KR100472250B1 - 다위치 마이크로 전자기계식 스위치 - Google Patents
다위치 마이크로 전자기계식 스위치 Download PDFInfo
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- 다위치(multi-position) 마이크로 전자기계식 스위치에 있어서,기판 상에 형성되는 다수의 가이드포스트와,상기 기판의 하부층 상에 형성되는 제 1 신호 전송 라인- 상기 제 1 신호 전송 라인은 관련된 개방 회로를 규정하는 제 1 간격을 가짐 -과,상기 기판의 상부층 상에 형성되는 제 2 신호 전송 라인- 상기 제 2 전송 라인은 관련된 개방 회로를 규정하는 제 2 간격을 가짐 -과,내부에 형성되는 다수의 비아 개구부를 가지는 스위치 본체- 상기 스위치 본체는 상기 비아 개구부를 통하여 상기 가이드포스트를 따라 이동가능하게 배치됨 -를 포함하는 다위치 마이크로 전자기계식 스위치.
- 제 7 항에 있어서,상기 기판의 상기 하부층 상에 형성되는 제 1 필드 플레이트- 상기 제 1 필드 플레이트는 상기 스위치 본체의 하부면으로부터 떨어져서 정전기적으로 부착가능하게 정렬됨 -과,상기 기판의 상기 상부층 상에 형성되는 제 2 필드 플레이트- 상기 제 2 필드 플레이트는 상기 스위치 본체 상에 위치된 상부면으로부터 떨어져서 정전기적으로 부착가능하게 정렬됨 -을 포함하는 다위치 마이크로 전자기계식 스위치.
- 제 8 항에 있어서,상기 제 1 필드 플레이트와 상기 스위치 본체의 상기 하부면 사이의 정전기적 인력은 상기 스위치 본체가 상기 신호 전송 라인내의 상기 제 1 간격을 폐쇄하도록 하는 다위치 마이크로 전자기계식 스위치.
- 제 8 항에 있어서,상기 제 2 필드 플레이트와 상기 스위치 본체의 상기 상부면 사이의 정전기적 인력은 상기 스위치 본체가 상기 제 2 신호 전송 라인내의 상기 제 2 간격을 폐쇄하도록 하는 다위치 마이크로 전자기계식 스위치.
- 제 7 항에 있어서,상기 스위치 본체에 대향하는 측 상에 배치된 한 쌍의 지지 힌지(a pair of supporting hinges)를 더 포함하되, 상기 지지 힌지는 상기 스위치를 중립 위치 내에 바이어싱(biasing)하며, 상기 제 1 및 상기 제 2 전송 라인내의 상기 간격들은 개방 상태로 남는 다위치 마이크로 전자기계식 스위치.
- 제 8 항에 있어서,상기 제 1 및 상기 제 2 필드 플레이트에 인가되는 평형 전하(a balancing charge)를 더 포함하되, 상기 평형 전하는 상기 제 2 필드 플레이트와 상기 스위치 본체의 상부면 사이의 정전기적 인력에 의해서 상기 제 1 필드 플레이트와 상기 스위치 본체의 상기 하부면 사이의 정전기적 인력이 상쇄되도록 하는 다위치 마이크로 전자기계식 스위치.
- 제 7 항에 있어서,상기 스위치 본체는 전기도금된 구리를 포함하는 다위치 마이크로 전자기계식 스위치.
- 제 13 항에 있어서,상기 스위치 본체는 코발트-텅스텐-인화물(CoWP) 절연 캡을 더 포함하는 다위치 마이크로 전자기계식 스위치.
- 제 7 항에 있어서,상기 스위치 본체는 통상적으로 직사각형의 형태인 다위치 마이크로 전자기계식 스위치.
- 제 7 항에 있어서,상기 스위치 본체는 통상적으로 원형의 형태인 다위치 마이크로 전자기계식 스위치.
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