KR100428489B1 - 이종 접합체 제작에 있어 휨발생 저감 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 열팽창계수가 서로 다른 두개의 이종 접합 대상물들을, 솔더를 사용하여 접합체를 제작하는 방법에 있어, 이 접합체에서 발생하는 휨현상을 효율적으로 방지 또는 저감할 수 있는 방법에 관한 것이다.

이를 위하여 본 발명은, 상기 두개의 이종 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽의 접합 대상물을 고정할 수 있는 복수 개의 고정수단들과 적어도 한개의 고정대를 준비하고, 상기 고정대와 상기 열팽창계수가 작은 쪽의 접합 대상물에는 각각 솔더의 용융점 부근의 온도에서 상호 고정될 수 있는 복수 개의 피고정수단들을 형성하고, 상기 고정대의 열팽창계수는, 상기 두개의 이종 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽의 접합 대상물보다 큰 열팽창계수를 갖는 재료로 선택하여, 이들 상기 이종 접합 대상물들과 상기 고정대를 솔더의 용융점 부근의 온도까지 가열하여, 상기 고정대와 상기 두개의 이종 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽을 상기 복수 개의 고정수단들과 상기 복수 개의 피고정수단들을 사용하여 상호 고정하는 단계들을 포함하여, 이들 상기 두개의 이종 접합 대상물들을 솔더의 용융점 이상의 온도로 가열하여, 상기 두개의 이종 접합 대상물들을 솔더를 사용하여 상호 접합하고 상온까지 냉각시켜 접합체로 제작하는 것을 특징으로 한다.

Description

이종 접합체 제작에 있어 휨발생 저감 방법{Warpness reducing method in bonding process of two different kinds of materials}

본 발명은 열팽창계수가 서로 다른 두개의 이종 접합 대상물들을, 솔더를 사용하여 접합체를 제작하는 방법에 있어, 상기 접합체에서 발생하는 휨현상을 효율적으로 방지 또는 저감할 수 있는 방법에 관한 것이다.

현대산업의 발전에 따라, 소형과 대형을 막론하고, 부품 및 재료분야 산업의곳곳에서 솔더를 사용한 이종 접합체가 널리 사용되고 있으며, 이들 이종 접합체는 이종 접합 대상물들을 솔더의 용융점 이상의 온도에서 솔더를 사용하여 상호 접합한 후, 상온으로 냉각하는 과정에서 이들 이종 대상물들의 열팽창계수의 차이로 인해 이들 접합체에서 발생하는 휨현상은 기초적이면서도, 해결이 어려운 과제중의 하나이다.

특히, 이들 이종 접합체의 응용분야중 구체적인 한가지 예로서는, 반도체 및 평판 디스플레이 산업분야등에서 각종 재료들의 박막 코팅을 실시하기 위해 스퍼터링 공정에서 사용되는 스퍼터링용 타겟의 접합체의 제작을 들 수 있다. 이 스퍼터링용 타겟의 접합체의 제작은, 코팅 재료에 해당하는 타겟과 그 지지판인 백킹 플레이트를 솔더를 사용하여 상호 접합하여 접합체로 제작하게 되며, 백킹 플레이트의 재료로서는 열전도성과 전기전도성이 우수하고, 강도가 높은 구리재질을 일반적으로 사용하는 반면, 타겟의 재료로서는 코팅의 목적에 맞추어 원하는 재료를 선정하게 되어, 일반적으로 타겟의 재료와 백킹 플레이트의 재료는 서로 다른 열팽창계수를 갖게 된다. 그리고 타겟과 백킹 플레이트로 접합체를 제작하였을 때, 이들 재료들간의 열팽창계수의 차이가 클수록 이들로서 제작한 타겟의 접합체에서 휨이 더욱 심하게 발생하며, 특히, 최근에는 TFT LCD 와 같은 평판 디스플레이 산업분야에서 길이 1000 mm 이상의 대형 스퍼터링 타겟의 접합체를 사용하게 됨에 따라, 이들 이종 접합체에서 발생하는 휨현상을 저감하는 것은 부품 및 재료 산업분야의 측면에서 중요한 과제로 되고 있다.

본 발명자들이 주로 연구했던 스퍼터링용 타겟의 접합체를 제작하는 분야를중심으로 종래의 기술을 살펴보면, 일본의 특허공개공보 평성02-122071호에 나타난 바와 같이 도 1 에서는 열팽창계수의 차이가 큰 이종 접합 대상물들의 한 예로서 실리카가 주성분인 타겟(1)과 구리가 주성분인 백킹 플레이트(2)를 사용하고, 인듐을 주성분으로 하는 솔더(3)을 사용하여, 이 솔더(3)의 용융점 이상의 온도에서 상호 접합한 후 이를 냉각하여 접합체로 제작하였을 때, 타겟(1)의 재료인 실리카와 백킹 플레이트(2)의 재료인 구리간의 열팽창계수의 차이에 의해 휨이 심하게 발생한 것을 나타내고 있으며, 이를 교정하기 위해, 도 2 에서는, 이 접합체를 항온기(5) 속에서 상기 솔더(3)의 용융점 바로 아래의 온도로 재가열한 상태로 유지하여, 이 접합체에서 발생한 휨을 일단 제거한 후, 도 3 에서는 교정치구(6)을 사용하여, 휨이 발생하는 방향에 대해 반대방향인 역휨하중을 가한 상태로 유지하면서 상온까지 냉각을 하여 휨을 교정하는 방법을 설명하고 있다.

그러나, 상기 종래기술에서 도 3 에서 보인 바와 같은 방식의 교정치구를 사용하는 경우, 타겟의 지지판인 백킹 플레이트에 국부적으로 불균질한 응력을 가하는 것이 되어, 그 지지판인 백킹 플레이트에 바람직하지 못한 국부적인 변형이 생기는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점에 대해, 열팽창계수가 서로 다른 두개의 이종 접합 대상물들에 있어서, 휨발생을 효율적으로 저감 또는 방지할 수 있고, 또한, 접합체에 바람직하지 못한 변형도 초래하지 않는 이종 접합체의 제조방법을 제공하는 것에 본 발명의 목적이 있다.

이와같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 상기 두개의 이종 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽의 접합 대상물을 고정할 수 있는 복수 개의 고정수단들과 적어도 한개의 고정대를 준비하고, 상기 고정대와 상기 열팽창계수가 작은 쪽의 접합 대상물에는 솔더의 용융점 부근의 온도에서 상호 고정될 수 있는 복수 개의 피고정수단들을 형성하고, 상기 고정대의 열팽창계수는, 상기 두개의 이종 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽의 접합 대상물보다 큰 열팽창계수를 갖는 재료로 선택하여, 이들 상기 이종 접합 대상물들과 상기 고정대를 솔더의 용융점 부근의 온도까지 가열하여, 상기 고정대와 상기 두개의 이종 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽을 상기 복수 개의 고정수단들과 상기 복수 개의 피고정수단들을 사용하여 상호 고정하는 단계들을 포함하여, 이들 상기 두개의 이종 접합 대상물들을 솔더의 용융점 이상의 온도로 가열하여, 상기 두개의 이종 접합 대상물들을 솔더를 사용하여 상호 접합하고 상온까지 냉각시켜 접합체로 제작하는 것을 특징으로 한다.

도 1은 종래기술의 설명에서 휨이 발생한 접합체를 나타낸 단면도

도 2는 종래기술의 설명에서 휨이 발생한 접합체를 재가열하는 방법을 나타낸 단면도

도 3은 종래기술의 설명에서 휨을 교정하기 위한 교정치구를 나타낸 단면도

도 4는 동종 재료들의 접합체에서 휨이 없는 상태를 나타낸 단면도

도 5는 이종 재료들의 접합체에서 휨이 발생한 것을 나타낸 단면도

도 6은 본 발명의 실시예를 나타낸 평면도

도 7은 본 발명의 실시예를 나타낸 단면도

본 발명은 열팽창계수가 서로 다른 두개의 이종 접합 대상물들을 솔더를 사용하여 솔더의 용융점 이상의 온도에서 상호 접합하여 접합체로 제작함에 있어, 상기 두개의 이종 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽의 접합 대상물을 고정할 수 있는 복수 개의 고정수단들과 적어도 한개의 고정대를 준비하고, 상기 고정대와 상기 열팽창계수가 작은 쪽의 접합 대상물에는 각각 솔더의 용융점 부근의 온도에서 상호 고정될 수 있는 복수 개의 피고정수단들을 형성하고, 상기 고정대의 열팽창계수는, 상기 두개의 이종 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽의 접합 대상물보다큰 열팽창계수를 갖는 재료로 선택하여, 이들 상기 이종 접합 대상물들과 상기 고정대를 솔더의 용융점 부근의 온도까지 가열하여, 상기 고정대와 상기 두개의 이종 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽을 상기 복수 개의 고정수단들과 상기 복수 개의 피고정수단들을 사용하여 고정하는 단계들을 포함하여, 이들 상기 두개의 이종 접합 대상물들을 솔더의 용융점 이상의 온도로 가열하여, 이들 상기 두개의 이종 접합 대상물들을 솔더를 사용하여 상호 접합하고, 상온까지 냉각시켜 접합체로 제작하는 것을 특징으로 한다.

상기 고정대에 상기 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽의 접합대상물을 고정하도록 하는 상기 복수 개의 고정수단들로서는 볼트, 나사 또는 클램프등이 적절하며, 상기 고정대 및 상기 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽에 형성되는 복수 개의 피고정수단들은 볼트, 나사 또는 클램프등의 상기 복수 개의 고정수단들을 사용하여 고정이 가능하도록 고정홈 또는 고정용 나사홈을 형성하거나 볼트고정용 헬리코일을 삽입하는 것이 적절하다.

상기와 같이 선택한 상기 복수 개의 고정치구들과 상기 복수 개의 피고정치구들을 사용하여, 솔더의 용융점 부근의 온도에서 상기 고정대에 상기 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽의 접합대상물을 상호 고정하는 단계를 가지고, 이 상호 고정하는 단계를 포함하여 통상의 솔더링 방법으로 상기 이종 접합 대상물들을 솔더의 용융점 이상의 온도로 가열한 상태로 상기 두개의 이종 접합 대상물들을 솔더를 사용하여 상호 접합하고, 이들을 상온으로 냉각시켜 접합체로 제작하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 내용을 도면을 참조하여 상세히 설명하면, 우선, 도 4 에는 동종의 재료로, 예를 들어 모두 구리 재료로 구성한 두개의 접합 대상물들인 (11)과 (12)를 솔더(13)의 용융점 이상으로 가열한 후, 통상의 솔더링 방식으로 상호 접합한 후, 이들을 그대로 상온으로 냉각시킨 접합체의 상태를 보이고 있다. 이 경우에는 두개의 접합 대상물들의 열팽창계수의 차이가 없기 때문에 상온에서도 접합체에 휨이 발생하지는 않는다. 이때, 사용하는 솔더(13)의 재료로서는, 특별히 한정하지는 않으며, 특히, 스퍼터링용 타겟의 접합체를 제작하는 경우에는, 전성 및 연성이 풍부하고, 저융점 솔더 재료인 인듐 또는 인듐을 주성분으로 하는 합금을 사용하는 경우가 많다. 또한, 솔더(13)의 두께에 대해서도 특별히 한정하지는 않으며, 스퍼터링용 타겟인 경우, 0.1 ~ 1 mm 의 두께로 하면 적정하다.

도 5 에는 두개의 접합하려는 대상물들이 서로 다른 열팽창계수를 갖는 경우이며, 다른 접합 조건은 도 4 의 경우와 동일하게 한 경우이며, 열팽창계수의 측면에서 접합 대상물(21)이 접합대상물(22)보다도 더 큰 값을 갖는 경우에 해당한다. 예를 들어, 접합체가 알루미늄 재질의 스퍼터링용 타겟을 접합 대상물(21)로 하고, 구리 재질의 백킹 플레이트를 접합대상물(22)로 하여, 스퍼터링 타겟의 접합체를 제작하는 경우가 좋은 예가 된다. 이때, 알루미늄과 구리의 열팽창계수는, 알루미늄의 경우 대략/℃ 이고, 구리의 경우 대략/℃ 의 값을 갖는다. 이들 접합 대상물들(21)과 (22)를 도 4 의 설명에서와 같이, 솔더(23)의 용융점 이상의 온도에서 통상의 솔더링 공정을 통하여 접합한 후, 상온으로 냉각하면, 이 접합체 전체가 도 5 에서 나타난 방향으로 휘게 된다. 그 휨의 정도는 도 5 에나타난 높이인 h 가 되며, 이는 상온에서 접합체를 정반(24) 위에 올려 놓았을 때, 정반(24)에서부터 접합체의 밑면까지의 최대거리를 의미한다. 본 발명자들의 비교예를 위한 테스트에서는, 알루미늄 재질의 가로 200 mm, 세로 1600 mm, 두께 8 mm 크기의 타겟을 접합 대상물(21)로 하고, 구리 재질의 가로 250 mm, 세로 1650 mm, 두께 10 mm 크기의 백킹 플레이트를 접합 대상물(22)로 하고, 솔더(23)으로서 인듐 금속을 사용하여, 솔더의 두께를 0.5 mm 로 하였을 때, 상온에서의 휨발생량 h 는 약 18 mm 였고, 이렇게 휨이 심하게 발생한 타겟 접합체로는 스퍼터링 장치에의 장착이 불가능하였다.

이에 대해 도 6 과 도 7 에서는 본 발명의 방법을 사용하여, 열팽창계수의 차이가 큰 두개의 접합 대상물들을 접합하는 경우에, 접합체에서의 휨발생량을 저감할 수 있는 방법을 한 실시예로서 나타내고 있다. 여기에서 접합 대상물들 (31)과 (32)는 각각 열팽창계수가 큰 쪽과 작은 쪽을 나타내고 있다. 그리고, 고정대(34)의 재질은 열팽창계수가 작은 쪽인 접합 대상물(32)보다 큰 열팽창계수의 값을 갖는 재질 중에서 선택한다. 본 발명자들에 의한 실시예에서는, 알루미늄 재질의 가로 200 mm, 세로 1600 mm, 두께 8 mm 크기의 타겟재를 접합 대상물(31)로 하고, 구리 재질의 가로 250 mm, 세로 1650 mm, 두께 10 mm 크기의 백킹 플레이트를 접합 대상물(32)로 하고, 고정대(34)는 가로 300 mm, 세로 1700 mm, 두께 30 mm 크기의 알루미늄을 사용하였고, 솔더(33)으로서는 용융점이 약 157℃ 인 인듐 금속을 사용하였다. 또한, 상기 접합 대상물(32)로서 사용한 백킹 플레이트에는 일반적으로 스퍼터링 장치에 스퍼터링 타겟의 접합체를 장착하기 위한 수단으로 복수 개의 볼트용 고정홈들이 이미 형성되어 있고, 이 볼트용 고정홈들을 본 발명의 피고정수단들(35)로 그대로 사용하면 편리하지만, 만일 이러한 피고정수단들이 상기 접합 대상물(32)에 형성되어 있지 않은 경우에는, 본 발명의 적용을 위해 상기 피고정수단들(35)와 피고정수단들(36)을 각각 본 실시예에서 접합 대상물(32)와 고정대(34)에 형성할 필요가 있다. 상기 접합 대상물(32)와 상기 고정대(34)에 각각 형성되는 상기 피고정수단들(35)와 상기 피고정수단들(36)은 상기 접합 대상물(32)와 상기 고정대(34)를 솔더(33)의 용융점 부근의 온도에서, 구체적으로는 솔더(33)의 용융점70℃ 의 온도범위내에서 상호간에 강고하게 고정하였다가 냉각 후에는 쉽게 제거 또는 해체할 수 있는 것이면 충분하고, 예로서는 볼트용 고정홈, 나사홈, 헬리코일을 삽입한 고정홈, 클램프용 고정홈등을 사용할 수 있다. 본 발명의 실시예에서는 고정수단들(37)로서는 직경 6.0 mm 의 나사상의 외주를 갖는 볼트들을 사용하였으나 다른 예들로서는 나사 또는 클램프들을 상기 고정수단들(37)로서 사용할 수 있다. 본 실시예에서는 상기 접합 대상물(32)에는 피고정수단들(35)로서 상기 고정수단들(37)이 삽입될 수 있는 내경 6.5 mm 의 관통형 홈의 형태로 형성하였고, 상기 고정대(34)에는 내경 6.0 mm 의 헬리코일들을 삽입하여 피고정수단들(36)을 형성하였고, 상기 고정수단들(37)을 사용해서 상기 접합대상물(32)를 상기 고정대(34)에 강고하게 상호 고정하였다.

여기에서, 본 발명의 적용을 위해서는, 솔더(33)의 용융점 부근의 온도에서 상기 접합 대상물(32)에 해당하는 백킹 플레이트와 상기 고정대(34)가 상호 강고하게 고정되어야 하고, 상기 접합 대상물(32)에 해당하는 백킹 플레이트와 상기 고정대(34)의 열팽창계수가 다르기 때문에, 예를 들어 솔더(33)의 용융점인 약 157℃ 의 부근인 155℃ 의 온도에서 상기 접합 대상물(32)에 해당하는 백킹 플레이트와 상기 고정대(34)를 상호 고정하는 경우에는, 상기 고정대(34)에 형성되는 피고정수단들(36)인 볼트고정용 헬리코일들의 삽입 중심위치의 간격은, 상온에서 피고정수단들(36)을 형성할 때, 1000 mm 의 길이당 0.96 mm 의 비율로 상기 접합 대상물(32)인 백킹 플레이트에 형성된 피고정수단들(35)의 중심위치들의 간격보다 좁게 하면, 상호 고정하고자 하는 온도인 155℃ 의 온도에서는 상기 접합 대상물(32)에 해당하는 백킹플레이트와 상기 고정대(34)에 각각 형성된 피고정수단들의 고정 중심위치가 상호 일치하게 되어 상호 고정이 가능해진다.

만약, 이렇게 열팽창에 의한 피고정수단들 (35)와 (36)의 상호 고정하는 고정 중심위치의 변동을 감안하지 않으면 솔더(33)의 용융점 부근의 선정온도에서 상기 접합 대상물(32)와 상기 고정대(34)의 상호 고정은 곤란해지고, 따라서, 본 발명의 적용도 곤란하게 되므로, 상온에서 상기 고정대(34)에 형성하는 상기 피고정수단들(36)간의 간격을, 상온에서의 상기 피고정수단들(35)간의 간격에 대해 1000 mm 의 길이당 (상기 접합 대상물(32)와 상기 고정대(34)의 열팽창계수의 차)(고정작업시의 선정온도와 상온인 25℃ 와의 온도차)(1000 mm) 의 비율로 좁게 하여 형성하면 되고, 이는 다른 종류의 접합 대상물들이나 다른 종류의 솔더를 사용하는 경우에도 적용이 가능하다.

이후는 통상의 솔더링 방법대로 이종 접합 대상물들인 알루미늄 재질인 스퍼터링용 타겟과 구리 재질인 백킹플레이트를 인듐의 용융점 이상의 온도인 200℃로가열하여 상호 접합하고, 이들을 그대로 상온까지 냉각시켰다. 이때 상온까지 냉각한 후, 상기 고정수단들(37)을 해체하고, 이 스퍼터링용 타겟 접합체의 휨발생량을 측정한 결과, 휨발생량이 5 mm 로 측정되었고, 이는 종래 방식에 비해 휨발생량이 3분의 1이하의 수준으로 개선된 것이었으며, 국부적인 백킹플레이트의 변형도 없으며, 스퍼터링 장치에 장착하는 작업과 장착후의 스퍼터링 장치에 의한 박막 코팅의 경우에도 문제점이 발생하지 않았다.

본 발명의 실시예에서는 먼저 본 발명의 방법으로 상기 고정대(34)와 상기 이종 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은쪽의 접합 대상물(32)를 고정한 후, 상기 이종 접합 대상물들(31) 과 (32)를 기존의 솔더링 방법으로 접합하여 냉각시켜 이종 접합체를 제작하였지만, 그 작업 순서를 바꾸어 기존의 솔더링 방법으로 상기 이종 접합 대상물들(31) 과 (32)를 먼저 접합한 후 냉각하는 도중에 또는 냉각한 후에도 재가열을 통해, 본 발명의 방법과 같이 상기 고정대(34)와 상기 기접합시킨 접합체 전체를 솔더(33)의 용융점 부근에서 상호 고정하여, 이들을 상온으로 냉각시켜 접합체로 제작한 경우에도 이들 접합체에서 휨발생량을 효과적으로 저감할 수 있다.

본 실시예의 경우와는 다른 종류의 솔더를 사용하는 경우, 그 솔더의 용융점이 실시예의 경우와는 달라지게 되며, 이때는, 상호 고정하고자 하는 상기 솔더의 용융점 부근의 선정온도를 해당 솔더의 용융점120℃ 의 온도범위중에서 선택하면 좋고, 이 온도범위보다 높은 온도를 선정하면 상기 접합대상물(32)와 상기 고정대(34)를 고정하는 작업이 고열로 인해 불편해지고, 상기 접합 대상물(32)와상기 고정대(34)에 변형이 생길 우려가 있으며, 이 온도 범위보다 낮은 온도를 선정하면 접합체에서 발생하는 휨발생을 효과적으로 저감할 수 없다.

상기 고정대(34)의 재질은, 상기 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽의 접합 대상물(32)보다 큰 열팽창계수를 갖는 재질로 선정하면 되고, 그 열팽창계수의 상한치로서는 인듐 솔더의 열팽창계수에 해당하는/℃ 로 하면 본 발명을 효율적으로 적용할 수 있다. 또한, 상기 고정대(34)의 두께는 상기 접합 대상물들(31)과 (32)의 어느 한쪽 보다도 두껍게 하여 충분한 강도를 가지게 하고, 그 두께의 상한치에 대한 특별한 제한은 없으나, 그 상한치를 200 mm 로 설정하면 실제 작업에서의 가열시간이 길어지는 문제등이 없다.

또다른 비교예로서는 상기 실시예와 동일한 방식으로 실시하되, 상기 고정대와 상기 백킹 플레이트의 상호 고정되는 고정중심위치를 솔더의 용융점 부근이 아닌 상온에서 서로 일치하도록 하고, 상온에서 상기 고정대와 상기 백킹 플레이트를 상호 고정한 후, 이후는 상기 실시예와 같은 솔더링 방법을 사용하여 접합체를 제작한 경우, 휨발생량은 10 mm 로 되었다. 이 경우 도 5 에서 설명한 접합체의 제작방법에 비교해서는 휨발생량이 작았으나, 아직도 휨발생량이 큰 이유로 인해 이 타겟의 접합체를 스퍼터링 장치에 장착하는 것은 불가능하였다.

본 발명을 통해, 반도체, 평판 디스플레이 분야, 컴퓨터용 하드 디스크 및 광학식 기록매체등의 제작등에 사용되는 스퍼터링용 타겟의 접합체의 제작과 같은, 열팽창계수가 서로 다른 이종 접합체의 제작시에 발생하는 휨을 효율적으로 저감할수 있게 되었다.

Claims (1)

1. 열팽창계수가 서로 다른 두개의 이종 접합 대상물들을 솔더를 사용하여 접합체를 제작하는 공정에 있어,

   상기 두개의 이종 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽의 접합 대상물을 고정할 수 있는 복수 개의 고정수단들과 적어도 한개의 고정대를 준비하고, 상기 고정대와 상기 열팽창계수가 작은 쪽의 접합 대상물에는 각각 솔더의 용융점 부근의 온도, 구체적으로는 솔더의 용융점120℃ 의 온도범위내에서 상호 고정될 수 있는 복수 개의 피고정수단들을 형성하는 단계,

   상기 복수 개의 고정수단들을 볼트형, 나사형, 클램프형 중 적어도 한 종류에서 선택하는 단계,

   상기 복수 개의 피고정수단들을 볼트고정용 홈, 나사형 홈, 클램프 고정용 홈중 적어도 한 종류에서 선택하는 단계,

   상기 이종 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽의 접합 대상물과 상기 고정대에 각각 형성되어 있는 복수 개의 피고정수단들은 솔더의 용융점 부근의 온도, 구체적으로는 솔더의 용융점120℃ 의 온도범위내에서 상기 복수 개의 고정수단들에 의해 상호 고정될 수 있는 위치로 설정하는 단계,

   상기 고정대는, 상기 두개의 이종 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽의 접합 대상물보다 큰 열팽창계수를 가지며, 그 열팽창계수의 상한치가/℃이하인 재료로 선택하는 단계,

   상기 고정대의 두께는, 상기 두개의 이종 접합 대상물들중 어느 한쪽의 두께와 같거나 그 이상으로 하고, 그 두께의 상한치를 200 mm 이하로 하는 단계,

   상기 이종 접합 대상물들과 상기 고정대를 솔더의 용융점 부근의 온도, 구체적으로는 솔더의 용융점120℃ 의 온도범위내에서 상기 고정대와 상기 두개의 이종 접합 대상물들중 열팽창계수가 작은 쪽의 접합 대상물에 각각 형성되어 있는 상기 복수 개의 피고정수단들을 상기 복수 개의 고정수단들을 사용하여 상호 고정하는 단계,

   상기 단계들을 포함하여 상기 두개의 이종 접합 대상물들을 솔더를 사용하여 상호 접합하고, 상온까지 냉각시켜 접합체로 제작하는 것을 특징으로 하는 이종 접합체의 제작방법.