KR100484100B1 - 플라즈마 표시 패널의 기판 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따르면, 판부재의 상면에 소정의 폭을 가지며 길이 방향으로 분할되지 않은 어드레스 전극들을 형성하는 제1단계와, 상기 어드레스 전극들이 형성된 판부재의 상면에 어드레스 전극들을 매립하는 유전체층을 적어도 2분할 형성하여 분할된 부위의 어드레스 전극들이 노출되도록 하는 제2단계와, 상기 유전체층의 상면에 격벽의 높이에 해당하는 격벽층을 형성하는 제3단계와, 상기 격벽층에 격벽을 형성하기 위한 패턴과 동일한 패턴을 가지며 어드레스 전극들이 노출된 영역과 대응되는 부위가 관통된 마스크를 장착하는 제4단계와, 상기 마스크가 장착된 격벽층을 공기에 편승된 샌드를 이용하여 연마하는 제5단계를 포함한다.

Description

플라즈마 표시 패널의 기판 제조방법{Method of manufacturing base panel for PDP}

본 발명은 플라즈마 표시장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 기판부재의 상면에 어드레스 전극들과 격벽이 형성된 플라즈마 표시장치의 기판 제조방법에 관한 것이다.

플라즈마 표시장치는 유리 또는 세라믹판으로 이루어진 판부재의 상면에 소정패턴의 어드레스 전극들과 어드레스 전극들을 매립하는 유전체층과, 상기 유전체층의 상면에 형성된 격벽으로 이루어진 하부기판과, 상기 하부기판과 결합되는 것으로 하면에 어드레스 전극과 직교하는 방향으로 유지전극들과, 이 유지전극들이 매립되도록 형성된 유전체층을 포함하는 투명한 상부기판과, 상기 방전공간에 노출되도록 형성된 형광체층을 포함한다. 그리고 상기 방전공간에는 플라즈마 방전을 위한 Ne,Xe 등이 혼합된 방전가스가 주입된다.

상술한 바와 같은 플라즈마 표시장치에 있어서, 하부기판을 제조하기 위한 방법을 도 1A 내지 도 1D에 나타내 보였다.

도시되 바와 같이 유리 또는 세라믹으로 이루어진 판부재(21)에 포토 리소그래피법 또는 증착법등을 이용하여 분할된 어드레스 전극(22)들을 형성한다.(도 1A)

상기와 같이 어드레스 전극(22)의 형성이 완료되면 상기 판부재(21)의 상면에 어드레스 전극(22)이 매립되도록 유전체층(23)을 형성하는 단계를 수행한다.(도 1B) 상기 유전체층의 형성은 캐스팅 또는 스핀 코팅법등을 이용하여 형성할 수 있다.

상기와 같이 유전체층의 형성되면 도 1C에 도시된 바와 같이 유전체층의 상면에 형성하고자 하는 격벽의 높이를 감안하여 소정의 두께로 격벽층(24)을 형성하고, 상기 격벽층(24)의 상부에 격벽패턴과 동일한 패턴을 가지는 연마방지 마스크(25)를 장착한다. 이 상태에서 도 1D에 도시된 바와 같이 고압의 공기에 편승된 샌드를 상기 격벽층(24)의 상면에 분사함으로써 연마방지 마스크(25)가 형성되지 않은 격벽층(24)을 연마하여 방전공간을 형성하게 된다. 이때에 상기 연마방지 마스크에 의해 연마되지 않은 부분이 방전공간을 구획하는 격벽이 된다.

상기와 같이 격벽을 형성하는 과정에서 공기에 편승된 샌드가 유전체층에 충돌되면서 격벽층(24)을 연마하게 되므로 격벽이 형성되는 격벽층(24)에는 정전하가 충전된다. 이 충전된 정전하는 격벽의 첨예한 단부 또는 모서리부에 집중되고, 이 집중된 전자는 인접하는 격벽 또는 공기에 편승되어 분사되는 샌드와 방전을 일으킨다. 이러한 방전으로 격벽층에 연마되어 격벽이 형성되는 과정에서 형성된 격벽이 손상되는 문제점이 있다.

이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 어드레스 전극들을 접지시켜 왔다. 그러나 어드레스 전극들을 접지시킨다하여도 상기 어드레스 전극들은 유전체층에 매립되어 있고, 어드레스 전극이 2분할되어 있으므로 분할된 영역에서 전하의 대전으로인한 방전을 줄일 수 없는 문제점이 있다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기 문제점을 해결을 감안하여 격벽의 형성시 샌드 브라스트법에 따른 전하의 충전을 방지하여 방전에 따른 격벽의 손상을 방지할 수 있는 플라즈마 표시장치의 기판 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.

상기 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 플라즈마 표시장치의 기판 제조방법은 판부재의 상면에 소정의 폭을 가지며 길이 방향으로 분할되지 않은 어드레스 전극들을 형성하는 제1단계와,

상기 어드레스 전극들이 형성된 판부재의 상면에 어드레스 전극들을 매립하는 유전체층을 적어도 2분할 형성하여 분할될 부위의 어드레스 전극이 노출되도록 하는 제2단계와,

상기 유전체층의 상면에 격벽의 높이에 해당하는 격벽층을 형성하는 제3단계와,

상기 격벽층에 격벽패턴을 형성하기 위한 마스크를 장착하는 제4단계와,

상기 마스크가 장착된 격벽층을 공기에 편승된 샌드를 이용하여 연마하는 제5단계와,

상기 제5단계 후 마스크를 분리하고 노츨된 어드레스 전극을 분할하는 제6단계를 포함하여 된 것을 그 특징으로한다.

본 발명에 있어서, 제6단계의 어드레스 전극의 분할은 레이저빔을 이용하여 분할하고자 하는 부위의 어드레스 전극들을 증발시켜 제거함으로써 이루어지거나 상기 마스크에 어드레스 전극을 분할 할 수 있도록 소정의 패턴이 형성되어 격벽이 완성되는 시점에서 어드레스 전극이 분할되도록 함이 바람직하다.

본 발명의 다른 특징은 상기 제조방법에 의해 제조된 플라즈마 표시장치의 기판을 제공함에 있다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 한 바람직한 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 2a 내지 도 2d에는 본 발명에 따른 플라즈마 표시장치의 하부기판의 제조방법을 나타내 보였다.

도 2a에 도시된 바와 같이 판부재(31)의 상면에 포토 리소그래피법 또는 증착법을 이용하여 어드레스 전극(32)들을 형성하는 단계를 수행한다. 이 어드레스 전극(32)들은 판부재(31)에 소정의 폭을 가지며 상호 평행하게 설치된다. 이 어드레스전극(31)들은 그 길이 방향에 대해 분할되지 않아야 한다.

상기와 같이 판부재(31)의 상면에 어드레스 전극(32)의 형성이 완료되면 도 2B에 도시된 바와 같이 판부재(31)의 상면에 유전체층(33)를 형성한다. 상기 유전체층(33)은 상기 어드레전극(32)들이 중앙부에서 분할되도록 형성한다. 즉, 플라즈마 표시패널에 있어서 2분할 구동시 분할되는 경계부에는 유전체층(33)이 형성되지 않도록 하여 어드레스 전극(32)이 노출되도록 한다.

다음 판부재(31)에 형성된 유전체층(33)의 상면에 도 2C에 도시된 바와 같이 격벽층(34)를 형성한다. 상기 격벽층(34)은 형성될 격벽의 높이에 해당하는 두께로 형성하여야 한다.

격벽층의 형성이 완료되면 도 2D에 도시된 바와 같이 격벽층(34)의 상면에 형성될 격벽의 패턴과 동일한 패턴 즉, 격벽이 형성되는 부위를 가릴수 있도록 된 마스크(35)를 밀착시킨다. 이때에 상기 마스크는 상기 유전체층(33)이 형성되지 않아 어드레스 전극들이 노출된 부위와 대응되는 부위의 격벽층이 노출될 수 있도록 관통된다. 그리고 상기 어드레스 전극(32)들을 접지시킨다.

이 상태에서 도 2E에 도시된 바와 같이 공기에 편승된 샌드를 마스크(35)가 장착된 격벽층에 분사하여 연마함으로써 격벽(36)을 형성한다. 격벽을 형성하는 과정에서 샌드가 격벽에 충돌됨으로써 격벽층(34)의 표면 즉, 격벽(36)이 형성되지않은 격벽층(34)의 표면에 정전기가 발생되는데, 이 정전기는 접지된 어드레스 전극(32)들을 통하여 배출된다.

이와 같은 정전기의 배출로 격벽층(34)이 연마되어 형성되는 격벽(36)의 첨예한 부분과 노출된 유전체층(33) 사이의 방전으로 유전체층과 격벽이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 특히 종래 기판과 같이 격벽(36)를 형성하는 과정에서 분할된 어드레스 전극 단부에서의 전하의 집중으로 인한 방전으로 유전체층이 손상되는 것을 방지할 수 있다.

한편 상기 격벽층의 연마로 격벽이 형성되는 과정에서 마스크의 패턴이 분할된 영역이 노출되도록 형성된 경우 상기 유전체층(33)으로 노출된 어드레스 전극이(32) 분할될 수 있는데, 이 어드레스 전극(32)의 분할은 격벽층이 연마되어 격벽이 완성되는 시점에서 이루어지게 되므로 정전기로 인한 유전체층(33)의 손상이 방지된다. 상기와 같이 격벽층의 형성이 완료되면 판부재로부터 마스크를 분리하고 세정한다.

상술한 바와 같은 방법을 수행하는 과정에서 마스크의 패턴에 유전체층과 대응되는 영역이 노출되도록 형성되지 않은 경우에는 상기 유전체층(33)이 분할됨으로써 형성된 어드레스 전극(32)들이 공기에 편승된 샌드에 노출되지 않게되므로 격벽(36)의 형성이 완료되어도 절단되지 않게된다.

이 경우에는 도 3에 도시된 바와 같이 유저체층(33)이 분할됨으로써 노출된 어드레스 전극(32)에 레이저빔을 조사하여 증발시킴으로써 어드레스 전극을 분할하는 공정을 더 포함할 수 있다.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 플라즈마 표시소자의 기판 제조방법은 샌드 브라스트법에 의해 격벽을 형성하는 과정에서 격벽층의 표면에 대전되는 정전기에 의한 방전으로 유전체층이 손상되는 것을 방지할 수 있으며, 특히 분할된 어드레스 전극의 단부에서의 전계집중을 줄일 수 있어 분할된 부위의 유전체층 손상을 방지할 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본원 발명의 기술적 범위내에서 당업자에 의해 다양한 실시예로 변형가능함은 물론이다.

도 1a 내지 도 1d는은 종래 플라즈마 표시패널의 기판 제조방법을 단계적으로 나타내 보인 도면,

도 2a 내지 도 2e은 본 발명에 따른 플라즈마 표시 패널의 기판 제조방법을 단계적으로 나타내 보인 도면,

도 3은 레이저빔을 이용하여 노출된 어드레스 전극을 분할하는 단계를 나타내 보인도면.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

31; 판부재 32; 어드레스 전극

33; 유전체층 34; 격벽층

35; 마스크 36; 격벽

Claims (3)

1. 판부재의 상면에 소정의 폭을 가지며 길이 방향으로 분할되지 않은 어드레스 전극들을 형성하는 제1단계와,

   상기 어드레스 전극들이 형성된 판부재의 상면에 어드레스 전극들을 매립하는 유전체층을 적어도 2분할 형성하여 분할될 부위의 어드레스 전극들이 노출되도록 하는 제2단계와,

   상기 유전체층의 상면에 격벽의 높이에 해당하는 격벽층을 형성하는 제3단계와,

   상기 격벽층에 격벽을 형성하기 위한 패턴과 동일한 패턴을 가지며 어드레스 전극들이 노출된 영역과 대응되는 부위가 관통된 마스크를 장착하는 제4단계와,

   상기 마스크가 장착된 격벽층을 공기에 편승된 샌드를 이용하여 연마하는 제5단계와,

   상기 제5단계 후 마스크를 분리하고 노출된 어드레스 전극을 분할하는 제6단계를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시패널의 기판 제조방법.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 제6단계에서, 노출된 상기 어드레스 전극을 레이저 빔을 이용하여 증발시켜 분할하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시패널의 기판 제조방법.