'logic low'.

상기 본 발명에서 언급한 풀-업 신호는 워드라인을 드라이브하기 위한 풀-업 및 풀-다운 트랜지스터의 제어 신호로 로오 디코더 회로의 출력신호이다.The pull-up signal referred to in the present invention is a control signal of a pull-up and pull-down transistor for driving a word line and is an output signal of a row decoder circuit.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 서브 로오 디코더 회로에서는 풀-다운 트랜지스터의 소오스가 종래에는 접지전압에 연결되어 있던 것을 풀-업 신호로 연결하여 대기 상태에서 풀-업 신호와 풀-다운 신호가 서로 같은 전위가 되도록 함으로써, 메탈 라인들이 서로 쇼트되더라도 대기전류의 증가가 일어나지 않아 리페어(repair)를 한 후에도 정상적으로 동작하기 때문에 수율을 향상시킬 수 있다. 또한 본 발명의 서브 로오 디코더 회로는 NMOS로만 구동되어 있기 때문에 별도의 웰(well)을 필요로 하지 않아 면적의 증가가 거의 없다.As described above, in the sub-loor decoder circuit of the present invention, a pull-up signal and a pull-down signal are generated in a standby state by connecting a source of a pull-down transistor, which is conventionally connected to a ground voltage, to a pull-up signal. By having the same potential as each other, even when the metal lines are shorted to each other, an increase in the standby current does not occur, and thus the yield can be improved since the operation normally occurs after a repair. In addition, since the sub-lode decoder circuit of the present invention is driven only by the NMOS, an additional well is not required and there is almost no increase in area.

아울러 본 발명의 바람직한 실시예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 당업자라면 본 발명의 사상과 범위안에서 다양한 수정, 변경, 부가등이 가능할 것이며, 이러한 수정 변경 등은 이하의 특허 청구의 범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.In addition, preferred embodiments of the present invention are disclosed for the purpose of illustration, those skilled in the art will be able to various modifications, changes, additions, etc. within the spirit and scope of the present invention, such modifications and modifications belong to the following claims You will have to look.

Claims (4)

반도체 메모리 장치에 있어서, 풀-업신호 입력노드와 부트스트랩 노드 사이에 접속되고 게이트로 전위 신호가 인가되는 부트스트랩 트랜지스터와, 워드라인 부스팅 신호라인과 워드라인 사이에 접속되며 게이트가 상기 부트스트랩 노드에 연결된 풀-업 트랜지스터와, 상기 풀-업신호 입력노드와 제1노드 사이에 접속되며 게이트로 상기 풀-업 신호를 반전시킨 신호가 인가되는 스위칭 소자와, 자신의 소오스가 상기 스위칭 소자의 일단에 접속되고 자신의 드레인이 상기 워드라인에 접속된 다이오드 구조의 풀-다운 트랜지스터를 구비하는 것을 특징으로 하는 서브 로오 디코더 회로.A semiconductor memory device, comprising: a bootstrap transistor connected between a pull-up signal input node and a bootstrap node, and having a potential signal applied to a gate; a bootstrap transistor connected between a wordline boosting signal line and a wordline, and a gate of the bootstrap node; A switching device connected between the pull-up transistor connected to the pull-up signal input node and the first node, and a signal for inverting the pull-up signal to a gate applied thereto; And a pull-down transistor having a diode structure connected to the drain and its drain connected to the word line. 제1항에 있어서, 상기 부트스트랩 트랜지스터, 스위칭 소자, 풀-업 및 풀-다운 트랜지스터는 N-모스 트랜지스터인 것을 특징으로 하는 서브 로오 디코더 회로.2. The sub row decoder circuit according to claim 1, wherein the bootstrap transistor, switching element, pull-up and pull-down transistors are N-MOS transistors. 제1항에 있어서, 상기 풀-업 신호가 '로직로우'일때 그 전압은 기판전위인 것을 특징으로 하는 서브 로오 디코더 회로.2. The sub row decoder circuit according to claim 1, wherein the voltage is a substrate potential when the pull-up signal is 'logic low'. 제1항에 있어서, 상기 풀-업 신호가 '로직로우'일때 그 전압은 문턱전위보다 작은 것을 특징으로 하는 서브 로오 디코더 회로.2. The sub row decoder circuit of claim 1, wherein the voltage is less than a threshold potential when the pull-up signal is 'logic low'.
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