KR100448510B1 - 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치 - Google Patents

반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치에 관한 것으로, 소자 이송장치의 픽커로봇이 반도체 소자를 픽업하여 이송하는 동작을 수행할 때 진동 및 소음 발생이 최소화될 수 있도록 한 것이다.
이를 위해 본 발명은, 핸들러에 수평하게 설치된 베이스면에 전후 또는 좌우 방향으로 서로 대향되어 나란하게 설치된 한 쌍의 제 1,2안내부재와, 양단이 상기 제 1,2안내부재를 따라 이동가능하도록 결합된 교량형태의 이동프레임과, 상기 이동프레임을 따라 수평하게 이동가능하도록 되어 반도체 소자를 픽업하는 픽커로봇과, 상기 이동프레임을 안내부재를 따라 이동시키기 위한 구동수단을 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치를 제공한다.

Description

반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치{Apparatus for transmitting semiconductors in semiconductor test handler}
본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러에서 반도체 소자를 픽업하여 한 위치에서 다른 위치로 이송하여 주는 장치에 관한 것으로, 특히 핸들러 상에서 반도체 소자를 픽업하여 구동수단에 의해 전후 및 좌우로 수평으로 이동하며 반도체 소자를 핸들러 상의 원하는 위치로 이송하여 주는 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 생산라인에서 생산 완료된 반도체 소자들은 출하전에 양품인지 혹은 불량품인지의 여부를 판별하기 위한 테스트를 거치게 된다.
핸들러는 이러한 반도체 소자들을 테스트하는데 이용되는 장비로서, 트레이에 담겨진 반도체 소자를 소자 이송장치로써 공정간에 자동으로 이송시키면서 테스트사이트의 테스트소켓에 이들을 장착하여 원하는 테스트를 실시한 후 테스트 결과에 따라 여러 등급으로 분류하여 다시 트레이에 언로딩하는 과정을 순차적으로 반복 수행하며 테스트를 실행하도록 된 장비이다.
전술한 바와 같이, 상기와 같은 반도체 소자 테스트 핸들러에는 반도체 소자들을 픽업하여 핸들러 본체의 한 위치에서 다른 위치로 이송하여 주는 소자 이송장치들이 구비되는 바, 통상적으로 종래의 소자 이송장치는 핸들러 본체의 베이스면 상측에 좌우 또는 전후 방향(X 또는 Y방향)으로 한 쌍의 고정프레임을 교량(橋梁)형태로 설치하고, 반도체 소자를 픽업하는 픽커로봇이 수평 이동가능하게 설치된 이동프레임의 양단을 상기 각 고정프레임에 수평 이동가능하게 설치하여, 상기 픽커로봇이 핸들러의 베이스면 상측에서 X-Y방향으로 수평하게 이동하며 반도체 소자를 원하는 위치로 이동시키도록 구성된다.
그런데, 상기와 같은 종래의 소자 이송장치들은 베이스면 상측에 교량형태로 설치되어 있는 고정프레임에 대해 이동프레임을 수평하게 이동시킴으로써 픽커로봇을 좌우 또는 전후의 어느 한 방향으로 이동시킬 수 있도록 구성되어 있기 때문에, 이동프레임을 이동시키는 도중 고정프레임에 진동 및 소음이 많이 발생하게 되는 문제점이 있으며, 이에 따라 이동프레임을 구동시키는 구동요소 및 주변 장치의 수명과 정밀도를 저하시키게 된다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 소자 이송장치의 픽커로봇이 반도체 소자를 픽업하여 이송하는 동작을 수행할 때 진동 및 소음 발생이 최소화될 수 있도록 한 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치를 제공함에 그 목적이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 소자 이송장치가 설치된 핸들러의 사시도
도 2는 도 1의 소자 이송장치의 구성을 상세히 나타내기 위해 핸들러의 베이스면을 제거하여 나타낸 사시도
도 3은 도 2의 소자 이송장치를 다른 각도에서 본 사시도
도 4는 도 1의 소자 이송장치의 일부분을 확대하여 나타낸 사시도
도 5는 도 1의 소자 이송장치의 다른 일부분을 확대하여 나타낸 사시도
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
1 : 베이스면 100 : 소자 이송장치
101, 102 : 제 1,2엘엠가이드 103 : 서보모터
107 : 구동풀리 109, 110 : 제 1,2동력전달풀리
111 : 동력전달벨트 112, 113 : 제 1,2종동풀리
114 : 제 1벨트 116, 117 : 제 3,4종동풀리
118 : 제 2벨트 120 : 이동프레임
121 : 픽커로봇
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 핸들러에 수평하게 설치된 베이스면에 전후 또는 좌우 방향으로 서로 대향되어 나란하게 설치된 한 쌍의 제 1,2안내부재와, 양단이 상기 제 1,2안내부재를 따라 이동가능하도록 결합된 교량형태의 이동프레임과, 상기 이동프레임을 따라 수평하게 이동가능하도록 되어 반도체 소자를 픽업하는 픽커로봇과, 상기 이동프레임을 안내부재를 따라 이동시키기 위한 구동수단을 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치를 제공한다.
본 발명의 한 형태에 따르면, 상기 구동수단은, 제 1안내부재의 일단이 위치한 베이스면 하부에 회전가능하게 설치된 제 1회전축과, 상기 제 2회전축에 결합되어 함께 회동하게 되는 구동풀리와 제 1동력전달풀리 및 제 1종동풀리와, 상기 구동풀리를 회동시키는 전동모터와, 상기 제 1안내부재의 타단에 회동가능하게 설치된 제 2종동풀리와, 상기 제 1종동풀리와 제 2종동풀리에 걸쳐져 결합된 제 1벨트와, 일단이 상기 제 1벨트에 결합되고 타단이 이동프레임의 일단부에 결합된 제 1연결부재와, 상기 제 2안내부재의 일단에 회전가능하게 설치된 제 2회전축과, 상기 제 2회전축에 결합되어 함께 회동하게 되는 제 2동력전달풀리 및 제 3종동풀리와, 상기 제 2안내부재의 타단에 회전가능하게 설치된 제 4종동풀리와, 상기 제 1동력전달풀리와 제 2동력전달풀리에 걸쳐져 결합된 동력전달벨트와, 상기 제 3종동풀리와 제 4종동풀리에 걸쳐져 결합된 제 2벨트 및, 일단이 상기 제 2벨트에 결합되고 타단이 이동프레임의 타단부에 결합된 제 2연결부재를 포함하여 구성된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 소자 이송장치가 설치된 핸들러의 구성을 나타내고, 도 2 내지 도 5는 본 발명의 소자 이송장치의 구성을 상세히 나타낸 것으로, 도 1 내지 도 5에 도시된 것과 같이, 소자 이송장치(100)는 핸들러의 베이스면(1) 전방에 좌우방향으로 나란하게 한 쌍의 제 1엘엠가이드(101)(LM Guide) 및 제 2엘엠가이드(102)가 설치되고, 상기 제 1,2엘엠가이드(101, 102)를 따라 이동하는각 엘엠블럭(101a, 102a)에 고정블럭(101b, 102b)이 설치되며, 이들 각 고정블럭(101b, 102b)에 교량(橋梁)형태의 이동프레임(120)의 양단부가 고정되게 결합되고, 이 이동프레임(120)에 반도체 소자를 픽업하는 픽커로봇(121)이 수평 이동가능하게 설치되어 구성된다.
그리고, 상기 베이스면(1)의 하부에는 상기 이동프레임(120)을 제 1,2엘엠가이드(101, 102)를 따라 수평하게 이동시키기 위한 구동수단이 설치되는 바, 제 1엘엠가이드(101)의 일단부가 위치한 베이스면(1)에 서보모터(103)가 설치되고, 그 인근에는 제 1회전축(106)이 회전가능하게 설치된 브라켓(105)이 설치되며, 상기 제 1회전축(106)의 하단부에는 상기 서보모터(103)의 구동축(104)과 벨트(108)에 의해 결합되어 회동하게 되는 구동풀리(107)가 고정되게 결합된다. 상기 제 1회전축(106)의 구동풀리(107) 위쪽에는 제 1종동풀리(112)와 제 1동력전달풀리(109)가 차례로 설치되어 구동풀리(107)의 회전에 의해 함께 회전하게 된다.
상기 제 1엘엠가이드(101)의 다른 한 끝단부 위치에는 제 2종동풀리(113)가 회전가능하게 설치되고, 상기 제 1종동풀리(112)와 제 2종동풀리(113)에 제 1벨트(114)가 걸쳐져 결합된다.
그리고, 상기 제 2엘엠가이드(102)의 한쪽 끝단부 위치에는 제 2회전축(미도시)이 회전가능하게 설치된 브라켓(115)이 설치되고, 상기 제 2회전축(미도시)의 하단부와 상단부 각각에는 제 2동력전달풀리(110) 및 제 3종동풀리(116)가 결합되어 함께 회전하도록 되어 있으며, 상기 제 2엘엠가이드(102)의 타단부에는 제 4종동풀리(117)가 회전가능하게 설치된다.
상기 제 1동력전달풀리(109)와 제 2동력전달풀리(110)에 동력전달벨트(111)가 걸쳐져 결합되고, 상기 제 3종동풀리(116)와 제 4종동풀리(117)에 제 2벨트(118)가 걸쳐져 결합된다.
그리고, 상기 베이스면(1)에는 상기 제 1,2엘엠가이드(101, 102)의 각 일 측면부를 따라서 절개홈(미도시)이 형성되는바, 상기 제 1벨트(114)의 일편에는 제 1연결부재(114a)의 일단부가 고정되게 결합되고, 상기 제 1연결부재(114a)의 타단부는 제 1엘엠가이드(101) 일측을 따라 형성된 절개홈(미도시)을 통해 엘엠블럭(101a)에 고정된 고정블럭(101b)의 일편에 고정되게 결합된다. 마찬가지로, 상기 제 2벨트(118)의 일편에도 제 2연결부재(118a)의 일단이 고정되고, 제 2연결부재(118a)의 타단부는 제 2엘엠가이드(102)의 절개홈(미도시)을 통해 엘엠블럭(102a)에 고정된 고정블럭(102b)의 일편에 고정되게 결합된다.
미설명부호 119는 동력전달벨트(111)의 장력을 유지시켜주기 위한 텐셔너(tensioner)이다.
한편, 상기 이동프레임(120)에는 픽커로봇(121)의 이동을 가능하게 위하여 이동프레임(120)을 따라 엘엠가이드(128)가 설치되고, 이 엘엠가이드(128)의 엘엠블럭(미도시)에 픽커로봇(121)이 고정되게 결합된다. 또한, 이동프레임(120)의 일단부에는 서보모터(122)에 의해 회동하게 되는 구동풀리(123)와 이 구동풀리(123)에 결합된 회전축(124) 및 이 회전축(124)의 하단에 결합된 종동풀리(125)가 설치되며, 이동프레임(120)의 타단부에는 상기 종동풀리(125)와 벨트(127)를 매개로 결합되어 회동하는 다른 종동풀리(126)가 설치된다.
그리고, 상기 벨트(127)의 일편은 연결부재(미도시)를 매개로 상기 픽커로봇(121)의 일측과 결합된다.
따라서, 상기 서보모터(122)의 작동에 의해 구동풀리(123)가 회동하여 벨트(127)가 구동되면 이 벨트(127)와 연결부재(미도시)를 매개로 결합된 픽커로봇(121)이 엘엠가이드(128)를 따라 수평하게 이동하게 된다.
상기와 같이 구성된 소자 이송장치의 작동은 다음과 같이 이루어진다.
픽커로봇(121)을 핸들러의 좌우방향(X방향)으로 이송하고자 할 경우, 이동프레임(120)을 이동시키기 위한 서보모터(103)가 동작하여 구동풀리(107)를 일방향 회전시키면, 구동풀리(107)과 결합된 제 1회전축(106)이 회전하면서 제 1종동풀리(112)와 제 1동력전달풀리(109)를 회전시킨다.
상기 제 1종동풀리(112)가 회전함에 따라 제 1벨트(114)가 구동하게 되고, 이에 따라 제 1벨트(114)와 제 1연결부재(114a)를 매개로 결합된 고정블럭(101b) 및 엘엠블럭(101a)이 제 1벨트(114)의 운동방향과 일치하는 방향으로 제 1엘엠가이드(101)를 따라 이동하게 된다.
이와 동시에, 상기 제 1동력전달풀리(109)가 회전함에 의해서 동력전달벨트(111) 및 제 2동력전달풀리(110)가 구동하게 되고, 이에 따라 제 2회전축(미도시) 및 이에 결합된 제 3종동풀리(116)가 회전한다.
따라서, 상기 제 3종동풀리(116)의 회전에 의해 제 2벨트(118)가 구동하게 되고, 이 제 2벨트(118)와 제 2연결부재(118a)를 매개로 결합되어 있는 고정블럭(102b) 및 엘엠블럭(102a)이 제 2엘엠가이드(102)를 따라서 이동하게 된다.
이와 같이 상기 엘엠블럭(101a, 102a) 및 고정블럭(101b, 102b)이 제 1,2엘엠가이드(101, 102)를 따라서 이동함에 따라 이동프레임(120)이 수평하게 이동하며 픽커로봇(121)을 좌우방향으로 이동시키게 되고, 이동프레임(120)이 좌우방향으로 이동하여 원하는 지점에 위치하게 되면 서보모터(103)의 작동이 중지되면서 이동프레임(120)은 그 위치에 정지하게 된다.
이어서 픽커로봇(121)을 전후방향으로 이동시킬 경우, 이동프레임(120)에 설치된 서보모터(122)를 동작시켜 구동풀리(123)를 일방향 회전시키면, 구동풀리(123)와 결합된 회전축(124)이 회전하면서 하부의 종동풀리(125)가 함께 회전하게 되고, 이에 따라 벨트(127)가 운동하게 된다.
따라서, 상기 벨트(127)와 결합된 픽커로봇(121)이 벨트(127)의 운동방향과 일치하는 전후방향으로 엘엠가이드(128)를 따라서 수평하게 이동하게 된다.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 픽커로봇이 설치된 이동프레임이 핸들러의 베이스면에 설치된 안내부재를 따라서 수평이동할 수 있게 되므로, 이동프레임의 이동시 진동 및 소음 발생이 적고, 이에 따라 관련 부품의 수명이 늘어남과 더불어 구조물 운동의 정밀도를 향상시킬 수 있게 된다.

Claims (3)

  1. 핸들러에 수평하게 설치된 베이스면에 전후 또는 좌우 방향으로 서로 대향되어 나란하게 설치된 한 쌍의 제 1,2안내부재와;
    양단이 상기 제 1,2안내부재를 따라 이동가능하도록 결합된 교량형태의 이동프레임과;
    상기 이동프레임을 따라 수평하게 이동가능하도록 설치되어 반도체 소자를 픽업하는 픽커로봇과;
    상기 제 1안내부재의 일단이 위치한 베이스면 하부에 회전가능하게 설치된 제 1회전축과;
    상기 제 1회전축에 동축상으로 결합되어 함께 회동하는 구동풀리와 제 1동력전달풀리 및 제 1종동풀리와;
    상기 구동풀리를 회동시키는 전동모터와;
    상기 제 1안내부재의 타단에 회동가능하게 설치된 제 2종동풀리와;
    상기 제 1종동풀리와 제 2종동풀리에 걸쳐져 결합된 제 1벨트와;
    일단이 상기 제 1벨트에 결합되고 타단이 이동프레임의 일단부에 결합된 제 1연결부재와;
    상기 제 2안내부재의 일단에 회전가능하게 설치된 제 2회전축과;
    상기 제 2회전축에 동축상으로 결합되어 함께 회동하는 제 2동력전달풀리 및 제 3종동풀리와;
    상기 제 2안내부재의 타단에 회전가능하게 설치된 제 4종동풀리와;
    상기 제 1동력전달풀리와 제 2동력전달풀리에 걸쳐져 결합된 동력전달벨트와;
    상기 제 3종동풀리와 제 4종동풀리에 걸쳐져 결합된 제 2벨트 및;
    일단이 상기 제 2벨트에 결합되고 타단이 이동프레임의 타단부에 결합된 제 2연결부재를 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서, 상기 제 1,2안내부재는 엘엠가이드 및 이 엘엠가이드를 따라 이동하도록 결합된 엘엠블럭으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 이송장치.
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