KR100462794B1 - mask cover of screen printer - Google Patents
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Abstract
본 발명은 스크린 프린터의 마스크 덮개에 관한 것으로서, X,Y,Z축 구동모터가 구비된 테이블 구동 메카니즘의 트레이 위에 자재가 탑재된 테이블이 안착되어 마스크의 밑면에서 상하 전후좌우로 이동되고, 베이스에 서 있는 X,Y축 가이드 레일을 타고 전후좌우로 이동하고 공압 실린더에 의해 상하로 이동하는 가이드 레일에 2개의 스퀴즈(squeeze)가 장착된 전자 브레이크를 갖는 스크린 프린터의 세척장치에 있어서, 상기 베이스의 후방 윗면에는 두 개의 슬라이드 레일이 브라켓에 의해 일정간격을 두고 서로 마주보게 설치되고, 상기 두 개의 슬라이드 레일에는 마스크 덮개가 상기 슬라이드 레일에 연동해서 전후로 이동할 수 있도록 결합된 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mask cover of a screen printer, wherein a table on which a material is mounted is mounted on a tray of a table driving mechanism equipped with X, Y, and Z axis driving motors, and is moved up, down, front, rear, left, and right at the base of the mask. A washing apparatus for a screen printer having an electric brake equipped with two squeezes on a guide rail moving up, down, left, and right by a standing X, Y axis guide rail, and moving up and down by a pneumatic cylinder. On the rear upper surface, two slide rails are installed to face each other at a predetermined interval by a bracket, and the two slide rails are coupled to the mask cover to move back and forth in conjunction with the slide rails.
따라서, 본 발명에 의하면 작업중이나 마스크를 포함하는 장비를 정비 또는 교체할 때 스퀴즈에 묻어 있는 인캡용액이나 기타 이물질이 자재의 품질에 가장 큰 영향을 주는 테이블을 포함하는 장비 내로 들어가 장비가 오염되는 것을 방지할 수 있는 것이다.Therefore, according to the present invention, the encapsulation or other foreign matter on the squeeze during operation or when servicing or replacing the equipment including the mask enters the equipment including a table which has the greatest influence on the quality of the material and contaminates the equipment. It can be prevented.
Description
본 발명은 스크린 프린터의 마스크 덮개에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 스크린 프린터의 마스크를 제거했을 때 마스크가 장착되었던 공간을 별도의 덮개로 덮어 테이블을 포함하는 스크린 프린터 내부의 오염을 사전에 방지할 수 있도록 하는 스크린 프린터의 마스크 덮개에 관한 것이다.The present invention relates to a mask cover of a screen printer, and more particularly, it is possible to prevent contamination in the screen printer including a table in advance by covering a space in which the mask is mounted with a separate cover when the mask of the screen printer is removed. To a mask cover of a screen printer.
종래의 스크린 프린터는 용제(도포액)를 도포하기 위한 자재(반도체)를 좌우 방향으로 이동시키는 컨베이어와 전후 방향으로 이동하면서 마스크 표면에 놓인 용제가 마스크의 개구부의 공간으로 투입될 수 있도록 하는 스퀴즈, 전후좌우로 이동하면서 자재와 마스크의 위치를 확인할 수 있는 카메라, 마스크의 개구부를 닦아낼 수 있도록 하는 클리너, 자재를 마스크 밑면으로 이동시켜 주는 테이블 등으로 구성되어 있다.Conventional screen printers include a conveyor for moving a material (semiconductor) for applying a solvent (coating solution) and a squeeze for allowing a solvent placed on the surface of the mask to be injected into the space of the opening of the mask while moving in the front-rear direction. It consists of a camera that can check the position of the material and mask while moving back, forth, left and right, a cleaner that can wipe the opening of the mask, and a table that moves the material to the bottom of the mask.
상기 스크린 프린터는 컨베이어를 타고 이송된 자재를 테이블 위에 올려놓고, 카메라로 자재에 있는 인식마크의 위치와 마스크에 있는 인식마크의 위치를 확인하여 테이블의 위치를 조정함으로써 자재와 마스크의 개구부와 각 접점공간을 정확하게 일치시키게 된다. 그리고 나서, 테이블을 상승시켜 마스크에 자재를 밀착시킨 후 스퀴즈를 하강시킨 다음 전후로 이동시켜 마스크의 개구부로 낙하되는 도포액을 자재에 도포한다.The screen printer puts the material transported by the conveyor on the table and checks the position of the recognition mark on the material and the position of the recognition mark on the mask with a camera and adjusts the position of the table to adjust the position of the material and the mask. The space is matched exactly. Then, the table is raised to bring the material into close contact with the mask, the squeeze is lowered and then moved back and forth to apply the coating liquid falling into the opening of the mask.
그러나 작업중이나 작업대기에 관계없이 인캡용액이 묻은 스퀴즈가 마스크 위에 항상 위치하고 있어, 스크린 프린터를 정비하거나 기타 이유로 하여 마스크를 꺼내는 경우, 스퀴즈에 묻어 있던 인캡용액이나 기타 이물질이 자재를 이송하는 테이블을 포함하는 스크린 프린터 내에 들어가 자재를 포함하는 스크린 프린터를 오염시키게 된다.However, the squeeze that is encapsulated with the encap solution is always located on the mask, regardless of whether it is in operation or on standby, and if the mask is taken out for maintenance of the screen printer or for other reasons, the encapsulation solution or other foreign matter on the squeeze contains a table for transferring the material. It enters the screen printer and contaminates the screen printer containing the material.
이로 인하여, 테이블을 포함하는 스크린 프린터의 오동작을 불러일으킬 수 있을뿐더러 생산되는 반도체 자재의 품질에 악영향을 끼치는 문제가 있다.As a result, not only the malfunction of the screen printer including the table can be caused, but also there is a problem that adversely affects the quality of the semiconductor material produced.
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 작업중이나 마스크를 포함하는 스크린 프린터를 정비 또는 교체할 때 스퀴즈에 묻어 있는 인캡용액이나 기타 이물질이 테이블을 포함하는 스크린 프린터 내로 들어가 반도체 자재의 품질에 악영향을 주는 것을 방지하기 위한 스크린 프린터의 마스크 덮개를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention to solve the problems described above, the encapsulated solution or other foreign matter on the squeeze during operation or when servicing or replacing the screen printer including the mask enters the screen printer including the table adversely affect the quality of the semiconductor material It is an object to provide a mask cover of a screen printer to prevent giving.
도1은 본 발명에 의한 마스크 덮개를 갖는 스크린 프린터를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a screen printer having a mask cover according to the present invention.
도2는 도1의 스크린 프린터 중 마스크 덮개를 나타낸 확대 사시도이다.FIG. 2 is an enlarged perspective view illustrating a mask cover of the screen printer of FIG.
도3은 도1에서의 마스크 유무 감지센서의 설치상태를 나타낸 평면도이다.3 is a plan view illustrating an installation state of a mask presence sensor in FIG. 1.
도4는 도1에서의 마스크 커버와 공압 실린더와의 결합관계를 나타낸 사시도이다.4 is a perspective view showing a coupling relationship between a mask cover and a pneumatic cylinder in FIG.
도5는 본 발명에서 마스크 덮개의 개폐동작을 제어하기 위한 구성도이다.Figure 5 is a block diagram for controlling the opening and closing operation of the mask cover in the present invention.
도6은 본 발명에서 마스크 덮개를 개폐하는 과정을 설명하기 위한 흐름도이다.6 is a flowchart illustrating a process of opening and closing a mask cover in the present invention.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ※※ Explanation of code about main part of drawing ※
1 : 마스크 유무 감지센서 2 : 클램프1: Mask presence sensor 2: Clamp
3 : 콘트롤러 4 : 공압 실린더3: controller 4: pneumatic cylinder
5 : X축 구동모터 6 : Y축 구동모터5: X axis drive motor 6: Y axis drive motor
7,8 : 승강용 공압 실린더 9 : 프레임7, 8: lifting pneumatic cylinder 9: frame
10 : 마스크 11a,11b : 슬라이드 레일10 mask 11a, 11b slide rail
12 : 마스크 덮개 13 : Y축 가이드 레일12: mask cover 13: Y-axis guide rail
14 : X축 가이드 레일 16 : 스퀴즈14: X axis guide rail 16: squeeze
17,18 : 브라켓 19 : 블록17,18: bracket 19: block
20 : 연결패널 21 : 연결블록20: connection panel 21: connection block
22a : 고정레일 22b : 이동레일22a: fixed rail 22b: moving rail
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 스크린 프린터의 마스크 덮개는, X,Y,Z축 구동모터가 구비된 테이블 구동 메카니즘의 트레이 위에 자재가 탑재된 테이블이 안착되어 마스크의 밑면에서 상하 전후좌우로 이동되고, 베이스에 서 있는 X,Y축 가이드 레일을 타고 전후좌우로 이동하고 공압 실린더에 의해 상하로 이동하는 가이드 레일에 2개의 스퀴즈(squeeze)가 장착된 전자 브레이크를 갖는 스크린 프린터의 세척장치에 있어서, 상기 베이스의 후방 윗면에는 두 개의 슬라이드 레일이 브라켓에 의해 일정간격을 두고 서로 마주보게 설치되고, 상기 두 개의 슬라이드 레일에는 마스크 덮개가 상기 슬라이드 레일에 연동해서 전후로 이동할 수 있도록 결합되는 것을 특징으로 한다.Mask cover of the screen printer according to the present invention for achieving the object as described above, the table is mounted on the tray of the table driving mechanism equipped with X, Y, Z axis drive motor seated on the upper and lower sides of the mask Of a screen printer having an electronic brake mounted with two squeezes on a guide rail which is moved back and forth, left and right, and is moved up and down and left and right by the X, Y axis guide rail standing on the base and is moved up and down by a pneumatic cylinder. In the washing apparatus, two slide rails are installed on the rear upper surface of the base to face each other by a bracket, and the two slide rails are coupled to the two slide rails so as to move back and forth in conjunction with the slide rails. It is characterized by.
본 발명에 의한 스크린 프린터의 마스크 덮개에 있어서, 상기 베이스 윗면과 상기 마스크 덮개의 밑면에 각각 연결블록이 설치되고, 상기 두 개의 연결블록 사이에 공압 실린더가 설치되어, 상기 공압 실린더의 작동으로 상기 마스크 덮개가 슬라이드 레일을 타고 자동으로 전후진되는 것이 바람직하다.In the mask cover of the screen printer according to the present invention, a connection block is provided on the upper surface of the base and the bottom of the mask cover, respectively, a pneumatic cylinder is installed between the two connection blocks, the operation of the pneumatic cylinder It is preferable that the lid is automatically moved back and forth on the slide rails.
본 발명에 의한 스크린 프린터의 마스크 덮개에 있어서, 상기 마스크 덮개는 상기 마스크의 존재유무를 감지하는 마스크 유무 감지센서의 출력에 따른 공압 실린더의 작동으로 슬라이드 레일을 타고 자동으로 전후진되는 것이 바람직하다.In the mask cover of the screen printer according to the present invention, it is preferable that the mask cover is automatically moved forward and backward on the slide rail by the operation of the pneumatic cylinder according to the output of the mask presence sensor for detecting the presence of the mask.
본 발명에 의한 스크린 프린터의 마스크 덮개에 있어서, 상기 마스크 덮개는 외부에서 가해지는 힘에 의해 슬라이드 레일(slide rail)을 타고 전후진되는 것이 바람직하다.In the mask cover of the screen printer according to the present invention, the mask cover is preferably moved forward and backward on a slide rail by a force applied from the outside.
이하에서 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.
도1 내지 도4는 본 발명에 의한 스크린 프린터와 이에 장착된 마스크 덮개를 나타낸 것으로서, 스크린 프린터의 윗면, 즉 베이스(9)(base)의 전면에는 마스크(10)가 4개의 마스크 클램프(2)에 분리 결합이 용이하도록 장착되어 있고, 베이스(9)의 후방에는 일정간격을 두고 서로 마주보는 두 개의 슬라이드 레일(11a)(11b)이 브라켓에 의해 고정 설치되어 있고, 슬라이드 레일(11a)(11b)의 내측에는 슬라이드 레일을 타고 전후로 이동하는 마스크 덮개(12)(mask cover)가 브라켓에 의해 결합되어있다.1 to 4 show a screen printer and a mask cover mounted thereon according to the present invention, wherein a mask 10 is provided on the top surface of the screen printer, that is, the front of the base 9, and four mask clamps 2 are provided. Is mounted to facilitate separation and coupling, and two slide rails 11a and 11b facing each other at a predetermined interval are fixed to the rear of the base 9 by a bracket, and slide rails 11a and 11b. ), A mask cover 12 moving back and forth on a slide rail is coupled by a bracket.
이때 마스크 덮개(12)는 공압 실린더(4)와 결합되어 작업자가 외부에서 개폐를 명령하거나 또는 마스크 유무 감지센서(1)가 마스크(10)가 없음을 감지했을 때 슬라이드 레일(11a)(11b)을 타고 자동으로 개폐되거나 작업자에 의한 외압에 의해 슬라이드 레일(11a)(11b)을 타고 수동으로 이동할 수 있다.At this time, the mask cover 12 is coupled to the pneumatic cylinder (4) when the operator instructs to open or close from the outside or the mask presence sensor 1 detects the absence of the mask 10 slide rail (11a) (11b) Riding can be opened and closed automatically or manually moved by riding the slide rails (11a) (11b) by the external pressure by the operator.
보다 상세하게는 도4에서와 같이, 베이스(9)에 장착된 브라켓(17)의 내측에는 슬라이드 레일(11b)의 고정레일(22a)이 결합되어 있고, 슬라이드 레일(11b)의 이동레일(22b)에는 브라켓(18)을 매개로 마스크 커버(12)가 결합되어 있다. 물론, 위에서는 마스크 커버(12)의 한쪽에 설치된 슬라이드 레일(11b)에 대해서만 설명하였지만, 마스크 커버(12)의 다른 한쪽에 장착된 슬라이드 레일(11a) 역시 동일한 구조에 의해 결합되어 있다.More specifically, as shown in FIG. 4, the fixing rail 22a of the slide rail 11b is coupled to the inside of the bracket 17 mounted on the base 9, and the moving rail 22b of the slide rail 11b is coupled thereto. ) Is coupled to the mask cover 12 via a bracket (18). Of course, only the slide rail 11b provided on one side of the mask cover 12 has been described above, but the slide rail 11a mounted on the other side of the mask cover 12 is also coupled by the same structure.
또한, 베이스(9)의 최후미(브라켓(17)과 근접된 부분을 말한다.)에 고정된 'ㄱ'형상의 블록(19)에는 연결패널(20)이 결합되어 있고, 이 연결패널(20)과 마스크 커버(12) 밑면의 전방에 고정된 연결블록(21) 사이에는 공압 실린더(4)가 결합되어 있어, 마스크 제거 요청이 있거나 또는 마스크가 없을 때 마스크 커버(12)를 자동으로 전진시킬 수 있는 것이다.In addition, the connection panel 20 is coupled to the 'b' shaped block 19 fixed to the rear end of the base 9 (a portion close to the bracket 17). Pneumatic cylinder (4) is coupled between the coupling block 21 fixed to the front of the bottom of the mask cover 12 to automatically advance the mask cover 12 when there is a mask removal request or there is no mask. It can be.
그리고, 베이스(9)의 양단에는 두 개의 Y축 가이드 레일(13)이 소정높이로 수평지게 설치되어 있고, Y축 가이드 레일(13)에는 X축 가이드 레일(14)이 Y축 구동모터(6)의 동력을 받아 Y축 방향으로 이동 자재토록 결합되어 있으며, X축 가이드 레일(14)에는 X축 구동모터(5)의 동력을 받아 X축 방향으로 자유롭게 이동하는 두 개의 스퀴즈(16)가 장착되어 있다.In addition, two Y-axis guide rails 13 are horizontally installed at both ends of the base 9 at a predetermined height, and the X-axis guide rails 14 are Y-axis drive motors 6 at the Y-axis guide rails 13. It is coupled to move in the Y-axis direction by the power of), the X-axis guide rail 14 is equipped with two squeeze 16 to move freely in the X-axis direction by the power of the X-axis drive motor (5) It is.
여기서, 두 개의 스퀴즈(16)는 위에서와 같이 Y축 및 X축 가이드 레일(13)(14)을 타고 전후좌우로 이동 가능할뿐더러 두 개의 스퀴즈(16)를 지지하고 있는 브라켓에 결합되어 있는 두 개의 승강용 공압 실린더(7)(8)에 의해 상하로도 자유롭게 이동 가능하다.Here, the two squeezes 16 can be moved back, front, left, and right on the Y-axis and X-axis guide rails 13 and 14 as above, and the two squeezes 16 are coupled to the brackets supporting the two squeezes 16. The lifting pneumatic cylinders 7 and 8 can move freely up and down.
그리고, 마스크(10)의 밑면의 하측 베이스에는 도시되지 않은 X,Y,Z축 구동모터를 가지는 테이블 구동 메카니즘이 설치되어 있으며, 이 테이블 구동 메카니즘의 트레이 위에는 X,Y,Z축 구동모터의 구동에 따라 상하 전후좌우로 이동하는 테이블이 설치되어 있는데, 이는 용제를 도포하기 위한 반도체 자재를 마스크(10) 밑면의 개구부까지 이송하는 가장 주요부분으로서, 인캡용액이나 이물질로 인해 오염되기 쉬운 부분이다.The lower base of the bottom surface of the mask 10 is provided with a table driving mechanism having an X, Y and Z axis drive motor (not shown), and the X, Y and Z axis drive motors are driven on the tray of the table driving mechanism. Tables are installed to move up, down, left, and right according to this, which is the most important part for transferring the semiconductor material for applying the solvent to the opening of the bottom surface of the mask 10, which is easily contaminated by the encap solution or foreign matter.
도5는 외부 입력이나 자동으로 마스크 덮개(12)의 전진 또는 후진을 제어하기 위한 구성도로서, 스크린 프린터의 전반적인 동작을 제어하는 콘트롤러(3)에는 도3에서와 같이 베이스(9)의 소정위치에 설치되어, 마스크 클램프(2)에 고정된 마스크의 유무를 감지하기 위한 마스크 유무 감지센서(1)와 마스크 덮개를 전진 또는 후진시키기 위한 공압 실린더(4), 마스크를 고정하기 위한 4개의 마스크 클램프(2), X축 구동모터(5), Y축 구동모터(6) 그리고 승강용 공압실린더(7)(8) 등이 연결되어 있다.FIG. 5 is a configuration diagram for controlling the forward or backward movement of the mask cover 12 by external input or automatically. The controller 3 for controlling the overall operation of the screen printer is located at a predetermined position of the base 9 as shown in FIG. A mask presence sensor (1) for detecting the presence or absence of a mask fixed to the mask clamp (2), a pneumatic cylinder (4) for advancing or reversing the mask cover, and four mask clamps for fixing the mask (2), the X-axis drive motor 5, the Y-axis drive motor 6, and the lifting pneumatic cylinders 7 and 8 are connected.
도5의 구성에 의해 마스크 덮개(12)를 전진 또는 후진시키는 동작을 도6에 의해 설명한다.The operation of advancing or reversing the mask cover 12 by the configuration of FIG. 5 will be described with reference to FIG.
스크린 프린터가 작업 또는 작업대기 중일 때 콘트롤러(3)는 외부로부터 마스크 제거 요청이 있었는지 또는 마스크 유무 감지센서(1)가 마스크가 없음을 감지했는지를 확인(S11)하게 된다.When the screen printer is working or waiting, the controller 3 checks whether there is a mask removal request from the outside or whether the mask presence sensor 1 detects that there is no mask (S11).
그 결과 마스크의 제거요청이 있거나 또는 장착되었던 마스크가 제거된 경우 콘트롤러(3)는 승강용 공압 실린더(7)(8)를 작동시켜 스퀴즈를 상승(S12)시키고, Y축 구동모터(6)를 작동시켜 스퀴즈를 안전한 위치로 이동(S13)시키게 된다. 물론, 스퀴즈가 현재 상승되어 있거나 안전한 위치에 존재하고 있는 경우에는 스퀴즈를 별도로 이동시킬 필요가 없음은 당연하다.As a result, when the mask is requested to be removed or the mask that has been mounted is removed, the controller 3 operates the lifting pneumatic cylinders 7 and 8 to raise the squeeze (S12), and to turn the Y-axis driving motor 6 on. In operation, the squeeze is moved to a safe position (S13). Of course, there is no need to move the squeeze separately if the squeeze is presently raised or present in a safe position.
이렇게 스퀴즈를 안전한 위치로 이동시킨 후 콘트롤러(3)는 승강용 공압 실린더(7)(8)를 작동시켜 마스크 덮개(12)가 슬라이드 레일(11a)(11b)을 따라 전진하여 테이블을 포함하는 스크린 프린터를 덮도록 한다.After moving the squeeze to a safe position, the controller 3 operates the lifting pneumatic cylinders 7 and 8 so that the mask cover 12 moves along the slide rails 11a and 11b to include a table. Cover the printer.
여기서, 마스크가 존재하는 경우 콘트롤러(3)는 마스크 클램프(2)를 해제(S15)시켜 마스크를 제거(S16)할 수 있도록 한다.Here, when the mask is present, the controller 3 releases the mask clamp 2 (S15) to remove the mask (S16).
따라서, 본 발명에 의하면 작업중이나 마스크를 포함하는 장비를 정비 또는 교체할 때 스퀴즈에 묻어 있는 인캡용액이나 기타 이물질이 자재의 품질에 가장 큰 영향을 주는 테이블을 포함하는 장비 내로 들어가 장비가 오염되는 것을 방지할 수 있는 것이다.Therefore, according to the present invention, the encapsulation or other foreign matter on the squeeze during operation or when servicing or replacing the equipment including the mask enters the equipment including a table which has the greatest influence on the quality of the material and contaminates the equipment. It can be prevented.
이상에서 본 발명은 기재된 구체적인 실시예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술 사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the specific embodiments described, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical spirit of the present invention, and such modifications and modifications belong to the appended claims. .
Claims (4)
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2002-0026667A KR100462794B1 (en) | 2002-05-15 | 2002-05-15 | mask cover of screen printer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20030088912A KR20030088912A (en) | 2003-11-21 |
| KR100462794B1 true KR100462794B1 (en) | 2004-12-17 |
Family
ID=32382842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR10-2002-0026667A KR100462794B1 (en) | 2002-05-15 | 2002-05-15 | mask cover of screen printer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100462794B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8733245B2 (en) | 2010-02-09 | 2014-05-27 | Samsung Techwin Co., Ltd. | Screen printer |
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| JPH04257292A (en) * | 1991-02-12 | 1992-09-11 | Sanyo Electric Co Ltd | Scrren printing machine |
| JPH08290549A (en) * | 1995-04-20 | 1996-11-05 | Sakurai Graphic Syst:Kk | Printing press with sliding cover |
-
2002
- 2002-05-15 KR KR10-2002-0026667A patent/KR100462794B1/en not_active IP Right Cessation
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Also Published As
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| KR20030088912A (en) | 2003-11-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20071115 Year of fee payment: 4 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |