KR100413031B1 - LCD glass grinding apparatus and grinding method using the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 LCD 유리 연마장치 및 그를 이용한 연마방법에 관한 것으로서, 상면 전체에 소정의 연마패드(112)가 부착되고 회전구동용 모우터(130)에 의해 소정방향으로 회전하는 하부정반(110)과; 하부정반(110) 상에서 별도의 선회 구동용 모우터(240)에 의하여 소정 각도만큼 좌,우 반복 선회 작동됨과 아울러 상기 하부정반(110)과 밀착되어 함께 회전하도록 된 상부정반(210)과; 상부정반(210)의 저면에 부착되며, 구획부(410)에 의하여 대칭으로 형성되어 LCD 유리가 끼어져 배치되는 적어도 2개 이상의 배치부(420)가 형성된 연마홀더(400)(500)와; 하부정반(110)상에 설치된 공급파이프(331)로 연마액을 공급하는 연마액 공급부(300);를 포함한다. 또, 연마방법은, 상부정반(210)의 저면에, 구획부(410)에 의하여 대칭으로 형성된 적어도 2개 이상의 배치부(420)가 형성된 연마홀더(400)를 부착시키는 단계와; 배치부(420)에 LCD 유리를 끼어서 상부정반(210) 상에 위치를 고정하는 단계와; LCD 유리(G)가 상기 연마패드(112)에 밀착되도록 상부정반(210)을 하부정반(110) 상에서 좌,우 반복 선회 작동시키면서 연마액을 하부정반(110)으로 공급하는 단계;를 포함한다.The present invention relates to an LCD glass polishing apparatus and a polishing method using the same, wherein a predetermined polishing pad 112 is attached to an entire upper surface and rotated in a predetermined direction by a motor 130 for rotation driving. ; An upper surface plate 210 which is operated by a separate turning drive motor 240 on the lower surface plate 110 to be rotated left and right by a predetermined angle and in close contact with the lower surface plate 110 to rotate together; An abrasive holder (400) (500) attached to the bottom of the upper surface (210) and having at least two or more placement portions (420) formed symmetrically by the partition portion (410) and sandwiching the LCD glass; It includes; a polishing liquid supply unit 300 for supplying a polishing liquid to the supply pipe 331 installed on the lower surface 110. The polishing method may further include attaching a polishing holder 400 having at least two arrangement portions 420 symmetrically formed by the partition portion 410 to a bottom surface of the upper surface plate 210; Fixing the position on the upper surface plate 210 by sandwiching the LCD glass in the placement unit 420; And supplying the polishing liquid to the lower surface plate 110 while repeatedly operating the upper surface 210 on the lower surface plate 110 so that the LCD glass G adheres to the polishing pad 112. .

Description

LCD 유리 연마장치 및 그를 이용한 LCD 유리 연마방법{LCD glass grinding apparatus and grinding method using the same}LCD glass grinding apparatus and LCD method using the same {LCD glass grinding apparatus and grinding method using the same}

본 발명은 복수개의 LCD 유리를 한꺼번에 연마할 수 있는 연마장치 및 그를 이용한 LCD 연마방법에 관한 것이다.The present invention relates to a polishing apparatus capable of polishing a plurality of LCD glasses at once and an LCD polishing method using the same.

LCD(Liquid Crystal Display)는 기존의 CRT 모니터를 대체하는 차세대 제품으로 컴퓨터, 모니터, TV 등 다양한 분야에서 사용되고 있다. 이러한 LCD 는 2장의 얇은 유리 사이에 액정을 주입한 후 투명성 전도성 회로에 전류를 가하면 문자 또는 그림이 디스플레이 된다.Liquid Crystal Display (LCD) is the next generation product that replaces existing CRT monitors and is used in various fields such as computers, monitors, and TVs. These LCDs inject liquid crystals between two thin glasses and then apply a current to a transparent conductive circuit to display text or pictures.

LCD 를 제조하기 위한 유리는 0.4mm - 1.1mm 정도의 두께를 가진 것을 주로 사용하는데, 정확한 디스플레이를 하기 위하여 그 평탄도가 매우 중요하다. 따라서, LCD 유리는 소정의 연마 공정이 필수적이다. 통상의 LCD 유리의 경우, 최종 가공 후의 평탄도가 300Å/20mm 이하를 유지하여야 한다. 이러한 LCD 유리의 연마는, 1 매의 LCD 유리를 소정의 연마패드가 부착되어 회전하는 연마장치의 하부정반 상에서 좌우로 선회 왕복됨으로써 이루어진다.Glass for manufacturing LCD is mainly used with a thickness of 0.4mm-1.1mm, the flatness is very important for accurate display. Therefore, a predetermined polishing process is essential for LCD glass. In the case of ordinary LCD glass, the flatness after final processing should be maintained at 300 mm / 20 mm or less. The polishing of such LCD glass is achieved by turning one LCD glass back and forth on a lower surface plate of a polishing apparatus to which a predetermined polishing pad is attached and rotating.

한편, LCD 유리를 연마공정에서 계속적인 연마액의 공급이 이루어져야 하기 때문에, 일단 연마공정에서 사용된 연마액은 단순히 회수하여 재사용한다.On the other hand, since the polishing glass must be supplied continuously in the polishing process, the polishing liquid once used in the polishing process is simply recovered and reused.

그런데, LCD 유리의 연마는 1 매 단위로 이루어지기 때문에, 많은 수의 LCD 유리를 연마하기 위하여 그만큼 많은 수의 연마장치가 필요하였다. 그러나, 연마장치는 매우 고가이므로, LCD 유리의 연마 단가가 높아지고, 한 장 한 장씩 연마를 하기 때문에 생산효율이 매우 낮다는 문제점이 있었다.However, since the polishing of the LCD glass is made in one unit, a large number of polishing apparatuses are required to polish a large number of LCD glasses. However, since the polishing apparatus is very expensive, the polishing cost of the LCD glass is high, and there is a problem in that the production efficiency is very low because polishing is performed one by one.

또, LCD 유리를 연마하는 공정에서 다시 회수된 연마액에는 유리가루나 미세한 파편이 포함되어 있으므로, 이러한 유리가루나 파편에 의하여 LCD 유리가 손상되는 경우가 있었다.In addition, since the polishing liquid recovered in the process of polishing the LCD glass contains glass powder or fine fragments, the glass powder or fragments may damage the LCD glass.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, LCD 유리 연마장치에 적용하여 한번에 복수개의 LCD 유리를 연마할 수 있도록 하는 LCD 유리 연마홀더 및 그를 이용한 LCD 유리 연마방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide an LCD glass polishing holder and a method for polishing the LCD glass using the same to apply to the LCD glass polishing apparatus to polish a plurality of LCD glass at a time. do.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은, 연속적인 연마가 가능할 수 있도록 연마액과 세정액을 선택적으로 적절히 공급할 수 있는 LCD 유리 연마장치 및 그를 이용한 LCD 유리 연마방법을 제공하는 것이다.Further, another object of the present invention is to provide an LCD glass polishing apparatus capable of selectively appropriately supplying a polishing liquid and a cleaning liquid to enable continuous polishing, and an LCD glass polishing method using the same.

도 1은 본 발명에 따른 LCD 유리 연마장치의 절개 사시도,1 is a cutaway perspective view of an LCD glass polishing apparatus according to the present invention;

도 2는 도 1의 LCD 유리 연마장치의 구동 메커니즘을 도시한 부분 단면도,2 is a partial cross-sectional view showing a driving mechanism of the LCD glass polishing device of FIG. 1;

도 3은 도 1의 LCD 유리 연마장치에 있어서, 상부정반이 상하 선회되는 동작을 개략적으로 도시한 측면도.Figure 3 is a side view schematically showing the operation of the upper surface is turned up and down in the LCD glass polishing apparatus of Figure 1;

도 4는 도 1의 상부정반에 연마홀더의 일 실시예 및 LCD 유리가 부착 고정된 상태를 도시한 도면,4 is a view showing an embodiment of the polishing holder and the LCD glass attached to the upper surface of Figure 1,

도 5는 도 4의 연마홀더의 사시도,5 is a perspective view of the polishing holder of FIG.

도 6은 도 1의 하부정반이 반시계 방향으로 회전할 때, 상부정반의 좌,우 선회 각도를 도시한 도면,FIG. 6 is a view illustrating left and right turning angles of an upper plate when the lower plate of FIG. 1 rotates in a counterclockwise direction.

도 7은 도 1의 하부정반이 시계 방향으로 회전할 때 상부정반의 좌,우 선회 각도를 도시한 도면,7 is a view illustrating left and right turning angles of the upper plate when the lower plate of FIG. 1 rotates in a clockwise direction.

도 8은 상부정반에 연마홀더의 다른 실시예 및 LCD 유리가 부착 고정된 상태를 도시한 도면.8 is a view showing another embodiment of the polishing holder and the LCD glass attached to the upper surface fixed state.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100 ... 하부정반 유니트 110 ... 하부정반100 ... lower plate unit 110 ... lower plate

112 ... 연마패드 130. 131 ... 회전구동용 모우터 및 감속기112 ... Polishing pad 130. 131 ... Motors and reducers for rotary drives

140 ... 비산방지벽 141 ... 배출통로140 ... shatterproof walls 141 ... discharge passage

142 ... 배출관 200 ... 상부정반 유니트142 ... discharge line 200 ... upper plate unit

210 ... 상부정반 220 ... 선회아암210 ... upper plate 220 ... turning arm

222 ... 상향 선회축 230 ... 선회축222 ... upward pivot 230 ... pivot

240, 241 ... 선회구동용 모우터 및 감속기240, 241 ... swing motors and reducers

250 ... 브라켓 260 ... 실린더250 ... bracket 260 ... cylinder

261 ... 승강로드 300 ... 연마액 공급부261 ... lifting rod 300 ... polishing liquid supply

310 ... 연마액 수용탱크 311, 312 ... 필터310 ... polishing liquid receiving tanks 311, 312 ... filter

313 ... 압송펌프 314 ... 교반기313 ... pressure pump 314 ... agitator

320 ... 세정액 수용탱크 321 ... 압송펌프320 ... cleaning liquid receiving tank 321 ... pressure pump

330 ... 3-way 밸브 331 ... 공급파이프330 ... 3-way valve 331 ... supply pipe

340 ... 디아이워터 제조기 341 ... 밸브340 ... Dewaterer 341 ... Valves

400, 500 ... 연마홀더 410, 510 ... 구획부400, 500 ... Polishing holders 410, 510 ... Divisions

420 ... 배치부 G ... LCD 유리420 ... Placement G ... LCD Glass

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 LCD 유리 연마장치는, 상면 전체에 소정의 연마패드(112)가 부착되고 회전구동용 모우터(130)에 의해 소정방향으로 회전하는 하부정반(110)과; 상기 하부정반(110) 상에서 별도의 선회 구동용 모우터(240)에 의하여 소정 각도만큼 좌,우 반복 선회 작동됨과 아울러 상기 하부정반(110)과 밀착되어 함께 회전하도록 된 상부정반(210)과; 상기 상부정반(210)의 저면에 부착되며, 구획부(410)에 의하여 대칭으로 형성되어 LCD 유리가 끼어져 배치되는 적어도 2개 이상의 배치부(420)가 형성된 연마홀더(400)(500)와; 상기 하부정반(110)상에 설치된 공급파이프(331)로 연마액을 공급하는 연마액 공급부(300);를 포함하며,상기 연마액 공급부(300)는, 상기 하부정반(110)을 경유한 연마액이 회수되어 수용되는 연마액 수용탱크(310)와; 상기 세정액이 수용되는 세정액 수용탱크(320)와; 상기 연마액 수용탱크(310), 세정액 수용탱크(320) 및 공급파이프(331)와 각각 연결되어 상기 연마액이나 상기 세정액의 흐름을 상기 공급파이프(331)로 선택적으로 전환시키기 위한 3-way 밸브(330)와; 상기 연마액 수용탱크(310)와 상기 3-way 밸브(330) 사이에 설치되는 필터(311)(312) 및 압송펌프(313)와; 상기 세정액 수용탱크(320)와 상기 3-way 밸브(330) 사이에 설치되는 압송펌프(321);를 포함한다.In order to achieve the above object, LCD glass polishing apparatus according to the present invention, a predetermined polishing pad 112 is attached to the entire upper surface and the lower surface plate (rotating in a predetermined direction by the rotary drive motor 130 ( 110); An upper surface plate 210 that rotates left and right by a predetermined angle on the lower surface plate 110 and rotates in close contact with the lower surface plate 110 by a predetermined turning drive motor 240; Polishing holders 400 and 500 attached to the bottom surface of the upper surface plate 210 and having at least two or more placement portions 420 formed symmetrically by the partition portion 410 so as to sandwich the LCD glass. ; And a polishing liquid supply unit 300 for supplying the polishing liquid to the supply pipe 331 installed on the lower surface plate 110, wherein the polishing liquid supply unit 300 is polished via the lower surface plate 110. A polishing liquid receiving tank 310 in which liquid is collected and received; A cleaning liquid containing tank 320 in which the cleaning liquid is accommodated; A 3-way valve connected to the polishing liquid receiving tank 310, the cleaning liquid receiving tank 320, and the supply pipe 331 to selectively convert the flow of the polishing liquid or the cleaning liquid into the supply pipe 331. 330; A filter 311 and 312 and a pressure pump 313 installed between the polishing liquid receiving tank 310 and the 3-way valve 330; And a pressure pump 321 disposed between the cleaning solution accommodation tank 320 and the 3-way valve 330.

여기서, 상기 연마액은, 산화세륨과 DI 워터가 혼합되어 된 것이나, 또는 산화세륨과 이물질이 제거(filtered)된 워터가 혼합되어 된 것이나, 또는 세제와 DI 워터가 혼합되어 된 것이다.Here, the polishing liquid is a mixture of cerium oxide and DI water, or a mixture of cerium oxide and water filtered out, or a detergent and DI water.

그리고, 상기 필터(312)는 3㎛ - 7㎛ 의 입자를 걸러내는 필터이며, 필터(311)는 0.5㎛ - 1.5㎛ 입자를 걸러내는 필터이다.The filter 312 is a filter for filtering particles of 3 μm to 7 μm, and the filter 311 is a filter for filtering particles of 0.5 μm to 1.5 μm.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 LCD 유리 연마방법은, 상면 전체에 소정의 연마패드(112)가 부착되고 소정방향으로 회전하는 하부정반(110)과; 상기 하부정반(110) 상에서 소정 각도만큼 좌,우 반복 선회 작동됨과 아울러 상기 하부정반(110)과 밀착되어 함께 회전하도록 된 상부정반(210)과; 상기 하부정반(110)상에 연마액 또는 세정액을 공급하는 연마액 공급부(300);를 가지는 LCD 유리 연마장치를 이용한 연마방법에 있어서, 상기 상부정반(210)의 저면에, 구획부(410)에 의하여 대칭으로 형성된 적어도 2개 이상의 배치부(420)가 형성된 연마홀더(400)를 부착시키는 단계와; 상기 배치부(420)에 LCD 유리를 끼어서 상기 상부정반(210) 상에 위치를 고정하는 단계와; 상기 LCD 유리(G)가 상기 연마패드(112)에 밀착되도록 상기 상부정반(210)을 상기 하부정반(110) 상에 하강시킨 후 좌,우 반복 선회 작동시키면서 상기 연마액을 상기 하부정반(110)으로 공급하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, LCD glass polishing method according to the present invention, the lower surface plate 110 is attached to a predetermined polishing pad 112 on the entire upper surface and rotates in a predetermined direction; An upper surface plate 210 that rotates left and right by a predetermined angle on the lower surface plate 110 and rotates in close contact with the lower surface plate 110; In the polishing method using the LCD glass polishing apparatus having a; Polishing liquid supply unit 300 for supplying a polishing liquid or a cleaning liquid on the lower surface 110, the partition portion 410 on the bottom surface of the upper surface 210 Attaching at least two polishing holders 400 on which at least two placement portions 420 are formed symmetrically; Fixing the position on the upper surface plate (210) by sandwiching the LCD glass in the placement unit (420); The upper plate 210 is lowered on the lower plate 110 so that the LCD glass G is in close contact with the polishing pad 112, and then the left and right repetitive turning operations are performed. Supplying); characterized in that it comprises a.

본 발명에 있어서, 상기 하부정반(110)이 반시계 방향으로 회전할 경우, 상기 하부정반(110)의 중심축을 기준으로 할 때 상기 상부정반(210)의 우측 선회각도(b)가 좌측 선회각도(a)보다 크다.In the present invention, when the lower surface plate 110 rotates in the counterclockwise direction, the right turning angle (b) of the upper surface plate 210 is the left turning angle based on the central axis of the lower surface plate 110. Greater than (a)

또, 상기 하부정반(110)이 시계 방향으로 회전할 경우, 상기 하부정반(110)의 중심축을 기준으로 할 때 상기 상부정반(210)의 좌측 선회각도(a')가 우측 선회각도(b')보다 크다.In addition, when the lower surface plate 110 rotates in the clockwise direction, the left turning angle a 'of the upper surface plate 210 is the right turning angle b' based on the central axis of the lower surface plate 110. Greater than)

그리고, 상기 LCD 유리의 연마가 종료된 후 다른 LCD 유리의 연마를 시작하기 전에, 상기 하부정반(110)상으로 세정액을 공급하여 그 하부정반(110)을 세정하는 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.Further, after the polishing of the LCD glass is finished and before the polishing of the other LCD glass is started, it is preferable to further include the step of supplying a cleaning liquid onto the lower surface 110 to clean the lower surface 110. .

이하, 본 발명에 따른 LCD 유리 연마장치 및 그를 이용한 LCD 유리 연마방법을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an LCD glass polishing apparatus and an LCD glass polishing method using the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 LCD 유리 연마장치의 절개 사시도이고, 도 2는 도 1의 LCD 유리 연마장치의 구동 메커니즘을 도시한 부분 단면도이며, 도 3은 도 1의 LCD 유리 연마장치에 있어서, 상부정반이 상하 선회되는 동작을 개략적으로 도시한 측면도이다.1 is a cutaway perspective view of an LCD glass polishing apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a partial cross-sectional view showing a driving mechanism of the LCD glass polishing apparatus of FIG. 1, and FIG. 3 is an upper portion of the LCD glass polishing apparatus of FIG. 1. It is a side view which shows schematically the operation | movement which a surface plate turns to up-down.

도면에 도시된 바와 같이, LCD 유리 연마 장치는, 크게 하부정반 유니트(100)와, 상부정반 유니트(200)와, 연마액 공급부(300)와, 상부정반 유니트의 상부정반(210)에 부착 고정되는 연마홀더(400)를 포함한다.As shown in the figure, the LCD glass polishing apparatus is largely attached and fixed to the lower surface unit 100, the upper surface unit 200, the polishing liquid supply unit 300, and the upper surface plate 210 of the upper surface unit. The polishing holder 400 is included.

하부정반 유니트(100)는, 상면 전체에 소정의 연마패드(112)가 부착되는 하부정반(110)과, 본체(120)에 설치되어 그 하부정반(110)을 소정 방향으로 회전시키는 회전구동용 모우터(130) 및 감속기(131)를 포함한다. 하부정반(110)의 외측 둘레에는 공급파이프(331)를 통해 공급되는 연마액이 비산되는 것을 방지하기 위한 비산방지벽(140)이 설치되어 있고, 비산방지벽(140)의 내측 둘레에는 일측으로 경사진 배출통로(141)가 형성되어 있어 외부로 인출된 배출관(142)을 통해 사용된 연마액이 연마액 공급부(300)로 재 유입된다.The lower surface plate unit 100 is provided for the lower surface plate 110 to which a predetermined polishing pad 112 is attached to the entire upper surface, and is installed on the main body 120 to rotate the lower surface plate 110 in a predetermined direction. The motor 130 and the reducer 131 are included. The outer periphery of the lower surface plate 110 is provided with a scattering prevention wall 140 for preventing the polishing liquid supplied through the supply pipe 331 is scattered, the inner periphery of the scattering prevention wall 140 to one side Since the inclined discharge passage 141 is formed, the used polishing liquid is re-introduced into the polishing liquid supply unit 300 through the discharge pipe 142 drawn outward.

상부정반 유니트(200)는, 저면상에 연마 대상이 되는 LCD 유리가 부착되고 하부정반(110)과 밀착되어 함께 회전되는 상부정반(210)과, 상부정반(210)을 본체(120)의 상부에서 수평방향으로 지지하는 선회아암(220)과, 선회아암(220)을 좌, 우 양 방향으로 선회될 수 있도록 지지하는 선회축(230)과, 선회축(230)을 좌,우 양방향으로 반복 선회시키는 커텍팅로드(232)를 구동하는 선회 구동용 모우터(240) 및 감속기(241)를 포함한다. 여기서, 선회아암(220)의 단부에는 상향 선회축(222)을 중심으로 회동 가능한 브라켓(250)이 설치되고, 브라켓(250)에는 상부정반(210)을 승강시키기 위한 실린더(260)가 설치되어 있다. 상부정반(210)은 실린더의 승강로드(261)에 설치된다.The upper surface unit 200 is attached to the LCD glass to be polished on the bottom surface, the upper surface 210 is rotated in close contact with the lower surface 110, and the upper surface 210, the upper surface of the main body 120 Revolving arm 220 to support the horizontal direction in the direction, the pivot axis 230 for supporting the pivot arm 220 to be turned in both left and right directions, and the pivot axis 230 is repeated in both left and right It includes a swing drive motor 240 and a speed reducer 241 for driving the connecting rod 232 to swing. Here, the bracket 250 is rotatable around the upward pivot shaft 222 is installed at the end of the swing arm 220, the cylinder 250 for elevating the upper surface 210 is installed on the bracket 250 have. The upper surface plate 210 is installed on the lifting rod 261 of the cylinder.

연마액 공급부(300)는, 공급파이프(331)를 통하여 하부정반(110)상으로 연마액 또는 세정액을 공급하는 것으로서, 하부정반(110)을 경유한 연마액이 회수되어 수용되는 연마액 수용탱크(310)와, 세정액이 수용되는 세정액 수용탱크(320)와, 연마액 또는 세정액의 흐름을 전환시키는 3-way 밸브(330)를 포함한다.The polishing liquid supplying part 300 supplies the polishing liquid or the cleaning liquid onto the lower surface plate 110 through the supply pipe 331, and the polishing liquid storage tank in which the polishing liquid via the lower surface plate 110 is recovered and accommodated. 310, a cleaning liquid containing tank 320 in which the cleaning liquid is accommodated, and a 3-way valve 330 for switching the flow of the polishing liquid or the cleaning liquid.

연마액 수용탱크(310)에는 재 유입된 연마액에서 연마재가 침전되지 않도록교반시켜주는 교반기(314)가 설치되어 있다.In the polishing liquid receiving tank 310, an agitator 314 is provided to stir the abrasive to prevent precipitation from the reflowed polishing liquid.

세정액 수용탱크(320)에는 세제와 DI 워터가 혼합되어 이루어지는 세정액이 수용되어 있다. 이때, 세제는 수산화칼슘이 함유된 알칼리세제 20 % 용액이 사용되는 것이 좋다. 세정액 수용탱크(320)는 디아이워터 제조기(340)와 밸브(341)로 연결되어 있어, 필요한 디아이워터를 원활하게 공급받는다.The cleaning liquid containing tank 320 contains a cleaning liquid in which detergent and DI water are mixed. At this time, the detergent is preferably a 20% solution of alkaline detergent containing calcium hydroxide. The cleaning solution receiving tank 320 is connected to the dea water maker 340 and the valve 341, so that the dea water is smoothly supplied.

3-way 밸브(330)에는, 연마액 수용탱크(310), 세정액 수용탱크(320) 및 공급파이프(331)가 모두 연결되어 있다. 3-way 밸브(330)는 연마액이나 세정액의 흐름을 공급파이프(331)로 선택적으로 전환시킨다.The polishing liquid accommodation tank 310, the cleaning liquid accommodation tank 320, and the supply pipe 331 are all connected to the 3-way valve 330. The 3-way valve 330 selectively converts the flow of the polishing liquid or the cleaning liquid into the supply pipe 331.

한편, 연마액 수용탱크(310)와 상기 3-way 밸브(330) 사이에는 필터(311)(312) 및 압송펌프(313)가 설치된다. 이때, 312 필터는 3㎛ - 7㎛ 의 입자를 걸러내는 필터이며, 본 실시예에서는 5㎛ 입자를 걸러내는 필터를 사용하였다. 또, 311 필터는 0.5㎛ - 1.5㎛ 입자를 걸러내는 필터인데, 본 실시예에서는 1㎛ 입자를 걸러내는 필터를 사용하였다. 여기서, 연마액은, 산화세륨과 DI 워터가 혼합되어 이루어지는데, 산화세륨 1.5Kg 에 워터 18리터를 혼합하여 구현하는 것이 바람직하다.On the other hand, between the polishing liquid receiving tank 310 and the 3-way valve 330, the filter 311, 312 and the pump pump 313 is installed. At this time, the 312 filter was a filter for filtering particles of 3 µm to 7 µm, and a filter for filtering 5 µm particles was used in this embodiment. In addition, the 311 filter is a filter that filters out 0.5 µm-1.5 µm particles. In this embodiment, a filter that filters 1 µm particles was used. Here, although the grinding | polishing liquid consists of mixing cerium oxide and DI water, it is preferable to implement by mixing 18 liters of water with 1.5 kg of cerium oxide.

또한, 세정액 수용탱크(320)와 3-way 밸브(330) 사이에도 압송펌프(321)가 설치된다.In addition, a pressure pump 321 is also installed between the cleaning liquid receiving tank 320 and the 3-way valve 330.

상기한 3-way 밸브(330), 압송펌프(313)(321), 밸브(341)는 도시되지 않은 제어부에 의하여 적절히 제어된다.The 3-way valve 330, the pressure pump 313, 321, and the valve 341 are appropriately controlled by a controller (not shown).

도 4는 도 1의 상부정반에 연마홀더의 일 실시예 및 LCD 유리가 부착 고정된상태를 도시한 도면이고, 도 5는 도 4의 연마홀더의 사시도이다. 도면을 참조하면, 상부정반(210)의 저면에 설치되는 연마홀더(400)에는, 4 매의 LCD 유리(G)가 각각 대칭으로 배치되는 4개의 배치부(420)가 형성되어 있다. 배치부(420)는 구획부(410)에 의해서 구획됨으로써 형성되고, 연마홀더(400)의 재질은 베이클라이트(Bakelite) 등과 같은 합성수지 재질로 되어 있다.Figure 4 is a view showing an embodiment of the polishing holder and the LCD glass attached to the upper surface of Figure 1, Figure 5 is a perspective view of the polishing holder of FIG. Referring to the drawings, in the polishing holder 400 installed on the bottom surface of the upper surface plate 210, four placement portions 420 are formed in which four pieces of LCD glass G are symmetrically arranged. The placement unit 420 is formed by being partitioned by the partition unit 410, and the polishing holder 400 is made of a synthetic resin material such as Bakelite.

연마홀더는, 도 8에 도시된 바와 같이, 2 매의 LCD 유리를 대칭되게 끼어넣는 구조로 될 수도 있다. 이와 같이, 연마홀더에 형성되는 배치부의 수는 필요에 의하여 늘릴 수도 있음은 물론이다.As shown in Fig. 8, the polishing holder may have a structure in which two LCD glasses are symmetrically sandwiched. As described above, the number of arrangement portions formed in the polishing holder may be increased as necessary.

상기와 같은 구조의 LCD 유리 연마장치를 이용한 연마방법을 설명한다.A polishing method using the LCD glass polishing apparatus having the above structure will be described.

상부정반(210)을 도 3에 도시된 바와 같이, 상향 선회시켜 그 저면에 본원 발명의 연마홀더(400)를 부착하고, 연마홀더(400)의 배치부(420)에 LCD 유리(G)를 끼우게 된다. 이때, 배치부(420) 내의 상부정반(210)의 저면에는 다공성의 시트가 설치되어 있어, 배치부(420)에 끼어지는 LCD 유리(G)는 상부정반(210)에 견고하게 고정된다. 이후, 상부정반(210)을 하향 선회시켜 LCD 유리 저면부와 하부정반(110)의 연마패드(120)의 표면이 밀착되도록 한다.As shown in FIG. 3, the upper surface 210 is pivoted upward to attach the polishing holder 400 of the present invention to the bottom thereof, and the LCD glass G is disposed on the placement portion 420 of the polishing holder 400. Will be fitted. At this time, a porous sheet is installed on the bottom surface of the upper surface plate 210 in the placement portion 420, and the LCD glass G sandwiched in the placement portion 420 is firmly fixed to the upper surface plate 210. Thereafter, the upper surface 210 is pivoted downward so that the surface of the LCD glass bottom portion and the surface of the polishing pad 120 of the lower surface 110 are in close contact with each other.

다음, 하부정반(110)을 일방향으로 회전시키면서 선회아암(220)을 좌,우 양방향으로 반복 선회시키면, 마찰력에 의하여 상부정반(210)도 회전하면서 그 사이에 개재된 LCD 유리의 표면이 연마된다. 한편, 연마공정에서, 연마액은 연마액 수용탱크(310)에서 압송펌프(313)에 의하여 압송되어 공급파이프(331)를 통하여 하부정반(110) 상으로 공급되고, 사용된 연마액은 배출통로(141) 및 배출관(142)을 통하여 다시 연마액 수용탱크(310)로 회수된다. 이때, 3-way 밸브(330)는 세정액 수용탱크의 세정액이 공급파이프(331)로 흐르지 못하도록 한다. 이후에, 연마액은 다시 압송펌프(313)를 통하여 공급파이프(331)로 공급되는데, 이때 312 필터는 연마액 내부에 포함된 상대적으로 큰 유리가루 및 파편을 제거하고, 311 필터는 미세한 유리가루를 제거한다.Next, when the swing arm 220 is repeatedly rotated in both the left and right directions while rotating the lower surface 110 in one direction, the surface of the LCD glass interposed therebetween is also polished while the upper surface 210 is rotated by the frictional force. . On the other hand, in the polishing process, the polishing liquid is pumped by the pressure pump 313 in the polishing liquid receiving tank 310 and supplied to the lower surface plate 110 through the supply pipe 331, the used polishing liquid is discharge passage Through the 141 and the discharge pipe 142 is recovered to the polishing liquid receiving tank 310 again. At this time, the 3-way valve 330 prevents the cleaning liquid from the cleaning liquid containing tank from flowing into the supply pipe 331. Thereafter, the polishing liquid is again supplied to the supply pipe 331 through the pressure pump 313, where the 312 filter removes relatively large glass powder and debris contained in the polishing liquid, and the 311 filter is fine glass powder. Remove it.

도 6에 도시된 바와 같이, 하부정반(110)이 반 시계 방향으로 회전할 경우에는, 하부정반(110)의 중심축을 기준으로 할 때 상부정반(210)의 우측 선회각도(b)가 좌측 선회각도(a)보다 크도록 선회 구동용 모우터(240)를 제어한다. 왜냐하면, 상부정반(210)이 오른쪽에 올 때 역방향의 힘이 LCD 유리(G)에 전달되어 LCD 유리에 인가되는 마찰력이 크게 된다. 마찰력이 크게 되면, 연삭력이 증가하지만 LCD 유리의 모서리 부분이 과연마가 되고, 또 연마홀더(400)의 수명이 작아진다. 따라서, 상부정반(210)이 하부정반(110)의 중심에 대하여 오른쪽에 올 경우에 인가되는 마찰력이 작게 되도록 상부정반의 우측 선회각도(b)를 좌측 선회각도(a)보다 크게 하는 것이다. 이때. 상부정반(210)의 우측 선회 각도(b)는 LCD 유리(G)가 하부정반(110)의 가장자리에서 이탈되는 부분이 LCD 유리의 대각선 방향을 기준으로 하였을 때 대략 1/3 인 정도가 되도록 하는 것이 바람직하며, 상부정반(210)의 좌측 선회 각도(a)는 LCD 유리(G)가 하부정반(110)의 가장자리에서 이탈되는 부분이 1/3 이하가 되도록 하는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 6, when the lower surface plate 110 rotates in the counterclockwise direction, the right turning angle b of the upper surface plate 210 is turned left based on the central axis of the lower surface plate 110. The turning drive motor 240 is controlled to be larger than the angle a. Because, when the upper surface plate 210 comes to the right side, the reverse force is transmitted to the LCD glass G, and the friction force applied to the LCD glass becomes large. If the frictional force is large, the grinding force is increased, but the edge portion of the LCD glass is over-polishing, and the life of the polishing holder 400 is reduced. Therefore, when the upper surface 210 comes to the right with respect to the center of the lower surface 110, the right turn angle (b) of the upper surface is larger than the left turn angle (a) so that the frictional force applied is small. At this time. The right turn angle b of the upper surface plate 210 is such that the portion where the LCD glass G is separated from the edge of the lower surface plate 110 is approximately 1/3 when the diagonal direction of the LCD glass is used. Preferably, the left turning angle a of the upper surface plate 210 is such that the portion where the LCD glass G is separated from the edge of the lower surface plate 110 is 1/3 or less.

한편, 하부정반(110)이 시계 방향으로 회전할 경우에는, 도 7에 도시된 바와 같이, 하부정반(110)의 중심축을 기준으로 할 때 상부정반(210)의 좌측선회각도(a')가 우측 선회각도(b')보다 크도록 한다. 이는, 도 6에서 설명된 것과 같은 이유에서이므로, 상세한 설명은 생략한다.On the other hand, when the lower surface plate 110 rotates in the clockwise direction, as shown in FIG. 7, when the left turn angle a 'of the upper surface plate 210 is based on the central axis of the lower surface plate 110 is It is larger than the right turn angle b '. Since this is for the same reason as described in Fig. 6, detailed description thereof will be omitted.

다음, LCD 유리의 연마가 완료되면 상부정반(210)에서 LCD 유리를 떼어낸다. 그리고, 다음 LCD 유리를 연마하기 전에, 제어부는 3-way 밸브(330)를 작동하여, 세정액 수용탱크(320)의 세정액이 공급파이프(331)를 통하여 하부정반(110)으로 흐르게 하여 세정을 할 수 있도록 한다.Next, when polishing of the LCD glass is completed, the LCD glass is removed from the upper surface plate 210. Then, before polishing the next LCD glass, the control unit operates the 3-way valve 330 to allow the cleaning liquid of the cleaning liquid receiving tank 320 to flow through the supply pipe 331 to the lower plate 110 for cleaning. To be able.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 알 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art will appreciate that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom.

상술한 바와 같이, 본 발명의 LCD 유리 연마장치 및 그를 이용한 LCD 유리 연마방법에 따르면, 한번에 복수개의 LCD 유리를 연마할 수 있으므로, LCD 유리의 연마 단가를 낮출 수 있고, 생산 효율을 높일 수 있다는 효과가 있다.As described above, according to the LCD glass polishing apparatus of the present invention and the LCD glass polishing method using the same, since a plurality of LCD glass can be polished at a time, the polishing cost of the LCD glass can be lowered and the production efficiency can be improved. There is.

또한, 연마액을 재활용할 때, 연마액 내부의 유리가루나 파편을 제거함으로써, 연마공정에서 LCD 유리의 손상을 최대한 방지할 수 있고, 3-way 밸브로 연마액과 세정액을 선택적으로 하부정반으로 공급할 수 있게 되므로, 더더욱 연마공정의 불량발생요인을 제거할 수 있다는 효과가 있다.In addition, when the polishing liquid is recycled, by removing the glass powder or debris inside the polishing liquid, it is possible to prevent the damage of the LCD glass in the polishing process as much as possible, and to selectively remove the polishing liquid and the cleaning liquid with a 3-way valve Since it can be supplied, there is an effect that can further eliminate the defects of the polishing process.

Claims (9)

상면 전체에 소정의 연마패드(112)가 부착되고 회전구동용 모우터(130)에 의해 소정방향으로 회전하는 하부정반(110)과;A lower surface plate 110 attached to a predetermined polishing pad 112 on the entire upper surface and rotated in a predetermined direction by a motor 130 for rotating driving; 상기 하부정반(110) 상에서 별도의 선회 구동용 모우터(240)에 의하여 소정 각도만큼 좌,우 반복 선회 작동됨과 아울러 상기 하부정반(110)과 밀착되어 함께 회전하도록 된 상부정반(210)과;An upper surface plate 210 that rotates left and right by a predetermined angle on the lower surface plate 110 and rotates in close contact with the lower surface plate 110 by a predetermined turning drive motor 240; 상기 상부정반(210)의 저면에 부착되며, 구획부(410)에 의하여 대칭으로 형성되어 LCD 유리가 끼어져 배치되는 적어도 2개 이상의 배치부(420)가 형성된 연마홀더(400)(500)와;Polishing holders 400 and 500 attached to the bottom surface of the upper surface plate 210 and having at least two or more placement portions 420 formed symmetrically by the partition portion 410 so as to sandwich the LCD glass. ; 상기 하부정반(110)상에 설치된 공급파이프(331)로 연마액을 공급하는 연마액 공급부(300);를 포함하며,And a polishing liquid supply unit 300 for supplying the polishing liquid to the supply pipe 331 installed on the lower surface plate 110. 상기 연마액 공급부(300)는, 상기 하부정반(110)을 경유한 연마액이 회수되어 수용되는 연마액 수용탱크(310)와; 상기 세정액이 수용되는 세정액 수용탱크(320)와; 상기 연마액 수용탱크(310), 세정액 수용탱크(320) 및 공급파이프(331)와 각각 연결되어 상기 연마액이나 상기 세정액의 흐름을 상기 공급파이프(331)로 선택적으로 전환시키기 위한 3-way 밸브(330)와; 상기 연마액 수용탱크(310)와 상기 3-way 밸브(330) 사이에 설치되는 필터(311)(312) 및 압송펌프(313)와; 상기 세정액 수용탱크(320)와 상기 3-way 밸브(330) 사이에 설치되는 압송펌프(321);를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 LCD 유리 연마장치.The polishing liquid supply unit 300 includes: a polishing liquid receiving tank 310 in which the polishing liquid via the lower surface plate 110 is recovered and accommodated; A cleaning liquid containing tank 320 in which the cleaning liquid is accommodated; A 3-way valve connected to the polishing liquid receiving tank 310, the cleaning liquid receiving tank 320, and the supply pipe 331 to selectively convert the flow of the polishing liquid or the cleaning liquid into the supply pipe 331. 330; A filter 311 and 312 and a pressure pump 313 installed between the polishing liquid receiving tank 310 and the 3-way valve 330; And a pressure pump (321) installed between the cleaning liquid receiving tank (320) and the 3-way valve (330). 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 연마액은, 산화세륨과 DI 워터가 혼합되어 된 것이거나, 또는 산화세륨과 이물질이 제거된 워터가 혼합되어 된 것을 특징으로 하는 LCD 유리 연마장치.The polishing liquid is an LCD glass polishing apparatus, wherein cerium oxide and DI water are mixed, or water in which cerium oxide and foreign matter have been removed. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 세정액은, 세제와 DI 워터가 혼합되어 된 것을 특징으로 하는 LCD 유리 연마장치.The cleaning liquid, LCD glass polishing apparatus, characterized in that the detergent and DI water is mixed. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 필터(312)는 3㎛ - 7㎛ 의 입자를 걸러내는 필터이며, 필터(311)는 0.5㎛ - 1.5㎛ 입자를 걸러내는 필터인 것을 특징으로 하는 LCD 유리 연마장치.The filter (312) is a filter for filtering particles of 3㎛-7㎛, LCD 311 is a filter for filtering 0.5㎛-1.5㎛ particles, characterized in that the LCD glass polishing apparatus. 상면 전체에 소정의 연마패드(112)가 부착되고 소정방향으로 회전하는 하부정반(110)과; 상기 하부정반(110) 상에서 소정 각도만큼 좌,우 반복 선회 작동됨과 아울러 상기 하부정반(110)과 밀착되어 함께 회전하도록 된 상부정반(210)과; 상기 하부정반(110)상에 연마액 또는 세정액을 공급하는 연마액 공급부(300);를 가지는 LCD 유리 연마장치를 이용한 연마방법에 있어서,A lower surface plate 110 attached to a predetermined polishing pad 112 on the entire upper surface and rotating in a predetermined direction; An upper surface plate 210 that rotates left and right by a predetermined angle on the lower surface plate 110 and rotates in close contact with the lower surface plate 110; In the polishing method using an LCD glass polishing apparatus having a; Polishing liquid supply unit 300 for supplying a polishing liquid or a cleaning liquid on the lower surface 110, 상기 상부정반(210)의 저면에, 구획부(410)에 의하여 대칭으로 형성된 적어도 2개 이상의 배치부(420)가 형성된 연마홀더(400)를 부착시키는 단계와;Attaching a polishing holder (400) on the bottom of the upper surface plate (210) in which at least two or more placement units (420) are formed symmetrically by partitions (410); 상기 배치부(420)에 LCD 유리를 끼어서 상기 상부정반(210) 상에 위치를 고정하는 단계와;Fixing the position on the upper surface plate (210) by sandwiching the LCD glass in the placement unit (420); 상기 LCD 유리(G)가 상기 연마패드(112)에 밀착되도록 상기 상부정반(210)을 상기 하부정반(110) 상에 하강시킨 후 좌,우 반복 선회 작동시키면서 상기 연마액을 상기 하부정반(110)으로 공급하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 유리 연마방법.The upper plate 210 is lowered on the lower plate 110 so that the LCD glass G is in close contact with the polishing pad 112, and then the left and right repetitive turning operations are performed. LCD glass polishing method comprising; supplying. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 하부정반(110)이 반시계 방향으로 회전할 경우, 상기 하부정반(110)의 중심축을 기준으로 할 때 상기 상부정반(210)의 우측 선회각도(b)가 좌측 선회각도(a)보다 큰 것을 특징으로 하는 LCD 유리 연마방법.When the lower surface plate 110 rotates in the counterclockwise direction, the right turn angle (b) of the upper surface plate 210 is greater than the left turn angle (a) based on the central axis of the lower surface plate 110. LCD glass polishing method, characterized in that. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 하부정반(110)이 시계 방향으로 회전할 경우, 상기 하부정반(110)의 중심축을 기준으로 할 때 상기 상부정반(210)의 좌측 선회각도(a')가 우측 선회각도(b')보다 큰 것을 특징으로 하는 LCD 유리 연마방법.When the lower surface plate 110 rotates in the clockwise direction, the left turning angle a 'of the upper surface plate 210 is greater than the right turning angle b' when the lower surface plate 110 is rotated in the clockwise direction. LCD glass polishing method characterized in that large. 제7항 또는 제8항에 있어서,The method according to claim 7 or 8, 상기 LCD 유리의 연마가 종료된 후 다른 LCD 유리의 연마를 시작하기 전에, 상기 하부정반(110)상으로 세정액을 공급하여 그 하부정반(110)을 세정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 LCD 유리 연마방법.And after the polishing of the LCD glass is finished, before the polishing of the other LCD glass is started, the cleaning liquid is supplied to the lower surface plate 110 to clean the lower surface plate 110. Glass polishing method.
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