KR100447995B1 - Horizontal boat for furnace boat elevator leveling - Google Patents
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Abstract
본 발명은 퍼니스내 보우트 엘리베이터의 레벨링을 위한 수평 보우트를 개시한다. 개시된 본 발명의 퍼니스 보우트 엘리베이터 레벨링용 수평 보우트는, 내부 중앙에 수직 방향으로 관통홀을 구비한 몸체부와, 상기 몸체부의 상단부 및 하단부 각각에 설치된 수평자와, 상기 몸체부내 관통홀 내에 삽입 설치되고 하부에 수평추가 연결된 와이어를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 보우트 엘리베이터 레벨링에 소요되는 시간을 상당히 줄일 수 있으며, 이에 따라, 퍼니스내에서의 공정 진행시 균일도 불량 발생 및 파티클 증가 등의 문제를 해결할 수 있다.The present invention discloses a horizontal boat for leveling a boat elevator in a furnace. The horizontal boat for leveling the furnace boat elevator of the present invention, the body portion having a through hole in the vertical direction in the center of the center, the horizontal portion provided in each of the upper and lower ends of the body portion, and is inserted into the through hole in the body portion It characterized in that it comprises a wire connected to the horizontal portion at the bottom. According to the present invention, it is possible to considerably reduce the time required for the leveling of the boat elevator, thereby solving problems such as the occurrence of poor uniformity and increase of particles during process progress in the furnace.
Description
본 발명은 반도체 제조용 퍼니스장비에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 퍼니스내 보우트 엘리베이터의 수평(leveling)을 맞추기 위한 퍼니스 보우트 엘리베이터 레벨링용 수평 보우트에 관한 것이다.The present invention relates to a furnace equipment for semiconductor manufacturing, and more particularly, to a horizontal boat for leveling a furnace boat elevator for leveling the boat elevator in the furnace.
일반적으로, 반도체소자를 제조하기 위한 퍼니스 공정은 석영(quartz)으로 제작된 보우트(boat)에 다수개의 웨이퍼를 탑재시킨 상태로 이 보우트를 퍼니스내에 장입시켜 진행한다.여기서, 보우트의 높이는 대략 700∼1000mm 정도이며, 페디스탈(pedestal)의 높이까지 감안하면 1000∼1300mm 정도가 된다.이러한 보우트는 통상 보우트 엘리베이터에 삽입된 후, 상기 보우트 엘리베이터를 통해 퍼니스내 임의의 위치에 배치되며, 이러한 상태에서 임의의 온도 및 압력과 적정 파워가 인가되면서 반응가스가 주입되는 것에 의해 퍼니스 공정이 수행된다.한편, P.M 후나 오작동(operation miss) 또는 마그네틱 실(magnetic seal)의 교환으로 보우트 엘리베이터(boat elevator)의 레벨, 즉, 수평이 흔들렸을 경우에는 레벨링을 다시 해주어야 하는데, 이러한 보우트 엘리베이터의 레벨링에는 많은 시간이 소요된다.특히, 보우트는 어느 정도의 높이를 가지고 있으므로, 하단부에서의 미소한 오차는 상단부에서 그 오차가 더욱 커지게 되고, 따라서, 정확한 레벨링 작업을 하지 못했을 경우에는 보우트에 탑재된 웨이퍼들에의 막 증착 균일도 불량 및 파티클 증가 등이 유발됨은 물론, 이러한 막 증착 균일도 불량 및 파티클 증가로 인해 운전(run) 사고 발생 및 기계적인 사고가 발생될 우려가 있다.In general, a furnace process for manufacturing a semiconductor device proceeds by charging the boat into a furnace with a plurality of wafers mounted on a boat made of quartz. Here, the height of the boat is approximately 700 to It is about 1000 mm, and considering the height of the pedestal, it is about 1000 to 1300 mm. Such a boat is usually inserted into the boat elevator and then placed at an arbitrary position in the furnace through the boat elevator, and in this state, The furnace process is carried out by injecting the reaction gas with the appropriate temperature and pressure and the appropriate power applied. On the other hand, the level of the boat elevator after PM or by a malfunction or exchange of magnetic seals. In other words, if the level is shaken, the leveling must be done again. In particular, since the boat has a certain height, a slight error in the lower part becomes larger in the upper part, so that if the leveling operation is not performed correctly, The film deposition uniformity defects on the wafers and the increase of particles are caused, as well as the film deposition uniformity and particles increase, there is a fear that run accidents and mechanical accidents are generated.
따라서, 본 발명은 종래기술의 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 보우트 엘리베이터의 레벨링에 소요되는 시간을 줄일 수 있는 퍼니스 보우트 엘리베이터 레벨링용 수평 보우트를 제공함에 그 목적이 있다.또한, 본 발명은 비교적 용이하게 보우트 엘리베이터의 정확한 레벨링 작업이 이루어지도록 할 수 있는 퍼니스 보우트 엘리베이터 레벨링용 수평 보우트를 제공함에 그 다른 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a horizontal boat for leveling a furnace boat elevator which can reduce the time required for leveling the boat elevator. It is a further object to provide a horizontal boat for leveling a furnace boat elevator that can make the leveling operation of the boat elevator relatively easy.
도 1는 본 발명에 따른 퍼니스 보우트 엘리베이터 레벨링용 수평 보우트의 측면도.1 is a side view of a horizontal boat for elevator boat leveling according to the invention;
도 2a는 본 발명에 따른 퍼니스 보우트 엘리베이터 레벨링용 수평 보우트의 평면도.2a is a plan view of a horizontal boat for leveling a furnace boat elevator according to the invention;
도 2b는 본 발명에 따른 퍼니스 보우트 엘리베이터 레벨링용 수평 보우트의 저면도.2b is a bottom view of a horizontal boat for elevator boat leveling according to the invention;
도 2c는 도 1의 "A" 부분의 확대도.FIG. 2C is an enlarged view of portion “A” of FIG. 1.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10 : 수평 보우트 11 : 관통홀10 horizontal boat 11 through hole
13 : 수평추 15 : 와이어13: horizontal weight 15: wire
17 : 몸체부 19, 21 : 수평자17: body portion 19, 21: horizontal ruler
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 내부 중앙에 수직 방향으로 관통홀을 구비한 몸체부; 상기 몸체부의 상단부 및 하단부 각각에 설치된 수평자; 및 상기 몸체부내 관통홀 내에 삽입 설치되고 하부에 수평추가 연결된 와이어를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 퍼니스 보우트 엘리베이터 레벨링용 수평 보우트를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention, the body portion having a through hole in the vertical direction in the inner center; A horizontal bar installed at each of the upper end and the lower end of the body part; And it is provided in the through-hole in the body portion is provided a horizontal boat for elevator boat leveling, characterized in that it comprises a wire connected to the horizontal portion at the bottom.
여기서, 상기 수평자는 액체 수평자인 것을 특징으로 한다.Here, the level is characterized in that the liquid level.
(실시예)(Example)
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 퍼니스 보우트 엘리베이터 레벨링용 수평 보우트의 를 측면도이고, 도 2a는 본 발명에 따른 퍼니스 보우트 엘리베이터 레벨링용 수평 보우트의 평면도이며, 도 2b는 본 발명에 따른 퍼니스 보우트 엘리베이터 레벨링용 수평 보우트의 저면도이고, 도 2c는 도 1의 "A" 부분의 확대도이다.1 is a side view of a horizontal boat for leveling the furnace boat elevator according to the present invention, Figure 2a is a plan view of a horizontal boat for leveling the furnace boat elevator according to the present invention, Figure 2b is a horizontal view for the furnace boat elevator leveling according to the present invention It is a bottom view of a boat, and FIG. 2C is an enlarged view of the "A" part of FIG.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 퍼니스 보우트 엘리베이터 레벨링용 수평 보우트는 내부 중앙에 수직 방향으로 관통홀(13)을 구비한 몸체부(17)와, 상기 몸체부(17)의 상단부 및 하단부 각각에 설치된 수평자(19, 21)와, 상기 몸체부(17)내의 관통홀(19) 내에 삽입 설치되고 하부에 수평추(13)가 연결된 와이어를 포함하여 구성된다.한편, 상기한 본 발명에 따른 보우트 엘리베이터 레벨링용 수평 보우트(10)는 기본적으로 통상 사용되는 웨이퍼 탑재용 보우트와 유사한 모양을 갖는다.As illustrated, the horizontal boat for leveling the furnace boat elevator according to the present invention has a body portion 17 having a through-hole 13 in the vertical direction at the inner center, and the upper and lower portions of the body portion 17, respectively. And horizontal wires 19 and 21 provided therein and wires inserted into the through-holes 19 in the body portion 17 and connected with horizontal weights 13 at the lower portion thereof. The horizontal boat 10 for boat elevator leveling basically has a shape similar to that of a wafer mounting boat which is commonly used.
여기서, 상기 본 발명의 수평 보우트(10)는, 보다 정확하게는, 몸체부(17)는 직각 형태로 구성되며, 바람직하게, 석영 재질로 제작된다.또한, 상기 수평자(19, 21)로는 바람직하게 액정 수평자를 설치한다.이와 같은 본 발명의 퍼니스 보우트 엘리베이터 레벨링용 수평 보우트(10)는 몸체부 중앙에 관통홀(11)을 구비시킨 후, 이 관통홀(11) 내에 수평추(13)가 연결된 와이어(15)를 삽입 설치함으로써, 바닥의 중심에 상기 수평추(13)를 맞추는 것에 의해 보우트 엘리베이트의 레벨링을 비교적 용이하고 정확하게 할 수 있다. 특히, 레벨링에 소요되는 시간은 종래와 비교해서 현격하게 줄일 수 있다.Here, the horizontal boat 10 of the present invention, more precisely, the body portion 17 is formed in a right angle form, preferably made of a quartz material. Further, the horizontal ruler (19, 21) is preferable The horizontal boat 10 for the furnace boat elevator leveling according to the present invention is provided with a through hole 11 in the center of the body, and then a horizontal weight 13 is formed in the through hole 11. By inserting the connected wire 15, the leveling of the boat elevator can be relatively easy and accurate by aligning the horizontal weight 13 to the center of the floor. In particular, the time required for leveling can be significantly reduced as compared with the prior art.
또한, 도 2a, 도 2b 및 도 2c에 도시된 바와 같이, 본 발명의 보우트 엘리베이터 레벨링용 수평 보우트(10)는 몸체부(17)의 상단부 및 하단부 각각에 수평자 (19, 21)를 설치해 줌으로써, 이러한 수평자(19, 21)를 이용해서 보우트 엘리베이터의 레벨링을 더욱 정확하게 할 수 있다.In addition, as shown in Figures 2a, 2b and 2c, the horizontal boat 10 for the boat elevator leveling of the present invention by providing the horizontal (19, 21) in each of the upper end and the lower end of the body portion 17 By using these levelers 19 and 21, the leveling of the boat elevator can be made more accurate.
한편, 도 2c에 도시된 바와 같이, 본 발명의 보우트 엘리베이터 레벨링용 수평 보우트(10)의 몸체부(17) 하단면에는 다수의 절개부가 형성되어 그 아래쪽에 설치되는 페디스탈 테이블(미도시)과 결합되게 되는데, 모든 LP-CVD 장치의 캡(cap)과 페디스탈 테이블 크기가 같으므로 동일하게 적용시킬 수가 있다.On the other hand, as shown in Figure 2c, the bottom surface of the body portion 17 of the horizontal boat 10 for the boat elevator leveling of the present invention, a plurality of cutouts are formed and installed under the pedestal table (not shown) and All LP-CVD devices have the same cap and pedestal table size, so they can be applied equally.
이상에서와 같이, 본 발명은 퍼니스 보우트 엘리베이터의 레벨링을 위한 별도의 수평 보우트를 제공함으로써, 비교적 정확하면서 신속하게 보우트 엘리베이트어의 레벨링을 행할 수 있다.따라서, 다수개의 웨이퍼가 탑재된 실제 보우트가 본 발명의 보우트 엘리베이터에 의해 퍼니스내에 장입된 상태로 퍼니스 공정이 수행됨에 있어서 막 증착 균일도 불량 및 과도한 파티클 발생은 방지할 수 있으며, 아울러, 장비 운전(run) 사고 발생 및 기계적인 사고가 발생될 염려도 줄일 수 있다.As described above, the present invention provides a separate horizontal boat for leveling the furnace boat elevator, thereby enabling the leveling of the boat elevator to be relatively accurate and quick. Thus, the actual boat mounted with a plurality of wafers can be seen. When the furnace process is carried out in the furnace by the boat elevator of the present invention, film deposition uniformity and excessive particle generation can be prevented, and equipment run (run) and mechanical accidents may occur. Can be reduced.
한편, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.On the other hand, the present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various changes can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the invention claimed in the claims. will be.
Claims (4)
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Publications (2)
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| KR20030090114A KR20030090114A (en) | 2003-11-28 |
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2002
- 2002-05-21 KR KR10-2002-0028109A patent/KR100447995B1/en not_active IP Right Cessation
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Also Published As
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