KR100451052B1 - 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 방법 및 그 장치 - Google Patents

섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 방법 및 그 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 방법 및 그 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 혼합액이 저장되는 혼합액 저장조와, 산화제가 저장된 산화제 저장조와, 상기 혼합액 저장조에 저장된 혼합액과 상기 산화제 저장조에 저장된 산화제를 반응시키는 반응조와, 상기 반응조내로 상기 혼합액 저장조의 혼합액을 이동시키는 흡입 펌프와, 상기 반응조내로 상기 산화제 저장조의 산화제를 이동시키는 산화제 정량 펌프와, 상기 반응조 내에서 반응된 혼합액을 상기 혼합액 저장조로 이동시키는 송액 펌프와, 상기 혼합액 저장조에 저장된 혼합액이 에칭 챔버의 에칭 노즐을 통해 섀도우 마스크용 금속 시트재를 에칭하도록 상기 에칭 챔버로 혼합액을 분사하는 분사 펌프와, 상기 에칭 챔버에서 상기 에칭 노즐을 통해 분사되고 남은 혼합액을 상기 혼합액 저장조로 회수하는 리턴 펌프로 이루어지는 것을 특징으로 한다. 따라서 상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면 시스템에서 연속적으로 혼합액에 산화제를 투입하여 염화 제일철의 일부만 염화 제이철이 되도록 반응시켜 혼합액을 에칭액으로 재생하도록 함으로써 에칭액의 수송 문제 및 환경 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

Description

섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 방법 및 그 장치{METHOD OF RECYCLING ETCHING SOLUTION FOR MANUFACTURING SHADOW MASK AND APPARATUS THEREFOR}
본 발명은 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 방법 및 그 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 금속 시트재를 에칭하는 공정 중, 염화 제일철과 염화 제이철이 혼합된 혼합액 또는 염화 제일철과 염화 제이철과 염화 니켈 또는 염화 동이 혼합된 혼합액에 산화력을 가진 물질, 즉 산화제를 에칭액에 첨가하여 염화 제일철을 염화 제이철로 산화, 재생시켜 에칭 공정에 맞는 부식력을 가지게 하도록 하는 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
일반적으로 종래의 섀도우 마스크 제조의 에칭 공정에 있어서 사용된 에칭액을 재생하는 방법으로는 염화 제일철과 염화 제이철의 혼합액 또는 염화 제일철과 염화 제이철과 염화 니켈 또는 염화 동의 혼합액에 따라 다음과 같은 두 가지 방법이 사용된다.
첫 번째 방법으로는 순철 금속 시트재 에칭에 사용되었던 염화 제일철 및 염화 제이철이 혼합된 혼합액에 염소 가스를 과량 주입하여 염화 제일철 모두를 염화 제이철로 재생시키는 방법이 있다.
두 번째 방법으로는 철과 니켈의 합금판 또는 동판의 금속 시트재 에칭에 사용되었던 염화 제일철, 염화 제이철, 염화 니켈이 혼합된 혼합액 또는 염화 제일철, 염화 제이철, 염화 동이 혼합된 혼합액에 철 분말 또는 철 조각을 수소 기포 발생이 중지될 때까지 계속 집어넣어 철 성분과 니켈 또는 동 성분을 분리시켜 니켈 또는 동을 제거한 후, 철 성분에 염산을 집어넣어 염화 제일철 모두를 염화 제이철로 재생시키는 방법이 있다.
근래에 들어서는 폐산을 순수로 희석하여 1~20wt%의 염산 농도로 만든 다음,산화철을 투입하여 상온에서 5분~2시간 침적 시켜 산화철 중에 함유된 불순물을 용해시킨 후, 여과, 세척, 가열, 용해하여 과산화수소 등과 같은 산화제를 서서히 투입하여 염화 제이철을 제조하는 방법이 개발되어 있다.
그러나 이러한 종래의 방법들은 염화 제일철과 염화 제이철이 혼합된 혼합액 또는 염화 제일철과 염화 제이철, 염화 니켈 또는 염화 동이 혼합된 혼합액의 재생 처리하기 위해서 철 분말 및 철 조각을 투입, 용해해야 함으로써 용해 과정에서 수소 가스의 발생이 극심하여 고가의 가스 처리장치가 필요하며, 염소 가스를 사용해야 할 경우도 있으므로 환경 문제 발생 우려되는 문제점이 있다.
또한 염소 가스를 회수하기 위해 별도로 염소 흡수 충진 장치가 요구되면, 염소 가스를 100% 회수하지 못하는 경우에 염소 가스에 의한 위험성이 발생하는 다른 문제점이 있다.
또 섀도우 마스크 제조의 에칭 공정에 사용된 염화 제일철과 염화 제이철 혼합액 또는 염화 제일철과 염화 제이철 및 염화 니켈 또는 염화 동 혼합액을 식각 능력이 있는 에칭액으로 섀도우 마스크 제조의 에칭 공정에 사용하기 위해서는 철 조각 및 철 분말의 에칭공정에 사용된 혼합액에 수소 발생이 없을 때까지 넣고, 염소, 염산을 주입하여 모든 양을 염화 제이철로 만든 후 다시 섀도우 마스크 제조의 에칭 공정에 맞게 염화 제일철과 염화 제이철의 혼합비를 맞추어 사용하게 되므로 수송 문제 및 염소, 염산 사용에 의한 환경 문제가 대두되는 또 다른 문제점이 있다.
따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위한 것으로, 염화 제일철과 염화 제이철이 혼합된 혼합액 또는 염화 제일철과 염화 제이철과 염화 니켈 또는 염화 동이 혼합된 혼합액의 염화 제일철과 염화 제이철의 혼합비가 섀도우 마스크 제조 공정중 에칭 공정에 적합하도록 하나의 시스템에서 연속적으로 염화 제일철과 염화 제이철이 혼합된 혼합액 또는 염화 제일철과 염화 제이철과 염화 니켈 또는 염화 동이 혼합된 혼합액에 산화제를 투입한 후 염화 제일철의 일부만 염화 제이철이 되도록 반응시켜 혼합액을 에칭액으로 재생하도록 함으로써 에칭액의 수송 문제가 없어지며, 산화제만 사용되므로 완전 반응에 의해 부유물 및 이물, 기타 부반응에 의한 환경 문제가 발생하는 것을 방지하도록 하는데 있다.
도 1은 본 발명에 따른 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도
도 2는 본 발명에 따른 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 장치의 다른 실시예의 구성을 나타낸 구성도
<도면중 주요부분에 대한 부호의 설명>
110 : 혼합액 저장조 120 : 산화제 저장조
130 : 반응조 131 : 노즐
133 : 교반기 135 : 순환 펌프
137 : 격벽 140 : 흡입 펌프
150 : 산화제 정량 펌프 160 : 송액 펌프
170 : 분사 펌프 180 : 리턴 펌프
190 : 애칭 챔버 191 : 에칭 노즐
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은,
섀도우 마스크 제조의 제조 공정중 에칭액의 재생 공정에 있어서,
염화 제일철의 농도가 5~15%, 염화 제이철의 농도가 25~50%로 혼합된 혼합액을 40~100℃로 유지한 상태에서 상기 혼합액을 반응조로 이동시키는 단계와,
상기 반응조내에 산화제 저장조 내에 저장된 산화제를 상기 반응조로 투입시킨 후 교반기를 통해 교반함과 동시에 순환펌프를 이용하여 자체 순환시켜 상기 혼합액과 상기 산화제를 완전히 산화 반응시켜 염화 제일철중 일부를 염화 제이철로 산화시키는 단계와,
상기 단계에서 산화 반응된 혼합액을 섀도우 마스크 제조의 에칭 공정을 거친 염화 제일철과 염화 제이철의 혼합액이 저장된 저장조에 투입하여 이들을 혼합하는 단계와,
이들 혼합액의 혼합비를 확인하여 섀도우 마스크 제조의 에칭 공정에 맞는 부식력을 가지게 되면 분사 펌프를 이용하여 섀도우 마스크용 금속 시트재를 에칭하는 단계와,
에칭에 사용된 에칭액을 회수하여 혼합액이 저장된 저장조에 저장하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 특징은,
섀도우 마스크 제조의 제조 공정중 에칭액의 재생 공정에 있어서,
염화 제일철의 농도가 5~25%, 염화 제이철의 농도가 20~45%, 염화 니켈 또는 염화 동의 농도가 0.3~5%(3,000~50,000ppm)로 혼합된 혼합액을 40~100℃로 유지한 상태에서 상기 혼합액을 반응조로 이동시키는 단계와,
상기 반응조내에 산화제 저장조 내에 저장된 산화제를 상기 반응조로 투입시킨 후 교반기를 통해 교반함과 동시에 순환펌프를 이용하여 자체 순환시켜 상기 혼합액과 상기 산화제를 완전히 산화 반응시켜 염화 제일철중 일부를 염화 제이철로 산화시키는 단계와,
상기 단계에서 산화 반응된 혼합액을 섀도우 마스크 제조의 에칭 공정을 거친 염화 제일철과 염화 제이철의 혼합액이 저장된 저장조에 투입하여 이들을 혼합하는 단계와,
이들 혼합액의 혼합비를 확인하여 섀도우 마스크 제조의 에칭 공정에 맞는 부식력을 가지게 되면 분사 펌프를 이용하여 섀도우 마스크용 금속 시트재를 에칭하는 단계와,
에칭에 사용된 에칭액을 회수하여 혼합액이 저장된 저장조에 저장하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
여기에서 상기 산화제는,
공기, 산소, 오존, 과염소산, 과산화수소, 치아염소산, 과망간산 칼륨중 선택된 어느 하나의 것이 사용된다.
여기에서 또한 상기 산화제는,
공기, 산소, 오존, 과염소산, 과산화수소, 치아염소산, 과망간산 칼륨중 선택된 둘 이상의 것이 혼합되어 사용된다.
본 발명의 또 다른 특징은,
섀도우 마스크 제조의 제조 장치중 에칭액의 재생 장치에 있어서,
염화 제일철과 염화 제이철의 혼합액 또는 염화 제일철과 염화 제이철 및 염화 니켈 또는 염화 동의 혼합액이 저장되는 혼합액 저장조와,
산화제가 저장되는 산화제 저장조와,
상기 혼합액 저장조에 저장된 혼합액과 상기 산화제 저장조에 저장된 산화제를 반응시키는 반응조와,
상기 반응조내로 상기 혼합액 저장조의 혼합액을 이동시키는 흡입 펌프와,
상기 반응조내로 상기 산화제 저장조의 산화제를 이동시키는 산화제 정량 펌프와,
상기 반응조 내에서 반응된 혼합액을 상기 혼합액 저장조로 이동시키는 송액펌프와,
상기 혼합액 저장조에 저장된 혼합액이 에칭 챔버의 에칭 노즐을 통해 섀도우 마스크용 금속 시트재를 에칭하도록 상기 에칭 챔버로 혼합액을 분사하는 분사 펌프와,
상기 에칭 챔버에서 상기 에칭 노즐을 통해 분사되고 남은 혼합액을 상기 혼합액 저장조로 회수하는 리턴 펌프로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
여기에서 상기 반응조 내로 상기 산화제를 투입시 분산력을 증대시키기 위하여 노즐이 사용된다.
여기에서 또한 상기 노즐은,
일류체 노즐, 이류체 노즐중 선택된 어느 하나의 것이 사용된다.
여기에서 또 상기 반응조 내에는,
산화제와 혼합액의 반응 효율을 높이기 위해 교반기 및 순환 펌프가 더 설치된다.
여기에서 또 상기 반응조 내에는,
일정 시간 이상의 반응 시간을 유지하기 위하여 격벽이 더 형성된다.
본 발명의 또 다른 특징은,
섀도우 마스크 제조의 제조 장치중 에칭액의 재생 장치에 있어서,
염화 제일철과 염화 제이철의 혼합액 또는 염화 제일철과 염화 제이철 및 염화 니켈 또는 염화 동의 혼합액이 저장되는 혼합액 저장조와,
산화제가 저장되는 산화제 저장조와,
상기 혼합액 저장조에 저장된 혼합액을 배관을 통해 자체 순환시키는 순환 펌프와,
상기 배관으로 상기 산화제를 공급하는 산화제 정량 펌프로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 의한 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 장치의 구성을 도 1을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 1을 참조하면 본 발명에 따른 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 장치(100)는, 혼합액 저장조(110)와, 산화제 저장조(120)와, 반응조(130)와, 흡입 펌프(140)와, 산화제 정량 펌프(150)와, 송액 펌프(160)와, 분사 펌프(170)와, 리턴 펌프(180)로 구성된다.
혼합액 저장조(110)는 염화 제일철과 염화 제이철의 혼합액 또는 염화 제일철과 염화 제이철 및 염화 니켈 또는 염화 동의 혼합액을 저장하고, 산화제 저장조(120)는 산화제가 저장한다.
반응조(130)는 혼합액 저장조(110)에 저장된 혼합액과 산화제 저장조(120)에 저장된 산화제를 반응시키며, 흡입 펌프(140)는 반응조(130)내로 혼합액 저장조(110)의 혼합액을 이동시킨다. 여기에서 반응조(130) 내로 산화제를 투입시 분산력을 증대시키기 위하여 노즐(131)이 사용되며, 노즐(131)은 일류체 노즐 또는 이류체 노즐 등이 사용된다. 여기에서 또한 반응조(130) 내에는 산화제와 혼합액의반응 효율을 높이기 위해 교반기(133) 및 순환 펌프(135)가 더 설치된다. 여기에서 또 반응조(130) 내에는 일정 시간 이상의 반응 시간을 유지하기 위하여 격벽(137)이 더 형성된다.
산화제 정량 펌프(150)는 반응조(130)내로 산화제 저장조(120)의 산화제를 이동시키고, 송액 펌프(160)는 반응조(130) 내에서 반응된 혼합액을 혼합액 저장조(110)로 이동시킨다.
분사 펌프(170)는 혼합액 저장조(110)에 저장된 혼합액이 에칭 챔버(190)의 에칭 노즐(191)을 통해 섀도우 마스크용 금속 시트재를 에칭하도록 에칭 챔버(190)로 혼합액을 분사하고, 리턴 펌프(180)는 에칭 챔버(190)에서 에칭 노즐(191)을 통해 분사되고 남은 혼합액을 혼합액 저장조(110)로 회수한다.
도 2는 본 발명에 따른 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 장치의 다른 실시예의 구성을 나타낸 구성도이다.
한편 도 2에 도시된 바와 같이 본원 발명의 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 장치(200)는 염화 제일철과 염화 제이철의 혼합액 또는 염화 제일철과 염화 제이철 및 염화 니켈 또는 염화 동의 혼합액이 저장되는 혼합액 저장조(210)와, 산화제가 저장되는 산화제 저장조(220)와, 혼합액 저장조(210)에 저장된 혼합액을 배관(230)을 통해 자체 순환시키는 순환 펌프(240)와, 배관(230)으로 산화제를 공급하는 산화제 정량 펌프(250)만으로도 구성이 가능하다.
이하 본 발명에 따른 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 방법을 도 3을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명에 따른 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 방법을 설명하기 위한 공정도이다.
도 3을 참조하면, 먼저 리드 프레임 또는 섀도우 마스크용 금속 시트재의 식각에 사용된 염화 제일철의 농도가 5~15%, 염화 제이철의 농도가 25~50%로 혼합된 혼합액 또는 염화 제일철의 농도가 5~25%, 염화 제이철의 농도가 20~45%, 염화 니켈 또는 염화 동의 농도가 0.3~5%(3,000~50,000ppm)로 혼합된 혼합액을 40~100℃로 유지한 상태에서 혼합액 저장조(110)에 저장된 혼합액의 일부분을 흡입 펌프(140)로 흡입하여 반응조(130)에 채운다(S1).
이와 동시에 산화제 저장조(120)에 있는 산화제를 산화제 정량 펌프(150)를 이용하여 노즐(131)을 통하여 반응조(130) 내로 투입하여, 혼합액과 산화제를 산화 반응시켜 염화 제일철의 일부분을 염화 제이철로 산화시켜 에칭 공정의 라인 조건에 맞는 염화 제일철과 염화 제이철의 혼합비로 만든다(S2). 이때 반응을 완전히 시키기 위해서 교반기(133)로 교반시키고, 순환 펌프(135)를 이용하여 자체 순환시킨다. 이러한 산화 과정을 거친 일부의 혼합액은 섀도우 마스크 제조의 에칭 공정에 사용된 혼합액과 비교하면 염화 제일철과 염화 제이철의 혼합비에 있어서, 염화 제이철의 농도가 더 높게 나타나게 된다.
반응조(130)에서 산화 반응된 혼합액을 송액 펌프(160)를 통하여 반응조(130)에서 섀도우 마스크 제조의 에칭 공정을 거친 염화 제일철과 염화 제이철의 혼합액 또는 염화 제일철과 염화 제이철 및 염화 니켈 또는 염화 동의 혼합액이 저장된 혼합액 저장조(110)로 보내어 혼합시킨다(S3).
그리하여 혼합액의 혼합비가 섀도우 마스크 제조의 에칭 공정에 맞는 부식력을 가지게 되면, 분사 펌프(170)를 이용하여 섀도우 마스크용 금속 시트재를 에칭하게 된다(S4).
그런 후 에칭액을 리턴 펌프(1800)를 이용하여 회수해서 혼합액 저장조(110)에 저장시킨다(S5). 상기의 과정들이 계속 순환되면 혼합비를 맞추기 위해 다량의 염화 제이철이 사용되던 과정들이 없어지고 소량의 염화 제이철만 사용된다. 또한 산화제 저장조(120)에서 반응조(130)로 산화제를 투입할 때, 반응조(130) 투입구의 끝부분에 노즐(131)을 사용하여 분산력을 높였고, 완전한 반응을 위해 반응조(130) 내부를 격벽(137)을 통해 이등분하여 반응 시간을 증가시켰다.
한편 산화제로는 공기, 산소, 오존인 기체와, 과염소산, 과산화수소, 치아염소산인 액체와, 과망간산 칼륨인 고체가 사용된다.
공기, 산소를 산화제로 사용할 경우 아래의 표 1과 같이 반응 효율이 낮았으나, 오존이나 과산화수소를 사용할 경우 아래의 표 2와 같이 반응 효율이 높게 나타났다. 그 외에 과염소산이나 과망간산 칼륨을 산화제로 사용할 경우에는 오존이나 과산화수소를 사용한 경우보다 낮은 효율을 보였다.
공기 및 산소의 유량에 따른 반응 효율
투입유량(ℓ/min)구 분 50 100 300 500 700
공기 효율(%) × 0.05 0.2 0.22 0.25
산소 효율(%) 0.12 0.15 0.38 0.40 0.42
오존 및 과산화수소의 유량에 따른 반응 효율
투입유량(ℓ/min)구 분 0.2 0.5 1.0 3.0 5.0
오존 효율(%) 90 85 60 30 15
과산화수소효율(%) 88 90 70 40 30
또한 액체 산화제에 있어서, 농도가 높을 경우 반응 효율이 아래의 표 3과 같이 낮게 나타난다.
투입하려는 과한화수소 농도와 반응 효율(투입량 일정)
투입농도(%)구 분 10 28 35 50
과산화수소효율(%) 80 40 38 25
또 과염소산, 치아염소산인 액체와, 과망간산 칼륨인 고체 산화제가 사용될 경우 아래의 표 4와 같이 나타난다.
과염소산와, 치아염소산 및 과망간산 칼륨의 반응 효율
투입유량(ℓ/min)구 분 0.2 0.5 1.0 3.0 5.0
과염소산 효율(%) 70 65 65 40 30
치아염소산효율(%) 60 55 55 30 10
투입유량(ℓ/min)구 분 5 50 100 500 1000
광망간산칼륨효율(%) 90 50 50 20 15
한편 앰화철액의 온도에 따른 반응 효율은 아래의 표 5와 같이 나타나고, 염화철액의 농도에 따른 반응 효율은 표 6과 같이 나타낸다.
염화철온도(℃)구 분 40 50 60 90 100
공기 및 산소(%) 0.20 0.30 0.35 0.40 0.50
과산화수소(%) 15 30 40 45 50
과염소산(%) 20 25 30 35 40
염화철액농도(℃)구 분 20 30 40 50 60
공기 및 산소(%) 0.20 0.20 0.30 0.40 0.45
과산화수소(%) 20 30 50 50 55
따라서 염화 제일철과 염화 제이철이 혼합된 혼합액 또는 염화 제일철과 염화 제이철과 염화 니켈 또는 염화 동이 혼합된 혼합액의 염화 제일철과 염화 제이철의 혼합비가 섀도우 마스크 제조 공정중 에칭 공정에 적합하도록 하나의 시스템에서 연속적으로 염화 제일철과 염화 제이철이 혼합된 혼합액 또는 염화 제일철과 염화 제이철과 염화 니켈 또는 염화 동이 혼합된 혼합액에 산화제를 투입한 후 염화 제일철의 일부만 염화 제이철이 되도록 반응시켜 혼합액을 에칭액으로 재생할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 방법 및 그 장치에 의하면, 하나의 시스템에서 연속적으로 염화 제일철과 염화 제이철이 혼합된 혼합액 또는 염화 제일철과 염화 제이철과 염화 니켈 또는 염화 동이 혼합된 혼합액에 산화제를 투입한 후 염화 제일철의 일부만 염화 제이철이 되도록 반응시켜 혼합액을 에칭액으로 재생하도록 함으로써 에칭액의 수송 문제가 없어지며, 산화제만 사용되므로 완전 반응에 의해 부유물 및 이물, 기타 부반응에의한 환경 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다.

Claims (10)

  1. 섀도우 마스크 제조의 제조 공정중 에칭액의 재생 공정에 있어서,
    염화 제일철의 농도가 5~15%, 염화 제이철의 농도가 25~50%로 혼합된 혼합액을 40~100℃로 유지한 상태에서 상기 혼합액을 반응조로 이동시키는 단계와,
    상기 반응조내에 산화제 저장조 내에 저장된 산화제를 상기 반응조로 투입시킨 후 교반기를 통해 교반함과 동시에 순환펌프를 이용하여 자체 순환시켜 상기 혼합액과 상기 산화제를 완전히 산화 반응시켜 염화 제일철중 일부를 염화 제이철로 산화시키는 단계와,
    상기 단계에서 산화 반응된 혼합액을 섀도우 마스크 제조의 에칭 공정을 거친 염화 제일철과 염화 제이철의 혼합액이 저장된 저장조에 투입하여 이들을 혼합하는 단계와,
    이들 혼합액의 혼합비를 확인하여 섀도우 마스크 제조의 에칭 공정에 맞는 부식력을 가지게 되면 분사 펌프를 이용하여 섀도우 마스크용 금속 시트재를 에칭하는 단계와,
    에칭에 사용된 에칭액을 회수하여 혼합액이 저장된 저장조에 저장하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 방법.
  2. 섀도우 마스크 제조의 제조 공정중 에칭액의 재생 공정에 있어서,
    염화 제일철의 농도가 5~25%, 염화 제이철의 농도가 20~45%, 염화 니켈 또는염화 동의 농도가 0.3~5%(3,000~50,000ppm)로 혼합된 혼합액을 40~100℃로 유지한 상태에서 상기 혼합액을 반응조로 이동시키는 단계와,
    상기 반응조내에 산화제 저장조 내에 저장된 산화제를 상기 반응조로 투입시킨 후 교반기를 통해 교반함과 동시에 순환펌프를 이용하여 자체 순환시켜 상기 혼합액과 상기 산화제를 완전히 산화 반응시켜 염화 제일철중 일부를 염화 제이철로 산화시키는 단계와,
    상기 단계에서 산화 반응된 혼합액을 섀도우 마스크 제조의 에칭 공정을 거친 염화 제일철과 염화 제이철의 혼합액이 저장된 저장조에 투입하여 이들을 혼합하는 단계와,
    이들 혼합액의 혼합비를 확인하여 섀도우 마스크 제조의 에칭 공정에 맞는 부식력을 가지게 되면 분사 펌프를 이용하여 섀도우 마스크용 금속 시트재를 에칭하는 단계와,
    에칭에 사용된 에칭액을 회수하여 혼합액이 저장된 저장조에 저장하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 산화제는,
    공기, 산소, 오존, 과염소산, 과산화수소, 치아염소산, 과망간산 칼륨중 선택된 어느 하나의 것이 사용되는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 방법.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 산화제는,
    공기, 산소, 오존, 과염소산, 과산화수소, 치아염소산, 과망간산 칼륨중 선택된 둘 이상의 것이 혼합되어 사용되는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 방법.
  5. 섀도우 마스크 제조의 제조 장치중 에칭액의 재생 장치에 있어서,
    염화 제일철과 염화 제이철의 혼합액 또는 염화 제일철과 염화 제이철 및 염화 니켈 또는 염화 동의 혼합액이 저장되는 혼합액 저장조와,
    산화제가 저장된 산화제 저장조와,
    상기 혼합액 저장조에 저장된 혼합액과 상기 산화제 저장조에 저장된 산화제를 반응시키는 반응조와,
    상기 반응조내로 상기 혼합액 저장조의 혼합액을 이동시키는 흡입 펌프와,
    상기 반응조내로 상기 산화제 저장조의 산화제를 이동시키는 산화제 정량 펌프와,
    상기 반응조 내에서 반응된 혼합액을 상기 혼합액 저장조로 이동시키는 송액 펌프와,
    상기 혼합액 저장조에 저장된 혼합액이 에칭 챔버의 에칭 노즐을 통해 섀도우 마스크용 금속 시트재를 에칭하도록 상기 에칭 챔버로 혼합액을 분사하는 분사 펌프와,
    상기 에칭 챔버에서 상기 에칭 노즐을 통해 분사되고 남은 혼합액을 상기 혼합액 저장조로 회수하는 리턴 펌프로 이루어지는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 반응조 내로 상기 산화제를 투입시 분산력을 증대시키기 위하여 노즐이 사용되는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 노즐은,
    일류체 노즐, 이류체 노즐중 선택된 어느 하나의 것이 사용되는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 반응조 내에는,
    산화제와 혼합액의 반응 효율을 높이기 위해 교반기 및 순환 펌프가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 장치.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 반응조 내에는,
    일정 시간 이상의 반응 시간을 유지하기 위하여 격벽이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 장치.
  10. 섀도우 마스크 제조의 제조 장치중 에칭액의 재생 장치에 있어서,
    염화 제일철과 염화 제이철의 혼합액 또는 염화 제일철과 염화 제이철 및 염화 니켈 또는 염화 동의 혼합액이 저장되는 혼합액 저장조와,
    산화제가 저장되는 산화제 저장조와,
    상기 혼합액 저장조에 저장된 혼합액을 배관을 통해 자체 순환시키는 순환 펌프와,
    상기 배관으로 상기 산화제를 공급하는 산화제 정량 펌프로 이루어지는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크 제조용 에칭액의 재생 장치.
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